JP4820345B2 - ウェーハのハンドリング方法 - Google Patents
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Description
12…外周部
14…載置部
22…凸部
23…切り欠き部
24…凹部
25…上方傾斜部
26…下方傾斜部
27…下方載置部(第1傾斜面)
31…ウェーハ
40,60…アーム部
41,61…第1アーム
42,62…第2アーム
43,63…第1回転軸
44,64…第2回転軸
45…ウェーハ収納容器保持部
46…挟持部
47…接触部
50…冶具
52…円柱部
54…突出部
55…第2傾斜面
65…ウェーハ保持部
66…挿入アーム部
Claims (2)
- ウェーハの外周縁より外側にあるリング状の外周部と、
上記外周部の最上面よりも低い位置からウェーハの径方向内側に向かって斜め下方に延出する第1傾斜面を有し、その第1傾斜面における上記外周部の最上面よりも低い位置でウェーハの上記外周縁と接触してウェーハを載置する複数の載置部と、
上記外周部の内周側において隣り合う2つの上記載置部の間にあって、上記載置部よりもウェーハの径方向外側であってウェーハの載置高さより下方に切り欠かれた複数の切り欠き部と、
を備えるウェーハ収納容器からウェーハを取り出し、あるいは該ウェーハ収納容器にウェーハを収納するウェーハのハンドリング方法であって、
上記切り欠き部の位置に対応して、上記切り欠き部のウェーハ外周縁より外側からウェーハの径方向内側に向かって斜め下方に傾斜する第2傾斜面を有する先端を備えた突出部を複数有する冶具を上記切り欠き部の下方から挿入することにより、上記第2傾斜面を上記ウェーハ収納容器に収納されたウェーハの上記外周縁に接触させてウェーハを保持し、ウェーハを上記ウェーハ収納容器から上方に浮かせてから取り出すことを特徴とするウェーハのハンドリング方法。 - ウェーハの外周縁より外側にあるリング状の外周部と、
上記外周部の最上面よりも低い位置からウェーハの径方向内側に向かって斜め下方に延出する第1傾斜面を有し、その第1傾斜面における上記外周部の最上面よりも低い位置でウェーハの上記外周縁と接触してウェーハを載置する複数の載置部と、
上記外周部の内周側において隣り合う2つの上記載置部の間にあって、上記載置部よりもウェーハの径方向外側であってウェーハの載置高さより下方に切り欠かれた複数の切り欠き部と、
を備えるウェーハ収納容器からウェーハを取り出し、あるいは該ウェーハ収納容器にウェーハを収納するハンドリング操作を行うウェーハのハンドリング方法であって、
上記切り欠き部の位置に対応して、上記切り欠き部のウェーハ外周縁より外側からウェーハの径方向内側に向かって斜め下方に傾斜する第2傾斜面を有する先端を備えた突出部を複数有する冶具を上記切り欠き部の下方から挿入して上記ウェーハ収納容器をセットし、ウェーハの外周縁を第2傾斜面に載置し、上記ウェーハ収納容器をウェーハの上記外周縁と接触するまで上昇することによりウェーハを上記ウェーハ収納容器に収納することを特徴とするウェーハのハンドリング方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007222252A JP4820345B2 (ja) | 2007-08-29 | 2007-08-29 | ウェーハのハンドリング方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2007222252A JP4820345B2 (ja) | 2007-08-29 | 2007-08-29 | ウェーハのハンドリング方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2009054917A JP2009054917A (ja) | 2009-03-12 |
JP4820345B2 true JP4820345B2 (ja) | 2011-11-24 |
Family
ID=40505708
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2007222252A Expired - Fee Related JP4820345B2 (ja) | 2007-08-29 | 2007-08-29 | ウェーハのハンドリング方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4820345B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104144570A (zh) * | 2013-05-07 | 2014-11-12 | 景硕科技股份有限公司 | 增进烤箱热对流效果的板件载具 |
US20200144086A1 (en) * | 2018-11-07 | 2020-05-07 | Entegris, Inc. | Reticle support for a container |
Family Cites Families (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS58158437A (ja) * | 1982-03-16 | 1983-09-20 | Toshiba Corp | 減音・換気装置 |
JPH04180247A (ja) * | 1990-11-15 | 1992-06-26 | Fujitsu Ltd | 基板装着方法及びcvd装置 |
JP2002319612A (ja) * | 2001-04-20 | 2002-10-31 | Shin Etsu Handotai Co Ltd | ウェーハ搬送装置、気相成長装置およびウェーハ搬送方法 |
JP4751827B2 (ja) * | 2003-07-11 | 2011-08-17 | テック・セム アーゲー | サブストレートを貯蔵又は輸送するための機器及びそれを用いた方法 |
JP4716928B2 (ja) * | 2006-06-07 | 2011-07-06 | 信越ポリマー株式会社 | ウェーハ収納容器 |
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2007
- 2007-08-29 JP JP2007222252A patent/JP4820345B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2009054917A (ja) | 2009-03-12 |
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Date | Code | Title | Description |
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A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20100208 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20110303 |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
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