JP2008218885A - 基板収納容器用の収容槽 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】金属製の底板1と、この底板1上に搭載されて貯えた純水中にオープンカセット20を浸漬して収容する収容槽10とを備え、この収容槽10を、樹脂を含む成形材料により射出成形してその底部にはオープンカセット20用の配置領域11を凹み形成する。収容槽10に半導体ウェーハを手作業により浸漬するのではなく、収容槽10に複数枚の半導体ウェーハを整列収納したオープンカセット20をロボットや自動機により浸漬するので、自動化や量産化の要請を図ることができる。
【選択図】図2
Description
収容槽を、樹脂を含む成形材料により成形してその底部には基板収納容器用の配置領域を形成し、この配置領域に、基板収納容器用の押し付け位置決め部材を形成したことを特徴としている。
支持板に位置決め穴と長穴とを間隔をおき設けて位置決め穴方向に長穴の長軸を向け、収容槽の底部に、支持板の位置決め穴と長穴とに嵌まる複数の突起を形成するとともに、この複数の突起を配置領域の投影領域内あるいはその近傍に位置させることができる。
また、支持板に位置決め溝を形成するとともに、収容槽の底部には台座を形成し、これら位置決め溝と台座とを干渉させて収容槽を位置決めすることができる。
また、収容槽の配置領域に、基板収納容器用の向き規制部材を形成することができる。
さらに、基板収納容器を、スラリーの付着した半導体ウェーハを収納するオープンカセットとすることも可能である。
さらに、収容槽を中空の略角錐台形に形成してその周壁には凹凸を厚さ方向に形成すれば、収容槽の剛性を確保したり、収容槽の成形時の変形を防ぐことが可能になる。
2 搭載領域
3 螺子孔(取付孔)
4 位置決め穴
5 長穴
6 位置決め溝
10 収容槽
11 配置領域
12 位置決めブロック
13 押し付け位置決め片(押し付け位置決め部材)
14 向き規制片(向き規制部材)
15 ボス(嵌合筒部)
16 位置決めピン(突起)
17 台座
18 凹凸
20 オープンカセット(基板収納容器)
31 位置決め突部
W 半導体ウェーハ
Claims (5)
- 支持板と、この支持板上に取り付けられて貯えた液体中に基板収納容器を浸漬して収容する収容槽とを含み、
収容槽を、樹脂を含む成形材料により成形してその底部には基板収納容器用の配置領域を形成し、この配置領域に、基板収納容器用の押し付け位置決め部材を形成したことを特徴とする基板収納容器用の収容槽。 - 支持板を金属製として複数の取付孔を設け、収容槽の底部に、支持板の取付孔に嵌められる締結具用の嵌合筒部を複数形成し、
支持板に位置決め穴と長穴とを間隔をおき設けて位置決め穴方向に長穴の長軸を向け、収容槽の底部に、支持板の位置決め穴と長穴とに嵌まる複数の突起を形成するとともに、この複数の突起を配置領域の投影領域内あるいはその近傍に位置させるようにした請求項1記載の基板収納容器用の収容槽。 - 収容槽の配置領域に、基板収納容器用の向き規制部材を形成した請求項1又は2記載の基板収納容器用の収容槽。
- 収容槽を中空の略角錐台形に形成してその周壁には凹凸を厚さ方向に形成した請求項1、2、又は3記載の基板収納容器用の収容槽。
- 基板収納容器を、スラリーの付着した半導体ウェーハを収納するオープンカセットとした請求項1ないし4いずれかに記載の基板収納容器用の収容槽。
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