JP2003084295A - 液晶注入装置 - Google Patents
液晶注入装置Info
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Abstract
(57)【要約】
チャンバ内で液晶セルを不要に待機させる必要がなく作
業効率の良い液晶注入装置の提供。 【解決手段】 チャンバ２１、５１を真空ポンプ２３、
５３で真空排気して、内部に装填された液晶セル１を真
空引きした後に、移動機構２５、５５で液晶セル１の液
晶注入口が液晶皿２の液晶に接触するよう相対的に接近
してからＮ２ガスを導入することによって、液晶セルに
液晶を注入する際、チャンバ１１とそれぞれゲートバル
ブＧ２、Ｇ４を介して隔てられた複数のチャンバ２１、
５１のうちの空いている方に液晶セル１と液晶皿２を装
填した後、Ｎ２ガスを導入することでチャンバ２１、５
１内を加圧することで、液晶セル１に液晶を注入する。
業効率の良い液晶注入装置の提供。 【解決手段】 チャンバ２１、５１を真空ポンプ２３、
５３で真空排気して、内部に装填された液晶セル１を真
空引きした後に、移動機構２５、５５で液晶セル１の液
晶注入口が液晶皿２の液晶に接触するよう相対的に接近
してからＮ２ガスを導入することによって、液晶セルに
液晶を注入する際、チャンバ１１とそれぞれゲートバル
ブＧ２、Ｇ４を介して隔てられた複数のチャンバ２１、
５１のうちの空いている方に液晶セル１と液晶皿２を装
填した後、Ｎ２ガスを導入することでチャンバ２１、５
１内を加圧することで、液晶セル１に液晶を注入する。
Description
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、液晶表示装置に
用いられるセルに液晶を注入する液晶注入装置に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】従来の液晶注入装置について、図２、３
を用いて説明する。動作開始前、全てのゲートバルブＧ
１〜Ｇ３、真空バルブ１４、Ｎ２導入バルブ１５、５２
は閉じられた状態、真空バルブ５４は開いた状態、真空
ポンプ１３、５３は動作状態となっている。 【０００３】まず、ゲートバルブＧ１を開き、液晶を注
入すべき液晶セル１、及び液晶を収容した液晶皿２をチ
ャンバ１１へ搬送し、ゲートバルブＧ１を閉める。そし
て、真空バルブ１４を開き、チャンバ１１内を真空引き
し、所定圧に達するか又は所定時間が経過したら、ゲー
トバルブＧ２を開き、液晶セル１および液晶皿２を、既
に真空ポンプ５３により真空状態となっているチャンバ
５１へ移動させ、ゲートバルブＧ２を閉める。そして、
チャンバ１１では、真空バルブ１４を閉じると共に、Ｎ
２導入バルブ１５を開くことで、大気圧状態とされ、ゲ
ートバルブＧ１を開くことで、次の液晶セル１および液
晶皿２が導入され、再び、Ｎ２導入バルブ１５を閉じ、
真空バルブ１４を開くことで、チャンバ１１を真空状態
とする。 【０００４】一方、液晶セル１および液晶皿２が導入さ
れたチャンバ５１では、液晶皿昇降機構５５を上昇さ
せ、液晶セル１の液晶注入口に液晶を接液させる。そし
て、真空バルブ５４を閉め、Ｎ２導入バルブ５２を開
き、チャンバ５１内を大気圧にして加圧することで、真
空となっている液晶セル１内に液晶が浸入を開始し、こ
の状態で、液晶セル１に液晶の注入が完了されるまで待
つ。 【０００５】そして、液晶セル１に液晶を充填した後、
ゲートバルブＧ３を開け、チャンバ５１から液晶セル１
および液晶皿２を取り出してからゲートバルブＧ３を閉
じ、再び、チャンバ５１を所定の真空状態とし、チャン
バ１１から次の液晶セル１と液晶皿２を導入する。 【０００６】ところで、近年、大型液晶パネルの需要が
高まっており、このような大型化に伴って、液晶注入時
間が長時間化し、作業効率が悪かった。 【０００７】そこで、図３に示したように、チャンバ５
１に対して、ゲートバルブＧ３を介し、ゲートバルブＧ
４を設けたチャンバ６１を連続して構成する。 【０００８】そして、チャンバ５１において液晶を注入
している途中の液晶セル１と液晶皿２とを、ゲートバル
ブＧ３を開けチャンバ６１に移動し、液晶セル１へ液晶
の注入が完了するまで待つようにすることで、このチャ
ンバ６１と、上記したチャンバ５１において同時に、そ
れぞれ別の液晶セル１に対して液晶注入が行なえるの
で、サイクルタイムを短縮化、作業効率を向上を図って
いる。なお、このようなチャンバ５１やチャンバ６１に
は、加熱機構（図示省略）を設ける場合もあり、チャン
バ５１、６１内を加熱することで、さらに液晶セル１へ
の液晶の注入処理を促進する。また、チャンバ５１やチ
ャンバ６１には加圧機構（図示省略）を設ける場合もあ
り、チャンバ５１、６１内を大気圧以上に加圧すること
により、液晶セル１への液晶注入処理を促進する。 【０００９】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図３に
示したような液晶注入装置の構成は、チャンバ５１、６
１を水平方向に連続して並べる形態であるため、例え
ば、大型の液晶セルの直後に、小型の液晶セルに対して
液晶注入を行なう場合、小型の液晶セルに対しては液晶
の注入が完了しているにもかかわらず、大型の液晶セル
への液晶注入が完了しないため、注入が完了するまで、
小型の液晶セルは接液状態で待機せざるを得なかったの
で、その不要な待機時間の分、作業効率が低下した。 【００１０】しかも、小型の液晶セルには液晶が充満し
ているにもかかわらず、接液状態で待機せざるを得なか
ったので、液晶注入促進のための加熱機構からの熱によ
って必要以上に加熱されることとなり、液晶の劣化とい
う問題も発生した。 【００１１】本発明は、このような問題点を伴うことな
く、同時に複数の液晶セルへの液晶注入処理を行なう液
晶注入装置において、チャンバ内で液晶セルを必要以上
に待機させることがなく作業効率の良い液晶注入装置を
提供することを目的とする。 【００１２】 【課題を解決するための手段】本発明の液晶注入装置
は、液晶が注入される液晶セルと液晶を収容した液晶皿
とが装填される導入室と、導入室とゲートバルブを介し
て設けられ、液晶セルと液晶皿とが装填される注入室
と、導入室及び注入室をそれぞれ独立して真空排気する
ための真空排気系と、導入室及び注入室にそれぞれ独立
して不活性ガスを導入するための不活性ガス導入系と、
注入室に、液晶セルと液晶皿とを相対的に接近させる移
動機構とを備え、注入室を真空排気系で真空排気するこ
とで注入室に装填された液晶セルを真空引きした後、移
動機構で液晶セルの液晶注入口が液晶皿の液晶に接触す
るよう相対的に接近してから不活性ガス導入系で不活性
ガスを導入することによって、液晶セルに液晶を注入す
る際、導入室とそれぞれゲートバルブを介して隔てられ
た複数の注入室から択一的に液晶セルと液晶皿とを装填
し、その後、不活性ガスを導入して注入室内を加圧する
ことで、液晶セルに液晶を注入することを特徴とする。 【００１３】 【発明の実施の形態】以下、本発明の液晶注入装置の一
実施の形態を詳細に説明する。図１は本実施例の液晶注
入装置の概略構成を示す図である。 【００１４】ゲートバルブＧ１を通過して液晶セル１及
び液晶皿２が搬入されるチャンバ（特許請求の範囲の導
入室に相当）１１には、液晶セル１及び液晶皿２の保持
機構（図示省略）を備える。チャンバ１１には、内部を
真空排気する真空ポンプ１３が真空バルブ１４を介して
接続され、また、内部を大気圧に戻す際に供給されるＮ
２ガス源がＮ２導入バルブ１５を介して接続されてい
る。 【００１５】また、チャンバ１１には、ゲートバルブＧ
２を介してチャンバ２１（特許請求の範囲の注入室に相
当）と、ゲートバルブＧ４を介してチャンバ５１（特許
請求の範囲の注入室に相当）とが設けられ、これらチャ
ンバ２１やチャンバ５１には、液晶セル１及び液晶皿２
を外部へ搬送できるよう、それぞれゲートバルブＧ３、
ゲートバルブＧ５が設けられている。これらチャンバ２
１及びチャンバ５１にはそれぞれ、真空バルブ２４を介
して真空ポンプ２３と、真空バルブ５４を介して真空ポ
ンプ５３が設けられている。 【００１６】さらに、チャンバ２１やチャンバ５１には
それぞれ、内部を大気圧で加圧する際に供給されるＮ２
ガス源がＮ２導入バルブ２２、Ｎ２導入バルブ５２を介
して接続されている。なお、チャンバ１１、チャンバ２
１、チャンバ５１を大気圧で加圧する際、使用されるガ
スについては、Ｎ２ガス以外の不活性ガスを使用しても
よい。 【００１７】なお、これらチャンバ２１、５１には、図
示省略した加熱機構が設けられており、加熱により、液
晶注入が促進させるよう構成されている。また、チャン
バ１１、２１、５１間、また外部との間で、液晶セル１
及び液晶皿２を搬送する搬送機構（図示省略）が構成さ
れる。 【００１８】次に、図１の液晶注入装置の動作を説明す
る。動作開始前、全てのゲートバルブＧ１、Ｇ２、Ｇ
３、Ｇ４、Ｇ５、真空バルブ１４、Ｎ２導入バルブ１
５、２２、５２は閉じられた状態、真空バルブ２４、５
４は開いた状態、真空ポンプ１３、２３、５３は動作状
態となっている。 【００１９】まず、ゲートバルブＧ１を開け、液晶を注
入すべき液晶セル１、及び液晶を収容した液晶皿２を離
した状態でチャンバ１１へ搬入し、ゲートバルブＧ１を
閉じる。真空バルブ１４を開き、チャンバ１１を真空引
きし所定圧に達するか、所定時間が経過したら、ゲート
バルブＧ４を開き、液晶セル１および液晶皿２を、既に
真空ポンプ５３により真空状態となっているチャンバ５
１へ移動させ、ゲートバルブＧ４を閉める。 【００２０】そして、チャンバ５１では、液晶皿昇降機
構５５を上昇させ、液晶セル１の液晶注入口に液晶を接
液させる。そして、真空バルブ５４を閉め、Ｎ２導入バ
ルブ５２を開き、チャンバ５１内を大気圧とすること
で、真空となっている液晶セル１内に液晶が浸入を開始
し、この状態で、液晶セル１に液晶の注入が完了するま
で待つ。 【００２１】一方、液晶セル１及び液晶皿２を搬出した
後のチャンバ１１では、真空バルブ１４を閉じると共
に、Ｎ２導入バルブ１５を開くことで、大気圧状態とし
た後、ゲートバルブＧ１を開くことで、次の液晶セル１
および液晶皿２を導入し、ゲートバルブＧ１を閉じた
後、再び、Ｎ２導入バルブ１５を閉じ、真空バルブ１４
を開くことで、チャンバ１１を真空引きし所定圧に達す
るか、所定時間が経過した後、ゲートバルブＧ２を開
き、液晶セル１および液晶皿２を、既に真空ポンプ２３
により真空状態となっているチャンバ２１へ移動させ、
ゲートバルブＧ２を閉める。 【００２２】そして、チャンバ２１では、液晶皿昇降機
構２１を上昇させ、液晶セル１の液晶注入口に液晶を接
液させる。そして、真空バルブ２４を閉め、Ｎ２導入バ
ルブ２２を開き、チャンバ２１内を大気圧とすること
で、真空となっている液晶セル１内に液晶が浸入を開始
し、この状態で、液晶セル１に液晶の注入が完了するの
を待つ。 【００２３】このとき、上記したように、チャンバ１１
には、次の液晶セル１および液晶皿２が導入される。 【００２４】そして、チャンバ２１、５１のうち、液晶
セル１への液晶注入が完了した方のチャンバから順次、
ゲートバルブＧ３又はゲートバルブＧ５を介して、液晶
セル１及び液晶皿２を取り出した後、ゲートバルブＧ３
又はゲートバルブＧ５を閉じ、真空バルブ２４又は真空
バルブ５４を開き、所定の真空状態とした後、上記した
ように、チャンバ１１から次の液晶セル１及び液晶皿２
を搬入する。 【００２５】以上のように、液晶注入が完了した液晶セ
ル１や液晶皿２を外部へ搬出した後、空き状態となった
チャンバ２１又は５１に、すぐにチャンバ１１から次の
液晶セル１及び液晶皿２を搬入し、液晶注入を行なうと
いう動作を繰り返すことによって、連続して、同時に２
つの液晶セルに対する液晶注入が行なわれ、作業効率が
向上する。 【００２６】なお、本実施例では、液晶セル１と液晶皿
２を導入するチャンバ１１に、２つの液晶を注入するチ
ャンバ２１、５５を設けたが、３つ以上の液晶を注入す
るチャンバを設けることで、さらに、生産性の向上を図
ることができる。 【００２７】 【発明の効果】上記したように、本発明によれば、複数
の注入室のうち、液晶セルへの液晶注入が完了した方の
注入室に択一的に、液晶セルと液晶皿を導入して、常に
複数の注入室において、それぞれ液晶セルに対する液晶
注入作業を行なうことができるので、作業効率の向上、
生産性の向上を図ることができる。
用いられるセルに液晶を注入する液晶注入装置に関す
る。 【０００２】 【従来の技術】従来の液晶注入装置について、図２、３
を用いて説明する。動作開始前、全てのゲートバルブＧ
１〜Ｇ３、真空バルブ１４、Ｎ２導入バルブ１５、５２
は閉じられた状態、真空バルブ５４は開いた状態、真空
ポンプ１３、５３は動作状態となっている。 【０００３】まず、ゲートバルブＧ１を開き、液晶を注
入すべき液晶セル１、及び液晶を収容した液晶皿２をチ
ャンバ１１へ搬送し、ゲートバルブＧ１を閉める。そし
て、真空バルブ１４を開き、チャンバ１１内を真空引き
し、所定圧に達するか又は所定時間が経過したら、ゲー
トバルブＧ２を開き、液晶セル１および液晶皿２を、既
に真空ポンプ５３により真空状態となっているチャンバ
５１へ移動させ、ゲートバルブＧ２を閉める。そして、
チャンバ１１では、真空バルブ１４を閉じると共に、Ｎ
２導入バルブ１５を開くことで、大気圧状態とされ、ゲ
ートバルブＧ１を開くことで、次の液晶セル１および液
晶皿２が導入され、再び、Ｎ２導入バルブ１５を閉じ、
真空バルブ１４を開くことで、チャンバ１１を真空状態
とする。 【０００４】一方、液晶セル１および液晶皿２が導入さ
れたチャンバ５１では、液晶皿昇降機構５５を上昇さ
せ、液晶セル１の液晶注入口に液晶を接液させる。そし
て、真空バルブ５４を閉め、Ｎ２導入バルブ５２を開
き、チャンバ５１内を大気圧にして加圧することで、真
空となっている液晶セル１内に液晶が浸入を開始し、こ
の状態で、液晶セル１に液晶の注入が完了されるまで待
つ。 【０００５】そして、液晶セル１に液晶を充填した後、
ゲートバルブＧ３を開け、チャンバ５１から液晶セル１
および液晶皿２を取り出してからゲートバルブＧ３を閉
じ、再び、チャンバ５１を所定の真空状態とし、チャン
バ１１から次の液晶セル１と液晶皿２を導入する。 【０００６】ところで、近年、大型液晶パネルの需要が
高まっており、このような大型化に伴って、液晶注入時
間が長時間化し、作業効率が悪かった。 【０００７】そこで、図３に示したように、チャンバ５
１に対して、ゲートバルブＧ３を介し、ゲートバルブＧ
４を設けたチャンバ６１を連続して構成する。 【０００８】そして、チャンバ５１において液晶を注入
している途中の液晶セル１と液晶皿２とを、ゲートバル
ブＧ３を開けチャンバ６１に移動し、液晶セル１へ液晶
の注入が完了するまで待つようにすることで、このチャ
ンバ６１と、上記したチャンバ５１において同時に、そ
れぞれ別の液晶セル１に対して液晶注入が行なえるの
で、サイクルタイムを短縮化、作業効率を向上を図って
いる。なお、このようなチャンバ５１やチャンバ６１に
は、加熱機構（図示省略）を設ける場合もあり、チャン
バ５１、６１内を加熱することで、さらに液晶セル１へ
の液晶の注入処理を促進する。また、チャンバ５１やチ
ャンバ６１には加圧機構（図示省略）を設ける場合もあ
り、チャンバ５１、６１内を大気圧以上に加圧すること
により、液晶セル１への液晶注入処理を促進する。 【０００９】 【発明が解決しようとする課題】しかしながら、図３に
示したような液晶注入装置の構成は、チャンバ５１、６
１を水平方向に連続して並べる形態であるため、例え
ば、大型の液晶セルの直後に、小型の液晶セルに対して
液晶注入を行なう場合、小型の液晶セルに対しては液晶
の注入が完了しているにもかかわらず、大型の液晶セル
への液晶注入が完了しないため、注入が完了するまで、
小型の液晶セルは接液状態で待機せざるを得なかったの
で、その不要な待機時間の分、作業効率が低下した。 【００１０】しかも、小型の液晶セルには液晶が充満し
ているにもかかわらず、接液状態で待機せざるを得なか
ったので、液晶注入促進のための加熱機構からの熱によ
って必要以上に加熱されることとなり、液晶の劣化とい
う問題も発生した。 【００１１】本発明は、このような問題点を伴うことな
く、同時に複数の液晶セルへの液晶注入処理を行なう液
晶注入装置において、チャンバ内で液晶セルを必要以上
に待機させることがなく作業効率の良い液晶注入装置を
提供することを目的とする。 【００１２】 【課題を解決するための手段】本発明の液晶注入装置
は、液晶が注入される液晶セルと液晶を収容した液晶皿
とが装填される導入室と、導入室とゲートバルブを介し
て設けられ、液晶セルと液晶皿とが装填される注入室
と、導入室及び注入室をそれぞれ独立して真空排気する
ための真空排気系と、導入室及び注入室にそれぞれ独立
して不活性ガスを導入するための不活性ガス導入系と、
注入室に、液晶セルと液晶皿とを相対的に接近させる移
動機構とを備え、注入室を真空排気系で真空排気するこ
とで注入室に装填された液晶セルを真空引きした後、移
動機構で液晶セルの液晶注入口が液晶皿の液晶に接触す
るよう相対的に接近してから不活性ガス導入系で不活性
ガスを導入することによって、液晶セルに液晶を注入す
る際、導入室とそれぞれゲートバルブを介して隔てられ
た複数の注入室から択一的に液晶セルと液晶皿とを装填
し、その後、不活性ガスを導入して注入室内を加圧する
ことで、液晶セルに液晶を注入することを特徴とする。 【００１３】 【発明の実施の形態】以下、本発明の液晶注入装置の一
実施の形態を詳細に説明する。図１は本実施例の液晶注
入装置の概略構成を示す図である。 【００１４】ゲートバルブＧ１を通過して液晶セル１及
び液晶皿２が搬入されるチャンバ（特許請求の範囲の導
入室に相当）１１には、液晶セル１及び液晶皿２の保持
機構（図示省略）を備える。チャンバ１１には、内部を
真空排気する真空ポンプ１３が真空バルブ１４を介して
接続され、また、内部を大気圧に戻す際に供給されるＮ
２ガス源がＮ２導入バルブ１５を介して接続されてい
る。 【００１５】また、チャンバ１１には、ゲートバルブＧ
２を介してチャンバ２１（特許請求の範囲の注入室に相
当）と、ゲートバルブＧ４を介してチャンバ５１（特許
請求の範囲の注入室に相当）とが設けられ、これらチャ
ンバ２１やチャンバ５１には、液晶セル１及び液晶皿２
を外部へ搬送できるよう、それぞれゲートバルブＧ３、
ゲートバルブＧ５が設けられている。これらチャンバ２
１及びチャンバ５１にはそれぞれ、真空バルブ２４を介
して真空ポンプ２３と、真空バルブ５４を介して真空ポ
ンプ５３が設けられている。 【００１６】さらに、チャンバ２１やチャンバ５１には
それぞれ、内部を大気圧で加圧する際に供給されるＮ２
ガス源がＮ２導入バルブ２２、Ｎ２導入バルブ５２を介
して接続されている。なお、チャンバ１１、チャンバ２
１、チャンバ５１を大気圧で加圧する際、使用されるガ
スについては、Ｎ２ガス以外の不活性ガスを使用しても
よい。 【００１７】なお、これらチャンバ２１、５１には、図
示省略した加熱機構が設けられており、加熱により、液
晶注入が促進させるよう構成されている。また、チャン
バ１１、２１、５１間、また外部との間で、液晶セル１
及び液晶皿２を搬送する搬送機構（図示省略）が構成さ
れる。 【００１８】次に、図１の液晶注入装置の動作を説明す
る。動作開始前、全てのゲートバルブＧ１、Ｇ２、Ｇ
３、Ｇ４、Ｇ５、真空バルブ１４、Ｎ２導入バルブ１
５、２２、５２は閉じられた状態、真空バルブ２４、５
４は開いた状態、真空ポンプ１３、２３、５３は動作状
態となっている。 【００１９】まず、ゲートバルブＧ１を開け、液晶を注
入すべき液晶セル１、及び液晶を収容した液晶皿２を離
した状態でチャンバ１１へ搬入し、ゲートバルブＧ１を
閉じる。真空バルブ１４を開き、チャンバ１１を真空引
きし所定圧に達するか、所定時間が経過したら、ゲート
バルブＧ４を開き、液晶セル１および液晶皿２を、既に
真空ポンプ５３により真空状態となっているチャンバ５
１へ移動させ、ゲートバルブＧ４を閉める。 【００２０】そして、チャンバ５１では、液晶皿昇降機
構５５を上昇させ、液晶セル１の液晶注入口に液晶を接
液させる。そして、真空バルブ５４を閉め、Ｎ２導入バ
ルブ５２を開き、チャンバ５１内を大気圧とすること
で、真空となっている液晶セル１内に液晶が浸入を開始
し、この状態で、液晶セル１に液晶の注入が完了するま
で待つ。 【００２１】一方、液晶セル１及び液晶皿２を搬出した
後のチャンバ１１では、真空バルブ１４を閉じると共
に、Ｎ２導入バルブ１５を開くことで、大気圧状態とし
た後、ゲートバルブＧ１を開くことで、次の液晶セル１
および液晶皿２を導入し、ゲートバルブＧ１を閉じた
後、再び、Ｎ２導入バルブ１５を閉じ、真空バルブ１４
を開くことで、チャンバ１１を真空引きし所定圧に達す
るか、所定時間が経過した後、ゲートバルブＧ２を開
き、液晶セル１および液晶皿２を、既に真空ポンプ２３
により真空状態となっているチャンバ２１へ移動させ、
ゲートバルブＧ２を閉める。 【００２２】そして、チャンバ２１では、液晶皿昇降機
構２１を上昇させ、液晶セル１の液晶注入口に液晶を接
液させる。そして、真空バルブ２４を閉め、Ｎ２導入バ
ルブ２２を開き、チャンバ２１内を大気圧とすること
で、真空となっている液晶セル１内に液晶が浸入を開始
し、この状態で、液晶セル１に液晶の注入が完了するの
を待つ。 【００２３】このとき、上記したように、チャンバ１１
には、次の液晶セル１および液晶皿２が導入される。 【００２４】そして、チャンバ２１、５１のうち、液晶
セル１への液晶注入が完了した方のチャンバから順次、
ゲートバルブＧ３又はゲートバルブＧ５を介して、液晶
セル１及び液晶皿２を取り出した後、ゲートバルブＧ３
又はゲートバルブＧ５を閉じ、真空バルブ２４又は真空
バルブ５４を開き、所定の真空状態とした後、上記した
ように、チャンバ１１から次の液晶セル１及び液晶皿２
を搬入する。 【００２５】以上のように、液晶注入が完了した液晶セ
ル１や液晶皿２を外部へ搬出した後、空き状態となった
チャンバ２１又は５１に、すぐにチャンバ１１から次の
液晶セル１及び液晶皿２を搬入し、液晶注入を行なうと
いう動作を繰り返すことによって、連続して、同時に２
つの液晶セルに対する液晶注入が行なわれ、作業効率が
向上する。 【００２６】なお、本実施例では、液晶セル１と液晶皿
２を導入するチャンバ１１に、２つの液晶を注入するチ
ャンバ２１、５５を設けたが、３つ以上の液晶を注入す
るチャンバを設けることで、さらに、生産性の向上を図
ることができる。 【００２７】 【発明の効果】上記したように、本発明によれば、複数
の注入室のうち、液晶セルへの液晶注入が完了した方の
注入室に択一的に、液晶セルと液晶皿を導入して、常に
複数の注入室において、それぞれ液晶セルに対する液晶
注入作業を行なうことができるので、作業効率の向上、
生産性の向上を図ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の液晶注入装置の概略構成図。
【図２】従来の液晶注入装置の概略構成図（１）。
【図３】従来の液晶注入装置の概略構成図（２）。
【符号の説明】
１ 液晶セル
２ 液晶皿
１１ チャンバ（導入室）
２１、５１ チャンバ（注入室）
Ｇ１、Ｇ２、Ｇ３、Ｇ４、Ｇ５ ゲートバルブ
２５、５５ 液晶皿移動機構
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 液晶が注入される液晶セルと液晶を収容
した液晶皿とが装填される導入室と、前記導入室とゲー
トバルブを介して設けられ、前記液晶セルと前記液晶皿
とが装填される注入室と、前記導入室及び注入室をそれ
ぞれ独立して真空排気するための真空排気系と、前記導
入室及び注入室にそれぞれ独立して不活性ガスを導入す
るための不活性ガス導入系と、前記注入室に、前記液晶
セルと前記液晶皿とを相対的に接近させる移動機構とを
備え、前記注入室を前記真空排気系で真空排気すること
で該注入室に装填された前記液晶セルを真空引きした
後、前記移動機構で前記液晶セルの液晶注入口が前記液
晶皿の液晶に接触するよう相対的に接近してから前記不
活性ガス導入系で不活性ガスを導入することによって、
前記液晶セルに液晶を注入する液晶注入装置において、
前記導入室とそれぞれゲートバルブを介して隔てられた
複数の前記注入室を備え、これら注入室に択一的に前記
液晶セルと前記液晶皿とを装填可能としたことを特徴と
する液晶注入装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001272961A JP2003084295A (ja) | 2001-09-10 | 2001-09-10 | 液晶注入装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001272961A JP2003084295A (ja) | 2001-09-10 | 2001-09-10 | 液晶注入装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003084295A true JP2003084295A (ja) | 2003-03-19 |
Family
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Family Applications (1)
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| JP (1) | JP2003084295A (ja) |
-
2001
- 2001-09-10 JP JP2001272961A patent/JP2003084295A/ja active Pending
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