JP2007329238A - ウェーハ収納容器 - Google Patents

Abstract

【課題】部品点数が増加せず、かつウェーハを傷つけることなく簡易にウェーハを収納する。
【解決手段】ウェーハ３１の外周縁より外側にある外周部１２と、外周部１２の最上面よりも低い位置からウェーハ３１の径方向内側に延出し、ウェーハ３１を外周部１２の最上面よりも低い位置で載置する載置部１４と、を備えるウェーハ収納容器１０であって、載置部１４は、ウェーハ３１の径方向内側に向かって下降すると共に、ウェーハ３１を載置した際にウェーハ３１の外周縁とのみ接触可能な第１の傾斜面２７ａ，２８ａと、その第１の傾斜面２７ａ，２８ａの裏側にあって、ウェーハ３１の径方向内側に向かって上昇すると共に、ウェーハ収納容器１０を複数重ねた際に、下方のウェーハ３１の外周縁とのみ接触可能な第２の傾斜面２７ｂ，２８ｂとを備える。
【選択図】図６

Description

本発明は、ウェーハを収納し、運搬または保管等するためのウェーハ収納容器に関する。

従来からのウェーハ収納容器として、ウェーハの口径に対応する凹状の収容凹部にウェーハを収容し、該ウェーハ収納容器を複数個積み重ねるものが知られている（特許文献１を参照）。

特開２０００−７７５１２号公報（図２〜図６）

しかしながら、特許文献１に開示されているウェーハ収納容器は、ウェーハを収容凹部に単に載置する構成であるため、ウェーハとウェーハ収納容器とが面接触してしまう。このようにウェーハが面接触すると、ウェーハに傷が付いてしまうという問題がある。また、特許文献１に開示されているウェーハ収納容器では、ウェーハに傷がつくのを防止するために、ウェーハと収容凹部との間にクッションシートを配置する方法も提案されている。しかし、このような構成を採用すると、部品点数および作業工程が増加してしまうといった問題がある。

本発明は、かかる問題に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、部品点数が増加せず、かつウェーハに傷をつけることなく簡易に収納できるウェーハ収納容器を提供しようとするものである。

上記課題を解決するために、本発明は、ウェーハの外周縁より外側にある外周部と、外周部の最上面よりも低い位置からウェーハの径方向内側に延出し、ウェーハを外周部の最上面よりも低い位置で載置する載置部と、を備えるウェーハ収納容器であって、載置部は、ウェーハの径方向内側に向かって下降すると共に、ウェーハを載置する際にウェーハの外周縁とのみ接触可能な第１の傾斜面と、その第１の傾斜面の裏側にあって、ウェーハの径方向内側に向かって上昇すると共に、ウェーハ収納容器を複数重ねた際に、下方のウェーハの外周縁とのみ接触可能な第２の傾斜面とを備えているものである。

このように構成した場合には、ウェーハを載置部に載置した状態では、ウェーハの外周縁のみが第１の傾斜面と接触する。すなわち、ウェーハの外周縁が第１の傾斜面と線接触した状態となる。したがって、ウェーハの裏面は載置部と面接触することがなくなり、ウェーハの裏面と載置部との間には隙間が形成される。その結果、ウェーハの裏面に傷がつくのを防止できる。また、ウェーハが収納されたウェーハ収納容器を上下方向に積み重ねた場合、ウェーハは、その外周縁において該ウェーハの上側に積み重ねられたウェーハ収納容器の第２の傾斜面と接触する。そのため、ウェーハの表面も上方に積み重ねられたウェーハ収納容器の載置部と線接触する。したがって、ウェーハの表面は載置部と面接触することがなくなり、ウェーハの表面と載置部との間には隙間が形成される。その結果、ウェーハの表面に傷がつくのを防止できる。

また、他の発明は、上述の発明に加えて更に、外周部は、その上面に、所定の間隔で配置され、上方に突出する凸部を複数備え、第１の傾斜面は、その凸部と、凸部同士の間にある凹部の両方から連接し、ウェーハを載置した際に同じ高さで水平にウェーハを保持可能である。

このように構成した場合には、ウェーハが収納されたウェーハ収納容器を上下方向に積み重ねた場合、積み重ねられたウェーハ収納容器の凸部同士および凹部同士が重なり合う。したがって、ウェーハ収納容器を積み重ねた状態において、ウェーハ収納容器同士がずれたり、ガタつくのを防止できる。また、ウェーハは、第１の傾斜面によって同じ高さで水平に保持されているため、ウェーハ収納容器を積み重ねた場合でも、ウェーハを安定した状態でウェーハ収納容器に収納することができる。また、ウェーハが収納されたウェーハ収納容器を順次積み重ねるといった容易な作業で、複数のウェーハを収納することが可能となる。

さらに、他の発明は、上述の発明に加えて更に、ウェーハ収納容器は、中央が貫通したリング状の形態を有するものである。このように構成した場合には、ウェーハ収納容器に収納されたウェーハが自重によって撓んだ場合、ウェーハが載置部と接触するのを防止できる。また、貫通孔を設けた部分の容積だけウェーハ収納容器の軽量化を図ることが可能となる。

さらに、他の発明は、上述の発明に加えて更に、載置部には、周方向に沿って切り欠かれた複数の切欠溝が設けられているものである。このように構成した場合には、切欠溝に挿入される突起を有する治具を用いて、ウェーハをウェーハ収納容器から取り出すことが可能となる。具体的には、治具の突起をウェーハ収納容器に設けられた切欠溝に挿入させて、ウェーハのみを突起の上に載置させ、かつウェーハ収納容器を切欠溝を介して治具の下方に落とし込むことでウェーハをウェーハ収納容器から取り出すことができる。

また、他の発明は、上述の発明に加えて更に、ウェーハ収納容器には、ウェーハの方向性を表すための印が設けられているものである。このように構成した場合には、ウェーハを一定の方向性を持たせてウェーハ収納容器に収納することが可能となる。

したがって、ウェーハをウェーハ収納容器から取り出す際も、容易に方向性を持たせて取り出すことが可能となる。そのため、作業効率の向上を図ることが可能となる。

本発明によると、部品点数が増加せず、かつウェーハに傷をつけることなく簡易にウェーハを収納できる。また、ウェーハ収納容器同士を任意の数量積み重ねることが可能となり、保管スペースも少なくて済む。

以下、本発明の一実施の形態に係るウェーハ収納容器１０について、図面を参照しながら説明する。

図1は、ウェーハ収納容器１０の斜視図である。図２は、ウェーハ収納容器１０の平面図である。図３は、図２中おけるウェーハ収納容器１０を矢示Ａ方向から見た正面図である。図４は、図２中におけるウェーハ収納容器１０を矢示Ｂ方向から見た正面図である。なお、以下の説明において、図１、図３、図４、図６〜図８に示す矢示Ｚ１方向を上方および矢示Ｚ２方向を下方とそれぞれ規定する。

図１および図２に示すように、ウェーハ収納容器１０は、平面において略リング状の形態を有している。また、ウェーハ収納容器１０は、その外周側に設けられるリング状の円周部１２と、円周部１２の内側に設けられている載置部１４とを有している。ウェーハ収納容器１０の素材としては、ポリフェニレンサルファイド（ＰＰＳ）樹脂、ポリカーボネート（ＰＣ）、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）、ポリエーテルサルフォン（ＰＥＳ）若しくはポリエーテルイミド（ＰＥＩ）等のエンジニアリングプラスチックが挙げられるが、これらに限定されるものではなく、これらの樹脂にガラスファイバーを添加したり、カーボンファイバーや導電樹脂等による導電性を付与したものでも良い。例えば、ウェーハの外径を４５０ｍｍとすると、ウェーハ収納容器１０の径方向の外寸は、５００〜５５０ｍｍの範囲が好適であるが、ウェーハ収納容器１０に載置されるウェーハの外径に対応して適宜変更することができる。また、ウェーハ収納容器１０は、射出成形によって製造するのが好ましいが、この製造方法に限定されるものではない。

円周部１２は、リング状の平板を周方向に沿って凹凸が交互に４回ずつ繰り返すような形態を有している。具体的には、円周部１２は、上方側に突出する略円弧状の凸部２２と、凸部２２同士を接続すると共に、凸部２２より下方側にある下板部１８とから構成されている。凸部２２の円周方向両端は、下板部１８に連接するテーパ部２０，２０となっている。以下、凸部２２におけるテーパ部２０，２０を除いた平板状の部分を上板部１６といい、下板部１８とその両端にあるテーパ部２０，２０をまとめて指す際には、凹部２４という。円周部１２の径方向の長さは、２０〜３０ｍｍの範囲であるのが好ましいが、この範囲に限定されるものではない。

図３および図４に示すように、上板部１６の高さ方向の位置と下板部１８の高さ方向の位置との間には、載置部１４が設けられている。図１および図２に示すように、載置部１４は、主に各凸部２２の径方向内側に設けられており、その両側の端部１４ａ，１４ａは、凸部２２の両側に隣接する凹部２４まで至る。載置部１４は、上方から見て略円弧状の形態を有する。載置部１４は、各凸部２２の内側に設けられており、周方向に向かって隣接する載置部１４の間には、略円弧状に切り欠かれた切欠溝２３を有する。載置部１４の中央部における外周部１４ｂと上板部１６の内周部１６ａとの間には、載置部１４と上板部１６とを連接するテーパ状の上方傾斜部２５が設けられている。上述したように、載置部１４は上板部１６の高さ方向の位置と下板部１８の高さ方向の位置との間に設けられているため、上方傾斜部２５は、外周部１４ｂから内周部１６ａに向かって斜め上方に傾斜している。また、載置部１４の端部１４ａ，１４ａにおける外周部１４ｃ，１４ｃと凸部２２の両側に位置する下板部１８の内周部１８ａ，１８ａとの間には、載置部１４と下板部１８とを連接するテーパ状の下方傾斜部２６，２６が設けられている。下方傾斜部２６，２６は、外周部１４ｃ，１４ｃから内周部１８ａ，１８ａに向かって斜め下方に傾斜している。以下、載置部１４において上方傾斜部２５の内側に相当する部分を下方載置部２７といい、載置部１４において下方傾斜部２６の内側に相当する部分を上方載置部２８という。

ウェーハ収納容器１０において、切欠溝２３が設けられている区間には、下板部１８の内周からウェーハ収納容器１０の中心方向であり、かつ斜め上方に向かってテーパ状の延出部２９が延出している。テーパ部２０と載置部１４との間の部分であり、かつ上方傾斜部２５と下方傾斜部２６との間の部分には、ウェーハ収納容器１０を連通するような連通孔３０が形成されている。上板部１６、下板部１８、テーパ部２０、上方傾斜部２５、下方傾斜部２６および延出部２９の厚みは、それぞれ２〜４ｍｍであるのが好ましいが、これらに限定されるものではない。

図５は、ウェーハ収納容器１０にウェーハ３１を収納し、上下方向に積み重ねる工程を説明するための図である。

図５に示すように、ウェーハ３１は、ウェーハ収納容器１０の載置部１４に載置される。ウェーハ３１は、直径３００〜４５０ｍｍ程度の円盤状の形態を有している。ウェーハ収納容器１０は、運搬時若しくは保管時には、それぞれウェーハ３１を収納した状態で複数個積み重ね、使用される。ウェーハ収納容器１０は、凸部２２同士および凹部２４同士が、それぞれ両端に設けられるテーパ部２０によって位置あわせされて、他のウェーハ収納容器１０の上に積み重ねられる。ウェーハ収納容器１０が積み重ねられた状態では、各ウェーハ収納容器１０の凸部２２同士および凹部２４同士がそれぞれ合わさるため、ウェーハ収納容器１０同士がずれたり、ガタつくことはない。

図６は、図５におけるＣ−Ｃ線で切断した断面図である。図７は、図６における断面図の一部を拡大した図であり、（ａ）は、図６において一点鎖線で囲った部分Ｄの拡大図であり、（ｂ）は、図６において一点鎖線で囲った部分Ｅの拡大図である。図８は、ウェーハ３１が収納されたウェーハ収納容器１０を積み重ねた状態におけるウェーハ３１の状態を説明するための図であり、（ａ）は、下方載置部２７に載置されたウェーハ３１の状態を説明するための図であり、（ｂ）は、上方載置部２８に載置されたウェーハ３１の状態を説明するための図である。

図６および図７に示すように、ウェーハ収納容器１０にそれぞれウェーハ３１を収納し複数個積み重ねた状態では、ウェーハ３１の外周部３１ａは、載置部１４によって狭持されている。図７（ａ），（ｂ）に示すように、載置部１４の断面形状は、ウェーハ収納容器１０における外側から内側に向かって徐々に先細りになるような形状を有している。

図７（ａ）に示すように、ウェーハ３１において下方載置部２７に載置された部分は、該ウェーハ３１が収納されたウェーハ収納容器１０の下方載置部２７とその上方に積み重ねられたウェーハ収納容器１０の下方載置部２７とによって狭持されている。上述したように、載置部１４の断面は、外側から内側に向かって徐々に先細りとなる形状を有している。そのため、図８（ａ）に示すように、下方載置部２７は、その表側の面でありウェーハ３１の径方向内側に向かって下方に傾斜する第１の傾斜面２７ａと、その裏側の面でありウェーハ３１の径方向内側に向かって上方に傾斜する第２の傾斜面２７ｂとを有する。一方、ウェーハ３１の外周の断面形状は略円弧状となっている。したがって、ウェーハ３１が下方載置部２７によって狭持された状態では、ウェーハ３１の外周部３１ａの下側の接点部３１ｂのみが、収納されているウェーハ収納容器１０における下方載置部２７の第１の傾斜面２７ａと接触する。また、ウェーハ３１の外周部３１ａの上側の接点部３１ｃのみが、上方に積み重ねられているウェーハ収納容器１０における下方載置部２７の第２の傾斜面２７ｂと接触している。すなわち、ウェーハ３１と下方載置部２７との間には隙間Ｇを有する状態となっている。したがって、ウェーハ３１の上面３１ｄおよび下面３１ｅは下方載置部２７と面接触しない。また、ウェーハ３１が収納されたウェーハ収納容器１０を積み重ねた状態では、ウェーハ３１は、積み重ねられたウェーハ収納容器１０の自重によって下方に向かって押圧されている。しかし、ウェーハ３１は接点部３１ｂおよび接点部３１ｃにおいて第１の傾斜面２７ａおよび第２の傾斜面２７ｂとそれぞれ線接触している。その結果、ウェーハ３１がウェーハ収納容器１０に対してガタつくことがない。なお、上方傾斜部２５が下方載置部２７の延出方向に対して形成する角度αは、３５〜５５度の範囲が好ましいが、ウェーハ収納容器１０の外形寸法に応じて適宜変更することができる。また、具体的には、図８（ａ）に示すように、ウェーハ収納容器１０が積み重ねられた状態では、上に積み重ねられたウェーハ収納容器１０における上方傾斜部２５の外側面２５ｂと、その下のウェーハ収納容器１０における上方傾斜部１０の内側面２５ａとが密着して接触する。そのため、ウェーハ収納容器１０同士のガタつきを防止できる。

一方、図７（ｂ）に示すように、ウェーハ３１において上方載置部２８に載置された部分は、該ウェーハ３１が収納されたウェーハ収納容器１０の上方載置部２８とその上方に積み重ねられたウェーハ収納容器１０の上方載置部２８とによって狭持されている。図８（ｂ）に示すように、上方載置部２８は、その表側の面でありウェーハ３１の径方向内側に向かって下方に傾斜する第１の傾斜面２８ａと、その裏側の面でありウェーハ３１の径方向内側に向かって上方に傾斜する第２の傾斜面２８ｂとを有する。一方、ウェーハ３１の外周の断面形状は略円弧状となっている。したがって、ウェーハ３１が上方載置部２８によって狭持された状態では、ウェーハ３１の外周部３１ａの下側の接点部３１ｂのみが、収納されているウェーハ収納容器１０における上方載置部２８の第１の傾斜面２８ａと接触する。また、ウェーハ３１の外周部３１ａの上側の接点部３１ｃのみが、上方に積み重ねられているウェーハ収納容器１０における上方載置部２８の第２の傾斜面２８ｂと接触している。すなわち、ウェーハ３１と上方載置部２８との間には隙間Ｈを有する状態となっている。したがって、ウェーハ３１の上面３１ｄおよび下面３１ｅは上方載置部２８と面接触しない。また、ウェーハ３１が収納されたウェーハ収納容器１０を積み重ねた状態では、ウェーハ３１は積み重ねられたウェーハ収納容器１０の自重によって下方に向かって押圧される。しかし、ウェーハ３１は接点部３１ｂおよび３１ｃにおいて第１の傾斜面２８ａおよび第２の傾斜面２８ｂとそれぞれ線接触している。その結果、ウェーハ３１がウェーハ収納容器１０に対してガタつくことがない。なお、下方傾斜部２６が上方載置部２８の延出方向に対して形成する角度βは、３５〜５５度の範囲が好ましいが、ウェーハ収納容器１０の外形寸法に応じて適宜変更することができる。また、具体的には、図８（ｂ）に示すように、ウェーハ収納容器１０が積み重ねられた状態では、上に積み重ねられたウェーハ収納容器１０における下方傾斜部２６の外側面２６ｂと、その下のウェーハ収納容器１０における下方傾斜部１０の内側面２６ａとが密着して接触する。そのため、ウェーハ収納容器１０同士のガタつきを防止できる。

図９は、ウェーハ収納容器１０の構成を示す斜視図であり、（ａ）は、ウェーハ収納容器１０にタブ３２を設けた場合の構成を示す斜視図であり、（ｂ）は、ウェーハ収納容器１０にノッチ３３を設けた場合の構成を示す斜視図である。

ウェーハ３１には、一般的にウェーハ３１の結晶の方向性を示すためのノッチやオリエンテーションフラットが設けられている。そのため、図９に示すように、ウェーハ収納容器１０における上板部１６の表面には、ウェーハ３１を一定の方向性を持たせて載置するための目印となるタブ３２、ノッチ３３あるいは貫通孔（不図示）を設けることができる。また、ウェーハ収納容器１０の内部にウェーハ３１の情報が内蔵されたＩＣチップを組み込んだり、ウェーハ収納容器１０の表面にウェーハ３１の情報が記載されたバーコードを印刷したりすることで、ウェーハ収納容器１０からその内部に収納されているウェーハ３１の情報を読み取れるようにしても良い。

図１０は、ウェーハ３１をウェーハ収納容器１０から取り出す方法を説明するための図であり、（ａ）は、ウェーハ３１をウェーハ収納容器１０から取り出す際に用いられる治具４０の構成を示す斜視図であり、（ｂ）は、ウェーハ収納容器１０からウェーハ３１を取り出す工程を説明するための図であり、（ｃ）は、治具４０により、ウェーハ３１がウェーハ収納容器１０から取り出された状態を示す図である。

積み重ねられたウェーハ収納容器１０は、輸送用のケースに納められた後、目的地に輸送される。ウェーハ収納容器１０が目的地に輸送されると、該ウェーハ収納容器１０からウェーハ３１が取り出される。一般的に、ウェーハ収納容器１０からウェーハ３１を取り出すためには、機械や治具等が用いられる。本実施の形態では、ウェーハ３１の取り出しの際、図１０（ａ）に示す治具４０が用いられる。図１０（ａ）に示すように、治具４０は、円盤状の底板部４２と、該円板部４２の外縁から上方に立設される４つの突起部４４とを有する。突起部４４は、円板部４２の外縁において周方向に向かって９０度おきに設けられている。突起部４４を水平に切断した際の断面形状は、略円弧形状である。また、突起部４４は、ウェーハ収納容器１０に設けられる切欠溝２３の位置および形状と対応するように設けられている。治具４０は、地面や基台の上に据え置きにするようにしても良いし、ロボットアーム等の機器の上に取り付けるようにしても良い。

積み重ねられたウェーハ収納容器１０からウェーハ収納容器１０が１つずつ取り出され、該ウェーハ収納容器１０からウェーハ３１が取り出される。図１０（ｂ）に示すように、取り出されたウェーハ収納容器１０は、所定の位置に取り付けられた治具４０の上方に配置される（配置工程）。その際、ウェーハ収納容器１０に設けられた切欠溝２３の位置が突起部４４の位置と対応するように配置させる。そして、ウェーハ３１が収納されたウェーハ収納容器１０を治具４０に向けて降下させていく。すると、突起部４４が切欠溝２３に挿入される。切欠溝２３に挿入された突起部４４は、ウェーハ収納容器１０に収納されたウェーハ３１に当接し、ウェーハ３１のみが突起部４４の上方に残り、ウェーハ収納容器１０は、切欠溝２３を介して治具４０の底板部４２に向けて落ちる（降下工程）。以上のようにしてウェーハ３１を突起部４４の上面に載置させた（ウェーハ収納容器１０から取り出した）後（図１０（ｃ）参照）、突起部４４上からウェーハ３１を所望の場所に移動させる（移動工程）。ウェーハ３１が突起部４４の上面に載置された状態では、ウェーハ３１をロボット等によって下方から容易にすくい上げることが可能となる。また、ロボットアーム等を突起部４４の外側から該ウェーハ３１の外縁部下方に配置させ、該ロボットアームを上昇させることによって、ウェーハ３１を突起部４４上から移動させることも可能である。上述の配置工程、降下工程および移動工程はロボット等の機械によって行うのが好ましいが、特に限定されることはなく、人が行うようにしても差しつかえない。ロボット等が配置工程および降下工程を行う場合、ロボット等によって、ウェーハ収納容器１０の凸部２２の表面を吸着させて、ウェーハ収納容器１０を移動させるのが好ましい。しかし、この方法に特に限定されるものではない。

以上のように構成されたウェーハ収納容器１０を積み重ねた状態では、ウェーハ３１の接点部３１ｂは、第１の傾斜面２７ａおよび第１の傾斜面２８ａの双方と線接触している。そのため、ウェーハ３１の下面３１ｅが下方載置部２７および上方載置部２８のそれぞれと面接触しない。さらに、ウェーハ３１の接点部３１ｃは、第２の傾斜面２７ｂおよび第２の傾斜面２８ｂの双方と線接触している。そのため、ウェーハ３１の上面３１ｄが下方載置部２７および上方載置部２８のそれぞれと面接触しない。すなわち、ウェーハ３１の上面３１ｄと下方載置部２７および上方載置部２８のそれぞれとの間には、隙間Ｇが形成されると共に、下面３１ｅと下方載置部２７および上方載置部２８のそれぞれとの間には、隙間Ｈが形成される。その結果、ウェーハ３１の表面に傷がつくのを防止できる。

また、ウェーハ３１が収納されたウェーハ収納容器１０を積み重ねた状態では、ウェーハ３１は、下方載置部２７，２７および上方載置部２８，２８との間にそれぞれ隙間Ｇおよび隙間Ｈを有した状態で、載置部１４によって狭持される。すなわち、ウェーハ３１の接点部３１ｂおよび接点部３１ｃのそれぞれは、下方載置部２７および上方載置部２８のそれぞれと線接触した状態となる。したがって、ウェーハ収納容器１０を積み重ねることによって、ウェーハ３１をウェーハ収納容器１０の内部にてガタつくことなく収納することが可能となる。また、ウェーハ３１が収納されたウェーハ収納容器１０を順次積み重ねるといった容易な作業で、複数のウェーハ１０を収納することが可能となるため、収納作業の効率を向上させることが可能となる。

また、ウェーハ収納容器１０は、凸部２２および凹部２４のそれぞれが合わさるように他のウェーハ収納容器１０の上に積み重ねられる。したがって、ウェーハ収納容器１０が積み重ねられた状態では、各ウェーハ収納容器１０の凸部２２同士および凹部２４同士がそれぞれ嵌まり合っている。したがって、ウェーハ収納容器１０を積み重ねた状態において、ウェーハ収納容器１０同士がずれたり、ガタつくのを防止できる。

また、ウェーハ収納容器１０は、中央に貫通孔を有するリング状の形態を有している。そのため、ウェーハ３１が自重によって撓んだ場合、ウェーハ３１が載置部１４と接触するのを防止できる。また、中央が開口しているため、その開口部の容積だけウェーハ収納容器１０の軽量化を図ることが可能となる。

また、ウェーハ収納容器１０には、切欠溝２３が設けられている。そのため、治具４０の突起部４４を切欠溝２３に挿入することで、ウェーハ収納容器１０を切欠溝２３を介して治具４０の下方に落とし込み、ウェーハ３１のみを突起の上に残すことができる。その結果、ウェーハ３１をウェーハ収納容器１０から容易に取り出すことが可能となる。

また、ウェーハ収納容器１０には、ウェーハ３１の方向性を表すための目印となるタブ３２、ノッチ３３あるいは貫通孔（不図示）を設けることができる。そのため、ウェーハの収納容器１０に方向性を持たせたり、ウェーハ３１を一定の方向性を持たせてウェーハ収納容器１０に収納することが可能となる。また、タブ３２やノッチ３３をそれぞれ複数個設けてウェーハ収納容器１０を位置決めする際に使用することもできる。したがって、装置等によってウェーハ３１をウェーハ収納容器１０から取り出す際も、容易にウェーハ３１に方向性を持たせることが可能となる。そのため、作業効率を向上させることが可能となる。

以上、本発明の一実施の形態について説明したが、本発明は上述の形態に限定されることなく、種々変形した形態にて実施可能である。

上述の実施の形態では、ウェーハ収納容器１０は、中央に貫通孔を有する円形のリング状の形態を有しているが、これに限定されるものではなく、中央に開口部を有しない形態としても良い。また、ウェーハ収納容器１０の外形は、円形のリング形状に限定されるものではなく、六角形、八角形または楕円形等の他の形態を有するリング形状としても良い。

また、上述の実施の形態では、凸部２２および凹部２４はそれぞれ４つずつ設けられているが、これに限定されることはなく、凸部２２および凹部２４の個数をそれぞれ３つ以下としても良いし、５つ以上としても良い。

また、上述の実施の形態では、治具４０には、４個の突起部４４が設けられているが、これに限定されることなく、３つ以下としても良いし、５つ以上としても良い。この場合、切欠溝２３の形態を突起部４４の個数と対応させることが必要となる。

また、上述の実施の形態では、テーパ部２０と載置部１４との間の部分であり、かつ上方傾斜部２５と下方傾斜部２６との間の部分には、連通孔３０が設けられているが、連通孔３０を設けないようにしても良い。

本発明は、ウェーハを輸送するための収納容器を製造あるいは使用する産業において利用することができる。

本発明の一実施の形態に係るウェーハ収納容器の斜視図である。 本発明の一実施の形態に係るウェーハ収納容器の平面図である。 図２中おけるウェーハ収納容器を矢示Ａ方向から見た正面図である。 図２中におけるウェーハ収納容器を矢示Ｂ方向から見た正面図である。 本発明の一実施の形態に係るウェーハ収納容器にウェーハを収容し、上下方向に積み重ねる工程を説明するための図である。 図５におけるＣ−Ｃ線で切断した断面図である。 図６における断面図の一部を拡大した図であり、（ａ）は、図６において一点鎖線で囲った部分Ｄの拡大図であり、（ｂ）は、図６において一点鎖線で囲った部分Ｅの拡大図である。 ウェーハが収納されたウェーハ収納容器を積み重ねた状態におけるウェーハの状態を説明するための図であり、（ａ）は、下方載置部に載置されたウェーハの状態を説明するための図であり、（ｂ）は、上方載置部に載置されたウェーハの状態を説明するための図である。 本発明の一実施の形態に係るウェーハ収納容器の構成を示す斜視図であり、（ａ）は、ウェーハ収納容器にタブを設けた場合の構成を示す斜視図であり、（ｂ）は、ウェーハ収納容器にノッチを設けた場合の構成を示す斜視図である。 ウェーハをウェーハ収納容器から取り出す方法を説明するための図であり、（ａ）は、ウェーハをウェーハ収納容器から取り出す際に用いられる治具の構成を示す斜視図であり、（ｂ）は、ウェーハ収納容器からウェーハを取り出す工程を説明するための図であり、（ｃ）は、治具によりウェーハがウェーハ収納容器から取り出された状態を示す図である。

符号の説明

１０…ウェーハ収納容器
１２…円周部（外周部に相当）
１４…載置部
２２…凸部
２３…切欠溝
２４…凹部
２５…上方傾斜部
２６…下方傾斜部
２７ａ…第１の傾斜面
２７ｂ…第２の傾斜面
２８ａ…第１の傾斜面
２８ｂ…第２の傾斜面
３１…ウェーハ

Claims (5)

1. ウェーハの外周縁より外側にある外周部と、
   上記外周部の最上面よりも低い位置からウェーハの径方向内側に延出し、ウェーハを上記外周部の最上面よりも低い位置で載置する載置部と、
   を備えるウェーハ収納容器であって、
   上記載置部は、ウェーハの径方向内側に向かって下降すると共に、ウェーハを載置した際にウェーハの外周縁とのみ接触可能な第１の傾斜面と、その第１の傾斜面の裏側にあって、ウェーハの径方向内側に向かって上昇すると共に、ウェーハ収納容器を複数重ねた際に、下方のウェーハの外周縁とのみ接触可能な第２の傾斜面とを備えることを特徴とするウェーハ収納容器。
2. 前記外周部は、その上面に、所定の間隔で配置され、上方に突出する凸部を複数備え、前記第１の傾斜面は、その凸部と、凸部同士の間にある凹部の両方から連接し、ウェーハを載置した際に同じ高さで水平にウェーハを保持可能であることを特徴とする請求項１記載のウェーハ収納容器。
3. 前記ウェーハ収納容器は、中央が貫通したリング状の形態を有することを特徴とする請求項１または２記載のウェーハ収納容器。
4. 前記載置部には、周方向に沿って切り欠かれた複数の切欠溝が設けられていることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項記載のウェーハ収納容器。
5. 前記ウェーハ収納容器には、前記ウェーハの方向性を表すための印が設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれか１項記載のウェーハ収納容器。

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