KR101416815B1 - 조립식 챔버 - Google Patents

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KR101416815B1 KR1020140029460A KR20140029460A KR101416815B1 KR 101416815 B1 KR101416815 B1 KR 101416815B1 KR 1020140029460 A KR1020140029460 A KR 1020140029460A KR 20140029460 A KR20140029460 A KR 20140029460A KR 101416815 B1 KR101416815 B1 KR 101416815B1
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Abstract

본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 조립식으로 형성되면서 밀폐가 용이하고, 분해 및 조립이 용이하여 제작, 운반, 설치 및 유지보수 등이 용이한 조립식 챔버를 제공하는 것이다.

Description

조립식 챔버 {Assembly type chamber }
본 발명은 조립식 챔버에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 반도체나 OLED의 제조를 위한 챔버 또는 실험을 위한 글러브박스 등의 챔버를 조립식으로 형성하면서 밀폐가 용이하게 하여, OLED 제조에 요구되는 밀폐 용기 내부의 환경, 즉 산소와 수분이 제거된 환경을 쉽게 유지할 수 있는 밀폐도를 제공하며, 분해 및 조립이 용이한 조립식 챔버에 관한 것이다.
반도체나 OLED의 제조 공정에 적용되는 글로브박스 또는 챔버(밀폐 용기)는 외부와 차단되어 그 내부 공간을 특정 가스 환경이 요구되며, 이러한 가스 환경을 조성하기 위해서는 특정 가스를 글로브박스 또는 챔버 내부로 공급하여 내부의 기존 가스와 공급된 가스를 혼합 배기하여 특정 가스 환경으로 바꾸어 주는 치환 공정이 요구된다.
최근에는 가스 치환 공정이 필요한 OLED 제조 공정 등에 적용되는 글로브박스 또는 챔버의 크기가 대형화 되어가고 있다.
이때, 챔버는 일반적인 판상의 판재를 용접하여 내부가 밀폐되도록 육면체 형태로 제작되거나, 용접에 의해 육면체 형태의 틀로 제작된 프레임에 판상의 판재를 용접하여 내부가 밀폐되도록 제작되었다.
그런데 이러한 대형의 챔버는 내부가 밀폐되도록 설계되어야 하며, 초기 운반, 설치 및 유지보수 등이 용이해야 하는데, 종래의 챔버는 용접식으로 제작되므로 부피가 큰 챔버를 운반하기 어렵고 공정 라인상에 설치하기 어렵다. 그리고 이러한 챔버를 공정 라인상에 직접 용접을 통해 설치하기 위해서는 작업이 어려우며 공정 라인을 정지시키는 기간이 길어져 생산성을 저하시키게 된다. 또한, 조립식으로 형성되는 챔버는 밀폐가 어려워 조립식 부재들의 결합부위에 실링을 위해 에폭시 수지와 같은 실링부재를 도포한 후 결합하여 에폭시 수지가 경화되도록 함으로써 밀폐되도록 하고 있으나, 이 역시 조립 후 분해가 어렵고 분해 후 경화되었던 실링부재들을 깨끗하게 제거한 후 다시 조립해야 하므로 작업 및 챔버의 밀폐가 어려운 단점이 있다.
이에 따라 챔버를 밀폐되도록 하면서 조립식으로 형성하여 분해 및 조립이 용이한 챔버가 필요한 실정이다.
이와 관련된 종래기술로는 한국등록특허(10-1226793)인 "조립식 진공챔버"가 개시되어 있다.
KR 10-1226793 B1 (2013.01.21.)
본 발명은 상술한 바와 같은 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 조립식으로 형성되면서 밀폐가 용이하고, 분해 및 조립이 용이하여 제작, 운반, 설치 및 유지보수 등이 용이한 조립식 챔버를 제공하는 것이다.
상기한 바와 같은 목적을 달성하기 위한 본 발명의 조립식 챔버는, 다수개의 지지부재들이 서로 연결되어 골격을 형성하는 프레임; 상기 프레임의 모서리 부분에 배치되어, 상기 지지부재들의 단부와 결합되는 연결 조인트; 상기 지지부재들과 연결 조인트가 접하는 부분에 상기 프레임의 바깥쪽을 향하는 면을 감싸도록 부착되는 실링 테이프; 상기 프레임의 하측에 결합되는 베이스; 상기 프레임의 측면 및 상측에 결합되는 커버; 및 상기 프레임과 베이스 사이 및 상기 프레임과 커버 사이에 각각 개재되어 밀착되는 실링부재; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 프레임을 형성하는 다수개의 지지부재들은 알루미늄 프로파일로 형성되며, 상기 지재부재들은 상기 프레임의 바깥쪽을 향하는 면이 평면으로 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 지지부재들은 프레임의 안쪽을 향하는 면에 상기 지지부재의 길이방향을 따라 홈이 형성되고, 상기 지지부재들의 홈에는 고정판의 일측이 삽입되어 결합되며, 상기 고정판의 타측 일면에는 스페이서가 결합되어 상기 베이스 및 커버가 상기 고정판 또는 스페이서에 결합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 베이스는 상기 프레임의 안쪽에서 체결수단에 의해 상기 고정판 및 스페이서와 결합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 커버는 상기 프레임의 바깥쪽에서 체결수단에 의해 상기 고정판 및 스페이서와 결합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 실링부재는 상기 커버의 테두리 부분을 감싸도록 단면이 "ㄷ"자형으로 형성되고, 상기 실링부재의 외측을 감싸도록 실링부재 커버가 결합되며, 체결수단이 상기 실링부재 커버를 관통하여 상기 스페이서에 고정되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 베이스는 다수개의 베이스 부재로 형성되어 상기 다수개의 베이스 부재들이 결합되며, 상기 베이스 부재들은 서로 결합되는 단부가 단차지게 형성되어 겹쳐져 체결수단에 의해 결합되며, 상기 베이스 부재들이 접하는 부분의 상면에는 안치홈이 형성되어 상기 안치홈에 실링 테이프가 부착되고 상기 실링 테이프의 상측에 덮개가 결합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 지지부재들의 단부에는 결합공이 형성되고, 상기 연결 조인트는 3방향으로 연통된 관통공이 형성되며 상기 관통공의 내측에 체결수단의 머리가 걸리도록 단턱이 형성되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 연결 조인트에는 결합공이 형성되고 상기 커버의 모서리부에는 관통공이 형성되어, 상기 커버의 모서리부는 체결수단에 의해 상기 연결 조인트에 밀착되도록 결합되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 스페이서 및 연결 조인트는 상기 커버 및 베이스와 접하는 면에 안치홈이 형성되어, 상기 안치홈에 오링이 삽입되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 지지부재와 연결 조인트가 접하는 면 사이를 밀폐시키기 위해 상기 지지부재와 연결 조인트 사이에 실링부재를 개재하거나 도포하지 않고, 상기 지지부재와 연결 조인트가 접하는 부분에 상기 프레임의 바깥쪽을 향하는 면을 감싸도록 실링 테이프를 부착하여 밀폐되도록 하는 것을 특징으로 한다.
본 발명의 조립식 챔버는, 반도체나 OLED의 제조를 위한 챔버 또는 실험을 위한 글러브박스 등의 챔버를 내부가 밀폐되도록 형성하기 용이하며, 분해 및 조립이 용이하여 제작, 운반, 설치 및 유지보수 등이 용이하여 설치 기간 단축 및 공정 라인의 생산성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 조립식 챔버를 나타낸 조립사시도 및 분해사시도.
도 3은 본 발명에 따른 지지부재와 연결 조인트가 결합된 상태 및 실링 테이프가 부착된 상태를 나타낸 사시도.
도 4는 본 발명에 따른 지지부재 및 연결 조인트를 나타낸 분해사시도.
도 5는 본 발명에 따른 커버를 나타낸 사시도.
도 6은 본 발명에 따른 프레임에 커버가 조립된 상태를 나타낸 단면도.
도 7은 본 발명에 따른 연결 조인트를 나타낸 사시도.
도 8은 도 7에서 지지부재와 연결 조인트가 결합된 상태의 AA'방향 단면도.
도 9는 본 발명에 따른 베이스의 조립구조 및 실링부재를 나타낸 분해사시도.
도 10은 도 9에서 베이스 및 실링부재가 결합어 프레임에 결합된 상태의 BB'방향 단면도.
이하, 상기한 바와 같은 본 발명의 조립식 챔버를 첨부된 도면을 참고하여 상세하게 설명한다.
도 1 및 도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 조립식 챔버를 나타낸 조립사시도 및 분해사시도이고, 도 3은 본 발명에 따른 지지부재와 연결 조인트가 결합된 상태 및 실링 테이프가 부착된 상태를 나타낸 사시도이다.
도시된 바와 같이 본 발명의 일 실시예에 따른 조립식 챔버(1000)는, 다수개의 지지부재(110)들이 서로 연결되어 골격을 형성하는 프레임(100); 상기 프레임(100)의 모서리 부분에 배치되어, 상기 지지부재(110)들의 단부와 결합되는 연결 조인트(200); 상기 지지부재(110)들과 연결 조인트(200)가 접하는 부분에 상기 프레임(100)의 바깥쪽을 향하는 면을 감싸도록 부착되는 실링 테이프(300); 상기 프레임(100)의 하측에 결합되는 베이스(400); 상기 프레임(100)의 측면 및 상측에 결합되는 커버(500); 및 상기 프레임(100)과 베이스(400) 사이 및 상기 프레임(100)과 커버(500) 사이에 각각 개재되어 밀착되는 실링부재(600); 를 포함하여 이루어질 수 있다.
우선, 프레임(100)은 전체적인 골격을 형성하며, 수평 및 수직으로 배치되는 다수개의 지지부재들이 서로 연결되어 육면체 형태의 프레임(100)으로 형성될 수 있다. 이때, 지지부재(110)들은 각형의 파이프 또는 봉으로 형성될 수 있으며, 사각형의 파이프 형태로 형성될 수 있다.
연결 조인트(200)는 지지부재(110)들이 연결되어 결합되도록 하는 부분으로, 지지부재(110)들은 모서리 부분에 배치되는 연결 조인트(200)와 결합된다. 즉, 연결 조인트(200)는 3방향에서 지지부재(110)와 결합될 수 있다.
실링 테이프(300)는 밀폐되도록 할 수 있는 테이프로써, 지지부재(110)와 연결 조인트(200)가 결합되어 서로 접하는 부분에 부착되되, 프레임(100)의 바깥쪽을 향하는 면을 감싸도록 부착된다. 즉, 프레임(100)을 형성하는 지지부재(110)들과 연결 조인트(200)가 만나는 연결부위인 틈새가 밀폐되도록 하기위해 실링 테이프(300)가 프레임(100)의 바깥쪽을 향하는 면에 부착된다. 또한, 도시된 바와 같이 측면에 수직방향 지지부재(110)와 수평방향 지재부재(110)가 연결되도록 형성되는 구조에서는 지지부재(110)들이 만나 접하는 부분에도 프레임(100)의 바깥쪽을 향하는 면에 실링 테이프(300)가 부착된다.
베이스(400)는 프레임(100)의 하측에 결합되며, 챔버의 바닥면을 이루도록 강성이 큰 두꺼운 판재로 형성될 수 있다.
커버(500)는 프레임(100)의 측면 및 상측에 결합되며, 챔버를 밀폐할 수 있도록 얇은 판재로 형성될 수 있다.
이때, 상기 프레임(100)과 베이스(400) 사이에는 실링부재(600)가 개재된 후 체결수단에 의해 프레임(100)에 베이스(400)가 결합되어 실링부재(600)가 밀착된다. 마찬가지로 프레임(100)과 커버(500)들 사이에도 실링부재(600)가 개재된 후 체결수단에 의해 결합되어 실링부재(600)가 밀착될 수 있다. 이때, 베이스(400)는 상면의 둘레에 홈이 형성되어 홈에 실링부재(600)가 삽입될 수 있다.
그리하여 지지부재(110)와 조인트(200)가 만나 접하는 부분이 실링 테이프(300)에 의해 밀폐된 후, 실링부재(600)에 의해 프레임(100)과 베이스(400) 사이가 밀폐되고 실링부재(600)에 의해 프레임(100)과 커버(500)들 사이가 밀폐되도록 조립식으로 챔버(1000)가 형성될 수 있다.
이와 같이 본 발명의 조립식 챔버는, 반도체나 OLED의 제조를 위한 챔버 또는 실험을 위한 글러브박스 등의 챔버를 내부가 밀폐되도록 형성하기 용이하며, 분해 및 조립이 용이하여 제작, 운반, 설치 및 유지보수 등이 용이하여 설치 기간 단축 및 공정 라인의 생산성을 향상시킬 수 있는 장점이 있다.
이하에서는 본 발명의 다양한 실시예에 대해 설명한다.
먼저, 상기 프레임(100)을 형성하는 다수개의 지지부재(110)들은 알루미늄 프로파일로 형성되며, 상기 지재부재(110)들은 상기 프레임(100)의 바깥쪽을 향하는 면이 평면으로 형성될 수 있다.
이는 지지부재(110)들이 강성이 크면서 무게는 가벼운 사각형 단면의 알루미늄 프로파일로 형성되되, 도 6과 같이 프레임(100)의 바깥쪽을 향하는 면인 두 면이 평면으로 형성되어, 지지부재(110)와 연결 조인트(200)가 만나 접하는 부분이 실링 테이프(300)로 밀폐되기 용이하도록 할 수 있다. 즉, 일반적으로 알루미늄 프로파일은 무게를 가볍게 하면서 강성을 크게 할 수 있도록 단면 구조상에서 내부가 일부 비어있는 형태로 형성되고 바깥쪽 면은 조립을 위해 홈이 있는 형태로 형성되므로, 두 면은 실링 테이프(300)를 부착하여 밀폐가 용이하도록 평면으로 형성되고 나머지 두면은 홈이 형성되어 지지부재(110)들 끼리 연결하여 결합하기 용이하고 지지부재(110)에 베이스 및 커버들을 용이하게 결합하도록 형성될 수 있다.
이때, 상기 지지부재(110)들은 프레임(100)의 안쪽을 향하는 면에 상기 지지부재의 길이방향을 따라 홈이 형성되고, 상기 지지부재(110)들의 홈에는 고정판(120)의 일측이 삽입되어 결합되며, 상기 고정판(120)의 타측 일면에는 스페이서(130)가 결합되어 상기 베이스(400) 및 커버(500)가 상기 고정판(120) 또는 스페이서(130)에 결합될 수 있다.
이는, 도 6 및 도 7과 같이 알루미늄 프로파일로 형성되는 지지부재(110)의 두 면은 길이방향을 따라 길게 홈이 형성되어 이 홈에 고정판(120)의 일측이 삽입되어 고정판(120)이 지지부재(110)에 결합되고, 고정판(120)의 타측 일면인 프레임(100)의 바깥쪽을 향하는 고정판(120)의 타측 일면에는 스페이서(130)가 결합되어 베이스(400) 및 커버(500)들이 고정판(120) 또는 스페이서(130)에 결합되는 것이다. 보다 상세하게는 베이스(400)는 상면에 결합공이 형성되고 고정판(120) 및 스페이서(130)에 관통공이 형성되어 상측에서 체결수단에 의해 고정판(120), 스페이서(130) 및 베이스(400)가 결합될 수 있다. 그리고 커버(500)는 관통공이 형성되고 고정판(120)에 스페이서(130)가 체결수단에 결합된 상태에서 커버(500)의 바깥쪽에서 체결수단을 이용해 스페이서(130)에 커버(500)가 고정되도록 할 수 있다. 이때, 스페이서(130)는 고정판(120)에 용접되어 일체형으로 형성될 수도 있다.
그리하여 알루미늄 프로파일로 형성되는 지지부재(110)들에 별도의 결합공을 형성하지 않고, 체결수단을 결합하기 위한 고정판(120) 및 스페이서(130)를 이용해 베이스(400) 및 커버(500)들을 프레임(100)에 결합할 수 있다.
또한, 상기 베이스(400)는 상기 프레임(100)의 안쪽에서 체결수단에 의해 상기 고정판(120) 및 스페이서(130)와 결합될 수 있다. 즉, 도 9 및 도 10과 같이 베이스(400)는 바닥을 형성하며 큰 강성을 갖도록 두꺼운 판재로 형성될 수 있으므로, 베이스(400)를 놓고 그 위에 프레임(100)과 연결 조인트(200)를 조립한 조립체를 올려놓은 상태에서 고정판(120), 스페이서(130) 및 베이스(400)가 체결수단에 의해 결합되어 고정되도록 할 수 있다. 이때, 베이스(400)는 체결수단이 결합되기 위한 결합공이 베이스(400)의 바닥면을 관통하지 않도록 형성하여 밀폐되도록 하는 것이 바람직하다.
또한, 상기 커버(500)는 상기 프레임(100)의 바깥쪽에서 체결수단에 의해 상기 고정판(120) 및 스페이서(130)와 결합될 수 있다. 즉, 도 6과 같이 커버(500)들은 프레임(100)의 바깥쪽에서 체결수단을 이용해 프레임(100)에 결합된 고정판(120) 및 스페이서(130)에 결합할 수 있도록 하여, 커버(500)의 설치, 유지보수를 위한 분해 및 조립이 용이하도록 할 수 있다.
또한, 상기 실링부재(600)는 상기 커버(500)의 테두리 부분을 감싸도록 단면이 "ㄷ"자형으로 형성되고, 상기 실링부재(600)의 외측을 감싸도록 실링부재 커버(610)가 결합되며, 체결수단이 상기 실링부재 커버(610)를 관통하여 상기 스페이서(130)에 고정되도록 할 수 있다.
즉, 실링부재(600)가 커버(500)의 테두리 부분을 감싸도록 형성되어 커버(500)의 테두리가 실링부재(600)에 삽입된 형태로 결합된 후 실링부재 커버(610)를 그 외측에 결합하여 실링부재(600)가 실링부재 커버(610)에 의해 감싸지도록 결합할 수 있으며, 실링부재 커버(610)에는 관통공이 형성되어 체결수단이 관통공을 통해 스페이서(130)에 결합되도록 함으로써 실링부재 커버(610) 및 커버(500)가 스페이서(130)에 결합되어 고정될 수 있다.
이에 따라 챔버 내부의 압력 또는 진공 등에 의해 실링부재(600)가 이탈되거나 조립 시 이탈되는 것이 방지될 수 있다.
또한, 상기 베이스(400)는 다수개의 베이스 부재(410)로 형성되어 상기 다수개의 베이스 부재(410)들이 결합되며, 상기 베이스 부재(410)들은 서로 결합되는 단부가 단차지게 형성되어 겹쳐져 체결수단에 의해 결합되며, 상기 베이스 부재(410)들이 접하는 부분의 상면에는 안치홈(420)이 형성되어 상기 안치홈(420)에 실링 테이프(300)가 부착되고 상기 실링 테이프(300)의 상측에 덮개(430)가 결합될 수 있다.
이는 베이스(400)가 두꺼운 판재로 형성될 경우 하나의 큰 판으로 제작 및 설치가 어려우므로, 다수개의 베이스 부재(410)로 나누어 형성한 후 이들을 조립하여 사용할 수 있도록 하는 것이다. 일례로 도 9 및 도 10과 같이 베이스(400)가 두 개의 베이스 부재(410)로 형성되어 조립되는 경우, 두 개의 베이스 부재(410)가 겹쳐질 수 있도록 접하는 부분을 하나는 "ㄱ"자로 단차지게 형성하고 다른 하나는 "ㄴ"자로 단차지게 형성하여 서로 단차진 부분을 겹친 후 체결수단으로 결합할 수 있다. 이때 단차진 하측에 결합되는 부분은 결합공이 베이스 부재(410)의 바닥면을 관통하지 않도록 형성하여 밀폐되도록 할 수 있으며, 베이스 부재(410)들이 만나 접하는 부분에는 상면에 안치홈(420)이 형성되어 안치홈(420)의 바닥면인 베이스 부재(410)들이 접하는 부분에 실링 테이프(300)를 부착한 후 그 상측에 덮개(430)를 결합하여 베이스 부재(410)들 간의 연결 부분이 밀폐되도록 할 수 있다.
또한, 상기 지지부재(110)들의 단부에는 결합공이 형성되고, 상기 연결 조인트(200)는 3방향으로 연통된 관통공(210)이 형성되며 상기 관통공(210)의 내측에 체결수단의 머리가 걸리도록 단턱(220)이 형성될 수 있다.
즉, 도 7 및 도 8과 같이 연결 조인트(200)는 3방향에서 지지부재(110)들이 결합되어야 하므로, 프레임(100)의 바깥쪽을 향하는 연결 조인트의 3면에 관통공(210)을 형성하여 관통공(210)들이 서로 연통되고, 연통된 관통공(210)의 내측에 단턱(220)이 형성되어 지지부재(110)의 단부에 결합되는 체결수단의 머리 부분이 단턱(220)에 걸릴 수 있도록 형성될 수 있다.
또한, 상기 연결 조인트(200)에는 결합공(230)이 형성되고 상기 커버(500)의 모서리부에는 관통공(510)이 형성되어, 상기 커버(500)의 모서리부는 체결수단에 의해 상기 연결 조인트(200)에 밀착되도록 결합될 수 있다.
즉, 커버(500)의 모서리부가 연결 조인트(200)에 체결수단에 의해 결합되도록 하여 모서리 부분에 위치한 실링부재(600)가 밀착되도록 함으로써 챔버의 밀폐를 확실하게 할 수 있으며, 체결수단은 커버(500)의 관통공(510)을 통해 연결 조인트(200)의 결합공(230)에 체결될 수 있다.
또한, 상기 스페이서(130) 및 연결 조인트(200)는 상기 커버(500) 및 베이스(400)와 접하는 면에 안치홈이 형성되어, 상기 안치홈에 오링(140,240)이 삽입될 수 있다. 즉, 도 6 및 도 7과 같이 체결수단의 결합에 의해 체결수단 주변의 틈을 통해 기밀이 누설되지 않도록 베이스(400) 및 커버(500)와 접하는 스페이서(130)의 면에 오링(140)이 밀착되도록 하고, 베이스(400) 및 커버(500)와 접하는 연결 조인트(200)의 면에 오링(240)이 밀착되도록 하여 기밀을 유지할 수 있다.
또한, 커버(500)는 도시된 바와 같이 다수개가 조립된 형태로 형성되어 프레임(100)에 결합되도록 할 수 있으며, 커버(500)에는 내부 확인을 위한 투명창이 조립된 형태로 형성될 수도 있다. 그리고 커버(500)에는 챔버 내부로 가스를 공급 또는 내부의 가스를 배출할 수 있도록 배관 연결을 위한 연결구가 형성될 수 있으며, 연결구 역시 기밀이 유지되도록 패킹 등을 이용해 커버에 결합될 수 있다.
또한, 상기 지지부재(110)와 연결 조인트(200)가 접하는 면 사이를 밀폐시키기 위해 상기 지지부재(110)와 연결 조인트(200) 사이에 실링부재를 개재하거나 도포하지 않고, 상기 지지부재(110)와 연결 조인트(200)가 접하는 부분에 상기 프레임(100)의 바깥쪽을 향하는 면을 감싸도록 실링 테이프(300)를 부착하여 밀폐되도록 할 수 있다.
즉, 지지부재(110) 단부의 면과 연결 조인트(200)가 접하는 면 사이의 틈이 밀폐되도록 하기 위해 별도의 실링부재를 개재하거나 도포하지 않아 조립이 용이하며, 특히 에폭시 수지 등의 실링부재를 도포하지 않을 수 있어 분해 및 조립이 용이할 수 있다. 특히 알루미늄 프로파일은 단면에 많은 구멍이 형성되어 있어 오링과 같은 실링부재를 개재하여 밀폐되도록 하기 어려우므로, 지지부재(110)가 알루미늄 프로파일로 형성되는 경우에 실링 테이프(300)를 사용하여 밀폐되도록 하면 지지부재(110)와 연결 조인트(200)를 결합한 후 간단하게 연결부의 밀폐가 가능하다.
본 발명은 상기한 실시예에 한정되지 아니하며, 적용범위가 다양함은 물론이고, 청구범위에서 청구하는 본 발명의 요지를 벗어남이 없이 당해 본 발명이 속하는 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 누구든지 다양한 변형 실시가 가능한 것은 물론이다.
1000 : 조립식 챔버
100 : 프레임 110 : 지지부재
120 : 고정판 130 : 스페이서
140 : 오링
200 : 연결 조인트
210 : 관통공 220 : 단턱
230 : 결합공 240 : 오링
300 : 실링 테이프
400 : 베이스
410 : 베이스 부재 420 : 안치홈
430 : 덮개
500 : 커버 510 : 관통공
600 : 실링부재
610 : 실링부재 커버

Claims (11)

  1. 다수개의 지지부재들이 서로 연결되어 골격을 형성하는 프레임;
    상기 프레임의 모서리 부분에 배치되어, 상기 지지부재들의 단부와 결합되는 연결 조인트;
    상기 지지부재들과 연결 조인트가 접하는 부분에 상기 프레임의 바깥쪽을 향하는 면을 감싸도록 부착되는 실링 테이프;
    상기 프레임의 하측에 결합되는 베이스;
    상기 프레임의 측면 및 상측에 결합되는 커버; 및
    상기 프레임과 베이스 사이 및 상기 프레임과 커버 사이에 각각 개재되어 밀착되는 실링부재; 를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 조립식 챔버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 프레임을 형성하는 다수개의 지지부재들은 알루미늄 프로파일로 형성되며, 상기 지재부재들은 상기 프레임의 바깥쪽을 향하는 면이 평면으로 형성되는 것을 특징으로 하는 조립식 챔버.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 지지부재들은 프레임의 안쪽을 향하는 면에 상기 지지부재의 길이방향을 따라 홈이 형성되고, 상기 지지부재들의 홈에는 고정판의 일측이 삽입되어 결합되며, 상기 고정판의 타측 일면에는 스페이서가 결합되어 상기 베이스 및 커버가 상기 고정판 또는 스페이서에 결합되는 것을 특징으로 하는 조립식 챔버.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 베이스는 상기 프레임의 안쪽에서 체결수단에 의해 상기 고정판 및 스페이서와 결합되는 것을 특징으로 하는 조립식 챔버.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 커버는 상기 프레임의 바깥쪽에서 체결수단에 의해 상기 고정판 및 스페이서와 결합되는 것을 특징으로 하는 조립식 챔버.
  6. 제3항에 있어서,
    상기 실링부재는 상기 커버의 테두리 부분을 감싸도록 단면이 "ㄷ"자형으로 형성되고, 상기 실링부재의 외측을 감싸도록 실링부재 커버가 결합되며, 체결수단이 상기 실링부재 커버를 관통하여 상기 스페이서에 고정되는 것을 특징으로 하는 조립식 챔버.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 베이스는 다수개의 베이스 부재로 형성되어 상기 다수개의 베이스 부재들이 결합되며, 상기 베이스 부재들은 서로 결합되는 단부가 단차지게 형성되어 겹쳐져 체결수단에 의해 결합되며, 상기 베이스 부재들이 접하는 부분의 상면에는 안치홈이 형성되어 상기 안치홈에 실링 테이프가 부착되고 상기 실링 테이프의 상측에 덮개가 결합되는 것을 특징으로 하는 조립식 챔버.
  8. 제1항에 있어서,
    상기 지지부재들의 단부에는 결합공이 형성되고, 상기 연결 조인트는 3방향으로 연통된 관통공이 형성되며 상기 관통공의 내측에 체결수단의 머리가 걸리도록 단턱이 형성되는 것을 특징으로 하는 조립식 챔버.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 연결 조인트에는 결합공이 형성되고 상기 커버의 모서리부에는 관통공이 형성되어, 상기 커버의 모서리부는 체결수단에 의해 상기 연결 조인트에 밀착되도록 결합되는 것을 특징으로 하는 조립식 챔버.
  10. 제3항에 있어서,
    상기 스페이서 및 연결 조인트는 상기 커버 및 베이스와 접하는 면에 안치홈이 형성되어, 상기 안치홈에 오링이 삽입되는 것을 특징으로 하는 조립식 챔버.
  11. 제1항에 있어서,
    상기 지지부재와 연결 조인트가 접하는 면 사이를 밀폐시키기 위해 상기 지지부재와 연결 조인트 사이에 실링부재를 개재하거나 도포하지 않고, 상기 지지부재와 연결 조인트가 접하는 부분에 상기 프레임의 바깥쪽을 향하는 면을 감싸도록 실링 테이프를 부착하여 밀폐되도록 하는 것을 특징으로 하는 조립식 챔버.
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