KR100858634B1

KR100858634B1 - 마스크 보관 케이스

Info

Publication number: KR100858634B1
Application number: KR1020070095842A
Authority: KR
Inventors: 이강열
Original assignee: 비아이 이엠티 주식회사
Priority date: 2007-09-20
Filing date: 2007-09-20
Publication date: 2008-09-17

Abstract

본 발명은 마스크 보관 케이스에 관한 것으로, 좀더 자세하게는, 수납된 마스크의 상부를 지지고정하는 제1덮개; 상기 제1덮개와 대응되고 수납된 마스크의 하부를 지지고정하는 제2덮개; 상기 제1덮개와 제2덮개의 바닥면으로부터 돌출형성되어 상기 마스크의 수평모서리에 선접촉되는 안착부가 형성된 안착리브;를 포함하여 구성되고, 상기 안착부는 상기 마스크의 수평모서리에 대응되는 수평경계부를 중심으로 상기 마스크의 수직면과 예각을 형성하는 수직경사부와, 상기 마스크의 수평면과 예각을 형성하는 수평경사부가 형성되는 되는 것을 특징으로 한다.

이에 따라 선접촉되므로 케이스와 마스크의 접촉 부위를 감소시키고, 이에 따라 마스크 표면의 손상 및 불량을 방지하고, 마스크에 안정된 지지력을 제공해 주며, 점접촉되도록 함으로써 마스크의 접촉 부위 및 접촉면적을 최소화하면서 마스크에 안정된 지지력을 제공해 주는 마스크 보관 케이스를 제공한다.

마스크, 보관, 케이스, 안착리브, 지지돌기, 경계부, 경사부

Description

마스크 보관 케이스{Mask safekeeping case}

본 발명은 마스크 보관 케이스에 관한 것으로, 좀더 자세하게는, 수납된 마스크에서 모서리 부분만을 지지하도록 하는 안착리브가 다수 형성되어 수납된 마스크와 케이스의 접촉면적을 최소화하고, 마스크 및 마스크의 패턴층이 안정되게 수납될 수 있도록 하는 마스크 보관 케이스에 관한 것이다.

일반적으로 블랭크마스크(blanksmask)는 포토마스크의 원재료로 사용되고, 포토마스크(photomask)는 반도체 칩 생산시 사진의 원판과 같은 역할을 하는 것으로 크롬 등의 물질이 도포된 유리판에 다양한 방법으로 패턴회로를 형성한 일종의 설계도면이다.

과학기술이 발전함에 따라 반도체 칩이 점차 고집적화됨에 따라, 마스크에 형성된 패턴도 점차 집적화하여 더욱 미세해지고 고정밀성과 고밀집성을 요구하게 되었다.

이러한 마스크를 생산하여 보관함에 있어, 마스크의 미세한 패턴회로가 손상되지 않도록 외부의 이물질이나 정전기 등에 노출되지 않도록 하여야 하며, 마스크를 외부 충격으로부터 보호해야 한다.

따라서 여러 종류의 마스크 보관 케이스를 사용하여 마스크를 안정적으로 수납 운반할 수 있도록 한다.

마스크를 보관 케이스에 수납시에도 보관 케이스와 마스크의 접촉부위 및 접촉면적에 따라 마스크의 보관 상태가 달라진다.

이에 등록실용신안 20-0226731에서 종래의 마스크 보관 케이스가 개시되어 있다.

여기서 보면, 마스크 보관 케이스는 사각의 형태를 취하며 내부에 포토마스크를 수납하여 수평으로 지지할 수 있도록 바닥면에는 상호 이격되어 위치하는 복수의 하부지지수단이 일체로 형성되며, 외표면의 네 군데의 귀통이부에는 직선형 돌기가 마련되는 하부케이스와; 상기 하부케이스에 씌워져 결합하여 밀폐된 내부 공간을 제공하며, 바닥면에는 상기 하부지지수단과 대응하는 위치에 상부지지수단이 각각 형성되어 하부지지수단과의 사이에 포토마스크를 개재시켜 지지하고, 외표면의 네 군데의 귀퉁이부에는 직선형 돌기가 마련된 상부케이스를 포함하고, 상기 상부지지수단 및 하부지지수단은 각각 일정 높이를 가지고 포토마스크가 수평으로 위치하도록 지지력을 제공하는 설치턱을 갖는 지지대와 상기 각 설치턱에 구비되어 포토마스크와 접하는 지지핀으로 이루어지며, 상부케이스와 하부케이스의 결합시 각 지지대의 상면이 상호 접하고, 상기 설치턱에는 적어도 하나 이상의 수직의 홈이 형성되고, 상기 지지핀은 플라스틱류의 핀으로써 상기 홈에 끼워져 설치되는 것을 특징으로 한다.

그러면 종래의 마스크 보관 케이스는 마스크의 수평면이 상부 또는 하부지지 수단의 설치턱 또는 지지핀에 접촉되어 마스크의 수직방향 이동에 대해 지지력을 제공한다.

동시에 마스크의 측면이 상부 또는 하부지지수단에 형성된 직선형 돌기에 접촉되어 마스크의 수평방향 이동에 대해 지지력을 제공한다.

하지만, 종래의 마스크 보관 케이스는 케이스 내에서 마스크가 유동하게 되면 마스크의 수평면을 지지하는 설치턱이나 지지핀에 의해 마스크 수평면이 긁힐 수 있고, 포토마스크의 경우 피복되어 있는 크롬층 등이 떨어져 마스크의 불량을 초래할 뿐 아니라 생산라인을 오염시키는 문제점이 발생하였다.

또한, 마스크의 상하 수평면 또는 측면에서 면접촉되는 부분이 발생하여 접촉부위가 접촉압력 또는 마찰에 의해 손상되는 문제점이 발생하였다.

상기 문제점을 해결하기 위해 창출된 본 발명은 마스크의 모서리에 대응하여 형성된 안착리브가 마스크의 모서리에서 선접촉되도록 함으로써, 케이스와 마스크의 면접촉부위를 없애고, 마스크의 상하 수평면 또는 측면이 케이스와 접촉되지 않아 마스크의 손상 및 불량을 방지하기 위한 것이다.

마스크의 꼭지점 부근에서 형성된 안착리브가 마스크의 모서리에 선접촉 또는 점접촉되도록 하여 더욱 안정적으로 마스크를 수납하기 위한 것이다.

또한, 마스크와 케이스의 점접촉 방식을 구현하여 마스크와 케이스의 접촉 부위 및 접촉 면적이 최소화되면서 마스크에 안정된 지지력을 제공하기 위한 것이다.

상기 목적을 해결하기 위한 본 발명은 마스크 보관 케이스에 있어서, 수납된 마스크의 상부를 지지고정하는 제1덮개; 상기 제1덮개와 대응되고 수납된 마스크의 하부를 지지고정하는 제2덮개; 상기 제1덮개와 제2덮개의 바닥면으로부터 돌출형성되어 상기 마스크의 수평모서리에 선접촉되는 안착부가 형성된 안착리브;를 포함하여 구성되고, 상기 안착부는 상기 마스크의 수평모서리에 대응되는 수평경계부를 중심으로 상기 마스크의 수직면과 예각을 형성하는 수직경사부와, 상기 마스크의 수평면과 예각을 형성하는 수평경사부가 형성되는 되는 것을 특징으로 하는 마스크 보관 케이스를 제공함으로써 달성된다.

여기서 상기 제1덮개와 제2덮개 중 적어도 어느 한 덮개에 형성된 안착리브는 상기 마스크의 꼭지점 양측에서 한 쌍으로 형성되는 것을 특징으로 한다.

이때 상기 한 쌍의 안착리브 사이에는 상기 덮개의 바닥면으로부터 돌출 형성되어 상기 마스크의 수평면에 점접촉되는 지지돌기가 더 형성되는 것을 특징으로 한다.

그리고 상기 안착리브에 형성된 안착부는 상기 수직경사부와 수평경사부가 각각 절곡 돌출되어 형성된 수직경계부에 의해 상기 마스크의 수평모서리에 점접촉되는 것을 특징으로 한다.

또한, 상기 제1덮개와 제2덮개 중 적어도 어느 한 덮개의 안착리브에 형성된 안착부는 상기 마스크의 꼭지점에 대응되고, 마스크의 수직모서리에 대응하여 상기 수직경사부와 수평경사부가 각각 절곡 함몰된 수직경계부가 더 형성되고, 상기 마스크의 모서리 중 적어도 어느 한 모서리에 선접촉되는 것을 특징으로 한다.

이때 상기 안착부는 상기 수직경계부를 중심으로 상기 마스크가 안착되는 수직경사부 사이와 수평경사부 사이에서 둔각을 형성하여 상기 마스크의 꼭지점에 점접촉되는 것을 특징으로 한다.

상술한 바와 같이 본 발명인 마스크 보관 케이스에서 보면, 마스크의 모서리만이 안착리브에서 선접촉되므로, 케이스와 마스크의 접촉 부위를 감소시키고, 이에 따라 마스크 표면의 손상 및 불량을 방지하는 효과가 있다.

특히, 안착리브가 마스크의 꼭지점 부근에서 쌍으로 형성되므로 마스크에 안 정된 지지력을 제공해 주는 효과가 있다.

그리고 안착리브와 마스크의 모서리가 점접촉되도록 함으로써 마스크의 접촉 부위를 최소화하는 효과가 있다.

그리고 마스크의 꼭지점에서 안착리브에 선접촉 또는 점접촉하도록 함으로써 마스크의 접촉 부위를 최소화하면서 마스크에 안정된 지지력을 제공해 주는 효과가 있다.

이하 첨부된 도면들을 통해 본 발명에 따른 실시예를 구체적으로 설명한다.

이하 기재되는 마스크(M)의 수평면은 마스크(M)의 상부면 또는 하부면을 말하고, 수직면은 마스크(M)의 측면을 말하며, 수평모서리는 수평면과 수직면 사이의 모서리를 말하고, 수직모서리는 인접한 수직면 사이의 모서리를 말하고, 꼭지점은 수평모서리와 수직모서리가 만나는 점을 말한다.

그리고 수평모서리와 수직모서리, 그리고 꼭지점은 모따기(chamfer)될 수 있다.

첨부 도면 도 1은 본 발명의 실시예1에 따른 마스크 보관 케이스의 분해 사시도이고, 도 2는 본 발명의 실시예1에 따른 도 1의 "a" 부분에 대한 확대 사시도이다.

도 1과 도 2를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 마스크 보관 케이스는 수납된 마스크(M)의 상부를 지지 고정해 주는 제1덮개(100)와, 제1덮개(100)의 하부에 설치되어 수납된 마스크(M)의 하부를 지지 고정해 주는 제2덮개(200)로 구분할 수 있다.

여기서 제1덮개(100)와 제2덮개(200)의 개폐 방식은 도시된 바와 같이 케이스가 양분되어 제2덮개(200)를 제1덮개(100)가 덮을 수 있고, 제1덮개(100)와 제2덮개(200)의 일측이 힌지결합되어 회동할 수 있는 등 통상의 지식을 가진 자(당업자)가 용이하게 변경할 수 있다.

여기에 수납되는 마스크(M)의 가장자리에 대응되도록 마스크(M)에 지지력을 제공하는 안착리브(300)가 돌출 형성된다.

안착리브(300)는 마스크(M)가 안정되게 지지되도록 마스크(M)의 수평모서리를 따라 다수 개 형성되는 것이 바람직하다.

안착리브(300)의 끝단부에는 마스크(M)의 수평모서리가 접촉되는 안착부(310)가 형성된다.

이때 안착부(310)에는 마스크(M)의 수평모서리에 대응하여 마스크(M)의 수평모서리와 평행하게 형성된 수평경계부(311)와, 수평경계부(311)를 중심으로 마스크(M)의 수직면과 이격되도록 경사면을 형성하는 수직경사부(321)와, 수평경계부(311)를 중심으로 마스크(M)의 수평면과 이격되도록 경사면을 형성하는 수평경사부(323)가 형성된다.

여기서 마스크(M)의 수직면과 안착부(310)의 수직경사부(321) 사이는 예각을 갖고, 마스크(M)의 수평면과 안착부(310)의 수평경사부(323) 사이에도 예각을 갖는 것이 바람직하다.

그러면 마스크(M)의 수평모서리 일부가 안착부(310)에서 선접촉된다.

이때 안착부(310)가 형성된 안착리브(300)는 인접한 두 수평모서리에 각각 선접촉되도록 마스크(M)의 꼭지점 양측에서 쌍으로 형성되도록 하여 마스크(M)와 안착리브(300)의 접촉 부위를 줄이고, 마스크(M)가 안정되게 안착리브(300)의 안착부(310)에 접촉되도록 한다.

또한, 마스크(M)를 더욱 안정되게 지지하도록 쌍으로 형성된 안착리브(300) 사이에는 지지돌기(400)가 덮개(100)(200)로부터 돌출 형성된다.

여기서 지지돌기(400)와 마스크(M) 수평면의 접촉 면적을 줄이기 위해 지지돌기(400)의 끝단부는 구형 또는 원뿔형 등으로 형성되어 마스크(M)의 수평면에 점접촉되도록 하는 것이 바람직하다.

이하 첨부된 도면을 통해 마스크(M)가 케이스에 수용된 상태를 알아본다.

첨부 도면 도 3은 본 발명의 실시예1에 따른 마스크의 설치 상태 측단면도이고, 도 4는 본 발명의 실시예1에 따른 마스크의 설치 상태 평면도이며, 도 5a는 본 발명의 실시예1에 따른 도 4의 "b" 부분에 대한 확대도이다.

도 3 내지 도 5a를 참조하면, 통상 제2덮개(200)에 형성된 안착리브(300)의 안착부(310)에 마스크(M)의 수평모서리가 접촉하도록 마스크(M)를 안착시킨다.

이때 마스크(M)의 수평모서리와 안착부(310)의 수평경계부(311)가 일치되는 것이 보통이지만, 마스크(M)의 크기에 따라 마스크(M)의 수평모서리는 안착부(310)의 수직경사부(321) 또는 수평경사부(323)에 형성되어도 무방하다.

그러면 마스크(M)의 수평모서리가 안착리브(300)의 안착부(310)에서 선접촉되어 안정되게 안착된다.

그리고 제1덮개(100)를 제2덮개(200) 상부에서 덮으면, 제1덮개(100)에 형성된 안착리브(300)의 안착부(310)에서도 제2덮개(200)에 형성된 안착리브(300)의 안착부(310)에서와 같이 마스크(M)의 수평모서리가 선접촉되어 안정되게 안착된다.

따라서 케이스 내에서 마스크(M)의 수평모서리만이 안착리브(300)의 안착부(310)에 선접촉되어 안정되게 수납된다.

이때 마스크(M)의 모서리는 안착리브(300)의 안착부(310)에 접촉되어 유동되지 않는 것이 바람직하다.

그리고 마스크(M)의 꼭지점 부근에서 쌍으로 형성된 안착리브(300) 사이의 지지돌기(400)는 마스크(M)의 수평면에 점접촉하게 되어 마스크(M)를 더욱 안정되게 지지해 준다.

첨부 도면 도 5b는 본 발명의 실시예1의 변형예에 따른 도 4의 "b" 부분에 대한 확대도로써, 본 발명의 실시예1의 변형예에서는 실시예1의 구성과 동일한 구성에 대하여 동일한 명칭 및 도면부호를 부여하고, 중복되는 설명은 생략한다.

도 5b를 참조하면, 상술한 안착리브(300)에 형성된 안착부(310)에는 수직경사부(321)와 수평경사부(323)에서 돌출되어 수평경계부(311)와 교차되게 수직경계부(313)가 형성된다.

이때 돌출된 수직경계부(313)를 중심으로 양측의 수직경사부(321)와 수평경사부(323)는 는 하향 경사면을 형성하게 된다.

그러면 마스크(M)의 수평모서리가 실시예1의 변형예에 따른 안착리브(300)에 안착할 때 수직경계부(313)에 의해 안착부(310)에서 마스크(M)의 수평모서리가 점 접촉된다.

따라서, 마스크(M)의 수평모서리가 안착리브(300)에 형성된 안착부(310)에서 점접촉되어 선접촉일 때보다 접촉 면적을 줄이고 마스크(M)를 안정되게 지지해 준다.

이때 마스크(M)의 수평모서리는 마스크(M)의 크기에 따라 수직경계부(313)의 어느 위치에 접촉되어도 무방하다.

첨부 도면 도 6은 본 발명의 실시예2에 따른 도 1의 "a" 부분에 대한 확대 사시도이고, 도 7은 본 발명의 실시예2에 따른 마스크의 설치 상태 측단면도이며, 도 8은 본 발명의 실시예2에 따른 마스크의 설치 상태 평면도로써, 본 발명의 실시예2에서는 실시예1의 구성과 동일한 구성에 대하여 동일한 명칭 및 도면부호를 부여하고, 중복되는 설명은 생략한다.

도 6 내지 도 8을 참조하면, 상술한 제1덮개(100)와 제2덮개(200) 중 적어도 어느 한 덮개의 안착리브(300)에 형성된 안착부(310)는 마스크(M)의 꼭지점에 대응하여 꼭지점을 감싸듯이 형성된다.

그러면 안착리브(300)의 안착부(310)는 상술한 바와 같이 마스크(M)의 수평모서리에 대응하는 수평경계부(311)와, 수평경계부(311)를 중심으로 마스크(M)의 수직면과 이격되는 수직경사부(321)와, 수평경계부(311)를 중심으로 마스크(M)의 수평면과 이격되는 수평경사부(323)가 형성되고, 여기에 수직경사부(321) 및 수평경사부(323)가 함몰되어 마스크(M)의 수직모서리에 대응하는 수직경계부(313)가 더 형성된다.

그러면, 마스크(M)의 수직면과 안착부(310)의 수직경사부(321)는 예각을 갖고, 마스크(M)의 수평면과 안착부(310)의 수평경사부(323)는 예각을 갖는다.

여기서 수직경계부(313)를 중심으로 절곡된 수직경사부(321) 사이의 각도에 따라 마스크(M)와 안착리브(300)의 접촉 면적이 변경될 수 있다.

즉, 절곡된 수직경사부(321) 사이의 각도가 마스크(M)의 수평모서리 사이 각도와 같은 직각이 되면 안착리브(300)의 안착부(310)에서 마스크(M)의 꼭지점에 인접한 수평모서리가 선접촉하게 되고, 절곡된 수직경사부(321) 사이의 각도가 마스크(M)의 수평모서리 사이 각도보다 큰 둔각을 형성하게 되면 안착리브(300)의 안착부(310)에서 마스크(M)의 꼭지점만이 점접촉하게 되어 접촉 면적을 최소화할 수 있다.

따라서, 본 발명의 실시예2에 따른 안착리브(300)의 안착부(310)에서는 상기 마스크(M)의 모서리 중 적어도 어느 한 모서리가 선접촉되거나, 마스크(M)의 꼭지점만이 점접촉되어 마스크(M)와 케이스 사이의 접촉 부위 및 접촉 면적을 변경할 수 있다.

도 1은 본 발명의 실시예1에 따른 마스크 보관 케이스의 분해 사시도.

도 2는 본 발명의 실시예1에 따른 도 1의 "a" 부분에 대한 확대 사시도.

도 3은 본 발명의 실시예1에 따른 마스크의 설치 상태 측단면도.

도 4는 본 발명의 실시예1에 따른 마스크의 설치 상태 평면도.

도 5a는 본 발명의 실시예1에 따른 도 4의 "b" 부분에 대한 확대도.

도 5b는 본 발명의 실시예1의 변형예에 따른 도 4의 "b" 부분에 대한 확대도.

도 6은 본 발명의 실시예2에 따른 도 1의 "a" 부분에 대한 확대 사시도.

도 7은 본 발명의 실시예2에 따른 마스크의 설치 상태 측단면도.

도 8은 본 발명의 실시예2에 따른 마스크의 설치 상태 평면도.

* 도면의 주요 부분에 관한 부호의 설명 *

100: 제1덮개 200: 제2덮개 300: 안착리브

310: 안착부 311: 수평경계부 313: 수직경계부

321: 수직경사부 323: 수평경사부 400: 지지돌기

M: 마스크

Claims

마스크 보관 케이스에 있어서,

수납된 마스크의 상부를 지지고정하는 제1덮개;

상기 제1덮개와 대응되고 수납된 마스크의 하부를 지지고정하는 제2덮개;

상기 제1덮개와 제2덮개의 바닥면으로부터 돌출형성되어 상기 마스크의 수평모서리에 선접촉되는 안착부가 형성된 안착리브;를 포함하여 구성되고,

상기 안착부는 상기 마스크의 수평모서리에 대응되는 수평경계부를 중심으로 상기 마스크의 수직면과 예각을 형성하는 수직경사부와, 상기 마스크의 수평면과 예각을 형성하는 수평경사부가 형성되는 되는 것을 특징으로 하는 마스크 보관 케이스.
제 1항에 있어서,

상기 제1덮개와 제2덮개 중 적어도 어느 한 덮개에 형성된 안착리브는 상기 마스크의 꼭지점 양측에서 한 쌍으로 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 보관 케이스.
제 2항에 있어서,

상기 한 쌍의 안착리브 사이에는 상기 덮개의 바닥면으로부터 돌출 형성되어 상기 마스크의 수평면에 점접촉되는 지지돌기가 더 형성되는 것을 특징으로 하는 마스크 보관 케이스.
제 1항 내지 제 3항 중 어느 한 항에 있어서,

상기 안착리브에 형성된 안착부는 상기 수직경사부와 수평경사부가 각각 절곡 돌출되어 형성된 수직경계부에 의해 상기 마스크의 수평모서리에 점접촉되는 것을 특징으로 하는 마스크 보관 케이스.
제 1항에 있어서,

상기 제1덮개와 제2덮개 중 적어도 어느 한 덮개의 안착리브에 형성된 안착부는 상기 마스크의 꼭지점에 대응되고, 마스크의 수직모서리에 대응하여 상기 수직경사부와 수평경사부가 각각 절곡 함몰된 수직경계부가 더 형성되고, 상기 마스크의 모서리 중 적어도 어느 한 모서리에 선접촉되는 것을 특징으로 하는 마스크 보관 케이스.
제 5항에 있어서,

상기 안착부는 상기 수직경계부를 중심으로 상기 마스크가 안착되는 수직경사부 사이와 수평경사부 사이에서 둔각을 형성하여 상기 마스크의 꼭지점에 점접촉되는 것을 특징으로 하는 마스크 보관 케이스.