JP2022501655A - 容器用レチクル支持体 - Google Patents
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Abstract
Description
本開示の一部を形成し、本明細書に記載のシステム及び方法を実施することができる実施形態を示す添付の図面を参照する。
図1Aは、一実施形態による、容器10、及び、容器の1つ又は複数の支持構造20に着座する前(例えば、着座していない状態)の、ワークピース15の斜視図である。図1Bは、一実施形態による、容器10、及び、容器10の1つ又は複数の支持構造20に着座したとき(例えば、着座状態)の図1Aのワークピース15の斜視図である。容器10は、シェル30と結合することができるドア25を含む。ドア25及びシェル30が固定されると、密封された静的環境が、ワークピース15のための容器10内に形成される。図示の実施形態では、ワークピース15はレチクルである。
具体的に別段に記載されない限り、図3〜図5について大まかに考察する。
一実施形態では、角度Θは、約42°未満になるように選択される。
一実施形態では、角度Θは、39°又は約39°になるように選択される。
一実施形態では、角度aは、0°より大きくなるように選択される。
一実施形態では、角度aは、0°より大きく、約10°未満になるように選択される。
一実施形態では、角度aは、6°又は約6°より大きく、15°又は約15°未満になるように選択される。
角度aは、ワークピース15の底面40が複数の第2傾斜壁70に物理的に接触するのを防ぐように選択することができる。したがって、複数の第2傾斜壁70の傾斜はゼロに等しくない。すなわち、複数の第2傾斜壁70は、ゼロでない傾斜を有する。
態様1〜8のいずれか1つは、態様9〜14、15〜23、又は24のいずれか1つと組み合わせることができることを理解されたい。態様9〜14のいずれか1つは、態様15〜23又は24のいずれか1つと組み合わせることができる。態様15〜23のいずれか1つは態様24と組み合わせることができる。
態様3.第2傾斜壁が、水平軸に対して、0°又は約0°より大きく、15°又は約15°以下の角度で配向されている、態様1又は2のいずれか1つに記載の容器。
態様5.ワークピースがレチクルである、態様1〜4のいずれか1つに記載の容器。
態様7.ワークピース支持体が4つの支持柱を含む、態様1〜6のいずれか1つに記載の容器。
態様8.第1傾斜壁及び第2傾斜壁のうちの1つ又は複数が湾曲した平坦でない面を含む、態様1〜7のいずれか1つに記載の容器。
態様11.シェルがドアに結合されているときに、レチクルはワークピース支持体とシェルとの間に挟まれている、態様9又は10のいずれか1つに記載の容器。
態様13.第2傾斜壁が、水平軸に対して、0°又は約0°より大きく、15°又は約15°以下の角度で配向されている、態様9〜12のいずれか1つに記載の容器。
態様15.ワークピースを支持するための容器であって、ワークピースはワークピースの上縁及び下縁の周りに面取りを含み、容器はドア及び容器内に隔絶された環境を画定するためにドアと結合することができるシェルを含み、容器は、ドアに取り付けられたワークピース支持体を含み、ワークピース支持体は支持柱を含み、支持柱はワークピースを支持するように構成され、支持柱は、一対の第1傾斜壁と、一対の第1傾斜壁の底部の一対の第2傾斜壁とからなり、一対の第2傾斜壁は、ワークピースの隣接する側面を支持する唯一の接触点であるように構成され、一対の第1傾斜壁及び一対の第2傾斜壁は、異なるゼロでない傾斜で配置される、容器。
態様17.一対の第2傾斜壁が、水平軸に対して、0°又は約0°より大きく、15°又は約15°以下の角度で配向されている、態様15又は16のいずれか1つに記載の容器。
態様19.ワークピースがレチクルである、態様15〜18のいずれか1つに記載の容器。
態様21.ワークピース支持体が4つの支持柱を含む、態様15〜20のいずれか1つに記載の容器。
態様24.容器アセンブリであって、ワークピースを備え、ワークピースはワークピースの上縁及び下縁の周りに面取りを含み、容器はドア及び容器内に隔絶された環境を画定するためにドアと結合することができるシェルを含み、容器は、ドアに取り付けられたワークピース支持体を含み、ワークピース支持体は支持柱を含み、支持柱はワークピースを支持するように構成され、支持柱は第1傾斜壁と、第1傾斜壁の底部の第2傾斜壁とを含み、第2傾斜壁は、ワークピースの隣接する側面を支持する唯一の接触点であるように構成され、第1傾斜壁及び第2傾斜壁は、異なるゼロでない傾斜で配置される、容器アセンブリ。
前述の記載に関して、本開示の範囲から逸脱することなく、特に使用される構築材料並びに部品の形状、サイズ、及び配置に関して、詳細に変更を加えることができることを理解されたい。本明細書及び記載された実施形態は例示に過ぎず、本開示の真の範囲及び趣旨は、以下の特許請求の範囲によって示されている。
態様1〜8のいずれか1つは、態様9〜14、15〜24、又は25のいずれか1つと組み合わせることができることを理解されたい。態様9〜14のいずれか1つは、態様15〜24又は25のいずれか1つと組み合わせることができる。態様15〜24のいずれか1つは態様25と組み合わせることができる。
態様24.一対の第1傾斜壁が、一対の第2傾斜壁に隣接しているか、又は一対の第2傾斜壁から離れている、態様15〜23のいずれか1つに記載の容器。
態様25.容器アセンブリであって、ワークピースを備え、ワークピースはワークピースの上縁及び下縁の周りに面取りを含み、容器はドア及び容器内に隔絶された環境を画定するためにドアと結合することができるシェルを含み、容器は、ドアに取り付けられたワークピース支持体を含み、ワークピース支持体は支持柱を含み、支持柱はワークピースを支持するように構成され、支持柱は第1傾斜壁と、第1傾斜壁の底部の第2傾斜壁とを含み、第2傾斜壁は、ワークピースの隣接する側面を支持する唯一の接触点であるように構成され、第1傾斜壁及び第2傾斜壁は、異なるゼロでない傾斜で配置される、容器アセンブリ。
Claims (12)
- ワークピースを支持するための容器であって、
ドア、及び隔絶された環境を画定するために前記ドアと結合することができるシェルと、
前記ドアに固定されたワークピース支持体と、を備え、
前記ワークピース支持体は、ワークピースを支持するように構成された支持柱を含み、前記支持柱は、
第1傾斜壁と、
ワークピースを支持するように構成された、前記第1傾斜壁の底部の第2傾斜壁と、を含み、
前記第1傾斜壁及び前記第2傾斜壁は、異なるゼロでない傾斜で配向される、容器。 - 前記第1傾斜壁が、垂直軸に対して、45°又は約45°以下の角度で配向される、
請求項1に記載の容器。 - 前記第2傾斜壁が、水平軸に対して、0°又は約0°より大きく、15°又は約15°以下の角度で配向される、
請求項1に記載の容器。 - 前記第1傾斜壁及び前記第2傾斜壁の1つ又は複数が、湾曲した平坦でない面を含む、
請求項1に記載の容器。 - 前記第1傾斜壁が、前記第2傾斜壁に隣接しているか、又は前記第2傾斜壁から離れている、請求項1に記載の容器。
- ワークピースを支持するための容器であって、
ドアと、
前記容器内に隔絶された環境を画定するために前記ドアと結合することができるシェルと、
前記ドアに取り付けられたワークピース支持体と、を備え、
前記ワークピース支持体は支持柱を含み、前記支持柱はワークピースを支持するように構成され、前記支持柱は、
一対の第1傾斜壁と、
前記一対の第1傾斜壁の底部の一対の第2傾斜壁と、からなる傾斜壁を含み、
前記一対の第2傾斜壁は、ワークピースを支持する唯一の接触点であるように構成され、
前記一対の第1傾斜壁及び前記一対の第2傾斜壁は、異なるゼロでない傾斜で配置される、
容器。 - 前記一対の第1傾斜壁が、垂直軸に対して、45°又は約45°以下の角度で配向される、
請求項6に記載の容器。 - 前記一対の第2傾斜壁が、水平軸に対して、0°又は約0°より大きく、15°又は約15°以下の角度で配向される、
請求項6に記載の容器。 - 着座状態において、前記一対の第2傾斜壁が、ワークピースの下縁の周りの面取りの下縁で前記ワークピースと係合するように構成される、
請求項6に記載の容器。 - 着座していない状態で、ワークピースとの偶発的な接触が前記ワークピースの下縁の周りの面取りの上縁で生じるように、前記一対の第1傾斜壁が配向される、
請求項6に記載の容器。 - 前記一対の第1傾斜壁及び前記一対の第2傾斜壁の1つ又は複数が、湾曲した平坦でない面を含む、
請求項6に記載の容器。 - 前記一対の第1傾斜壁が、前記一対の第2傾斜壁に隣接しているか、又は前記一対の第2傾斜壁から離れている、
請求項6に記載の容器。
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