KR101033358B1 - 웨이퍼 수납 용기 - Google Patents

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KR101033358B1
KR101033358B1 KR1020070052156A KR20070052156A KR101033358B1 KR 101033358 B1 KR101033358 B1 KR 101033358B1 KR 1020070052156 A KR1020070052156 A KR 1020070052156A KR 20070052156 A KR20070052156 A KR 20070052156A KR 101033358 B1 KR101033358 B1 KR 101033358B1
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토시츠구 야지마
토시유키 카마다
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신에츠 폴리머 가부시키가이샤
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Abstract

본 발명은 부품수를 증가시키지 않고, 또한 웨이퍼를 손상시키는 일 없이 간편하게 웨이퍼를 수납하는 것을 과제로 한다. 본 발명은 웨이퍼(31)의 외주연보다 외측에 있는 외주부(12)와, 외주부(12)의 최상면보다도 낮은 위치로부터 웨이퍼(31)의 직경 방향 내측으로 연장되고, 웨이퍼(31)를 외주부(12)의 최상면보다도 낮은 위치에서 적재하는 적재부(14)를 구비하는 웨이퍼 수납 용기(10)로서, 적재부(14)는 웨이퍼(31)의 직경 방향 내측을 향해 하강함과 아울러, 웨이퍼(31)를 적재했을 때에 웨이퍼(31)의 외주연과만 접촉 가능한 제1의 경사면(27a, 28a)과, 그 제1의 경사면(27a, 28a)의 속측에 있고, 웨이퍼(31)의 직경 방향 내측을 향해 상승함과 아울러, 웨이퍼 수납 용기(10)를 복수 겹쳤을 때에, 하방의 웨이퍼(31)의 외주연과만 접촉 가능한 제2의 경사면(27b, 28b)을 구비한다.
Figure R1020070052156
웨이퍼, 수납, 용기, 적재부, 외주연, 외주부

Description

웨이퍼 수납 용기{CONTAINER FOR RECEIVING A WAFER}
도 1은 본 발명의 일 실시의 형태에 관계되는 웨이퍼(wafer) 수납 용기의 사시도이다.
　 도 2는 본 발명의 일 실시의 형태에 관계되는 웨이퍼 수납 용기의 평면도이다.
도 3은 도 2 중에 있어서의 웨이퍼 수납 용기를 화살표 A 방향으로부터 본 정면도이다.
도 4는 도 2 중에 있어서의 웨이퍼 수납 용기를 화살표 B 방향으로부터 본 정면도이다.
도 5는 본 발명의 일 실시의 형태에 관계되는 웨이퍼 수납 용기에 웨이퍼를 수용하고, 상하 방향으로 겹쳐 쌓는 공정을 설명하기 위한 도이다.
도 6은 도 5에 있어서의 C－C선으로 절단한 단면도이다.
도 7은 도 6에 있어서의 단면도의 일부를 확대한 도이고, (a)는 도 6에 있어서 일점쇄선으로 둘러싸인 부분(D)의 확대도이고, (b)는 도 6에 있어서 일점쇄선으로 둘러싸인 부분(E)의 확대도이다.
도 8은 웨이퍼가 수납된 웨이퍼 수납 용기를 겹쳐 쌓은 상태에 있어서의 웨이퍼의 상태를 설명하기 위한 도이고, (a)는 하방 적재부에 적재된 웨이퍼의 상태 를 설명하기 위한 도이고, (b)는 상방 적재부에 적재된 웨이퍼의 상태를 설명하기 위한 도이다.
　 도 9는 본 발명의 일 실시의 형태에 관계되는 웨이퍼 수납 용기의 구성을 나타내는 사시도이고, (a)는 웨이퍼 수납 용기에 탭(tab)을 설치한 경우의 구성을 나타내는 사시도이고, (b)는 웨이퍼 수납 용기에 노치(notch)를 설치한 경우의 구성을 나타내는 사시도이다.
도 10은 웨이퍼를 웨이퍼 수납 용기로부터 꺼내는 방법을 설명하기 위한 도이고, (a)는 웨이퍼를 웨이퍼 수납 용기로부터 꺼낼 때에 이용되는 지그(jig)의 구성을 나타내는 사시도이고, (b)는 웨이퍼 수납 용기로부터 웨이퍼를 꺼내는 공정을 설명하기 위한 도이고, (c)는 지그에 의해 웨이퍼가 웨이퍼 수납 용기로부터 꺼내어진 상태를 나타내는 도이다.
<부호의 설명>
　 10...웨이퍼(wafer) 수납 용기
12...원주부(외주부에 상당)
　 14...적재부
　 22...볼록부
　 23...절결홈(切缺 groove)
　 24...오목부
　 25...상방 경사부
　 26...하방 경사부
　 27a...제1의 경사면
　 27b...제2의 경사면
　 28a...제1의 경사면
　 28b...제2의 경사면
　 31...웨이퍼(wafer)
특허문헌 1:　일본 특허공개 2000－77512호 공보(도 2∼도 6)
본 발명은 웨이퍼(wafer)를 수납하고 운반 또는 보관 등을 하기 위한 웨이퍼 수납 용기에 관한 것이다.
종래부터의 웨이퍼 수납 용기로서, 웨이퍼의 구경에 대응하는 오목 형상의 수용 오목부에 웨이퍼를 수용하고, 당해 웨이퍼 수납 용기를 복수개 겹쳐 쌓는 것이 알려져 있다(특허문헌 1을 참조).
그렇지만, 특허문헌 1에 개시되어 있는 웨이퍼 수납 용기는 웨이퍼와 수용 오목부에 단지 적재하는 구성이기 때문에, 웨이퍼와 웨이퍼 수납 용기가 면접촉해 버린다. 이와 같이 웨이퍼가 면접촉하면 웨이퍼에 손상이 생겨 버린다고 하는 문제가 있다. 또, 특허문헌 1에 개시되어 있는 웨이퍼 수납 용기에서는, 웨이퍼에 손상 이 생기는 것을 방지하기 위해서, 웨이퍼와 수용 오목부의 사이에 쿠션 시트를 배치하는 방법도 제안되어 있다. 그러나, 이러한 구성을 채용하면 부품수 및 작업 공정이 증가해 버린다고 하는 문제가 있다.
본 발명은 이러한 문제를 감안하여 이루어진 것이고, 그 목적으로 하는 바는 부품수를 증가시키지 않고, 또한 웨이퍼에 손상을 일으키는 일 없이 간편하게 수납할 수 있는 웨이퍼 수납 용기를 제공하려고 하는 것이다.
상기 과제를 해결하기 위해서, 본 발명은 웨이퍼(wafer)의 외주연(外周緣)보다 외측에 있는 외주부(外周部)와, 외주부의 최상면보다도 낮은 위치로부터 웨이퍼의 직경 방향 내측으로 연장되고, 웨이퍼를 외주부의 최상면보다도 낮은 위치에서 적재하는 적재부를 구비하는 웨이퍼 수납 용기로서, 적재부는 웨이퍼의 직경 방향 내측을 향해 하강함과 아울러, 웨이퍼를 적재할 때에 웨이퍼의 외주연과만 접촉 가능한 제1의 경사면과, 그 제1의 경사면의 속측에 있고, 웨이퍼의 직경 방향 내측을 향해 상승함과 아울러, 웨이퍼 수납 용기를 복수 겹쳤을 때에, 하방의 웨이퍼의 외주연과만 접촉 가능한 제2의 경사면을 구비하고 있는 것이다.
이와 같이 구성한 경우에는, 웨이퍼를 적재부에 적재한 상태에서는 웨이퍼의 외주연만이 제1의 경사면과 접촉한다. 즉, 웨이퍼의 외주연이 제1의 경사면과 선접촉(線接觸)한 상태로 된다. 따라서, 웨이퍼의 이면은 적재부와 면접촉(面接觸)하는 일이 없게 되고, 웨이퍼의 이면과 적재부의 사이에는 간극이 형성된다. 그 결과, 웨이퍼의 이면에 손상이 생기는 것을 방지할 수 있다. 또, 웨이퍼가 수납된 웨이퍼 수납 용기를 상하 방향으로 겹쳐 쌓은 경우, 웨이퍼는 그 외주연에 있어서 당해 웨이퍼의 상측에 겹쳐 쌓여진 웨이퍼 수납 용기의 제2의 경사면과 접촉한다. 그 때문에, 웨이퍼의 표면도 상방에 겹쳐 쌓여진 웨이퍼 수납 용기의 적재부와 선접촉한다. 따라서, 웨이퍼의 표면은 적재부와 면접촉하는 일이 없게 되고, 웨이퍼의 표면과 적재부의 사이에는 간극이 형성된다. 그 결과, 웨이퍼의 표면에 손상이 생기는 것을 방지할 수 있다.
또, 다른 발명은 상술한 발명에 더하여 또한, 외주부는, 그 상면에, 소정의 간격으로 배치되고 상방으로 돌출하는 볼록부를 복수 구비하고, 제1의 경사면은, 그 볼록부와, 볼록부끼리의 사이에 있는 오목부의 양방으로부터 연접(連接)하고, 웨이퍼를 적재했을 때에 동일 높이로 수평으로 웨이퍼를 유지 가능하다.
　　　이와 같이 구성한 경우에는, 웨이퍼가 수납된 웨이퍼 수납 용기를 상하 방향으로 겹쳐 쌓은 경우, 겹쳐 쌓여진 웨이퍼 수납 용기의 볼록부끼리 및 오목부끼리가 서로 겹쳐진다. 따라서, 웨이퍼 수납 용기를 겹쳐 쌓은 상태에 있어서, 웨이퍼 수납 용기끼리가 어긋나거나 덜거덕거리는 것을 방지할 수 있다. 또, 웨이퍼는 제1의 경사면에 의해 동일 높이로 수평으로 유지되어 있기 때문에, 웨이퍼 수납 용기를 겹쳐 쌓은 경우에서도 웨이퍼를 안정한 상태로 웨이퍼 수납 용기에 수납할 수가 있다. 또, 웨이퍼가 수납된 웨이퍼 수납 용기를 순차 겹쳐 쌓는다고 하는 용이한 작업으로 복수의 웨이퍼를 수납하는 것이 가능하게 된다.
　　　또한, 다른 발명은 상술한 발명에 더하여 또한, 웨이퍼 수납 용기는 중앙이 관통된 링(ring) 형상의 형태를 가지는 것이다. 이와 같이 구성한 경우에는, 웨이 퍼 수납 용기에 수납된 웨이퍼가 자중(自重)에 의해 휜 경우 웨이퍼가 적재부와 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 또, 관통공을 설치한 부분의 용적만큼 웨이퍼 수납 용기의 경량화를 도모하는 것이 가능하게 된다.
　　　또한, 다른 발명은 상술한 발명에 더하여 또한, 적재부에는 둘레 방향을 따라 절결(切缺)된 복수의 절결홈(切缺 groove)이 설치되어 있는 것이다. 이와 같이 구성한 경우에는, 절결홈에 삽입되는 돌기를 가지는 지그(jig)를 이용하여, 웨이퍼를 웨이퍼 수납 용기로부터 꺼내는 것이 가능하게 된다. 구체적으로는, 지그의 돌기를 웨이퍼 수납 용기에 설치된 절결홈에 삽입시켜 웨이퍼만을 돌기 위에 적재시키고, 또한 웨이퍼 수납 용기를 절결홈을 개재하여 지그의 하방으로 떨어뜨림으로써 웨이퍼를 웨이퍼 수납 용기로부터 꺼낼 수가 있다.
　　　또, 다른 발명은 상술한 발명에 더하여 또한, 웨이퍼 수납 용기에는 웨이퍼의 방향성을 나타내기 위한 표시가 설치되어 있는 것이다. 이와 같이 구성한 경우에는 웨이퍼를 일정한 방향성을 가지게 하여 웨이퍼 수납 용기에 수납하는 것이 가능하게 된다.
　　　따라서, 웨이퍼를 웨이퍼 수납 용기로부터 꺼낼 때도 용이하게 방향성을 가지게 하여 꺼내는 것이 가능하게 된다. 그 때문에, 작업 효율의 향상을 도모하는 것이 가능하게 된다.
이하, 본 발명의 일 실시의 형태에 관계되는 웨이퍼 수납 용기(10)에 대해서 도면을 참조하면서 설명한다.
도 1은 웨이퍼 수납 용기(10)의 사시도이다. 도 2는 웨이퍼 수납 용기(10)의 평면도이다. 도 3은 도 2 중에 있어서의 웨이퍼 수납 용기(10)를 화살표 A 방향으로부터 본 정면도이다. 도 4는 도 2 중에 있어서의 웨이퍼 수납 용기(10)를 화살표 B 방향으로부터 본 정면도이다. 또한, 이하의 설명에 있어서, 도 1, 도 3, 도 4, 도 6∼도 8에 나타내는 화살표 Z1 방향을 상방, 그리고 화살표 Z2 방향을 하방으로 각각 규정한다.
　　　도 1 및 도 2에 나타내듯이, 웨이퍼(wafer) 수납 용기(10)는 평면에 있어서 대략 링(ring) 형상의 형태를 가지고 있다. 또, 웨이퍼 수납 용기(10)는 그 외주측에 설치되는 링 형상의 원주부(12)와, 원주부(12)의 내측에 설치되어 있는 적재부(14)를 가지고 있다. 웨이퍼 수납 용기(10)의 소재로서는 폴리페닐렌 설파이드(polyphenylene sulfide)(PPS) 수지, 폴리카보네이트(polycarbonate)(PC), 폴리부틸렌테레프탈레이트(polybutylene terephtalate)(PBT), 폴리에테르에테르케톤(polyether ether ketone)(PEEK), 폴리에테르설폰(polyether sulfone)(PES) 또는 폴리에테르이미드(polyether imide)(PEI) 등의 고성능 플라스틱(plastic)을 들 수 있지만, 이들에 한정되는 것은 아니고, 이들 수지에 유리 섬유(glass fiber)를 첨가하거나 탄소 섬유(carbon fiber)나 도전 수지 등에 의한 도전성을 부여한 것이라도 좋다. 예를 들면, 웨이퍼의 외경을 450mm로 하면, 웨이퍼 수납 용기(10)의 직경 방향의 바깥 치수는 500∼550mm의 범위가 적합하지만, 웨이퍼 수납 용기(10)에 적재되는 웨이퍼의 외경에 대응하여 적당히 변경할 수가 있다. 또, 웨이퍼 수납 용기(10)는 사출 성형에 의해 제조하는 것이 바람직하지만, 이 제조 방법에 한정되는 것은 아니다.
　　　원주부(12)는 링 형상의 평판을 둘레 방향을 따라 요철이 교대로 4회씩 반복하는 것 같은 형태를 가지고 있다. 구체적으로는, 원주부(12)는 상방측으로 돌출하는 대략 원호 형상의 볼록부(22)와, 볼록부(22)끼리를 접속함과 아울러 볼록부(22)보다 하방측에 있는 하판부(18)로 구성되어 있다. 볼록부(22)의 원주 방향 양단은 하판부(18)에 연접(連接)하는 테이퍼부(taper portion)(20, 20)로 되어 있다. 이하, 볼록부(22)에 있어서의 테이퍼부(20, 20)를 제외한 평판 형상의 부분을 상판부(16)라고 하고, 하판부(18)와 그 양단에 있는 테이퍼부(20, 20)를 합쳐서 가리킬 때에는 오목부(24)라고 한다. 원주부(12)의 직경 방향의 길이는 20∼30mm의 범위인 것이 바람직하지만, 이 범위에 한정되는 것은 아니다.
　　　도 3 및 도 4에 나타내듯이, 상판부(16)의 높이 방향의 위치와 하판부(18)의 높이 방향의 위치의 사이에는 적재부(14)가 설치되어 있다. 도 1 및 도 2에 나타내듯이, 적재부(14)는 주로 각 볼록부(22)의 직경 방향 내측에 설치되어 있고, 그 양측의 단부(14a, 14a)는 볼록부(22)의 양측에 인접하는 오목부(24)까지 이른다. 적재부(14)는 상방으로부터 보아 대략 원호 형상의 형태를 가진다. 적재부(14)는 각 볼록부(22)의 내측에 설치되어 있고, 둘레 방향을 향해 인접하는 적재부(14)의 사이에는 대략 원호 형상으로 절결된 절결홈(23)을 가진다. 적재부(14)의 중앙부에 있어서의 외주부(14b)와 상판부(16)의 내주부(16a)의 사이에는, 적재부(14)와 상판부(16)를 연접(連接)하는 테이퍼 형상의 상방 경사부(25)가 설치되어 있다. 상술한 것처럼, 적재부(14)는 상판부(16)의 높이 방향의 위치와 하판부(18)의 높이 방향의 위치의 사이에 설치되어 있기 때문에, 상방 경사부(25)는 외주부(14b)로부터 내주 부(16a)를 향해 비스듬히 상방으로 경사져 있다. 또, 적재부(14)의 단부(14a, 14a)에 있어서의 외주부(14c, 14c)와 볼록부(22)의 양측에 위치하는 하판부(18)의 내주부(18a, 18a)의 사이에는, 적재부(14)와 하판부(18)를 연접하는 테이퍼 형상의 하방 경사부(26, 26)가 설치되어 있다. 하방 경사부(26, 26)는 외주부(14c, 14c)로부터 내주부(18a, 18a)를 향해 비스듬히 하방으로 경사져 있다. 이하, 적재부(14)에 있어서 상방 경사부(25)의 내측에 상당하는 부분을 하방 적재부(27)라고 하고, 적재부(14)에 있어서 하방 경사부(26)의 내측에 상당하는 부분을 상방 적재부(28)라고 한다.
　　　웨이퍼 수납 용기(10)에 있어서, 절결홈(23)이 설치되어 있는 구간에는, 하판부(18)의 내주로부터 웨이퍼 수납 용기(10)의 중심 방향이고, 또한 비스듬히 상방을 향해 테이퍼 형상의 연장부(29)가 연장되어 있다. 테이퍼부(20)와 적재부(14)의 사이의 부분이고, 또한 상방 경사부(25)와 하방 경사부(26)의 사이의 부분에는, 웨이퍼 수납 용기(10)를 연통(連通)하는 것 같은 연통공(30)이 형성되어 있다. 상판부(16), 하판부(18), 테이퍼부(20), 상방 경사부(25), 하방 경사부(26) 및 연장부(29)의 두께는 각각 2∼4mm인 것이 바람직하지만, 이들에 한정되는 것은 아니다.
　　　도 5는 웨이퍼 수납 용기(10)에 웨이퍼(31)를 수납하고 상하 방향으로 겹쳐 쌓는 공정을 설명하기 위한 도이다.
　　　도 5에 나타내듯이, 웨이퍼(31)는 웨이퍼 수납 용기(10)의 적재부(14)에 적재된다. 웨이퍼(31)는 직경 300∼450mm 정도의 원반 형상의 형태를 가지고 있다. 웨이퍼 수납 용기(10)는 운반시 또는 보관시에는 각각 웨이퍼(31)를 수납한 상태로 복수개 겹쳐 쌓아 사용된다. 웨이퍼 수납 용기(10)는 볼록부(22)끼리 및 오목부(24)끼리가, 각각 양단에 설치되는 테이퍼부(20)에 의해 위치 맞춤되어, 다른 웨이퍼 수납 용기(10) 위에 겹쳐 쌓여진다. 웨이퍼 수납 용기(10)가 겹쳐 쌓여진 상태에서는, 각 웨이퍼 수납 용기(10)의 볼록부(22)끼리 및 오목부(24)끼리가 각각 합쳐지기 때문에, 웨이퍼 수납 용기(10)끼리가 어긋나거나 덜거덕거리는 일은 없다.
　　　도 6은 도 5에 있어서의 C－C선으로 절단한 단면도이다. 도 7은 도 6에 있어서의 단면도의 일부를 확대한 도이고, (a)는 도 6에 있어서 일점쇄선으로 둘러싸인 부분(D)의 확대도이고, (b)는 도 6에 있어서 일점쇄선으로 둘러싸인 부분(E)의 확대도이다. 도 8은 웨이퍼(31)가 수납된 웨이퍼 수납 용기(10)를 겹쳐 쌓은 상태에 있어서의 웨이퍼(31)의 상태를 설명하기 위한 도이고, (a)는 하방 적재부(27)에 적재된 웨이퍼(31)의 상태를 설명하기 위한 도이고, (b)는 상방 적재부(28)에 적재된 웨이퍼(31)의 상태를 설명하기 위한 도이다.
　　　도 6 및 도 7에 나타내듯이, 웨이퍼 수납 용기(10)에 각각 웨이퍼(31)를 수납하고 복수개 겹쳐 쌓은 상태에서는, 웨이퍼(31)의 외주부(31a)는 적재부(14)에 의해 끼워져 있다. 도 7 (a), (b)에 나타내듯이, 적재부(14)의 단면 형상은 웨이퍼 수납 용기(10)에 있어서의 외측으로부터 내측을 향해 서서히 끝이 가늘게 되는 것 같은 형상을 가지고 있다.
　　　도 7 (a)에 나타내듯이, 웨이퍼(31)에 있어서 하방 적재부(27)에 적재된 부분은, 당해 웨이퍼(31)가 수납된 웨이퍼 수납 용기(10)의 하방 적재부(27)와 그 상 방에 겹쳐 쌓여진 웨이퍼 수납 용기(10)의 하방 적재부(27)에 의해 끼워져 있다. 상술한 것처럼, 적재부(14)의 단면은 외측으로부터 내측을 향해 서서히 끝이 가늘게 되는 형상을 가지고 있다. 그 때문에, 도 8 (a)에 나타내듯이, 하방 적재부(27)는 그 겉측의 면이고 웨이퍼(31)의 직경 방향 내측을 향해 하방으로 경사져 있는 제1의 경사면(27a)과, 그 속측의 면이고 웨이퍼(31)의 직경 방향 내측을 향해 상방으로 경사져 있는 제2의 경사면(27b)을 가진다. 한편, 웨이퍼(31)의 외주의 단면 형상은 대략 원호 형상으로 되어 있다. 따라서, 웨이퍼(31)가 하방 적재부(27)에 의해 끼워진 상태에서는, 웨이퍼(31)의 외주부(31a)의 하측의 접점부(31b)만이, 수납되어 있는 웨이퍼 수납 용기(10)에 있어서의 하방 적재부(27)의 제1의 경사면(27a)과 접촉한다. 또, 웨이퍼(31)의 외주부(31a)의 상측의 접점부(31c)만이, 상방에 겹쳐 쌓여 있는 웨이퍼 수납 용기(10)에 있어서의 하방 적재부(27)의 제2의 경사면(27b)과 접촉하고 있다. 즉, 웨이퍼(31)와 하방 적재부(27)의 사이에는 간극(G)을 가지는 상태로 되어 있다. 따라서, 웨이퍼(31)의 상면(31d) 및 하면(31e)은 하방 적재부(27)와 면접촉하지 않는다. 또, 웨이퍼(31)가 수납된 웨이퍼 수납 용기(10)를 겹쳐 쌓은 상태에서는, 웨이퍼(31)는 겹쳐 쌓여진 웨이퍼 수납 용기(10)의 자중(自重)에 의해 하방을 향해 눌려 있다. 그러나, 웨이퍼(31)는 접점부(31b) 및 접점부(31c)에 있어서 제1의 경사면(27a) 및 제2의 경사면(27b)을 각각 선접촉하고 있다. 그 결과, 웨이퍼(31)가 웨이퍼 수납 용기(10)에 대해서 덜거덕거리는 일이 없다. 또한, 상방 경사부(25)가 하방 적재부(27)의 연장 방향에 대해서 형성하는 각도(α)는 35∼55도의 범위가 바람직하지만, 웨이퍼 수납 용기(10)의 외 형 치수에 따라 적당히 변경할 수가 있다. 또, 구체적으로는, 도 8 (a)에 나타내듯이, 웨이퍼 수납 용기(10)가 겹쳐 쌓여진 상태에서는, 위에 겹쳐 쌓여진 웨이퍼 수납 용기(10)에 있어서의 상방 경사부(25)의 외측면(25b)과, 그 아래의 웨이퍼 수납 용기(10)에 있어서의 상방 경사부(25)의 내측면(25a)이 밀착하여 접촉한다. 그 때문에, 웨이퍼 수납 용기(10)끼리의 덜거덕거림을 방지할 수 있다.
　　　한편, 도 7 (b)에 나타내듯이, 웨이퍼(31)에 있어서 상방 적재부(28)에 적재된 부분은, 당해 웨이퍼(31)가 수납된 웨이퍼 수납 용기(10)의 상방 적재부(28)와 그 상방에 겹쳐 쌓여진 웨이퍼 수납 용기(10)의 상방 적재부(28)에 의해 끼워져 있다. 도 8 (b)에 나타내듯이, 상방 적재부(28)는 그 겉측의 면이고 웨이퍼(31)의 직경 방향 내측을 향해 하방으로 경사져 있는 제1의 경사면(28a)과, 그 속측의 면이고 웨이퍼(31)의 직경 방향 내측을 향해 상방으로 경사져 있는 제2의 경사면(28b)을 가진다. 한편, 웨이퍼(31)의 외주의 단면 형상은 대략 원호 형상으로 되어 있다. 따라서, 웨이퍼(31)가 상방 적재부(28)에 의해 끼워진 상태에서는, 웨이퍼(31)의 외주부(31a)의 하측의 접점부(31b)만이, 수납되어 있는 웨이퍼 수납 용기(10)에 있어서의 상방 적재부(28)의 제1의 경사면(28a)과 접촉한다. 또, 웨이퍼(31)의 외주부(31a)의 상측의 접점부(31c)만이, 상방에 겹쳐 쌓여 있는 웨이퍼 수납 용기(10)에 있어서의 상방 적재부(28)의 제2의 경사면(28b)과 접촉하고 있다. 즉, 웨이퍼(31)와 상방 적재부(28)의 사이에는 간극(H)을 가지는 상태로 되어 있다. 따라서, 웨이퍼(31)의 상면(31d) 및 하면(31e)은 상방 적재부(28)와 면접촉하지 않는다. 또, 웨이퍼(31)가 수납된 웨이퍼 수납 용기(10)를 겹쳐 쌓은 상태에서는, 웨이 퍼(31)는 겹쳐 쌓여진 웨이퍼 수납 용기(10)의 자중에 의해 하방을 향해 눌려진다. 그러나, 웨이퍼(31)는 접점부(31b 및 31c)에 있어서 제1의 경사면(28a) 및 제2의 경사면(28b)과 각각 선접촉하고 있다. 그 결과, 웨이퍼(31)가 웨이퍼 수납 용기(10)에 대해서 덜거덕거리는 일이 없다. 또한, 하방 경사부(26)가 상방 적재부(28)의 연장 방향에 대해서 형성하는 각도(β)는 35∼55도의 범위가 바람직하지만, 웨이퍼 수납 용기(10)의 외형 치수에 따라 적당히 변경할 수가 있다. 또, 구체적으로는, 도 8 (b)에 나타내듯이, 웨이퍼 수납 용기(10)가 겹쳐 쌓여진 상태에서는, 위에 겹쳐 쌓여진 웨이퍼 수납 용기(10)에 있어서의 하방 경사부(26)의 외측면(26b)과, 그 아래의 웨이퍼 수납 용기(10)에 있어서의 하방 경사부(26)의 내측면(26a)이 밀착하여 접촉한다. 그 때문에, 웨이퍼 수납 용기(10)끼리의 덜거덕거림을 방지할 수 있다.
　　　도 9는 웨이퍼 수납 용기(10)의 구성을 나타내는 사시도이고, (a)는 웨이퍼 수납 용기(10)에 탭(tab)(32)을 설치한 경우의 구성을 나타내는 사시도이고, (b)는 웨이퍼 수납 용기(10)에 노치(notch)(33)를 설치한 경우의 구성을 나타내는 사시도이다.
　　　웨이퍼(31)에는 일반적으로 웨이퍼(31)의 결정의 방향성을 나타내기 위한 노치(notch)나 오리엔테이션 플랫(orientation flat)이 설치되어 있다. 그 때문에, 도 9에 나타내듯이, 웨이퍼 수납 용기(10)에 있어서의 상판부(16)의 표면에는, 웨이퍼(31)를 일정한 방향성을 가지게 하여 적재하기 위한 표시로 되는 탭(tab)(32), 노치(notch)(33) 혹은 관통공(도시하지 않음)을 설치할 수가 있다. 또, 웨이퍼 수 납 용기(10)의 내부에 웨이퍼(31)의 정보가 내장된 IC 칩(chip)을 조립해 넣거나, 웨이퍼 수납 용기(10)의 표면에 웨이퍼(31)의 정보가 기재된 바코드(bar code)를 인쇄하거나 함으로써, 웨이퍼 수납 용기(10)로부터 그 내부에 수납되어 있는 웨이퍼(31)의 정보를 읽어낼 수 있도록 해도 좋다.
　　　도 10은 웨이퍼(31)를 웨이퍼 수납 용기(10)로부터 꺼내는 방법을 설명하기 위한 도이고, (a)는 웨이퍼(31)를 웨이퍼 수납 용기(10)로부터 꺼낼 때에 이용되는 지그(jig)(40)의 구성을 나타내는 사시도이고, (b)는 웨이퍼 수납 용기(10)로부터 웨이퍼(31)를 꺼내는 공정을 설명하기 위한 도이고, (c)는 지그(40)에 의해, 웨이퍼(31)가 웨이퍼 수납 용기(10)로부터 꺼내어진 상태를 나타내는 도이다.
　　　겹쳐 쌓여진 웨이퍼 수납 용기(10)는 수송용의 케이스(case)에 수납된 후 목적지로 수송된다. 웨이퍼 수납 용기(10)가 목적지로 수송되면, 당해 웨이퍼 수납 용기(10)로부터 웨이퍼(31)가 꺼내어진다. 일반적으로, 웨이퍼 수납 용기(10)로부터 웨이퍼(31)를 꺼내기 위해서는 기계나 지그(jig) 등이 이용된다. 본 실시의 형태에서는 웨이퍼(31)를 꺼낼 때 도 10 (a)에 나타내는 지그(40)가 이용된다. 도 10 (a)에 나타내듯이, 지그(40)는 원반 형상의 저판부(42)와, 당해 저판부(42)의 가장자리로부터 상방으로 세워서 설치되는 4개의 돌기부(44)를 가진다. 돌기부(44)는 저판부(42)의 가장자리에 있어서 둘레 방향을 향해 90도 간격으로 설치되어 있다. 돌기부(44)를 수평으로 절단했을 때의 단면 형상은 대략 원호 형상이다. 또, 돌기부(44)는 웨이퍼 수납 용기(10)에 설치되는 절결홈(切缺 groove)(23)의 위치 및 형상과 대응하도록 설치되어 있다. 지그(jig)(40)는 지면이나 기대(基臺) 위에 설치 해 두도록 해도 좋고, 로보트 암(robot arm) 등의 기기 위에 장착하도록 해도 좋다.
　　　겹쳐 쌓여진 웨이퍼 수납 용기(10)로부터 웨이퍼 수납 용기(10)가 하나씩 꺼내어지고, 당해 웨이퍼 수납 용기(10)로부터 웨이퍼(31)가 꺼내어진다. 도 10 (b)에 나타내듯이, 꺼내어진 웨이퍼 수납 용기(10)는 소정의 위치에 장착된 지그(40)의 상방에 배치된다(배치 공정). 그 때, 웨이퍼 수납 용기(10)에 설치된 절결홈(23)의 위치가 돌기부(44)의 위치와 대응하도록 배치시킨다. 그리고, 웨이퍼(31)가 수납된 웨이퍼 수납 용기(10)를 지그(40)를 향해 강하시켜 간다. 그러면, 돌기부(44)가 절결홈(23)에 삽입된다. 절결홈(23)에 삽입된 돌기부(44)는 웨이퍼 수납 용기(10)에 수납된 웨이퍼(31)에 맞닿고, 웨이퍼(31)만이 돌기부(44)의 상방에 남고, 웨이퍼 수납 용기(10)는 절결홈(23)을 개재하여 지그(40)의 저판부(42)를 향해 떨어진다(강하 공정). 이상과 같이 하여 웨이퍼(31)를 돌기부(44)의 상면에 적재시킨(웨이퍼 수납 용기(10)로부터 꺼낸) 후(도 10 (c) 참조), 돌기부(44) 위로부터 웨이퍼(31)를 원하는 장소로 이동시킨다(이동 공정). 웨이퍼(31)가 돌기부(44)의 상면에 적재된 상태에서는, 웨이퍼(31)를 로보트(robot) 등에 의해 하방으로부터 용이하게 떠올리는 것이 가능하게 된다. 또, 로보트 암(robot arm) 등을 돌기부(44)의 외측으로부터 당해 웨이퍼(31)의 가장자리부 하방에 배치시키고, 당해 로보트 암을 상승시킴으로써, 웨이퍼(31)를 돌기부(44) 위로부터 이동시키는 것도 가능하다. 상술한 배치 공정, 강하 공정 및 이동 공정은 로보트 등의 기계에 의하는 것이 바람직하지만, 특히 한정되는 것은 아니고, 사람이 하도록 해도 지장을 주지 않는다. 로보트 등이 배치 공정 및 강하 공정을 하는 경우, 로보트 등에 의해 웨이퍼 수납 용기(10)의 볼록부(22)의 표면을 흡착시켜 웨이퍼 수납 용기(10)를 이동시키는 것이 바람직하다. 그러나, 이 방법에 특히 한정되는 것은 아니다.
　　　이상과 같이 구성된 웨이퍼 수납 용기(10)를 겹쳐 쌓은 상태에서는, 웨이퍼(31)의 접점부(31b)는 제1의 경사면(27a) 및 제1의 경사면(28a)의 쌍방과 선접촉하고 있다. 그 때문에, 웨이퍼(31)의 하면(31e)이 하방 적재부(27) 및 상방 적재부(28)의 각각과 면접촉하지 않는다. 또한, 웨이퍼(31)의 접점부(31c)는 제2의 경사면(27b) 및 제2의 경사면(28b)의 쌍방과 선접촉하고 있다. 그 때문에, 웨이퍼(31)의 상면(31d)이 하방 적재부(27) 및 상방 적재부(28)의 각각과 면접촉하지 않는다. 즉, 웨이퍼(31)의 상면(31d)과 하방 적재부(27) 및 상방 적재부(28)의 각각의 사이에는 간극(G)이 형성됨과 아울러, 하면(31e)과 하방 적재부(27) 및 상방 적재부(28)의 각각의 사이에는 간극(H)이 형성된다. 그 결과, 웨이퍼(31)의 표면에 손상이 생기는 것을 방지할 수 있다.
　　　또, 웨이퍼(31)가 수납된 웨이퍼 수납 용기(10)를 겹쳐 쌓은 상태에서는, 웨이퍼(31)는 하방 적재부(27, 27) 및 상방 적재부(28, 28)의 사이에 각각 간극(G) 및 간극(H)을 가진 상태로 적재부(14)에 의해 끼워진다. 즉, 웨이퍼(31)의 접점부(31b) 및 접점부(31c)의 각각은 하방 적재부(27) 및 상방 적재부(28)의 각각과 선접촉한 상태로 된다. 따라서, 웨이퍼 수납 용기(10)를 겹쳐 쌓음으로써, 웨이퍼(31)를 웨이퍼 수납 용기(10)의 내부에서 덜거덕거리는 일 없이 수납하는 것이 가능하게 된다. 또, 웨이퍼(31)가 수납된 웨이퍼 수납 용기(10)를 순차 겹쳐 쌓는 다고 하는 용이한 작업으로 복수의 웨이퍼(31)를 수납하는 것이 가능하게 되기 때문에, 수납 작업의 효율을 향상시키는 것이 가능하게 된다.
　　　또, 웨이퍼 수납 용기(10)는 볼록부(22) 및 오목부(24)의 각각이 합쳐지도록 다른 웨이퍼 수납 용기(10) 위에 겹쳐 쌓여진다. 따라서, 웨이퍼 수납 용기(10)가 겹쳐 쌓여진 상태에서는, 각 웨이퍼 수납 용기(10)의 볼록부(22)끼리 및 오목부(24)끼리가 각각 끼워 맞춰 있다. 따라서, 웨이퍼 수납 용기(10)를 겹쳐 쌓은 상태에 있어서, 웨이퍼 수납 용기(10)끼리가 어긋나거나 덜거덕거리는 것을 방지할 수 있다.
　　　또, 웨이퍼 수납 용기(10)는 중앙에 관통공을 가지는 링 형상의 형태를 가지고 있다. 그 때문에, 웨이퍼(31)가 자중에 의해 휜 경우, 웨이퍼(31)가 적재부(14)와 접촉하는 것을 방지할 수 있다. 또, 중앙이 개구하고 있기 때문에 그 개구부의 용적만큼 웨이퍼 수납 용기(10)의 경량화를 도모하는 것이 가능하게 된다.
　　　또, 웨이퍼 수납 용기(10)에는 절결홈(23)이 설치되어 있다. 그 때문에, 지그(jig)(40)의 돌기부(44)를 절결홈(23)에 삽입함으로써, 웨이퍼 수납 용기(10)를 절결홈(23)을 개재하여 지그(40)의 하방으로 떨어뜨리고 웨이퍼(31)만을 돌기 위에 남길 수가 있다. 그 결과, 웨이퍼(31)를 웨이퍼 수납 용기(10)로부터 용이하게 꺼내는 것이 가능하게 된다.
　　　또, 웨이퍼 수납 용기(10)에는 웨이퍼(31)의 방향성을 나타내기 위한 표시로 되는 탭(tab)(32), 노치(notch)(33) 혹은 관통공(도시하지 않음)을 설치할 수가 있다. 그 때문에, 웨이퍼의 수납 용기(10)에 방향성을 가지게 하거나, 웨이퍼(31)를 일정한 방향성을 가지게 하여 웨이퍼 수납 용기(10)에 수납하는 것이 가능하게 된다. 또, 탭(32)이나 노치(33)를 각각 복수개 설치하여 웨이퍼 수납 용기(10)를 위치 결정할 때에 사용할 수도 있다. 따라서, 장치 등에 의해 웨이퍼(31)를 웨이퍼 수납 용기(10)로부터 꺼낼 때도, 용이하게 웨이퍼(31)에 방향성을 가지게 하는 것이 가능하게 된다. 그 때문에, 작업 효율을 향상시키는 것이 가능하게 된다.
　　　이상, 본 발명의 일 실시의 형태에 대해서 설명했지만, 본 발명은 상술한 형태에 한정되는 일 없이 여러가지 변형된 형태에서 실시 가능하다.
　　　상술한 실시의 형태에서는, 웨이퍼 수납 용기(10)는 중앙에 관통공을 가지는 원형의 링 형상의 형태를 가지고 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고 중앙에 개구부를 가지지 않는 형태로 해도 좋다. 또, 웨이퍼 수납 용기(10)의 외형은 원형의 링(ring) 형상에 한정되는 것은 아니고, 육각형, 팔각형 또는 타원형 등의 다른 형태를 가지는 링 형상으로 해도 좋다.
　　　또, 상술한 실시의 형태에서는, 볼록부(22) 및 오목부(24)는 각각 4개씩 설치되어 있지만, 이것에 한정되는 것은 아니고, 볼록부(22) 및 오목부(24)의 개수를 각각 3개 이하로 해도 좋고 5개 이상으로 해도 좋다.
　　　또, 상술한 실시의 형태에서는, 지그(40)에는 4개의 돌기부(44)가 설치되어 있지만, 이것에 한정되는 일 없이 3개 이하로 해도 좋고 5개 이상으로 해도 좋다. 이 경우, 절결홈(23)의 형태를 돌기부(44)의 개수와 대응시키는 것이 필요하게 된다.
　　　또, 상술한 실시의 형태에서는, 테이퍼부(taper portion)(20)와 적재부(14) 의 사이의 부분이고, 또한 상방 경사부(25)와 하방 경사부(26)의 사이의 부분에는 연통공(30)이 설치되어 있지만 연통공(30)을 설치하지 않도록 해도 좋다.
　　　본 발명은 웨이퍼를 수송하기 위한 수납 용기를 제조 혹은 사용하는 산업에 있어서 이용할 수가 있다.
본 발명에 의하면, 부품수를 증가시키지 않고, 또한 웨이퍼에 손상을 생기게 하는 일 없이 간편하게 웨이퍼를 수납할 수 있다. 또, 웨이퍼 수납 용기끼리를 임의의 수량 겹쳐 쌓는 것이 가능하게 되고, 보관 스페이스(space)가 작아도 된다.

Claims (5)

  1. 웨이퍼의 외주연보다 외측에 있고 폐곡선을 이루는 외주부와,
    　 상기 외주부의 최상면보다도 낮은 위치로부터 웨이퍼의 직경 방향 내측으로 연장되고, 웨이퍼를 상기 외주부의 최상면보다도 낮은 위치에서 적재하는 적재부를 구비하는 웨이퍼 수납 용기로서,
    　 상기 적재부는 웨이퍼의 직경 방향 내측을 향해 하강함과 아울러, 웨이퍼를 적재했을 때에 웨이퍼의 외주연과만 접촉 가능한 제1의 경사면과, 그 제1의 경사면의 속측에 있고, 웨이퍼의 직경 방향 내측을 향해 상승함과 아울러, 웨이퍼 수납 용기를 복수 겹쳤을 때에, 하방의 웨이퍼의 외주연과만 접촉 가능한 제2의 경사면을 구비하고,
    웨이퍼가 적재된 웨이퍼 수납 용기를 복수 겹쳐 쌓아 사용하는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납 용기.
  2. 　 제1항에 있어서,
    상기 외주부는, 그 상면에, 소정의 간격으로 배치되고, 상방으로 돌출하는 볼록부를 복수 구비하고, 상기 제1의 경사면은, 그 볼록부와, 볼록부끼리의 사이에 있는 오목부의 양방으로부터 연접하고, 웨이퍼를 적재했을 때에 동일 높이로 수평으로 웨이퍼를 유지 가능한 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납 용기.
  3. 　 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 웨이퍼 수납 용기는 중앙이 관통된 링 형상의 형태를 가지는 것을 특징 으로 하는 웨이퍼 수납 용기.
  4. 　 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 적재부에는 둘레 방향을 따라 절결된 복수의 절결홈이 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납 용기.
  5. 　 제1항 또는 제2항에 있어서,
    상기 웨이퍼 수납 용기에는 상기 웨이퍼의 방향성을 나타내기 위한 표시가 설치되어 있는 것을 특징으로 하는 웨이퍼 수납 용기.
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