JPH08148550A - ウエハ運搬用容器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 車両や航空機等での運搬時における半導体ウ
エハの破損や帯電を有効に防止できるウエハ運搬用容器
を提供する。 【構成】 半導体ウエハ２１を収容するための容器本体
２６と、容器本体２６の収容開口２６ａを自在に開閉し
得る容器蓋２７と、容器蓋２７が閉じられた状態で半導
体ウエハ２１を容器２５内に固定する固定手段２２，３
０，３１，３７とを備える。容器蓋２７の頂部に、運搬
時は注入栓３４で閉栓される注入口２７ｃを設ける。運
搬時には、容器２５内に液体３８が充填されるようにな
っている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】この発明はウエハ運搬用容器に関
する。より詳しくは、車両や航空機等での運搬時におけ
る半導体ウエハ等の破損や帯電を有効に防止できるウエ
ハ運搬用容器に関する。

【０００２】

【従来の技術】半導体ウエハは、近年では、ＩＣパッケ
ージの薄厚化、高集積度化が進むに伴って、大径化、薄
厚化が一層要求されるため、機械的な強度が著しく低下
してきている。

【０００３】特に、ウエハ・プロセスの完了後に、裏面
を研削加工して薄厚化した大径のウエハを、ウエハ製造
工場からアセンブリ工場へ車両や航空機等で運搬する時
には、振動や気圧の変動で破損しやすい。

【０００４】このため、半導体ウエハを運搬するための
ウエハ運搬用容器が種々提案されている（特開昭５４−
１６１２６６号公報、特開昭５９−６５４２５号公報参
照）。

【０００５】例えば、図４に示す運搬用容器では、ウエ
ハ・キャリア２は、Ｈ状バーを持つ枠状構造体３に等間
隔で複数個のＶ字状溝４を形成したものであり、この各
Ｖ字状溝４に半導体ウエハ１が１枚づつ収納されてい
る。

【０００６】運搬用容器５は、上部に収容開口６ａを有
する深い四角箱状の容器本体６と、下部に収容開口７ａ
を有する浅い四角箱状の容器蓋７とを備えている。上記
容器本体６と容器蓋７とは、ヒンジ軸８で開閉自在に連
結され、図５に示すように、容器蓋７を閉じたとき、容
器蓋７のロックレバー９が容器本体６のロック突起６ｂ
に係合して、容器蓋７が容器本体６にロックされるよう
になる。

【０００７】上記容器本体６の底部の内面には、上記ウ
エハ・キャリア２を収容開口６ａから矢印Ａで示すよう
に収容したとき、ウエハ・キャリア２の下部を固定する
リブ１０が設けられている。一方、上記容器蓋７の頂部
の内面には、容器蓋７を閉じたとき、ウエハ・キャリア
２の上部を固定するリブ１１が設けられている。上記各
リブ１０，１１により、ウエハ・キャリア２は、容器５
内に位置決めされて固定される。

【０００８】さらに、上記容器蓋７の頂部の内面には、
容器蓋７を閉じたとき、ウエハ・キャリア２に収納され
た各半導体ウエハ１の上部を押えて固定する弾性パッド
１２が設けられている。このパッド１２により、各半導
体ウエハ１は、ウエハ・キャリア２に位置決めされて固
定される。この結果、半導体ウエハ１はウエハ・キャリ
ア２を介して容器５内に固定される。

【０００９】運搬にあたって、上記運搬用容器５の容器
本体６にウエハ・キャリア２を収容し、容器蓋７を閉じ
てロックする。この後、図６（Ａ）のように、アルミ箔
をラミネートしたシートからなるバッグ１３にその運搬
用容器５を収納する。そして、吸引口１３ａから真空吸
引して、図６（Ｂ）のように吸引口１３ａを封止する。
これにより、運搬中における運搬用容器５の帯電と塵埃
の侵入とを防止するようにしている。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記運
搬用容器５では、この容器５に対してウエハ・キャリア
２を介して半導体ウエハ１が固定されているだけである
から、車両や航空機による運搬中の振動がそのまま半導
体ウエハ１に伝わる。また、真空吸引されたバッグ１３
内に収納されているため、航空機による運搬中には、気
圧の変動による容器５の変形等の影響を受ける。このた
め、依然として半導体ウエハ１が破損することが多いと
いう問題があった。

【００１１】そこで、この発明の目的は、車両や航空機
等での運搬時における半導体ウエハ等の破損や帯電を有
効に防止できるウエハ運搬用容器を提供することにあ
る。

【００１２】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に記載のウエハ運搬用容器は、ウエハを収
容するための容器本体と、この容器本体の収容開口を自
在に開閉し得る容器蓋と、上記容器蓋が閉じられた状態
でウエハを容器内に固定する固定手段とを備えたウエハ
運搬用容器において、上記容器蓋の頂部に、注入栓で閉
栓され得る注入口が設けられて、運搬時には、容器内に
液体が充填されるようになっていることを特徴としてい
る。

【００１３】また、請求項２に記載のウエハ運搬用容器
は、請求項１に記載のウエハ運搬用容器において、上記
容器本体の底部に、排出栓で閉栓され得る排出口が設け
られていることを特徴としている。

【００１４】また、請求項３に記載のウエハ運搬用容器
は、請求項１または２に記載のウエハ運搬用容器におい
て、上記容器本体と容器蓋との間に、上記容器蓋で容器
本体内を水密に閉じるためのシール材が設けられている
ことを特徴としている。

【００１５】

【作用】請求項１のウエハ運搬用容器は次のようにして
使用する。まず、容器本体にウエハを収納して容器蓋を
閉じる。これにより、固定手段によってウエハが容器内
に固定される。注入口を開栓して、注入口から、液体を
容器内に注入して充填する。この後、注入口を注入栓で
閉栓する。この状態で、運搬用容器を車両や航空機等で
運搬する。

【００１６】このようにした場合、運搬中の振動は、容
器内に充填した液体の緩衝作用で軽減される。また、容
器内はシール材等に水密に保たれ、しかも、充填した液
体は、気体に比して膨張収縮しにくいから、内圧が一定
に保たれる。したがって、ウエハの破損が有効に防止さ
れる。さらに、容器内に液体を充填しているから、外気
が容器内に侵入しないので、ウエハの汚染が有効に防止
される。また、上記液体により、ウエハの帯電も有効に
防止される。

【００１７】また、請求項２のウエハ運搬用容器は、上
記容器本体の底部に、排出栓で閉栓され得る排出口を備
えているので、ウエハの運搬後に、注入口と排出栓を開
栓することによって、注入口から容器内に外気を導入し
つつ排出口から上記液体を排出することが可能となる。
したがって、上記液体が速やかに容器外へ排出される。

【００１８】また、請求項３のウエハ運搬用容器では、
シール材により、容器蓋で容器本体内が水密に閉じられ
る。したがって、運搬中に、容器内の液体が容器本体と
容器蓋との隙間から容器外へ漏れることがない。

【００１９】

【実施例】以下、この発明のウエハ運搬用容器を実施例
により詳細に説明する。

【００２０】図１に示すように、このウエハ運搬用容器
において固定手段の一部を構成するウエハ・キャリア２
２は、補強及び自動機に対応するためのＨ状バーを持つ
枠状構造体２３に、等間隔で複数個（通常は２５個）の
Ｖ字状溝２４が形成されたものであり、この各Ｖ字状溝
２４に半導体ウエハ２１が１枚づつ隔離して収納されて
いる。

【００２１】運搬用容器２５は、上部に収容開口２６ａ
を有する深い四角箱状の容器本体２６と、下部に収容開
口２７ａを有する浅い四角箱状の容器蓋２７とを備えて
いる。上記容器本体２６と容器蓋２７とは、ヒンジ軸２
８で開閉自在に連結され、図２に示すように、容器蓋２
７を閉じたとき、容器蓋２７のロックレバー２９が容器
本体２６のロック突起２６ｂに係合して、容器蓋２７が
容器本体２６にロックされるようになっている。

【００２２】上記容器本体２６の底部の内面には、上記
ウエハ・キャリア２２を収容開口２６ａから矢印Ａで示
すように収容したとき、ウエハ・キャリア２２の下部を
固定するリブ３０が一体的に設けられている。

【００２３】上記容器本体２６の底部には、内外に貫通
する排出口２６ｃが設けられ、この排出口２６ｃには、
例えば、外方からねじ螺合により閉栓できる排出栓３５
が取り付けられている。

【００２４】上記容器本体２６の収容開口２６ａの上周
囲には、シール材（例えば、Ｏリング）３６が取り付け
られている。上記容器蓋２７を閉じたとき、容器蓋２７
がシール材３６に接触して、容器本体２６内が水密に閉
じられるようになる。

【００２５】上記容器蓋２７の頂部の内面には、容器蓋
２７を閉じたとき、ウエハ・キャリア２２の上部を固定
するリブ３１が一体的に設けられている。

【００２６】上記容器本体２６と容器蓋２７の各リブ３
０，３１により、ウエハ・キャリア２２は、容器２５内
に位置決めされて固定される。

【００２７】上記容器蓋２７の頂部の内面には、容器蓋
２７を閉じたとき、ウエハ・キャリア２２に収納された
各半導体ウエハ２１の上部を押えて固定する弾性パッド
３７が設けられている。このパッド３７により、各半導
体ウエハ２１は、ウエハ・キャリア２２に位置決めされ
て固定される。この結果、各半導体ウエハ２１は、ウエ
ハ・キャリア２２を介して容器２５内に固定される。

【００２８】上記容器蓋２７の頂部には、内外に貫通す
る注入口２７ｃが設けられ、この注入口２７ｃには、例
えば、外方からねじ螺合により閉栓できる注入栓３４
（図３(Ａ)〜(Ｃ)図示）が取り付けられている。

【００２９】上記パッド３７には、注入口２７ｃに連通
する貫通穴３７ａが設けられている。

【００３０】運搬にあたって、半導体ウエハ２１の製造
工場においては、容器蓋２７を開いて、容器本体２６内
に、半導体ウエハ２１を各Ｖ字状溝２４に収納したウエ
ハ・キャリア２２を、収容開口２６ａから矢印Ａで示す
ように収容する。次に、図２に示すように、容器蓋２７
を閉じ、容器蓋２７のロックレバー２９を容器本体２６
のロック突起２６ｂに係合させて、容器蓋２７を容器本
体２６にロックする。このとき、容器本体２６と容器蓋
２７との間は、シール材３６により水密にシールされ
る。

【００３１】そして、容器本体２６の排出口２６ｃは、
排出栓３５で閉栓した状態で、容器蓋２７の注入栓３４
（図３(Ａ)〜(Ｃ)図示）を取り外して、注入口２７ｃを
開栓する（図２の状態）。続いて、図３（Ａ）に示すよ
うに、この注入口２７ｃから運搬用容器２５内に、半導
体ウエハ２１に影響を与えない液体３８、例えば、低比
抵抗値超純水を充填する。その後、図３（Ｂ）に示すよ
うに、注入口２７ｃを注入栓３４で閉栓する。

【００３２】ここで、上記液体３８としては、半導体ウ
エハ２１と反応せず、半導体ウエハ２１を汚染したり、
特性を劣化させないような液体、例えば、純水やアルコ
ール等を用いる。なお、フレオン等のように、運搬中に
半導体ウエハ２１の表面を自然に洗浄する作用を有する
液体も好ましい。

【００３３】また、上記液体３８は、運搬中に、半導体
ウエハ２１との摩擦により、半導体ウエハ２１が帯電す
るのを極力防止するために、粘性の低い液体であるのが
好ましい。

【００３４】また、摩擦により、半導体ウエハ２１に帯
電した電荷を放電しやすくするために、比抵抗値の低い
液体であるのが好ましい。例えば、純水よりも、純水に
炭酸ガスを溶解させたものが好ましい。

【００３５】ただし、比抵抗値の低い液体を使用する場
合、イオン化傾向の異なる物質間（例えば、アルミ配線
とＳｉ基板との間）で電池が形成されるような場合に
は、少なくとも、電池の一方の極となる物質が半導体ウ
エハ２１の表面又は裏面を絶縁膜で覆う等の処理をして
から、運搬用容器２５内に収容するのが好ましい。

【００３６】この状態で、運搬用容器２５を車両や航空
機等で運搬する。

【００３７】この運搬中の振動については、運搬用容器
２５内に充填した液体３８の緩衝作用で軽減される。

【００３８】また、容器２５内はシール材３６等によっ
て水密に保たれているので、容器内の液体３８が容器本
体２６と容器蓋２７との隙間から容器外へ漏れることが
ない。しかも、充填した液体３８は、膨張収縮しにくい
から、内圧が一定に保たれる。これらにより、半導体ウ
エハ２１の破損が有効に防止され、ウエハ歩留が向上す
る。

【００３９】さらに、容器２５内に液体３８を充填して
いるから、外気が容器２５内に侵入しないので、半導体
ウエハ２１の汚染が有効に防止される。

【００４０】また、上記液体３８により、容器本体２６
及び容器蓋２７と、ウエハ・キャリア２２との摩擦等に
よる半導体ウエハ２１の帯電も有効に防止される。

【００４１】上記運搬用容器２５は、車両や航空機等で
アセンブリ工場へ運搬した後、図３（Ｃ）に示すよう
に、注入栓３４と排出栓３５を取り外し、注入口２７ｃ
と排出口２６ｃを開栓する。そして、注入口２７ｃから
容器内に外気を導入しつつ液体３８を排出口２６ｃから
容器外へ排出する。注入口２７ｃと排出口２６ｃとの両
方を開くことによって、液体３８を速やかに排出するこ
とができる。

【００４２】この排出の完了後、容器蓋２７を開き、容
器本体２６内からウエハ・キャリア２２を取り出して、
アセンブリ工程でアセンブリを行う。

【００４３】なお、この実施例では、運搬用容器２５で
半導体ウエハ２１を運搬することとしたたが、薄板ガラ
スやセラミック材料の運搬にも利用することができる。

【００４４】

【発明の効果】以上より明らかなように、請求項１のウ
エハ運搬用容器は、容器内に液体が充填されるようにし
ているので、運搬中の振動は、容器内に充填した液体の
緩衝作用で軽減される。しかも、充填した液体は、気体
に比して膨張収縮しにくいから、内圧が一定に保たれ
る。したがって、ウエハの破損を有効に防止することが
できる。さらに、容器内に液体を充填しているから、外
気が容器内に侵入しないので、ウエハの汚染を有効に防
止できる。また、上記液体により、ウエハの帯電も有効
に防止できる。これらにより、運搬中の半導体ウエハの
歩留りを向上させることができる。

【００４５】また、請求項２のウエハ運搬用容器では、
ウエハの運搬後に、注入口と排出栓を開栓することによ
って、注入口から容器内に外気を導入しつつ排出口から
上記液体を排出することができる。したがって、上記液
体を速やかに容器外へ排出することができる。

【００４６】また、請求項３のウエハ運搬用容器では、
シール材により、容器蓋で容器本体内が水密に閉じられ
るので、運搬中に、容器内の液体が容器本体と容器蓋と
の隙間から容器外へ漏れることがない。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明の一実施例の運搬用容器の容器蓋を開
いた状態を示す断面図である。

【図２】 図１の運搬用容器の容器蓋を閉じた状態を示
す図である。

【図３】 （Ａ）は、注入栓を取り外して液体を充填し
た運搬用容器の断面図、（Ｂ）は注入栓を取り付けた運
搬用容器の断面図、（Ｃ）は注入栓と排出栓を取り外し
た運搬用容器の断面図である。

【図４】 従来の運搬用容器の容器蓋を開いた状態を示
す断面図である。

【図５】 図４の運搬用容器の容器蓋を閉じた状態を示
す断面図である。

【図６】 （Ａ）はバッグに収納した運搬用容器を示す
断面図、（Ｂ）は（Ａ）のバッグを真空吸引した状態を
示す図である。

【符号の説明】

２１ 半導体ウエハ ２２ ウエ
ハ・キャリア ２５ 運搬用容器 ２６ 容器
本体 ２６ａ 収容開口 ２６ｃ 排出
口 ２７ 容器蓋 ２７ａ 収容
開口 ２７ｃ 注入口 ３０，３１
リブ ３４ 注入栓 ３５ 排出
栓 ３６ シール材 ３７ パッ
ド ３８ 液体（低比抵抗値超純水）

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ウエハを収容するための容器本体と、こ
   の容器本体の収容開口を自在に開閉し得る容器蓋と、上
   記容器蓋が閉じられた状態でウエハを容器内に固定する
   固定手段とを備えたウエハ運搬用容器において、 上記容器蓋の頂部に、注入栓で閉栓され得る注入口が設
   けられて、 運搬時には、容器内に液体が充填されるようになってい
   ることを特徴とするウエハ運搬用容器。
2. 【請求項２】 請求項１に記載のウエハ運搬用容器にお
   いて、 上記容器本体の底部に、排出栓で閉栓され得る排出口が
   設けられていることを特徴とするウエハ運搬用容器。
3. 【請求項３】 請求項１または２に記載のウエハ運搬用
   容器において、 上記容器本体と容器蓋との間に、上記容器蓋で容器本体
   内を水密に閉じるためのシール材が設けられていること
   を特徴とするウエハ運搬用容器。