JP4942516B2 - 基板収納容器用の収容槽 - Google Patents
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Description
支持板の平坦な表面に収容槽用の搭載領域を区画形成してその四隅部に取付孔をそれぞれ穿孔し、搭載領域の中央部両側に位置決め穴と平面楕円形の長穴とを間隔をおきそれぞれ穿孔して位置決め穴の方向に長穴の長軸を向け、
収容槽を、樹脂を含む成形材料により上部の開口した中空の略角錐台形に成形してその周壁に複数の凹凸を厚さ方向に形成し、収容槽の底部に基板収納容器用の配置領域を平面矩形に凹み形成して配置領域の内面周縁部には基板収納容器用の複数の位置決めブロック、一対の押し付け位置決め部材、及び一対の向き規制部材をそれぞれ形成し、複数の位置決めブロックを配置領域に並べて形成して基板収納容器の周囲に干渉可能とし、一対の押し付け位置決め部材と向き規制部材とを配置領域の内面一側部に並べて形成して一対の押し付け位置決め部材を一対の向き規制部材の外側に位置させるとともに、各押し付け位置決め部材を起立した直角三角形に形成してそのテーパを基板収納容器に接触可能とし、各向き規制部材を起立したL字形あるいは矩形に形成し、収容槽の底部四隅には、支持板の取付孔に対向して螺嵌される嵌合筒部をそれぞれ突出形成し、収容槽の配置領域の中央両側には、支持板の位置決め穴と長穴とに嵌合する突起をそれぞれ突出形成したことを特徴としている。
さらに、収容槽を中空の略角錐台形に形成してその周壁に凹凸を厚さ方向に形成するので、収容槽の剛性を確保したり、収容槽の成形時の変形を防ぐことが可能になる。
2 搭載領域
3 螺子孔(取付孔)
4 位置決め穴
5 長穴
6 位置決め溝
10 収容槽
11 配置領域
12 位置決めブロック
13 押し付け位置決め片(押し付け位置決め部材)
14 向き規制片(向き規制部材)
15 ボス(嵌合筒部)
16 位置決めピン(突起)
17 台座
18 凹凸
20 オープンカセット(基板収納容器)
31 位置決め突部
W 半導体ウェーハ
Claims (1)
- 金属製の支持板と、この支持板上に搭載されて液体を貯える収容槽とを備え、この収容槽の液体中に自動的に浸漬して収容される基板収納容器を、スラリーの付着した半導体ウェーハを収納するオープンカセットとした基板収納容器用の収容槽であって、
支持板の平坦な表面に収容槽用の搭載領域を区画形成してその四隅部に取付孔をそれぞれ穿孔し、搭載領域の中央部両側に位置決め穴と平面楕円形の長穴とを間隔をおきそれぞれ穿孔して位置決め穴の方向に長穴の長軸を向け、
収容槽を、樹脂を含む成形材料により上部の開口した中空の略角錐台形に成形してその周壁に複数の凹凸を厚さ方向に形成し、収容槽の底部に基板収納容器用の配置領域を平面矩形に凹み形成して配置領域の内面周縁部には基板収納容器用の複数の位置決めブロック、一対の押し付け位置決め部材、及び一対の向き規制部材をそれぞれ形成し、複数の位置決めブロックを配置領域に並べて形成して基板収納容器の周囲に干渉可能とし、一対の押し付け位置決め部材と向き規制部材とを配置領域の内面一側部に並べて形成して一対の押し付け位置決め部材を一対の向き規制部材の外側に位置させるとともに、各押し付け位置決め部材を起立した直角三角形に形成してそのテーパを基板収納容器に接触可能とし、各向き規制部材を起立したL字形あるいは矩形に形成し、収容槽の底部四隅には、支持板の取付孔に対向して螺嵌される嵌合筒部をそれぞれ突出形成し、収容槽の配置領域の中央両側には、支持板の位置決め穴と長穴とに嵌合する突起をそれぞれ突出形成したことを特徴とする基板収納容器用の収容槽。
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