JP3033738B2 - ウエハ搬送装置およびウエハ搬送方法 - Google Patents
ウエハ搬送装置およびウエハ搬送方法Info
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- JP3033738B2 JP3033738B2 JP21457398A JP21457398A JP3033738B2 JP 3033738 B2 JP3033738 B2 JP 3033738B2 JP 21457398 A JP21457398 A JP 21457398A JP 21457398 A JP21457398 A JP 21457398A JP 3033738 B2 JP3033738 B2 JP 3033738B2
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ウエハを複数枚収
納した第１カセットからウエハを搬出して、洗浄工程等
において使用される第２カセットへ移し替えるときに用
いるウエハ搬送装置及びウエハ搬送方法に関するもので
ある。
納した第１カセットからウエハを搬出して、洗浄工程等
において使用される第２カセットへ移し替えるときに用
いるウエハ搬送装置及びウエハ搬送方法に関するもので
ある。
【０００２】
【従来の技術】従来、上記のようなウエハ搬送装置４０
は、図６に示すように構成されている。すなわち、内部
に駆動源を有する本体４２から垂直方向に昇降自在に構
成された軸４４が突出形成されており、該軸４４の先端
部には図示を省略した水平方向に回転及び伸縮自在なア
ームが取り付けられていて、そのアームの先端部にウエ
ハを下側から支持するフィンガー４６が取り付けられて
いる。
は、図６に示すように構成されている。すなわち、内部
に駆動源を有する本体４２から垂直方向に昇降自在に構
成された軸４４が突出形成されており、該軸４４の先端
部には図示を省略した水平方向に回転及び伸縮自在なア
ームが取り付けられていて、そのアームの先端部にウエ
ハを下側から支持するフィンガー４６が取り付けられて
いる。
【０００３】このウエハ搬送装置４０による第１カセッ
ト（搬送カセット）５０から洗浄工程等において使用さ
れる第２カセット（中間カセット）６０へのウエハの移
し替えは、例えば次のようにして行われる。先ず、軸４
２の昇降いずれかを行い、フィンガー４６の高さが第１
カセット５０内の最下部のウエハＭの位置より若干下側
になるようにする。次に、図示せぬアームを伸張してフ
ィンガー４６を第１カセット５０内に進入させ、最下部
のウエハＭが収納された収納溝の下に位置させる。次
に、軸４２を少し上昇させて、フィンガー４６の上面に
ウエハＭをすくい上げるように当接させ、図７に示すよ
うに、吸着バッド４６ａにてウエハＭを真空吸着してず
れないように支持する。
ト（搬送カセット）５０から洗浄工程等において使用さ
れる第２カセット（中間カセット）６０へのウエハの移
し替えは、例えば次のようにして行われる。先ず、軸４
２の昇降いずれかを行い、フィンガー４６の高さが第１
カセット５０内の最下部のウエハＭの位置より若干下側
になるようにする。次に、図示せぬアームを伸張してフ
ィンガー４６を第１カセット５０内に進入させ、最下部
のウエハＭが収納された収納溝の下に位置させる。次
に、軸４２を少し上昇させて、フィンガー４６の上面に
ウエハＭをすくい上げるように当接させ、図７に示すよ
うに、吸着バッド４６ａにてウエハＭを真空吸着してず
れないように支持する。
【０００４】次に、アームを収縮させてウエハＭを第１
カセット５０から搬出する。続いてアームを水平方向に
回転させ、フィンガー４６を第２カセット６０側に向
け、かつフィンガー４６の高さが第２カセット６０内の
最上部のウエハＭが入る収納棚と同じ位置になるように
軸４２を上昇させる。アームを伸張させてフィンガー４
６を第２カセット６０内に進入させ、ウエハＭを最上部
の収納棚の上側に位置させる。次に、軸４２を少し下降
させるとともに、真空吸着を解除させてウエハを収納棚
に載置させる。最初のウエハＭを搬入させた後、アーム
を収縮、回転させて、フィンガーを４６を第１カセット
５０側に向け、同じ動作を繰り返し行わせてウエハＭを
第１カセット５０から第２カセット６０へと移送させ
る。
カセット５０から搬出する。続いてアームを水平方向に
回転させ、フィンガー４６を第２カセット６０側に向
け、かつフィンガー４６の高さが第２カセット６０内の
最上部のウエハＭが入る収納棚と同じ位置になるように
軸４２を上昇させる。アームを伸張させてフィンガー４
６を第２カセット６０内に進入させ、ウエハＭを最上部
の収納棚の上側に位置させる。次に、軸４２を少し下降
させるとともに、真空吸着を解除させてウエハを収納棚
に載置させる。最初のウエハＭを搬入させた後、アーム
を収縮、回転させて、フィンガーを４６を第１カセット
５０側に向け、同じ動作を繰り返し行わせてウエハＭを
第１カセット５０から第２カセット６０へと移送させ
る。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上述したウ
エハ搬送装置の場合、第１カセットから１枚ずつウエハ
を取り出して第２カセットへ搬入するようになっている
ので、例えば第１カセットがウエハを２５枚収納してい
れば、全てを洗浄工程において使用する第２カセットへ
移し替えるのは、同じ動作を２５回繰り返して行わなけ
ればならず、作業時間を大幅に短縮することは困難であ
った。また、ウエハをフィンガー上に載置し搬送する際
に、ウエハが移動しないように真空吸着により固定させ
るので、吸着パッドの後がウエハ下面に付く危険があ
り、ウエハが汚れて十分な洗浄効果を得られない場合が
想定される。またさらに、洗浄効率を上げるために、２
個の第１カセット内に収納されているウエハを全て、洗
浄用の１個の第２カセットに収納しようとすると、ウエ
ハ搬送装置の軸などが通常の倍の伸縮が行えるものでな
くてはならず、一般の洗浄工程では適していないととも
に、第２カセットの寸法も倍になり使用に適さない。
エハ搬送装置の場合、第１カセットから１枚ずつウエハ
を取り出して第２カセットへ搬入するようになっている
ので、例えば第１カセットがウエハを２５枚収納してい
れば、全てを洗浄工程において使用する第２カセットへ
移し替えるのは、同じ動作を２５回繰り返して行わなけ
ればならず、作業時間を大幅に短縮することは困難であ
った。また、ウエハをフィンガー上に載置し搬送する際
に、ウエハが移動しないように真空吸着により固定させ
るので、吸着パッドの後がウエハ下面に付く危険があ
り、ウエハが汚れて十分な洗浄効果を得られない場合が
想定される。またさらに、洗浄効率を上げるために、２
個の第１カセット内に収納されているウエハを全て、洗
浄用の１個の第２カセットに収納しようとすると、ウエ
ハ搬送装置の軸などが通常の倍の伸縮が行えるものでな
くてはならず、一般の洗浄工程では適していないととも
に、第２カセットの寸法も倍になり使用に適さない。
【０００６】本発明の主目的は、ウエハの搬送時間が短
縮でき、かつウエハ面に汚れが付きにくい構造のウエハ
搬送装置の提供にある。
縮でき、かつウエハ面に汚れが付きにくい構造のウエハ
搬送装置の提供にある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上述課題を解決するため
に、本発明は、次のような手段を採用した。請求項１に
記載の発明は、ウエハを下側から支持するように構成さ
れた支持板を、ウエハが上下方向に一定間隔で平行に収
納された第１カセット内に進入させてウエハを支持して
搬出し、ウエハが上下方向に一定間隔で平行に収納され
る第２カセット内へ前記支持板を進入させてウエハを搬
入するようにしたウエハ搬送装置であって、記支持板を
複数枚で構成するとともに、これらの支持板を前記第１
カセットに収納されたウエハの間隔と同一間隔で上下方
向に平行に配置し、かつ前記支持板上の前方側には、ウ
エハ外縁部に当接してウエハを支持する略円錐状の一対
の第１支持ピンを設けるとともに、後方側にもウエハの
外縁部と当接してウエハを支持する略円錐状の一対の第
２支持ピンを設け、かつ前記第１支持ピン及び第２支持
ピンとも、中央部より下側の傾斜角を上側よりなだらか
に形成し、さらに支持板上の後方側にウエアの外縁部と
当接する一対の位置決めピンを設けたことを特徴として
いる。
に、本発明は、次のような手段を採用した。請求項１に
記載の発明は、ウエハを下側から支持するように構成さ
れた支持板を、ウエハが上下方向に一定間隔で平行に収
納された第１カセット内に進入させてウエハを支持して
搬出し、ウエハが上下方向に一定間隔で平行に収納され
る第２カセット内へ前記支持板を進入させてウエハを搬
入するようにしたウエハ搬送装置であって、記支持板を
複数枚で構成するとともに、これらの支持板を前記第１
カセットに収納されたウエハの間隔と同一間隔で上下方
向に平行に配置し、かつ前記支持板上の前方側には、ウ
エハ外縁部に当接してウエハを支持する略円錐状の一対
の第１支持ピンを設けるとともに、後方側にもウエハの
外縁部と当接してウエハを支持する略円錐状の一対の第
２支持ピンを設け、かつ前記第１支持ピン及び第２支持
ピンとも、中央部より下側の傾斜角を上側よりなだらか
に形成し、さらに支持板上の後方側にウエアの外縁部と
当接する一対の位置決めピンを設けたことを特徴として
いる。
【０００８】このように構成したので、第１カセット内
に進入した支持板は複数枚のウエハを支持して搬出す
る。複数枚のウエハを支持している支持板は、第２カセ
ット内に進入し支持していたウエハを第２カセット内に
移載する。このように、一度に複数枚のウエハを搬送で
きるので、従来に比べて作業時間の大幅な短縮が図れる
とともに、支持板が第１カセット内に進入する際、仮に
第１カセット内に載置されているウエハの一部が外側に
突出して不揃いになっている場合に、そのウエハは支持
板の後方側に設けられた位置決めピンに当たって押し込
められ、他のウエハと位置が揃えられる。続いて、支持
板でウエハを下側から支持するのであるが、先ずウエハ
は第１支持ピンと第２支持ピンの円錐状の斜面を滑り降
りて停止し、その外縁部は各支持ピンの斜面によって支
持される。
に進入した支持板は複数枚のウエハを支持して搬出す
る。複数枚のウエハを支持している支持板は、第２カセ
ット内に進入し支持していたウエハを第２カセット内に
移載する。このように、一度に複数枚のウエハを搬送で
きるので、従来に比べて作業時間の大幅な短縮が図れる
とともに、支持板が第１カセット内に進入する際、仮に
第１カセット内に載置されているウエハの一部が外側に
突出して不揃いになっている場合に、そのウエハは支持
板の後方側に設けられた位置決めピンに当たって押し込
められ、他のウエハと位置が揃えられる。続いて、支持
板でウエハを下側から支持するのであるが、先ずウエハ
は第１支持ピンと第２支持ピンの円錐状の斜面を滑り降
りて停止し、その外縁部は各支持ピンの斜面によって支
持される。
【０００９】さらに、ウエハの外縁部は各支持ピンの上
側の斜面と下側の斜面の２点で支持されるので、ウエハ
と支持ピンとの接触点が少なく、ウエハへの汚れの付着
を軽減することができる。
側の斜面と下側の斜面の２点で支持されるので、ウエハ
と支持ピンとの接触点が少なく、ウエハへの汚れの付着
を軽減することができる。
【００１０】請求項２に記載の発明は、請求項１に記載
の発明において、第１支持ピン及び第２支持ピンは、石
英又はサファイヤで形成されていることを特徴としてい
る。
の発明において、第１支持ピン及び第２支持ピンは、石
英又はサファイヤで形成されていることを特徴としてい
る。
【００１１】このように構成したので、第１、２支持ピ
ンの傾斜面によってウエハの支持を繰り返しても、石英
又はサファイヤは硬度が高いので、摩耗によるパーティ
クルの発生が少なく、ウエハに付着する量を軽減するこ
とができる。このため、後の洗浄作業時間を短縮するこ
とが可能となる。
ンの傾斜面によってウエハの支持を繰り返しても、石英
又はサファイヤは硬度が高いので、摩耗によるパーティ
クルの発生が少なく、ウエハに付着する量を軽減するこ
とができる。このため、後の洗浄作業時間を短縮するこ
とが可能となる。
【００１２】請求項３に記載にウエハ搬送方法は、２５
枚のウエハが上下方向に一定間隔Ａで平行に収納された
第１カセット内のウエハ収納棚の上又は下側から、請求
項１又は２記載のウエハ搬送装置の支持板上の第１支持
ピンと第２支持ピンとで、連続した５枚のウエハをその
間隔Ａを保った状態でそれぞれ支持して同時に搬出し、
上下方向に一定間隔１／２Ａで５０枚のウエハを収納す
るように構成された第２カセット内の偶数あるいは奇数
番目のウエハ収納棚へ上又は下側から同時に平行に搬入
し、この繰り返しにより第１カセット内のウエハが空に
なったとき、後続の第１のカセット内から同様にしてウ
エハを搬出し、第２のカセット内の空いている奇数ある
いは偶数番目のウエハ収納棚へ上又は下側から同時に平
行に順次搬入するようにした。
枚のウエハが上下方向に一定間隔Ａで平行に収納された
第１カセット内のウエハ収納棚の上又は下側から、請求
項１又は２記載のウエハ搬送装置の支持板上の第１支持
ピンと第２支持ピンとで、連続した５枚のウエハをその
間隔Ａを保った状態でそれぞれ支持して同時に搬出し、
上下方向に一定間隔１／２Ａで５０枚のウエハを収納す
るように構成された第２カセット内の偶数あるいは奇数
番目のウエハ収納棚へ上又は下側から同時に平行に搬入
し、この繰り返しにより第１カセット内のウエハが空に
なったとき、後続の第１のカセット内から同様にしてウ
エハを搬出し、第２のカセット内の空いている奇数ある
いは偶数番目のウエハ収納棚へ上又は下側から同時に平
行に順次搬入するようにした。
【００１３】このようにすると、第２カセットのウエハ
を収納する間隔を第１カセットに対して半分、すなわち
ハーフピッチにすることができるので、２個の第１カセ
ットに収納したウエハを同一外形寸法の１個の第２カセ
ットに収納することができる。このため、第２カセット
やウエハ搬送装置の寸法変更を行わずに、第１カセット
２個分の搬送処理ができ、コストの軽減が可能となる。
を収納する間隔を第１カセットに対して半分、すなわち
ハーフピッチにすることができるので、２個の第１カセ
ットに収納したウエハを同一外形寸法の１個の第２カセ
ットに収納することができる。このため、第２カセット
やウエハ搬送装置の寸法変更を行わずに、第１カセット
２個分の搬送処理ができ、コストの軽減が可能となる。
【００１４】
【発明の実施の形態】以下、図面を参照して、本発明に
係るウエハ搬送装置とウエハ搬送方法の実施形態につい
て説明する。なお、従来の技術の項で説明した部材と同
一あるいは相当するものには同一符号を付す。
係るウエハ搬送装置とウエハ搬送方法の実施形態につい
て説明する。なお、従来の技術の項で説明した部材と同
一あるいは相当するものには同一符号を付す。
【００１５】図１〜図５に、本発明に係るウエハ搬送装
置の実施の形態を示す。なお、図１はウエハ搬送装置１
０の要部と第１カセット５０及び第２カセット３０との
関係を示す側面図、図２はウエハ搬送装置１０のフィン
ガー（本発明の支持板に該当）を示し、（ａ）は平面
図、（ｂ）は側面図、図３はフィンガー上に設けられた
第１支持ピンを示し（ａ）は側面図、（ｂ）は第１支持
ピンとウエハとの接触状態を示す図、図４はフィンガー
上に設けられた第２支持ピンを示し、（ａ）は側面図、
（ｂ）は第２支持ピンとウエハとの接触状態を示す図、
図５は位置決めピンとウエハ接触状態を示す側面図であ
る。
置の実施の形態を示す。なお、図１はウエハ搬送装置１
０の要部と第１カセット５０及び第２カセット３０との
関係を示す側面図、図２はウエハ搬送装置１０のフィン
ガー（本発明の支持板に該当）を示し、（ａ）は平面
図、（ｂ）は側面図、図３はフィンガー上に設けられた
第１支持ピンを示し（ａ）は側面図、（ｂ）は第１支持
ピンとウエハとの接触状態を示す図、図４はフィンガー
上に設けられた第２支持ピンを示し、（ａ）は側面図、
（ｂ）は第２支持ピンとウエハとの接触状態を示す図、
図５は位置決めピンとウエハ接触状態を示す側面図であ
る。
【００１６】ウエハ搬送装置は１０、図１に示すよう
に、図示せぬ本体から垂直方向に昇降自在に突出形成さ
れた軸１４を有しており、該軸１４の先端部には水平方
向に回転自在かつ伸縮自在な図示を省略したアームが取
り付けられていて、そのアームの先端部１５にはセラミ
ック等の剛性素材からなる５枚のフィンガー１６が、上
下方向に同一の間隔Ａ（＝１０ｍｍ）をもって水平に取
り付けられている。なお、この間隔Ａは、第１カセット
５０内に収納された隣り合うウエハＭ同士の間隔と同じ
ものである。
に、図示せぬ本体から垂直方向に昇降自在に突出形成さ
れた軸１４を有しており、該軸１４の先端部には水平方
向に回転自在かつ伸縮自在な図示を省略したアームが取
り付けられていて、そのアームの先端部１５にはセラミ
ック等の剛性素材からなる５枚のフィンガー１６が、上
下方向に同一の間隔Ａ（＝１０ｍｍ）をもって水平に取
り付けられている。なお、この間隔Ａは、第１カセット
５０内に収納された隣り合うウエハＭ同士の間隔と同じ
ものである。
【００１７】フィンガー１６は、図２（ａ）の平面図に
示すように、平板の一部に略扇形の切り込みが設けられ
ていて、あたかもＶサインのような形状を示し、その上
面の前方側１６ａ、すなわち先端部には、一対の第１支
持ピン１８が設けられている。また、フィンガー１６の
後方側１６ｂには一対の第２支持ピン２０が設けられて
おり、かつ円柱状の位置決めピン２２も設けられてい
る。この位置決めピン２２は、フィンガー１６が第１カ
セット５０内に進入する際、仮に第１カセット５０内に
載置されているウエハＭの一部が外側に突出して不揃い
になっている場合、図５に示すように、そのウエハＭに
当たって押し込め、他のウエハＭと位置を揃える働きを
する。
示すように、平板の一部に略扇形の切り込みが設けられ
ていて、あたかもＶサインのような形状を示し、その上
面の前方側１６ａ、すなわち先端部には、一対の第１支
持ピン１８が設けられている。また、フィンガー１６の
後方側１６ｂには一対の第２支持ピン２０が設けられて
おり、かつ円柱状の位置決めピン２２も設けられてい
る。この位置決めピン２２は、フィンガー１６が第１カ
セット５０内に進入する際、仮に第１カセット５０内に
載置されているウエハＭの一部が外側に突出して不揃い
になっている場合、図５に示すように、そのウエハＭに
当たって押し込め、他のウエハＭと位置を揃える働きを
する。
【００１８】次に、前記第１支持ピン１８と第２支持ピ
ン２０とについて説明する。これらは、ウエハＭをフィ
ンガー１６上に載置したときに、ウエハＭが位置ずれし
ないようにしたものである。第１支持ピン１８は、図３
（ａ）に示すように、上面が平坦にカットされた円錐状
の突起部１８ａとその下側に連続する円錐状の斜面部１
８ｂとを有しており、フィンガー１６に脱着可能に取り
付けられていて、図３（ｂ）に示すように、Ｂ点とＣ点
とで載置したウエハＭのエッジ部（外縁部）に当接して
ウエハＭを支持するようになっている。また、第２支持
ピン２０は、図４（ａ）に示すように、上面が平坦にカ
ットされた円錐状の突起部２０ａとその下側に連続する
円錐状の斜面部２０ｂとを有しており、これもフィンガ
ー１６に脱着可能に取り付けられていて、図４（ｂ）に
示すように、Ｄ点とＥ点とでウエハＭのエッジ部に当接
してウエハＭを支持するようになっている。
ン２０とについて説明する。これらは、ウエハＭをフィ
ンガー１６上に載置したときに、ウエハＭが位置ずれし
ないようにしたものである。第１支持ピン１８は、図３
（ａ）に示すように、上面が平坦にカットされた円錐状
の突起部１８ａとその下側に連続する円錐状の斜面部１
８ｂとを有しており、フィンガー１６に脱着可能に取り
付けられていて、図３（ｂ）に示すように、Ｂ点とＣ点
とで載置したウエハＭのエッジ部（外縁部）に当接して
ウエハＭを支持するようになっている。また、第２支持
ピン２０は、図４（ａ）に示すように、上面が平坦にカ
ットされた円錐状の突起部２０ａとその下側に連続する
円錐状の斜面部２０ｂとを有しており、これもフィンガ
ー１６に脱着可能に取り付けられていて、図４（ｂ）に
示すように、Ｄ点とＥ点とでウエハＭのエッジ部に当接
してウエハＭを支持するようになっている。
【００１９】なお、第２支持ピン２０の突起部２０ａ
は、第１支持ピン１８の突起部１８ａよりも高さが有
り、かつ急勾配になっていて、ウエハＭがフィンガー１
６上に載置される際に、ウエハＭのエッジ部が突起部２
０ａと斜面部２０ｂとに案内されて、フィンガー１６上
に落ち着くようになっている。なお、これら第１支持ピ
ン１８及び第２支持ピン２０は、パーティクルの発生を
抑えるために、摩耗しにくい材質の石英又はサファイヤ
が用いられている。
は、第１支持ピン１８の突起部１８ａよりも高さが有
り、かつ急勾配になっていて、ウエハＭがフィンガー１
６上に載置される際に、ウエハＭのエッジ部が突起部２
０ａと斜面部２０ｂとに案内されて、フィンガー１６上
に落ち着くようになっている。なお、これら第１支持ピ
ン１８及び第２支持ピン２０は、パーティクルの発生を
抑えるために、摩耗しにくい材質の石英又はサファイヤ
が用いられている。
【００２０】なお、アームの先端部１５へのフィンガー
１６の取り付けに際し、図２（ｂ）に示すように、これ
らフィンガー１６の水平位置を調整するために２本の調
整ボルト２４が配置されていて、所定範囲の水平調整が
行えるようになっている。また、フィンガー１６の後方
側１６ｂには、反射型の光センサ２６が取り付けられて
いて、フィンガー１６が第１カセット５０内に進入した
時に、ウエハＭの有無を検出するようになっている。
１６の取り付けに際し、図２（ｂ）に示すように、これ
らフィンガー１６の水平位置を調整するために２本の調
整ボルト２４が配置されていて、所定範囲の水平調整が
行えるようになっている。また、フィンガー１６の後方
側１６ｂには、反射型の光センサ２６が取り付けられて
いて、フィンガー１６が第１カセット５０内に進入した
時に、ウエハＭの有無を検出するようになっている。
【００２１】次に、このウエハ搬送装置１０によるウエ
ハＭの搬送方法について説明する。先ず、図１に示すよ
うに、２個の第１カセット５０内のウエハＭは、間隔Ａ
＝１０ｍｍのピッチで収納されており、洗浄工程にて用
いる第２カセットはウエハＭの収納間隔は１／２Ａ＝５
ｍｍとする。いま、各第１カセット５０内には２５枚の
ウエハＭが収納されているとして、ウエハ搬送装置１０
のアームが伸張してフィンガー１６が２個の第１カセッ
ト５０のうち上側に描かれた第１カセット５０内の下部
に進入し、５枚のウエハＭｕ、Ｍｖ、Ｍｗ、Ｍｘ、Ｍｙ
の位置にそれぞれフィンガー１６を対向させる。続い
て、軸１４が少し上昇して各フィンガー１６上にウエハ
Ｍを５枚同時に載置する。アームが収縮してウエハＭを
５枚同時に第１カセット５０の外に搬出する。
ハＭの搬送方法について説明する。先ず、図１に示すよ
うに、２個の第１カセット５０内のウエハＭは、間隔Ａ
＝１０ｍｍのピッチで収納されており、洗浄工程にて用
いる第２カセットはウエハＭの収納間隔は１／２Ａ＝５
ｍｍとする。いま、各第１カセット５０内には２５枚の
ウエハＭが収納されているとして、ウエハ搬送装置１０
のアームが伸張してフィンガー１６が２個の第１カセッ
ト５０のうち上側に描かれた第１カセット５０内の下部
に進入し、５枚のウエハＭｕ、Ｍｖ、Ｍｗ、Ｍｘ、Ｍｙ
の位置にそれぞれフィンガー１６を対向させる。続い
て、軸１４が少し上昇して各フィンガー１６上にウエハ
Ｍを５枚同時に載置する。アームが収縮してウエハＭを
５枚同時に第１カセット５０の外に搬出する。
【００２２】アームが１８０度回転して伸張するととも
に軸１４が伸びて、対面に位置する第２カセット３０の
上方よりウエハＭを収納していく。第２カセット３０の
ウエハ収納ピッチは５ｍｍとなっており、搬出した５枚
のウエハＭｕ、Ｍｖ、Ｍｗ、Ｍｘ、Ｍｙはそれぞれ第２
カセット３０の収納棚の１、３、５、７、９番目に収納
する。次に、運ばれてきた５枚のウエハＭｐ、Ｍｑ、Ｍ
ｒ、Ｍｓ、Ｍｔはそれぞれ第２カセット３０の１１、１
３、１５、１７、１９番目の収納棚に収納する。以下、
同様にして、合計５回の搬送により第１カセット５０内
の２５枚のウエハＭは、第２カセット３０の奇数番目の
収納溝に全てが収納される。
に軸１４が伸びて、対面に位置する第２カセット３０の
上方よりウエハＭを収納していく。第２カセット３０の
ウエハ収納ピッチは５ｍｍとなっており、搬出した５枚
のウエハＭｕ、Ｍｖ、Ｍｗ、Ｍｘ、Ｍｙはそれぞれ第２
カセット３０の収納棚の１、３、５、７、９番目に収納
する。次に、運ばれてきた５枚のウエハＭｐ、Ｍｑ、Ｍ
ｒ、Ｍｓ、Ｍｔはそれぞれ第２カセット３０の１１、１
３、１５、１７、１９番目の収納棚に収納する。以下、
同様にして、合計５回の搬送により第１カセット５０内
の２５枚のウエハＭは、第２カセット３０の奇数番目の
収納溝に全てが収納される。
【００２３】続いて、下側に描かれた第１カセット５０
内から上部の５枚のウエハＭｕ′、Ｍｖ′、Ｍｗ′、Ｍ
ｘ′、Ｍｙ′を搬出し、第２カセット３０の収納棚２、
４、６、８、１０番目に収納する。以下、同様にして、
第１カセット５０内のウエハＭは第２カセット３０の偶
数番目の収納棚に収納される。このように、第１カセッ
ト５０内から同時に搬出したウエハＭを第２カセット３
０内に搬入した後、第１カセットから搬出したウエハ
を、今度は既に第２カセット３０に収納されたウエハＭ
の各間に収納するように下方向に５ｍｍずらして搬入す
るようにしたので、第１カセット５０の２個分のウエハ
Ｍを同一外形寸法の１個の第２カセット３０に収納する
ことができる。
内から上部の５枚のウエハＭｕ′、Ｍｖ′、Ｍｗ′、Ｍ
ｘ′、Ｍｙ′を搬出し、第２カセット３０の収納棚２、
４、６、８、１０番目に収納する。以下、同様にして、
第１カセット５０内のウエハＭは第２カセット３０の偶
数番目の収納棚に収納される。このように、第１カセッ
ト５０内から同時に搬出したウエハＭを第２カセット３
０内に搬入した後、第１カセットから搬出したウエハ
を、今度は既に第２カセット３０に収納されたウエハＭ
の各間に収納するように下方向に５ｍｍずらして搬入す
るようにしたので、第１カセット５０の２個分のウエハ
Ｍを同一外形寸法の１個の第２カセット３０に収納する
ことができる。
【００２４】このように、第１カセット５０から搬出し
たウエハＭを第２カセット３０に収納するときに、最初
は奇数収納棚へ収納し、その後に間隔１／２Ａ（＝５ｍ
ｍ）だけずらして、偶数収納棚に収納するようにしたの
で、従来１０ｍｍピッチであった第２カセットを５ｍｍ
ピッチのものを使用することができる。このため、第２
カセット３０の寸法を大きくすることなく、第１カセッ
ト５０の２個分のウエハＭを収納して洗浄処理等を行わ
せることができるようになった。また、５枚のウエハを
同時に移送できるので、従来に比べ移送時間が約１／５
倍に短縮することができる。
たウエハＭを第２カセット３０に収納するときに、最初
は奇数収納棚へ収納し、その後に間隔１／２Ａ（＝５ｍ
ｍ）だけずらして、偶数収納棚に収納するようにしたの
で、従来１０ｍｍピッチであった第２カセットを５ｍｍ
ピッチのものを使用することができる。このため、第２
カセット３０の寸法を大きくすることなく、第１カセッ
ト５０の２個分のウエハＭを収納して洗浄処理等を行わ
せることができるようになった。また、５枚のウエハを
同時に移送できるので、従来に比べ移送時間が約１／５
倍に短縮することができる。
【００２５】なお、図３及び図４に示すように、フィン
ガー１６上の第１支持ピン１８の高さが、第２ガイドピ
ン２０よりも低くなっているのは、第２カセット３０の
ウエハ収納棚が５ｍｍ間隔になっているので、フィンガ
ー１６が第２カセット３０内に進入するときに、引っか
かりにくいようにしたものである。また、フィンガー１
６が５段になっているのは、５段以上では重量が増大し
て撓んだり、あるいはハンドリングに支障をきたす場合
がある点を考慮したもので、搬送時間の短縮等との兼ね
合いから最良の状態を選択したものである。
ガー１６上の第１支持ピン１８の高さが、第２ガイドピ
ン２０よりも低くなっているのは、第２カセット３０の
ウエハ収納棚が５ｍｍ間隔になっているので、フィンガ
ー１６が第２カセット３０内に進入するときに、引っか
かりにくいようにしたものである。また、フィンガー１
６が５段になっているのは、５段以上では重量が増大し
て撓んだり、あるいはハンドリングに支障をきたす場合
がある点を考慮したもので、搬送時間の短縮等との兼ね
合いから最良の状態を選択したものである。
【００２６】また、上記実施の形態では、第１カセット
５０には２５枚のウエハＭが収納されていたが、１３枚
収納するカセットの場合は、第１回目には下部の５枚を
搬送して第２カセットの上部奇数番目の収納棚に収納
し、第２回目にその上の３枚を搬送して第２カセットの
下部の奇数番目の収納棚に収納し、続いて上部の５枚を
搬送して第２カセットの中央部の奇数番目の収納棚に収
納する。同様にして、次の第１カセットから取り出した
ウエハＭを第２カセットの偶数番目の収納棚に収納す
る。
５０には２５枚のウエハＭが収納されていたが、１３枚
収納するカセットの場合は、第１回目には下部の５枚を
搬送して第２カセットの上部奇数番目の収納棚に収納
し、第２回目にその上の３枚を搬送して第２カセットの
下部の奇数番目の収納棚に収納し、続いて上部の５枚を
搬送して第２カセットの中央部の奇数番目の収納棚に収
納する。同様にして、次の第１カセットから取り出した
ウエハＭを第２カセットの偶数番目の収納棚に収納す
る。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によると、
ウエハを支持する支持板を複数枚としたので、搬送処理
時間を大幅に短縮することができるとともに、ウエハの
支持を支持ピンで行うので、真空吸着のようなパッド跡
が付かず、後の処理作業を軽減することができる。さら
に、第２カセットのウエハを収納する間隔を第１カセッ
トに対して半分にすることができ、２個の第１カセット
に収納したウエハを同一外形寸法の１個の第２カセット
に収納することができるので、第２カセットやウエハ搬
送装置の寸法変更を行わずに、第１カセット２個分の搬
送処理ができ、コストの軽減が図れる。
ウエハを支持する支持板を複数枚としたので、搬送処理
時間を大幅に短縮することができるとともに、ウエハの
支持を支持ピンで行うので、真空吸着のようなパッド跡
が付かず、後の処理作業を軽減することができる。さら
に、第２カセットのウエハを収納する間隔を第１カセッ
トに対して半分にすることができ、２個の第１カセット
に収納したウエハを同一外形寸法の１個の第２カセット
に収納することができるので、第２カセットやウエハ搬
送装置の寸法変更を行わずに、第１カセット２個分の搬
送処理ができ、コストの軽減が図れる。
【図１】ウエハ搬送装置の要部と第１カセット及び第２
カセットとの関係を示す側面図である。
カセットとの関係を示す側面図である。
【図２】ウエハ搬送装置のフィンガーを示し、（ａ）は
平面図、（ｂ）は側面図である。
平面図、（ｂ）は側面図である。
【図３】フィンガー上に設けられた第１支持ピンを示し
（ａ）は側面図、（ｂ）は第１支持ピンとウエハとの接
触状態を示す図である。
（ａ）は側面図、（ｂ）は第１支持ピンとウエハとの接
触状態を示す図である。
【図４】フィンガー上に設けられた第２支持ピンを示
し、（ａ）は側面図、（ｂ）は第２支持ピンとウエハと
の接触状態を示す図である。
し、（ａ）は側面図、（ｂ）は第２支持ピンとウエハと
の接触状態を示す図である。
【図５】位置決めピンとウエハ接触状態を示す側面図で
ある。
ある。
【図６】従来のウエハ搬送装置の要部と第１カセット及
び第２カセットとの関係を示す側面図である。
び第２カセットとの関係を示す側面図である。
【図７】従来のウエハ搬送装置のフィンガーがウエハを
載置している側面図である。
載置している側面図である。
１０ ウエハ搬送装置 １４ 軸 １５ アームの先端部 １６ フィンガー １８ 第１支持ピン ２０ 第２支持ピン ２２ 位置決めピン ２４ 調整ボルト ２６ 光センサ ３０ 第２カセット ４２ 本体 ４４ 軸 ４６ フィンガー ４６ａ 吸着パッド ５０ 第１カセット Ｍ ウエハ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) H01L 21/68 B65G 1/00 549 B65G 49/07
Claims (3)
- 【請求項１】 ウエハを下側から支持するように構成さ
れた支持板を、ウエハが上下方向に一定間隔で平行に収
納された第１カセット内に進入させてウエハを支持して
搬出し、ウエハが上下方向に一定間隔で平行に収納され
る第２カセット内へ前記支持板を進入させてウエハを搬
入するようにしたウエハ搬送装置であって、 前記支持板を複数枚で構成するとともに、これらの支持
板を前記第１カセットに収納されたウエハの間隔と同一
間隔で上下方向に平行に配置し、 かつ前記支持板上の前方側には、ウエハ外縁部に当接し
てウエハを支持する略円錐状の一対の第１支持ピンを設
けるとともに、後方側にもウエハの外縁部と当接してウ
エハを支持する略円錐状の一対の第２支持ピンを設け、
かつ前記第１支持ピン及び第２支持ピンとも、中央部よ
り下側の傾斜角を上側よりなだらかに形成し、さらに支
持板上の後方側にウエアの外縁部と当接する一対の位置
決めピンを設けたことを特徴とするウエハ搬送装置。 - 【請求項２】 前記第１支持ピン及び第２支持ピンは、
石英又はサファイヤで形成されていることを特徴とする
請求項１に記載のウエハ搬送装置。 - 【請求項３】 ウエハが上下方向に一定間隔Ａで平行に
収納された第１カセット内のウエハ収納棚の上又は下側
から、請求項１又は２記載のウエハ搬送装置の支持板上
の第１支持ピンと第２支持ピンとで、連続した複数枚の
ウエハをその間隔Ａを保った状態でそれぞれ支持して同
時に搬出し、上下方向に一定間隔１／２Ａで第１カセッ
トの２倍の枚数のウエハを収納するように構成された第
１カセットと同一外形寸法の第２カセット内の偶数ある
いは奇数番目のウエハ収納棚へ上又は下側から同時に平
行に搬入し、この繰り返しにより第１カセット内のウエ
ハが空になったとき、後続の第１のカセット内から同様
にしてウエハを搬出し、第２のカセット内の空いている
ウエハ収納棚へ上又は下側から同時に平行に順次搬入す
るようにしたことを特徴とするウエハ搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21457398A JP3033738B2 (ja) | 1998-07-29 | 1998-07-29 | ウエハ搬送装置およびウエハ搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21457398A JP3033738B2 (ja) | 1998-07-29 | 1998-07-29 | ウエハ搬送装置およびウエハ搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2000049209A JP2000049209A (ja) | 2000-02-18 |
| JP3033738B2 true JP3033738B2 (ja) | 2000-04-17 |
Family
ID=16657961
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21457398A Expired - Fee Related JP3033738B2 (ja) | 1998-07-29 | 1998-07-29 | ウエハ搬送装置およびウエハ搬送方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3033738B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101863474B1 (ko) | 2013-12-26 | 2018-05-31 | 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤 | 엔드 이펙터 및 기판 반송 로봇 |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2743975A4 (en) * | 2011-08-10 | 2015-06-03 | Kawasaki Heavy Ind Ltd | END EFFECTOR DEVICE AND SUBSTRATE TRANSPORT ROBOT WITH THIS END EFFECTOR DEVICE |
| US20200144086A1 (en) * | 2018-11-07 | 2020-05-07 | Entegris, Inc. | Reticle support for a container |
-
1998
- 1998-07-29 JP JP21457398A patent/JP3033738B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101863474B1 (ko) | 2013-12-26 | 2018-05-31 | 가와사끼 쥬고교 가부시끼 가이샤 | 엔드 이펙터 및 기판 반송 로봇 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000049209A (ja) | 2000-02-18 |
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