KR20070079745A - 기판의 진공처리장치용 이송챔버 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판의 진공처리장치용 이송챔버에 관한 것으로서, 본 발명에 의한 기판의 진공처리장치용 이송챔버는 본 발명에 의한 기판의 진공처리장치용 이송챔버는 상기 이송챔버의 덮개는 위로 돌출되도록 볼록하게 형성되는 것을 특징으로 한다. 특히, 본 발명의 이송챔버는 덮개를 라운드지게 형성함으로써, 전체적으로 돔(dome)형상으로 하는 것이 바람직하다.

본 발명에 따르면, 이송챔버의 상면에 형성되는 덮개를 위로 돌출되도록 볼록하게 형성함으로써, 내부에 작용하는 진공압력을 효율적으로 분산시킬 수 있다. 따라서 덮개의 두께를 얇게 제작할 수 있기 때문에 제작비용이 절감되고, 챔버 전체의 중량도 작아지기 때문에 운반 및 유지 보수에 유리한 효과가 있다. 이송챔버의 측벽 또한 수평단면이 원형 또는 타원형으로 형성함으로써 동일한 효과를 얻을 수 있다.

이송챔버. 진공압력. 덮개(Lid). 돔(dome).

Description

기판의 진공처리장치용 이송챔버{Transfer chamber for vacuum processing apparatus of substrate}

도 1 내지 도 3은 각각 종래 이송챔버의 분리사시도, 사시도 및 평면도이다.

도 4는 도 1에 도시된 이송챔버의 사용상태 단면도이다.

도 5 내지 도 7은 본 발명에 의한 이송챔버의 사시도, 평면도 및 분리사시도이다.

도 8은 도 5에 도시된 이송챔버의 사용상태 단면도이다.

**도면의 주요부분에 대한 부호의 설명**

1: 이송챔버 10: 중앙챔버

11: 측벽 12: 덮개

13: 플랜지 14: 게이트

20: 사이드 챔버 21: 측벽

22: 덮개 23: 플랜지

24, 25: 게이트

본 발명은 기판의 진공처리장치용 이송챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 덮개 또는 측벽에 작용하는 진공압력을 효율적으로 분산시킬 수 있고, 또한 다수개로 분리형성한 후 이들을 결합함으로써 구성되는 진공처리장치용 이송챔버에 관한 것이다.

최근 정보 통신 기술의 비약적인 발전과 시장의 팽창에 따라 디스플레이 소자로 평판표시소자(Flat Panel Display)가 각광받고 있다. 이러한 평판표시소자로는 액정 표시소자(Liquid Crystal Display), 플라즈마 디스플레이 소자(Plasma Display Panel), 유기 발광 소자(Organic Light Emitting Diodes) 등이 대표적이다.

이 중에서 액정표시소자를 제조하기 위하여는 유리 기판상에 유전체 물질 등을 박막으로 증착하는 증착공정, 감광성 물질을 사용하여 이들 박막 중 선택된 영역을 노출 또는 은폐시키는 포토리소그라피 (Photolithography)공정, 선택된 영역의 박막을 제거하여 목적하는 대로 패터닝(Patterning)하는 식각공정, 잔류물을 제거하기 위한 세정공정 등을 수차례 반복하여야 하는데, 이들 각 공정은 해당 공정을 위해 최적의 환경이 조성된 챔버 내부에서 진행된다.

이러한 챔버는 공정순으로 배치될 수도 있고, 다수의 챔버가 이송챔버를 중심으로 결합되는 클러스터 형태로 배치될 수도 있다.

종래 방식의 클러스터형 진공처리장치의 구성을 설명보면, 이송챔버를 중심으로 다수개의 공정챔버와 로드락챔버가 연결되며, 로드락챔버의 일측면은 다수개의 기판을 적재하는 카세트와 연결되어 있다.

위와 같이 하나의 이송챔버를 통해서 다수의 공정챔버로 기판을 반입 및 반출하기 때문에, 이송챔버는 공정챔버보다 상대적으로 부피가 클 수밖에 없는 것이이며, 기판이 대형화되는 추세에 따라 이러한 현상은 필연적으로 일어나고 있다.

부피가 큰 대형 이송챔버는 제작하기도 힘들 뿐만 아니라 제작된 이송챔버의 운반, 현장에서의 레이아웃, 유지 보수 등 전반적인 문제점들이 발생되었다.

따라서 종래에도 이러한 문제점을 극복하기 위하여 많은 연구가 이루어졌으며, 도 1 내지 도 3을 참조하여 종래의 개선된 이송챔버를 설명한다.

도 1에 도시된 바와 같이, 개선된 이송챔버(100)는 수평단면이 직사각형인 측벽(111)의 상면에 평판형 덮개(Lid, 112)가 결합된 중앙챔버(110)와, 수평단면이 삼각형인 측벽(121)의 상면에 역시 평판형 덮개(122)가 결합된 사이드 챔버(120)를 별도로 분리형성한다.

이와 같이 분리형성된 중앙챔버(110)와 2개의 사이드 챔버(120)를 현장으로 운반한 후, 도 2에 도시된 바와 같이, 상기 중앙챔버(110)를 중심으로, 그의 양측에 사이드 챔버(120)를 결합시킴으로써, 전체적으로 평면이 6각형인 이송챔버(도 3 참조)를 구성하는 것이다. 상기 이송챔버(100)의 각 측면에는 로드락챔버와 공정챔버가 다수개 결합된다.

그러나 위와 같이 구성된 종래의 개선된 이송챔버(100)는 중앙챔버(110)와 사이드챔버(120)의 상면에 형성된 덮개(112, 122)는 평판형의 플레이트로 형성되기 때문에, 도 4에 도시된 바와 같이 측벽과 결합되는 가장자리보다 중앙부위에 진공압력이 집중되게 된다. 따라서 진공압력이 집중되는 덮개(112)의 중앙부위에 휨현상이 발생할 우려가 있으며, 심한 경우 모서리부분에 크랙이 발생되기도 한다.

또한 중앙챔버(110)와 사이드 챔버(120)의 수평단면이 다각형으로 형성된다. 다시 말하면 챔버의 측벽이 평판형 플레이트가 다수개 부착되어 모서리가 다수개 형성될 수밖에 없는 평면구조인 것이다. 따라서 내부 환경이 고진공 분위기인 경우에는 진공압력에 의해 평판형 플레이트인 측벽도 휨현상이 발생된다.

이를 극복하기 위하여는 챔버의 덮개(112, 122) 및 측벽(111, 121)의 두께(t)가 필요 이상으로 두꺼워지거나 보강재를 추가 해야 하고, 이는 제작비용의 상승을 초래하게 된다.

본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 덮개 또는 측벽에 작용하는 진공압력을 효율적으로 분산시킬 수 있고, 또한 다수개로 분리형성한 후 이들을 결합함으로써 구성되는 진공처리장치용 이송챔버를 제공함에 있다.

위와 같은 기술적 과제를 해결하기 위하여 본 발명에 의한 기판의 진공처리 장치용 이송챔버는 상기 이송챔버의 덮개는 위로 돌출되도록 볼록하게 형성되는 것을 특징으로 한다. 특히, 본 발명의 이송챔버는 덮개를 라운드지게 형성함으로써, 입체적으로는 돔(dome)형상 또는 반구형상으로 하는 것이 바람직하다. 그러나 이와 달리 상기 덮개를 라운드가 아닌 경사면을 가지면서 위로 볼록하게 형성할 수도 있다.

또한 상기 이송챔버의 측벽은 수평단면이 원형 또는 타원형으로 형성되는 것이 바람직하며, 상기 이송챔버의 측벽을 일체가 아닌 적어도 2개 이상으로 분리형성한 후, 이들을 결합하여 구성되는 것이 더욱 바람직하다.

특히, 측벽을 다수개로 분리형성하는 경우에 있어서, 상기 덮개는 일체로 형성될 수도 있고, 다수개로 분리형성한 후, 결합하여 이송챔버를 구성할 수도 있다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 구체적으로 설명한다.

도 5 내지 도 7을 참조하면, 본 발명에 따른 이송챔버(1)를 구성함에 있어, 상기 측벽(11, 21)은 전체적으로 수평단면을 원형으로 형성하고, 상기 덮개(12, 22)는 소정의 곡률을 가지면서 위로 돌출되도록 볼록하게 형성된다. 따라서 이송챔버(1)는 전체적으로 돔(dome)형상으로 이루어진다.

특히, 이러한 돔형상의 이송챔버(1)를 형성함에 있어 중앙챔버(10)와, 상기 중앙챔버(10)의 양측에 결합되는 2개의 사이드 챔버(20)로 분할형성한 후, 결합시킴으로써 구성됨을 알 수 있다. 상기 중앙챔버(10)와 사이드 챔버(20)는 플랜지 (13, 23)를 이용하여 결합된다. 또한 상기 중앙챔버(10) 또는 사이드 챔버(20)를 구성함에 있어, 각각 분리된 측벽(11, 21)을 형성한 다음, 상기 측벽(11, 21)에 역시 분리형성된 덮개(12, 22)를 결합하여 구성됨을 알 수 있다.

상기 측벽(11, 21)에는 다수개의 로드락 및 공정챔버가 배치되고, 게이트(14, 24, 25)를 통해 기판의 반입 및 반송이 이루어진다.

도 8을 참조하여 본 실시예의 작용을 설명한다.

상술한 바와 같이, 본 실시예에 의한 이송챔버(1)는 덮개(12)가 돔형으로 형성되기 때문에 평판형의 덮개와 달리 진공압력이 덮개(12)의 중앙부위에 집중되지 않는다. 따라서 이송챔버(1)의 내부에 작용하는 진공압력을 효율적으로 분산시킬 수 있으므로, 덮개(12)의 휨현상이 발생되지 않는다.

챔버의 측벽(11, 21) 또한 수평단면이 원형으로 형성되기 때문에 덮개(12, 22)와 마찬가지로 진공압력의 분산효과가 있다.

또한 상기 실시예는 챔버(1)의 측벽(11, 21)과 덮개(12, 22)를 3개로 분할 형성되지만, 이와 달리, 챔버의 측벽은 분할 형성하되, 덮개는 일체로 형성할 수 있다.

본 발명에 따르면, 이송챔버의 상면에 형성되는 덮개를 돔형상 등과 같이 위로 돌출되도록 볼록하게 형성함으로써, 내부에 작용하는 진공압력을 효율적으로 분산시킬 수 있다. 그 결과, 진공분위기에서 종래기술인 평판형의 덮개와 같이 휨현 상이 발생되지 않는다. 따라서, 덮개의 두께를 얇게 제작할 수 있기 때문에 제작비용이 절감되고, 챔버의 전체 중량이 감소하기 때문에 운반 및 유지 보수에 유리한 효과가 있다. 이송챔버의 측벽 또한 원통형으로 형성함으로써 동일한 효과를 얻을 수 있다.

또한 이송챔버의 측벽 또는 덮개를 다수개로 분리 형성한 후, 이들을 결합하여 구성되기 때문에 제작, 운반 및 유지 보수가 매우 용이하다.

Claims (5)

1. 기판의 진공처리장치용 이송챔버에 있어서,

   상기 이송챔버의 덮개는 위로 돌출되도록 볼록하게 형성되는 것을 특징으로 하는 이송챔버.
2. 제 1 항에 있어서,

   상기 이송챔버의 덮개는 라운드지게 형성되는 것을 특징으로 하는 이송챔버.
3. 제 1 항 또는 제 2 항에 있어서,

   상기 이송챔버의 측벽은 수평단면이 원형 또는 타원형으로 형성되는 것을 특징으로 하는 이송챔버.
4. 제 3 항에 있어서,

   상기 이송챔버의 측벽은 적어도 2개 이상으로 분리형성한 후, 이들을 결합하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이송챔버.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 덮개는 분리형성된 상기 측벽들에 대응하도록 적어도 2개 이상으로 분리형성한 후, 이들을 결합하여 구성되는 것을 특징으로 하는 이송챔버.

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