KR102520678B1 - 가이딩 부품이 있는 레티클 포드 - Google Patents

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Abstract

가이딩 부품이 있는 레티클 포드로서, 베이스, 덮개, 그리고 복수의 가이딩 부품이 있다. 덮개는 베이스에 덮이어 대략 사각형의 윤곽을 지닌 포드 본체를 형성한다. 포드 본체에는 레티클을 거치하는 저장공간이 있다. 가이딩 부품은 덮임 방향을 따라 각각 덮개의 최소한두 개의 측면이나 베이스의 최소한 두 개의 측면에 설치된다. 각 가이딩 부품에는 연결 부위, 가이드 부위, 그리고 가이딩 경사면 부위가 있으며, 연결 부위는 덮개의 측면과 연결되고, 가이드 부위의 한 쪽 끝은 상기 연결 부위와 연결하고 덮임 방향을 따라 연장되며, 가이드 부위의 반대쪽 끝은 가이딩 경사면 부위와 연결한다. 가이딩 경사면 부위에는 외부 공간을 향해 연장되는 경사면이 있다. 본 발명의 가이딩 부품이 있는 레티클 포드는 기존 기술로 제조된 레티클 포드의 오차 문제를 해결하여 덮개와 베이스가 정확히 덮이게 한다.

Description

가이딩 부품이 있는 레티클 포드{RETICLE POD HAVING POSITIONING MEMBER}
본 발명은 파손되기 쉬운 물품을 운반하는 데 사용되는 캐리어, 특히 가이딩 부품이 있는 레티클 포드에 관한 것이다.
집적회로 및 기타 반도체 장치의 제조 영역에서, 한 가지 중요한 제조 절차가 포토리소그래피(photolithography)이다. 일반적으로, 포토리소그래피는 특정 도안이 있는 레티클을 사용하여 웨이퍼의 표면이 방사성 선원에 선택적으로 노출되게 하여 식각 표면층을 만든다. 레티클은 보통 매우 평탄한 투명 석영이며, 웨이퍼에 복제하고자 하는 도안을 포함한다. 현재 집적회로의 주요 부품의 사이즈는 매우 작기 때문에 청정성에 대한 요구가 매우 높다. 따라서 레티클의 조작 표면에는 가공 과정에서 표면을 손상시키거나 포토레지스트층에 투사되는 영상을 일그러지게 만드는 오염물이 없는 상태를 유지해야 한다. 그렇지 않으면 최종 제품의 품질이 수용가능한 수준이 안 되는 결과를 초래할 수 있다.
일반적으로 레티클은 덮개와 베이스가 있는 스미프(Standard Mechanical Interface Format, SMIF) 용기 또는 포드 내에 형성된 작은 청정실 환경에 저장 및/또는 운반된다. 덮개와 베이스는 서로 협동하여 레티클을 보존하는 기밀성 밀폐 레티클 포드를 형성한다.
극자외선 포토리소그래피 제조공정에서, 레티클 포드의 열림 및 닫힘 동작은 모두 자동화에 의존한다. 그런데 레티클 포드의 덮개가 베이스와 덮힐 때, 장비에 정렬 오류가 발생할 수 있어 덮개가 신속 및 정확하게 베이스에 덮이지 않을 경우, 덮개와 베이스 사이에 여러 번의 부딪힘이나 마모가 발생하기 때문에 안에 저장된 레티클을 보호할 수 없을 뿐만 아니라 이 과정에서 생성된 미세입자 또한 레티클을 오염시키게 된다. 이러한 이유로 인해, 장비 위치 록킹을 보조하는 장치가 필요하다.
기존의 레티클에 있는 문제점들을 해결하기 위해 본 발명은 가이딩 부품이 있는 레티클 포드를 제시한다.
상기 목적 및 기타 목적을 달성하기 위해, 본 발명은 가이딩 부품이 있는 레티클 포드를 제시한다. 이 가이딩 부품이 있는 레티클 포드에는 복수의 측면이 있는 베이스, 베이스에 덮이어 대략 사각형의 윤곽을 지닌 포드 본체를 형성하며 포드 본체에는 레티클을 거치하는 저장공간이 있는 복수의 측면이 있는 덮개, 그리고 복수의 가이딩 부품이 있다. 가이딩 부품은 덮임 방향을 따라 각각 덮개의 최소한 두 개의 측면에 설치된다. 각 가이딩 부품에는 연결 부위, 가이드 부위, 그리고 가이딩 경사면 부위가 있다. 연결 부위는 덮개의 측면과 연결되고, 가이드 부위의 한 쪽 끝은 상기 연결 부위와 연결하고 덮임 방향을 따라 연장되며, 가이드 부위의 반대쪽 끝은 가이딩 경사면 부위와 연결한다. 가이딩 경사면 부위에는 외부 공간을 향해 연장되는 경사면이 있다.
본 발명의 한 가지 실시예에서, 상기 가이딩 부품에는 가이드 부위의 안쪽에서 저장공간을 향해 돌출하는 최소한 한 개의 스트립이 있다.
본 발명의 한 가지 실시예에서, 상기 가이딩 부품에는 가이드 부위의 안쪽에서 저장공간을 향해 돌출하는 최소한 한 개의 돌출점 부위가 있다.
본 발명의 한 가지 실시예에서, 상기 가이딩 부품의 수량은 덮개의 측면 양단에 설치된다.
본 발명의 한 가지 실시예에서, 상기 가이딩 부품은 긴 측면판이다.
본 발명의 한 가지 실시예에서, 상기 베이스의 측면에는 내부 수축단이 있으며, 위치는 가이딩 부품에 대응한다.
본 발명의 한 가지 실시예에서, 상기 연결 부위에는 나사 잠금 구멍이 있다.
본 발명의 한 가지 실시예에서, 상기 가이드 부위와 가이딩 경사면 부위는 탄성체이다.
본 발명의 한 가지 실시예에서, 상기 가이딩 부품에는 가이드 부위의 안쪽에 저장공간을 향해서 설치되는 홀더가 있다.
본 발명의 한 가지 실시예에는 더 나아가서 외부 포드가 있다. 이 외부 포드에는 외부 덮개 및 외부 베이스가 있으며, 외부 덮개가 외부 베이스에 덮이어 질 때, 외부 포드에는 상기 포드 본체를 넣을 수 있는 자리가 생긴다.
본 발명은 또한 가이딩 부품이 있는 레티클 포드를 제시하는 데, 이러한 레티클 포드에는 복수의 측면이 있는 베이스, 베이스에 덮이어 대략 사각형의 윤곽을 지닌 포드 본체를 형성하며 포드 본체에는 레티클을 거치하는 저장공간이 있는 복수의 측면이 있는 덮개, 그리고 복수의 가이딩 부품이 있다. 가이딩 부품은 덮임 방향을 따라 각각 베이스의 최소한 두 개의 측면에 설치된다. 각 가이딩 부품에는 연결 부위, 가이드 부위, 그리고 가이딩 경사면 부위가 있다. 연결 부위는 베이스의 측면과 연결되고, 가이드 부위의 한 쪽 끝은 상기 연결 부위와 연결하고, 가이드 부위의 반대쪽 끝은 가이딩 경사면 부위와 연결한다. 가이딩 경사면 부위에는 외부 공간을 향해 연장되는 경사면이 있다.
이렇게 해서 본 발명의 가이딩 부품이 있는 레티클 포드는 만약 덮개와 베이스가 X축 방향 혹은 Y축 방향으로 정렬 맞춤에 편차가 있을 경우, 덮개는 우선 가이딩 경사면 부위로 베이스를 접촉한 다음 경사면을 따라 베이스가 가이딩되어 가이드 부위와 접촉되도록 한다. 그리하여 접촉이 가장 적은 상황에서 정확한 상대적 위치로 신속하게 덮임이 완성되게 한다. 정확한 덮임이 발생할 때, 각각의 가이딩 부품은 베이스의 위치를 제한하고 베이스와 덮개가 상대적으로 돌려지지 않게 한다.
도 1은 본 발명의 첫 번째 실시예의 가이딩 부품이 있는 레티클 포드의 입체적인 외부 모양을 보여주는 도이다.
도 2는 본 발명의 첫 번째 실시예의 가이딩 부품이 있는 레티클 포드의 덮임을 보여주는 도이다.
도 3a는 본 발명의 첫 번째 실시예의 가이딩 부품의 첫 번째 양식을 입체적으로 보여주는 도이다.
도 3b는 본 발명의 첫 번째 실시예의 가이딩 부품의 두 번째 양식을 입체적으로 보여주는 도이다.
도 3c는 본 발명의 첫 번째 실시예의 가이딩 부품의 세 번째 양식을 입체적으로 보여주는 도이다.
도 4는 본 발명의 두 번째 실시예의 가이딩 부품이 있는 레티클 포드의 덮임을 보여주는 도이다.
도 5는 본 발명의 세 번째 실시예의 가이딩 부품이 있는 레티클 포드의 덮임을 보여주는 도이다.
도 6a는 본 발명의 실시예의 가이딩 부품의 네 번째 양식을 입체적으로 보여주는 도이다.
도 6b는 본 발명의 실시예의 가이딩 부품의 네 번째 양식을 횡단면으로 보여주는 도이다.
도 7a는 본 발명의 실시예의 가이딩 부품의 다섯 번째 양식을 입체적으로 보여주는 도이다.
도 7b는 본 발명의 실시예의 가이딩 부품의 다섯 번째 양식을 횡단면으로 보여주는 도이다.
본 발명의 기술적 특징과 실용적인 효능에 대해 충분히 이해할 수 있도록 돕기 위해 아래의 구체적인 실시예를 도면과 함께 제시하여 다음과 같이 설명한다. 해당 영역의 기술자들은 본 설명서에서 공개한 내용으로 본 발명의 목적, 특징 및 효능을 이해할 수 있다. 주의할 점은, 본 발명은 기타 구체적인 실시예로 시행하거나 응용할 수 있다는 것이다. 본 설명서의 세부 내용 역시 다른 관점과 응용에 기반하여 본 발명의 취지에 위배되지 않는 범위에서 여러 가지 수정과 변경을 실시할 수 있다. 아래의 실시예는 본 발명의 관련 기술과 내용을 좀 더 상세히 설명한다. 하지만 공개된 내용은 본 발명의 특허신청범위를 제한하기 위한 것이 아니다.
도 1 및 도 2에 표시된 봐와 같이, 본 발명의 첫 번째 실시예의 가이딩 부품이 있는 레티클 포드(100)에는 베이스(21), 덮개(22), 그리고 복수의 가이딩 부품이 있다.
베이스(21)에는 복수의 측면(23)이 있다.
덮개(22)에는 복수의 측면(24)이 있으며, 덮개(22)는 베이스(21)에 덮이어 윤곽이 대체로 사각형인 (즉 위에서 아래로 볼 때 대체적으로 사각형이며 네 개의 측면이 있는) 포드 본체(2)를 형성한다. 포드 본체(2)에는 레티클 R을 거치하는 (도 5 참고) 저장공간 S가 있다. 본 실시예에서, 포드 본체(2)의 각은 둥그런 각을 취해 마찰과 부딪힘을 줄인다. 하지만 본 발명은 이에 국한되지 않는다.
복수의 가이딩 부품은 덮개(22)의 덮임 방향 d를 따라 각각 덮개(22)의 최소한 두 개의 측면(24)에 설치된다. 본 실시예에서는 여덟 개의 가이딩 부품 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f, 3g, 및 3h가 설치되며, 덮개(22)가 덮이는 방향 d를 따라 각각 덮개(22)의 네 개의 측면(24)에 설치된다. 각 측면의 양쪽 끝에는 각각 상기 가이딩 부품이 한개씩 설치되며, 각 가이딩 부품은 포드 본체(2)의 모서리에 인접한다. 여덟 개의 가이딩 부품은 무게 균형 및 설계 미관 등을 고려하여 설치되지만 본 발명은 이에 국한되지 않으며 다른 수량, 다른 설치 방식을 취할 수 있다.
예를 들어, 한 가지 실시예에서 가이딩 부품의 수량은 네 개이며 각각 덮개(22)의 네 개의 측면(24)에 설치된다. 예를 들어, 도 1의 가이딩 부품 3a, 3c, 3e, 및 3g만 설치하는 것이다. 즉 각각의 측면에 한 개의 가이딩 부품이 설치되고 각각의 모서리에 한 개의 가이딩 부품이 분배된다.
또 다른 실시예에서, 가이딩 부품의 수량은 네 개이며, 각각 덮개(22)의 네 개의 측면(24)에 설치된다. 예를 들어 도 1의 가이딩 부품 3a, 3b, 3e, 및 3f만 설치하는 것이다. 즉 각각의 측면에 한 개의 가이딩 부품이 설치되고, 네 개의 가이딩 부품은 각각 포드 본체(2)의 두 개의 대각에 위치한다.
네 개의 가이딩 부품은 또한 포드 본체(2)의 모서리에 인접하지 않고 네 개의 측면의 중간에 각각 설치될 수 있다.
가이딩 부품의 수량을 간결하게 하기 위해, 본 발명의 가이딩 부품이 있는 레티클 포드는 최저 한도로 두 개의 가이딩 부품만 설치할 수도 있다. 이 경우 가이딩 부품은 덮개(22)의 인접한 두 개의 측면(24)에 설치된다. 이 두 개의 가이딩 부품은 도 1의 가이딩 부품 3a와 3b(한 모서리에 집중 설치)로 설치되거나, 도 1의 가이딩 부품 3a와 3c(각각 인접한 모서리에 설치)로 설치되거나, 도 1의 가이딩 부품 3a와 3f(각각 대각에 설치)로 설치될 수 있으나 본 발명은 이에 국한되지 않는다. 두 개의 가이딩 부품은 도면의 X축 방향 및 Y축 방향의 가이딩을 보조할 수 있기만 하면 된다.
도 3a에 표시된 바와 같이, 각 가이딩 부품은 가이딩 부품 3a를 예로 들어 설명한다. 가이딩 부품에는 연결 부위(31), 가이드 부위(32), 그리고 가이딩 경사면 부위(33)가 있다. 연결 부위(31)는 덮개(22)의 측면(24)에 연결되고, 가이드 부위(32)의 한 쪽 끝은 연결 부위(31)와 연결하고 덮임 방향 d를 따라 연장된다. 그리고 가이드 부위(32)의 반대쪽 끝은 가이딩 경사면 부위(33)와 연결한다. 가이딩 경사면 부위(33)에는 외부 공간을 향해 연장되는 경사면(331)이 있다.
이렇게 해서, 도 2에 표시된 바와 같이, 덮개(22)와 베이스(21)가 서로 덮이도록 할 때, 덮개(22)와 베이스(21)가 X축 방향 또는 Y축 방향에서 정렬에 편차가 있을 경우, 덮개(22)는 우선 가이딩 경사면 부위(33)의 경사면(331)으로 베이스(21)를 접촉한 다음 경사면(331)을 따라 베이스(21)가 가이딩되어 가이드 부위(32)와 접촉되도록 한다(베이스(21) 또는 덮개(22) 중 그 어느 것이 상대적으로 이동하는 것일 수 있다). 그리하여 접촉이 가장 적은 상황에서 정확한 상대적 위치로 신속하게 덮임이 완성되게 한다. 정확한 덮임이 발생할 때, 각각의 가이딩 부품은 베이스(21)의 위치를 제한하고 베이스(21)와 덮개(22)가 상대적으로 돌려지지 않게 한다. 각 가이딩 부품의 자재는 폴리에텔에텔케톤(polyetheretherketone, PEEK), 불소화탄화수소 고무(Fluorinated Hydrocarbon rubber, KFM), 폴리카보네이트(Polycarbonate, PC) 등 플라스틱 자재이거나 알루미늄, 스테인리스 강 등 금속 자재일 수 있으며, 쉽게 마모되지 않는 자재가 이상적이다.
더 나아가서 한 가지 실시예에서는 도 2 및 도 3a에 표시된 바와 같이 상기 연결 부위(31)에 나사 고정 구멍(311)이 있어, 나사 C가 가이딩 부품을 덮개(22)에 고정시키도록 한다. 하지만 본 발명은 이에 국한되지 않으며, 가이딩 부품은 다른 방식으로 덮개(22) 또는 베이스(21)에 연결될 수 있다. 예를 들어, 스냅 잠금 방식 또는 기타 양식을 택할 수 있다.
더 나아가서 한 가지 실시예에서는 도 3a에 표시된 바와 같이 가이딩 부품 3a에 최소한 한 개의 스트립(321)이 있으며, 가이드 부위(32)의 안쪽에서 저장공간 S를 향해 돌출된다. 스트립(321)은 가이딩 부품 3a와 베이스(21)의 접촉가능한 면적을 더욱 작게 하여 마찰로 인해 생성되는 미세입자의 양을 줄인다.
더 나아가서 한 가지 실시예에서는 도 3b에 표시된 바와 같이 가이딩 부품 3a의 다른 양식은 최소한 한 개의 돌출점 부위(322)인 것이며, 가이드 부위(32)의 안쪽에서 저장공간 S를 향해 돌출된다. 돌출점 부위(322)의 기능은 위 실시예에서 설명한 스트립(321)의 기능과 같이 마찰로 인해 생성되는 미세입자의 양을 줄이는 것이다.
더 나아가서 한 가지 실시예에서 도 3c에 표시된 바와 같이 가이딩 부품의 다른 양식은 긴 측면판(4)인 것이며, 한 쪽 측면의 양쪽 끝에 각각 두 개의 가이딩 부품을 설치하는 형식을 대체하고 보다 나은 안정된 위치 가이드 효과를 달성할 수 있다.
더 나아가서 도 2에 표시된 바와 같이 본 실시예의 각 가이딩 부품 3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f, 3g, 및 3h의 연결 부위(31)는 덮개(22)의 측면(24)에 설치되고, 베이스(21)의 측면(23)에는 내부 수축단(211)과 외부 연장단(212)이 있다. 내부 수축단(211)의 위치는 가이딩 부품 3b에 대응하며, 내부 수축단(211)과 외부 연장단(212)은 서로 협동하여 가이딩 부품 3b의 위치를 제한하거나 덮개(22)의 위치 가이드를 보조할 수 있다.
더 나아가서 한 가지 실시예에서는 도 6a 및 도 6b에 표시된 바와 같이 가이딩 부품(6)의 또 다른 양식은 가이드 부위(62)와 가이딩 경사면 부위(63)가 탄성체인 것이다. 이전에 설명한 양식의 경직된 가이드 부위(32)와 가이딩 경사면 부위(33)와 달리, 가이드 부위(62)와 가이딩 경사면 부위(63)는 일정 정도의 탄성이 있으며 힘을 받을 때 변형될 수 있다. 그러므로 베이스(21)와 덮개(22)의 크기에 공차가 있을지라도, 가이딩 부위(6)는 여전히 탄성이 있는 가이드 부위(62)와 가이딩 경사면 부위(63)에 끼워져 베이스(21)와 덮개(22)를 고정시킨다. 이 실시예에서, 탄성이 있는 가이드 부위(62)와 가이딩 경사면 부위(63)는 베이스(21)와 덮개(22)에 긴밀히 붙여진다. 이런 방식을 통해서 가이딩 부품(6), 베이스(21), 그리고 덮개(22) 사이의 마찰을 줄인다. 연결 부위(61)는 경직성 또는 탄성체일 수 있으며, 본 발명은 이에 국한되지 않는다.
더 나아가서 한 가지 실시예에서는 도 7a 및 도 7b에 표시된 바와 같이 가이딩 부품(6a)의 또다른 양식은 가이딩 부품(6a)에 연결 부위(61), 가이드 부위(62a), 그리고 가이딩 경사면 부위(63a)가 있는 것이다. 가이드 부위(62a)와 가이딩 경사면 부위(63a)는 경직성 또는 탄성체일 수 있으며, 가이딩 부품(6a)에는 또한 가이드 부위(62a) 안쪽에 저장공간 S을 향해 설치되는 홀더(64)도 있다. 홀더(64)는 유연하고 탄성이 있는 긴 막대형이거나 표면에 코팅이 된 (예를 들어 표면에 테플론을 도포한) 구조물일 수 있다. 베이스(21)와 덮개(22)가 서로 덮인 후에, 홀더(64)는 베이스(21)와 덮개(22)를 홀드하고 고정시켜 덮임 후의 베이스(21)와 덮개(22)가 Ｘ축이나 Ｙ측 방향으로 위치 이동이나 회전 이동이 발생하지 않도록 한다. 이런 방식을 통해서 가이딩 부품(6a), 베이스(21), 그리고 덮개(22) 사이의 마찰을 줄인다.
더 나아가서 도 4에 표시된 바와 같이 본 발명의 두 번째 실시예와 첫 번째 실시예의 차이점은 가이딩 부품이 있는 레티클 포드(200)의 각 가이딩 부품은 덮개(22)의 덮임 방향 d를 따라 각각 베이스(21)의 최소한 두 개의 측면(23)에 설치되는 것이다. 본 실시예에서, 각각의 가이딩 부품3a, 3b, 3c, 3d, 3e, 3f, 3g, 및 3h의 연결 부위(31)는 베이스(21)의 측면(23)에 연결되고, 가이드 부위(32)의 한 쪽 끝은 연결 부위(31)와 연결하며, 가이드 부위(32)의 반대쪽 끝은 가이딩 경사면 부위(33)와 연결하고, 가이딩 경사면 부위(33)에는 외부 공간을 향해 연장되는 경사면(331)이 있다. 즉 가이딩 경사면 부위(33)는 위를 향한다. 덮개(22)가 덮일 때, X축 방향이나 Y축 방향에 정렬 편차가 있을 경우, 덮개(22)는 가이딩 경사면 부위(33)를 따라 정확한 위치로 가이딩된다.
더 나아가서 도 5에 표시된 바와 같이 본 발명의 세 번째 실시예에서, 가이딩 부품이 있는 레티클 포드(300)에는 외부 포드(5)가 있다. 이 외부 포드(5)에는 외부 포드 덮개(52)와 외부 포드 베이스(51)가 있으며, 외부 포드 덮개(52)가 외부 포드 베이스(51)에 덮일 때, 외부 포드(5) 안에는 덮개(22)와 베이스(21)가 형성한 포드 본체(2)를 넣을 수 있는 자리가 있다. 레티클 R는 포드 본체(2)의 저장공간 S에 거치된다. 이를 통해서 레티클 R는 이중 보호를 받게 된다.
본 발명에서 상기 실시예들은 일부 예시일 뿐이며, 본 발명이 이에 한정되는 것은 아니다. 해당 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자는 본 발명의 실시예를 참고하여 본 발명의 기술사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 형태의 치환, 변경이 가능하며, 이러한 것들은 본 발명의 범위에 속한다고 할 것이다. 그러므로 본 발명의 보호범위는 특허청구범위에 기재된 것을 준거로 해야 할 것이다.
100 가이딩 부품이 있는 레티클 포드
200 가이딩 부품이 있는 레티클 포드
300 가이딩 부품이 있는 레티클 포드
2 포드 본체
21 베이스
211 내부 수축단
212 외부 연장단
22 덮개
23 측면
24 측면
31 연결 부위
311 나사 고정 구멍
32 가이드 부위
321 스트립
322 돌출점 부위
33 가이딩 경사면 부위
331 경사면
3a 가이딩 부품
3b 가이딩 부품
3c 가이딩 부품
3d 가이딩 부품
3e 가이딩 부품
3f 가이딩 부품
3g 가이딩 부품
3h 가이딩 부품
4 긴 측면판
5 외부 포드
51 외부 포드 베이스
52 외부 포드 덮개
6 가이딩 부품
6a 가이딩 부품
61 연결 부위
62 가이드 부위
62a 가이드 부위
63 가이딩 경사면 부위
63a 가이딩 경사면 부위
64 홀더
C 나사
d 덮임 방향
R 레티클
S 저장공간

Claims (10)

  1. 위치 가이딩 부품이 있는 레티클 포드에 있어서,
    복수의 측면이 있는 베이스 하나,
    상기 베이스에 덮이어 대략 사각형의 윤곽을 지닌 포드 본체를 형성하며, 포드 본체에는 레티클을 거치하는 저장공간이 있는 복수의 측면이 있는 덮개 하나, 및
    복수의 위치 가이딩 부품이 있으며, 이 복수의 위치 가이딩 부품은 덮임 방향을 따라 각각 상부 덮개의 최소한 두 개의 측면에 설치되며, 각 위치 가이딩 부품에는 연결 부위 하나, 가이드 부위 하나, 돌기점 부위 최소한 하나, 그리고 가이딩 경사면 부위가 있으며, 연결 부위는 상부 덮개의 측면에 연결되며, 가이드 부위의 한쪽 끝은 가이딩 경사면 부위에 연결되고 덮임 방향을 따라 연장되며, 가이드 부위의 반대쪽 끝은 가이딩 경사면 부위에 연결되며, 가이딩 경사면 부위에는 외부 공간을 향해 연장되는 경사면이 있으며, 상기 최소한 한 개의 돌기점 부위는 가이드 부위의 내면에서 저장공간을 향해 돌출하는 위치 가이딩 부품이 있는 레티클 포드.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 청구항 1에 있어서,
    상기 베이스의 측면에는 위치가 가이딩 부품과 대응하는 위치에 내부 수축단이 있는 하나 가이딩 부품이 있는 레티클 포드.
  6. 청구항 1에 있어서,
    상기 연결 부위에는 나사 고정 구멍이 있는 하나 가이딩 부품이 있는 레티클 포드.
  7. 청구항 1에 있어서,
    상기 가이드 부위와 가이딩 경사면 부위는 탄성체인 하나 가이딩 부품이 있는 레티클 포드.
  8. 삭제
  9. 청구항 1, 5에서 7까지 중 어느 한 항에 있어서,
    외부 포드가 있으며, 이 외부 포드에는 외부 포드 덮개와 외부 포드 베이스가 있고 외부 포드 덮개가 외부 포드 베이스에 덮일 때 외부 포드에 상기 포드 본체를 넣을 수 있는 자리가 있는 하나 가이딩 부품이 있는 레티클 포드.
  10. 삭제
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