CN111051559B - 蒸镀掩模、显示面板的制造方法以及显示面板 - Google Patents

Abstract

一种蒸镀掩模，其具备：外形限定掩模(55)，其形成有具有与显示区域的异形部分对应的形状的外形开口部(53)；以及掩模片(15)，其形成有图案化的分涂用的蒸镀孔(H)，蒸镀孔(H)的第一蒸镀孔(H1)与像素(pix)对应，蒸镀孔(H)的第二蒸镀孔(H2)与外形限定掩模(55)重叠。由此，即使显示区域的外形为异形，也能够通过不是异形的掩模片精度良好地形成图案化的蒸镀层。

Description

蒸镀掩模、显示面板的制造方法以及显示面板

技术领域

本发明涉及一种蒸镀掩模、显示面板以及显示面板的制造方法。

背景技术

像专利文献1所记载那样，在有机EL显示装置中，在各像素上形成图案化的发光层的情况下，使用蒸镀掩模。

如图20的(a)所示，分别将片状的、多个覆盖片112和多个外壳片113呈格子状且相互正交地安装于具有框开口部111a的框状的掩模框111。

多个覆盖片112以及多个外壳片113在安装于掩模框111时，向外架设(拉伸)两端部并且将两端部附近熔接于掩模框111。

由此，以和与掩模框111的长边方向(纸面上下方向)正交的短边方向(纸面左右方向)平行的方式将多个覆盖片112安装于掩模框111。此外，以与掩模框111的长边方向平行的方式将多个外壳片113安装于掩模框111。

接着，以对位标记来到规定位置的方式沿着框开口部111a的短边将形成有对位标记对位片114安装于掩模框111。

并且，以对位标记为基准，向外架设(拉伸)短条状的多个掩模片115的两端部并且将两端部附近熔接于掩模框111。

在掩模片115排列形成有作为与被蒸镀基板的显示区域对应的形状的有效部115a。作为用于在各被蒸镀基板的像素上蒸镀发光层的通孔即蒸镀孔，以与应蒸镀发光层的像素相同的图案形成于各有效部115a。

如图20的(b)所示，以在通过多个覆盖片112和多个外壳片113划分出的所有开口部包含有效部115a的方式，架设并熔接多个掩模片115。并且，对多个掩模片115各自的熔接部分的外侧的多余部分进行切割。由此，完成蒸镀掩模110。

在使用蒸镀掩模110进行蒸镀时，从蒸镀源中气化或升华的蒸镀粒子通过有效部115a的蒸镀孔而附着于被蒸镀基板的像素。附着于该像素的蒸镀粒子成为发光层。因此，有效部115a具有与被蒸镀基板的显示区域对应的形状，在与通过多个覆盖片112和多个外壳片113划分出的开口部相比面积较小的区域形成有图案。并且，被蒸镀基板中的蒸镀发光层的位置由蒸镀掩模中的设置于各蒸镀孔的开口图案的位置来决定，被蒸镀基板中的蒸镀发光层的显示区域的外形由有效部115a的外形来决定。

因此，形成有有效部115a的掩模片115特别需要位置精度良好地安装于掩模框111。

根据掩模片115，有效部115a为长方形，因此在将掩模片115安装于掩模框111时，即使对掩模片115的端部施加向外的力，施加于有效部115a的周围的应力也易于均匀化，且能够比较位置精度良好地将掩模片115安装于掩模框111。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本公开专利公报“日本特开2012-132096号”

发明内容

本发明所要解决的技术问题

以往，从制作的容易度出发，有机EL显示装置的显示区域的外形为正方形或长方形。

近年来，开发了使用薄膜代替玻璃作为支承体的柔性(能够弯折)的有机EL显示装置。特别是这样的柔性的有机EL显示装置的支承体不是玻璃而是薄膜，因此易于加工且能够切割成各种形状。

并且，例如为了在智能电话或其他便携式电话终端等中实现设计面的差别化，而要求将显示区域的外形制成例如在各角部设置圆弧(圆)或设置用于配置摄像头以及扬声器的切口(凹口)的形状等、不是正方形或长方形的异形。

当在这样的异形切割部分存在发光层时，在之后的密封工序中成为一部分的发光层未被密封而露出的状态，因此无法确保可靠性。因此，在蒸镀发光层的蒸镀工序中，需要在异形切割部分设置掩模以不蒸镀发光层。

此外，例如如后述的图21以及图22所示，在使图20所示的掩模片115中的有效部115a的外形匹配显示区域的异形切割部分的形状而成为与异形切割部分相同的形状时，在将掩模片115安装于掩模框111时，蒸镀孔的位置精度变差。而且，近年来，由于越来越要求像素的高清晰化，因此越来越要求防止蒸镀孔的位置精度的下降而将掩模片115安装于掩模框111。

本发明是鉴于所述以往的问题点而完成的，其目的在于提供一种即使显示区域的外形为正方形或长方形以外的异形的形状，也能够精度良好地形成图案化的蒸镀层的蒸镀掩模。

解决问题的方案

为了解决所述的课题，本发明的一个方式所涉及的蒸镀掩模，用于在呈矩阵状配置有像素的被蒸镀基板的有源区域形成图案化的蒸镀层，所述像素呈矩阵状配置于显示区域并有助于显示，所述蒸镀掩模的特征在于，具备：第一片状掩模，其与所述显示区域的配置图案对应地形成有具有与所述显示区域的外形中的至少一部分对应的形状的外形开口部；以及第二片状掩模，其形成有具有多个开口部的有效部，形成于所述第二片状掩模的所述多个开口部包含第一开口部和第二开口部，所述第一开口部由与所述像素对应的排列形成，所述第二开口部具有与所述第一开口部相同的间距以及相同的形状且与所述第一片状掩模重叠。

为了解决所述的课题，本发明的一个方式所涉及的显示面板，其其是包含如下区域的挠性显示面板：显示区域，其在外形中的至少一部分具有切口部；以及框缘区域，其包围该显示区域的外周并具有切口部，所述显示面板的特征在于，在所述显示区域具备呈矩阵状形成的蒸镀层，在所述框缘区域的所述切口部周边具有：第一蒸镀层，其为与形成于所述显示区域的蒸镀层相同的形状；以及第二蒸镀层，其为形成于所述显示区域的蒸镀层的形状中的周边的一部分被切掉的形状。

发明效果

根据本发明的一个方式，即使显示区域的外形为正方形或长方形以外的异形形状，也可以起到能够精度良好地形成图案化的蒸镀层这样的效果。

附图说明

图1的(a)为表示使用了本发明的第一实施方式所涉及的有机EL显示装置的电子设备的外观的立体图，(b)为(a)的剖视图。

图2为表示本发明的第一实施方式所涉及的有机EL显示面板的制造工序的图。

图3为本发明的第一实施方式所涉及的有机EL显示面板的基板的俯视图。

图4为图3的基板的有机EL显示面板形成区域的剖视图。

图5为表示形成本发明的第一实施方式所涉及的有机EL显示装置的发光层时的蒸镀工序的情形的示意图。

图6为表示本发明的第一实施方式所涉及的有机EL显示装置中的发光层的蒸镀工序的图。

图7表示对本发明的第一实施方式中的发光层的蒸镀工序中使用的蒸镀掩模进行制作的情形，(a)为掩模框的俯视图，(b)为表示在掩模框上安装覆盖片的情形的图，(c)为表示在掩模框上安装外壳片的情形的图，(d)为表示在掩模框上安装对位片的情形的图，(e)为表示在掩模框上安装掩模片的情形的图，(f)为制作而成的蒸镀掩模的俯视图。

图8为从图7的(b)中的箭头D1的方向观察到的掩模框中的覆盖片12的安装位置的图。

图9为表示本发明的第一实施方式所涉及的外壳片的结构的俯视图。

图10为从图7的(c)中的箭头D2的方向观察到的掩模框中的外壳片13的安装位置的图。

图11为表示本发明的第一实施方式中的蒸镀掩模的掩模片的结构的图，(a)为掩模片15的俯视图，(b)为(a)中所示的有效部的放大图，(c)为(b)中所示的B-B线剖视图，(d)为(b)中所示的C-C线剖视图。

图12为本发明的第一实施方式所涉及的蒸镀掩模的放大图。

图13为本发明的第一实施方式所涉及的蒸镀工序中进行蒸镀时的蒸镀掩模以及基板的剖视图。

图14为表示对本发明的第二实施方式所涉及的发光层的蒸镀工序中使用的蒸镀掩模进行制作的情形，(a)为表示在掩模框上安装外壳片的情形的图，(b)为表示在掩模框上安装覆盖片的情形的图，(c)为表示在掩模框上安装掩模片的情形的图，(d)为制作而成的蒸镀掩模的俯视图。

图15为表示本发明的第二实施方式所涉及的覆盖片的结构的俯视图。

图16为本发明的第二实施方式所涉及的蒸镀掩模的放大图。

图17为本发明的第二实施方式中的蒸镀工序中进行蒸镀时的蒸镀掩模以及基板的剖视图。

图18的(a)为表示在掩模框上安装开口掩模的情形的俯视图，(b)为(a)的掩模框附近的剖视图。

图19的(a)为表示在掩模框上安装掩模片的情形的俯视图，(b)为(a)的掩模框附近的剖视图。

图20表示对以往的蒸镀掩模进行制作的情形，(a)为表示在掩模框上安装掩模片的情形的图，(b)为表示所制成的蒸镀掩模的俯视图。

图21为表示将有效部的外形设为异形的比较例所涉及的掩模片的结构的俯视图。

图22为表示将有效部的外形设为异形的比较例所涉及的掩模片的变形例的结构的俯视图。

图23为对第一实施方式的有源区域的一部分进行了放大的图。

图24为表示第一实施方式所涉及的具有磁铁的蒸镀装置的结构的剖视图。

图25为第一实施方式的变形例所涉及的蒸镀掩模的放大图。

图26为表示第一实施方式的变形例所涉及的显示面板的切口部附近的结构的图。

具体实施方式

[第一实施方式]

基于图1～图13对本发明的第一实施方式进行说明。

(电子设备30的结构)

图1的(a)为表示使用了本发明的第一实施方式所涉及的有机EL显示装置的电子设备30的外观的立体图，(b)为(a)的剖视图。作为电子设备30的一个示例，可列举出智能电话。但是，电子设备30并不限定于智能电话，只要是其他便携式电话终端或平板电脑等便携式信息终端、电视接收器、个人计算机等组装有有机EL显示面板(异形的显示面板)42的电子设备即可。

电子设备30具有框体32。并且，电子设备30具有分别设置于框体32的触摸面板40、扬声器34、摄像头36、以及未图示的麦克风。此外，电子设备30也可以具有对电源的导通断开进行切换的电源按钮等各种按钮。

触摸面板40具有触摸传感器41和有机EL显示面板42。有机EL显示面板42具有显示各种图像的异形的显示区域43。有机EL显示面板42具有显示区域43、以及包围显示区域43的周围的框缘区域。通过在有机EL显示面板42安装有各种部件来构成有机EL显示装置。

触摸传感器41设置于有机EL显示面板42。触摸传感器41是通过感测手指、触摸笔等的接触或接近的输入操作，从而接受来自用户的有机EL显示面板42上的坐标位置的输入的输入装置。触摸传感器41也可以与有机EL显示面板42形成为一体，也可以形成为与有机EL显示面板42不同的结构。触摸传感器41只要是静电容方式、红外线方式等能够接受来自用户的输入操作的方式即可。

有机EL显示面板42的显示区域43的外形不是长方形或正方形，而是长方形或正方形以外的形状的异形。

异形是指将有机EL显示面板的外形设为长方形或正方形的情况下的缘部(边或角)的至少一部分，具有从该缘部向内侧(长方形或正方形的中央部方向)或外侧(远离长方形或正方形的中央部的方向)突出的异形部分的形状。也就是说，异形部分是指在将有机EL显示面板的外形设为长方形或正方形的情况下，未与设为该长方形或正方形的有机EL显示面板的缘部重叠的部分。

在图1中，在有机EL显示面板42的显示区域43，例如，四个角43a～43d具有不是直角而弯曲的所谓的圆弧(圆)的形状(圆弧形状)。而且，有机EL显示面板42的显示区域43例如为在四边中的至少一边具有以从缘部朝向显示区域43的中央部方向而成为凸起的方式凹入的切口部43d的形状。切口部43d例如具有圆弧形状。有机EL显示面板42中的框缘区域具有宽度窄且与显示区域43的外形大致相同的形状的外形。

此外，如图1的(b)所示，在本实施方式中，有机EL显示面板42的显示区域43的两长边附近的剖面弯曲。

在框体32中的被切口部43d包围的区域配置有摄像头36以及扬声器34。

另外，该有机EL显示面板42的外形的形状为一个示例，也可以是其他异形的形状。以下，对该外形为异形的有机EL显示面板42的制造方法进行说明。

(有机EL显示面板的制造方法的概要)

图2为表示本发明的第一实施方式所涉及的有机EL显示面板的制造工序的图。图3为本发明的第一实施方式所涉及的有机EL显示面板的基板1的俯视图。图4为图3的基板的有机EL显示面板形成区域的剖视图。在图3中示出从一张母玻璃上对有机EL显示面板形成18个倒角的情况的结构。另外，从一张母玻璃上对有机EL显示面板进行倒角的个数并不限于18个，也可以是17个以下或19个以上。

在基板1配置有18个有机EL显示面板形成区域9。有机EL显示面板形成区域9是在从母玻璃切出而单片化后，成为有机EL显示面板的区域。

基板1具有TFT基板(被蒸镀基板)2、有源区域3、框状堤4、以及密封层5。

有源区域3为呈矩阵状形成有例如RGB各自的像素的区域。有机EL显示面板形成区域9中的形成有有源区域3的区域为显示区域43，有机EL显示面板形成区域9中的包围有源区域3的周围的区域为框缘区域44。另外，在图3中，框缘区域44为有机EL显示面板形成区域9中的虚线所示的区域(有源区域3)外侧的区域。

图23为对第一实施方式的显示区域43的一部分进行了放大的图。参与图像显示的像素pix呈矩阵状排列配置于显示区域43。在像素pix形成有发光层80。

作为一个示例，在图23中，形成有发出红色光的红色发光层80R的红色像素Rpix、具有发出绿色光的绿色发光层80G的绿色像素Gpix、以及具有发出蓝色光的蓝色发光层80B的蓝色像素Bpix成为PenTile排列。但是，像素配置并不特别限定于PenTile排列，也可以是例如带状排列等其他排列。

另外，发光层80的形状为在内部形成有该发光层80的像素堤的开口部的形状。

如图2～图4所示，首先在TFT工序S11中制作TFT基板2。TFT基板2通过如下方式制作而成：通过公知的方法在母玻璃上形成配置于各像素的像素电路所包含的TFT(晶体管、驱动元件)、栅极布线以及源极布线、以及其他各种布线，并形成钝化膜(保护膜)以及层间绝缘膜(平坦化膜)等，而且在该无机绝缘膜上形成与阳极接触的反射电极层、以及用于限定ITO层以及发光区域的像素堤层。

由此，在有源区域3形成图23所示的发光区域。

钝化膜防止TFT中的金属膜的剥离并对TFT进行保护。钝化膜隔着母玻璃上或其他层而形成并覆盖TFT。钝化膜为由氮化硅、氧化硅等构成的无机绝缘性膜。

层间绝缘膜对钝化膜上的凹凸进行平坦化。层间绝缘膜形成于钝化膜上。层间绝缘膜为由丙烯酸树脂或聚酰胺等感光性树脂构成的有机绝缘膜。

接着，在有机EL工序S12中，在TFT基板2的各像素内(即，在TFT工序S11中所形成的像素堤的开口部内)中的反射电极层上形成有机EL层。有机EL层包含发光层、空穴传输层以及其他功能层。发光层使每个像素发出例如红色、绿色或蓝色等不同颜色的光。发光层以及空穴传输层中的至少一者(以下，有时称作发光层等)在蒸镀工序中，通过在真空中使用了本实施方式所涉及的蒸镀掩模的蒸镀而形成于各像素的规定位置。

用于形成向发光层以及空穴传输层等的每个像素蒸镀蒸镀层的蒸镀工序中使用的蒸镀掩模，在蒸镀工序之前，通过蒸镀掩模的制作工序S20而预先制作。另外，关于蒸镀掩模的制作工序S20的详情将在下文中叙述。此外，使用该蒸镀掩模形成的层并不限定于发光层以及空穴传输层，只要是形成于每个像素(即像素堤的开口部内)的层即可。

并且，以覆盖有机EL层的方式形成隔着有机EL层而与反射电极对置的透明电极。此外，在形成该有源区域3时，呈框状包围该有源区域3的框状堤4也形成于TFT基板2上。框状堤4由丙烯酸树脂或聚酰胺等感光性树脂构成。

并且，接着在密封工序S13中形成密封层5。密封层5可制成按顺序层压有无机膜6、有机膜7、以及无机膜8的三层结构而作为一个示例。由于形成有框状堤4，因此能够将有机膜7的膜厚形成为例如厚达1.0μm以上。

也可以在形成该密封层5后，设置柔性工序S14。在柔性工序S14中，将基板的玻璃剥离而粘贴作为支承体的薄膜等。

并且，接着在单片化工序S15中，切出各有机EL显示面板形成区域9。由此将各有机EL显示面板形成区域9单片化。由此，形成具有挠性的异形的显示面板(有机EL显示面板)。

接下来，在安装工序S16中，在单片化的各有机EL显示面板形成区域9安装驱动器等构件。由此完成有机EL显示装置。

在本实施方式中，显示区域43例如为长方形或正方形以外的形状的异形，因此显示面板的外形也匹配显示区域43的形状而成为异形。

此处，以往为了使作为显示区域外的像素的显示区域外像素不参与图像的显示，因此需要不设置与显示区域外像素对应的掩模开口(蒸镀孔)等，从而使掩模片的结构在显示区域内外不同。

另一方面，根据本实施方式，与显示区域43外的像素对应的掩模片15中的第二蒸镀孔H2与外形限定掩模55重叠，通过该外形限定掩模55来遮蔽向显示区域外的像素蒸镀蒸镀层。因此，在显示区域外像素，并未形成蒸镀于发光层以及空穴传输层等的每个像素的蒸镀层，从而能够形成可靠的密封结构。

如此，通过蒸镀掩模10来遮蔽向显示区域外像素蒸镀蒸镀层，因此显示区域外像素不有助于显示。因此，在掩模片15中，能够设置不受显示区域的外形影响的高精度的掩模开口。

由此，即使在显示区域43设置切口部43e，也能够在显示区域43外且被该切口部43e包围的区域，在掩模片15上形成与显示区域43内的像素相同的结构的掩模开口。其结果，即使具有切口部43e也能够制作高清晰地于各像素形成向发光层以及空穴传输层等的每个像素蒸镀的蒸镀层的显示面板。

图5为表示在形成本发明的第一实施方式所涉及的有机EL显示装置的发光层等(向发光层以及空穴传输层等的每个像素蒸镀的蒸镀层)时的蒸镀工序的情形的示意图。

在蒸镀发光层等的蒸镀工序中，将设置有具有多个通孔的掩模片15的蒸镀掩模10紧密贴合于TFT基板2，在真空下，使由蒸镀源70蒸发的蒸镀粒子Z(例如，有机发光材料)越过掩模片15而蒸镀于TFT基板2中的像素。由此，在TFT基板2形成与掩模片15的通孔对应的图案的蒸镀图案。

此处，显示区域43(参照图1、图3以及图4)是外形为长方形或正方形以外的形状的异形。例如，显示区域43为具有四个角43a～43d不是直角而是圆而且在四边中的至少一边具有从缘部朝向显示区域的中央部凹入的切口部43d的异形。因此，在蒸镀工序中使用的蒸镀掩模也形成有与显示区域43的形状匹配的异形的蒸镀图案。

(蒸镀掩模)

接着，对蒸镀工序中使用的蒸镀掩模的制作工序S20进行说明。图6为表示本发明的第一实施方式所涉及的有机EL显示面板中的发光层的蒸镀工序的图。图7为表示对本发明的第一实施方式所涉及的蒸镀掩模进行制作的情形的图。

首先，如图6的工序Sa、图7的(a)、(b)所示，在被框包围的区域，在具有框开口部11a的框状的掩模框11安装多个覆盖片(第一片状掩模)12(覆盖片安装工序)。

对于掩模框11，例如使用厚度为20mm～30mm的热膨胀极少的殷钢材料等作为母材。与掩模片相比足够厚且具有较高的刚性，以便在架设掩模片而进行熔接时也能够确保充分的精度。

覆盖片12发挥在后侧填埋安装于掩模框11的掩模片间的间隙、或堵塞形成于掩模片的虚设图案的作用。另外，在本实施方式中，覆盖片12并不是决定显示区域的外形的片材，配置于掩模片的有效部(详情将在下文中叙述)的外侧。

对于覆盖片12，例如可使用厚度为30μm～50μm的殷钢材料等作为母材。在本实施方式中，由于面板的有效区域(显示区域43(参照图3))间的间隔狭窄，因此将覆盖片的宽度设为例如2mm～3mm程度，以使掩模片的有效部不被遮蔽。但是，在面板的有效区域间的间隔较宽的情况下，也可以将覆盖片的宽度设为比其大。

覆盖片12为细长的形状，并从一端部到另一端部呈直线状延伸。

在将覆盖片12安装于掩模框11时，如图7的(b)中的箭头F1所示，通过分别对覆盖片12的两端部沿向外的方向(相互分离的方向)施加力而进行架设(拉伸)，并且将覆盖片12的两端部熔接于掩模框11的规定位置。并且，对覆盖片12中的熔接部分的外侧的多余部分进行切割。由此，将各覆盖片12安装于掩模框11的规定位置。在本实施方式中，各覆盖片12以与掩模框11的短边方向平行的方式安装于掩模框11。各覆盖片12沿掩膜框11的长边排列，并以相互平行的方式安装于掩模框11。

图8为从图7的(b)中的箭头D1的方向观察到的掩模框11中的覆盖片12的安装位置(图7的(b)所示的区域AR1)的图。图7的(b)中的箭头D1表示从外侧向内侧方向且与掩模框11的短边平行方向观察掩模框11中的覆盖片12的安装位置的方向。

如图8所示，在掩模框11中的安装覆盖片12的规定位置形成有槽11b。覆盖片12嵌入形成于两端部掩模框11的槽11b，由此安装于掩模框11的规定位置。

接着，如图6的工序Sb以及图7的(c)所示，在安装有覆盖片12的掩模框11上安装外壳片(第一片状掩模)13(也称作支承片)(外壳片安装工序)。

外壳片13通常发挥将之后安装于掩模框11的掩模片支承为不松驰、或对形成于掩模片的虚设图案进行堵塞的作用。但是，本实施方式中的外壳片13可有效地用作决定有机EL显示面板中的显示区域的外形的掩模片。

对于外壳片13，例如可使用厚度30μm～100μm的殷钢材料等作为母材。外壳片13的宽度例如为8mm～10mm程度，由配置面板的基板上的布局决定。

通常在竖向(portrait)形状的显示面板中，端子部被外壳片掩盖，因此外壳片的宽度比覆盖片的宽度宽，但外壳片配置于不与显示面板的显示区域(即掩模片的有效部)重叠的位置。但是，在本实施方式中，外壳片13配置于与掩模片15的有效部重叠的位置，由外壳片13形成显示面板的显示区域的外形形状(特别是异形部分)。

图9为本发明的第一实施方式所涉及的外壳片的结构的俯视图。如图9所示，外壳片13从一端部到另一端部，设置有显示区域的外径形状中的包含异形部分的形状的凹凸等。外壳片13具有：安装区域13a，其为两端部附近的区域且在安装于掩模框11时与掩模框11重叠的区域；以及显示区域的外形形成区域13b，其为在安装区域13a间形成显示区域的外形的区域。

显示区域的外形形成区域13b具有用于形成包含显示区域的异形部分在内的至少一部分显示区域的外形的凹凸形状。

在显示区域的外形形成区域13b中的沿延伸方向延伸的一个边，排列形成有切口部13c，在沿延伸方向延伸的另一个边排列形成有切口部13d。

切口部13c、13d具有显示区域43(图1以及图3)中的例如切口部43d、以及四个角43a～43d等的、例如与作为圆弧形状的异形部分对应的形状。

切口部13c具有：弯曲部23c，其为了形成显示区域43(图1以及图3)的角43c而具有与角43c相同形状的圆弧形状等的圆；以及弯曲部23d，其为了形成显示区域43(图1以及图3)的角43d而具有与角43d相同形状的圆弧形状等的圆。弯曲部23c、23d为形成于切口部13c中的凹部的角部。

切口部13d具有：弯曲部23a，其为了形成显示区域43(图1以及图3)的角43a而具有与角43a相同的圆弧形状等的圆；凸部23e，其具有与显示区域43(图1以及图3)的切口部43e相同形状的凸形状；以及弯曲部23b，其为了形成显示区域43(图1以及图3)的角43b而具有与角43b相同的圆弧形状等的圆。凸部23e形成在弯曲部23a与弯曲部23b之间。弯曲部23a、23b为形成于切口部13d中的凹部。凸部23e为形成于切口部13d中的凸部。

另外，还考虑到外壳片13的熔接位置的误差，设计显示区域的稍微外侧的位置(例如100μm～200μm外侧的位置)成为外壳片外形。

在外壳片13中，通过形成切口部13c、13d，从而使相互对置的切口部13c、13d的宽度W13b与安装区域13a的宽度W13a相比局部狭窄。

另外，外壳片13为在宽度W13a的片材设置有切口部13c、13d的形状，但也可以是在宽度W13b的片材设置有弯曲部23a～23d、凸部23e等那样的突起物的形状。

如图7的(c)中的箭头F2所示，在将外壳片13安装于掩模框11时，通过分别对外壳片13的两端部沿向外的方向(相互分离的方向)施加力来进行架设(拉伸)，并且将外壳片13的两端部熔接于掩模框11的规定位置。并且，对外壳片13中的熔接部分的外侧的多余部分进行切割。由此，将各外壳片13的安装区域13a(参照图9)安装于掩模框11的规定位置。即，将各外壳片13安装于掩模框11的规定位置。

在本实施方式中，各外壳片13以与掩模框11的长边平行的方式安装于掩模框11。各外壳片13沿掩模框11的短边方向排列，并以相互平行的方式安装于掩模框11。

图10为从图7的(c)中的箭头D2的方向观察掩模框11中的外壳片13的安装位置的图。图7的(c)中的箭头D2表示从外侧向内侧方向且与掩模框11的长边平行方向观察掩模框11中的覆盖片12的安装位置(图7的(c)所示的区域AR2)的方向。

如图10所示，在掩模框11中的安装外壳片13的规定位置形成有槽11c。外壳片13通过将双个安装区域13a嵌入到形成于掩模框11的槽11c，并进行熔接而安装于掩模框11的规定位置。

另外，也可以将在掩模框11上安装覆盖片12和外壳片13的顺序反过来(切换图6的工序Sa和工序Sb)，在掩模框11上先安装外壳片13后，接着安装覆盖片12。

但是，理想的是后安装覆盖片12和外壳片13中的限定显示区域的外形形状的片材(在第一实施方式的情况下为后安装外壳片13)。

如图7的(c)所示，通过在掩模框11上呈格子状安装多个覆盖片12和多个外壳片13，从而排列形成有由相互对置的覆盖片12和相互对置的外壳片13划分出的开口部即外形开口部53。

外形开口部53具有与作为发光层的形成区域的显示区域的外形中的至少异形部分对应的形状。换言之，外形开口部53对作为发光层等的形成区域的显示区域中的至少一部分的外形进行限定。

在外形开口部53中，通过在相互对置的外壳片13中的一个外壳片13形成切口部13d，在另一个外壳片形成切口部13c，从而使外形开口部53具有与显示区域的外形中的异形部分相同的形状。

接着，如图6的工序Sc以及图7的(d)所示，以对位标记来到规定位置的方式将形成有对位标记的对位片14安装于掩模框11(对位片安装工序)。

在将对位片14安装于掩模框11时，如图7的(d)中的箭头F3所示，通过分别对对位片14的两端部施加沿向外的方向(相互分离的方向)且与掩模框11的短边方向平行的方向的力而进行架设(拉伸)，并将对位片14的两端部熔接于掩模框11的规定位置。并且，对对位片14中的熔接的部分的外侧的多余部分进行切割。由此，将各对位片14安装于掩模框11的规定位置。在本实施方式中，两根对位片14分别以沿掩模框11的框开口部11a的短边相互平行的方式安装于掩模框11。

接着，如图6的工序Sd以及图7的(e)所示，在掩模框11上安装多个掩模片(第二片状掩模)15(掩模片安装工序)。掩模片15是为了在图3以及图4所示的显示区域43(有源区域3)中的像素内形成图案化的发光层等而例如分别用于分涂为RGB的片材。

图11为表示掩模片15的结构的图。如图11的(a)所示，掩模片15为短条状，可使用例如厚度10μm～50μm，优选为25μm程度的殷钢材料等作为母材。为了防止蒸镀的发光层的厚度不均匀，掩模片15由厚度较薄的片材构成。

另外，掩模片15的下表面为与图5中的蒸镀源70对置的一侧的面，且上表面成为与图5中的TFT基板2对置的一侧的面。

在掩模片15的两端部间排列形成有沿长边方向排列的多个有效部YA。在有效部YA形成有多个蒸镀孔H。

各有效部YA的外形是尽量使应力均匀的正方形或长方形而不是异形。在本实施方式中，各有效部YA的外形为长方形。

在蒸镀工序中，掩模片15中的有效部YA与TFT基板2的有源区域3(参照图3以及图4)重叠，包围有效部YA的缘部与框缘区域44(参照图3以及图4)重叠。并且，从蒸镀源发出的蒸镀粒子通过一部分的蒸镀孔H而蒸镀于TFT基板2的有源区域3(显示区域43)的像素上。此时掩模片15的缘部与TFT基板2的框缘区域44重叠，因此蒸镀粒子被缘部遮断而不会到达框缘区域44。

如图11的(b)所示，有效部YA为设置有设置于掩模片15的多个蒸镀孔H的部分。

多个蒸镀孔H具有用于在像素上形成图案化的发光层等的第一蒸镀孔H1和作为显示区域外的开口部的第二蒸镀孔H2。在有效部YA中的形成有第一蒸镀孔H1的区域为第一区域YA1，形成有第二蒸镀孔H2的区域为第二区域YA2。

在通过掩模片15将发光层蒸镀于TFT基板上的情况下，与有效部YA与发出发光层所发出的颜色中的任意颜色光的发光层的形成区域对应地形成蒸镀孔H1。例如，在显示区域43(有源区域3)形成发出红色光的发光层、发出绿色光的发光层、以及发出蓝色光的发光层的情况下，蒸镀孔H1由与发出红色光的发光层、发出绿色光的发光层、发出蓝色光的发光层中的任意发光层的图案相同的图案形成。

在有效部YA中，以与像素对应的排列形成蒸镀孔H1。第二蒸镀孔H2具有与第一蒸镀孔H1相同的间距以及相同的形状。第二蒸镀孔H2形成于有源区域3中的周端(周边的缘部)。

第一区域YA1具有与有源区域3(即显示区域43)对应的外形。第二区域YA2为第一区域YA的外侧的部分。第二蒸镀孔H2被外形限定掩模55遮蔽。因此，蒸镀粒子不穿过第二蒸镀孔H2。

例如，在有源区域3设置有显示区域外像素的情况下，显示区域外像素也可以介隔外形限定掩模55，并以与第二蒸镀孔H2重叠的方式形成第二蒸镀孔H2。因此，并未在显示区域外像素形成有发光层等，而仅在显示区域内形成发光层等。

例如，也可以以如下方式设置像素：在通过外形限定掩模55限定显示区域的外侧的前提下，使其成为像长方形或正方形那样的并非异形的形状。

有效部YA对该第一区域YA1以及第二区域YA2进行组合而具有长方形或正方形等并非异形的形状。

还能表现为第一蒸镀孔H1是有助于显示区域43中的图像显示的开口部，第二蒸镀孔H2为并不有助于显示区域43中的图像显示的开口部。

掩模片15在安装于掩模框11前，预先通过掩模片制作工序进行制作。

掩模片15例如以如下方式进行制作。首先，在由殷钢材料等构成的长条板的双面涂布负型或者正型的感光性抗蚀材料，在双面(上表面以及下表面)形成抗蚀膜。

接下来，通过使用曝光掩模对上表面以及下表面的抗蚀膜进行曝光以及显影，而在片材双面形成抗蚀图案。接下来，将上表面抗蚀图案作为掩模而对有效部YA的上表面进行蚀刻(缘部的上表面不进行蚀刻)，在有效部YA的上表面形成图案化的开口K(在该阶段不成为贯穿的蒸镀孔)。

接下来，利用具有耐蚀刻性的耐性树脂覆盖上表面，将下表面抗蚀图案作为掩模，对有效部YA以及缘部的下表面进行蚀刻。由此，在有效部YA通过来自下表面侧的浸蚀而形成蒸镀孔H(通孔)，在缘部的下表面形成多个凹口。

沿掩模片15的长边方向以及短边方向(宽度方向)呈矩阵状或倾斜地形成有效部YA的多个蒸镀孔H，其开口K(上表面的开口)以与基板的像素堤层的开口形状对应的方式成为带圆角的四边形形状或者圆形或椭圆形的形状。在有效部YA，对各蒸镀孔H进行如下的蚀刻，即与上表面侧的蚀刻相比而言，更广泛且更深地进行下表面侧的蚀刻，从而能够减小被遮蔽部分(相邻的两个蒸镀孔间的分隔的高度)，可提高对于基板的蒸镀精度以及蒸镀效率。

在有效部YA，当利用穿过横向相邻的两个开口K的中心的B-B线获取剖面时，如图11的(c)所示那样，成为母材最小(空洞最大)的结构，当利用从纵向相邻的两个开口K穿过等距离的点而与B-B线平行的C-C线获取剖面时，如图11的(c)、(d)所示那样，成为母材最大(空洞最小)的结构(最大厚度为母材的厚度Ti)。

如图7的(e)中的箭头F4所示那样，在将掩模片15安装于掩模框11时，通过对掩模片15的两端部沿向外的方向(相互分离的方向)施加力而进行架设(拉伸)，并且以形成于对位片14的对位标记为基准，以蒸镀孔来到规定位置的方式，将掩模片15的两端部精度良好地熔接于掩模框11的规定位置。

此外，在对该掩模框11进行架设以及熔接时，根据架设以及熔接后的掩模框11的变形量，一边施加反作用力一边进行架设以及熔接。

此处，形成于掩模片15的有效部YA的外形不是异形而是正方形或长方形。因此，与具有异形的有效部的掩模片相比，能够防止在架设掩模片15时施加于掩模片的应力变得不均匀。由此，能够防止蒸镀掩模中的蒸镀孔的位置偏移，能够精度良好地将掩模片15安装于掩模框11。

其次，对于掩模片15，如图7的(f)所示那样，以由覆盖片12和外壳片13划分出的外形开口部53完全被有效部YA覆盖的方式，将所需的全部片材大小的掩模片15安装于掩模框11，然后如图6的工序Se以及图7的(e)所示那样，对各掩模片15中的熔接部分的外侧的多余部分进行切割。由此，完成蒸镀掩模10。

接着，如图6的工序Sf所示那样，对完成的蒸镀掩模10进行清洗，并进行异物检查以及精度检查等各种掩模检查。其后，将通过掩模检查而没有问题的蒸镀掩模10存放于贮藏柜，并根据需要供给至蒸镀工序中使用的蒸镀装置。

(蒸镀掩模10的详情)

图12为本发明的第一实施方式所涉及的蒸镀掩模10的放大图。图13为蒸镀工序中进行蒸镀时的蒸镀掩模以及TFT基板2的剖视图。在图12中，为了便于说明而省略掩模片15的有效部YA以外的图示。此外，在图12中，用虚线图示有效部YA。

如图12所示，蒸镀掩模10具备：外形限定掩模(第一片状掩模)55，其具有覆盖片12以及外壳片13；以及掩模片15，其形成有有效部YA，该有效部YA形成有图案化的蒸镀孔H(参照图11的(b))。外形限定掩模55通过相互对置的覆盖片12和相互对置的外壳片13进行划分，从而限定(形成)包含异形部分的形状的外形开口部53。

并且，外形开口部53的短边与有效部YA重叠。即，第二区域YA2所包含的第二蒸镀孔H2(参照图11的(b))由于与外壳片13重叠而被遮蔽。另一方面，第一区域YA1所包含的第一蒸镀孔H1未被遮蔽。如此，外壳片13对有效部YA中的第一区域YA1的短边的外形进行限定，由此对显示区域的短边的外形进行限定。

外形开口部53的长边并不与有效部YA重叠。即，有效部YA的长边并不与覆盖片12重叠。由此，显示区域的长边通过有效部YA中的第一区域YA1的长边来限定外形。

例如，通过与有效部YA重叠的外壳片13中的弯曲部23a、凸部23e、弯曲部23b、弯曲部23c、以及弯曲部23d，而分别形成作为显示区域43(参照图1以及图3)的异形部分的角43a、切口部43e、角43b、角43c、以及角43d。

因此，在蒸镀工序中，能够通过有效部YA以及外壳片13，在具有期望的外形的显示区域所包含的各子像素形成图案化的发光层等。

图21为表示将有效部的外形设为异形的比较例所涉及的掩模片的结构的俯视图。

如图21所示，还考虑到了为了通过蒸镀在异形的显示区域形成图案化的发光层等，而将有效部设为对应的异形的方法。

在掩模片115A，并非正方形或长方形的异形的有效部115Aa排列形成于掩模片115A。

在有效部115Aa形成有图案化的作为通孔的蒸镀孔。有效部115Aa成为四个角143Aa～143Ad不是直角而弯曲的形状。而且，在有效部115Aa，在连结角143Aa和角143Ab的直线状的边的一部分形成有凹入的切口部143Ae。

在将形成有此种异形的有效部115Aa的掩模片115A安装于掩模框时，当如图21的箭头F104所示那样对掩模片115A的两端部施加向外的力时，施加于箭头AR100所示的四个角143Aa～143Ad的周围的区域以及箭头AR101所示的切口部143Ae的周围的区域等异形部分的周围的区域的应力不均匀，从而造成位移量不均匀。其结果，安装有掩模片115A的蒸镀掩模中的蒸镀孔的位置精度变差。

图22为表示将有效部的外形设为异形的掩模片的变形例的结构的俯视图。

如图22所示的掩模片115B所示的有效部115Ba那样，考虑到了四个角143Ba～143Bd弯曲，但在与切口部143Ae(参照图21)对应的区域形成全蚀刻部143Be1和半蚀刻部143Be2的方式。全蚀刻部143Be1所包含的蒸镀孔为通孔，在半蚀刻部143Be2所包含的蒸镀孔形成区域形成不贯穿的凹部。

由此，在将掩模片115B安装于掩模框时，当如图22的箭头F104所示那样对掩模片115B的两端部施加向外的力时，施加于全蚀刻部143Be1以及半蚀刻部143Be2的周围的区域的应力的不均匀性，与施加于图21所示的切口部143Ae的周围的区域的应力的不均匀性相比能够被减轻。但是，施加于全蚀刻部143Be1以及半蚀刻部143Be2的周围的区域的应力依然不均匀，而且施加于四个角143Ba～143Bd的周围的应力也依然残留不均匀性。

另一方面，如上述那样，在本实施方式所涉及的蒸镀掩模10中，将掩模片15中的有效部YA设为长方形或正方形。并且，通过与有效部YA重叠的外壳片13，形成具有与显示区域的异形部分对应的外形的第一区域YA1。

由此，无需使特别是蒸镀掩模10中的要求位置精度的有效部YA的外形与应蒸镀发光层的显示区域的外形匹配。因此，即使应蒸镀发光层等的显示区域的外形为异形，也能够不将有效部YA的外形设为异形而是设为长方形或正方形(在本实施方式中为长方形)。

因此，在将掩模片15安装于掩模框11时，即使架设掩模片15，也与将有效部设为异形的情况不同，能够防止对掩模片15施加不均匀的应力。由此，能够获得蒸镀掩模10中的蒸镀孔H的位置精度较高的蒸镀掩模10。即，能够通过蒸镀掩模10而在TFT基板2的各像素上精度良好地蒸镀发光层。

另外，还能够将TFT基板2中的形成有发光层的显示区域的外形设为与正方形或长方形不同的异形，能够获得设计性较高的有机EL显示面板。

换言之，蒸镀掩模10还能够表现出具备具有外形限定掩模55和掩模片15的至少两种不同的作用的掩模，所述外形限定掩模55对蒸镀发光层的显示区域的外形中的异形部分的外形进行限定，所述掩模片15形成有用于在显示区域内的各像素蒸镀发光层等而形成图案的蒸镀孔H。

如此，根据蒸镀掩模10，即使显示区域的外形为长方形或正方形以外的异形，也能够抑制形成于有效部YA的蒸镀孔H的蒸镀掩模10中的位置偏移。

除此以外，由于即使显示区域的外形变化也无需变更有效部YA的外形，因此能够在具有各种外形的基板间共用形成有有效部YA的掩模片15。

如图13所示，在蒸镀工序中，在蒸镀掩模10与TFT基板2对置配置时，在蒸镀掩模10中，在形成有有效部YA的掩模片15与形成有外形开口部53的外形限定掩模55中，掩模片15更接近TFT基板2。由此，能够精度良好地将发光层形成于像素。而且，能够使掩模片15与TFT基板2紧密贴合或接近，因此能够防止发光层的缘部的膜厚不均匀。

此外，如图12以及图13所示，在本实施方式中，在构成外形限定掩模55的覆盖片12以及外壳片13中，在外壳片13上形成有与显示区域的异形部分对应的、例如形成为凹凸形状的切口13c、13d。并且，形成有该异形部分的外壳片13配置为比覆盖片12更接近掩模片15。

由此，在蒸镀工序中，能够使形成有异形部分的外壳片13比覆盖片12更靠近TFT基板2。因此，在蒸镀工序中，能够向由切口13c、13d限定的显示区域的外形附近的像素位置精度良好地蒸镀发光层等。

此外，在蒸镀掩模10中，覆盖片12、外壳片13以及掩模片15分别直接安装于刚性较高的掩模框11，因此蒸镀掩模10中的外形开口部53的位置精度以及蒸镀孔H的位置精度较高。

此外，在蒸镀掩模10中，外形限定掩模55与掩模片15包含被磁力吸附的材质。在本实施方式中，外形限定掩模55与掩模片15包含殷钢材料等具有由于磁铁而产生的吸附性的材料。由此，装填于蒸镀装置的蒸镀掩模10能够通过磁铁，而使外形限定掩模55和掩模片15吸附于TFT基板2上。

图24为表示第一实施方式所涉及的具有磁铁的蒸镀装置的结构的剖视图。另外，在图24中，省略蒸镀源的图示。如图24所示，蒸镀装置具有吸附TFT基板2的磁铁。在蒸镀装置中，例如在TFT基板2的一个面(蒸镀面)紧密贴合有蒸镀掩模10，并具有：触摸板71，其为以与TFT基板2的另一个面相接的方式配置的冷却板；以及磁板72，其具有磁铁，所述磁铁配置于触摸板71的与TFT基板2的接触面相反侧的面。

(蒸镀掩模10的变形例)

图25为第一实施方式的变形例所涉及的蒸镀掩模10的放大图。如图25所示，有效部YA也可以是短边与外壳片13重叠，而且长边与覆盖片12重叠。根据图25的方式，在有效部YA中，以包围第一区域YA1的方式形成有第二区域YA2。另外，在图25的方式中，有效部YA中的第一区域YA1的异形部分(即，显示区域的异形部分)也通过外壳片13来限定。

(有机EL显示面板42的变形例)

图26为表示第一实施方式的变形例所涉及的显示面板的切口部附近的结构的图。

在不参与图像显示的显示区域外像素的一部分，也可以形成有蒸镀层(发光层以及空穴传输层中的至少一者)。

图26所示的有机EL显示面板42为挠性的显示面板，并包含：显示区域43，其在外形中的至少一部分具有切口部43e；以及框缘区域44，其包围该显示区域43的外周，并具有切口部44e。

在显示区域43具备形成有呈矩阵状形成的发光层80以及空穴传输层的像素pix。例如，在图26中，形成有红色发光层80的红色像素Rpix、形成有绿色发光层80G的绿色像素Gpix、形成有蓝色发光层80B的蓝色像素Bpix成为带状排列。另外，图26所示的红色像素Rpix、绿色像素Gpix以及蓝色像素Bpix的排列为一个示例。

并且，框缘区域44为切口部44e周边的区域，并具有：在蒸镀时被外壳片13的凸部23e(参照图9)遮蔽的遮蔽区域44a、和未被蒸镀掩模遮蔽的非遮蔽区域44b。

并且，在遮蔽区域44a与非遮蔽区域44b形成有显示区域外像素pixout，其为显示区域外的像素且不参与图像的显示。

形成于遮蔽区域44a以及非遮蔽区域44b的显示区域外像素pixout并未形成像素电路以及像素堤，但为在蒸镀时与蒸镀掩模的蒸镀孔H(图11的(b))重叠的区域。

在形成于遮蔽区域44a的显示区域外像素pixout并未形成向发光层80以及空穴传输层等的每个像素蒸镀的蒸镀层。

形成于非遮蔽区域44b的多个显示区域外像素pixout具有：与形成于显示区域43的发光层80(或向其他每个像素蒸镀的蒸镀层)相同的形状的第一发光层81(或向其他每个像素蒸镀的蒸镀层)；以及形成于显示区域43的发光层80(或向其他每个像素蒸镀的蒸镀层)的形状中的周边的一部分被切掉的形状的第二发光层82(或向其他每个像素蒸镀的蒸镀层)。

形成于遮蔽区域44a的显示区域外像素pixout在蒸镀时介隔外壳片13的凸部23e而与有效部YA的第二区域YA2(图11的(b))重叠。

在非遮蔽区域44b中，形成有第一发光层81(或向其他每个像素蒸镀的蒸镀层)的显示区域外像素pixout在蒸镀时与有效部YA的第一区域YA1(图11的(b))重叠，因此虽然蒸镀了第一发光层81(或向其他每个像素蒸镀的蒸镀层)，但并不参与图像的显示。

在非遮蔽区域44b中，形成有第二发光层82(或向其他每个像素蒸镀的蒸镀层)的显示区域外像素pixout分别为一部分被外壳片13的凸部23e遮蔽。因此，第二发光层82(或空穴传输层)为形成于显示区域43的发光层80(或向其他每个像素蒸镀的蒸镀层)的形状中的一部分缺损的形状。

根据图26所示的有机EL显示面板42，在形成于框缘区域44的显示区域外像素pixout中的、形成有第二发光层82(或向其他每个像素蒸镀的蒸镀层)的显示区域外像素pixout外侧的形成于遮蔽区域44a的显示区域外像素pixout，并未形成向每个像素蒸镀的蒸镀层(例如通过蒸镀掩模而形成的图案化的发光层以及空穴传输层等)。

如此，通过蒸镀掩模遮蔽向显示区域外像素pixout蒸镀蒸镀层，因此无需为了使显示区域外像素不有助于显示，而在显示区域内外改变掩模片15中的有效部YA的形状，比如未设置与形成于遮蔽区域44a的显示区域外像素pixout对应的掩模开口(蒸镀孔H2(图11的(b)))等。

因此，在掩模片15中，能够设置不受显示区域43的外形影响的高精度的掩模开口。其结果，即使在显示区域43具有切口部43e也能够获得高清晰地于各像素pix形成发光层80以及空穴传输层中的至少一者的有机EL显示面板42。

[第二实施方式]

如下所示地对本发明的第二实施方式进行说明。另外，为了便于说明，对与第一实施方式中说明的构件具有相同的功能的构件，标注相同的符号，并省略其说明。

在蒸镀掩模中，显示区域的异形部分也可以不是外壳片，而是形成于覆盖片。

图14为表示对本发明的第二实施方式所涉及的蒸镀掩模进行制作的情形的图。如图14的(a)所示，在掩模框11的规定位置安装外壳片(第一片状掩模)13A(外壳片安装工序)。

外壳片13A为细长的形状，并从一端部到另一端部呈直线状延伸。即，在本实施方式中，未在外壳片13A形成凹凸等异形形状。

在将外壳片13A安装于掩模框11时，通过分别对外壳片13A的两端部沿向外的方向(相互分离的方向)施加力而进行架设(拉伸)，并且将外壳片13A的两端部熔接于掩模框11的规定位置。并且，对外壳片13A中的熔接的部分的外侧的多余部分进行切割。由此，将各外壳片13A的两端部附近安装于掩模框11的规定位置。即，将各外壳片13A安装于掩模框11的规定位置。

在本实施方式中，各外壳片13A以与掩模框11的长边方向平行的方式安装于掩模框11。各外壳片13A沿掩模框11的短边方向排列，并以相互平行的方式安装于掩模框11。

接着，如图14的(b)所示，在安装有外壳片13A的掩模框11上安装多个覆盖片12A(覆盖片安装工序)。

图15为表示本发明的第二实施方式所涉及的覆盖片12A的结构的俯视图。

覆盖片12A从一端部延伸到另一端部。覆盖片12A在一端部与另一端部之间的区域具有以与显示区域的异形部分的形状相同的形状形成有切口的区域(显示区域的外形形成区域)。

在覆盖片12A中的显示区域的外形形成区域，在沿延伸方向延伸的一个边排列形成有切口部12Aa，在沿延伸方向延伸的另一个边排列形成有切口部12Ab。

切口部12Aa、12Ab具有显示区域43(图1以及图3)中的、例如与四个角43a～43d等异形部分对应的形状。

另外，在本实施方式中的显示区域，四个角43a～43d为弯曲的形状，且未形成有切口部43e(参照图1以及图3)。

切口部12Aa具有：弯曲部23c，其为了形成显示区域43(图1以及图3)的角43a而具有与角43a相同形状的圆；以及弯曲部23Ac，其为了形成显示区域43(图1以及图3)的角43c而具有与角43c相同形状的圆。

切口部12Ab具有：弯曲部23Ab，其为了形成显示区域43(图1以及图3)的角43b而具有与角43b相同形状的圆；以及弯曲部23Ad，其为了形成显示区域43(图1以及图3)的角43d而具有与角43d相同形状的圆。

如图14的(b)所示，在将覆盖片12A安装于掩模框11时，通过分别对覆盖片12A的两端部沿向外的方向(相互分离的方向)施加力而进行架设，并且将覆盖片12A的两端部熔接于掩模框11的规定位置。并且，对覆盖片12A中的熔接的部分的外侧的多余部分进行切割。由此，将各覆盖片12A安装于掩模框11的规定位置。在本实施方式中，将各覆盖片12A以与掩模框11的短边平行的方式安装于掩模框11。各覆盖片12A沿掩模框11的长边方向排列，并以相互平行的方式安装于掩模框11。

另外，在本实施方式中，并不将掩模片15配置并熔接在外壳片13A上，而是将其配置并熔接在覆盖片12A上。覆盖片12A与掩模片15熔接于掩模框11的同一边上。因此，为了确保掩模框11与掩模片15的熔接宽度，覆盖片12A的熔接部的宽度越小越理想。

如图14的(b)所示，通过在掩模框11上呈格子状安装多个外壳片13A和多个覆盖片12A，从而排列形成有通过相互对置的覆盖片12A和相互对置的外壳片13A划分出的开口部即外形开口部53A。

外形开口部53A具有与发光层的形成区域即显示区域的外形中的至少异形部分对应的形状。换言之，外形开口部53A对发光层的形成区域即显示区域中的至少一部分的外形进行限定。

在外形开口部53A中，通过在相互对置的覆盖片12A中的一个覆盖片12A形成切口部12Aa，在另一个覆盖片12A形成切口部12Ab，从而使其具有与显示区域的外形中的异形相同的形状。

其后，如图14的(c)、(d)所示，将对位片14和掩模片15安装于掩模框11。由此，完成蒸镀掩模10A。另外，对位片14以及掩模片15的安装方法与第一实施方式相同。

图16为本发明的第二实施方式所涉及的蒸镀掩模10A的放大图。如图16所示，蒸镀掩模10A具备：外形限定掩模(第一片状掩模)55A，其具有覆盖片12A以及外壳片13A；以及掩模片15，其形成有有效部YA，该有效部YA形成有图案化的蒸镀孔H(参照图11的(b))。外形限定掩模55A通过相互对置的覆盖片12A和相互对置的外壳片13A进行划分，从而限定(形成)包含异形部分的形状的外形开口部53A。

并且，外形开口部53A的长边与有效部YA重叠。即，第二区域YA2所包含的第二蒸镀孔H2(参照图11的(b))由于与覆盖片12A重叠而被遮蔽。另一方面，第一区域YA1所包含的第一蒸镀孔H1未被遮蔽。如此，覆盖片12A对有效部YA中的第一区域YA1的长边的外形进行限定，由此对显示区域的长边的外形进行限定。

外形开口部53的短边并不与有效部YA重叠。即，有效部YA的短边并不与覆盖片12A重叠。由此，显示区域的短边通过有效部YA中的第一区域YA1的短边来限定外形。

例如，通过与有效部YA重叠的覆盖片12A中的弯曲部23Aa、弯曲部23Ab、弯曲部23Ac、以及弯曲部23Ad，而分别形成作为显示区域43(参照图1以及图3)的异形部分的角43a、角43b、角43c、以及角43d。

因此，在蒸镀工序中，能够通过有效部YA以及覆盖片12A而在具有期望的外形的显示区域所包含的各像素上形成图案化的发光层等。

图17为在本发明的第二实施方式中的蒸镀工序中进行蒸镀时的蒸镀掩模以及TFT基板2的剖视图。

如图16以及图17所示，在本实施方式中，在构成外形限定掩模55A的覆盖片12A与外壳片13A中的覆盖片12A上，形成有与显示区域的异形部分对应的例如形成有凹形状的切口12Aa、12Ab。并且，形成有该异形部分的覆盖片12A配置为比外壳片13A更接近掩模片15。

由此，在蒸镀工序中，能够使形成有异形部分的覆盖片12A与外壳片13A相比更靠近TFT基板2。因此，在蒸镀工序中，也能够向被切口12Aa、12Ab限定的显示区域的外形附近的像素位置精度良好地蒸镀发光层等。

另外，除覆盖片12A以外，也可以在外壳片13A上形成有与显示区域的异形部分对应的例如凹凸。在该情况下，也可以将覆盖片12A与外壳片13A中的任一者配置于掩模片15侧。

[第三实施方式]

如以所示地对本发明的第三实施方式进行说明。另外，为了便于说明，对与第一、二实施方式中说明的构件具有相同的功能的构件，标注相同的符号，并省略其说明。

形成有外形开口部的外形限定掩模也可以不具有覆盖片和外壳片，而由一张片状掩模构成。

图18的(a)为表示在掩模框上安装开口掩模的情形的俯视图，(b)为(a)的掩模框附近的剖视图。图19的(a)为表示在掩模框上安装掩模片的情形的俯视图，(b)为(a)的掩模框附近的剖视图。

如图18的(a)所示，覆盖掩模框11的框开口部11a而将开口掩模55B的缘部安装于掩模框11。

在开口掩模55B呈矩阵状排列形成有与显示区域的外形对应的形状的外形开口部53B。

开口掩模55B为一张片状掩模。开口掩模55B例如母材由殷钢材料等构成，厚度为100μm～200μm程度。但是，也可以是30μm～100μm程度的厚度。

外形开口部53B具有包含异形部分的形状。外形开口部53B具有弯曲部23Ba、凸部23Be、弯曲部23Bb、弯曲部23Bc、以及弯曲部23Bd，分别通过它们而形成作为显示区域43(参照图1以及图3)的异形部分的角43a、切口部43e、角43b、角43c、以及角43d。

在将掩模片15重叠于开口掩模55B时，外形开口部53B中的弯曲部23Ba、凸部23Be、弯曲部23Bb、弯曲部23Bc、以及弯曲部23Bd与掩模片15的有效部YA重叠。有效部YA中的第一区域YA1所包含的第一蒸镀孔H1(参照图11的(b))未被遮蔽，第二区域YA2所包含的第二蒸镀孔H2(参照图11的(b))被掩模片15遮蔽。

由此，显示区域43(参照图1以及图3)的异形部分的外形通过开口掩模55B来限定。

在将掩模片15重叠于开口掩模55B时，外形开口部53B中的异形部分以外的边，也就是弯曲部23Ba、凸部23Be、弯曲部23Bb、弯曲部23Bc、以及弯曲部23Bd各自之间的边既可以与有效部YA重叠也可以不与有效部YA重叠。即，显示区域43(参照图1以及图3)的异形部分以外的部分的外形也可以通过开口掩模55B的外形开口部53B来限定，也可以通过掩模片15的有效部YA来限定。

如图18的(a)、(b)所示，掩模框11中的框开口部11a的缘部成为呈框状突出的突出部11d，突出部11d的顶面成为开口掩模55B以及掩模片15的安装面11e、11f。

安装面11e包围安装面11f的外侧的周围。安装面11e比安装面11f突出。

通过对开口掩模55B施加从中央部分朝向外侧的力而进行架设，并且使开口掩模55B的缘部与安装面11e接触。其次，通过掩模按压装置60将开口掩模55B从上方按压于安装面11f。其次，通过照射激光LA而将开口掩模55B熔接于安装面11f。其次，对开口掩模55B中的熔接的位置的外侧的多余部分进行切割。

接着，如图19的(a)、(b)所示，通过对掩模片15施加朝向外侧的力而进行架设，并且使掩模片15与安装面11e接触。其次，通过照射激光LA而将掩模片15熔接于安装面11e。其次，以外形开口部53B完全被有效部YA覆盖的方式，将所需的全部片材大小的掩模片15安装于掩模框11。

接着，对各掩模片15中的熔接的部分的外侧的多余部分进行切割。由此完成本实施方式所涉及的蒸镀掩模。

如此，在本实施方式中，掩模框11具有开口掩模55B以及掩模片15的安装面11f、11e，所述安装面11f为比安装面11e凹入的凹部，所述安装面11e为比安装面11f突出的凸部。

并且，开口掩模55B安装于安装面11f，掩模片15安装于安装面11e。

由此，即使如开口掩模55B那样是外形开口部53B形成于一张片状掩模的构成，也能够分别将开口掩模55B直接安装于掩模框11的安装面11f，将掩模片15直接安装于安装面11e。

由此，与使开口掩模55B以及掩模片15重叠而安装于掩模框11的安装面11f、11e的情况相比，能够精度良好地对准蒸镀掩模中的所述外形开口部以及所述有效部各自的位置。

[总结]

本发明的第一方式所涉及的蒸镀掩模，用于在呈矩阵状配置有像素的被蒸镀基板的有源区域形成图案化的蒸镀层，所述像素呈矩阵状配置于显示区域并有助于显示，所述蒸镀掩模的特征在于，具备：第一片状掩模，其与所述显示区域的配置图案对应地形成有具有与所述显示区域的外形中的至少一部分对应的形状的外形开口部；以及第二片状掩模，其形成有具有多个开口部的有效部，形成于所述第二片状掩模的所述多个开口部包含第一开口部和第二开口部，所述第一开口部由与所述像素对应的排列形成，所述第二开口部具有与所述第一开口部相同的间距以及相同的形状，且与所述第一片状掩模重叠。

根据所述构成，于所述第一片状掩模，与所述显示区域的配置图案对应地形成有与所述显示区域的外形中的至少一部分对应的形状的外形开口部。并且，所述第二片状掩模包含第一开口部和第二开口部，所述第一开口部由与所述像素对应的排列形成，所述第二开口部为与所述第一开口部相同的间距以及相同的形状，并与所述第一片状掩模重叠。

因此，能够通过所述外形开口部，与所述显示区域的所述至少一部分的外形(缘部的形状)匹配地在该显示区域内的像素上形成图案化的蒸镀层。由此，特别是无需使蒸镀掩模中的要求位置精度的所述有效部的外形与所述显示区域的所述至少一部分的外形匹配，且能够将有效部的外形设为易于抑制蒸镀掩模中的位置偏移的长方形或正方形。

因此，即使所述显示区域的外形为长方形或正方形以外的异形，也能够抑制所述有效部的所述蒸镀掩模中的位置偏移。

除此以外，即使所述显示区域的外形变化也无需变更所述有效部的外形，因此能够在具有各种外形的被蒸镀基板间共用形成有所述有效部的所述第二片状掩模。

本发明的第二方式所涉及的蒸镀掩模也可以在所述第一方式的基础上，所述第二开口部形成于所述有效部内的周端。根据所述构成，所述第二开口部与所述片状掩模重叠。

本发明的第三方式所涉及的蒸镀掩模也可以在所述第一方式的基础上，所述外形开口部中的、与所述显示区域的所述外形中的至少一部分对应的形状包含圆弧形状。

本发明的第四方式所涉及的蒸镀掩模也可以在所述第三方式的基础上，所述圆弧形状形成于所述外形开口部中的、与所述有效部中的至少一边对应的边。

本发明的第五方式所涉及的蒸镀掩模也可以在所述第三方式的基础上，所述圆弧形状形成于所述外形开口部中的、与所述有效部的四角中的至少一个对应的角。

本发明的第六方式所涉及的蒸镀掩模也可以在所述第一方式至第五方式的基础上，在所述被蒸镀基板上蒸镀所述蒸镀层时，所述第二片状掩模比所述第一片状掩模更接近所述被蒸镀基板。根据所述构成，能够精度良好地将所述蒸镀层蒸镀于所述像素。

本发明的第七方式所涉及的蒸镀掩模也可以在所述第一方式至第六方式的基础上，所述第一片状掩模以及所述第二片状掩模包含被磁力吸附的材质。根据所述构成，能够通过磁铁吸附所述第一片状掩模以及所述第二片状掩模。

本发明的第八方式所涉及的蒸镀掩模也可以在所述第一方式至第七方式的基础上，具备安装有所述第一片状掩模以及所述第二片状掩模的框状的掩模框。

所述第一片状掩模以及所述第二片状掩模均安装于刚性较高的掩模框，因此能够精度良好地匹配蒸镀掩模中的所述外形开口部以及所述有效部各自的位置。

本发明的第九方式所涉及的蒸镀掩模也可以在所述第八方式的基础上，所述第一片状掩模具有：多个覆盖片，其沿第一方向延伸并相互平行地安装于所述掩模框；以及多个外壳片，其沿与所述第一方向正交的第二方向延伸并相互平行地安装于所述掩模框，所述外形开口部为通过相互相邻的所述覆盖片和相互相邻的所述外壳片划分出的区域。根据所述构成，能够构成所述外形开口部。

本发明的第十方式所涉及的蒸镀掩模也可以在所述第八方式的基础上，所述第一片状掩模为在一张片状掩模上形成有所述外形开口部的构成，所述掩模框在所述第一片状掩模以及所述第二片状掩模的安装面上具有凹部和从该凹部突出的凸部，所述第一片状掩模安装于所述安装面中的所述凹部，所述第二片状掩模安装于所述安装面中的所述凸部。

根据所述构成，即使是在如所述第一片状掩模那样，所述外形开口部形成于一张片状掩模的构成中，也能够将所述第一片状掩模和所述第二片状掩模分别安装于所述掩模框的所述安装面。由此，与使第一片状掩模与第二片状掩模重叠而安装于掩模框的安装面的情况相比，能够精度良好地匹配蒸镀掩模中的所述外形开口部以及所述有效部各自的位置。

本发明的第十一方式所涉及的蒸镀掩模也可以在所述第一方式至第十方式的基础上，所述外形开口部中的、与所述显示区域的外形中的至少一部分对应的形状为，从长方形或正方形的缘部向内侧或外侧突出的异形。根据所述构成，即使所述外形开口部的形状为异形，也能够抑制所述有效部的所述蒸镀掩模中的位置偏移。除此以外，能够在具有各种外形的被蒸镀基板间共用形成有所述有效部的所述第二片状掩模。

本发明的第十二方式所涉及的蒸镀掩模也可以在所述第九方式的基础上，在所述被蒸镀基板上蒸镀所述蒸镀层时，所述第二片状掩模比所述第一片状掩模更接近所述被蒸镀基板，所述外形开口部中的、与所述显示区域的外形中的至少一部分对应的形状为，从长方形或正方形的缘部向内侧或外侧突出的异形，所述覆盖片与所述外壳片中，在该外壳片上形成有与所述异形对应的形状，所述外壳片比所述覆盖片更接近所述第二片状掩模。

根据所述构成，能够使所述异形部分更接近被蒸镀基板，因此能够抑制该异形部分所包含的蒸镀层的位置精度下降。

本发明的第十三方式所涉及的蒸镀掩模也可以在所述第十二方式的基础上，所述第二片状掩模是长边方向为所述第一方向的长方形，且在所述第二方向上并排配置，所述外壳片以横跨多个所述第二片状掩模的方式延伸。

根据所述构成，能够通过所述外壳片防止所述第二片状掩模的松驰。

本发明的第十四方式所涉及的蒸镀掩模也可以在所述第九方式的基础上，在所述被蒸镀基板上蒸镀所述蒸镀层时，所述第二片状掩模比所述第一片状掩模更接近所述被蒸镀基板，所述外形开口部中的、与所述显示区域的外形中的至少一部分对应的形状为具有从长方形或正方形的缘部向内侧或外侧突出的异形部分的异形，在所述覆盖片与所述外壳片中，在该覆盖片上形成有与所述异形部分对应的形状，所述覆盖片比所述外壳片更接近所述第二片状掩模。

根据所述构成，能够使所述异形部分接近被蒸镀基板，因此能够抑制该异形部分所包含的蒸镀层的位置精度下降。

本发明的第十五方式所涉及的蒸镀掩模也可以在所述第十四方式的基础上，所述第二片状掩模是长边方向为所述第一方向的长方形，且在所述第二方向上并排配置，所述覆盖片与相邻的所述第二片状掩模中的、相互对置并沿长边方向延伸的缘部重叠。根据所述构成，能够通过所述覆盖片堵塞所述第二片状掩模间的间隙。

本发明的第十六方式所涉及的蒸镀掩模也可以在所述第九方式的基础上，所述外形开口部的形状为具有从长方形或正方形的缘部向内侧或外侧突出的异形部分的异形，在所述覆盖片与所述外壳片此两者形成有与所述异形部分对应的凹形状或凸形状中的至少一者。根据所述构成，能够精度良好地形成所述异形部分所包含的所述蒸镀层。

本发明的第十七方式所涉及的蒸镀掩模也可以在所述第一方式至第十六方式的基础上，所述蒸镀层为蒸镀于每个像素的层。根据所述构成，能够精度良好地将所述蒸镀层蒸镀于所述每个像素。

本发明的第十八方式所涉及的显示面板的制造方法的特征在于：具有使用了所述第一方式至第十七方式中所述的蒸镀掩模的蒸镀工序。

本发明的方式19所涉及的显示面板是包含如下区域的挠性显示面板：显示区域，其在外形中的至少一部分具有切口部；以及框缘区域，其包围该显示区域的外周并具有切口部，所述显示面板的特征在于，在所述显示区域具备呈矩阵状形成的蒸镀层，在所述框缘区域的所述切口部周边具有：第一蒸镀层，其为与形成于所述显示区域的蒸镀层相同的形状；以及第二蒸镀层，其为形成于所述显示区域的蒸镀层的形状中的周边的一部分被切掉的形状。

此处，以往为了防止显示区域中的像素内的发光层或空穴传输层的位置精度下降，而在不参与图像显示的显示区域外的像素、即显示区域外像素也形成有发光层或空穴传输层。因此，为了使显示区域外像素不参与图像显示，例如需要在显示区域外像素并不设置掩模开口等，从而使掩模片的有效部的形状在显示区域内外不同。

另一方面，根据所述构成，在比形成于框缘区域的所述显示区域外像素中的形成有第二蒸镀层的显示区域外像素更靠外侧的显示区域外像素，并未形成通过蒸镀掩模而形成的图案化的蒸镀层。

如此，通过蒸镀掩模遮蔽向显示区域外像素蒸镀蒸镀层，因此无需为了使显示区域外像素不有助于显示而进行如下操作：并不设置与显示区域外像素中的形成有第二蒸镀层的显示区域外像素对应的掩模开口(蒸镀孔)等，以使掩模片的有效部的形状在显示区域内外不同。

因此，能够在掩模片中设置不受显示区域的外形影响的高精度的掩模开口。其结果，即使在显示区域具有切口部，也能够获得高清晰地于各像素形成发光层以及空穴传输层中的至少一者的显示面板。

本发明并不限定于上述各实施方式，在权利要求所示的范围内能够进行各种变更，对不同的实施方式分别公开的技术手段进行适当组合而获得的实施方式也包含于本发明的技术范围内。而且，通过对各实施方式分别公开的技术手段加以组合，能够形成新的技术特征。

附图标记说明

2：TFT基板(被蒸镀基板)

3：有源区域

4：框状堤

5：密封层

6、8：无机膜

7：有机膜

9：有机EL显示面板形成区域

10、10A：蒸镀掩模

11：掩模框

11a：框开口部

11d：突出部

11e、11f：安装面

12、12A：覆盖片(第一片状掩模)

13、13A：外壳片(第一片状掩模)

13b：外形形成区域

14：对位片

15：掩模片(第二片状掩模)

30：电子设备

40：触摸面板

41：触摸传感器

42：有机EL显示面板(显示面板)

43：显示区域

44：框缘区域

53、53A、53B：外形开口部

55、55A：外形限定掩模(第一片状掩模)

55B：开口掩模(第一片状掩模)

80：发光层

81：第一发光层(第一蒸镀层)

82：第二发光层(第二蒸镀层)

pix：像素

poxout：显示区域外像素

Claims (14)

1.一种蒸镀掩模，用于在呈矩阵状配置有像素的被蒸镀基板的有源区域形成图案化的蒸镀层，所述像素呈矩阵状配置于显示区域并有助于显示，

所述蒸镀掩模的特征在于，具备：

第一片状掩模，其与所述显示区域的配置图案对应地形成有具有与所述显示区域的外形中的至少一部分对应的形状的外形开口部；

第二片状掩模，其形成有具有多个开口部的有效部；以及

安装有所述第一片状掩模以及所述第二片状掩模的框状的掩模框；

所述第一片状掩模具有：多个覆盖片，其沿第一方向延伸并相互平行地安装于所述掩模框上；以及多个外壳片，其沿与所述第一方向正交的第二方向延伸并相互平行地安装于所述掩模框上，

所述外形开口部为通过相互相邻的所述覆盖片和相互相邻的所述外壳片划分出的区域，

所述第二片状掩模沿所述第一方向延伸并相互平行地安装在所述掩模框上，呈短条状，

形成于所述第二片状掩模的所述多个开口部包含第一开口部和第二开口部，

所述第一开口部由与所述像素对应的排列形成，

所述第二开口部具有与所述第一开口部相同的间距以及相同的形状，且与所述第一片状掩模重叠,

所述有效部的外形为正方形或长方形，

所述外形开口部中与所述显示区域的外形中的至少一部分对应的形状是具有从长方形或正方形的与所述第一方向平行的边缘向内侧或外侧突出的异形部分的异形，

所述覆盖片和所述外壳片中,仅在所述外壳片上形成与所述异形部分对应的形状，所述覆盖片直线状地延伸,

所述外壳片比所述覆盖片更接近所述第二片状掩模。

2.根据权利要求1所述的蒸镀掩模，其特征在于，

在所述被蒸镀基板上蒸镀所述蒸镀层时，所述第二片状掩模比所述第一片状掩模更接近所述被蒸镀基板，

所述外形开口部中的、与所述显示区域的外形中的至少一部分对应的形状为，从长方形或正方形的缘部向内侧或外侧突出的异形，

所述覆盖片与所述外壳片中，在所述外壳片上形成有与所述异形对应的形状，

所述外壳片比所述覆盖片更接近所述第二片状掩模。

3.根据权利要求2所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述第二片状掩模是长边方向为所述第一方向的长方形，且在所述第二方向上并排配置，

所述外壳片以横跨多个所述第二片状掩模的方式延伸。

4.一种蒸镀掩模，用于在呈矩阵状配置有像素的被蒸镀基板的有源区域形成图案化的蒸镀层，所述像素呈矩阵状配置于显示区域并有助于显示，

所述蒸镀掩模的特征在于，具备：

第一片状掩模，其与所述显示区域的配置图案对应地形成有具有与所述显示区域的外形中的至少一部分对应的形状的外形开口部；

第二片状掩模，其形成有具有多个开口部的有效部；以及

安装有所述第一片状掩模以及所述第二片状掩模的框状的掩模框；

所述第一片状掩模具有：多个覆盖片，其沿第一方向延伸并相互平行地安装于所述掩模框上；以及多个外壳片，其沿与所述第一方向正交的第二方向延伸并相互平行地安装于所述掩模框上，

所述外形开口部为通过相互相邻的所述覆盖片和相互相邻的所述外壳片划分出的区域，

所述第二片状掩模沿所述第一方向延伸并相互平行地安装在所述掩模框上，呈短条状，

形成于所述第二片状掩模的所述多个开口部包含第一开口部和第二开口部，

所述第一开口部由与所述像素对应的排列形成，

所述第二开口部具有与所述第一开口部相同的间距以及相同的形状，且与所述第一片状掩模重叠，

所述有效部的外形为正方形或长方形，

所述外形开口部中与所述显示区域的外形中的至少一部分对应的形状是具有从长方形或正方形的与所述第一方向平行的边缘向内侧或外侧突出的异形部分的异形，

所述覆盖片和所述外壳片中，仅在所述覆盖片上形成与所述异形部分对应的形状，所述外壳片直线状地延伸，

所述覆盖片比所述外壳片更接近所述第二片状掩模。

5.根据权利要求4所述的蒸镀掩模，其特征在于，

在所述被蒸镀基板上蒸镀所述蒸镀层时，所述第二片状掩模比所述第一片状掩模更接近所述被蒸镀基板，

所述外形开口部中的、与所述显示区域的外形中的至少一部分对应的形状为，具有从长方形或正方形的缘部向内侧或外侧突出的异形部分的异形，

所述覆盖片与所述外壳片中，在所述覆盖片上形成有与所述异形部分对应的形状，

所述覆盖片比所述外壳片更接近所述第二片状掩模。

6.根据权利要求5所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述第二片状掩模是长边方向为所述第一方向的长方形，且在所述第二方向上并排配置，

所述覆盖片与相邻的所述第二片状掩模中的、相互对置并沿长边方向延伸的缘部重叠。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述第二开口部形成于所述有效部内的周端。

8.根据权利要求1至6中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述外形开口部中的、与所述显示区域的所述外形中的至少一部分对应的形状包含圆弧形状。

9.根据权利要求8所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述圆弧形状形成于所述外形开口部中的、与所述有效部中的至少一边对应的边。

10.根据权利要求8所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述圆弧形状形成于所述外形开口部中的、与所述有效部的四角中的至少一个对应的角。

11.根据权利要求1至6中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

在所述被蒸镀基板上蒸镀所述蒸镀层时，所述第二片状掩模比所述第一片状掩模更接近所述被蒸镀基板。

12.根据权利要求1至6中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述第一片状掩模以及所述第二片状掩模包含被磁力吸附的材质。

13.根据权利要求1至6中任一项所述的蒸镀掩模，其特征在于，

所述蒸镀层为针对每个像素蒸镀的层。

14.一种显示面板的制造方法，其特征在于，

具有使用了权利要求1至6中任一项所述的蒸镀掩模的蒸镀工序。

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