JP4512634B2 - 弾性位置決め構造体を有するクリーン容器 - Google Patents
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Description
例としてレチクルボックスを挙げると、その中に収容されたレチクルは、レチクルが搬送され、取り外され、及び格納される時に、レチクルボックス内のレチクルの移動によって引き起こされる摩擦を回避するために、レチクルボックスのベース上に位置決めされなければならない。従来の方法によると、レチクルボックスのベース10は、レチクル14を位置決めするための上表面上に配置されるバッフル11を有し、且つレチクルボックスの上表面12上に形成されたガイドリブ13とこのガイドリブ13上に形成された傾斜平面131を有する。その後、レチクルボックス内のレチクル14は、傾斜平面131を利用して押され、それによって、レチクルがバッフル11を押し付け、それによって、レチクル14を位置決めする。しかしながら、従来技術の傾斜平面131は、弾性を有するようには設計されておらず、それは、直接にレチクル14を押し、それによって、レチクルボックス内のレチクル14が、傾斜平面131によって押されると、レチクル14は、直接且つ強固に破壊、接触、及び摩擦に起因して微粒子と静電電荷が非常に発生しやすく、それによって、レチクル14に対する汚染が引き起こされる。
Claims (24)
- 弾性位置決め構造体を有するクリーン容器であって、
前記クリーン容器は、その上に配置された少なくとも一つの支持要素、少なくとも一つの横方向位置決め要素、及び少なくとも一つの後方位置決め要素を有する上表面を備えるベースと、
上表面と下表面を有する頂部プレートを有し、前記ベースをしっかりと覆うためのカバーと、
前記カバーの下表面に配置され、ボディと後方位置決め要素に対応する前端を有する位置決め部品を備え、前記前端は、横方向に延出する第1の弾性アームと第2の弾性アームとを有し、前記第1の弾性アームと第2の弾性アームの端表面は、夫々下方且つ後方へ面して押し表面を形成する、弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。 - 前記頂部プレートは、更に、前記上表面と下表面を貫通する少なくとも一つの貫通孔を備え、前記位置決め部品は、前記ボディの頂部表面上に貫通孔に対応する少なくとも一つのスタッドを有し、前記頂部プレートは、更に、上表面上にねじ留めされる取り付けプレートを有し、この取り付けプレートは、ボルトを前記頂部プレートの貫通孔に通すことによって位置決め部品上のスタッドへねじ留めされる、請求項1に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記押し表面は、傾斜平面又は湾曲表面である、請求項1に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記第1の弾性アームと第2の弾性アームの端表面は、夫々、前記押し表面の外側に隣接する位置決め表面に形成される、請求項1に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記ベース上の少なくとも一つの位置決め要素は、更に、少なくとも一つの横方向位置決め要素と少なくとも一つの後方位置決め要素を備える、請求項1に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記後方位置決め要素に対応する前記カバー上の位置決め部品の前端は、夫々、横方向へ延出する第1の弾性アームと第2の弾性アームを備える、請求項5に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記後方位置決め要素に対応する位置決め部品の後端は、夫々、横方向へ延出する第3の弾性アームと第4の弾性アームを備え、前記第3の弾性アームと第4の弾性アームは、夫々、その底部に配置されたフランジを有する、請求項6に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記第3の弾性アームと第4の弾性アームは、夫々、それらの上の端表面の外側に位置決め傾斜を備える、請求項7に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記位置決め部品の後端は、更に、少なくとも一つの下方溝を有する少なくとも一つのスナップ留めアームが形成され、前記溝は、前記ベースの後方位置決め要素に対応しており、前記カバーはベースがスナップ留めされた後、これらの溝は、後方位置決め要素がスナップ留めされる、請求項6に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記ベースとカバーは、更に、少なくとも一つのスナップ留め要素を備え、それによって、カバーをベースとしっかりとスナップ留めする、請求項1に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記ベース、カバー、及び位置決め部品は、導電材料で作られる、請求項1に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 弾性位置決め構造体を有するクリーン容器であって、
クリーン容器は、その上に配置された少なくとも一つの支持要素、少なくとも一つの横方向位置決め要素、及び少なくとも一つの後方位置決め要素を有する上表面を備えるベースと、
頂部プレートを有し、前記ベースをしっかりと覆うためのカバーであって、前記頂部プレートは、上表面と下表面を備え、頂部プレートの下表面は、第1の係合要素を有するカバーと、
前記カバーの下表面上に配置され、ボディと後方位置決め要素に対応する前端を有する位置決め部品を備え、前記前端は、夫々、横方向へ延出する第1の弾性アームと第2の弾性アームを備え、前記第1の弾性アームと第2の弾性アームの端表面は、夫々、下方及び後方へ面して押し表面を形成し、前記位置決め部品のボディの頂部表面は、第1の係合要素に対応する第2の係合要素を備え、前記第1の係合要素と第2の係合要素は、係合構造体を形成して、位置決め部品を前記カバーの下表面に埋め込む、弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。 - 前記第1の係合要素は、少なくとも一つの溝であり、第2の係合要素は、この溝に対応するポストである、請求項12に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記第1の係合要素は、少なくとも一つのポストであり、前記第2の係合要素は、このポストに対応する溝である、請求項12に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記頂部プレートの上表面は、更に、その上にねじ留めされる取り付けプレートを有し、この取り付けプレートは、ボルトを前記カバーの上表面の対応するナット穴にねじ留めすることを介して前記カバーへ固定される、請求項12に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記第1の弾性アームと第2の弾性アーム上の押し表面は、傾斜平面又は湾曲表面である、請求項12に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記第1の弾性アームと第2の弾性アームの端表面は、夫々、前記押し表面の外側に隣接する位置決め表面を形成する、請求項12に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記ベース上の前記少なくとも一つの位置決め要素は、更に、少なくとも一つの横方向位置決め要素と少なくとも一つの後方位置決め要素を備える、請求項12に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記後方位置決め要素に対応する前記カバー上の位置決め部品の前端は、夫々、横方向に延出する第1の弾性アームと第2の弾性アームを備える、請求項18に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記後方位置決め要素に対応する前記位置決め部品の後端は、夫々、横方向へ延出する第3の弾性アームと第4の弾性アームを備え、前記第3の弾性アームと第4の弾性アームは、夫々、その底部に配置されるフランジを有する、請求項18に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記第3の弾性アームと第4の弾性アームは、夫々、その端表面の外側上に位置決め傾斜を備える、請求項20に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記位置決め部品の後端は、更に、少なくとも一つの下方溝を有する少なくとも一つのスナップ留めアームが形成され、これらの溝は、前記ベースの後方位置決め要素に対応している、請求項18に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記ベースとカバーは、更に、少なくとも一つのスナップ留め要素を備え、それによって、カバーをベースとしっかりとスナップ留めする、請求項12に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
- 前記ベース、カバー、及び位置決め部品は、導電材料で作られる、請求項12に記載の弾性位置決め構造体を有するクリーン容器。
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