JP2022078652A - ブランクスケース - Google Patents
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Abstract
Description
特許文献1~3に記載されたケースは、いずれも、外箱と蓋とを有し、密閉した内部にマスクブランクスを収容する。
さらに、上述した特許文献の技術では、既に成膜しているマスク層やレジスト層の端面や面取り面の稜線付近が当接している押さえ部材に対して移動した場合、これらの摺動により発生するパーティクルが非常に多くなる場合がある。
1.搬送中にガラス基板表面にパーティクルが付着することを確実に防止すること。
2.ケースに収納する前に既に形成した膜に起因するパーティクルの発生を防止すること。
3.パーティクル発生の原因となる基板の回転を確実に防止すること。
上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せる蓋体とを備えて、前記ケース本体及び前記蓋体のそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、マスクブランクスを縦方向に収納し、収納されたマスクブランクスの上方角部を保持する保持手段を前記蓋体の内側に設けてなるブランクスケースであって、
前記マスクブランクスは、対向する2つの主表面と、この2つの主表面の間に介在する周縁端部において、前記主表面と直交する方向の端面と、該端面と前記主表面との間に介在する面取りされたC端面とを有しており、
前記保持手段は、収納された前記マスクブランクスの側方となる前記端面および前記C端面に当接する当接片を有し、
前記当接片が、前記マスクブランクスの側方となる前記C端面にそれぞれ当接する第1当接部と、前記端面に当接する第2当接部と、を備えている(少なくとも3点で接触)
ことにより上記課題を解決した。
本発明のブランクスケースは、
前記第1当接部が、前記C端面および前記主表面で形成される主稜線と、前記C端面および前記端面で形成される端稜線と、の中央位置よりも前記端稜線に近接する位置でそれぞれの前記C端面に当接する
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
それぞれの前記C端面に当接する一組の前記第1当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に対称に設けられる
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記第1当接部が、前記主稜線および前記端稜線に平行に形成される
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記第1当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿うとともに前記主稜線および前記端稜線に直交する断面において前記C端面に対して点接触する
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記第2当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に複数形成される
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記第2当接部として、前記C端面および前記端面で形成される2本の端稜線に対して、これら前記端稜線の中央位置よりも前記端稜線に近接する位置で前記端面に当接する第2端当接部を有する
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記第2当接部として、前記C端面および前記端面で形成される2本の端稜線に対して、これら前記端稜線の中央位置に近接する位置で前記端面に当接する第2中当接部を有する
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記第2当接部が、2本の前記端稜線に平行に形成される
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記第2当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿うとともに2本の前記端稜線に直交する断面において前記端面に対して点接触する
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記保持手段は、収納された前記マスクブランクスの上方となる前記端面に当接する上当接部を有する
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記上当接部および前記当接片は、いずれも収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿った直線状に延在する軸に沿って所定間隔で配列され、前記軸には前記上当接部および前記当接片に対応して複数の切欠きを設けている
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記上当接部および前記当接片は、前記軸に対して断面視で互いが鋭角となる方向に配列されている
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
収納された前記マスクブランクスには、前記主表面の一方にマスク層が形成されている
ことができる。
上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せる蓋体とを備えて、前記ケース本体及び前記蓋体のそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、マスクブランクスを縦方向に収納し、収納されたマスクブランクスの上方角部を保持する保持手段を前記蓋体の内側に設けてなるブランクスケースであって、
前記マスクブランクスは、対向する2つの主表面と、この2つの主表面の間に介在する周縁端部において、前記主表面と直交する方向の端面と、該端面と前記主表面との間に介在する面取りされたC端面とを有しており、
前記保持手段は、収納された前記マスクブランクスの側方となる前記端面および前記C端面に当接する当接片を有し、
前記当接片が、前記マスクブランクスの側方となる前記C端面にそれぞれ当接する第1当接部と、前記端面に当接する第2当接部と、を備えている。
これにより、ケース本体に複数枚のマスクブランクスを縦方向つまり主表面を鉛直方向沿って各主表面が対向するように複数のマスクブランクスを略平行に並べて収納すると、マスクブランクスの端面が上方を向くとともに、このマスクブランクスの端面が側方を向く。本発明のブランクスケースでは、この状態のケース本体に蓋体を被せることで、蓋体の内側に設けられた保持手段がマスクブランクスの上辺端部となる角部付近に当接する。この際、保持手段の当接片において、第1当接部が、マスクブランクの側方となる2箇所のC端面にそれぞれ当接する。同時に、第2当接部が端面に当接する。
このように、当接片が、端面と端面の両側に位置する2つのC端面との少なくとも3箇所で接触する。
これにより、マスクブランクスの上端が底辺を回転の中心軸線として主表面が傾くように回転しようとした場合に、第1当接部が、マスクブランクスの側方となる2箇所のC端面の回転方向にそれぞれ当接していることで、このようなマスクブランクスの回転を防止できる。しかも、回転方向の順方向と逆方向の2箇所で第1当接部がC端面に当接しているため、いずれの回転方向にもマスクブランクスが動かないように規制することができる。言い換えると、マスクブランクスの厚さ方向において、外側位置から2箇所の第1当接部が、それぞれC端面を中央位置に向けて止めているため、いわばマスクブランクスを挟んで位置規制することが可能となる。
ここで、マスクブランクスの厚さ方向における中央位置とは、前記厚さ方向において、表裏の主表面から等距離にある位置を意味する。
また、第1当接部がC端面に当接するのと同時に、第2当接部が端面に当接していることにより、第1当接部のC端面に対する当接位置がずれて、第1当接部によるC端面に対する回転防止作用がなくなることを防止できる。さらに、第2当接部が端面に当接していることにより、マスクブランクスが主表面に沿って側方に向けて移動することが防止できる。したがって、マスクブランクスがブランクスケースに対して摺動してパーティクルが発生することを確実に防止できる。マスクブランクスの輸送時に振動発生をゼロにすることはできないため、発生した振動を抑制することが発塵の抑制に繋がる。
特に、既に成膜された成膜面である主表面とこの成膜された主表面に隣接してマスク層やレジスト層が付着している可能性があるC端面の主表面に近接する位置には、第1当接部が接触しないため、C端面においてパーティクルが発生することがない。
これによって、ブランクスケースによるマスクブランクスの搬送において、膜質の低下や、光学特性の低下、さらに、フォトリソ工程における不具合の発生等の悪影響を防止することができる。
前記第1当接部が、前記C端面および前記主表面で形成される主稜線と、前記C端面および前記端面で形成される端稜線と、の中央位置よりも前記端稜線に近接する位置でそれぞれの前記C端面に当接する。
これにより、端面がC端面に沿うようにマスクブランクスが回転しようとした際に、当接している第1当接部によって回転が効果的に阻止されて、マスクブランクスが移動することがない。同時に、既に成膜された成膜面である主表面とこの成膜された主表面に隣接してマスク層やレジスト層が付着している可能性があるC端面の主表面に近接する位置には、第1当接部が接触しないため、C端面においてパーティクルが発生することがない。
ここで、主稜線と端稜線との中央位置とは、C端面に沿った方向において、主稜線と端稜線とから等距離にある位置を意味する。
それぞれの前記C端面に当接する一組の前記第1当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に対称に設けられる。
これにより、マスクブランクスの上端が底辺を回転の中心軸線として主表面が傾くように回転しようとした場合に、第1当接部が、マスクブランクスの側方となる2箇所のC端面の回転方向にそれぞれ対象な位置に当接していることで、このようなマスクブランクスの回転を防止できる。しかも、回転方向の順方向と逆方向の2箇所で第1当接部がC端面に当接しているため、いずれの回転方向にもマスクブランクスが動かないように規制することができる。言い換えると、マスクブランクスの厚さ方向において、外側位置から2箇所の第1当接部が、それぞれC端面を中央位置に向けて止めているため、いわばマスクブランクスを挟んで位置規制することが可能となる。
前記第1当接部が、前記主稜線および前記端稜線に対して平行に形成される。
これにより、第1当接部が、C端面に対して主稜線および端稜線と平行に当接することになる。したがって、マスクブランクスの移動しようとする方向である回転方向に対して略直交する横方向に第1当接部がC端面に当接して、マスクブランクスの移動を規制することができる。より安定したマスクブランクスの移動規制が可能となる。
前記第1当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿うとともに前記主稜線および前記端稜線に直交する断面において前記C端面に対して点接触する。
これにより、マスクブランクスが回転移動しようとした際に、回転方向におけるC端面に対する第1当接部の接触箇所を減らして、接触位置におけるマスクブランクスのホールド状態を向上することができる。具体的には、C端面に対する第1当接部の接触箇所を線状にして、接触箇所における摩擦力を大きくすることができる。同時に、C端面が第1当接部に対してずれてしまい、保持手段における規制位置からマスクブランクスが外れてしまうことを防止することができる。
同時に、接触箇所を減らすことで、第1当接部とC端面とが摺動した際に、パーティクルの発生を抑制することが可能となる。
前記第2当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に複数形成される。
これにより、マスクブランクスが回転移動しようとした際に、当接片に対して端面が傾く方向への位置規制をおこなうことが容易になる。これは、マスクブランクスの端面が傾く方向への移動が発生しかけた場合に、複数の第2当接部のうち、端面が大きく傾く位置にある第2当接部が端面に押圧されて、この移動を停止させることができるためである。
前記第2当接部として、前記C端面および前記端面で形成される2本の端稜線に対して、これら前記端稜線の中央位置よりも前記端稜線に近接する位置で前記端面に当接する第2端当接部を有する。
これにより、マスクブランクスが回転移動しようとした際に、当接片に対して端面が傾く方向への位置規制をおこなうことが容易になる。これは、マスクブランクスの端面が傾く方向への移動が発生しかけた場合に、複数の第2当接部のうち、端面が大きく傾く位置にある第2端当接部が端面に押圧されて、この移動を停止させることができるためである。
さらに、第2端当接部と第1当接部とが端稜線を挟んだ位置でそれぞれマスクブランクスに当接することにより、端稜線が第2端当接部と第1当接部とから離脱してしまうような移動防止をおこなうことができる。
ここで、2本の端稜線の中央位置とは、端面に沿った方向において、2本の端稜線から等距離にある位置を意味する。
前記第2当接部として、前記C端面および前記端面で形成される2本の端稜線に対して、これら前記端稜線の中央位置に近接する位置で前記端面に当接する第2中当接部を有する。
これにより、マスクブランクスの端面が傾く方向への移動が発生しかけた場合に、端面がどちらのC端面に向かって傾いた場合でも、中央位置にある第2中当接部が端面に押圧されて、この移動を停止させることができる。このため、マスクブランクスが回転移動しようとした際に、当接片に対して端面が傾く方向への位置規制をおこなうことが容易になる。
さらに、第2中当接部が端面に当接していることにより、マスクブランクスが主表面に沿って側方に向けて移動することが防止できる。したがって、マスクブランクスがブランクスケースに対して摺動してパーティクルが発生することを確実に防止できる。
ここで、2本の端稜線の中央位置とは、端面に沿った方向において、2本の端稜線から等距離にある位置を意味する。
前記第2当接部が、2本の前記端稜線に平行に形成される。
これにより、第2当接部が、端面に対して2本の端稜線と平行に当接することになる。したがって、マスクブランクスが主表面に沿って側方に向けて移動しようとした際に、第2当接部が端面に当接して、マスクブランクスの移動を規制することができる。より安定したマスクブランクスの移動規制が可能となる。
前記第2当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿うとともに2本の前記端稜線に直交する断面において前記端面に対して点接触する。
これにより、マスクブランクスが移動しようとした際に、移動方向における端面に対する第2当接部の接触箇所を減らして、接触位置におけるマスクブランクスのホールド状態を向上することができる。具体的には、端面に対する第2当接部の接触箇所を線状にして、接触箇所における摩擦力を大きくすることができる。
同時に、接触箇所を減らすことで、第2当接部と端面とが摺動した際に、パーティクルの発生を抑制することが可能となる。
また、端面にあるレジストは表面から離れるほど少なくなるため、発塵の確率も少なくなる。よって、中央部に接点をもうけることが発塵抑制で重要となる。
前記保持手段は、収納された前記マスクブランクスの上方となる前記端面に当接する上当接部を有する。
これにより、上当接部がマスクブランクスの上方端面に接触して、マスクブランクスの上方角部を保持する構造としているため、保持手段とマスクブランク端面との接触面積は極めて小さい。その結果、マスクブランクの主表面へのパーティクル付着を抑制することができる。さらに、保持手段がマスクブランクの成膜面である主表面に接触することはないため、例えば主表面における膜欠陥の発生などの主表面への悪影響を防止することができる。
前記上当接部および前記当接片は、いずれも収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿った直線状に延在する軸に沿って所定間隔で配列され、前記軸には前記上当接部および前記当接片に対応して複数の切欠きを設けている。
これにより、上当接部およびの当接片の各々の(一つ一つの)軸回りの動きの自由度を上げられるので、ブランクスケース内に収納された複数枚のマスクブランクスに対して、各々の上当接部およびの当接片をしっかりとマスクブランクスに当接させ、それぞれのマスクブランクスをしっかりと保持することができる。
前記上当接部および前記当接片は、前記軸に対して断面視で互いが鋭角となる方向に配列されている。
これにより、ケース本体のマスクブランクスを収納して、該ケース本体に蓋体を被せるときに、マスクブランクスの上方端面を保持する上当接部は最初にその先端部がマスクブランクスと接触し、続いて当接片その他の部分がマスクブランクと接触するので、マスクブランクスに対する保持力を向上でき、接触時の発塵を抑制することができる。
収納された前記マスクブランクスには、前記主表面の一方にマスク層が形成されている。
これにより、ケース本体のマスクブランクスを収納して、該ケース本体に蓋体を被せた際に、マスク層には接触せずに上当接部と当接片とによってマスクブランクスの上方角部を保持することができる。したがって、マスクブランクスに対する保持力を向上でき、接触時の発塵を抑制することができる。
図1は、本実施形態におけるブランクスケースを示す模式正断面図であり、図2は、本実施形態におけるブランクスケースを示す模式側断面図である。図において、符号10は、ブランクスケースである。
ブランクスケース10を構成するパーツとして、ケース本体12と上フタ(蓋体)13とを互いに係着して一体化させる係止部17を備えていてもよい。
ガラス基板M0は、主表面M1,M2が四角形状(例えば矩形状、正方形状)とされる。端面M3と、C端面M4と、C端面M5とは、マスクブランクスMの全周に設けられる。
マスクブランクスMにおいては、主表面M1と連続するC端面M4にも、主稜線R1を越えて成膜時に層Mmが回り込むように形成されることがある(図6)。
本実施形態のブランクスケース10は、マスク層およびレジスト層付きのマスクブランクスMを、中ケース(ブランクス支持体)14に収納し、このブランクス支持体14をケース本体12に収納し、このケース本体12の開口部側に上フタ(蓋体)13を被せる。
このとき、ケース本体12の側壁部と、上フタ(蓋体)13の側壁部とは、外周面が同一面を形成するように重なり合って面一となる。
上フタ(蓋体)13は、矩形である開口縁13bの四辺のうち、一方の対向する外周面の側部にはそれぞれ係止部17が設けられる。
例えば、係止部17としては、蓋体13の一方の対向する側壁部の中央から延びた係止片の内側に係止孔部を形成し、対応するケース本体12の側壁部に係止凸部を形成することができる。
本実施形態におけるブランクスケース10には、図3に示すように、上フタ(蓋体)13の内側に、保持手段が取り付けられる。
図4は、本実施形態のブランクスケースにおける保持部材(保持手段)を示す下面図である。図5は、本実施形態のブランクスケースにおける保持部材(保持手段)を示す側面図である。図6は、本実施形態における図4,図5のブランクスケースに収納されたマスクブランクスと保持部材(保持手段)との当接状態を示す断面矢視図である。
上当接部115は、図3~図5に示すように、当接片111が当接するマスクブランクスMの側方の端面M3に隣接する上方の端面における端面M3に当接する。
本実施形態では、複数枚のマスクブランクスMの収納に対応できるように、複数の上当接部115および当接片111を備えている。
複数の当接片111は、それぞれ軸119の同じ方向に向けて配列されている。複数の上当接部115は、それぞれ軸119の同じ方向に向けて配列されている。
上当接部115は、マスクブランクスMの上方となる端面M3に当接する当接凸部116を備えている。
そして、互いに向かい合った1組の当接片111と上当接部115とが、一枚のマスクブランクスMにおける片方のコーナー部分を保持する。
軸119の平板状の面は、上フタ(蓋体)13の内側となる面に接触するように配置される。
軸119には、長手方向に複数の接続部111bが長手方向と直交する短手方向に形成されている。
接続部111bに対して、当接片111は、軸119から離間するにつれて、上フタ13の下面と平行な軸119の平板面から離間するように傾斜して接続される。
軸119の両側には、当接片111および上当接部115に対応した複数の切欠き117a,117bが配置されている。
係合孔部118は、保持部材11を、その姿勢を維持した状態で上フタ13に強固に固定できれば、形状、配置、等は限定されない。また、保持部材11の取り付け構造によっては、係合孔部118を設けないこともできる。
当接板部111aは、矩形型のプレートである。当接板部111aは、軸119の長手方向における中央部分に対して、その両端部分において、当接板部111a表面が上フタ13から離間する位置になるよう設定されている。
つまり、当接板部111aは、軸119の長手方向における中央部分に対して、その両端部分が上フタ13から離間する方向に屈曲されている。なお、当接板部111aは、軸119の長手方向における中央部分と、その両端部分との厚さ寸法が変化していてもよい。
軸119の長手方向において、当接板部111aの幅寸法が、接続部111bの幅寸法よりも大きく設定されている。これにより、マスクブランクスMを保持したときに接続部分が弾性変形して当接するマスクブランクスMを保持・固定することができる。
これら第1当接部112~第2当接部114cは、いずれも当接板部111aの同じ側の面に突出している。
これら第1当接部112~第2当接部114cは、いずれも当接板部111aの面から、後述するように、端面M3,C端面M5,M4に接触するように突出量が設定されている。
当接片111において、第1当接部113は、C端面M4および主表面M2で形成される主稜線R1と、C端面M4および端面M3で形成される端稜線R3と、の中央位置よりも端稜線R3に近接する位置でC端面M5に当接する。
また、第1当接部113が、主稜線R1と端稜線R3との中央位置よりも端稜線R3に近接する位置、より好ましくは、主稜線R1と端稜線R3との四半分よりも端稜線R3.に近接する位置でC端面M4に当接する。
第1当接部113は、軸119の短手方向、つまり、収納されたマスクブランクスMにおける側方の主稜線R1,R2、端稜線R3,R4と平行な方向に延在する。
当接片111において、第1当接部112と第1当接部113とは、収納されたマスクブランクスMの厚さ方向に対称に設けられる。
第1当接部113が、図6に示すように、収納されたマスクブランクスMの厚さ方向に沿うとともに側方の主稜線R1,R2、端稜線R3,R4に直交する断面においてC端面M4に対して点接触する。
当接片111において、第2当接部114として、マスクブランクスMの厚さ方向における端面M3の中央位置で当接する第2中当接部114aを有する。
第2中当接部114aが、図6に示すように、収納されたマスクブランクスMの厚さ方向に沿うとともに側方の主稜線R1,R2、端稜線R3,R4に直交する断面において端面M3に対して点接触する。
当接片111において、第2当接部114として、マスクブランクスMの厚さ方向において、端稜線R3と端稜線R4との中央位置よりも端稜線R4に近接する位置で端面M3に当接する第2端当接部114bを有する。
当接片111において、第2当接部114として、マスクブランクスMの厚さ方向において、端稜線R3と端稜線R4との中央位置よりも端稜線R3に近接する位置で端面M3に当接する第2端当接部114cを有する。
第2当接部114における第2中当接部114a、第2端当接部114b、第2端当接部114cは、互いに平行な方向に延在する。
第2中当接部114aは、接続部111bと反対側となる当接板部111aの端部側に配置される。
第1当接部113と第2端当接部114cとは、互いに平行な突条とされており、これらの間には、溝が形成される。
当接凸部116は、上当接部115の中央位置付近に配置された略平行な2列の突条として形成される。当接凸部116は、収納されたマスクブランクスMにおける上方の主稜線R1,R2、端稜線R3,R4と平行な方向に延在する。
当接凸部116は、マスクブランクスMの厚さ方向において、マスクブランクスMの上方となる端面M3に中央位置付近で当接する。
2条の当接凸部116の長さは、互いに同程度となるように設定される。
マスクブランクスMの厚さ方向において、2条の当接凸部116の間隔は、第2端当接部114bと第2端当接部114cとの間隔よりも狭く設定される。
上当接部115における当接凸部116は、当接片111における第2中当接部114aに対応する。
保持部材11を構成する樹脂材料としては、特に限定はされないが、雰囲気の温度、気圧等の変動があっても化学成分ガスの放出が少ない材料が特に好ましく、例えば、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレン、ポリプロピレン、環状ポリオレフィン、ポリオレフィンエラストマー、ポリエステルエラストマー、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー(COP)、フッ素系樹脂から選択される1 以上の樹脂が好ましく挙げられる。
ケース本体12に複数枚のマスクブランクスMを縦方向つまり主表面を鉛直方向沿って各主表面M1が対向するように複数のマスクブランクスMを略平行に並べて収納する。
係止部17によって、ケース本体12と上フタ(蓋体)13とを互いに係着して一体化させる。すると、上当接部115がマスクブランクスMの上方の端部に当接する。
同様に、第1当接部113と第2端当接部114cとの間に位置する溝には、端稜線R3が対向する位置にある。
同時に、当接板部111aは、端面M3と略平行な位置となり、第2中当接部114aが端面M3の中央位置に当接する。
このとき、保持部材11の当接片111において、第1当接部112,113が、マスクブランクスMの側方となる2箇所のC端面M5,M4において、回転方向にそれぞれ対象な位置で当接する。同時に、第2当接部114が端面M3に当接する。
このように、当接片111が、端面M3と、端面M3の両側に位置する2つのC端面M5,M5との5箇所で接触する。
この場合に、第1当接部112,113が、マスクブランクスMの側方となる2箇所のC端面M5,M4の回転移動する方向となる位置にそれぞれ当接している。しかも、図6に破線矢印で示すように、回転方向の順方向と逆方向の2箇所で第1当接部112,113がC端面M5,M4に当接している。
マスクブランクスMの厚さ方向において、中央位置とは、表裏の主表面M1,M2から等距離にある位置を意味する。
さらに、第2当接部114が端面M3に当接していることにより、マスクブランクスMが主表面M1,M2に沿って側方に向けて移動することが防止できる。したがって、マスクブランクスMがブランクスケース10に対して摺動してパーティクルが発生することを確実に防止することができる。
第1当接部113が、主稜線R1と端稜線R3との中央位置よりも、より好ましくは、主稜線R1と端稜線R3との四半分よりも、端稜線R3に近接する位置でC端面M4に当接する。
これらにより、マスクブランクスMの回転発生を防止できるとともに、さらに、既に成膜された成膜面である主表面M1とこの成膜された主表面M1に隣接してマスク層Mmやレジスト層が付着している可能性があるC端面M4の主表面M1に近接する位置には、第1当接部113が接触しないため、C端面M4においてパーティクルが発生することがない。
図8は、本実施形態におけるブランクスケースの保持手段とマスクブランクスとの当接状態を示す拡大断面図である。本実施形態において、上述した第1実施形態と異なるのは、第2当接部に関する点であり、これ以外の上述した第1実施形態と対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。
図9は、本実施形態におけるブランクスケースの保持手段とマスクブランクスとの当接状態を示す拡大断面図である。本実施形態において、上述した第1、第2実施形態と異なるのは、第2当接部に関する点であり、これ以外の上述した第1,第2実施形態と対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。
11…保持部材(保持手段)
12…ケース本体(本体部)
13…上フタ(蓋体)
14…中ケース(ブランクス支持体)
15…挿入溝
17…係止部
111…当接片
111a…当接板部
111b…接続部
112…第1当接部
113…第1当接部
114…第2当接部
114a…第2当接部
114a…第2中当接部
114b…第2端当接部
114c…第2端当接部
114d…第2端当接部
114e…第2端当接部
115…上当接部
116…当接凸部
117a,117b…切欠き
118…係合孔部
119…軸
M…フォトマスクブランクス(マスクブランクス)
M0…ガラス基板
M1…主表面(マスク面)
M2…主表面
M3…端面
M4…C端面
M5…C端面
Mm…層
R1…主稜線
R2…主稜線
R3…端稜線
R4…端稜線
Claims (14)
- 上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せる蓋体とを備えて、前記ケース本体及び前記蓋体のそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、マスクブランクスを縦方向に収納し、収納されたマスクブランクスの上方角部を保持する保持手段を前記蓋体の内側に設けてなるブランクスケースであって、
前記マスクブランクスは、対向する2つの主表面と、この2つの主表面の間に介在する周縁端部において、前記主表面と直交する方向の端面と、該端面と前記主表面との間に介在する面取りされたC端面とを有しており、
前記保持手段は、収納された前記マスクブランクスの側方となる前記端面および前記C端面に当接する当接片を有し、
前記当接片が、前記マスクブランクスの側方となる前記C端面にそれぞれ当接する第1当接部と、前記端面に当接する第2当接部と、を備えている
ことを特徴とするブランクスケース。 - 前記第1当接部が、前記C端面および前記主表面で形成される主稜線と、前記C端面および前記端面で形成される端稜線と、の中央位置よりも前記端稜線に近接する位置でそれぞれの前記C端面に当接する
ことを特徴とする請求項1記載のブランクスケース。 - それぞれの前記C端面に当接する一組の前記第1当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に対称に設けられる
ことを特徴とする請求項2記載のブランクスケース。 - 前記第1当接部が、前記主稜線および前記端稜線に平行に形成される
ことを特徴とする請求項3記載のブランクスケース。 - 前記第1当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿うとともに前記主稜線および前記端稜線に直交する断面において前記C端面に対して点接触する
ことを特徴とする請求項4記載のブランクスケース。 - 前記第2当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に複数形成される
ことを特徴とする請求項1記載のブランクスケース。 - 前記第2当接部として、前記C端面および前記端面で形成される2本の端稜線に対して、これら前記端稜線の中央位置よりも前記端稜線に近接する位置で前記端面に当接する第2端当接部を有する
ことを特徴とする請求項6記載のブランクスケース。 - 前記第2当接部として、前記C端面および前記端面で形成される2本の端稜線に対して、これら前記端稜線の中央位置に近接する位置で前記端面に当接する第2中当接部を有する
ことを特徴とする請求項6記載のブランクスケース。 - 前記第2当接部が、2本の前記端稜線に平行に形成される
ことを特徴とする請求項8記載のブランクスケース。 - 前記第2当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿うとともに2本の前記端稜線に直交する断面において前記端面に対して点接触する
ことを特徴とする請求項9記載のブランクスケース。 - 前記保持手段は、収納された前記マスクブランクスの上方となる前記端面に当接する上当接部を有する
ことを特徴とする請求項1記載のブランクスケース。 - 前記上当接部および前記当接片は、いずれも収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿った直線状に延在する軸に沿って所定間隔で配列され、前記軸には前記上当接部および前記当接片に対応して複数の切欠きを設けている
ことを特徴とする請求項11記載のブランクスケース。 - 前記上当接部および前記当接片は、前記軸に対して断面視で互いが鋭角となる方向に配列されている
ことを特徴とする請求項12記載のブランクスケース。 - 収納された前記マスクブランクスには、前記主表面の一方にマスク層が形成されている
ことを特徴とする請求項1記載のブランクスケース。
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