JPH10335411A - カセット取出し装置及びカセット取出し方法並びに基板処理装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 装置のランニングコストの上昇等を招くこと
なく、基板表面への自然酸化膜の形成を防止することが
できるようにする。 【解決手段】 カセット取出し装置は、カセット６２を
出し入れするための開口部３５１を有しこの開口部３５
１の外側の側面が真空パックカバー５２によって封止さ
れるカセット棚３５と、このカセット棚３５の開口部３
５１内側の側面を封止するカセットエレベータ３６の載
置台３６１と、カセット棚３５と載置台３６１と真空パ
ックカバー５２と真空パックベース５１との間にできる
空隙に含まれる雰囲気を排出する配管３８，３９及び開
閉バルブ４１並びに真空ポンプ４３と、この排気処理が
終了した後真空パックカバー５２に収容されているカセ
ット６２をカセット棚３５の内部に搬入するカセットエ
レベータ３６とを有する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板を処理するた
めの処理容器を有する基板処理装置に関する。また、本
発明は、例えば、基板処理装置において、カセット収容
容器からカセットを取り出すためのカセット取出し装置
とカセット取出し方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】一般に、半導体装置のウェーハや液晶表
示装置のガラス基板等の基板に成膜処理等の処理を施す
場合は、基板をカセットに収容して搬送するようになっ
ている。これは、基板処理工程への基板の投入と基板処
理工程からの基板の排出を容易に行うためである。

【０００３】図１１は、カセットに収容された状態で投
入された基板をカセットから取り出した後、この基板に
成膜処理等の処理を施す従来の基板処理装置１０の構成
を示す側面図である。

【０００４】図示の基板処理装置１０は、処理容器１１
と、基板処理ボート１２と、ボートエレベータ１３と、
カセットステージ１４と、カセット棚１５と、カセット
ローダ１６と、基板移載機１７とを有する。これらは、
筐体１８に収容されている。

【０００５】上記構成において、基板処理動作を説明す
る。この基板処理動作おいては、まず、複数の基板２１
が収容されたカセット２２が装置の外部に設けられた図
示しない搬送装置によってカセットステージ１４に載置
される。カセットステージ１４に載置されたカセット２
２は、カセットローダ１６によりカセット棚１５に搬送
される。

【０００６】この搬送処理が終了すると、カセット棚１
５に搬送されたカセット２２に収容されている基板２１
が基板移載機１７により基板処理ボート１２に移載され
る。この移載処理が終了すると、基板処理ボート１２が
ボートエレベータ１３により処理容器１１の内部に搬送
される。この搬送処理が終了すると、基板処理ボート１
２に収容された基板２１に対して所定の処理が施され
る。この処理が終了すると、基板２１は、上述した搬入
手順とは逆の手順で、基板処理装置１０から搬出され
る。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述したように、従来
は、基板処理装置１０に基板２１を搬送する処理と、基
板処理装置１０内で基板２１を保管する処理とを大気中
で行うようになっていた。

【０００８】しかしながら、このような構成では、基板
２１の表面に自然酸化膜が形成され、基板２１の処理の
内容によっては、無視することができない場合があると
いう問題があった。

【０００９】この問題を解決するために、従来、カセッ
トを基板処理装置に搬送する場合、Ｎ₂ パージパック化
して搬送し、基板処理装置内で保管する場合、Ｎ₂ パー
ジパック化されたカセットをＮ₂ パージ容器内で保管す
る方法を採用することがあった。

【００１０】しかしながら、このような構成では、Ｎ₂
パージパック化されたカセットをＮ₂ パージ容器に搬入
した後、Ｎ₂ パージ容器内の大気をＮ₂ ガスに置換しな
ければならないため、装置のランニングコストが高くな
る等の問題があった。

【００１１】そこで、本発明は、装置のランニングコス
トの上昇等を招くことなく、基板表面への自然酸化膜の
形成を防止することができるカセット取出し装置及びカ
セット取出し方法並びに基板処理装置を提供することを
目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明は、カセット収容
容器によるカセットの収容形態として真空パック化形態
を採用することにより、真空容器本体にカセットを取り
入れる場合、真空容器本体の内部を大気に触れさせるこ
となく取り入れることができるようにしたものである。

【００１３】すなわち、基板に自然酸化膜が形成される
のを防止するためには、カセットを真空パック化するこ
とが考えられる。しかし、この場合、どのようにして真
空容器本体の内部を大気に触れさせることなく、この内
部にカセットを取り入れるかが問題になる。

【００１４】この方法として、カセットをカセット収容
容器に収容した状態で真空容器本体内に取り入れ、この
真空容器本体内でカセット収容容器から取り出すことが
考えられる。しかし、この方法では、真空容器本体内に
カセット収容容器を取り入れた後、真空容器を真空引き
する必要がある。これにより、この方法では、従来の方
法と同様に、装置のランニングコストが上昇する等の問
題が生じる。

【００１５】そこで、本発明は、真空パック用のカセッ
ト収容容器の蓋がその本体にこのカセット収容容器本体
の内外の圧力の差を利用して固定可能なことに着目し、
真空容器本体のカセット出し入れ用開口部にカセット収
容容器本体や真空容器用蓋等により空隙を作り、この空
隙を真空引きすることにより、カセット収容容器本体か
らカセット収容容器用蓋を外し、カセット収容容器本体
に収容されているカセットを真空容器本体内に取り入れ
るようにしたものである。

【００１６】このような構成によれば、カセット収容容
器に収容されているカセットを、真空容器本体内を大気
に開放することなく、真空容器本体内に取り入れること
ができる。これにより、ランニングコストの上昇等を招
くことなく、基板表面への自然酸化膜の形成を防止する
ことができる。

【００１７】具体的には、請求項１記載の基板処理装置
は、カセット出し入れ用開口部を介して基板収容用カセ
ットが出し入れされるカセット収容容器本体と、カセッ
ト出し入れ用開口部を封止するものであってカセット収
容容器本体の内部と外部との圧力の差を利用してカセッ
ト出し入れ用開口部に固定されるカセット収容容器用蓋
とを有するカセット収容容器からカセットを取り出すも
のであって、真空容器本体と、真空容器用蓋と、排気手
段と、カセット搬入手段とを備えたものである。

【００１８】ここで、真空容器本体は、外側の側面がカ
セット収容容器本体によって封止されるカセット出し入
れ用開口部を有する。また、真空容器蓋は、真空容器用
本体のカセット出し入れ用開口部の内側の側面を封止す
る機能を有する。

【００１９】また、排気手段は、真空容器本体と、真空
容器用蓋と、カセット収容容器本体と、カセット収容容
器用蓋とによって形成される空隙に含まれる雰囲気を排
出する機能を有する。また、カセット搬入手段は、排気
手段による排気処理が終了した後、真空容器用蓋を開い
てカセット収容容器本体に収容されているカセットを真
空容器本体に搬入する機能を有する。

【００２０】この請求項１記載のカセット取出し装置で
は、まず、真空容器本体のカセット出し入れ用開口部の
内側の側面が真空容器用蓋によって封止された状態で、
このカセット出し入れ用開口部の外側の側面がカセット
収容容器本体によって封止される。これにより、真空容
器本体と真空容器用蓋とカセット収容容器本体とカセッ
ト収容容器用蓋との間に空隙が形成される。

【００２１】この後、排気手段によりこの空隙に含まれ
る雰囲気が排出される。これにより、カセット収容容器
本体に対するカセット収容容器用蓋の固定状態が解除さ
れる。この排出処理が終了すると、カセット搬入手段に
より真空容器用蓋が開かれるとともに、カセット収容容
器本体に収容されているカセットが真空容器本体内に搬
入される。これにより、真空容器本体の内部を大気に触
れさせることなく、カセットを真空容器本体内に取り入
れることができる。その結果、真空容器本体内にカセッ
トを取り入れた後、この真空容器本体を真空引きする必
要がないので、装置のランニングコストの上昇等を招く
ことなく、基板表面への自然酸化膜の形成を防止するこ
とができる。

【００２２】請求項２記載のカセット取出し装置は、請
求項１記載の装置において、さらに、カセット搬出手段
と、給気手段とを備えたものである。

【００２３】ここで、カセット搬出手段は、真空容器本
体内に収容されているカセットをカセット収容容器本体
に搬出して真空容器用蓋を閉じる機能を有する。また、
給気手段は、カセット搬出手段によるカセット搬出処理
が終了した後、上記空隙に雰囲気を供給する機能を有す
る。

【００２４】この請求項２記載のカセット取出し装置で
は、カセット搬出手段により真空容器本体に収容されて
いるカセットがカセット収容容器本体に搬出されるとと
もに、真空容器用蓋が閉じられる。このあと、給気手段
により上記空隙に雰囲気が供給される。これにより、カ
セット収容容器用蓋がカセット収容容器本体に固定され
る。その結果、真空容器本体の内部を大気に触れさせる
ことなく、カセットをカセット収容容器に収めることが
できる。

【００２５】請求項３記載のカセット取出し方法は、カ
セット出し入れ用開口部を介して基板収容用カセットが
出し入れされるカセット収容容器本体及びカセット出し
入れ用開口部を封止するものであってカセット収容容器
本体の内部と外部との圧力の差を利用してこのカセット
収容容器本体に固定されるカセット収容容器用蓋を有す
るカセット収容容器からカセットを取り出す方法であっ
て、第１の工程と、第２の工程と、第３の工程とによっ
てカセットを取り出すものである。

【００２６】ここで、第１の工程は、真空容器本体のカ
セット出し入れ用開口部の内側の側面を真空容器用蓋に
よって封止した状態でこのカセット出し入れ用開口部の
外側の側面をカセット収容容器本体によって封止する工
程である。

【００２７】また、第２の工程は、第１の工程が終了し
た後、真空容器本体と真空容器用蓋と収容容器本体と収
容容器用蓋との間にできる空隙に含まれる雰囲気を排出
する工程である。

【００２８】また、第３の工程は、第２の工程が終了し
た後、真空容器用蓋を開いてカセット収容容器本体に収
容されているカセットを真空容器本体内に搬入する工程
である。

【００２９】この請求項３記載のカセット取出し方法で
は、請求項１記載のカセット取出し装置と同様に、ま
ず、真空容器本体のカセット出し入れ用開口部の内側の
側面が真空容器用蓋によって封止された状態で、外側の
側面がカセット収容容器本体によって封止される。次
に、この封止によって形成される空隙に含まれる雰囲気
が排出される。次に、真空容器用蓋が開かれるととも
に、カセット収容容器本体に収容されているカセットが
真空容器本体に搬入される。これにより、真空容器本体
の内部を大気に触れさせることなく、カセットを真空容
器本体内に取り入れることができる。

【００３０】請求項４記載のカセット取出し方法は、請
求項３記載の方法において、さらに、第４の工程と、第
５の工程とを備えたものである。

【００３１】ここで、第４の工程は、真空容器本体に収
容されているカセットをカセット収容容器本体に搬出し
て真空容器用蓋を閉じる工程である。また、第５の工程
は、第４の工程が終了した後、空隙に雰囲気を供給する
工程である。

【００３２】この請求項４記載のカセット取出し方法で
は、請求項２記載のカセット取出し装置と同様に、ま
ず、真空容器本体に収容されているカセットがカセット
収容容器本体に搬出されるとともに、真空容器用蓋が閉
じられる。このあと、上記空隙に雰囲気が供給される。
これにより、真空容器本体の内部を大気に触れさせるこ
となく、カセットをカセット収容容器に取り出すことが
できる。

【００３３】請求項５記載の基板処理装置は、基板を処
理するための処理容器を有する装置において、請求項１
記載のカセット取出し装置と同じ構成及び機能を有し、
その構成要件の１つである真空容器本体が処理容器と連
通するようなカセット取出し手段を設けるようにしたも
のである。

【００３４】この請求項５記載の基板処理装置では、請
求項１記載のカセット取出し装置と同じようにして、カ
セット収容容器に収容されているカセットがこのカセッ
ト収容容器から取り出され、真空容器本体に収容され
る。そして、この真空容器本体に収容されたカセットに
収容されている基板が処理容器で所定の処理を施され
る。

【００３５】

【実施の形態】以下、図面を参照しながら、本発明の実
施の形態を詳細に説明する。

【００３６】［第１の実施の形態］ （第１の実施の形態の構成）図１は、本発明の第１の実
施の形態に係る基板処理装置３０の構成を示す側面図で
ある。

【００３７】ここで、この図１に示す基板処理装置３０
の構成を説明する前に、この装置３０の構成を分かり易
くするために、この装置３０で使用される真空パック用
のカセット収容容器５０の構成を説明する。

【００３８】図２は、このカセット収容容器５０の構成
を示す側面図である。図示のカセット収容容器５０は、
基板６１を収容したカセット６２が載置される真空パッ
クベース５１と、この真空パックベース５１に載置され
たカセット６２を被うための真空パックカバー５２とを
有する。

【００３９】真空パックカバー５２は、真空パックベー
ス５１に載置されたカセット６２を被うためのカバー本
体５２１を有する。このカバー本体５２１は、例えば、
円筒状に形成されている。このカバー本体５２１の上端
部は閉塞され、下端部には、カセット６２を出し入れす
るための開口部５２２が形成されている。

【００４０】また、カバー本体５２１の下端部には、フ
ランジ５２３が設けられている。このフランジ５２３
は、カバー本体５２１の中心軸にほぼ垂直に形成されて
いる。また、このフランジ５２３の内径（開口部５２２
の径）Ｒ２は、真空パックベース５１の径Ｒ１より小さ
くなるように設定され、外径Ｒ３は、真空パックベース
５１の径Ｒ１より大きくなるように設定されている。

【００４１】以上が、本実施の形態で使用されるカセッ
ト収容容器５０の構成である。なお、このカセット収容
容器５０においては、真空パックカバー５２が本発明の
カセット収容容器本体に相当し、真空パックベース５１
が本発明のカセット収容容器用蓋に相当する。

【００４２】図３は、このカセット収容容器５０を使っ
てカセット６２を真空パック化する方法を示す図であ
る。この場合、まず、図３（ａ）に示すように、真空パ
ックベース５１に載置されたカセット６２に真空パック
カバー５２が被せられる。次に、図３（ｂ）に示すよう
に、真空パックベース５１に形成された真空排気ポート
５３を介してカセット収容容器５０が真空引きされる。
これにより、図３（ｃ）に示すように、カセット収容容
器５０の内部の圧力（真空圧力）と外部の圧力（大気
圧）との差により、真空パックベース５１が真空パック
カバー５２に固定される。

【００４３】以上がカセット６２を真空パック化する方
法である。なお、真空排気ポート５３には、例えば、チ
ェック弁が埋め込まれ、真空引き後のリークを防止する
ようになっている。同様に、真空パックベース５１と真
空パックカバー５２との接合部には、Ｏリング等のシー
ル部材が介在され、前記接合部のリークを防止するよう
になっている。

【００４４】次に、図１に示す基板処理装置３０の構成
を説明する。図には、縦型の基板処理装置３０を示す。

【００４５】図示の基板処理装置３０は、処理容器３１
と、基板処理ボート３２と、ボートエレベータ３３と、
ロードロック容器３４と、カセット棚３５と、カセット
エレベータ３６と、弾性部材３７と、配管３８，３９，
４０と、開閉バルブ４１，４２と、真空ポンプ４３と、
大気タンク４４と、基板移載機４５と、基板移載容器４
６と、カセットステージ４７と、バッファカセット棚４
８と、カセットローダ４９とを有する。

【００４６】ここで、処理容器３１は、基板６１に所定
の処理を施すための真空容器である。基板処理ボート３
２は、基板６１に所定の処理を施す場合に、この基板６
１を保持するためのボートである。ボートエレベータ３
３は、基板処理ボート３２を処理容器３１の内部に搬入
したり、この処理容器３１の内部から搬出する機能を有
する。ロードロック容器３４は、処理容器３１の内部が
大気に触れるのを防止するための容器である。

【００４７】カセット棚３５は、カセット収容容器５０
を一時的に保管するための棚である。このカセット棚３
５は、上面をカセット載置面とする真空容器によって構
成されている。カセットエレベータ３６は、カセット６
２をカセット棚３５の内部に搬入したり、この内部から
搬出するための機能を有する。弾性部材３７は、真空パ
ックベース５１の厚みのばらつきを吸収する機能を有す
る。配管３８，３９，４０と、開閉バルブ４１，４２
と、真空ポンプ４３と、大気タンク４４とは、カセット
収容容器５０の真空パックベース（蓋）５１を開閉する
機能を有する。

【００４８】基板移載機４５は、カセット棚３５に収容
されたカセット６２と基板処理ボート３２との間で基板
６１を移載する機能を有する。基板移載容器４６は、こ
の基板移載機４５を収容する機能を有するとともに、カ
セット棚３５とロードロック容器３４とを連通する機能
を有する。言い換えれば、カセット棚３５と処理容器３
１とを連通する機能を有する。

【００４９】カセットステージ４７は、カセット収容容
器５０を載置するためのステージである。バッファカセ
ット棚４８は、カセット収容容器５０を一時的に保管す
るための棚である。カセットローダ４９は、カセット収
容容器５０をカセットステージ４７とカセット棚３５と
の間、及びバッファカセット棚４８とカセット棚３５と
の間、並びにカセットステージ４７とバッファカセット
棚４８との間で搬送する機能を有する。

【００５０】上記処理容器３１の下面には、基板処理ボ
ート３２を出し入れするための開口部３１１が設けられ
ている。この処理容器３１の下方には、ロードロック容
器３４が設けられている。このロードロック容器３４の
上面には、基板処理ボート３２を出し入れするための開
口部３４１が設けられている。また、このロードロック
容器３４の側面には、基板６１を出し入れするための開
口部３４２が設けられている。上記ボートエレベータ３
３は、ロードロック容器３４の内部に配置されている。
上記基板処理ボート３２は、ボートエレベータ３３に載
置されている。

【００５１】上記カセット棚３５は、ロードロック容器
３４の横に所定間隔離して設けられている。このカセッ
ト棚３５の上面には、カセット３２を出し入れするため
の開口部３５１が設けられている。この開口部３５１
は、例えば、円形に形成されている。この開口部３５１
の径Ｒ４は、真空パックベース５１の径Ｒ１より大き
く、フランジ５２３の外径Ｒ３より小さくなるように設
定されている。カセット棚３５の側面には、基板６１を
出し入れするための開口部３５２が設けられている。

【００５２】上記カセットエレベータ３６は、カセット
棚３５の内部に配置されている。このカセットエレベー
タ３６は、カセットが載置される載置台３６１を有す
る。この載置台３６１は、カセット６２を支持する機能
のほかに、開口部３５１の内側の側面を封止する機能を
有する。この載置台３６１の上面には、上述した板状の
弾性部材３７が取り付けられている。開口部３５１の外
側の側面は、詳細は後述するが、カセット収容容器５０
の真空パックカバー５２により封止される。この場合、
カセット棚３５の上面と真空パックカバー５２との接合
部には、Ｏリング等のシール部材が介在されている。

【００５３】上記配管３８の一端は、開口部３５１の縁
に位置決めされている。この配管３８の他端は配管３
９，４０の一端に接続されている。配管３９の他端は真
空ポンプ４３に接続され、配管４０の他端は大気タンク
４４に接続されている。開閉バルブ４１は配管３９に挿
入され、開閉バルブ４２は配管４０に挿入されている。

【００５４】上記基板移載機４５は、基板移載容器４６
に収容されている。この基板移載容器４６は、ロードロ
ック容器３４とカセット棚３５との間に配設されてい
る。この基板移載容器４６の側面には、基板６１を出し
入れするための開口部４６１，４６２が設けられてい
る。

【００５５】上記カセットステージ４７は、上記カセッ
ト棚３５の横に所定間隔離して配設されている。上記バ
ッファカセット棚４８は、カセット棚３５の上方に設け
られている。このバッファカセット棚４８は、例えば、
２つの棚部４８１，４８２を有する。上記カセットロー
ダ４９は、カセットステージ４７とカセット棚３５との
間に設けられている。

【００５６】以上が本実施の形態の基板処理装置３０の
構成である。なお、以上の構成において、カセット棚３
５は、本発明の真空容器本体に相当し、載置台３６１
は、真空容器用蓋に相当する。また、配管３８，３９
と、開閉バルブ４１と、真空ポンプ４３とは、本発明の
排気手段を構成し、カセットエレベータ３６は、本発明
のカセット搬入手段とカセット搬出手段とを構成する。
また、配管３８，４０と、開閉バルブ４２と、大気タン
ク４４とは、本発明の給気手段を構成する。

【００５７】（第１の実施の形態の動作）上記構成にお
いて、図４、図５、図６を参照しながら、基板処理動作
を説明する。ここで、図４、図５、図６は、この基板処
理動作を示すシーケンス図である。

【００５８】この処理の開始時は、図４に示すように、
ボートエレベータ３３が下降状態にある。これにより、
基板処理ボート３２はロードロック容器３４内に収容さ
れている。また、カセットエレベータ３６が上昇状態に
ある。これにより、カセット棚３５の開口部３５１の内
側の側面がカセットエレベータ３６の載置台３６１によ
り封止されている。

【００５９】この状態で、まず、図４に示すように、基
板処理装置３０の外部に設けられた図示しない搬送装置
によりカセットステージ４７にカセット収容容器５０が
載置される。このカセット収容容器５０は、図４に示す
ように、カセットローダ４９によりカセット棚３５まで
搬送される。カセット棚３５まで搬送されたカセット収
容容器５０は、図５に示すように、カセット棚３５の上
面に載置される。

【００６０】この場合、カセット収容容器５０は、真空
パックカバー５２の開口部５２２の中心軸がカセット棚
３５の開口部３５１の中心軸とほぼ一致するように載置
される。これにより、カセット収容容器５０の真空パッ
クベース５１は、カセット棚３５の開口部３５１に位置
決めされ、真空パックカバー５２のフランジ５２３がこ
の開口部３５１の周縁部に位置決めされる。その結果、
開口部３５１の外部の側面が真空パックカバー５２によ
り封止される。これにより、開口部３５１には、カセッ
ト棚３５と、載置台３６１と、真空パックベース５１
と、真空パックカバー５２とにより空隙が形成されてい
る。

【００６１】この場合、真空パックベース５１は、弾性
部材３７の上に載置される。これにより、真空パックベ
ース５１の厚みを載置台３６１の上面と開口部３５１の
外側の側面との間の間隔より少し小さめに設定しておけ
ば、この厚みが本来の値より少し大きくなっても、真空
パックカバー５２がカセット棚３５の上面から浮いてし
まうことを防止することができる。その結果、真空パッ
クベース５１の厚みが本来の値より少し大きくなって
も、開口部３５１の外側の側面を確実に封止することが
できる。

【００６２】なお、カセットローダ４９がカセット収容
容器５０をカセット棚３５に搬送している間、カセット
ステージ４７には、図４に示すように、次のカセット収
容容器５０が載置される場合がある。この場合、カセッ
トローダ４９は、カセット収容容器５０をカセット棚３
５の上面に載置すると、カセットステージ４７に載置さ
れている次のカセット６２を、図６に示すように、カセ
ット棚４８の一方の棚部４８１に搬送する。

【００６３】カセット収容容器５０がカセット棚３５の
上面に載置されると、開閉バルブ４１が開かれるととも
に、真空ポンプ４３がオン状態に設定される。これによ
り、上記空隙に存在する大気が配管３８，３９を介して
排出される。この排気処理は、空隙の圧力がカセット収
容容器５０の内部の圧力とほぼ同じになるか、または、
これより小さくなるまで続けられる。

【００６４】空隙の圧力がカセット収容容器５０の内部
の圧力とほぼ同じになるか、または、これより小さくな
ると、真空パックカバー５２に対する真空パックベース
５１の固定状態が解除される。この状態になると、真空
ポンプ４３がオフ状態に設定されるとともに、開閉バル
ブ４１が閉じられる。このあと、カセットエレベータ３
６が図６に示すように下降する。これにより、カセット
６２が真空パックベース５１を介して載置台３６１に載
置された状態で、カセット棚３５の内部に搬入される。

【００６５】この搬入処理が終了すると、カセット６２
に収容されている基板６１が基板移載機４５により基板
処理ボート３２に移載される。この移載処理が終了する
と、基板処理ボート３２がボートエレベータ３３により
処理容器３１の内部に搬入される。この搬入処理が終了
すると、基板処理ボート３２に収容された基板６１に対
して所定の処理が施される。

【００６６】この処理が終了すると、基板処理ボート３
２がボートエレベータ３３によりロードロック容器３４
に搬出される。この搬出処理が終了すると、基板処理ボ
ート３１に収容されている基板６１が基板移載機４５に
よりカセット棚３５に収容されているカセット６２に移
載される。

【００６７】この移載処理が終了すると、カセットエレ
ベータ３６が上昇する。これにより、カセット６２が真
空パックカバー５２に収容されるとともに、この真空パ
ックカバー５２の開口部５２２が真空パックベース５１
により封止される。また、カセット棚３５の開口部３５
１の内側の側面がカセットエレベータ３６の載置台３６
１により封止される。

【００６８】この搬出処理が終了すると、開閉バルブ４
２が開かれる。これにより、カセット棚３５と、載置台
３６１と、真空パックベース５１と、真空パックカバー
５２とにより形成される空隙に大気が供給される。その
結果、この空隙の圧力が大気圧に設定される。これによ
り、この空隙の圧力がカセット収容容器５０内の圧力よ
り大きくなり、真空パックベース５１が真空パックカバ
ー５２に固定される。

【００６９】この処理が終了すると、カセット棚３５の
上面に載置されたカセット収容容器５０がカセットロー
ダ４９によりバッファカセット棚４８の他方の棚部４８
２に搬送される。この搬送処理が終了すると、バッファ
カセット棚４８の一方の棚部４８１に保管されているカ
セット収容容器５０がカセットローダ４９によりカセッ
ト棚３５の上面に載置される。これにより、このカセッ
ト収容容器５０に対して、再び上述したような処理が施
される。

【００７０】このあと、バッファカセット棚４８の他方
の棚部４８２に載置されたカセット収容容器５０がカセ
ットローダ４９によりカセットステージ４７に搬送され
る。このカセット収容容器５０は図示しない搬送装置に
よりカセットステージ４７から搬出される。

【００７１】このあと、このカセットステージ４７に次
のカセット収容容器５０が載置される。このカセット収
容容器５０は、カセットローダ４９によりバッファカセ
ット棚４８の一方の棚部４８１に搬送される。以下、同
様に、上述した動作が繰り返される。

【００７２】（第１の実施の形態の効果）以上詳述した
本実施の形態によれば、次のような効果が得られる。

【００７３】（１）まず、本実施の形態によれば、カセ
ット収容容器５０の真空パックベース５１が真空パック
カバー５２にこのカバー５２の内外の圧力差を利用して
固定可能なことに着目し、カセット棚３５のカセット出
し入れ用の開口部３５１に真空パックカバー５２や載置
台３６１等により空隙を作り、この空隙を真空引きする
ことにより、真空パックカバー５２から真空パックベー
ス５１を外して、真空パックカバー５２に収容されてい
るカセット６２をカセット棚３５内に取り入れるように
したので、真空パックカバー５２に収容されているカセ
ット６２を、カセット棚３５の内部を大気に触れさせる
ことなく、カセット棚３５内に取り入れることができ
る。これにより、装置のランニングコストの上昇等を招
くことなく、基板表面への自然酸化膜の形成を防止する
ことができる。

【００７４】（２）また、本実施の形態によれば、カセ
ット棚３５の内部からカセット６２を取り出す場合、真
空パックカバー５２にカセット６２を収容した後、上記
空隙に大気を供給することにより、真空パックベース５
１を真空パックカバー５２に固定するようにしたので、
カセット棚３５を大気に触れさせることなく、カセット
６２をカセット棚３５から取り出すことができる。これ
により、カセット６２の取出しによる装置のランニング
コストの上昇等を防止することができる。

【００７５】（３）また、本実施の形態によれば、カセ
ット出し入れ用の開口部３５１をカセット棚３５の上面
に形成するようにしたので、上記空隙を真空引きした
後、１つの動作でカセット６２をカセット棚３５内に取
り入れることができる。

【００７６】すなわち、このような構成によれば、カセ
ット搬入手段として、カセットエレベータ３６のような
昇降式のカセット搬入手段を用いることにより、空隙の
真空引きによって真空パックベース５１を開くと同時
に、カセット６２を支持することができる。これによ
り、真空引き処理が終了した後、カセットエレベータ３
６を下降させるだけの１つの動作で、カセット６２をカ
セット棚３５内に取り入れることができる。

【００７７】（４）また、本実施の形態によれば、カセ
ットエレベータ３６の載置台３６１の上面に弾性部材３
７を配置するようにしたので、真空パックベース５１の
厚みのばらつきを吸収することができる。これにより、
カセット収容容器５０やカセット棚３５等の製造精度を
緩和することができる。

【００７８】［第２の実施の形態］ （第２の実施の形態の構成）先の実施の形態では、本発
明を、バッファカセット棚４８を有する基板処理装置３
０に適用する場合を説明した。これに対し、本実施の形
態は、バッファカセット棚４８を有しない基板処理装置
３０に適用するようにしたものである。

【００７９】図７は、本実施の形態に係る基板処理装置
３０の構成の示す側面図である。なお、図７において、
先の図１とほぼ同じ機能を果たす部分には、同一符号を
付して詳細な説明を省略する。

【００８０】図７において、図１と異なる点は、カセッ
トステージ４７と、バッファカセット棚４８と、カセッ
トローダ４９が省略されている点である。

【００８１】（第２の実施の形態の動作）上記構成にお
いて、図８、図９、図１０を参照しながら、基板処理動
作を説明する。ここで、図８、図９、図１０は、この基
板処理動作を示すシーケンス図である。

【００８２】本実施の形態においては、カセット収容容
器５０は、図８に示すように、例えば、図示しない搬送
装置により、直接カセット棚３５の上面に載置される。
次に、図９に示すように、カセット棚３５の開口部３５
１に形成された空隙が真空引きされる。次に、カセット
６２が、図１０に示すように、カセット棚３５の内部に
搬入される。

【００８３】次に、基板６１が基板処理ボート３２に移
載される。次に、基板処理ローダ３２が処理容器３１の
内部に搬入され、基板６１に所定の処理が施される。こ
の処理が終了すると、基板処理ボート３２がロードロッ
ク容器３４に搬出される。次に、基板６１がカセット６
２に移載される。次に、カセット６２が真空容器カバー
５２に収容され、空隙に大気が供給される。次に、カセ
ット収容容器５０が図示しない搬送装置によりカセット
棚３５から搬送される。

【００８４】（第２の実施の形態の効果）以上詳述した
本実施の形態においても、先の実施の形態と同様の効果
を得ることができる。

【００８５】［そのほかの実施の形態］以上、本発明の
２つの実施の形態を詳細に説明したが、本発明は、上述
したような実施の形態に限定されるものではない。

【００８６】例えば、先の実施の形態では、カセット出
し入れ用の開口部３５１をカセット棚３５の上面に設け
る場合を説明した。しかしながら、本発明では、これを
側面に設けるようにしてもよい。このような構成におい
ても、カセット搬入手段として、例えば、図１に示す基
板移載機４５のようなアーム式のカセット搬入手段を用
いることにより、カセット収容容器５０からカセット６
２を取り出すことができる。

【００８７】このほかにも、本発明は、その要旨を逸脱
しない範囲で種々様々変形実施可能なことは勿論であ
る。

【００８８】

【発明の効果】以上詳述した請求項１記載のカセット取
出し装置及び請求項３記載のカセット取出し方法並びに
請求項５記載の基板処理装置によれば、真空パック用の
カセット収容容器用蓋がカセット収容容器本体にこの本
体の内外の圧力差を利用して固定可能なことを着目し、
真空容器本体のカセット出し入れ用開口部にカセット収
容容器用蓋や真空容器用蓋等により空隙を作り、この空
隙を真空引きすることにより、カセット収容容器本体か
らカセット収容容器用蓋を外して、カセット収容容器本
体に収容されているカセットを真空容器本体内に取り入
れるようにしたので、カセット収容容器本体に収容され
ているカセットを、真空容器本体の内部を大気に触れさ
せることなく、真空容器本体内に取り入れることができ
る。これにより、カセットの取り入れによる装置のラン
ニングコストの上昇等を招くことなく、基板表面への自
然酸化膜の形成を防止することができる。

【００８９】また、請求項２記載のカセット取出し装置
及び請求項４記載のカセット取出し方法によれば、真空
容器本体の内部からカセットを取り出す場合、カセット
収容容器本体にカセットを収容した後、上記空隙に大気
を供給することにより、カセット収容容器用蓋をカセッ
ト収容容器本体に固定するようにしたので、真空容器本
体内を大気に触れさせることなく、カセットを真空容器
本体から取り出すことができる。これにより、カセット
の取出しによる装置のランニングコストの上昇等を防止
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施の形態に係る基板処理装置
の構成を示す側面図である。

【図２】本発明の第１の実施の形態で使用されるカセッ
ト収容容器の構成を示す側面図である。

【図３】本発明の第１の実施の形態における基板の真空
パック化を説明するためのシーケンス図である。

【図４】本発明の第１の実施の形態の動作を説明するた
めのシーケンス図である。

【図５】本発明の第１の実施の形態の動作を説明するた
めのシーケンス図である。

【図６】本発明の第１の実施の形態の動作を説明するた
めのシーケンス図である。

【図７】本発明の第２の実施の形態に係るカセット取出
し装置の構成を示す側面図である。

【図８】本発明の第２の実施の形態の動作を説明するた
めのシーケンス図である。

【図９】本発明の第２の実施の形態の動作を説明するた
めのシーケンス図である。

【図１０】本発明の第２の実施の形態の動作を説明する
ためのシーケンス図である。

【図１１】従来の基板処理装置の構成を示す側面図であ
る。

【符号の説明】

３０…基板処理装置、３１…処理容器、３２…基板処理
ボート、３３…ボートエレベータ、３４…ロードロック
容器、３５…カセット棚、３６…カセットエレベータ、
３７…弾性部材、３８，３９，４０…配管、４１，４２
…開閉バルブ、４３…真空ポンプ、４４…大気タンク、
４５…基板移載機、４６…基板移載容器、４７…カセッ
トステージ、４８…バッファカセット棚、４９…カセッ
トローダ、３１１，３４１，３４２，３５１，３５２，
４６１，４６２…開口部、４８１，４８２…棚部。

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 カセット出し入れ用開口部を介して基板
   収容用カセットが出し入れされるカセット収容容器本体
   と、前記カセット出し入れ用開口部を封止するものであ
   って前記カセット収容容器本体の内部と外部との圧力の
   差を利用してこのカセット収容容器本体に固定されるカ
   セット収容容器用蓋とを有するカセット収容容器から前
   記カセットを取り出すものであって、 カセット出し入れ用開口部を有し、このカセット出し入
   れ用開口部の外側の側面が前記カセット収容容器本体に
   よって封止される真空容器本体と、 この真空容器本体の前記カセット出し入れ用開口部の内
   側の側面を封止する真空容器用蓋と、 前記真空容器本体と前記真空容器用蓋と前記カセット収
   容容器本体と前記カセット収容容器用蓋との間にできる
   空隙に含まれる雰囲気を排出する排気手段と、 この排気手段による排気処理が終了した後、前記真空容
   器用蓋を開いて前記カセット収容容器本体に収容されて
   いる前記カセットを前記真空容器本体に搬入するカセッ
   ト搬入手段とを備えたことを特徴とするカセット取出し
   装置。
2. 【請求項２】 前記真空容器本体に収容されている前記
   カセットを前記収容容器本体に搬出して前記真空容器用
   蓋を閉じるカセット搬出手段と、 このカセット搬出手段によるカセット搬出処理が終了し
   た後、前記空隙に雰囲気を供給する給気手段とをさらに
   備えたことを特徴とする請求項１記載のカセット取出し
   装置。
3. 【請求項３】 カセット出し入れ用開口部を介して基板
   収容用カセットが出し入れされるカセット収容容器本体
   及び前記カセット出し入れ用開口部を封止するものであ
   って前記カセット収容容器本体の内部と外部との圧力の
   差を利用してこのカセット収容容器本体に固定されるカ
   セット収容容器用蓋を有するカセット収容容器から前記
   カセットを取り出す方法であって、 真空容器本体のカセット出し入れ用開口部の内側の側面
   を真空容器用蓋によって封止した状態でこのカセット出
   し入れ用開口部の外側の側面を前記カセット収容容器本
   体によって封止する第１の工程と、 この第１の工程が終了した後、前記真空容器本体と前記
   真空容器用蓋と前記カセット収容容器本体と前記カセッ
   ト収容容器用蓋との間にできる空隙に含まれる雰囲気を
   排出する第２の工程と、 この第２の工程が終了した後、前記真空容器用蓋を開い
   て前記カセット収容容器本体に収容されている前記カセ
   ットを前記真空容器本体に搬入する第３の工程とを備え
   たことを特徴とするカセット取出し方法。
4. 【請求項４】 前記真空容器本体に収容されている前記
   カセットを前記収容容器本体に搬出して前記真空容器用
   蓋を閉じる第４の工程と、 この第４の工程が終了した後、前記空隙に雰囲気を供給
   する第５の工程とをさらに備えたことを特徴とする請求
   項３記載のカセット取出し方法。
5. 【請求項５】 基板を処理するための処理容器を有する
   基板処理装置において、 カセット出し入れ用開口部を介して基板収容用カセット
   が出し入れされるカセット収容容器本体と前記カセット
   出し入れ用開口部を封止するものであって前記カセット
   収容容器本体の内部と外部との圧力の差を利用してこの
   カセット収容容器本体に固定されるカセット収容容器用
   蓋とを有するカセット収容容器から前記カセットを取り
   出すものであって、 前記基板処理容器と連通するとともに、カセット出し入
   れ用開口部を有し、このカセット出し入れ用開口部の外
   側の側面が前記カセット収容容器本体によって封止され
   る真空容器本体と、 この真空容器本体の前記カセット出し入れ用開口部の内
   側の側面を封止する真空容器用蓋と、 前記真空容器本体と前記真空容器用蓋と前記カセット収
   容容器本体と前記カセット収容容器用蓋との間にできる
   空隙に含まれる雰囲気を排出する排気手段と、 この排気手段による排気処理が終了した後、前記真空容
   器用蓋を開いて前記カセット収容容器本体に収容されて
   いる前記カセットを前記真空容器本体に搬入するカセッ
   ト搬入手段とを備えたカセット取出し手段を有すること
   を特徴とする基板処理装置。