JP2000310785A - 液晶注入方法および注入装置 - Google Patents
液晶注入方法および注入装置Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 サイズの大きい液晶セルあるいは液晶注入ギ
ャップの狭小な液晶セルを大気に触れさすことなく、短
時間で効率よく液晶の完全な注入を行うことのできる液
晶注入方法と注入装置を提供する。 【解決手段】 下方に注入口１３ａを有する複数枚の液
晶セル１３を収納した液晶セルカセット１２を配置し、
この液晶セルカセット１２の下方に搬送手段１５を設け
た真空槽１１と、液晶２２を入れた液晶皿２３を収容し
て上記真空槽１１の下方にゲートバルブ２５によって接
続した脱泡室２１と、上記真空槽１１内に一方の開閉口
３２を臨ませ、内部に搬送手段３３を設けた圧力容器３
１と、からなり、上記真空槽１１内で中途まで液晶２２
を注入した液晶セル１３を液晶皿２３とともに大気に触
れさすことなく圧力容器３１内に搬送して、その中で加
圧状態で残余の液晶注入ができるようにした液晶注入装
置。
ャップの狭小な液晶セルを大気に触れさすことなく、短
時間で効率よく液晶の完全な注入を行うことのできる液
晶注入方法と注入装置を提供する。 【解決手段】 下方に注入口１３ａを有する複数枚の液
晶セル１３を収納した液晶セルカセット１２を配置し、
この液晶セルカセット１２の下方に搬送手段１５を設け
た真空槽１１と、液晶２２を入れた液晶皿２３を収容し
て上記真空槽１１の下方にゲートバルブ２５によって接
続した脱泡室２１と、上記真空槽１１内に一方の開閉口
３２を臨ませ、内部に搬送手段３３を設けた圧力容器３
１と、からなり、上記真空槽１１内で中途まで液晶２２
を注入した液晶セル１３を液晶皿２３とともに大気に触
れさすことなく圧力容器３１内に搬送して、その中で加
圧状態で残余の液晶注入ができるようにした液晶注入装
置。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶パネル内に
液晶を注入する方法と装置に関し、特に複雑化、大型化
しつつあるディスプレイ用の液晶表示体として大型でし
かも狭い液晶セルギャップ内に、気泡等の不純物を含む
ことなく短時間で液晶を十分充填することのできる液晶
注入方法と注入装置に関するものである。
液晶を注入する方法と装置に関し、特に複雑化、大型化
しつつあるディスプレイ用の液晶表示体として大型でし
かも狭い液晶セルギャップ内に、気泡等の不純物を含む
ことなく短時間で液晶を十分充填することのできる液晶
注入方法と注入装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、液晶セル内への液晶注入は、注入
口を有する液晶セルおよび液晶の入った液晶皿を配置し
た真空容器内を減圧することにより液晶セル内も排気さ
せ、液晶セルの注入口に液晶を接触させたのち、真空容
器内を大気圧に戻すことで真空容器内と液晶セル内との
圧力差により、液晶セル内への液晶注入を行っている。
しかし、近年液晶セルサイズの大型化やギャップの狭小
化あるいは高粘度液晶の使用によって液晶注入に長時間
を要することとなり、液晶注入作業を含む液晶ディスプ
レイの製造における生産効率低下の原因となっている。
口を有する液晶セルおよび液晶の入った液晶皿を配置し
た真空容器内を減圧することにより液晶セル内も排気さ
せ、液晶セルの注入口に液晶を接触させたのち、真空容
器内を大気圧に戻すことで真空容器内と液晶セル内との
圧力差により、液晶セル内への液晶注入を行っている。
しかし、近年液晶セルサイズの大型化やギャップの狭小
化あるいは高粘度液晶の使用によって液晶注入に長時間
を要することとなり、液晶注入作業を含む液晶ディスプ
レイの製造における生産効率低下の原因となっている。
【０００３】また、大型化した液晶セルや狭小化した液
晶セルに上記したような液晶注入方法では長時間をかけ
ても完全な液晶充填ができないという事態も生じてお
り、その打開のために真空容器内の圧力を高めるなどの
対策が検討されているが、従来の真空容器で圧力を２ｋ
ｇ／ｃｍ2 以上の高圧とすることは認められていない。
晶セルに上記したような液晶注入方法では長時間をかけ
ても完全な液晶充填ができないという事態も生じてお
り、その打開のために真空容器内の圧力を高めるなどの
対策が検討されているが、従来の真空容器で圧力を２ｋ
ｇ／ｃｍ2 以上の高圧とすることは認められていない。
【０００４】このような状況から、上記したような大型
化した液晶セルやギャップの狭小化した液晶セルに効率
的に液晶を注入する方法として、圧力容器にて液晶注入
を行う方法（特開昭６０−５２８２６号公報、特開平１
０−２２１７０１号公報）や真空容器内で中途まで液晶
注入を行ったのち、加圧装置に移行して液晶注入を続行
する方法（特開平８−２２０５５０号公報）などが提案
されている。
化した液晶セルやギャップの狭小化した液晶セルに効率
的に液晶を注入する方法として、圧力容器にて液晶注入
を行う方法（特開昭６０−５２８２６号公報、特開平１
０−２２１７０１号公報）や真空容器内で中途まで液晶
注入を行ったのち、加圧装置に移行して液晶注入を続行
する方法（特開平８−２２０５５０号公報）などが提案
されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
場合、特開昭６０−５２８２６号公報では、圧力容器外
の液晶供給タンクにて排気された液晶は圧力容器内の液
晶注入ノズルまで配管によって運ぶものであるため、配
管中で不純物の混入の恐れがあったり、また使用する液
晶が異なると、その度に配管内を清浄にするか、または
配管を取り替えるなどの手間がかかってしまい、実用困
難である。また、特開平１０−２２１７０１号公報にあ
っては、圧力容器中に液晶と液晶基板を入れて行うもの
であり、真空排気によって液晶と液晶基板の両方を完全
に清浄にすることに問題があった。一方、後者の場合、
即ち特開平８−２２０５５０号公報では、液晶注入を真
空容器と加圧容器とに分けて行うものであり、真空容器
から加圧容器に移行する際に空気中に曝されるため注入
された液晶中に水分や埃が混入して、得られた液晶パネ
ルに性能面にバラツキを生ずるなど、歩留りに問題があ
った。
場合、特開昭６０−５２８２６号公報では、圧力容器外
の液晶供給タンクにて排気された液晶は圧力容器内の液
晶注入ノズルまで配管によって運ぶものであるため、配
管中で不純物の混入の恐れがあったり、また使用する液
晶が異なると、その度に配管内を清浄にするか、または
配管を取り替えるなどの手間がかかってしまい、実用困
難である。また、特開平１０−２２１７０１号公報にあ
っては、圧力容器中に液晶と液晶基板を入れて行うもの
であり、真空排気によって液晶と液晶基板の両方を完全
に清浄にすることに問題があった。一方、後者の場合、
即ち特開平８−２２０５５０号公報では、液晶注入を真
空容器と加圧容器とに分けて行うものであり、真空容器
から加圧容器に移行する際に空気中に曝されるため注入
された液晶中に水分や埃が混入して、得られた液晶パネ
ルに性能面にバラツキを生ずるなど、歩留りに問題があ
った。
【０００６】この発明は、上記のような問題点を解消す
るためになされたもので、液晶パネルの大型化、狭小ギ
ャップ化に対しても短時間で的確な液晶注入を行うこと
のできる液晶注入方法および注入装置を提供するもので
ある。
るためになされたもので、液晶パネルの大型化、狭小ギ
ャップ化に対しても短時間で的確な液晶注入を行うこと
のできる液晶注入方法および注入装置を提供するもので
ある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】この発明の請求項１に記
載の発明は、真空槽で液晶セルの注入口に液晶容器中の
液晶を接触させた後、この液晶セルと液晶容器を空気中
に曝すことなく圧力容器に搬送し、該圧力容器内で加圧
下にて上記液晶セル内に液晶を注入することを特徴とす
るものである。
載の発明は、真空槽で液晶セルの注入口に液晶容器中の
液晶を接触させた後、この液晶セルと液晶容器を空気中
に曝すことなく圧力容器に搬送し、該圧力容器内で加圧
下にて上記液晶セル内に液晶を注入することを特徴とす
るものである。
【０００８】請求項２に記載の発明は、排気された真空
槽に配置されている液晶セルの注入口に減圧下にて液晶
容器中の脱泡処理した液晶を接触させる工程、上記真空
槽を大気圧に戻し上記排気状態の液晶セルとの圧力差に
て上記液晶セル内の所定位置まで液晶を注入する工程、
次いで上記真空槽に連通している大気圧下の圧力容器に
上記所定位置まで液晶を注入した液晶セルおよび液晶容
器を搬送する工程、上記圧力容器内にて加圧下にて上記
液晶セルへの完全な液晶注入を行う工程、とからなるこ
とを特徴とする。
槽に配置されている液晶セルの注入口に減圧下にて液晶
容器中の脱泡処理した液晶を接触させる工程、上記真空
槽を大気圧に戻し上記排気状態の液晶セルとの圧力差に
て上記液晶セル内の所定位置まで液晶を注入する工程、
次いで上記真空槽に連通している大気圧下の圧力容器に
上記所定位置まで液晶を注入した液晶セルおよび液晶容
器を搬送する工程、上記圧力容器内にて加圧下にて上記
液晶セルへの完全な液晶注入を行う工程、とからなるこ
とを特徴とする。
【０００９】請求項３に記載の発明は、上記請求項１ま
たは２において、上記液晶を収容する液晶容器が液晶皿
および／またはディスペンサーであることを特徴とす
る。
たは２において、上記液晶を収容する液晶容器が液晶皿
および／またはディスペンサーであることを特徴とす
る。
【００１０】請求項４に記載の液晶注入装置は、液晶注
入口を有する複数枚の液晶セルを収納した液晶セルカセ
ットを配置し、この液晶セルカセットの下方に搬送手段
を配置した真空槽と、液晶の入った液晶容器を内部に収
容し、上記真空槽の下方および／または上方にゲートバ
ルブを介して配置した脱泡室と、上記真空槽内に一方の
開閉口を臨ませ、内部に搬送手段を配置した圧力容器
と、からなることを特徴とするものである。
入口を有する複数枚の液晶セルを収納した液晶セルカセ
ットを配置し、この液晶セルカセットの下方に搬送手段
を配置した真空槽と、液晶の入った液晶容器を内部に収
容し、上記真空槽の下方および／または上方にゲートバ
ルブを介して配置した脱泡室と、上記真空槽内に一方の
開閉口を臨ませ、内部に搬送手段を配置した圧力容器
と、からなることを特徴とするものである。
【００１１】請求項５に記載の液晶注入装置は、液晶注
入口を有する複数枚の液晶セルを収納した液晶セルカセ
ットを配置し、この液晶セルカセットの下方に搬送手段
を配置した真空槽と、液晶の入った液晶容器を内部に収
容し、上記真空槽の下方および／または上方にゲートバ
ルブを介して配置した脱泡室と、上記真空槽内に一方の
開閉口を臨ませ、内部に搬送手段を配置した圧力容器
と、この圧力容器の他方の開閉口を臨ませ、内部に搬送
手段を配置したエージング槽と、からなることを特徴と
するものである。
入口を有する複数枚の液晶セルを収納した液晶セルカセ
ットを配置し、この液晶セルカセットの下方に搬送手段
を配置した真空槽と、液晶の入った液晶容器を内部に収
容し、上記真空槽の下方および／または上方にゲートバ
ルブを介して配置した脱泡室と、上記真空槽内に一方の
開閉口を臨ませ、内部に搬送手段を配置した圧力容器
と、この圧力容器の他方の開閉口を臨ませ、内部に搬送
手段を配置したエージング槽と、からなることを特徴と
するものである。
【００１２】請求項６に記載の発明は、上記請求項４ま
たは５において、上記液晶を収容する液晶容器が液晶皿
および／またはディスペンサーであることを特徴とし、
また請求項７に記載の発明は、上記請求項４または５に
おいて、上記の真空槽内あるいはエージング槽内に臨ま
せている圧力容器の開閉口の開閉は、この開閉口の本体
部および蓋部の双方に取り付けた締結具による蓋部の上
方開閉またはスイング開閉とすることを特徴とするもの
である。
たは５において、上記液晶を収容する液晶容器が液晶皿
および／またはディスペンサーであることを特徴とし、
また請求項７に記載の発明は、上記請求項４または５に
おいて、上記の真空槽内あるいはエージング槽内に臨ま
せている圧力容器の開閉口の開閉は、この開閉口の本体
部および蓋部の双方に取り付けた締結具による蓋部の上
方開閉またはスイング開閉とすることを特徴とするもの
である。
【００１３】請求項８に記載の液晶注入装置は、液晶注
入口を有する複数枚の液晶セルを収納した液晶セルカセ
ットを配置し、この液晶セルカセットの下方に搬送手段
を配置した一つの真空槽に対して、内部に搬送手段を配
置した複数の圧力容器をそれぞれの一方の開閉口を上記
一つの真空槽内に放射状に臨ませるようにして配置した
ことを特徴とするものである。
入口を有する複数枚の液晶セルを収納した液晶セルカセ
ットを配置し、この液晶セルカセットの下方に搬送手段
を配置した一つの真空槽に対して、内部に搬送手段を配
置した複数の圧力容器をそれぞれの一方の開閉口を上記
一つの真空槽内に放射状に臨ませるようにして配置した
ことを特徴とするものである。
【００１４】請求項１および２の発明によれば、真空槽
内で液晶セルの注入口に液晶容器中の液晶を接触させる
ことで液晶セル内への所定位置まで液晶を注入したのち
に、これら液晶セルと液晶容器とを圧力容器内に移して
加圧下で液晶注入を完了するもので、液晶セルと液晶容
器の真空槽から圧力容器への移動を空気中に曝すことな
く実施することによって、液晶注入時に気泡や不純物の
混入を防止できるので、液晶ディスプレイの歩留りを飛
躍的に向上させることができる。そして、上記の液晶注
入において、液晶容器は液晶セルの注入口が下方にある
場合は液晶皿を、上方に向いている場合にはディスペン
サーを用いるのが適当である。
内で液晶セルの注入口に液晶容器中の液晶を接触させる
ことで液晶セル内への所定位置まで液晶を注入したのち
に、これら液晶セルと液晶容器とを圧力容器内に移して
加圧下で液晶注入を完了するもので、液晶セルと液晶容
器の真空槽から圧力容器への移動を空気中に曝すことな
く実施することによって、液晶注入時に気泡や不純物の
混入を防止できるので、液晶ディスプレイの歩留りを飛
躍的に向上させることができる。そして、上記の液晶注
入において、液晶容器は液晶セルの注入口が下方にある
場合は液晶皿を、上方に向いている場合にはディスペン
サーを用いるのが適当である。
【００１５】請求項４の発明によれば、液晶セルカセッ
トを配置した真空槽と、液晶の入った液晶容器を収容す
る脱泡室と、一方の開閉口を上記真空槽内に臨ませた圧
力容器とから構成される液晶注入装置としたことによっ
て、液晶セルと液晶を別個に排気することで両者内の気
泡あるいは不純物の除去を十分に行うことができ、ま
た、圧力容器をその一方の開閉口を真空槽内にて操作で
きるようにしたので、液晶セルと液晶容器の真空槽から
圧力容器への移動を空気中に曝すことなく駆動機構によ
る搬送手段上の滑動で簡単に実施でき、液晶注入作業の
効率を飛躍的に向上させることができるのである。
トを配置した真空槽と、液晶の入った液晶容器を収容す
る脱泡室と、一方の開閉口を上記真空槽内に臨ませた圧
力容器とから構成される液晶注入装置としたことによっ
て、液晶セルと液晶を別個に排気することで両者内の気
泡あるいは不純物の除去を十分に行うことができ、ま
た、圧力容器をその一方の開閉口を真空槽内にて操作で
きるようにしたので、液晶セルと液晶容器の真空槽から
圧力容器への移動を空気中に曝すことなく駆動機構によ
る搬送手段上の滑動で簡単に実施でき、液晶注入作業の
効率を飛躍的に向上させることができるのである。
【００１６】請求項５の発明によれば、一方の開閉口を
上記真空槽内に臨ませた圧力容器の他方の開閉口をエー
ジング槽内にて操作できるようにしたことによって、加
圧下で圧力容器内で液晶を充填した液晶セルをエージン
グ槽に移動させて常圧まで熟成させることができ液晶デ
ィスプレイの品質を維持させることができる。
上記真空槽内に臨ませた圧力容器の他方の開閉口をエー
ジング槽内にて操作できるようにしたことによって、加
圧下で圧力容器内で液晶を充填した液晶セルをエージン
グ槽に移動させて常圧まで熟成させることができ液晶デ
ィスプレイの品質を維持させることができる。
【００１７】そして、上記請求項４、５の注入装置によ
る液晶注入において、液晶容器は液晶セルの注入口が下
方にある場合は液晶皿を、上方に向いている場合にはデ
ィスペンサーを用いればよい。
る液晶注入において、液晶容器は液晶セルの注入口が下
方にある場合は液晶皿を、上方に向いている場合にはデ
ィスペンサーを用いればよい。
【００１８】また、上記請求項４、５の注入装置におい
て真空槽内あるいはエージング槽内に臨ませるようにし
ている圧力容器の開閉口は、この圧力容器開閉口の本体
部および蓋部この開閉口の本体部および蓋部の双方に取
り付けた締結具による蓋部の上方開閉またはスイング開
閉によるので圧力容器の開閉が簡単であり、真空槽から
圧力容器あるいは圧力容器からエージング槽への液晶セ
ルおよび液晶容器の移動を時間を費やすことなく、スム
ーズに行うことができる。
て真空槽内あるいはエージング槽内に臨ませるようにし
ている圧力容器の開閉口は、この圧力容器開閉口の本体
部および蓋部この開閉口の本体部および蓋部の双方に取
り付けた締結具による蓋部の上方開閉またはスイング開
閉によるので圧力容器の開閉が簡単であり、真空槽から
圧力容器あるいは圧力容器からエージング槽への液晶セ
ルおよび液晶容器の移動を時間を費やすことなく、スム
ーズに行うことができる。
【００１９】請求項８の発明によれば、内部に搬送手段
を有する複数の圧力容器をそれぞれの一方の開閉口を一
つの真空槽内に放射状に臨ませるように配置したので、
真空槽内で所定の位置まで液晶が注入された液晶セルと
液晶容器を載せた基台を搬送手段にて圧力容器内に次々
に移すことができ、多量の液晶セルに対する液晶注入作
業を大気中に全く曝すことなく、しかも短時間で効率よ
く実施することができるのである。
を有する複数の圧力容器をそれぞれの一方の開閉口を一
つの真空槽内に放射状に臨ませるように配置したので、
真空槽内で所定の位置まで液晶が注入された液晶セルと
液晶容器を載せた基台を搬送手段にて圧力容器内に次々
に移すことができ、多量の液晶セルに対する液晶注入作
業を大気中に全く曝すことなく、しかも短時間で効率よ
く実施することができるのである。
【００２０】
【発明の実施の形態】以下、この発明の液晶注入方法お
よび液晶注入装置について、その一実施形態を図を参照
して説明する。図１はこの発明の液晶注入装置Ａを示し
ている。この液晶注入装置Ａは真空槽１１、脱泡室２１
および圧力容器３１から構成されている。真空槽１１内
には複数枚の液晶セル１３を収納したカセット１２が搬
出入可能な基台１４上に載せられて配置され、その下方
には例えばローラーのような搬送手段１５が設置されて
いる。上記の複数枚の液晶セル１３は、それぞれ液晶注
入口１３ａを下向きにしてカセット１２に収納されてい
る。
よび液晶注入装置について、その一実施形態を図を参照
して説明する。図１はこの発明の液晶注入装置Ａを示し
ている。この液晶注入装置Ａは真空槽１１、脱泡室２１
および圧力容器３１から構成されている。真空槽１１内
には複数枚の液晶セル１３を収納したカセット１２が搬
出入可能な基台１４上に載せられて配置され、その下方
には例えばローラーのような搬送手段１５が設置されて
いる。上記の複数枚の液晶セル１３は、それぞれ液晶注
入口１３ａを下向きにしてカセット１２に収納されてい
る。
【００２１】脱泡室２１は上記真空槽１１内のカセット
１２がセットされている位置の下方にゲートバルブ２５
を介して設置されており、液晶２２を充填した液晶皿２
３が基台２６に載置して配置されている。そして、この
液晶皿２３はこの脱泡室２１内で真空排気による脱泡を
行ったのち、上記ゲートバルブ２５を開き、昇降機構２
８の作動により上記真空槽１１へ導かれ、液晶皿２３を
載置した基台２６が上記した真空槽１１内の基台１４上
に配置されるようになっている。
１２がセットされている位置の下方にゲートバルブ２５
を介して設置されており、液晶２２を充填した液晶皿２
３が基台２６に載置して配置されている。そして、この
液晶皿２３はこの脱泡室２１内で真空排気による脱泡を
行ったのち、上記ゲートバルブ２５を開き、昇降機構２
８の作動により上記真空槽１１へ導かれ、液晶皿２３を
載置した基台２６が上記した真空槽１１内の基台１４上
に配置されるようになっている。
【００２２】圧力容器３１はその一方の開閉口３２を上
記真空槽１１内に臨ませるようにして設置されている。
そして、この圧力容器３１内部にはローラーのような搬
送手段３３が上記真空槽１１内に設けられている搬送手
段１５と同じ位置（高さ）に設置されている。これによ
って、後述するように真空槽１１内で所定位置まで液晶
注入を行った液晶セル１３と液晶皿２３を載せた基台１
４が、モータのような駆動機構（図示せず）により真空
槽１１内の搬送手段１５から圧力容器３１内の搬送手段
３３へと滑動して圧力容器３１内へ円滑に装着できるよ
うになっている。
記真空槽１１内に臨ませるようにして設置されている。
そして、この圧力容器３１内部にはローラーのような搬
送手段３３が上記真空槽１１内に設けられている搬送手
段１５と同じ位置（高さ）に設置されている。これによ
って、後述するように真空槽１１内で所定位置まで液晶
注入を行った液晶セル１３と液晶皿２３を載せた基台１
４が、モータのような駆動機構（図示せず）により真空
槽１１内の搬送手段１５から圧力容器３１内の搬送手段
３３へと滑動して圧力容器３１内へ円滑に装着できるよ
うになっている。
【００２３】上記のような構成よりなる液晶注入装置Ａ
の動作を以下に説明する。まず、複数枚の液晶セル１３
をその注入口１３ａを下側にしてカセット１２にセット
し、このカセット１２を載置した基台１４を圧力容器３
１の一方の開閉口３２を一方の側面側に臨ませている真
空槽１１内に装着する。また、液晶２２を入れた液晶皿
２３を載置した基台２６を脱泡室２１内に配置する。
の動作を以下に説明する。まず、複数枚の液晶セル１３
をその注入口１３ａを下側にしてカセット１２にセット
し、このカセット１２を載置した基台１４を圧力容器３
１の一方の開閉口３２を一方の側面側に臨ませている真
空槽１１内に装着する。また、液晶２２を入れた液晶皿
２３を載置した基台２６を脱泡室２１内に配置する。
【００２４】次に、液晶カセット１２を装着した真空槽
１１内に繋がる配管のバルブ１６ａを開けて真空ポンプ
１６の作動により、まず真空槽１１内を１０-3Ｔｏｒｒ
程度まで減圧としたのち、バルブ１８ｂを開いてターボ
分子ポンプ１８を作動させ、真空計１６ｂで測定しつつ
１０-5〜１０-6Ｔｏｒｒまで減圧する。
１１内に繋がる配管のバルブ１６ａを開けて真空ポンプ
１６の作動により、まず真空槽１１内を１０-3Ｔｏｒｒ
程度まで減圧としたのち、バルブ１８ｂを開いてターボ
分子ポンプ１８を作動させ、真空計１６ｂで測定しつつ
１０-5〜１０-6Ｔｏｒｒまで減圧する。
【００２５】一方、脱泡室２１は該室２１に繋がる配管
のバルブ２９ａを開けて真空ポンプ２９により１０-3Ｔ
ｏｒｒ程度まで減圧して、液晶２２内の気泡の脱泡を行
う。
のバルブ２９ａを開けて真空ポンプ２９により１０-3Ｔ
ｏｒｒ程度まで減圧して、液晶２２内の気泡の脱泡を行
う。
【００２６】上記のようにして、真空槽１１内と液晶セ
ル１３内を減圧し、また脱泡室２１内においては液晶２
２内の脱泡と不純物を除去したのち、真空槽１１と脱泡
室２１の間のゲートバルブ２５を開き、脱泡室２１中の
液晶皿２３を載せた基台２６に繋がる昇降機構２８によ
り上記基台２６を真空槽１１内へ上昇させ、真空槽１１
内の基台１４上に安定よく装着させる。これによって、
上記基台２６に載っている液晶皿２３内の液晶２２の表
面をカセット１２に収納されている液晶セル１３の注入
口１３ａに接触させる。その後、昇降機構２８は元の位
置まで戻す。
ル１３内を減圧し、また脱泡室２１内においては液晶２
２内の脱泡と不純物を除去したのち、真空槽１１と脱泡
室２１の間のゲートバルブ２５を開き、脱泡室２１中の
液晶皿２３を載せた基台２６に繋がる昇降機構２８によ
り上記基台２６を真空槽１１内へ上昇させ、真空槽１１
内の基台１４上に安定よく装着させる。これによって、
上記基台２６に載っている液晶皿２３内の液晶２２の表
面をカセット１２に収納されている液晶セル１３の注入
口１３ａに接触させる。その後、昇降機構２８は元の位
置まで戻す。
【００２７】かくして、真空槽１１内にて液晶セル１３
の注入口１３ａに液晶２２を接触させたら、バルブ１６
ａ、１８ｂおよび２９ａを閉じて排気を止め、リークバ
ルブ１９を徐々に開いて真空槽１１内に窒素ガスを導入
して真空槽１１内の雰囲気を大気圧に戻していくことに
より、液晶セル１３内と真空槽１１内の圧力差により液
晶セルの注入口１３ａから液晶セル１３内に液晶２２の
注入が行われる。
の注入口１３ａに液晶２２を接触させたら、バルブ１６
ａ、１８ｂおよび２９ａを閉じて排気を止め、リークバ
ルブ１９を徐々に開いて真空槽１１内に窒素ガスを導入
して真空槽１１内の雰囲気を大気圧に戻していくことに
より、液晶セル１３内と真空槽１１内の圧力差により液
晶セルの注入口１３ａから液晶セル１３内に液晶２２の
注入が行われる。
【００２８】一方、上記にて液晶セル１３内への液晶注
入が行われている間に、一方の開閉口３２が上記真空槽
１１内に臨むように配置され、上記真空槽１１内に設け
られている搬送手段１５と同じ位置（高さ）に搬送手段
３３が設けられている圧力容器３１に繋がる配管のバル
ブ３４ａを開けて真空ポンプ３４により減圧とした後、
リークバルブ３６により窒素ガスを導入して圧力容器３
１内を予め大気圧雰囲気に調整しておく。
入が行われている間に、一方の開閉口３２が上記真空槽
１１内に臨むように配置され、上記真空槽１１内に設け
られている搬送手段１５と同じ位置（高さ）に搬送手段
３３が設けられている圧力容器３１に繋がる配管のバル
ブ３４ａを開けて真空ポンプ３４により減圧とした後、
リークバルブ３６により窒素ガスを導入して圧力容器３
１内を予め大気圧雰囲気に調整しておく。
【００２９】上記液晶注入が液晶セル１３内のほぼ１／
２程度にまで達すると、液晶セル１３内と真空槽１１内
の圧力差がなくなってきて液晶注入の速度が非常に低下
する。そこで、内部を大気圧に調整してある圧力容器３
１の真空槽１１内に臨むように配置されている開閉口３
２を開け、液晶皿２３の上に液晶カセット１２を載せた
まま、即ち液晶注入の状態でそれらを載置している基台
１４をモータのような駆動機構（図示せず）により搬送
手段１５上を滑らせて圧力容器３１内の搬送手段３３上
へと搬送する。
２程度にまで達すると、液晶セル１３内と真空槽１１内
の圧力差がなくなってきて液晶注入の速度が非常に低下
する。そこで、内部を大気圧に調整してある圧力容器３
１の真空槽１１内に臨むように配置されている開閉口３
２を開け、液晶皿２３の上に液晶カセット１２を載せた
まま、即ち液晶注入の状態でそれらを載置している基台
１４をモータのような駆動機構（図示せず）により搬送
手段１５上を滑らせて圧力容器３１内の搬送手段３３上
へと搬送する。
【００３０】かくして、基台１４とともに液晶皿２３と
液晶カセット１２を圧力容器３１内の所定位置に装着し
たら、圧力容器３１の開閉口３２を閉じる。その後、圧
力容器３１に繋がる配管のバルブ３５ａを開け、圧縮ガ
スボンベ３５から窒素ガスを圧力計３５ｂで測定しつつ
２〜５ｋｇ／ｃｍ2 程度導入して加圧下で残余の液晶注
入を続行する。
液晶カセット１２を圧力容器３１内の所定位置に装着し
たら、圧力容器３１の開閉口３２を閉じる。その後、圧
力容器３１に繋がる配管のバルブ３５ａを開け、圧縮ガ
スボンベ３５から窒素ガスを圧力計３５ｂで測定しつつ
２〜５ｋｇ／ｃｍ2 程度導入して加圧下で残余の液晶注
入を続行する。
【００３１】液晶セル１３への液晶注入が終了したら、
バルブ３５ａを閉じ、リークバルブ３６から窒素ガスを
導入して上記圧力容器３１内を大気圧に戻したのち、他
方側の開閉口３７を開け、液晶カセット１２と液晶皿２
３を基台１４に載せたまま圧力容器３１外へ搬出し、液
晶セルの注入口を直ちに封止する。
バルブ３５ａを閉じ、リークバルブ３６から窒素ガスを
導入して上記圧力容器３１内を大気圧に戻したのち、他
方側の開閉口３７を開け、液晶カセット１２と液晶皿２
３を基台１４に載せたまま圧力容器３１外へ搬出し、液
晶セルの注入口を直ちに封止する。
【００３２】上記の図１を参照した実施形態において
は、カセット１２に収容されている液晶セル１３の液晶
注入口１３ａが下向きの場合について説明したが、この
発明は液晶セル１３の液晶注入口１３ａが上向きの場合
でも実施でき、この場合には図２に示すように、液晶容
器としてディスペンサー５３のような滴下方式の容器を
用いればよい。
は、カセット１２に収容されている液晶セル１３の液晶
注入口１３ａが下向きの場合について説明したが、この
発明は液晶セル１３の液晶注入口１３ａが上向きの場合
でも実施でき、この場合には図２に示すように、液晶容
器としてディスペンサー５３のような滴下方式の容器を
用いればよい。
【００３３】このディスペンサー５３は、その内部に液
晶５２を充填して真空槽１１の上方にゲートバルブ５５
を介して設置した脱泡室５１に収容される。そして、デ
ィスペンサー５３はバルブ５６ａを通って真空ポンプ５
６に配管されており、真空ポンプ５４による脱泡室５１
の排気と合わせて真空ポンプ５６によって液晶５２を充
填しているディスペンサー５３内の排気を行う。その後
ゲートバルブ５５を開き、ディスペンサー５３に接続さ
れている昇降機構５７を作動させ、ディスペンサー細管
５３ａの尖端が液晶セル１３の上向きの注入口１３ａの
真上にくるまでディスペンサー５３を減圧下の真空槽１
１内に移動（下降）させる。その後は、上述した図１に
よる場合と同じ操作によって液晶注入を行えばよい。
晶５２を充填して真空槽１１の上方にゲートバルブ５５
を介して設置した脱泡室５１に収容される。そして、デ
ィスペンサー５３はバルブ５６ａを通って真空ポンプ５
６に配管されており、真空ポンプ５４による脱泡室５１
の排気と合わせて真空ポンプ５６によって液晶５２を充
填しているディスペンサー５３内の排気を行う。その後
ゲートバルブ５５を開き、ディスペンサー５３に接続さ
れている昇降機構５７を作動させ、ディスペンサー細管
５３ａの尖端が液晶セル１３の上向きの注入口１３ａの
真上にくるまでディスペンサー５３を減圧下の真空槽１
１内に移動（下降）させる。その後は、上述した図１に
よる場合と同じ操作によって液晶注入を行えばよい。
【００３４】また、上記した図１に図２における液晶脱
泡室を組み合わせることも可能であり、これによって、
液晶セルの上下双方に注入口を設けて液晶注入を行うこ
とができるので、特に大型の液晶セルや、液晶注入ギャ
ップが狭小の場合の液晶注入を短時間で効率よく達成す
ることが可能である。
泡室を組み合わせることも可能であり、これによって、
液晶セルの上下双方に注入口を設けて液晶注入を行うこ
とができるので、特に大型の液晶セルや、液晶注入ギャ
ップが狭小の場合の液晶注入を短時間で効率よく達成す
ることが可能である。
【００３５】この発明の液晶注入方法および液晶注入装
置において、使用する液晶については、特に限定するも
のではないが、スメクチック液晶などの高粘度の強誘電
性液晶を用いる場合には、真空槽内、脱泡室内および圧
力容器内の適当な個所に加熱装置（図示せず）を配置し
て液晶を流動化させてやればよい。
置において、使用する液晶については、特に限定するも
のではないが、スメクチック液晶などの高粘度の強誘電
性液晶を用いる場合には、真空槽内、脱泡室内および圧
力容器内の適当な個所に加熱装置（図示せず）を配置し
て液晶を流動化させてやればよい。
【００３６】次に、上記の注入装置において、一方の開
閉口３２が真空槽１１内に臨むように配置されている圧
力容器３１の上記開閉口３２の操作を図３について説明
すると、圧力容器３１は図３（ａ）のように一方の開閉
口３２を真空槽１１内に臨ませて、該真空槽１１の側壁
１１ａにフランジ３８で固定されている。また、開閉口
３２は液晶カセットと液晶皿が搬入される本体部３２ａ
側の鍔部３２１と蓋部３２ｂ側の鍔部３２２とを締結具
３２１ａと３２２ａで開閉自在に支承されており、緊締
時は図示していないが、その周縁複数箇所でボルト締結
されている。
閉口３２が真空槽１１内に臨むように配置されている圧
力容器３１の上記開閉口３２の操作を図３について説明
すると、圧力容器３１は図３（ａ）のように一方の開閉
口３２を真空槽１１内に臨ませて、該真空槽１１の側壁
１１ａにフランジ３８で固定されている。また、開閉口
３２は液晶カセットと液晶皿が搬入される本体部３２ａ
側の鍔部３２１と蓋部３２ｂ側の鍔部３２２とを締結具
３２１ａと３２２ａで開閉自在に支承されており、緊締
時は図示していないが、その周縁複数箇所でボルト締結
されている。
【００３７】そして、上記圧力容器３１の開閉口３２の
開閉は、図３（ｂ）や（ｃ）のように圧力容器３１の本
体部３２ａ側の締結具３２１ａを支点にして蓋部３２ｂ
側の締結具３２２ａを上方に開閉する方法や、図４のよ
うに蓋部３２ｂ側の締結具３２２ａを本体部３２ａ側の
締結具３２１ａを支点にしてスイングさせることにより
開閉する方法などにより行われるが、これに限定される
ものではなく、真空槽１１内で簡単に操作できる方法で
あればよい。なお、図４（ｃ）は同図（ｂ）のように開
けた蓋部３２ｂを閉じた状態を点線で示している。
開閉は、図３（ｂ）や（ｃ）のように圧力容器３１の本
体部３２ａ側の締結具３２１ａを支点にして蓋部３２ｂ
側の締結具３２２ａを上方に開閉する方法や、図４のよ
うに蓋部３２ｂ側の締結具３２２ａを本体部３２ａ側の
締結具３２１ａを支点にしてスイングさせることにより
開閉する方法などにより行われるが、これに限定される
ものではなく、真空槽１１内で簡単に操作できる方法で
あればよい。なお、図４（ｃ）は同図（ｂ）のように開
けた蓋部３２ｂを閉じた状態を点線で示している。
【００３８】この発明の液晶注入装置の他の実施形態と
して、圧力容器３１の他方の開閉口３７も上記した開閉
方法とし、図５のように一方の開閉口３２を真空槽１１
内に臨ませるとともに他方の開閉口３７をエージング槽
４１に臨ませるように圧力容器３１を配置するようにし
てもよい。このような構成においてエージング槽４１に
も搬送手段４２を設けるとともに、真空雰囲気、大気圧
雰囲気とすることのできる配管（図示せず）をしておく
ならば、上記した圧力容器３１内で液晶の注入を終了し
た液晶カセット１２を直ちに外気に触れさすことなく、
このエージング槽４１に搬送して該槽内でセルに注入し
た液晶２２を十分に熟成させることができるので性能の
よい液晶充填パネルを得ることができる。
して、圧力容器３１の他方の開閉口３７も上記した開閉
方法とし、図５のように一方の開閉口３２を真空槽１１
内に臨ませるとともに他方の開閉口３７をエージング槽
４１に臨ませるように圧力容器３１を配置するようにし
てもよい。このような構成においてエージング槽４１に
も搬送手段４２を設けるとともに、真空雰囲気、大気圧
雰囲気とすることのできる配管（図示せず）をしておく
ならば、上記した圧力容器３１内で液晶の注入を終了し
た液晶カセット１２を直ちに外気に触れさすことなく、
このエージング槽４１に搬送して該槽内でセルに注入し
た液晶２２を十分に熟成させることができるので性能の
よい液晶充填パネルを得ることができる。
【００３９】この発明の液晶注入装置は、さらに他の実
施形態として、一つの真空槽１１１内に例えば５つの圧
力容器３１１ａ〜３１１ｅのそれぞれの一方の開閉口を
臨ませるように放射状に配置した図６のような構成とす
ることも考えられる。これは、真空槽内での所定位置ま
での液晶注入時間に比べて、圧力容器内でのセル内への
残余の液晶の加圧注入時間が長くかかるという事実から
みて、大量の液晶注入作業を行う場合に効率的である。
なお、同図において、１１３はローダー１１４にて液晶
カセットや液晶容器を真空槽１１１内へ運び入れる際の
ゲートバルブである。
施形態として、一つの真空槽１１１内に例えば５つの圧
力容器３１１ａ〜３１１ｅのそれぞれの一方の開閉口を
臨ませるように放射状に配置した図６のような構成とす
ることも考えられる。これは、真空槽内での所定位置ま
での液晶注入時間に比べて、圧力容器内でのセル内への
残余の液晶の加圧注入時間が長くかかるという事実から
みて、大量の液晶注入作業を行う場合に効率的である。
なお、同図において、１１３はローダー１１４にて液晶
カセットや液晶容器を真空槽１１１内へ運び入れる際の
ゲートバルブである。
【００４０】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１および２
に記載の方法によれば、真空槽内で液晶セルの注入口に
液晶容器中の液晶を接触させることで液晶セル内への所
定位置まで液晶を注入した液晶セルと液晶容器とを真空
槽に連通する圧力容器内に移して加圧下で残りの液晶注
入を行うもので、液晶セルと液晶容器の真空槽から圧力
容器への移動を空気中に曝すことなく実施することがで
き、液晶注入時に気泡や不純物の混入を防止して液晶デ
ィスプレイの歩留りを飛躍的に向上させることができ
る。そして、上記の液晶注入において、液晶容器は液晶
皿、ディスペンサーの何れを用いることができるので、
液晶セルの注入口が下方にあっても、また上方に向いて
いても実施することができる。
に記載の方法によれば、真空槽内で液晶セルの注入口に
液晶容器中の液晶を接触させることで液晶セル内への所
定位置まで液晶を注入した液晶セルと液晶容器とを真空
槽に連通する圧力容器内に移して加圧下で残りの液晶注
入を行うもので、液晶セルと液晶容器の真空槽から圧力
容器への移動を空気中に曝すことなく実施することがで
き、液晶注入時に気泡や不純物の混入を防止して液晶デ
ィスプレイの歩留りを飛躍的に向上させることができ
る。そして、上記の液晶注入において、液晶容器は液晶
皿、ディスペンサーの何れを用いることができるので、
液晶セルの注入口が下方にあっても、また上方に向いて
いても実施することができる。
【００４１】請求項４の発明によれば、液晶セルカセッ
トを配置した真空槽と、液晶の入った液晶容器を収容す
る脱泡室と、一方の開閉口を上記真空槽内に臨ませた圧
力容器とから構成される液晶注入装置としたことによっ
て、液晶セルと液晶を別個に排気することで両者内の気
泡あるいは不純物の除去を十分に行うことができ、ま
た、圧力容器をその一方の開閉口を真空槽内にて操作で
きるようにしたので、液晶セルと液晶容器の真空槽から
圧力容器への移動を空気中に曝すことなく行うことがで
き、液晶注入作業の効率を飛躍的に向上させることがで
きるのである。
トを配置した真空槽と、液晶の入った液晶容器を収容す
る脱泡室と、一方の開閉口を上記真空槽内に臨ませた圧
力容器とから構成される液晶注入装置としたことによっ
て、液晶セルと液晶を別個に排気することで両者内の気
泡あるいは不純物の除去を十分に行うことができ、ま
た、圧力容器をその一方の開閉口を真空槽内にて操作で
きるようにしたので、液晶セルと液晶容器の真空槽から
圧力容器への移動を空気中に曝すことなく行うことがで
き、液晶注入作業の効率を飛躍的に向上させることがで
きるのである。
【００４２】請求項５の発明によれば、一方の開閉口を
上記真空槽内に臨ませた圧力容器の他方の開閉口をエー
ジング槽内にて操作できるようにしたことによって、加
圧下の圧力容器内で液晶を充填した液晶セルをエージン
グ槽に移動させて常圧まで熟成させることができ、液晶
ディスプレイの品質を維持させることができる。
上記真空槽内に臨ませた圧力容器の他方の開閉口をエー
ジング槽内にて操作できるようにしたことによって、加
圧下の圧力容器内で液晶を充填した液晶セルをエージン
グ槽に移動させて常圧まで熟成させることができ、液晶
ディスプレイの品質を維持させることができる。
【００４３】そして、上記請求項４、５の注入装置によ
る液晶注入において、液晶容器は液晶皿、ディスペンサ
ーの何れを用いることができるので、液晶セルの注入口
が下方にあっても、また上方に向いていても実施するこ
とができる。さらに、上記請求項４、５の注入装置にお
いて真空槽内あるいはエージング槽内に臨ませるように
している圧力容器の開閉口は、この圧力容器開閉口の本
体部および蓋部この開閉口の本体部および蓋部の双方に
取り付けた締結具による蓋部の上方開閉またはスイング
開閉によるので圧力容器の開閉が簡単であり、真空槽か
ら圧力容器あるいは圧力容器からエージング槽への液晶
セルおよび液晶容器の移動を時間を費やすことなく、ス
ムーズに行うことができる。
る液晶注入において、液晶容器は液晶皿、ディスペンサ
ーの何れを用いることができるので、液晶セルの注入口
が下方にあっても、また上方に向いていても実施するこ
とができる。さらに、上記請求項４、５の注入装置にお
いて真空槽内あるいはエージング槽内に臨ませるように
している圧力容器の開閉口は、この圧力容器開閉口の本
体部および蓋部この開閉口の本体部および蓋部の双方に
取り付けた締結具による蓋部の上方開閉またはスイング
開閉によるので圧力容器の開閉が簡単であり、真空槽か
ら圧力容器あるいは圧力容器からエージング槽への液晶
セルおよび液晶容器の移動を時間を費やすことなく、ス
ムーズに行うことができる。
【００４４】請求項８の発明によれば、内部に搬送手段
を有する複数の圧力容器をそれぞれの一方の開閉口を一
つの真空槽内に放射状に臨ませるように配置したこと
で、真空槽内で所定の位置まで液晶が注入された液晶セ
ルと液晶容器を載せた基台を搬送手段にて各圧力容器内
に次々と簡単に移動さすことができ、多量の液晶セルに
対する液晶注入作業を大気中に全く曝すことなく、しか
も短時間で効率よく実施することができるのである。
を有する複数の圧力容器をそれぞれの一方の開閉口を一
つの真空槽内に放射状に臨ませるように配置したこと
で、真空槽内で所定の位置まで液晶が注入された液晶セ
ルと液晶容器を載せた基台を搬送手段にて各圧力容器内
に次々と簡単に移動さすことができ、多量の液晶セルに
対する液晶注入作業を大気中に全く曝すことなく、しか
も短時間で効率よく実施することができるのである。
【図１】この発明の液晶注入装置の一実施態様を示す説
明図である。
明図である。
【図２】この発明の液晶注入装置の他の実施態様を示す
説明図である。
説明図である。
【図３】圧力容器の開閉口の開閉状態の一例を示す説明
図である。
図である。
【図４】圧力容器の開閉口の開閉状態の他の例を示す説
明図である。
明図である。
【図５】この発明の液晶注入装置の他の実施態様を示す
説明図である。
説明図である。
【図６】この発明の液晶注入装置の他の実施態様を示す
説明図である。
説明図である。
１１ 真空槽 １３ 液晶セル １４、２６ 基台 １５、３３、４２ 搬送手段 １６、２９、３４、５４、５６ 真空ポンプ ２１、５１ 脱泡室 ２２、５２ 液晶 ２３ 液晶皿 ２５、５５ ゲートバルブ ２８、５７ 昇降機構 ３１ 圧力容器 ３２、３７ 開閉口 ３５ 圧縮ガスボンベ ４１ エージング槽 ５３ ディスペンサー
Claims (8)
- 【請求項１】 真空槽で液晶セルの注入口に液晶容器中
の液晶を接触させた後、この液晶セルと液晶容器を空気
中に曝すことなく圧力容器に搬送し、該圧力容器内で加
圧下にて上記液晶セル内に液晶を注入することを特徴と
する液晶注入方法。 - 【請求項２】 排気された真空槽に配置されている液晶
セルの注入口に減圧下にて液晶容器中の脱泡処理した液
晶を接触させる工程、上記真空槽を大気圧に戻し上記排
気状態の液晶セルとの圧力差にて上記液晶セル内の所定
位置まで液晶を注入する工程、次いで上記真空槽に連通
している大気圧下の圧力容器に上記所定位置まで液晶を
注入した液晶セルおよび液晶容器を搬送する工程、上記
圧力容器内にて加圧下にて上記液晶セルへの完全な液晶
注入を行う工程、とからなることを特徴とする液晶注入
方法。 - 【請求項３】 上記液晶を収容する液晶容器が液晶皿お
よび／またはディスペンサーであることを特徴とする請
求項１または２に記載の液晶注入方法。 - 【請求項４】 液晶注入口を有する複数枚の液晶セルを
収納した液晶セルカセットを配置し、この液晶セルカセ
ットの下方に搬送手段を配置した真空槽と、液晶の入っ
た液晶容器を内部に収容し、上記真空槽の下方および／
または上方にゲートバルブを介して配置した脱泡室と、
上記真空槽内に一方の開閉口を臨ませ、内部に搬送手段
を配置した圧力容器と、からなることを特徴とする液晶
注入装置。 - 【請求項５】 液晶注入口を有する複数枚の液晶セルを
収納した液晶セルカセットを配置し、この液晶セルカセ
ットの下方に搬送手段を配置した真空槽と、液晶の入っ
た液晶容器を内部に収容し、上記真空槽の下方および／
または上方にゲートバルブを介して配置した脱泡室と、
上記真空槽内に一方の開閉口を臨ませ、内部に搬送手段
を配置した圧力容器と、この圧力容器の他方の開閉口を
臨ませ、内部に搬送手段を配置したエージング槽と、か
らなることを特徴とする液晶注入装置。 - 【請求項６】 上記液晶を収容する液晶容器が液晶皿お
よび／またはディスペンサーであることを特徴とする請
求項４または５に記載の液晶注入装置。 - 【請求項７】 上記の真空槽内あるいはエージング槽内
に臨ませている圧力容器の開閉口の開閉は、この開閉口
の本体部および蓋部の双方に取り付けた締結具による蓋
部の上方開閉またはスイング開閉とすることを特徴とす
る請求項４または５に記載の液晶注入装置。 - 【請求項８】 液晶注入口を有する複数枚の液晶セルを
収納した液晶セルカセットを配置し、この液晶セルカセ
ットの下方に搬送手段を配置した一つの真空槽に対し
て、内部に搬送手段を配置した複数の圧力容器をそれぞ
れの一方の開閉口を上記一つの真空槽内に放射状に臨ま
せるようにして配置したことを特徴とする液晶注入装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11121922A JP2000310785A (ja) | 1999-04-28 | 1999-04-28 | 液晶注入方法および注入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11121922A JP2000310785A (ja) | 1999-04-28 | 1999-04-28 | 液晶注入方法および注入装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000310785A true JP2000310785A (ja) | 2000-11-07 |
Family
ID=14823245
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11121922A Pending JP2000310785A (ja) | 1999-04-28 | 1999-04-28 | 液晶注入方法および注入装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2000310785A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002207219A (ja) * | 2001-01-05 | 2002-07-26 | Shimadzu Corp | 液晶注入方法 |
| JP2007286520A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Shimadzu Corp | 液晶注入装置 |
| CN100354185C (zh) * | 2004-04-02 | 2007-12-12 | 东芝松下显示技术有限公司 | 平面显示装置的电子、电气制品的制造方法及所用的带状存放体 |
| US7681376B2 (en) | 2005-09-30 | 2010-03-23 | Toshiba Matsushita Display Technology Co., Ltd, | Manufacturing method for electronic, electric or other products such as flat-panel display devices and package therefor |
-
1999
- 1999-04-28 JP JP11121922A patent/JP2000310785A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2002207219A (ja) * | 2001-01-05 | 2002-07-26 | Shimadzu Corp | 液晶注入方法 |
| JP4590736B2 (ja) * | 2001-01-05 | 2010-12-01 | 株式会社島津製作所 | 液晶注入方法 |
| CN100354185C (zh) * | 2004-04-02 | 2007-12-12 | 东芝松下显示技术有限公司 | 平面显示装置的电子、电气制品的制造方法及所用的带状存放体 |
| US7757464B2 (en) | 2004-04-02 | 2010-07-20 | Toshiba Matsushita Display Technology Co., Ltd. | Manufacturing method for packaging electronic products in a band-shaped package |
| US7681376B2 (en) | 2005-09-30 | 2010-03-23 | Toshiba Matsushita Display Technology Co., Ltd, | Manufacturing method for electronic, electric or other products such as flat-panel display devices and package therefor |
| JP2007286520A (ja) * | 2006-04-19 | 2007-11-01 | Shimadzu Corp | 液晶注入装置 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20060428 |
|
| RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20060703 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20080912 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20081028 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20090310 |