KR950012675A - 반도체 웨이퍼 적재 장치, 적재 로크, 웨이퍼 캐리어 주위로 밀봉된 환경을 유지시키기 위한 방법 및 장치 - Google Patents

반도체 웨이퍼 적재 장치, 적재 로크, 웨이퍼 캐리어 주위로 밀봉된 환경을 유지시키기 위한 방법 및 장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 반도체 처리챔버에 대한 적재 로크 인터페이스를 제공하려는 것이다. 본 발명에 따른 적재로크는 반도체 웨이퍼외 카세트를 포함하는 캐리어를 수용하여 결합하기에 적합한 플랫폼 및 캐리어가 적재로크 인터페이스 플랫폼과 결합하는 동안에 캐리어를 에워싸서 주위환경으로부터 밀봉시키기에 적합한 제거가능한 종 모양의 밀폐물을 포함한다. 일단, 캐리어와 결합하면, 플랫폼은 캐리어로부터 웨이퍼의 카세트를 회수해서 적재 로크내에 위치시키도록 작동될 수 있다. 그 후에, 카세트는 표시가 매겨지고. 각각의 웨이퍼가 처리챔버내에서의 처리를 위하여 카세트로부터 제거된다.

Description

반도체 웨이퍼 적재 장치, 적재 로크, 웨이퍼 캐리어 주위로 밀봉된 환경을 유지시키기 위한 방법 및 장치
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 본 발명에 따른 밀폐물 및 적재 로크 인터페이스의 개략적인 측단면도,
제2도는 본 발명에 따른 밀폐물과 적재 로크 인터페이스가 결합된 상태를 보여주는 개략적인 측단면도,
제3도는 본 발명에 따른 밀폐물과 절재 로크가 결합된 상태를 나타냄과 동시에 처리챔버내로 장입된 웨이퍼의 카세트를 보여주는 개략적인 측면도.

Claims (26)

  1. 캐리어내에 위치된 웨이퍼를 처리환경의 여러 부위로 적재하기 위한 장치로서, 다수의 웨이퍼를 포함하는 상기 캐리어의 기저부와 상호보완적으로 결합하도록 배열된 플랫폼을 포함하고 있으며 상기 기저부와 결합하는 경우에 상기 캐리어와 상기 처리환경 사이에서 상기 웨이퍼를 적재시키도록 작동될 수 있는 적재로크 및 상기 캐리어가 상기 플랫폼과 결합하는 동안에 상기 캐리어를 에워싸서 주위 환경으로부터 밀봉하기에 적합한 제거가능한 밀폐물을 포함하는 장치.
  2. 제1항에 있어서 상기 캐리어가, 스택 (stack)내에서 다수의 상기 캐리어를 지지하는 장치.
  3. 제1항에 있어서. 상기 캐리어가, 밀봉된 미소환경을 제공하는 장치.
  4. 제3항에 있어서 상기 캐리어가, SMIF-타입 박스인 장치.
  5. 제1항에 있어서. 상기 적재 로크가, 상기 적재 로크와 상기 처리환경 사이에서 각각의 웨이퍼가 이동할 수 있는 웨이퍼 개구부를 더 포함하고 있는 장치.
  6. 제5항에 있어서, 웨이퍼를 상기 처리환경의 여러 부위로 적재하는 동안에 상기 웨이퍼 개구부에 대하여 플랫폼을 이동시키기 위한 인덱서 (indexer)를 더 포함하는 장치.
  7. 처리챔버 적재 로크에서 다수의 웨이퍼를 지지하는 웨이퍼 캐리어가 상기 적재 로크와 결합하는 동안에 상기 웨이퍼 캐리어에 대하여 밀봉된 환경을 유지시키기 위한 장치로서, 상기 적재 로크와 주위환경에 대하여 상기 웨이퍼 캐리어를 에워싸서 밀봉시키기에 적합한 제거가능한 밀폐물을 포함하는 장치.
  8. 제7항에 있어서, 상기 밀폐물이, 상기 웨이퍼 캐리어틀 에워싸기에 충분한 내부 용적부를 한정하도록 종 모양으로 이루어져 있는 장치.
  9. 제7항에 있어서, 상기 밀폐물이, 상기 밀폐물에 의해서 한정된 내부 용적부럴 밀봉하도록 상기 적재 로크와 결합하기에 적합한 기저부 주변부 테두리를 더 포한하는 장치.
  10. 제7항에 있어서, 상기 장치가 상기 웨이퍼 캐리어가 상기 적재 로크와 결합하는 동안에 상기 밀폐물내에 균등한 압력을 조성하여 유지시키기 위한 수단을 더 포함하고 있으며, 이에 의해, 상기 캐리어가 없는 상태하에서 웨이퍼를 하역하는 동안에 상기 처리챔버와 상기 주위환경 사이에 조성전 압력차가 완화되는 장치.
  11. 제7항에 있어서, 상기 캐리어가 밀봉된 미소환경을 제공하는 장치.
  12. 제11항에 있어서, 상기 캐리어가 SMIF-타입 박스인 장치.
  13. 미소환경 제이퍼 캐리어에 대한 적재 로크로서, 캐리어 기저부와 상호 보완적으로 결합하도록 배열되고 상기 캐리어 기저부에서 상기 캐리어와 결합하는 경우에 처리환경의 여러부위로 웨이퍼를 적재시키도록 작동될 수 있는 플랫폼과 상기 기저부 주변부 테두리를 갖춘 제거가능한 밀폐물로서, 상기 기저부 주변부테두리는 상기 로크와 결합하고 상기 밀폐물에 의해서 한정된 내부 용적부를 밀봉시키기에 적합하며, 이에의해 상기 캐리어가 상기 플랫폼가 결합하는 동안에 주위 환경으로부터 상기 캐리어를 에워싸서 밀봉하게 되는 밀폐물과, 레이퍼를 상기 처리환경의 여러 부위로 장입시키는 동안에 상기 플랫폼을 이동시키기 위한 인덱서와, 그리고 상기 적재 로크와 상기 처리환경 사이에서 각각의 상기 웨이퍼가 이동할 수 있도록 제공된 레이퍼 개구부를 포함하는 적재 로크.
  14. 제13항에 있어서, 상기 밀폐물이 상기 웨이퍼 캐리어를 에워싸기에 충분한 최소 내부 용적부를 한정하도록 형상화되어 있는 적재 로크.
  15. 제13항에 있어서, 상기 캐리어가 SMIF-타입 악스인 적재 로크.
  16. 제13항에 있어서, 상기 캐리어가 상기 적재 로크와 결함하는 동안에 상기 밀폐물내에 일정한 압력을 조성하여 유지시키는 수단을 더 포함하고 있으며, 이에 의해 웨이퍼를 하역하는 동안에 상기 캐리어가 없는 상태하에서 처리챔버와 상기 처리환경 사이에 조성된 압력차가 완화되는 적재 로크.
  17. 제13항에 있어서, 상기 플랫폼이, 수평방향의 기저부를 갖춘 캐리어를 수용하기에 적당한 적재 로크.
  18. 제13항에 있인서, 상기 플랫폼이, 수직방향의 기저부를 갖춘 캐리어를 수용하기에 적합한 적재 로크.
  19. 처리 챔버의 적재 로크에서 웨이퍼 캐리어가 상기 적재 로크와 결합하는 동안에 상기 웨이퍼 캐리어 주위로 밀봉된 환경을 유지시키기 위한 방법으로서, 상기 적재 로크와 결합하여 상기 적재 로크를 밀봉시키기에 적합한 기저부 주변부 테두리를 갖춘 제거가능한 밀폐물을 사용하여 상기 캐리어를 에워싸서 주위환경으로부터 밀봉시키는 단계를 포함하는 방법.
  20. 제19항에 있어서, 상기 캐리어가 상기 적재 로크와 결합하는 동안에 상기 밀폐물내에 일정한 압력을 조성하여 유지시키는 단계를 포함하며, 이에 의해, 웨이퍼를 하역하는 동안에 상기 캐리어가 없는 상태에서 상기 처리챔버와 처리환경 사이에 조성된 압력차가 완화되는 방법.
  21. 미소환경 웨이퍼 캐리어에 대한 적재 로크에서 상기 웨이퍼 캐리어가 상기 적재 로크와 결합하는 동안에 상기 웨이퍼 캐리어 주위로 밀봉된 환경을 유지시키기 위한 방법으로서, 캐리어 기저부와 상호 보완적 으로 결합하도록 배열되어 있고 상기 캐리어 기저부와 결합하는 경우에 웨이퍼를 처리환경의 여러 부위로 적재하도록 작동될 수 있는 플랫폼과 상기 캐리어를 결합시키는 단계와. 상기 적재 로크왁 결합하기에 적합하고 상기 밀폐물에 의해서 한정된 내부 용적부를 밀봉시키기에 적합한 기저부 주변부 테두리를 갖는 제거 가능한 밀폐물을 사용하여 상기 캐리어가 상기 플랫폼과 결합하는 동안에 상기 캐리어를 에워싸서 밀봉시키는 단계와, 상기 처리환경의 여러 부위로 웨이퍼를 적재하도록 상기 플랫폼을 이동시키는 단계와, 그리고 웨이퍼 개구부를 통해서 상기 적재 로크와 상기 처리환경 사이에서 각각의 웨이퍼를 이동시키는 단계를 포함하는 방법.
  22. 제21항에 있어서, 상기 캐리어가 SMIF-타입 박스인 방법.
  23. 제21항에 있어서, 상기 캐리어가 상기 적재 로크와 결합하는 동안에 상기 밀폐물내에 일정한 압력을 조성하여 유지시키는 단계를 더 포함하며, 이에 의해 웨이퍼를 하역하는 동안에 상기 캐리어가 없는 상태하 에서 처리챔버와 상기 처리환경 사이에 조성된 압력차가 완화되는 방법.
  24. 처리챔버에 대하여 병렬로 구치된 적재 로크 챔버 및 상기 적재 로크 챔버에 제거가능하게 부착될 수 있고 카세트를 포함하는 캐리어를 포함하고 있으며, 상기 카세트는 다수의 기판들을 지지하고 상기 캐리어로부터 상기 처리챔버로내로 상기 기판을 선택적으로 삽입시키기 위해서 상기 캐리어로부터 상기 적재 로크내로 삽입될 수 있는 기판 적재장치에 있어서, 상기 적재 로크에 부착된 상기 캐리어를 에워싸서 상기 적재로크에 대하여 강기 캐리어를 밀봉시키는 제거가능한 밀폐물을 포함하고 있으며, 이에 의해, 상기 카세트가 상기 적재 로크내로 삽입되는 동안에 상기 캐리어가 주위로부터 보호됨을 특징으로 하는 장치.
  25. 제24항에 있어서, 상기 적재 로크에 부착된 상기 밀폐물의 내부에 상기 적재 로크를 연결시키는 진공구멍을 더 포함하는 장치.
  26. 제24항에 있어서, 상기 밀폐물의 벽을 관통하여 형성된 진공 구멍을 더 포함하는 장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
KR1019940027908A 1993-10-29 1994-10-28 반도체 웨이퍼 적재 장치,적재 로크,웨이퍼 캐리어 주위로 밀봉된 환경을 유지시키기 위한 방법 및 장치 KR100347203B1 (ko)

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