JP6963014B2 - 蒸着マスク、表示パネルの製造方法、及び表示パネル - Google Patents

Description

本発明は、蒸着マスク、表示パネル、及び表示パネルの製造方法に関する。

特許文献１に記載のように、有機ＥＬ表示装置において、各画素に発光層をパターン形成する場合、蒸着マスクが用いられている。

図２０の（ａ）に示すように、フレーム開口部１１１ａを有する枠状のマスクフレーム１１１に、それぞれシート状である、複数のカバーシート１１２と複数のハウリングシート１１３とを格子状に、互いに直交するように取り付ける。

複数のカバーシート１１２および複数のハウリングシート１１３は、マスクフレーム１１１に取り付ける際、両端部を外向きに架張しつつ（引っ張りつつ）両端部近傍をマスクフレーム１１１に溶接する。

これにより、複数のカバーシート１１２を、マスクフレーム１１１の長手方向（紙面上下方向）に直交する短手方向（紙面左右方向）に平行になるようにマスクフレーム１１１に取り付ける。また、複数のハウリングシート１１３を、マスクフレーム１１１の長手方向に平行になるようにマスクフレーム１１１に取り付ける。

次に、アライメントマークが形成されたアライメントシート１１４を、アライメントマークが所定位置にくるように、フレーム開口部１１１ａの短辺に沿って、マスクフレーム１１１に取り付ける。

そして、短冊状の複数のマスクシート１１５を、アライメントマークを基準とし、両端部を外向きに架張しつつ（引っ張りつつ）両端部近傍をマスクフレーム１１１に溶接する。

マスクシート１１５には、被蒸着基板の表示領域に対応する形状である有効部１１５ａが並んで形成されている。各有効部１１５ａには、各被蒸着基板の画素に発光層を蒸着するための貫通孔である蒸着孔が、発光層を蒸着すべき画素と同じパターンで形成されている。

図２０の（ｂ）に示すように、複数のカバーシート１１２と、複数のハウリングシート１１３とによって区画された全ての開口部に有効部１１５ａが含まれるように、複数のマスクシート１１５を架張しつつ溶接する。そして、複数のマスクシート１１５それぞれの、溶接した部分より外側の不要部分をカットする。これにより、蒸着マスク１１０が完成する。

蒸着マスク１１０を用いて蒸着を行う際、蒸着源から気化または昇華した蒸着粒子は、有効部１１５ａの蒸着孔を通って、被蒸着基板の画素に付着する。この画素に付着した蒸着粒子が発光層となる。このため、有効部１１５ａは、被蒸着基板の表示領域に対応した形状を有しており、複数のカバーシート１１２と複数のハウリングシート１１３とによって区画された開口部よりも面積が小さい領域にパターンが形成されている。そして、被蒸着基板における発光層が蒸着される位置は蒸着マスクにおける各蒸着孔に設けられた開口パターンの位置によって決まり、被蒸着基板における発光層が蒸着された表示領域の外形は、有効部１１５ａの外形によって決まる。

このため、有効部１１５ａが形成されているマスクシート１１５は、特に、位置精度よく、マスクフレーム１１１に取り付ける必要がある。

マスクシート１１５によると、有効部１１５ａは長方形であるため、マスクシート１１５をマスクフレーム１１１に取り付ける際に、マスクシート１１５の端部に外向きの力を加えても、有効部１１５ａの周囲に加わる応力は均一化しやすく、比較的、位置精度よく、マスクシート１１５をマスクフレーム１１１に取り付けることができる。

日本国公開特許公報「特開２０１２−１３２０９６号」

従来、有機ＥＬ表示装置の表示領域の外形は、作製のし易さから、正方形または長方形であった。

近年、支持体としてガラスはなくフィルムを用いることでフレキシブルな（折り曲げ可能な）有機ＥＬ表示装置が開発されている。特にこのようなフレキシブルな有機ＥＬ表示装置は、支持体がガラスではなくフィルムであるため、加工がし易く、種々の形状にカットすることができる。

そして、例えば、スマートフォンまたはその他の携帯電話端末等においてデザイン面での差別化を図るために、表示領域の外形を、例えば、各コーナーにラウンド（丸み）を設けたり、カメラおよびスピーカを配置するための切り欠き（凹み）を設けた形状とするなど、正方形または長方形ではない異形とすることが要求されるようになってきた。

このような、異形カット部分に発光層が存在すると、後の封止工程で一部の発光層が封止されず露出した状態となるため、信頼性が確保できない。このため、発光層を蒸着する蒸着工程において、異形カット部分には発光層が蒸着されないようにマスキングをする必要がある。

また、図２０に示したマスクシート１１５における有効部１１５ａの外形を、例えば、後述する図２１及び図２２に示すように、表示領域の異形カット部分の形状に合わせて異形カット部分と同じ形状にしてしまうと、マスクシート１１５をマスクフレーム１１１に取り付ける際、蒸着孔の位置精度が悪くなる。さらに、近年は、ますます画素の高精細化が要求されているため、ますます、蒸着孔の位置精度の低下を防止してマスクシート１１５をマスクフレーム１１１に取り付けることが要求されている。

本発明は、上記従来の問題点に鑑みなされたものであって、その目的は、表示領域の外形が正方形または長方形以外の異形な形状であっても、精度よく蒸着層をパターン形成することが可能な蒸着マスクを提供することである。

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る蒸着マスクは、表示領域にマトリクス状に配置された表示に寄与する画素がマトリクス状に配置された被蒸着基板のアクティブ領域に、蒸着層をパターン形成するための蒸着マスクであって、上記表示領域の外形の少なくとも一部に対応する形状を有する外形開口部が、上記表示領域の配置パターンに対応して形成された第１シート状マスクと、複数の開口部を有する有効部が形成された第
２シート状マスクと、を備え、上記第２シート状マスクに形成された上記複数の開口部は、第１開口部と、第２開口部とを含み、上記第１開口部は、上記画素と対応する配列で形成されており、上記第２開口部は、上記第１開口部と同じピッチ及び同じ形状であり、上記第１シート状マスクと重なっていることを特徴とする。

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る表示パネルは、外形の少なくとも一部に切欠き部を有する表示領域と、当該表示領域の外周を囲み、切り欠き部を有する額縁領域とを含む可撓性の表示パネルであって、上記表示領域には、マトリクス状に形成された蒸着層を備え、上記額縁領域の上記切欠き部周辺には、上記表示領域に形成された蒸着層と同じ形状である第１蒸着層と、上記表示領域に形成された蒸着層の形状のうち周辺の一部が切り欠かれた形状である第２蒸着層とを有することを特徴とする。

本発明の一態様によれば、表示領域の外形が正方形または長方形以外の異形な形状であっても、精度よく蒸着層をパターン形成することができるという効果を奏する。

（ａ）は本発明の実施形態１に係る有機ＥＬ表示装置が用いられた電子機器の外観を表す斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の断面図である。 本発明の実施形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの製造工程を表す図である。 本発明の実施形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの基板の平面図である。 図３の基板の有機ＥＬ表示パネル形成領域の断面図である。 本発明の実施形態１に係る有機ＥＬ表示装置の発光層を形成する際の蒸着工程の様子を示す模式図である。 本発明の実施形態１に係る有機ＥＬ表示装置における発光層の蒸着工程を表す図である。 本発明の実施形態１おける発光層の蒸着工程で用いる蒸着マスクを作製している様子を表し、（ａ）はマスクフレームの平面図であり、（ｂ）はマスクフレームにカバーシートを取り付けている様子を表す図であり、（ｃ）はマスクフレームにハウリングシートを取り付けている様子を表す図であり、（ｄ）はマスクフレームにアライメントシートを取り付けている様子を表す図であり、（ｅ）はマスクフレームにマスクシートを取り付けている様子を表す図であり、（ｆ）は作製された蒸着マスクの平面図である。 図７の（ｂ）における矢印Ｄ１の方向に、マスクフレームにおけるカバーシート１２の取り付け位置を見た図である。 本発明の実施形態１に係るハウリングシートの構成を表す平面図である。 図７の（ｃ）における矢印Ｄ２の方向に、マスクフレームにおけるハウリングシート１３の取り付け位置を見た図である。 本発明の実施形態１おける蒸着マスクのマスクシートの構成を表す図であり、（ａ）はマスクシート１５の平面図であり、（ｂ）は（ａ）に示す有効部の拡大図であり、（ｃ）は（ｂ）に示すＢ‐Ｂ線断面図であり、（ｄ）は（ｂ）に示すＣ−Ｃ線断面図である。 本発明の実施形態１に係る蒸着マスクの拡大図である。 本発明の実施形態１に係る蒸着工程において蒸着をしている際の蒸着マスクおよび基板の断面図である。 本発明の実施形態２に係る発光層の蒸着工程で用いる蒸着マスクを作製している様子を表し、（ａ）はマスクフレームにハウリングシートを取り付けている様子を表す図であり、（ｂ）はマスクフレームにカバーシートを取り付けている様子を表す図であり、（ｃ）はマスクフレームにマスクシートを取り付けている様子を表す図であり、（ｄ）は作製された蒸着マスクの平面図である。 本発明の実施形態２に係るカバーシートの構成を表す平面図である。 本発明の実施形態２に係る蒸着マスクの拡大図である。 本発明の実施形態２における、蒸着工程において蒸着をしている際の蒸着マスクおよび基板の断面図である。 （ａ）はマスクフレームにオープンマスクを取り付けている様子を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）のマスクフレーム近傍の断面図である。 （ａ）はマスクフレームにマスクシートを取り付けている様子を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）のマスクフレーム近傍の断面図である。 従来の蒸着マスクを作製している様子を表し、（ａ）はマスクフレームにマスクシートを取り付けている様子を表す図であり、（ｂ）は作成された蒸着マスクを表す平面図である。 有効部の外形を異形にした比較例に係るマスクシートの構成を表す平面図である。 有効部の外形を異形にした比較例に係るマスクシートの変形例の構成を表す平面図である。 実施形態１のアクティブ領域の一部を拡大した図である。 実施形態１に係る磁石を有する蒸着装置の構成を表す断面図である。 実施形態１の変形例に係る蒸着マスクの拡大図である。 実施形態１の変形例に係る表示パネルの切欠き部近傍の構成を表す図である。

〔実施形態１〕
本発明の実施形態１について、図１〜図１３に基づいて説明する。

（電子機器３０の構成）
図１の（ａ）は、本発明の実施形態１に係る有機ＥＬ表示装置が用いられた電子機器３０の外観を表す斜視図であり、（ｂ）は（ａ）の断面図である。電子機器３０の一例として、スマートフォンを挙げることができる。しかし、電子機器３０は、スマートフォンに限定されず、その他の携帯電話端末またはタブレットなどの携帯情報端末、テレビジョン受像機、パーソナルコンピュータ等、有機ＥＬ表示パネル（異形の表示パネル）４２が組み込まれた電子機器であればよい。

電子機器３０は筐体３２を有する。そして、電子機器３０は、それぞれ筐体３２に設けられた、タッチパネル４０と、スピーカ３４と、カメラ３６と、図示しないマイクとを有する。また、電子機器３０は、電源のオンオフを切り替える電源ボタン等の各種ボタンを有していてもよい。

タッチパネル４０は、タッチセンサ４１と、有機ＥＬ表示パネル４２とを有する。有機ＥＬ表示パネル４２は、各種の画像を表示する異形の表示領域４３を有する。有機ＥＬ表示パネル４２は、表示領域４３と、表示領域４３の周囲を囲む額縁領域とを有する。有機ＥＬ表示パネル４２に、各種の部品が取り付けられることで有機ＥＬ表示装置が構成される。

タッチセンサ４１は、有機ＥＬ表示パネル４２に設けられている。タッチセンサ４１は、指、スタイラスペン等の接触または近接による入力操作を検知することで、ユーザからの有機ＥＬ表示パネル４２上における座標位置の入力を受け付ける入力装置である。タッチセンサ４１は、有機ＥＬ表示パネル４２と一体的に形成されていてもよいし、有機ＥＬ表示パネル４２とは別の構成として形成されていてもよい。タッチセンサ４１は、静電容量方式、赤外線方式等、ユーザからの入力操作を受け付けることが可能な方式であればよい。

有機ＥＬ表示パネル４２の表示領域４３は、外形が、長方形または正方形ではなく、長方形または正方形以外の形状である異形となっている。

異形とは、有機ＥＬ表示パネルの外形を長方形または正方形とした場合の縁（辺または角）の少なくとも一部が、当該縁から内側（長方形または正方形の中央部方向）または外側（長方形または正方形の中央部から離れる方向）に突出した異形部分を有する形状である。つまり、異形部分とは、有機ＥＬ表示パネルの外形を長方形または正方形とした場合、当該長方形または正方形とした有機ＥＬ表示パネルの縁とは重ならない部分である。

図１では、有機ＥＬ表示パネル４２の表示領域４３において、例えば、４個の隅４３ａ〜４３ｄは、直角ではなく湾曲したいわゆるラウンド（丸み）を有する形状（円弧形状）である。さらに、有機ＥＬ表示パネル４２の表示領域４３は、例えば、４辺のうち少なくとも一辺に、縁から表示領域４３の中央部方向へ向けて凸となるように凹んだ切欠き部４３ｄを有する形状である。切欠き部４３ｄは例えば円弧形状を有する。有機ＥＬ表示パネル４２における額縁領域は、幅が狭く、表示領域４３の外形と略同じ形状の外形を有する。

また、図１の（ｂ）に示すように、本実施形態では、有機ＥＬ表示パネル４２の表示領域４３は、両長辺近傍の断面が湾曲している。

筐体３２における、切欠き部４３ｄに囲まれた領域に、カメラ３６およびスピーカ３４が配置されている。

なお、この有機ＥＬ表示パネル４２の外形の形状は一例であり、他の異形な形状であってもよい。以下、この外形が異形である有機ＥＬ表示パネル４２の製造方法について説明していく。

（有機ＥＬ表示パネルの製造方法の概略）
図２は、本発明の実施形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの製造工程を表す図である。図３は本発明の実施形態１に係る有機ＥＬ表示パネルの基板１の平面図である。図４は図３の基板の有機ＥＬ表示パネル形成領域の断面図である。図３では、１枚のマザーガラスから有機ＥＬ表示パネルを１８面取りする場合の構成を示している。なお、１枚のマザーガラスから有機ＥＬ表示パネルを面取りする個数は１８個に限らず、１７個以下、または１９個以上であってもよい。

基板１には有機ＥＬ表示パネル形成領域９が１８個配置されている。有機ＥＬ表示パネル形成領域９は、マザーガラスから切り出されることで個片化された後、有機ＥＬ表示パネルとなる領域である。

基板１は、ＴＦＴ基板（被蒸着基板）２と、アクティブ領域３と、枠状バンク４と、封止層５とを有する。

アクティブ領域３はマトリクス状に、例えばＲＧＢそれぞれの画素が形成される領域である。有機ＥＬ表示パネル形成領域９のうち、アクティブ領域３が形成されている領域が表示領域４３であり、有機ＥＬ表示パネル形成領域９のうち、アクティブ領域３を囲む周囲の領域が額縁領域４４である。なお、図３において、額縁領域４４は、有機ＥＬ表示パネル形成領域９のうちにおける破線で示した領域（アクティブ領域３）よりも外側の領域である。

図２３は、実施形態１の表示領域４３の一部を拡大した図である。表示領域４３には、画像の表示に寄与する画素ｐｉｘがマトリクス状に並んで配置されている。画素ｐｉｘには、発光層８０が形成されている。

一例として、図２３では、赤色光を発光する赤発光層８０Ｒが形成された赤画素Ｒｐｉｘと、緑色光を発光する緑発光層８０Ｇを有する緑画素Ｇｐｉｘと、青色光を発光する青発光層８０Ｂを有する青画素Ｂｐｉｘとがペンタイル配列となっている。しかし、画素配列は、特にペンタイル配列に限定されるものではなく、例えばストライプ配列等、他の配列であってもよい。

なお、発光層８０の形状は、当該発光層８０が内部に形成される画素バンクの開口部の形状である。

図２〜図４に示すように、まず、ＴＦＴ工程Ｓ１１においてＴＦＴ基板２を作製する。ＴＦＴ基板２は、マザーガラスに、公知の方法により、各画素に配される画素回路に含まれるＴＦＴ（トランジスタ、駆動素子）、ゲート配線およびソース配線、その他各種の配線が形成され、パッシベーション膜（保護膜）、および層間絶縁膜（平坦化膜）などが形成され、さらにその無機絶縁膜上に、アノードとコンタクトを取った反射電極層、ＩＴＯ層及び発光領域を規定するための画素バンク層が形成されることで作製される。

これにより、アクティブ領域３に、図２３に示した、発光領域が形成される。

パッシベーション膜はＴＦＴにおける金属膜の剥離を防止し、ＴＦＴを保護する。パッシベーション膜はマザーガラス上又は他の層を介して形成されており、ＴＦＴを覆っている。パッシベーション膜は、窒化シリコンや酸化シリコンなどからなる無機絶縁性膜である。

層間絶縁膜は、パッシベーション膜上の凹凸を平坦化する。層間絶縁膜はパッシベーション膜上に形成されている。層間絶縁膜はアクリルまたはポリイミドなどの感光性樹脂からなる有機絶縁膜である。

次に、有機ＥＬ工程Ｓ１２において、ＴＦＴ基板２の各画素内（すなわち、ＴＦＴ工程Ｓ１１にて形成した画素バンクの開口部内）における反射電極層上に有機ＥＬ層を形成する。有機ＥＬ層は、発光層、正孔輸送層およびその他の機能層を含む。発光層は、画素毎に、例えば、赤色、緑色または青色等、異なる色の光を発光する。発光層及び正孔輸送層の少なくとも一方（以下、発光層等と称する場合がある）は、蒸着工程において、真空中で本実施形態に係る蒸着マスクを用いた蒸着により、各画素の所定の位置に形成される。

発光層及び正孔輸送層等の画素毎に蒸着される蒸着層を形成するための蒸着工程で用いる蒸着マスクは、蒸着工程の前に、蒸着マスクの作製工程Ｓ２０により予め作製しておく。なお、蒸着マスクの作製工程Ｓ２０の詳細は後述する。また、この蒸着マスクを用いて形成する層は、発光層及び正孔輸送層に限定されず、画素毎に（すなわち画素バンクの開口部内に）形成される層であればよい。

そして、有機ＥＬ層を介して反射電極と対向する透明電極を、有機ＥＬ層を覆うように形成する。また、このアクティブ領域３を形成する際に、当該アクティブ領域３を枠状に囲む枠状バンク４もＴＦＴ基板２上に形成する。枠状バンク４は、アクリルまたはポリイミドなどの感光性樹脂からなる。

そして、次に、封止工程Ｓ１３において、封止層５を形成する。封止層５は、一例とし
て、無機膜６、有機膜７、および無機膜８がこの順に積層された３層構造とすることができる。枠状バンク４が形成されているため、有機膜７の膜厚を、例えば、１．０μｍ以上と厚く形成することができる。

この封止層５を形成した後、フレキシブル工程Ｓ１４を設けてもよい。フレキシブル工程Ｓ１４では、基板のガラスを剥離して支持体となるフィルムなどを貼る。

そして、次に、個片化工程Ｓ１５において、各有機ＥＬ表示パネル形成領域９が切り出される。これにより各有機ＥＬ表示パネル形成領域９が個片化される。これにより、可撓性を有し、異形の表示パネル（有機ＥＬ表示パネル）が形成される。

次いで、実装工程Ｓ１６において、個片化された各有機ＥＬ表示パネル形成領域９にドライバ等の部材を実装する。これにより有機ＥＬ表示装置が完成する。

本実施形態では、表示領域４３が、例えば、長方形又は正方形以外の形状である異形であるため、表示パネルの外形も、表示領域４３の形状に合わせて異形となっている。

ここで、従来は、表示領域外の画素である表示領域外画素を画像の表示に寄与させないようにするため、表示領域外画素に対応するマスク開口（蒸着孔）を設けないなど、表示領域内外でマスクシートの構造を異ならせる必要があった。

一方、本実施形態によると、表示領域４３外の画素に対応するマスクシート１５おける第２蒸着孔Ｈ２は、外形規定マスク５５と重なっているため、当該外形規定マスク５５によって、表示領域外の画素への蒸着層の蒸着は遮蔽される。このため、表示領域外画素には、発光層及び正孔輸送層等の画素毎に蒸着される蒸着層が形成されておらず、確実な封止構造を形成することができる。

このように蒸着マスク１０によって、表示領域外画素への蒸着層の蒸着が遮蔽されるため、表示領域外画素は表示に寄与しない。このため、マスクシート１５においては、表示領域の外形に左右されない、高精度のマスク開口を設けることができる。

これにより、表示領域４３に切欠き部４３ｅが設けられていても、表示領域４３外であって、当該切欠き部４３ｅで囲まれた領域にも、マスクシート１５上に表示領域４３内の画素と同じ構造のマスク開口を形成することができる。この結果、切欠き部４３ｅを有していても高精細に発光層及び正孔輸送層等の画素毎に蒸着される蒸着層が各画素に形成された表示パネルを作製することができる。

図５は、本発明の実施形態１に係る有機ＥＬ表示装置の発光層等（発光層及び正孔輸送層等の画素毎に蒸着される蒸着層）を形成する際の蒸着工程の様子を示す模式図である。

発光層等を蒸着する蒸着工程では、ＴＦＴ基板２に、複数の貫通孔を有するマスクシート１５を設けた蒸着マスク１０を密着させ、真空下において、蒸着源７０で蒸発させた蒸着粒子Ｚ（例えば、有機発光材）をマスクシート１５越しにＴＦＴ基板２における画素に蒸着させる。これにより、ＴＦＴ基板２に、マスクシート１５の貫通孔に対応するパターンの蒸着パターンが形成される。

ここで、表示領域４３（図１、図３および図４参照）は、外形が、長方形または正方形以外の形状である異形である。例えば、表示領域４３は、４個の隅４３ａ〜４３ｄが直角ではなく丸みを有し、さらに、４辺のうち少なくとも一辺に、縁から表示領域の中央部方向へ凹んだ切欠き部４３ｄを有する異形である。このため、蒸着工程において用いる蒸着
マスクにも、表示領域４３の形状に合わせた異形の蒸着パターンが形成されている。

（蒸着マスク）
次に、蒸着工程で用いる蒸着マスクの作製工程Ｓ２０について説明する。図６は、本発明の実施形態１に係る有機ＥＬ表示パネルにおける発光層の蒸着工程を表す図である。図７は、本発明の実施形態１に係る蒸着マスクを作製している様子を表す図である。

まず、図６の工程Ｓａ、図７の（ａ）（ｂ）に示すように、枠で囲まれた領域にフレーム開口部１１ａを有する枠状のマスクフレーム１１に、複数のカバーシート（第１シート状マスク）１２を取り付ける（カバーシート取り付け工程）。

マスクフレーム１１は、例えば、母材として、厚さ２０ｍｍ〜３０ｍｍの熱膨張が極めて少ないインバー材等が用いられる。マスクシートに比べて十分に厚く、マスクシートを架張して溶接した際にも十分な精度を確保できるよう、高い剛性を持っている。

カバーシート１２は、後にマスクフレーム１１に取り付けられるマスクシート間の隙間を埋めたり、マスクシートに形成されたダミーパターンを塞いだりする役割を果たす。なお、本実施形態では、カバーシート１２は表示領域の外形を決めるシートではなく、マスクシートの有効部（詳細は後述する）より外側になるように配置されている。

カバーシート１２は、例えば、母材として、厚さ３０μｍ〜５０μｍのインバー材等が用いられる。本実施形態では、パネルの有効エリア（表示領域４３（図３参照））間の間隔が狭いため、マスクシートの有効部が陰にならないように、カバーシートの幅は例えば２ｍｍ〜３ｍｍ程度とする。しかし、パネルの有効エリア間の間隔が広い場合には、カバーシートの幅をそれより大きくしてもよい。

カバーシート１２は、細長い形状であり、一方の端部から他方の端部にかけて直線状に延伸している。

カバーシート１２をマスクフレーム１１に取り付ける際、図７の（ｂ）における矢印Ｆ１に示すように、カバーシート１２の両端部それぞれに外向き方向（互いに離れる方向）に力を加えることで架張し（引張り）つつ、カバーシート１２の両端部をマスクフレーム１１の所定位置に溶接する。そして、カバーシート１２における溶接した部分より外側の不要部分をカットする。これにより、各カバーシート１２は、マスクフレーム１１の所定位置に取り付けられる。本実施形態では、各カバーシート１２は、マスクフレーム１１の短辺方向に平行になるように、マスクフレーム１１に取り付けられる。各カバーシート１２は、マスクフレーム１１の長辺に並んで、互いに平行になるように、マスクフレーム１１に取り付けられる。

図８は、図７の（ｂ）における矢印Ｄ１の方向に、マスクフレーム１１におけるカバーシート１２の取り付け位置（図７の（ｂ）に示す領域ＡＲ１）を見た図である。図７の（ｂ）における矢印Ｄ１は、マスクフレーム１１におけるカバーシート１２の取り付け位置を、外側から内側方向であってマスクフレーム１１の短辺に平行方向へ見る方向を表している。

図８に示すように、マスクフレーム１１におけるカバーシート１２を取り付ける所定位置には溝１１ｂが形成されている。カバーシート１２は、両端部がマスクフレーム１１に形成された溝１１ｂに嵌められることで、マスクフレーム１１の所定位置に取り付けられる。

次に、図６の工程Ｓｂおよび図７の（ｃ）に示すように、カバーシート１２が取り付けられたマスクフレーム１１に、ハウリングシート（第１シート状マスク）１３（サポートシートとも呼ばれる）を取り付ける（ハウリングシート取り付け工程）。

ハウリングシート１３は、通常、後にマスクフレーム１１に取り付けられるマスクシートを弛まないように支えたり、マスクシートに形成されたダミーパターンを塞いだりする役割を果たす。ただし、本実施形態におけるハウリングシート１３は、有機ＥＬ表示パネルにおける表示領域の外形を決めるマスクシートとして活用している。

ハウリングシート１３は、例えば、母材として、厚さ３０μｍ〜１００μｍのインバー材等が用いられる。ハウリングシート１３の幅は、例えば、８ｍｍ〜１０ｍｍ程度であり、パネルが配置される基板上のレイアウトによって決定される。

通常、ポートレート形状の表示パネルでは、端子部がハウリングシートによってマスキングされるため、ハウリングシートの幅はカバーシートより幅は広くなっているが、ハウリングシートは、表示パネルの表示領域（すなわちマスクシートの有効部）とは重ならない位置に配置される。ただし、本実施形態では、ハウリングシート１３を、マスクシート１５の有効部と重なる位置に配置し、表示パネルの表示領域の外形形状（特に異形部分）をハウリングシート１３で形成するようにしている。

図９は、本発明の実施形態１に係るハウリングシートの構成を表す平面図である。図９に示すように、ハウリングシート１３は、一方の端部から他方の端部にかけて、表示領域の外径形状のうち異形部分の形状を含む凹凸等が設けられている。ハウリングシート１３は、両端部近傍の領域であって、マスクフレーム１１に取り付けられた時にマスクフレーム１１と重なる領域である取り付け領域１３ａと、取り付け領域１３ａ間であって、表示領域の外形を形成する領域である表示領域の外形形成領域１３ｂとを有する。

表示領域の外形形成領域１３ｂは、表示領域の異形部分を含む少なくとも一部の表示領域の外形を形成するための凹凸形状を有する。

表示領域の外形形成領域１３ｂのうち、延伸方向に延びる一方の辺には、切欠き部１３ｃが並んで形成されており、延伸方向に延びる他方の辺には、切欠き部１３ｄが並んで形成されている。

切欠き部１３ｃ・１３ｄは、表示領域４３（図１及び図３）における、例えば、切欠き部４３ｄ、及び、４個の隅４３ａ〜４３ｄ等の、例えば円弧形状である異形部分に対応する形状を有する。

切欠き部１３ｃは、表示領域４３（図１及び図３）の隅４３ｃを形成するために隅４３ｃと同じ形状の円弧形状等の丸みを有する湾曲部２３ｃと、表示領域４３（図１及び図３）の隅４３ｄを形成するために隅４３ｄと同じ形状の円弧形状等の丸みを有する湾曲部２３ｄとを有する。湾曲部２３ｃ・２３ｄは、切欠き部１３ｃ中に形成された凹部のコーナー部である。

切欠き部１３ｄは、表示領域４３（図１及び図３）の隅４３ａを形成するために隅４３ａと同じ円弧形状等の丸みを有する湾曲部２３ａと、表示領域４３（図１及び図３）の切欠き部４３ｅと同じ形状の凸形状を有する凸部２３ｅと、表示領域４３（図１及び図３）の隅４３ｂを形成するために隅４３ｂと同じ円弧形状等の丸みを有する湾曲部２３ｂとを有する。凸部２３ｅは、湾曲部２３ａと、湾曲部２３ｂとの間に形成されている。湾曲部２３ａ・２３ｂは、切欠き部１３ｄ中に形成された凹部である。凸部２３ｅは、切欠き部
１３ｄ中に形成された凸部である。

なお、ハウリングシート１３の溶接位置の誤差も考慮し、表示領域よりわずかに外側の位置（例えば１００μｍ〜２００μｍ外側の位置）がハウリングシート外形となるよう設計する。

ハウリングシート１３において、切欠き部１３ｃ・１３ｄが形成されることで、互いに対向する切欠き部１３ｃ・１３ｄの幅Ｗ１３ｂは、取り付け領域１３ａの幅Ｗ１３ａよりも部分的に狭くなっている。

なお、ハウリングシート１３は幅Ｗ１３ａのシートに切欠き部１３ｃ・１３ｄが設けられた形状であるが、幅Ｗ１３ｂのシートに、湾曲部２３ａ〜２３ｄ・凸部２３ｅなどのような突起物を設けたような形状でもよい。

図７の（ｃ）における矢印Ｆ２に示すように、ハウリングシート１３をマスクフレーム１１に取り付ける際、ハウリングシート１３の両端部それぞれに外向き方向（互いに離れる方向）に力を加えることで架張し（引張り）つつ、ハウリングシート１３の両端部をマスクフレーム１１の所定位置に溶接する。そして、ハウリングシート１３における溶接した部分より外側の不要部分をカットする。これにより、各ハウリングシート１３の取り付け領域１３ａ（図９参照）は、マスクフレーム１１の所定位置に取り付けられる。すなわち、各ハウリングシート１３は、マスクフレーム１１の所定位置に取り付けられる。

本実施形態では、各ハウリングシート１３は、マスクフレーム１１の長辺に平行になるように、マスクフレーム１１に取り付けられる。各ハウリングシート１３は、マスクフレーム１１の短辺方向に並んで、互いに平行になるように、マスクフレーム１１に取り付けられる。

図１０は、図７の（ｃ）における矢印Ｄ２の方向に、マスクフレーム１１におけるハウリングシート１３の取り付け位置を見た図である。図７の（ｃ）における矢印Ｄ２は、マスクフレーム１１におけるカバーシート１２の取り付け位置（図７の（ｃ）に示す領域ＡＲ２）を、外側から内側方向であってマスクフレーム１１の長辺に平行方向へ見る方向を表している。

図１０に示すように、マスクフレーム１１におけるハウリングシート１３を取り付ける所定位置には溝１１ｃが形成されている。ハウリングシート１３は、両方の取り付け領域１３ａがマスクフレーム１１に形成された溝１１ｃに嵌められ、溶接されることで、マスクフレーム１１の所定位置に取り付けられる。

なお、マスクフレーム１１に、カバーシート１２とハウリングシート１３とを取り付ける順番を逆にして（図６の工程Ｓａと工程Ｓｂとを入れ替えて）、マスクフレーム１１に、先にハウリングシート１３を取り付けた後、次に、カバーシート１２を取り付けてもよい。

ただし、カバーシート１２とハウリングシート１３とのうち、表示領域の外形形状を規定するシートを後で（実施形態１の場合ではハウリングシート１３を後で）取り付ける方が望ましい。

図７の（ｃ）に示すように、マスクフレーム１１に、複数のカバーシート１２と、複数のハウリングシート１３とを格子状に取り付けることにより、互いに対向するカバーシート１２と、互いに対向するハウリングシート１３とによって区画された開口部である外形
開口部５３が並んで形成される。

外形開口部５３は、発光層の形成領域である表示領域の外形における少なくとも異形部分に対応する形状を有する。換言すると、外形開口部５３は、発光層等の形成領域である表示領域の少なくとも一部の外形を規定する。

外形開口部５３は、互いに対向するハウリングシート１３のうち、一方のハウリングシート１３に切欠き部１３ｄが形成されており、他方のハウリングシートに切欠き部１３ｃが形成されることで、表示領域の外形における異形部分と同じ形状を有する。

次に、図６の工程Ｓｃおよび図７の（ｄ）に示すように、アライメントマークが形成されたアライメントシート１４を、アライメントマークが所定位置に来るようにマスクフレーム１１に取り付ける（アライメントシート取り付け工程）。

アライメントシート１４をマスクフレーム１１に取り付ける際、図７の（ｄ）における矢印Ｆ３に示すように、アライメントシート１４の両端部にそれぞれに外向き方向（互いに離れる方向）であってマスクフレーム１１の短手方向に平行な方向の力を加えることで架張し（引張り）つつ、マスクフレーム１１の所定位置に溶接する。そして、アライメントシート１４における溶接した部分より外側の不要部分をカットする。これにより、各アライメントシート１４は、マスクフレーム１１の所定位置に取り付けられる。本実施形態では、２本のアライメントシート１４が、それぞれ、マスクフレーム１１のフレーム開口部１１ａの短辺に沿って互いに平行になるように、マスクフレーム１１に取り付けられている。

次に、図６の工程Ｓｄおよび図７の（ｅ）に示すように、マスクフレーム１１に、複数のマスクシート（第２シート状マスク）１５を取り付ける（マスクシート取り付け工程）。マスクシート１５は、図３および図４に示した表示領域４３（アクティブ領域３）における画素内に発光層等をパターン形成するため、例えば、ＲＧＢそれぞれに塗り分けるためのシートである。

図１１は、マスクシート１５の構成を表す図である。図１１の（ａ）に示すようにマスクシート１５は、短冊状であり、母材として、例えば、厚さ１０μｍ〜５０μｍ、好ましくは２５μｍ程度のインバー材等が用いられている。マスクシート１５は、蒸着された発光層の厚みが不均一となることを防ぐため、厚みが薄いシートにより構成されている。

なお、マスクシート１５の下面が図５における蒸着源７０と対向する側の面であり、上面が図５におけるＴＦＴ基板２と対向する側の面となる。

マスクシート１５の両端部間には、長手方向に並ぶ複数の有効部ＹＡが並んで形成されている。有効部ＹＡには複数の蒸着孔Ｈが形成されている。

各有効部ＹＡの外形は、なるべく応力が均一となるよう異形ではなく、正方形または長方形である。本実施形態では、各有効部ＹＡの外形は長方形である。

蒸着工程において、マスクシート１５のうち、有効部ＹＡは、ＴＦＴ基板２のアクティブ領域３（図３及び図４参照）と重なり、有効部ＹＡを囲む縁部は、額縁領域４４（図３及び図４参照）と重なる。そして、蒸着源から発せられた蒸着粒子は、一部の蒸着孔Ｈを通ってＴＦＴ基板２のアクティブ領域３（表示領域４３）の画素に蒸着する。このときマスクシート１５の縁部は、ＴＦＴ基板２の額縁領域４４と重なるため、蒸着粒子は縁部によって遮断され、額縁領域４４には到達しない。

図１１の（ｂ）に示すように、有効部ＹＡは、マスクシート１５に設けられた複数の蒸着孔Ｈが設けられた部分である。

複数の蒸着孔Ｈは、画素に、発光層等をパターン形成するための第１蒸着孔Ｈ１と、表示領域外の開口部である第２蒸着孔Ｈ２とを有する。有効部ＹＡのうち、第１蒸着孔Ｈ１が形成されている領域が第１領域ＹＡ１であり、第２蒸着孔Ｈ２が形成されている領域が第２領域ＹＡ２である。

マスクシート１５を通して発光層をＴＦＴ基板に蒸着する場合、蒸着孔Ｈ１は、有効部ＹＡにおいて、発光層が発光する色のうち何れかの色の光を発光する発光層の形成領域に対応して形成されている。例えば、表示領域４３（アクティブ領域３）に、赤色光を発光する発光層と、緑色光を発光する発光層と、青色光を発光する発光層とが形成される場合、蒸着孔Ｈ１は、赤色光を発光する発光層と、緑色光を発光する発光層と、青色光を発光する発光層とのうちいずれかの発光層のパターンと同じパターンで形成されている。

蒸着孔Ｈ１は、有効部ＹＡにおいて、画素に対応する配列で形成されている。第２蒸着孔Ｈ２は、第１蒸着孔Ｈ１と同じピッチ及び同じ形状を有する。第２蒸着孔Ｈ２は、アクティブ領域３における周端（周辺の縁）に形成されている。

第１領域ＹＡ１は、アクティブ領域３（すなわち表示領域４３）に対応する外形を有する。第２領域ＹＡ２は、第１領域ＹＡより外側の部分である。第２蒸着孔Ｈ２は外形規定マスク５５により遮蔽される。このため、第２蒸着孔Ｈ２を蒸着粒子は通過しない。

例えば、アクティブ領域３に表示領域外画素が設けられている場合、表示領域外画素は、外形規定マスク５５を介在させて、第２蒸着孔Ｈ２と重なるように第２蒸着孔Ｈ２を形成してもよい。このため、表示領域外画素には、発光層等が形成されず、表示領域内のみに発光層等が形成される。

例えば、表示領域の外側を外形規定マスク５５で規定することを前提に、長方形又は正方形のように異形ではない形状となるように、画素を設けてもよい。

有効部ＹＡは、この第１領域ＹＡ１及び第２領域ＹＡ２が組み合わされて、長方形又は正方形等の異形ではない形状を有する。

第１蒸着孔Ｈ１は表示領域４３における画像表示に寄与する開口部であり、第２蒸着孔Ｈ２は、表示領域４３における画像表示に寄与しない開口部であると表現することもできる。

マスクシート１５は、マスクフレーム１１に取り付けられる前に、予め、マスクシート作製工程にて作製される。

マスクシート１５は例えば以下のように作製される。まず、インバー材等からなる長尺板の両面にネガ型もしくはポジ型の感光性レジスト材料を塗布し、両面（上面および下面）にレジスト膜を形成する。

次いで、露光マスクを用いて上面および下面のレジスト膜を露光および現像することでシート両面にレジストパターンを形成する。次いで、上面レジストパターンをマスクとして有効部ＹＡの上面をエッチングし（縁部の上面はエッチングしない）、有効部ＹＡの上面に開口Ｋをパターン形成する（この段階では貫通した蒸着孔とはならない）。

次いで、エッチング耐性を有する耐性樹脂で上面を覆い、下面レジストパターンをマスクとし、有効部ＹＡおよび縁部の下面をエッチングする。これにより、有効部ＹＡでは下面側からの浸食によって蒸着孔Ｈ（貫通孔）が形成され、縁部の下面に複数の凹みが形成される。

有効部ＹＡの複数の蒸着孔Ｈは、マスクシート１５の長手方向および短手方向（幅方向）にマトリクス状に又は斜めに形成され、その開口Ｋ（上面の開口）は、基板の画素バンク層の開口形状に対応するように、角が丸まった四角形形状もしくは円形又は楕円形の形状となる。有効部ＹＡでは、各蒸着孔Ｈに対して上面側よりも下面側のエッチングを広範かつ深く行うことで、陰になる部分（隣り合う２つの蒸着孔間の仕切りの高さ）を小さくし、基板に対する蒸着精度および蒸着効率を高めている。

有効部ＹＡでは、横方向に隣り合う２つの開口Ｋの中心を通るＢ−Ｂラインで断面をとると、図１１の（ｃ）のように母材が最小（空洞が最大）の構成となり、縦方向に隣り合う２つの開口Ｋから等距離の点を通り、Ｂ−Ｂ線に平行なＣ−Ｃラインで断面をとると、図１１の（ｃ）（ｄ）のように母材が最大（空洞が最小）の構成（最大厚みは母材の厚みＴｉ）となる。

図７の（ｅ）における矢印Ｆ４に示すように、マスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付ける際、マスクシート１５の両端部それぞれに外向き方向（互いに離れる方向）に力を加えることで架張し（引張り）つつ、アライメントシート１４に形成されているアライメントマークを基準に、蒸着孔が所定位置に来るように、マスクシート１５の両端部をマスクフレーム１１の所定位置に精度よく溶接する。

また、このマスクフレーム１１を架張および溶接する際、架張および溶接後のマスクフレーム１１の変形量に合せて、カウンターフォースを加えながら架張および溶接する。

ここで、マスクシート１５に形成されている有効部ＹＡの外形は、異形ではなく、正方形または長方形である。このため、異形の有効部を有するマスクシートと比べて、マスクシート１５を架張したときにマスクシートに加わる応力が不均一になることを防止することができる。これにより、蒸着マスクにおける蒸着孔の位置ずれを防止して、精度よくマスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付けることができる。

そして、マスクシート１５を、図７の（ｆ）に示すように、カバーシート１２とハウリングシート１３とで区画された外形開口部５３が全て有効部ＹＡで覆われるように、必要な全シート分のマスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付けた後、図６の工程Ｓｅおよび図７の（ｅ）に示すように各マスクシート１５のうち、溶接した部分より外側の不要部分をカットする。これにより、蒸着マスク１０が完成する。

次に、図６の工程Ｓｆに示すように、完成した蒸着マスク１０を洗浄し、異物検査および精度検査等の各種のマスク検査を行う。この後、マスク検査にて問題がなかった蒸着マスク１０はストッカに格納され、必要に応じて、蒸着工程にて使用される蒸着装置に供給される。

（蒸着マスク１０の詳細）
図１２は、本発明の実施形態１に係る蒸着マスク１０の拡大図である。図１３は蒸着工程において蒸着をしている際の蒸着マスクおよびＴＦＴ基板２の断面図である。図１２では、説明のため、マスクシート１５は、有効部ＹＡ以外の図示を省略している。また、図１２では、有効部ＹＡを破線で図示している。

図１２に示すように、蒸着マスク１０は、カバーシート１２およびハウリングシート１３とを有する外形規定マスク（第１シート状マスク）５５と、蒸着孔Ｈ（図１１の（ｂ）参照）がパターン形成された有効部ＹＡが形成されたマスクシート１５とを備えている。外形規定マスク５５は、互いに対向するカバーシート１２と、互いに対向するハウリングシート１３とによって区画されることで、異形部分を含む形状である外形開口部５３が規定（形成）されている。

そして、外形開口部５３の短辺は有効部ＹＡと重なっている。すなわち、第２領域ＹＡ２に含まれる第２蒸着孔Ｈ２（図１１の（ｂ）参照）はハウリングシート１３と重なることで遮蔽されている。一方、第１領域ＹＡ１に含まれる第１蒸着孔Ｈ１は遮蔽されていない。このように、ハウリングシート１３は、有効部ＹＡにおける第１領域ＹＡ１の短辺の外形を規定し、これによって、表示領域の短辺の外形を規定する。

外形開口部５３の長辺は有効部ＹＡと重なっていない。すなわち、有効部ＹＡの長辺はカバーシート１２と重なっていない。これにより、表示領域の長辺は有効部ＹＡにおける第１領域ＹＡ１の長辺によって外形が規定されている。

例えば、有効部ＹＡと重なるハウリングシート１３における、湾曲部２３ａ、凸部２３ｅ、湾曲部２３ｂ、湾曲部２３ｃ、及び湾曲部２３ｄによって、表示領域４３（図１及び図３参照）の異形部分である、隅４３ａ、切欠き部４３ｅ、隅４３ｂ、隅４３ｃ、及び隅４３ｄがそれぞれ形成される。

このため、蒸着工程において、有効部ＹＡ及びハウリングシート１３によって、所望の外形を有する表示領域に含まれる各サブ画素に、発光層等をパターン形成することができる。

図２１は、有効部の外形を異形にした比較例に係るマスクシートの構成を表す平面図である。

図２１に示すように、異形の表示領域に、蒸着によって、発光層等をパターン形成するために、有効部を対応する異形にする方法も考えられる。

マスクシート１１５Ａには、正方形または長方形ではない異形の有効部１１５Ａａがマスクシート１１５Ａに並んで形成されている。

有効部１１５Ａａには、貫通孔である蒸着孔がパターン形成されている。有効部１１５Ａａは、４個の隅１４３Ａａ〜１４３Ａｄが直角ではなく、湾曲した形状となっている。さらに、有効部１１５Ａａには、隅１４３Ａａと隅１４３Ａｂとを結ぶ直線状の辺の一部に、凹んだ切欠き部１４３Ａｅが形成されている。

このような異形の有効部１１５Ａａが形成されているマスクシート１１５Ａを、マスクフレームに取り付ける際、図２１の矢印Ｆ１０４に示すように、マスクシート１１５Ａの両端部に外向きの力を加えると、矢印ＡＲ１００に示す４個の隅１４３Ａａ〜１４３Ａｄの周囲の領域、および、矢印ＡＲ１０１に示す切欠き部１４３Ａｅの周囲の領域のような異形部分の周囲の領域に加わる応力が不均一となることで変位量が不均一となる。この結果、マスクシート１１５Ａを取り付けた蒸着マスクにおける蒸着孔の位置精度が悪くなる。

図２２は、有効部の外形を異形にしたマスクシートの変形例の構成を表す平面図である
。

図２２に示すマスクシート１１５Ｂに示す有効部１１５Ｂａのように、４個の隅１４３Ｂａ〜１４３Ｂｄは湾曲しているが、切欠き部１４３Ａｅ（図２１参照）に対応する領域に、フルエッチング部１４３Ｂｅ１と、ハーフエッチング部１４３Ｂｅ２とを形成する方式が考えられる。フルエッチング部１４３Ｂｅ１に含まれる蒸着孔は貫通孔であり、ハーフエッチング部１４３Ｂｅ２に含まれる蒸着孔形成領域には貫通しない凹部を形成する。

これによって、マスクシート１１５Ｂをマスクフレームに取り付ける際に、図２２の矢印Ｆ１０４に示すようにマスクシート１１５Ｂの両端部に外向きの力を加えると、フルエッチング部１４３Ｂｅ１およびハーフエッチング部１４３Ｂｅ２の周囲の領域に加わる応力の不均一性は、図２１に示した切欠き部１４３Ａｅの周囲の領域に加わる応力の不均一性よりは軽減することができる。しかし、依然として、フルエッチング部１４３Ｂｅ１およびハーフエッチング部１４３Ｂｅ２の周囲の領域に加わる応力は不均一であり、さらに、４個の隅１４３Ｂａ〜１４３Ｂｄの周囲に加わる応力も依然として不均一性が残ってしまう。

一方、上述のように、本実施形態に係る蒸着マスク１０では、マスクシート１５における有効部ＹＡを長方形又は正方形としている。そして、有効部ＹＡと重なるハウリングシート１３によって、表示領域の異形部分に対応する外形を有する第１領域ＹＡ１が形成されている。

これにより、特に蒸着マスク１０における位置精度が要求される有効部ＹＡの外形を、発光層を蒸着すべき表示領域の外形に合せる必要がない。このため、発光層等を蒸着すべき表示領域の外形が異形であっても、有効部ＹＡの外形を、異形ではなく長方形または正方形（本実施形態では長方形）とすることができる。

このため、マスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付ける際に、マスクシート１５を架張しても、有効部を異形とした場合とは異なり、マスクシート１５に不均一な応力が加わることを防止することができる。これにより、蒸着マスク１０における蒸着孔Ｈの位置精度が高い蒸着マスク１０を得ることができる。すなわち、蒸着マスク１０により、ＴＦＴ基板２の各画素に、精度よく発光層を蒸着することができる。

なおかつ、ＴＦＴ基板２における発光層が形成された表示領域の外形を、正方形または長方形とは異なる異形とすることができ、デザイン性が高い有機ＥＬ表示パネルを得ることができる。

換言すると、蒸着マスク１０は、発光層を蒸着する表示領域の外形における異形部分の外形を規定する外形規定マスク５５と、表示領域内の各画素に発光層等を蒸着してパターン形成するための蒸着孔Ｈが形成されたマスクシート１５との少なくとも２種類の異なる役割を有するマスクを備えていると表現することもできる。

このように蒸着マスク１０によると、表示領域の外形が、長方形または正方形以外の異形であっても、有効部ＹＡに形成された蒸着孔Ｈの蒸着マスク１０における位置ずれを抑えることができる。

加えて、有効部ＹＡの外形は、表示領域の外形が変わっても変更する必要がないため、種々の外形を有する基板間で、有効部ＹＡが形成されたマスクシート１５を共通化することができる。

図１３に示すように、蒸着工程において、蒸着マスク１０と、ＴＦＴ基板２とが対向配置されたとき、蒸着マスク１０においては、有効部ＹＡが形成されたマスクシート１５は、外形開口部５３が形成された外形規定マスク５５とは、マスクシート１５の方が、ＴＦＴ基板２に近くなる。これにより、精度よく、発光層を、画素に形成することができる。さらに、マスクシート１５とＴＦＴ基板２とを、密着させるか、近接させることができるため、発光層の縁の膜厚が不均一になることを防止することができる。

また、図１２および図１３に示すように、本実施形態では、外形規定マスク５５を構成するカバーシート１２およびハウリングシート１３のうち、ハウリングシート１３に、表示領域の異形部分に対応する、例えば凹凸形状が形成された切り欠き１３ｃ・１３ｄが形成されている。そして、この異形部分が形成されたハウリングシート１３の方が、カバーシート１２よりもマスクシート１５に近く配置されている。

これにより、蒸着工程において、異形部分が形成されたハウリングシート１３を、カバーシート１２よりもＴＦＴ基板２に近づけることができる。このため、蒸着工程において、切り欠き１３ｃ・１３ｄによって規定される表示領域の外形近傍の画素へも位置精度よく発光層等を蒸着することができる。

また、蒸着マスク１０は、カバーシート１２、ハウリングシート１３およびマスクシート１５が、それぞれ剛性が高いマスクフレーム１１に直接取り付けられているため、蒸着マスク１０における外形開口部５３の位置精度および蒸着孔Ｈの位置精度が高い。

また、蒸着マスク１０においては、外形規定マスク５５と、マスクシート１５とは、磁力に対して吸着される材質を含んでいる。本実施形態では、外形規定マスク５５と、マスクシート１５とはインバー材等の磁石による吸着性を有する材料を含む。これにより、蒸着装置に装填された蒸着マスク１０は、磁石により、外形規定マスク５５と、マスクシート１５をＴＦＴ基板２に吸着させることができる。

図２４は、実施形態１に係る磁石を有する蒸着装置の構成を表す断面図である。なお、図２４では、蒸着源の図示は省略している。図２４に示すように、蒸着装置は、ＴＦＴ基板２を吸着させる磁石を有している。蒸着装置は、例えば、ＴＦＴ基板２の一方の面（蒸着面）には蒸着マスク１０が密着しており、ＴＦＴ基板２の他方の面と接するように配置された冷却板であるタッチプレート７１と、タッチプレート７１におけるＴＦＴ基板２との接触面とは逆側面に配置された磁石を有するマグネットプレート７２とを有している。

（蒸着マスク１０の変形例）
図２５は、実施形態１の変形例に係る蒸着マスク１０の拡大図である。図２５に示すように、有効部ＹＡは、短辺がハウリングシート１３と重なり、さらに、長辺がカバーシート１２と重なってもよい。図２５の態様によると、有効部ＹＡにおいて、第１領域ＹＡ１を囲むように第２領域ＹＡ２が形成されている。なお、図２５の態様であっても、有効部ＹＡにおける第１領域ＹＡ１の異形部分（すなわち、表示領域の異形部分）は、ハウリングシート１３によって規定されている。

（有機ＥＬ表示パネル４２の変形例）
図２６は、実施形態１の変形例に係る表示パネルの切欠き部近傍の構成を表す図である。

画像の表示に寄与しない表示領域外画素の一部に、蒸着層（発光層及び正孔輸送層の少なくとも一方）が形成されていてもよい。

図２６に示す有機ＥＬ表示パネル４２は、可撓性の表示パネルであって、外形の少なくとも一部に切欠き部４３ｅを有する表示領域４３と、当該表示領域４３の外周を囲み、切り欠き部４４ｅを有する額縁領域４４とを含む。

表示領域４３には、マトリクス状に形成された発光層８０及び正孔輸送層が形成された画素ｐｉｘを備えている。例えば、図２６では、赤発光層８０が形成された赤画素Ｒｐｉｘと、緑発光層８０Ｇが形成された緑画素Ｇｐｉｘと、青発光層８０Ｂが形成された青画素Ｂｐｉｘとがストライプ配列となっている。なお、図２６に示した、赤画素Ｒｐｉｘ、緑画素Ｇｐｉｘ及び青画素Ｂｐｉｘの配列は一例である。

そして、額縁領域４４は、切欠き部４４ｅ周辺の領域であって、蒸着時に、ハウリングシート１３の凸部２３ｅ（図９参照）で遮蔽される遮蔽領域４４ａと、蒸着マスクによって遮蔽されない非遮蔽領域４４ｂとを有する。

そして、遮蔽領域４４ａと、非遮蔽領域４４ｂとには、表示領域外画素であり画像の表示に寄与しない表示領域外画素ｐｉｘｏｕｔが形成されている。

遮蔽領域４４ａ及び非遮蔽領域４４ｂに形成された表示領域外画素ｐｉｘｏｕｔは、画素回路及び画素バンクは形成されていないが、蒸着時、蒸着マスクの蒸着孔Ｈ（図１１の（ｂ））と重なる領域である。

遮蔽領域４４ａに形成された表示領域外画素ｐｉｘｏｕｔには、発光層８０及び正孔輸送層等の画素毎に蒸着される蒸着層が形成されていない。

非遮蔽領域４４ｂに形成された複数の表示領域外画素ｐｉｘｏｕｔは、表示領域４３に形成された発光層８０（又はその他の画素毎に蒸着される蒸着層）と同じ形状である第１発光層８１（又はその他の画素毎に蒸着される蒸着層）と、表示領域４３に形成された発光層８０（又はその他の画素毎に蒸着される蒸着層）の形状のうち周辺の一部が切り欠かれた形状である第２発光層８２（又はその他の画素毎に蒸着される蒸着層）とを有する。

遮蔽領域４４ａに形成された表示領域外画素ｐｉｘｏｕｔは、蒸着時、ハウリングシート１３の凸部２３ｅを介在させて、有効部ＹＡの第２領域ＹＡ２（図１１の（ｂ））と重なる。

非遮蔽領域４４ｂにおいて、第１発光層８１（又はその他の画素毎に蒸着される蒸着層）が形成された表示領域外画素ｐｉｘｏｕｔは、蒸着時、有効部ＹＡの第１領域ＹＡ１（図１１の（ｂ））と重なるため、第１発光層８１（又はその他の画素毎に蒸着される蒸着層）が蒸着されてしまうものの、画像の表示には寄与しない。

非遮蔽領域４４ｂにおいて、第２発光層８２（又はその他の画素毎に蒸着される蒸着層）が形成された表示領域外画素ｐｉｘｏｕｔは、それぞれ一部が、ハウリングシート１３の凸部２３ｅによって遮蔽される。このため、第２発光層８２（又は正孔輸送層）は、表示領域４３に形成された発光層８０（又はその他の画素毎に蒸着される蒸着層）の形状のうち一部が欠損した形状である。

図２６に示す有機ＥＬ表示パネル４２によっても、額縁領域４４に形成された表示領域外画素ｐｉｘｏｕｔのうち第２発光層８２（又はその他の画素毎に蒸着される蒸着層）が形成された表示領域外画素ｐｉｘｏｕｔよりも外側である遮蔽領域４４ａに形成された表示領域外画素ｐｉｘｏｕｔには、蒸着マスクによってパターン形成される発光層及び正孔輸送層等の画素毎に蒸着される蒸着層が形成されていない。

このように蒸着マスクによって、表示領域外画素ｐｉｘｏｕｔへの蒸着層の蒸着が遮蔽されるため、表示領域外画素を表示に寄与させないようにするために、遮蔽領域４４ａに形成された表示領域外画素ｐｉｘｏｕｔに対応するマスク開口（蒸着孔Ｈ２（図１１の（ｂ）））を設けないなどのように、表示領域内外でマスクシート１５における有効部ＹＡの形状を異ならせる必要がない。

このため、マスクシート１５においては、表示領域４３の外形に左右されない、高精度のマスク開口を設けることができる。この結果、表示領域４３に切欠き部４３ｅを有していても高精細に発光層８０及び正孔輸送層の少なくとも一方が各画素ｐｉｘに形成された有機ＥＬ表示パネル４２を得ることができる。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２について説明すれば以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

蒸着マスクにおいて、表示領域の異形部分は、ハウリングシートではなく、カバーシートに形成されていてもよい。

図１４は、本発明の実施形態２に係る蒸着マスクを作製している様子を表す図である。図１４の（ａ）に示すように、マスクフレーム１１の所定位置に、ハウリングシート（第１シート状マスク）１３Ａを取り付ける（ハウリングシート取り付け工程）。

ハウリングシート１３Ａは、細長い形状であり、一方の端部から他方の端部にかけて直線状に延伸している。すなわち、本実施形態では、ハウリングシート１３Ａには、凹凸などの異形形状は形成されていない。

ハウリングシート１３Ａをマスクフレーム１１に取り付ける際、ハウリングシート１３Ａの両端部それぞれに外向き方向（互いに離れる方向）に力を加えることで架張し（引張り）つつ、ハウリングシート１３Ａの両端部をマスクフレーム１１の所定位置に溶接する。そして、ハウリングシート１３Ａにおける溶接した部分より外側の不要部分をカットする。これにより、各ハウリングシート１３Ａの両端部近傍は、マスクフレーム１１の所定位置に取り付けられる。すなわち、各ハウリングシート１３Ａは、マスクフレーム１１の所定位置に取り付けられる。

本実施形態では、各ハウリングシート１３Ａは、マスクフレーム１１の長辺方向に平行になるように、マスクフレーム１１に取り付けられる。各ハウリングシート１３Ａは、マスクフレーム１１の短辺方向に並んで、互いに平行になるように、マスクフレーム１１に取り付けられる。

次に、図１４の（ｂ）に示すように、ハウリングシート１３Ａが取り付けられたマスクフレーム１１に、複数のカバーシート１２Ａを取り付ける（カバーシート取り付け工程）。

図１５は、本発明の実施形態２に係るカバーシート１２Ａの構成を表す平面図である。

カバーシート１２Ａは、一方の端部から他方の端部にかけて延伸している。カバーシート１２Ａは、一方の端部と、他方の端部との間の領域に、表示領域の異形部分の形状と同じ形状に切り欠きが形成された領域（表示領域の外形形成領域）を有する。

カバーシート１２Ａにおける表示領域の外形形成領域には、延伸方向に延びる一方の辺に、切欠き部１２Ａａが並んで形成されており、延伸方向に延びる他方の辺に、切欠き部１２Ａｂが並んで形成されている。

切欠き部１２Ａａ・１２Ａｂは、表示領域４３（図１及び図３）における、例えば、４個の隅４３ａ〜４３ｄ等の異形部分に対応する形状を有する。

なお、本実施形態における表示領域は、４個の隅４３ａ〜４３ｄが湾曲した形状であり、切欠き部４３ｅ（図１および図３参照）は形成されないものとする。

切欠き部１２Ａａは、表示領域４３（図１及び図３）の隅４３ａを形成するために隅４３ａと同じ形状の丸みを有する湾曲部２３ｃと、表示領域４３（図１及び図３）の隅４３ｃを形成するために隅４３ｃと同じ形状の丸みを有する湾曲部２３Ａｃとを有する。

切欠き部１２Ａｂは、表示領域４３（図１及び図３）の隅４３ｂを形成するために隅４３ｂと同じ形状の丸みを有する湾曲部２３Ａｂと、表示領域４３（図１及び図３）の隅４３ｄを形成するために隅４３ｄと同じ形状の丸みを有する湾曲部２３Ａｄとを有する。

図１４の（ｂ）に示すように、カバーシート１２Ａをマスクフレーム１１に取り付ける際、カバーシート１２Ａの両端部それぞれに外向き方向（互いに離れる方向）に力を加えることで架張し（引張り）つつ、カバーシート１２Ａの両端部をマスクフレーム１１の所定位置に溶接する。そして、カバーシート１２Ａにおける溶接した部分より外側の不要部分をカットする。これにより、各カバーシート１２Ａは、マスクフレーム１１の所定位置に取り付けられる。本実施形態では、各カバーシート１２Ａは、マスクフレーム１１の短辺に平行になるように、マスクフレーム１１に取り付けられる。各カバーシート１２Ａは、マスクフレーム１１の長辺方向に並んで、互いに平行になるように、マスクフレーム１１に取り付けられる。

なお、本実施形態では、ハウリングシート１３Ａ上ではなく、カバーシート１２Ａ上にマスクシート１５を配置して溶接する。カバーシート１２Ａとマスクシート１５とはマスクフレーム１１の同一辺上に溶接される。そこで、マスクフレーム１１とマスクシート１５の溶接幅を確保するため、カバーシート１２Ａの溶接部の幅は小さい程、望ましい。

図１４の（ｂ）に示すように、マスクフレーム１１に、複数のハウリングシート１３Ａと、複数のカバーシート１２Ａとを格子状に取り付けることにより、互いに対向するカバーシート１２Ａと、互いに対向するハウリングシート１３Ａとによって区画された開口部である外形開口部５３Ａが並んで形成される。

外形開口部５３Ａは、発光層の形成領域である表示領域の外形における少なくとも異形部分に対応する形状を有する。換言すると、外形開口部５３Ａは、発光層の形成領域である表示領域の少なくとも一部の外形を規定する。

外形開口部５３Ａは、互いに対向するカバーシート１２Ａのうち、一方のカバーシート１２Ａに切欠き部１２Ａａが形成されており、他方のカバーシート１２Ａに切欠き部１２Ａｂが形成されることで、表示領域の外形における異形と同じ形状を有する。

この後、図１４の（ｃ）（ｄ）に示すように、アライメントシート１４と、マスクシート１５とをマスクフレーム１１に取り付ける。これにより、蒸着マスク１０Ａが完成する。なお、アライメントシート１４およびマスクシート１５の取り付け方は、実施形態１と
同様である。

図１６は本発明の実施形態２に係る蒸着マスク１０Ａの拡大図である。図１６に示すように、蒸着マスク１０Ａは、カバーシート１２Ａおよびハウリングシート１３Ａとを有する外形規定マスク（第１シート状マスク）５５Ａと、蒸着孔Ｈ（図１１の（ｂ）参照）がパターン形成された有効部ＹＡが形成されたマスクシート１５とを備えている。外形規定マスク５５Ａは、互いに対向するカバーシート１２Ａと、互いに対向するハウリングシート１３Ａとによって区画されることで、異形部分を含む形状である外形開口部５３Ａが規定（形成）されている。

そして、外形開口部５３Ａの長辺は有効部ＹＡと重なっている。すなわち、第２領域ＹＡ２に含まれる第２蒸着孔Ｈ２（図１１の（ｂ）参照）はカバーシート１２Ａと重なることで遮蔽されている。一方、第１領域ＹＡ１に含まれる第１蒸着孔Ｈ１は遮蔽されていない。このように、カバーシート１２Ａは、有効部ＹＡにおける第１領域ＹＡ１の長辺の外形を規定し、これによって、表示領域の長辺の外形を規定する。

外形開口部５３の短辺は有効部ＹＡと重なっていない。すなわち、有効部ＹＡの短辺はカバーシート１２Ａと重なっていない。これにより、表示領域の短辺は有効部ＹＡにおける第１領域ＹＡ１の短辺によって外形が規定されている。

例えば、有効部ＹＡと重なるカバーシート１２Ａにおける、湾曲部２３Ａａ、湾曲部２３Ａｂ、湾曲部２３Ａｃ、及び湾曲部２３Ａｄによって、表示領域４３（図１及び図３参照）の異形部分である、隅４３ａ、隅４３ｂ、隅４３ｃ、及び隅４３ｄがそれぞれ形成される。

このため、蒸着工程において、有効部ＹＡ及びカバーシート１２Ａによって、所望の外形を有する表示領域に含まれる各画素に、発光層等をパターン形成することができる。

図１７は本発明の実施形態２における、蒸着工程において蒸着をしている際の蒸着マスクおよびＴＦＴ基板２の断面図である。

図１６および図１７に示すように、本実施形態では、外形規定マスク５５Ａを構成するカバーシート１２Ａとハウリングシート１３Ａとのうち、カバーシート１２Ａに、表示領域の異形部分に対応する例えば凹形状が形成された切り欠き１２Ａａ・１２Ａｂが形成されている。そして、この異形部分が形成されたカバーシート１２Ａの方が、ハウリングシート１３Ａよりもマスクシート１５に近く配置されている。

これにより、蒸着工程において、異形部分が形成されたカバーシート１２Ａを、ハウリングシート１３ＡよりもＴＦＴ基板２に近づけることができる。このため、蒸着工程において、切り欠き１２Ａａ・１２Ａｂによって規定される表示領域の外形近傍の画素へも位置精度よく発光層等を蒸着することができる。

なお、カバーシート１２Ａに加え、ハウリングシート１３Ａにも、表示領域の異形部分に対応する、例えば凹凸が形成されていてもよい。この場合、カバーシート１２Ａと、ハウリングシート１３Ａとの何れをマスクシート１５側に配置してもよい。

〔実施形態３〕
本発明の実施形態３について説明すれば以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１、２にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

外形開口部が形成された外形規定マスクは、カバーシートとハウリングシートとを有するのではなく、１枚のシート状マスクから構成されていてもよい。

図１８の（ａ）はマスクフレームにオープンマスクを取り付けている様子を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）のマスクフレーム近傍の断面図である。図１９の（ａ）はマスクフレームにマスクシートを取り付けている様子を表す平面図であり、（ｂ）は（ａ）のマスクフレーム近傍の断面図である。

図１８の（ａ）に示すように、マスクフレーム１１のフレーム開口部１１ａを覆って、オープンマスク５５Ｂの縁をマスクフレーム１１に取り付ける。

オープンマスク５５Ｂには、マトリクス状に、表示領域の外形に対応する形状である外形開口部５３Ｂが並んで形成されている。

オープンマスク５５Ｂは１枚のシート状マスクである。オープンマスク５５Ｂは、例えば、母材がインバー材などからなり、厚さは１００μｍ〜２００μｍ程度である。但し、３０μｍ〜１００μｍ程度の厚みにしてもよい。

外形開口部５３Ｂは、異形部分を含む形状を有する。外形開口部５３Ｂは、湾曲部２３Ｂａ、凸部２３Ｂｅ、湾曲部２３Ｂｂ、湾曲部２３Ｂｃ、及び湾曲部２３Ｂｄを有し、それぞれによって、表示領域４３（図１及び図３参照）の異形部分である、隅４３ａ、切欠き部４３ｅ、隅４３ｂ、隅４３ｃ、及び隅４３ｄが形成される。

マスクシート１５をオープンマスク５５Ｂに重ねたとき、外形開口部５３Ｂにおける、湾曲部２３Ｂａ、凸部２３Ｂｅ、湾曲部２３Ｂｂ、湾曲部２３Ｂｃ、及び湾曲部２３Ｂｄは、マスクシート１５の有効部ＹＡと重なる。有効部ＹＡのうち、第１領域ＹＡ１に含まれる第１蒸着孔Ｈ１（図１１の（ｂ）参照）は遮蔽されず、第２領域ＹＡ２に含まれる第２蒸着孔Ｈ２（図１１の（ｂ）参照）はマスクシート１５に遮蔽される。

これにより、表示領域４３（図１及び図３参照）の異形部分の外形はオープンマスク５５Ｂによって規定される。

マスクシート１５をオープンマスク５５Ｂに重ねたとき、外形開口部５３Ｂにおける異形部分以外の辺、すなわち、湾曲部２３Ｂａ、凸部２３Ｂｅ、湾曲部２３Ｂｂ、湾曲部２３Ｂｃ、及び湾曲部２３Ｂｄそれぞれ間の辺は、有効部ＹＡと重なってもよいし重ならなくてもよい。すなわち、表示領域４３（図１及び図３参照）の異形部分以外の部分の外形は、オープンマスク５５Ｂの外形開口部５３Ｂによって規定されてもよいし、マスクシート１５の有効部ＹＡによって規定されてもよい。

図１８の（ａ）（ｂ）に示すように、マスクフレーム１１におけるフレーム開口部１１ａの縁は、枠状に突出した突出部１１ｄとなっており、突出部１１ｄの頭頂面が、オープンマスク５５Ｂおよびマスクシート１５の取付面１１ｅ・１１ｆとなっている。

取付面１１ｅは、取付面１１ｆの外側の周囲を囲っている。取付面１１ｅは、取付面１１ｆよりも突出している。

オープンマスク５５Ｂに、中央部分から外側に向く力を加えることで架張しつつ、オープンマスク５５Ｂの縁を取付面１１ｅに接触させる。そして、マスク押え装置６０によって、オープンマスク５５Ｂを上方から取付面１１ｆに押し付ける。そして、レーザＬＡを
照射することで、オープンマスク５５Ｂを取付面１１ｆに溶接する。そして、オープンマスク５５Ｂにおける、溶接した位置より外側の不要な部分をカットする。

次に、図１９の（ａ）（ｂ）に示すように、マスクシート１５を、外側向きの力を加えることで架張しつつ、取付面１１ｅに接触させる。そして、レーザＬＡを照射することで、マスクシート１５を取付面１１ｅに溶接する。そして、外形開口部５３Ｂが全て有効部ＹＡで覆われるように、必要な全シート分のマスクシート１５をマスクフレーム１１に取り付ける。

次に、各マスクシート１５のうち、溶接した部分より外側の不要部分をカットする。これにより本実施形態に係る蒸着マスクが完成する。

このように、本実施形態では、マスクフレーム１１は、オープンマスク５５Ｂおよびマスクシート１５の取付面１１ｆ・１１ｅは、取付面１１ｅより凹んだ凹部である取付面１１ｆと、取付面１１ｆより突出した凸部である取付面１１ｅとを有している。

そして、オープンマスク５５Ｂは取付面１１ｆに取り付けられており、マスクシート１５は取付面１１ｅに取り付けられている。

これにより、オープンマスク５５Ｂのように、外形開口部５３Ｂが１枚のシート状マスクに形成された構成であっても、オープンマスク５５Ｂを直接マスクフレーム１１の取付面１１ｆに取り付け、マスクシート１５を直接取付面１１ｅに、それぞれ取り付けることができる。

これにより、オープンマスク５５Ｂおよびマスクシート１５とを重ねてマスクフレーム１１の取付面１１ｆ・１１ｅに取り付ける場合と比べて、蒸着マスクにおける、上記外形開口部および上記有効部それぞれの位置を、精度よく合せることができる。

〔まとめ〕
本発明の態様１に係る蒸着マスクは、表示領域にマトリクス状に配置された表示に寄与する画素がマトリクス状に配置されたアクティブ領域に、蒸着層をパターン形成するための蒸着マスクであって、上記表示領域の外形の少なくとも一部に対応する形状を有する外形開口部が、上記表示領域の配置パターンに対応して形成された第１シート状マスクと、複数の開口部を有する有効部が形成された第２シート状マスクと、を備え、上記第２シート状マスクに形成された上記複数の開口部は、第１開口部と、第２開口部とを含み、上記第１開口部は、上記画素と対応する配列で形成されており、上記第２開口部は、上記第１開口部と同じピッチ及び同じ形状であり、上記第１シート状マスクと重なっていることを特徴とする。

上記構成によると、上記第１シート状マスクに、上記表示領域の外形の少なくとも一部に対応する形状の外形開口部が、上記表示領域の配置パターンに対応して形成されている。そして、上記第２シート状マスクは、第１開口部と、第２開口部とを含み、上記第１開口部は、上記画素と対応する配列で形成されており、上記第２開口部は、上記第１開口部と同じピッチ及び同じ形状であり、上記第１シート状マスクと重なっている。

このため、上記外形開口部によって、上記表示領域の上記少なくとも一部の外形（縁の形状）に合せて当該表示領域内の画素に、蒸着層をパターン形成することができる。これにより、特に蒸着マスクにおける位置精度が要求される上記有効部の外形を、上記表示領域の上記少なくとも一部の外形に合せる必要がなく、有効部の外形を、蒸着マスクにおける位置ずれを抑制しやすい長方形または正方形とすることができる。

このため、上記表示領域の外形が、長方形または正方形以外の異形であっても、上記有効部の上記蒸着マスクにおける位置ずれを抑えることができる。

加えて、上記有効部の外形は、上記表示領域の外形が変わっても変更する必要がないため、種々の外形を有する被蒸着基板間で、上記有効部が形成された上記第２シート状マスクを共通化することができる。

本発明の態様２に係る蒸着マスクは、上記態様１において、上記第２開口部は、上記有効部内の周端に形成されていてもよい。上記構成により、上記第２開口部は、上記シート状マスクと重なる。

本発明の態様３に係る蒸着マスクは、上記態様１において、上記外形開口部のうち、上記表示領域の上記外形の少なくとも一部に対応する形状は、円弧形状を含んでもよい。

本発明の態様４に係る蒸着マスクは、上記態様３において、上記円弧形状は、上記外形開口部のうち、上記有効部の少なくとも一辺に対応する辺に形成されていてもよい。

本発明の態様５に係る蒸着マスクは、上記態様３において、上記円弧形状は、上記外形開口部のうち、上記有効部の４隅の少なくとも一つに対応する隅に形成されていてもよい。

本発明の態様６に係る蒸着マスクは、上記態様１〜５において、上記被蒸着基板に上記蒸着層を蒸着する際、上記第２シート状マスクは、上記第１シート状マスクよりも上記被蒸着基板に近くてもよい。上記構成によると、精度よく、上記蒸着層を上記画素に蒸着することができる。

本発明の態様７に係る蒸着マスクは、上記態様１〜６において、上記第１シート状マスクおよび上記第２シート状マスクは、磁力に対して吸着される材質を含んでもよい。上記構成によると、磁石により、上記第１シート状マスクおよび上記第２シート状マスクを吸着させることができる。

本発明の態様８に係る蒸着マスクは、上記態様１〜７において、上記第１シート状マスクおよび上記第２シート状マスクが取り付けられる枠状のマスクフレームを備えてもよい。

上記第１シート状マスクおよび上記第２シート状マスクとも、剛性が高いマスクフレームに取り付けられるため、蒸着マスクにおける、上記外形開口部および上記有効部それぞれの位置を、精度よく合せることができる。

本発明の態様９に係る蒸着マスクは、上記態様８において、上記第１シート状マスクは、第１方向に延伸し互いに平行に上記マスクフレームに取り付けられた複数のカバーシートと、上記第１方向と直交する第２方向に延伸し互いに平行に上記マスクフレームに取り付けられた複数のハウリングシートと有し、上記外形開口部は、互いに隣接する上記カバーシートと、互いに隣接する上記ハウリングシートによって区画された領域であってもよい。上記構成により、上記外形開口部を構成することができる。

本発明の態様１０に係る蒸着マスクは、上記態様８において、上記第１シート状マスクは、１枚のシート状マスクに、上記外形開口部が形成された構成であり、上記マスクフレームは、上記第１シート状マスクおよび上記第２シート状マスクの取付面に凹部と、当該
凹部から突出した凸部とを有しており、上記第１シート状マスクは、上記取付面のうち上記凹部に取り付けられており、上記第２シート状マスクは、上記取付面のうち、上記凸部に取り付けられていてもよい。

上記構成によると、上記第１シート状マスクのように、上記外形開口部が１枚のシート状マスクに形成された構成であっても、上記第１シート状マスクと、上記第２シート状マスクとをそれぞれ、上記マスクフレームの上記取付面に取り付けることができる。これにより、第１シート状マスクと第２シート状マスクとを重ねてマスクフレームの取付面に取り付ける場合と比べて、蒸着マスクにおける、上記外形開口部および上記有効部それぞれの位置を、精度よく合せることができる。

本発明の態様１１に係る蒸着マスクは、上記態様１〜１０において、上記外形開口部のうち、上記表示領域の外形の少なくとも一部に対応する形状は、長方形または正方形の縁から、内側または外側に突出した異形であってもよい。上記構成によると、上記外形開口部の形状が異形であっても、上記有効部の上記蒸着マスクにおける位置ずれを抑えることができる。加えて、種々の外形を有する被蒸着基板間で、上記有効部が形成された上記第２シート状マスクを共通化することができる。

本発明の態様１２に係る蒸着マスクは、上記態様９において、上記被蒸着基板に上記蒸着層を蒸着する際、上記第２シート状マスクは、上記第１シート状マスクよりも上記被蒸着基板に近く、上記外形開口部のうち、上記表示領域の外形の少なくとも一部に対応する形状は、長方形または正方形の縁から、内側または外側に突出した異形であり、上記カバーシートと、上記ハウリングシートとのうち、当該ハウリングシートに、上記異形に対応する形状が形成されており、上記ハウリングシートは、上記カバーシートよりも上記第２シート状マスクに近くてもよい。

上記構成により、上記異形部分を被蒸着基板に近づけることができるため、当該異形部分に含まれる蒸着層の位置精度が低下することを抑制することができる。

本発明の態様１３に係る蒸着マスクは、上記態様１２において、上記第２シート状マスクは、長手方向が上記第１方向である長方形であり、上記第２方向に並んで配置されており、上記ハウリングシートは、複数の上記第２シート状マスクに跨って延伸していてもよい。

上記構成によると、上記ハウリングシートにより、上記第２シート状マスクの弛みを防止することができる。

本発明の態様１４に係る蒸着マスクは、上記態様９において、上記被蒸着基板に上記蒸着層を蒸着する際、上記第２シート状マスクは、上記第１シート状マスクよりも上記被蒸着基板に近く、上記外形開口部のうち、上記表示領域の外形の少なくとも一部に対応する形状は、長方形または正方形の縁から、内側または外側に突出した異形部分を有する異形であり、上記カバーシートと、上記ハウリングシートとのうち、当該カバーシートに、上記異形部分に対応する形状が形成されており、上記カバーシートは、上記ハウリングシートよりも上記第２シート状マスクに近くてもよい。

上記構成により、上記異形部分を被蒸着基板に近づけることができるため、当該異形部分に含まれる蒸着層の位置精度が低下することを抑制することができる。

本発明の態様１５に係る蒸着マスクは、上記態様１４において、上記第２シート状マスクは、長手方向が上記第１方向である長方形であり、上記第２方向に並んで配置されてお
り、上記カバーシートは、隣接する上記第２シート状マスクにおける、互いに対向し、長手方向に延伸する縁と重なっていてもよい。上記構成によると、上記カバーシートによって、上記第２シート状マスク間の隙間を塞ぐことができる。

本発明の態様１６に係る蒸着マスクは、上記態様９において、上記外形開口部の形状は、長方形または正方形の縁から、内側または外側に突出した異形部分を有する異形であり、上記カバーシートと、上記ハウリングシートとの両方に、上記異形部分に対応する凹形状又は凸形状の少なくとも一方が形成されていてもよい。上記構成により、上記異形部分に含まれる上記蒸着層を精度よく形成することができる。

本発明の態様１７に係る蒸着マスクは、上記態様１〜１６において、上記蒸着層は、画素毎に蒸着される層であってもよい。上記構成によると、精度よく、上記蒸着層を上記画素毎に蒸着することができる。

本発明の態様１８に係る表示パネルの製造方法は、上記態様１〜１７において、上記蒸着マスクを用いた蒸着工程を有してもよい。

本発明の態様１９に係る表示パネルは、外形の少なくとも一部に切欠き部を有する表示領域と、当該表示領域の外周を囲み、切り欠き部を有する額縁領域とを含む可撓性の表示パネルであって、上記表示領域には、マトリクス状に形成された蒸着層を備え、上記額縁領域の上記切欠き部周辺には、上記表示領域に形成された蒸着層と同じ形状である第１蒸着層と、上記表示領域に形成された蒸着層の形状のうち周辺の一部が切り欠かれた形状である第２蒸着層とを有することを特徴とする。

ここで、従来は、表示領域における画素内の発光層又は正孔輸送層の位置精度低下を防ぐため、画像の表示に寄与しない表示領域外の画素である表示領域外画素にも発光層又は正孔輸送層を形成していた。このため、表示領域外画素を、画像の表示に寄与させないようにするため、例えば、表示領域外画素においてマスク開口を設けないなど、表示領域内外でマスクシートの有効部の形状を異ならせる必要があった。

一方、上記構成によると、額縁領域に形成された上記表示領域外画素のうち第２蒸着層が形成された表示領域外画素よりも外側の表示領域外画素には、蒸着マスクによってパターン形成される蒸着層が形成されていない。

このように蒸着マスクによって、表示領域外画素への蒸着層の蒸着が遮蔽されるため、表示領域外画素を表示に寄与させないようにするために、表示領域外画素のうち第２蒸着層が形成された表示領域外画素に対応するマスク開口（蒸着孔）を設けないなどのように、表示領域内外でマスクシートの有効部の形状を異ならせる必要がない。

このため、マスクシートにおいては、表示領域の外形に左右されない、高精度のマスク開口を設けることができる。この結果、表示領域に切欠き部を有していても高精細に発光層及び正孔輸送層の少なくとも一方が各画素に形成された表示パネルを得ることができる。

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。

２ ＴＦＴ基板（被蒸着基板）
３ アクティブ領域
４ 枠状バンク
５ 封止層
６、８ 無機膜
７ 有機膜
９ 有機ＥＬ表示パネル形成領域
１０、１０Ａ 蒸着マスク
１１ マスクフレーム
１１ａ フレーム開口部
１１ｄ 突出部
１１ｅ、１１ｆ 取付面
１２、１２Ａ カバーシート（第１シート状マスク）
１３、１３Ａ ハウリングシート（第１シート状マスク）
１３ｂ 外形形成領域
１４ アライメントシート
１５ マスクシート（第２シート状マスク）
３０ 電子機器
４０ タッチパネル
４１ タッチセンサ
４２ 有機ＥＬ表示パネル（表示パネル）
４３ 表示領域
４４ 額縁領域
５３、５３Ａ、５３Ｂ 外形開口部
５５、５５Ａ 外形規定マスク（第１シート状マスク）
５５Ｂ オープンマスク（第１シート状マスク）
８０ 発光層
８１ 第１発光層（第１蒸着層）
８２ 第２発光層（第２蒸着層）
ｐｉｘ 画素
ｐｏｘｏｕｔ 表示領域外画素

Claims (15)

1. 表示領域にマトリクス状に配置された表示に寄与する画素がマトリクス状に配置された被蒸着基板のアクティブ領域に、蒸着層をパターン形成するための蒸着マスクであって、
   上記表示領域の外形の少なくとも一部に対応する形状を有する外形開口部が、上記表示領域の配置パターンに対応して形成された第１シート状マスクと、
   複数の開口部を有する有効部が形成された第２シート状マスクと、
   上記第１シート状マスクおよび上記第２シート状マスクが取り付けられる枠状のマスクフレームと、を備え、
   上記第１シート状マスクは、第１方向に延伸し互いに平行に上記マスクフレームに取り付けられた複数のカバーシートと、上記第１方向と直交する第２方向に延伸し互いに平行に上記マスクフレームに取り付けられた複数のハウリングシートと有し、
   上記外形開口部は、互いに隣接する上記カバーシートと、互いに隣接する上記ハウリングシートによって区画された領域であり、
   上記第２シート状マスクは、上記第１方向に延伸し互いに平行に上記マスクフレームに取付けられ、短冊状であり、
   上記第２シート状マスクに形成された上記複数の開口部は、第１開口部と、第２開口部とを含み、
   上記第１開口部は、上記画素と対応する配列で形成されており、
   上記第２開口部は、上記第１開口部と同じピッチ及び同じ形状であり、上記第１シート状マスクと重なっており、
   上記有効部の外形は、正方形または長方形であり、
   上記外形開口部のうち、上記表示領域の外形の少なくとも一部に対応する形状は、長方形または正方形の上記第２方向に平行な縁から、内側または外側に突出した異形部分を有する異形であり、
   上記カバーシートと、上記ハウリングシートとのうち、当該ハウリングシートのみに、上記異形部分に対応する形状が形成されており、当該カバーシートは直線状に延伸しており、
   上記ハウリングシートは、上記カバーシートよりも上記第２シート状マスクに近いことを特徴とする蒸着マスク。
2. 上記被蒸着基板に上記蒸着層を蒸着する際、上記第２シート状マスクは、上記第１シート状マスクよりも上記被蒸着基板に近いことを特徴とする請求項１に記載の蒸着マスク。
3. 上記第２シート状マスクは、長手方向が上記第１方向である長方形であり、上記第２方向に並んで配置されており、
   上記ハウリングシートは、複数の上記第２シート状マスクに跨って延伸していることを特徴とする請求項２に記載の蒸着マスク。
4. 表示領域にマトリクス状に配置された表示に寄与する画素がマトリクス状に配置された被蒸着基板のアクティブ領域に、蒸着層をパターン形成するための蒸着マスクであって、
   上記表示領域の外形の少なくとも一部に対応する形状を有する外形開口部が、上記表示領域の配置パターンに対応して形成された第１シート状マスクと、
   複数の開口部を有する有効部が形成された第２シート状マスクと、
   上記第１シート状マスクおよび上記第２シート状マスクが取り付けられる枠状のマスクフレームと、を備え、
   上記第１シート状マスクは、第１方向に延伸し互いに平行に上記マスクフレームに取り付けられた複数のカバーシートと、上記第１方向と直交する第２方向に延伸し互いに平行に上記マスクフレームに取り付けられた複数のハウリングシートと有し、
   上記外形開口部は、互いに隣接する上記カバーシートと、互いに隣接する上記ハウリングシートによって区画された領域であり、
   上記第２シート状マスクは、上記第１方向に延伸し互いに平行に上記マスクフレームに取付けられ、短冊状であり、
   上記第２シート状マスクに形成された上記複数の開口部は、第１開口部と、第２開口部とを含み、
   上記第１開口部は、上記画素と対応する配列で形成されており、
   上記第２開口部は、上記第１開口部と同じピッチ及び同じ形状であり、上記第１シート状マスクと重なっており、
   上記有効部の外形は、正方形または長方形であり、
   上記外形開口部のうち、上記表示領域の外形の少なくとも一部に対応する形状は、長方形または正方形の上記第１方向に平行な縁から、内側または外側に突出した異形部分を有する異形であり、
   上記カバーシートと、上記ハウリングシートとのうち、当該カバーシートのみに、上記異形部分に対応する形状が形成されており、当該ハウリングシートは直線状に延伸しており、
   上記カバーシートは、上記ハウリングシートよりも上記第２シート状マスクに近いことを特徴とする蒸着マスク。
5. 上記被蒸着基板に上記蒸着層を蒸着する際、上記第２シート状マスクは、上記第１シート状マスクよりも上記被蒸着基板に近いことを特徴とする請求項４に記載の蒸着マスク。
6. 上記第２シート状マスクは、長手方向が上記第１方向である長方形であり、上記第２方向に並んで配置されており、
   上記カバーシートは、隣接する上記第２シート状マスクにおける、互いに対向し、長手方向に延伸する縁と重なっていることを特徴とする請求項５に記載の蒸着マスク。
7. 上記第２開口部は、上記有効部内の周端に形成されていることを特徴とする請求項１〜６の何れか１項に記載の蒸着マスク。
8. 上記外形開口部のうち、上記表示領域の上記外形の少なくとも一部に対応する形状は、円弧形状を含むことを特徴とする請求項１〜７の何れか１項に記載の蒸着マスク。
9. 上記円弧形状は、上記外形開口部のうち、上記有効部の少なくとも一辺に対応する辺に形成されていることを特徴とする請求項８に記載の蒸着マスク。
10. 上記円弧形状は、上記外形開口部のうち、上記有効部の４隅の少なくとも一つに対応する隅に形成されていることを特徴とする請求項８に記載の蒸着マスク。
11. 上記被蒸着基板に上記蒸着層を蒸着する際、上記第２シート状マスクは、上記第１シート状マスクよりも上記被蒸着基板に近いことを特徴とする請求項１〜１０の何れか１項に記載の蒸着マスク。
12. 上記第１シート状マスクおよび上記第２シート状マスクは、磁力に対して吸着される材質を含むことを特徴とする請求項１〜１１の何れか１項に記載の蒸着マスク。
13. 上記蒸着層は、画素毎に蒸着される層であることを特徴とする請求項１〜１２の何れか１項に記載の蒸着マスク。
14. 表示領域にマトリクス状に配置された表示に寄与する画素がマトリクス状に配置された被蒸着基板のアクティブ領域に、蒸着層をパターン形成するための蒸着マスクであって、
    前記表示領域は、長方形または正方形の縁から内側または外側に突出した異形部分を有する異形であり、
    枠状のマスクフレームと、
    上記マスクフレームの短辺に平行に上記マスクフレームに架張して取り付けられた複数のカバーシートと、
    上記マスクフレームの長辺に平行に上記マスクフレームに架張して取り付けられた複数のハウリングシートと、
    上記マスクフレームに上記カバーシートおよび上記ハウリングシートが取付けられた後に上記マスクフレームに架張して取付けられた、短冊状の複数のマスクシートと、を備え、
    上記マスクシートには、複数の開口部を有する有効部が形成され、
    上記有効部の外形が正方形または長方形であり、
    上記カバーシートおよび上記ハウリングシートのうち、上記マスクシートに近いシートのみに、上記異形部分に対応する形状が形成されており、
    上記カバーシートおよび上記ハウリングシートのうち、上記マスクシートに遠いシートは、直線状に延伸していることを特徴とする蒸着マスク。
15. 請求項１〜１４の何れか１項に記載の蒸着マスクを用いた蒸着工程を有することを特徴とする表示パネルの製造方法。

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