CN112909067A - 显示面板及掩膜版组件 - Google Patents

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Abstract

本发明提供一种显示面板及掩膜版组件,显示面板包括:基板;若干像素单元,若干像素单元位于所述基板的一侧,每一像素单元包括第一子像素、第二子像素和第三子像素,第一子像素、第二子像素和第三子像素任意两两相邻,围绕第一子像素设有第一虚拟轮廓,第一虚拟轮廓对应于制作第一子像素的第一掩膜版的第一蒸镀开口的边缘;围绕第二子像素设有第二虚拟轮廓,第二虚拟轮廓对应于制作第二子像素的第二掩膜版的第二蒸镀开口的边缘;围绕第三子像素设有第三虚拟轮廓,第三虚拟轮廓对应于制作第三子像素的第三掩膜版的第三蒸镀开口的边缘;第一虚拟轮廓、第二虚拟轮廓和第三虚拟轮廓之间存在非交叠区;以及支撑物,其位于所述非交叠区中。

Description

显示面板及掩膜版组件
技术领域
本发明涉及显示技术领域,特别是涉及一种显示面板及掩膜版组件。
背景技术
有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode,OLED)显示技术是一种极具发展前景的显示技术,利用该技术制作的显示面板具有自发光、超轻薄、宽视角、响应速度快、低功耗及可实现柔性显示等优点,被广泛应用于显示领域。
目前的OLED显示面板的彩色化方法有许多种,现在较为成熟并大量量产的OLED彩色化技术是OLED蒸镀技术,具体是是利用蒸镀成膜技术透过高精细金属掩膜版(FineMetal Mask,FMM)在array(阵列)基板上相应的子像素位置形成有机发光元器件,上述高精细金属掩膜版也简称为蒸镀掩膜版。
在使用FMM(Fine Metal Mask)的蒸镀方式中为防止FMM接触蒸镀膜层导致的压伤性暗斑 (dark pixel) ,通常需要在像素定义层上设置支撑物(SPC、Spacer PDL)。通过支撑物使得FMM和有机发光器件始终维持一定的距离 (Gap) ,进而避免上述压伤性暗斑的形成。但是,FMM的蒸镀开口(slot)的边缘与支撑物对准,蒸镀开口(slot)的边缘往往较尖锐,其与支撑物对准的过程中造成支撑物上部(远离基板的部分)的蒸镀膜层压伤,形成蒸镀异物。后续在进行薄膜封装制程时,沉积薄膜封装的无机层(CVD1层)时,由于蒸镀异物,导致无机层封装失效。进一步,在后期高温存储实验中,在无机层封装失效的位置发生暗斑。
发明内容
本发明提供一种显示面板及掩膜版组件,克服现有的显示面板制作过程中因掩膜版上的蒸镀开口的边缘接触支撑物上部的蒸镀膜层,在后续的高温储存实验中,接触位置因异物出现暗斑问题。
为解决上述问题,本发明技术方案提供了一种显示面板,所述显示面板包括:基板;若干像素单元,所述若干像素单元位于所述基板的一侧,每一像素单元包括第一子像素、第二子像素和第三子像素,所述第一子像素、所述第二子像素和所述第三子像素任意两两相邻,围绕所述第一子像素设有第一虚拟轮廓,所述第一虚拟轮廓对应于制作所述第一子像素的第一掩膜版的第一蒸镀开口的边缘;围绕所述第二子像素设有第二虚拟轮廓,所述第二虚拟轮廓对应于制作所述第二子像素的第二掩膜版的第二蒸镀开口的边缘;围绕所述第三子像素设有第三虚拟轮廓,所述第三虚拟轮廓对应于制作所述第三子像素的第三掩膜版的第三蒸镀开口的边缘;所述第一虚拟轮廓、所述第二虚拟轮廓和所述第三虚拟轮廓之间存在非交叠区;以及支撑物,所述支撑物位于所述非交叠区中。
作为可选的技术方案,每个像素单元中所述第一子像素、所述第二子像素和所述第三子像素呈品字型排列;和/或,若干像素单元中的若干所述第一子像素呈品字型排列,若干像素单元中的若干所述第二子像素呈品字型排列,且若干像素单元中的若干所述第三子像素呈品字型排列。
作为可选的技术方案,所述第一虚拟轮廓、所述第二虚拟轮廓和所述第三虚拟轮廓中中至少两个之间存在一处交叠区。
作为可选的技术方案,沿第一方向延伸的每一列中任意相邻的两个第一子像素之间具有在所述第一方向上的第一垂直距离;沿第二方向排布的相邻两列中的任意两个第一子像素之间具有在所述第一方向上的第二垂直距离;所述第一垂直距离不等于两倍的第二垂直距离;其中,该第一方向垂直于所述第二方向。
作为可选的技术方案,还包括像素定义层,所述像素定义层设于所述基板的一侧,所述像素定义层上设有相互间隔的若干第一像素开口、若干第二像素开口和若干第三像素开口,每个第一子像素位于每个第一像素开口中,每个第二子像素位于每个第二像素开口中,每个第三子像素位于每个第三像素开口中,其中,所述支撑物设置于所述像素定义层远离所述基板的一侧,且所述支撑物位于所述像素定义层上对应所述非交叠区的像素定义单元上。
作为可选的技术方案,所述第一像素开口的形状、所述第二像素开口的形状、所述第三像素开口的形状分别为不包括直角结构的多边形。
作为可选的技术方案,所述第一像素开口的形状、所述第二像素开口的形状、所述第三像素开口的形状分别为平行四边形。
本发明还提供一种掩膜版组件,所述掩膜版组件用于制作显示面板的基板上的若干像素单元,每个像素单元包括第一子像素、第二子像素和第三子像素,所述第一子像素、所述第二子像素和所述第三子像素任意两两相邻;所述掩膜版组件包括:第一掩膜版,所述第一掩膜版包括用于制作所述第一子像素的第一蒸镀开口;第二掩膜版,所述第二掩膜版包括用于制作所述第二子像素的第二蒸镀开口;以及第三掩膜版,所述第三掩膜版包括用于制作所述第三子像素的第三蒸镀开口;其中,所述第一蒸镀开口投影在所述基板形成第一虚拟轮廓,所述第一虚拟轮廓围绕所述第一子像素设置;所述第二蒸镀开口投影在所述基板形成第二虚拟轮廓,所述第二虚拟轮廓围绕所述第二子像素设置;所述第三蒸镀开口投影在所述基板形成第三虚拟轮廓,所述第三虚拟轮廓围绕述第三子像素设置;所述第一虚拟轮廓、所述第二虚拟轮廓和所述第三虚拟轮廓之间存在非交叠区;所述显示面板上的支撑物位于所述非交叠区中。
作为可选的技术方案,所述第一蒸镀开口、所述第二蒸镀开口和所述第三蒸镀开口分别为平行四边形;且所述第一掩膜版上的若干所述第一蒸镀开口呈品字型排列,所述第二掩膜版上的若干所述第二蒸镀开口呈品字型排列以及所述第三掩膜版上的若干所述第三蒸镀开口呈品字型排列。
作为可选的技术方案,所述第一虚拟轮廓、所述第二虚拟轮廓和所述第三虚拟轮廓中至少两个之间存在一处交叠区。
与现有技术相比,本发明提供一种显示面板及掩膜版组件,控制掩膜版组件中的第一蒸镀开口、第二蒸镀开口、第三蒸镀开口围绕对应的两两相邻的第一子像素、第二子像素、第三子像素处形成的第一虚拟轮廓、第二虚拟轮廓、第三虚拟轮廓之间存在非交叠区,将支撑柱放置于非交叠区中,避免支撑物与第一蒸镀开口、第二蒸镀开口、第三蒸镀开口的边缘接触,克服因掩膜版的蒸镀开口的边缘和支撑物上的蒸镀膜层接触导致后续高温储存实验中,上述接触位置蒸镀膜层损伤异物导致的像素暗斑问题,提高了制程良率。
以下结合附图和具体实施例对本发明进行详细描述,但不作为对本发明的限定。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案,下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图是本发明的一些实施方式,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为现有的显示面板制作发光子像素的剖面示意图。
图2为图1中虚线处的放大示意图。
图3为图1中显示面板的像素定义层及不同颜色的子像素排列的俯视图。
图4为制作图3中多个不同颜色发光子像素的掩膜版组件的俯视图。
图5为图4中掩膜版组件中多个掩膜版投影在像素定义层上的示意图。
图6为本发明的显示面板制作发光子像素的剖面示意图。
图7为本发明一实施例中显示面板上的不同颜色的子像素排列的示意图。
图8为本发明一实施例中显示面板上的像素定义层及不同颜色的子像素排列的俯视图。
图9为制作图8中不同颜色的子像素的掩膜版组件的俯视图。
图10为图9中掩膜版组件在基板上形成虚拟轮廓后的示意图。
图11为图10中掩膜版组件产生的虚拟轮廓的示意图。
图12为图11中像素定义层上形成部分支撑物的示意图。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白,下面结合实施例及附图,对本发明进行进一步详细说明。应当理解,此处所描述的具体实施例仅用以解释本发明,并不用于限定本发明。
在本发明的描述中,需要说明的是,术语“中心”、“上”、“下”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本发明和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本发明的限制。
现有的采用品字型排列的像素设计的显示面板中支撑物远离基板一侧的蒸镀膜层损伤通常是由于FMM上的蒸镀开口的边缘接触了支撑物上的蒸镀膜层造成,此蒸镀膜层损伤产生的异物会导致薄膜封装的失效,进而在后期高温储存实验中在薄膜封装失效位置出现暗斑,导致显示面板制程良率降低。
如图1和图3所示,显示面板10的基板11的一侧的像素定义层12包括若干第一像素开口121、第二像素开口122和第三像素开口123,每个蓝色子像素P1位于对应的每个第一像素开口121中,每个绿色子像素P2位于对应的每个第二像素开口122中,每个红素子像素P3位于对应的每个第三像素开口123中。其中,第一像素开口121、第二像素开口122和第三像素开口123的形状分别为矩形,由于像素开口的形状决定了对应的子像素的形状,因此,对应的蓝色子像素P1、绿色子像素P2和红色子像素P3也分别为矩形。
如图3和图4所示,基于蓝色子像素P1、绿色子像素P2和红色子像素P3各自的排列,提供掩膜版组件分别制作蓝色子像素P1、绿色子像素P2和红色子像素P3。其中,第一掩膜版20的第一蒸镀开口21用于制作蓝色子像素P1,第二掩膜版30的第二蒸镀开口31用于制作绿色子像素P2,第三掩膜版40的第三蒸镀开口41用于制作红色子像素P3。
蓝色子像素P1的制作过程包括,将第一掩膜板20与基板11进行对位,第一蒸镀开口21与第一像素开口121对齐,支撑物14接触第一像素开口121的边缘,部分支撑物14的表面自第一蒸镀开口21中露出。蒸发装置50朝向第一像素开口121中蒸镀蓝色发光材料形成蒸镀膜层13,部分蒸镀膜层13覆盖于支撑物14远离基板11的表面上。第一蒸镀开口21的边缘靠近支撑物14处存在尖锐部211,尖锐部211挤压支撑物14上的蒸镀膜层13造成其损伤,致使损伤位置出现异物。此异物致使薄膜封装的无机层在此处无法形成有效覆盖,在后期高温储存实验中,无机层未能有效覆盖的位置出现暗斑,影响显示面板11的制程良率。
另外,在绿色子像素P2和红色子像素P3的制作过程中也存在同样的问题,即,第二蒸镀开口31、第三蒸镀开口41的边缘处的尖锐部分别接触支撑物14上的其他蒸镀膜层,造成其他蒸镀膜层损伤,致使损伤位置出现异物。此异物致使薄膜封装的无机层在此处无法形成有效覆盖,在后期高温储存实验中,无机层未能有效覆盖的位置出现暗斑,影响显示面板11的制程良率。
另外,基板11一侧的每一像素单元P包括呈品字型排列的蓝色子像素P1、绿色子像素P2和红色子像素P3,且沿X方向(行方向)和Y方向(列方向),若干蓝色子像素P1呈品字型排列,若干绿色子像素P2呈品字型排列,以及若干红色子像素P3呈品字型排列。这种像素排列有助于提高单位面积内的像素密度,获得高的屏幕分辨率,实现更高的画面拟真度和画面的细腻度,从而提高用户体验。
然而,上述品字型排列的像素设计中,当第一像素开口121、第二像素开口122和第三像素开口123的形状分别为矩形时,掩膜版组件中对应的第一蒸镀开口21、第二蒸镀开口31、第三蒸镀开口41也分别为矩形。
如图5所示,第一蒸镀开口21在基板11上形成第一投影图案22;第二蒸镀开口31在基板11形成第二投影图案32;第三蒸镀开口41在基板11上形成第三投影图案42;其中,每个像素单元P(如图3所示)中,第一投影图案22、第二投影图案32和第三投影图案42两两相邻,支撑物12始终与第一投影图案22、第二投影图案32和第三投影图案42的边缘处交叠,这种交叠说明的支撑物14始终与第一蒸镀开口21、第二蒸镀开口31和第三蒸镀开口41的边缘接触,因此,无法避免的会存在支撑物14上蒸镀膜层损伤的问题,而这种接触容易产生暗斑,显著降低制程良率。
此外,随着显示技术的不断发展,其对显示屏幕的分辨率(Pixels per inch,PPI)的要求也在不断的提高,用于隔开相邻像素开口和像素开口的像素定义单元越来越小,而支撑物通常设置像素定义单元上,上述因掩膜版上的蒸镀开口接触支撑物上部的蒸镀膜层造成损伤进而形成暗斑的问题,已经不能通过简单的缩减像素开口(或者蒸镀开口)的尺寸,利用扩大像素定义单元尺寸选择性设置支撑物,使其避开蒸镀开口的边缘,以克服上述问题。
针对上述问题,本发明提供一种显示面板及掩膜版组件,在不降低现有的采用品字型像素排列的显示面板的分辨率的基础上,控制支撑物不与掩膜版组件中蒸镀开口的边缘接触,避免因掩膜版和支撑物上的蒸镀膜层接触导致异物和暗斑,提高显示面板的制程良率。
如图6至图12所示,本发明一实施例中提供一种显示面板1000,其包括基板1100;若干像素单元P’,其位于基板1100的一侧,每一像素单元P’包括第一子像素P1’、第二子像素P2’和第三子像素P3’, 第一子像素P1’、第二子像素P2’和第三子像素P3’任意两两相邻,围绕第一子像素P1’设置第一虚拟轮廓2101,第一虚拟轮廓2101对应于制作第一子像素P1’的第一掩膜版2000的第一蒸镀开口2100的边缘;围绕第二子像素P2’设置第二虚拟轮廓3101,第二虚拟轮廓3101对应于制作第二子像素P2’的第二掩膜版3000的第二蒸镀开口3100的边缘;围绕第三子像素P3’设置第三虚拟轮廓4101,第三虚拟轮廓4101对应于制作第三子像素P3’的第三掩膜版4000的第三蒸镀开口4100的边缘;第一虚拟轮廓2101、第二虚拟轮廓3101和第三虚拟轮廓4101之间存在非交叠区S1;以及,支撑物1220位于非交叠区S1中。
本实施例中,支撑物1220位于非交叠区S1中,支撑物1220不会与第一蒸镀开口2100的边缘、第二蒸镀开口3100的边缘以及第三蒸镀开口4100的边缘接触,因此,第一蒸镀开口2100的边缘、第二蒸镀开口3100的边缘以及第三蒸镀开口4100的边缘上的尖锐部不会损伤支撑物1220上膜层,因此,可克服现有显示面板蒸镀子像素的发光层时,掩膜版上的蒸镀开口的边缘接触支撑物上的蒸镀膜层导致蒸镀膜层损伤,后续蒸镀膜层损伤位置出现暗斑,显示面板制程良率低的问题。。
进一步,当采用第一掩膜版2000、第二掩膜版3000以及第三掩膜版4000蒸镀时,支撑物1220实质上与第一掩膜版2000的第一桥接部2200、第二掩膜版3000的第二桥接部3200以及第三掩膜版4000的第三桥接部4200相互接触。由于第一桥接部2200、第二桥接部3200以及第三桥接部4200分别遮挡从不同的蒸发装置5000蒸发的不同发光材料转移到支撑物1220上,因而支撑物1220在第一子像素P1’、第二子像素P2’、第三子像素P3’的制作过程中远离基板1100的一侧不会形成蒸镀膜层,避免了子像素的蒸镀制程使得支撑物1220上形成多余的蒸镀膜层,改善了显示面板在支撑物处膜层厚度增加的现象。
换言之,本发明提供的显示面板中,掩膜版组件制作子像素的过程中,任意两两相邻的不同颜色的子像素各自对应的掩膜版的蒸镀开口投影在基板上的虚拟轮廓之间存在至少一个非交叠区,将显示面板上的支撑物与上述非交叠区对应,以使支撑物与不同的蒸镀开口的边缘错开,一方面,支撑物不再与蒸镀开口的边缘接触,克服了现有的显示面板中因支撑物和掩膜版上的蒸镀开口的边缘接触,导致支撑物上的蒸镀膜层损伤导致的暗斑问题;另一方面,上述非交叠区对应于掩膜版上连接不同蒸镀开口的不同桥接部,而桥接部往往具有相对平整的表面,其遮挡支撑物,避免了支撑物上形成多余的蒸镀膜层,改善了显示面板在支撑物处整体膜层厚度增加的现象。
继续参照图6至图12,显示面板1000还包括像素定义层1200,其设置于基板1100的一侧,其中,若干像素单元P’位于像素定义层1200中的若干像素开口中,若干支撑物1220位于像素定义层1200远离基板1100的一侧。另外,像素定义层1200和基板1100之间还包括驱动阵列(未图示),驱动阵列用于点亮若干像素单元P’中的第一子像素P1’、第二子像素P2’、第三子像素P3’。
像素定义层1200包括相互间隔的若干第一像素开口1210,第二像素开口1211和第三像素开口1212,其中,第一子像素P1’位于第一像素开口1210中,第二子像素P2’位于第二像素开口1211中,第三子像素P3’位于第三像素开口1212中,其中,支撑物1220位于像素定义层1200上对应于非交叠区的像素定义单元1214上。像素定义单元1214例如是像素定义层1200中除去第一像素开口1210,第二像素开口1211和第三像素开口1212之外的部分,其用于隔开任意相邻的第一像素开口1210,第二像素开口1211和第三像素开口1212。较佳的,支撑物1220、第一像素开口1210,第二像素开口1211和第三像素开口1212可以是通过半色调掩膜版(HTM,half tone mask)制程一次形成。
如图7所示,每一像素单元P’中第一子像素P1’、第二子像素P2’和第三子像素P3’呈品字型排列;较佳的,沿X方向(行方向)和Y方向(列方向)排列的若干像素单元P’中,第一子像素P1’ 呈品字型排列,第二子像素P2’ 呈品字型排列,且第三子像素P3’ 呈品字型排列。
在一优选的实施方式中,第一子像素P1’ 、第二子像素P2’和第三子像素P3’分别为平行四边形。
如图8所示,第一像素开口1210,第二像素开口1211和第三像素开口1212的形状、排列方式均和第一子像素P1’ 、第二子像素P2’和第三子像素P3’的形状、排列方式相同。即,第一像素开口1210,第二像素开口1211和第三像素开口1212分别为平行四边形。
如图9所示,本发明提供的掩膜版组件包括第一掩膜版2000、第二掩膜版3000和第三掩膜版4000,第一掩膜版2000的第一蒸镀开口2100用于制作第一子像素P1’,第二掩膜版3000的第二蒸镀开口3100用于制作第二子像素P2’,第三掩膜版4000的第三蒸镀开口4100用于制作第三子像素P3’。其中,第一蒸镀开口2100、第二蒸镀开口3100和第三蒸镀开口4100的形状、排列方式分别和第一像素开口1210,第二像素开口1211和第三像素开口1212的形状、排列方式相同。当第一像素开口1210,第二像素开口1211和第三像素开口1212分别为平行四边形时,第一蒸镀开口2100、第二蒸镀开口3100和第三蒸镀开口4100也分别为平行四边形。
如图7和图9所示,第一掩膜版2000上的若干第一蒸镀开口2100呈品字型排列,即,若干第一蒸镀开口2100的形状、排列方式与若干第一子像素P1’相同;第二掩膜版3000上的若干第二蒸镀开口3100呈品字型排列,即,若干第二蒸镀开口3100的形状、排列方式与若干第二子像素P2’相同;第三掩膜版4000上的若干第三蒸镀开口4100呈品字型排列,即,若干第三蒸镀开口4100的形状、排列方式与若干第二子像素P3’相同。
如图8至图12所示,第一掩膜版2000叠置于基板1100上,在垂直于基板1100的方向上,第一蒸镀开口2100形成第一虚拟轮廓2101;第二掩膜版3000叠置于基板1100上,在垂直于基板1100的方向上,第二蒸镀开口3100形成第二虚拟轮廓3101;第三掩膜版4000叠置于基板1100上,在垂直于基板1100的方向上,第三蒸镀开口4100形成第三虚拟轮廓4101。
需要说明的是,显示面板1000的制作过程中,第一蒸镀开口2100的尺寸略大于或者等于第一像素开口1210的尺寸;第二蒸镀开口3100的尺寸略大于或者等于第二像素开口1211的尺寸;第三蒸镀开口4100的尺寸略大于或者等于第三像素开口1212。而,为了清楚的示意出第一蒸镀开口2100对应的第一虚拟轮廓2101、第二蒸镀开口3100对应的第二虚拟轮廓3101以及第三蒸镀开口4100对应的第三虚拟轮廓4101和第一像素开口1210、第二像素开口1211、第三像素开口1212之间的区别,图9至图11中第一蒸镀开口2100和第一虚拟轮廓2101、第二蒸镀开口3100和第二虚拟轮廓3101以及第三蒸镀开口4100和第三虚拟轮廓4101的尺寸被扩大,但不应以图10绘示出的尺寸限制本发明的方案实施过程中像素开口和掩膜版上的蒸镀开口的实际尺寸。
另外,在实际的产品中,围绕像素开口的不会出现到虚拟轮廓,虚拟轮廓可视作采用掩膜版蒸镀过程中,掩膜版上的蒸镀开口在基板上的投影,本发明中引入虚拟轮廓是为了清楚界定出支撑物在显示面板上的设置位置。
如图10和图11所示,第一虚拟轮廓2101、第二虚拟轮廓3101以及第三虚拟轮廓4101分别为平行四边形,且与一个像素单元P’对应的第一虚拟轮廓2101、第二虚拟轮廓3101以及第三虚拟轮廓4101呈品字型排列,使得第一虚拟轮廓2101和第二虚拟轮廓3101之间存在交叠区S2,交叠区S2带来了非交叠区S1,即,通过行方向和列方向上相邻的虚拟轮廓的平行四边形之间的至少一出交叠让出部分空间使得行方向和列方向上其他相邻的两个平行四边形之间出现期望的非交叠区S1。换言之,一个像素单元P’对应的第一虚拟轮廓2101、第二虚拟轮廓3101以及第三虚拟轮廓4101中至少两个存在一处交叠区S2。
进一步的,非交叠区S1分别对应第一掩膜版2000的第一桥接部2200、第二掩膜版3000的第二桥接部3200以及第三掩膜版4000的第三桥接部4200,第一桥接部2200、第二桥接部3200、第三桥接部4200与任意相邻的第一像素开口1210、第二像素开口1211、第三像素开口1212之间的像素定义单元1214相对,即,非交叠区S1与任意相邻的第一像素开口1210、第二像素开口1211、第三像素开口1212之间的像素定义单元1214相对。此时,将支撑物1220设置在像素定义单元1214与非交叠区S1对应的位置,即可实现支撑物1220不与第一蒸镀开口2100、第二蒸镀开口3100、第三蒸镀开口4100的边缘接触,以克服现有的显示面板中因掩膜版的蒸镀开口的边缘接触支撑物上的蒸镀膜层导致的暗斑问题。
另外,支撑物1220避开了第一蒸镀开口2100、第二蒸镀开口3100、第三蒸镀开口4100的边缘,实质上与平坦的第一桥接部2200、第二桥接部3200、第三桥接部4200接触,利用第一桥接部2200、第二桥接部3200、第三桥接部4200的遮挡作用,支撑物1220上不会形成多余的蒸镀膜层,因此不会出现支撑物1220处膜层厚度增加的问题,便于后续的膜层制备。
换言之,显示面板1000中支撑物1220避开了第一蒸镀开口2100、第二蒸镀开口3100、第三蒸镀开口4100的边缘,与被平坦的第一桥接部2200、第二桥接部3200、第三桥接部4200遮挡,使得容易与掩膜版接触出现损伤的蒸镀膜层被抑制不会转移到支撑物1220上,可以有效避免暗斑等制程不良的产生。
具体来讲,如图6所示,支撑物1220位于像素定义单元1214上,第一掩膜版2000上第一蒸镀开口2100对应像素定义层1200上的第一像素开口1210,支撑物1220接触第一掩膜版2000上的第一桥接部2200,蒸发装置5000蒸发的发光材料在第一像素开口1210中形成蒸镀膜层1300。此时,由于第一蒸镀开口2100的边缘不与支撑物1220接触,且第一桥接部2200遮挡支撑物1220,因此,支撑物1220远离基板1100一侧不会出现蒸镀膜层1300。即,容易与掩膜版接触出现损伤的蒸镀膜层被抑制不会转移到支撑物1220上,可以有效避免暗斑等制程不良的产生。
本实施例中,形成于第一像素开口1210中的第一子像素P1’例如是蓝色子像素;形成于第二像素开口1211中的第二子像素P2’例如是绿色子像素;形成于第三像素开口1212中的第三子像素P3’例如是红色子像素。
上述实施例中,维持显示面板1000上像素排列与现有的显示面板10的像素排列相同,同时维持显示面板1000的开口率不降低的前提下,将显示面板1000中的第一像素开口1210、第二像素开口1211、第三像素开口1212分别设计为平行四边形,同时,将蒸镀发光层的掩膜版组件中的第一蒸镀开口2100、第二蒸镀开口3100、第三蒸镀开口4100对应设计为平行四边形,并使得显示面板1000上的支撑物1220位于非交叠区S1中,从而起到防止现有的蒸镀开口和支撑物的蒸镀膜层接触导致像素暗斑问题。
需要说明的是,将像素开口设计为平行四边形仅是本发明一个最优选的实施例。在本发明其他实施例中,维持像素单元中第一子像素、第二子像素以及第三子像素任意两两相邻的像素排列,像素开口的形状可以是其他的任意非直角的多边形,与像素开口对应的掩膜版上的蒸镀开口的形状与像素开口的形状相适配,其中,不同子像素各自对应的蒸镀开口在制作对应的子像素时,其在基板上形成两两相邻的虚拟轮廓之间只要能够存在非交叠区的非直角的多边形都可以解决上述掩膜版的蒸镀开口的边缘和支撑物上的蒸镀膜层接触导致的暗斑问题。
在一较佳的实施方式中,非直角的多边形包括但不限于棱形、梯形、五边形、六变形、八边形、圆形等。其中,棱形和梯形中的至少一个角为非直角。
本实施例中,第一像素开口1210、第二像素开口1211以及第三像素开口1212的形状分别相同,但不以此为限。
在本发明的其他实施例中,为了控制围绕第一子像素、第二子像素、第三子像素的第一虚拟轮廓、第二虚拟轮廓、第三虚拟轮廓之间出现一个非交叠区,第一像素开口的形状和第二像素开口的形状还可以不同,第二像素开口的形状和第三像素开口的形状还可以不同,且第一像素开口的形状和第三像素开口的形状也还可以不同。
如图12所示,沿第一方向延伸(第一方向对应于Y方向或者列方向)的每一列中任意相邻的两个第一子像素P1’之间具有在第一方向上的第一垂直距离为D1;沿第二方向(第二方向对应于X方向或者行方向)排布的相邻两列中的任意两个第一子像素P1’之间具有在第一方向上的第二垂直距离为D2;D1=2×D2;或者,D1≠2×D2,即,第一垂直距离等于或者不等于2倍的第二垂直距离。其中,第一方向垂直于第二方向。
当D1≠2×D2时,沿Y方向(列方向)和X方向(行方向)上,非交叠区S1的尺寸会变小或者变大,后续设置支撑物时,可尽可能的将其设置于非交叠区较大的区域,增加了支撑物设置的灵活性。由于将支撑物布置在更大尺寸的非交叠区中,因此,可更好的克服上述暗斑问题。
如图12所示,非交叠区S1中均布置支撑物1214,但不以此为限。在本发明其他实施例中,可依据实际支撑需要,选择在多个非交叠区中的一部分非交叠布置支撑物。
如图6、图8和图9所示,本发明还提供一种掩膜版组件,其包括第一掩膜版2000、第二掩膜版3000以及第三掩膜版4000,分别用于制作显示面板1000的基板1100上的若干像素单元P’, 每一像素单元P’包括两两相邻的第一子像素P1’、第二子像素P2’和第三子像素P3’。其中,第一掩膜版2000中第一蒸镀开口2100的形状和排列方式与第一子像素P1’在基板1100上的形状和排列方式相同,第二掩膜版3000中第二蒸镀开口3100的形状和排列方式与第二子像素P2’在基板1100上的形状和排列方式相同;第三掩膜版4000中第三蒸镀开口4100的形状和排列方式与第三子像素P3’在基板1100上的形状和排列方式相同。
其中,第一掩膜版2000用于制作第一子像素P1’时,第一蒸镀开口2100投影在基板1100上形成第一虚拟轮廓2101;第二掩膜版3000用于制作第二子像素P2’时,第二蒸镀开口3100投影在基板1100上形成第二虚拟轮廓3101;第三掩膜版4000用于制作第三子像素P3’时,第三蒸镀开口3100投影在基板1100上形成第三虚拟轮廓4101;其中,基板1100上的第一虚拟轮廓2101、第二虚拟轮廓3101以及第三虚拟轮廓4101之间存在非交叠区S1,支撑物1220位于非交叠区S1中,且支撑物1220不与第一蒸镀开口2100、第二蒸镀开口3100以及第三蒸镀开口4100的边缘接触。
本实施例中,第一蒸镀开口2100、第二蒸镀开口3100、第三蒸镀开口4100分别为平行四边形结构,且第一掩膜版2000上的若干第一蒸镀开口2100呈品字型排列,第二掩膜版3000上的若干第二蒸镀开口3100呈品字型排列,第三掩膜版4000上的若干第三蒸镀开口4100分别呈品字型排列。
另外,掩膜版组件投影在基板上的第一虚拟轮廓2101、第二虚拟轮廓3101、第三虚拟轮廓4101对应到一个像素单元P’时,第一虚拟轮廓2101、第二虚拟轮廓3101以及第三虚拟轮廓4101中至少两个存在一处交叠区S2。
综上,本发明提供一种显示面板及掩膜版组件,控制掩膜版组件中的第一蒸镀开口、第二蒸镀开口、第三蒸镀开口围绕对应的两两相邻的第一子像素、第二子像素、第三子像素处形成的第一虚拟轮廓、第二虚拟轮廓、第三虚拟轮廓之间存在非交叠区,将支撑柱放置于非交叠区中,避免支撑物与第一蒸镀开口、第二蒸镀开口、第三蒸镀开口接触,克服因掩膜版的蒸镀开口的边缘和支撑物上的蒸镀膜层接触导致后续高温储存实验中,上述接触位置蒸镀膜层损伤异物导致的像素暗斑问题,提高了制程良率。
本发明已由上述相关实施例加以描述,然而上述实施例仅为实施本发明的范例。此外,上面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。必需指出的是,本发明还可有其他多种实施例,在不背离本发明精神及其实质的情况下,熟悉本领域的技术人员可根据本发明作出各种相应的改变和变形,但这些相应的改变和变形都应属于本发明所附的权利要求的保护范围。

Claims (10)

1.一种显示面板,其特征在于,所述显示面板包括:
基板;
若干像素单元,所述若干像素单元位于所述基板的一侧,每一像素单元包括第一子像素、第二子像素和第三子像素,所述第一子像素、所述第二子像素和所述第三子像素任意两两相邻,围绕所述第一子像素设有第一虚拟轮廓,所述第一虚拟轮廓对应于制作所述第一子像素的第一掩膜版的第一蒸镀开口的边缘;围绕所述第二子像素设有第二虚拟轮廓,所述第二虚拟轮廓对应于制作所述第二子像素的第二掩膜版的第二蒸镀开口的边缘;围绕所述第三子像素设有第三虚拟轮廓,所述第三虚拟轮廓对应于制作所述第三子像素的第三掩膜版的第三蒸镀开口的边缘;所述第一虚拟轮廓、所述第二虚拟轮廓和所述第三虚拟轮廓之间存在非交叠区;以及
支撑物,所述支撑物位于所述非交叠区中。
2.根据权利要求1所述的显示面板,其特征在于,每个像素单元中所述第一子像素、所述第二子像素和所述第三子像素呈品字型排列;和/或,若干像素单元中的若干所述第一子像素呈品字型排列,若干像素单元中的若干所述第二子像素呈品字型排列,且若干像素单元中的若干所述第三子像素呈品字型排列。
3.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,所述第一虚拟轮廓、所述第二虚拟轮廓和所述第三虚拟轮廓中至少两个之间存在一处交叠区。
4.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,沿第一方向延伸的每一列中任意相邻的两个第一子像素之间具有在所述第一方向上的第一垂直距离;沿第二方向排布的相邻两列中的任意两个第一子像素之间具有在所述第一方向上的第二垂直距离;所述第一垂直距离不等于两倍的第二垂直距离;其中,该第一方向垂直于所述第二方向。
5.根据权利要求2所述的显示面板,其特征在于,还包括像素定义层,所述像素定义层设于所述基板的一侧,所述像素定义层上设有相互间隔的若干第一像素开口、若干第二像素开口和若干第三像素开口,每个第一子像素位于每个第一像素开口中,每个第二子像素位于每个第二像素开口中,每个第三子像素位于每个第三像素开口中,其中,所述支撑物设置于所述像素定义层远离所述基板的一侧,且所述支撑物位于所述像素定义层上对应所述非交叠区的像素定义单元上。
6.根据权利要求5所述的显示面板,其特征在于,所述第一像素开口的形状、所述第二像素开口的形状、所述第三像素开口的形状分别为不包括直角结构的多边形。
7.根据权利要求6所述的显示面板,其特征在于,所述第一像素开口的形状、所述第二像素开口的形状、所述第三像素开口的形状分别为平行四边形。
8.一种掩膜版组件,其特征在于,所述掩膜版组件用于制作显示面板的基板上的若干像素单元,每个像素单元包括第一子像素、第二子像素和第三子像素,所述第一子像素、所述第二子像素和所述第三子像素任意两两相邻;所述掩膜版组件包括:
第一掩膜版,所述第一掩膜版包括用于制作所述第一子像素的第一蒸镀开口;
第二掩膜版,所述第二掩膜版包括用于制作所述第二子像素的第二蒸镀开口;以及
第三掩膜版,所述第三掩膜版包括用于制作所述第三子像素的第三蒸镀开口;
其中,所述第一蒸镀开口投影在所述基板形成第一虚拟轮廓,所述第一虚拟轮廓围绕所述第一子像素设置;所述第二蒸镀开口投影在所述基板形成第二虚拟轮廓,所述第二虚拟轮廓围绕所述第二子像素设置;所述第三蒸镀开口投影在所述基板形成第三虚拟轮廓,所述第三虚拟轮廓围绕所述第三子像素设置;所述第一虚拟轮廓、所述第二虚拟轮廓和所述第三虚拟轮廓之间存在非交叠区;所述显示面板上的支撑物位于所述非交叠区中。
9.如权利要求8所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第一蒸镀开口、所述第二蒸镀开口和所述第三蒸镀开口分别为平行四边形;且所述第一掩膜版上的若干所述第一蒸镀开口呈品字型排列,所述第二掩膜版上的若干所述第二蒸镀开口呈品字型排列以及所述第三掩膜版上的若干所述第三蒸镀开口呈品字型排列。
10.根据权利要求8所述的掩膜版组件,其特征在于,所述第一虚拟轮廓、所述第二虚拟轮廓和所述第三虚拟轮廓中至少两个之间存在一处交叠区。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113488521A (zh) * 2021-07-01 2021-10-08 武汉天马微电子有限公司 一种显示面板、显示装置、蒸镀装置
CN113549871A (zh) * 2021-07-21 2021-10-26 合肥维信诺科技有限公司 掩膜补偿方法和蒸镀系统
CN114122092A (zh) * 2021-11-16 2022-03-01 合肥维信诺科技有限公司 显示面板及显示面板制备方法

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140292622A1 (en) * 2013-03-27 2014-10-02 Samsung Display Co. Ltd. Thin film transistor array substrate and organic light-emitting display device including the same
CN105154823A (zh) * 2015-09-07 2015-12-16 信利(惠州)智能显示有限公司 蒸镀掩膜板及其制作方法
US20170213496A1 (en) * 2016-01-22 2017-07-27 Boe Technology Group Co., Ltd. OLED Display Device and Pixel Repair Method Thereof
CN108231824A (zh) * 2016-12-16 2018-06-29 京东方科技集团股份有限公司 一种oled显示面板及其制备方法
CN108321178A (zh) * 2018-02-06 2018-07-24 京东方科技集团股份有限公司 像素结构、掩膜板及显示装置
CN108559946A (zh) * 2018-05-14 2018-09-21 昆山国显光电有限公司 掩膜组件、主掩膜板及配合掩膜板
CN108807458A (zh) * 2017-04-28 2018-11-13 昆山国显光电有限公司 像素结构、包含所述像素结构的oled显示屏、蒸镀掩膜版
CN209056494U (zh) * 2018-09-28 2019-07-02 昆山国显光电有限公司 有机发光显示装置及制备支撑柱的掩膜板
CN111613636A (zh) * 2019-02-22 2020-09-01 上海和辉光电有限公司 阵列基板及有机发光显示装置
CN111799315A (zh) * 2020-07-23 2020-10-20 京东方科技集团股份有限公司 Oled显示面板和具有其的显示装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20140292622A1 (en) * 2013-03-27 2014-10-02 Samsung Display Co. Ltd. Thin film transistor array substrate and organic light-emitting display device including the same
CN105154823A (zh) * 2015-09-07 2015-12-16 信利(惠州)智能显示有限公司 蒸镀掩膜板及其制作方法
US20170213496A1 (en) * 2016-01-22 2017-07-27 Boe Technology Group Co., Ltd. OLED Display Device and Pixel Repair Method Thereof
CN108231824A (zh) * 2016-12-16 2018-06-29 京东方科技集团股份有限公司 一种oled显示面板及其制备方法
CN108807458A (zh) * 2017-04-28 2018-11-13 昆山国显光电有限公司 像素结构、包含所述像素结构的oled显示屏、蒸镀掩膜版
CN108321178A (zh) * 2018-02-06 2018-07-24 京东方科技集团股份有限公司 像素结构、掩膜板及显示装置
CN108559946A (zh) * 2018-05-14 2018-09-21 昆山国显光电有限公司 掩膜组件、主掩膜板及配合掩膜板
CN209056494U (zh) * 2018-09-28 2019-07-02 昆山国显光电有限公司 有机发光显示装置及制备支撑柱的掩膜板
CN111613636A (zh) * 2019-02-22 2020-09-01 上海和辉光电有限公司 阵列基板及有机发光显示装置
CN111799315A (zh) * 2020-07-23 2020-10-20 京东方科技集团股份有限公司 Oled显示面板和具有其的显示装置

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN113488521A (zh) * 2021-07-01 2021-10-08 武汉天马微电子有限公司 一种显示面板、显示装置、蒸镀装置
CN113549871A (zh) * 2021-07-21 2021-10-26 合肥维信诺科技有限公司 掩膜补偿方法和蒸镀系统
CN114122092A (zh) * 2021-11-16 2022-03-01 合肥维信诺科技有限公司 显示面板及显示面板制备方法

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