JP2022078652A - ブランクスケース - Google Patents

Abstract

【課題】パーティクルの発生を抑制する。【解決手段】ケース本体１２と、ケース本体に被せる蓋体１３とを備えて、互いに嵌め合わされてマスクブランクスＭを縦方向に収納し、収納されたマスクブランクスの上方角部を保持する保持手段１１を蓋体の内側に設けてなるブランクスケース１０であって、マスクブランクスは、対向する２つの主表面Ｍ１，Ｍ２と、２つの主表面の間に介在する周縁端部において、主表面と直交する方向の端面Ｍ３と、端面と主表面との間に介在する面取りされたＣ端面Ｍ５，Ｍ４と、を有しており、保持手段は、収納されたマスクブランクスの側方となる端面およびＣ端面に当接する当接片１１１を有し、当接片が、マスクブランクスの側方となるＣ端面にそれぞれ当接する第１当接部１１２，１１３と、端面に当接する第２当接部１１４と、を備えている。【選択図】図１

Description

本発明はブランクスケースに関し、特にフォトマスクの製造に用いられるマスクブランクを収納する際に用いて好適な技術に関する。

半導体デバイスや、ＦＰＤ（ｆｌａｔ ｐａｎｅｌ ｄｉｓｐｌａｙ，フラットパネルディスプレイ）の製造等におけるフォトリソグラフィ工程で用いられるフォトマスクを形成するため、フォトマスクブランクスが利用されている。フォトマスクブランクスは、例えば、ガラス基板の一方の主面にマスク層やレジスト層を形成したものからなる。

このようなマスクブランクスを収納保管し運搬するためのケースとして、特許文献１，２に記載されたものが知られている。
特許文献１～３に記載されたケースは、いずれも、外箱と蓋とを有し、密閉した内部にマスクブランクスを収容する。

マスクブランクスの表面にパーティクル等の異物があると、形成されるパターンの欠陥の原因となるので、マスクブランクスは、その表面に異物等が付着しないように清浄に保管される必要がある。

特に、近年の電子デバイスの高性能化に伴って、転写用マスクに形成されるパターンも一段と微細化が要求されており、このような微細パターンを形成するためにもマスクブランクスの清浄度は極めて高いものでないと許容できなくなってきている。従って、マスクブランクスにパーティクル等の異物が付着するのを防止することが必要であり、マスクブランクスの保管中に、特にマスクブランクスのマスク層やレジスト層を高い清浄度に維持する必要がある。

特開２０１４－０２９５１９号公報 特開２００７－２０１３１１号公報

しかしながら、特許文献１，２に示す方法で基板を搬送した場合には、搬送中にガラス基板とケース内部の部材とが擦れることによりパーティクルが発生し、ガラス基板の表面に多数のパーティクルが付着するという問題がある。また、このようなパーティクルは、ケース解放時にクリーンルームを汚染する原因ともなる、さらに、パーティクルがフォトマスクやマスクブランクスなどといったガラス基板の表面に付着すると、パターン欠陥や転写特性の低下などといった重大な欠陥を発生させてしまう。

特に、収納されたガラス基板が底辺を軸線としてガラス基板の成膜面が傾くように上辺が回転するように摺動が発生した場合、上記の特許文献記載の技術では、その回転を防止できないという問題があった。
さらに、上述した特許文献の技術では、既に成膜しているマスク層やレジスト層の端面や面取り面の稜線付近が当接している押さえ部材に対して移動した場合、これらの摺動により発生するパーティクルが非常に多くなる場合がある。

本発明は、上記の事情に鑑みてなされたもので、以下の目的を達成しようとするものである。
１．搬送中にガラス基板表面にパーティクルが付着することを確実に防止すること。
２．ケースに収納する前に既に形成した膜に起因するパーティクルの発生を防止すること。
３．パーティクル発生の原因となる基板の回転を確実に防止すること。

本発明のブランクスケースは、
上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せる蓋体とを備えて、前記ケース本体及び前記蓋体のそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、マスクブランクスを縦方向に収納し、収納されたマスクブランクスの上方角部を保持する保持手段を前記蓋体の内側に設けてなるブランクスケースであって、
前記マスクブランクスは、対向する２つの主表面と、この２つの主表面の間に介在する周縁端部において、前記主表面と直交する方向の端面と、該端面と前記主表面との間に介在する面取りされたＣ端面とを有しており、
前記保持手段は、収納された前記マスクブランクスの側方となる前記端面および前記Ｃ端面に当接する当接片を有し、
前記当接片が、前記マスクブランクスの側方となる前記Ｃ端面にそれぞれ当接する第１当接部と、前記端面に当接する第２当接部と、を備えている（少なくとも３点で接触）
ことにより上記課題を解決した。
本発明のブランクスケースは、
前記第１当接部が、前記Ｃ端面および前記主表面で形成される主稜線と、前記Ｃ端面および前記端面で形成される端稜線と、の中央位置よりも前記端稜線に近接する位置でそれぞれの前記Ｃ端面に当接する
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
それぞれの前記Ｃ端面に当接する一組の前記第１当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に対称に設けられる
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記第１当接部が、前記主稜線および前記端稜線に平行に形成される
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記第１当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿うとともに前記主稜線および前記端稜線に直交する断面において前記Ｃ端面に対して点接触する
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記第２当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に複数形成される
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記第２当接部として、前記Ｃ端面および前記端面で形成される２本の端稜線に対して、これら前記端稜線の中央位置よりも前記端稜線に近接する位置で前記端面に当接する第２端当接部を有する
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記第２当接部として、前記Ｃ端面および前記端面で形成される２本の端稜線に対して、これら前記端稜線の中央位置に近接する位置で前記端面に当接する第２中当接部を有する
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記第２当接部が、２本の前記端稜線に平行に形成される
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記第２当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿うとともに２本の前記端稜線に直交する断面において前記端面に対して点接触する
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記保持手段は、収納された前記マスクブランクスの上方となる前記端面に当接する上当接部を有する
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記上当接部および前記当接片は、いずれも収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿った直線状に延在する軸に沿って所定間隔で配列され、前記軸には前記上当接部および前記当接片に対応して複数の切欠きを設けている
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
前記上当接部および前記当接片は、前記軸に対して断面視で互いが鋭角となる方向に配列されている
ことができる。
本発明のブランクスケースは、
収納された前記マスクブランクスには、前記主表面の一方にマスク層が形成されている
ことができる。

本発明のブランクスケースは、
上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せる蓋体とを備えて、前記ケース本体及び前記蓋体のそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、マスクブランクスを縦方向に収納し、収納されたマスクブランクスの上方角部を保持する保持手段を前記蓋体の内側に設けてなるブランクスケースであって、
前記マスクブランクスは、対向する２つの主表面と、この２つの主表面の間に介在する周縁端部において、前記主表面と直交する方向の端面と、該端面と前記主表面との間に介在する面取りされたＣ端面とを有しており、
前記保持手段は、収納された前記マスクブランクスの側方となる前記端面および前記Ｃ端面に当接する当接片を有し、
前記当接片が、前記マスクブランクスの側方となる前記Ｃ端面にそれぞれ当接する第１当接部と、前記端面に当接する第２当接部と、を備えている。
これにより、ケース本体に複数枚のマスクブランクスを縦方向つまり主表面を鉛直方向沿って各主表面が対向するように複数のマスクブランクスを略平行に並べて収納すると、マスクブランクスの端面が上方を向くとともに、このマスクブランクスの端面が側方を向く。本発明のブランクスケースでは、この状態のケース本体に蓋体を被せることで、蓋体の内側に設けられた保持手段がマスクブランクスの上辺端部となる角部付近に当接する。この際、保持手段の当接片において、第１当接部が、マスクブランクの側方となる２箇所のＣ端面にそれぞれ当接する。同時に、第２当接部が端面に当接する。
このように、当接片が、端面と端面の両側に位置する２つのＣ端面との少なくとも３箇所で接触する。
これにより、マスクブランクスの上端が底辺を回転の中心軸線として主表面が傾くように回転しようとした場合に、第１当接部が、マスクブランクスの側方となる２箇所のＣ端面の回転方向にそれぞれ当接していることで、このようなマスクブランクスの回転を防止できる。しかも、回転方向の順方向と逆方向の２箇所で第１当接部がＣ端面に当接しているため、いずれの回転方向にもマスクブランクスが動かないように規制することができる。言い換えると、マスクブランクスの厚さ方向において、外側位置から２箇所の第１当接部が、それぞれＣ端面を中央位置に向けて止めているため、いわばマスクブランクスを挟んで位置規制することが可能となる。
ここで、マスクブランクスの厚さ方向における中央位置とは、前記厚さ方向において、表裏の主表面から等距離にある位置を意味する。
また、第１当接部がＣ端面に当接するのと同時に、第２当接部が端面に当接していることにより、第１当接部のＣ端面に対する当接位置がずれて、第１当接部によるＣ端面に対する回転防止作用がなくなることを防止できる。さらに、第２当接部が端面に当接していることにより、マスクブランクスが主表面に沿って側方に向けて移動することが防止できる。したがって、マスクブランクスがブランクスケースに対して摺動してパーティクルが発生することを確実に防止できる。マスクブランクスの輸送時に振動発生をゼロにすることはできないため、発生した振動を抑制することが発塵の抑制に繋がる。
特に、既に成膜された成膜面である主表面とこの成膜された主表面に隣接してマスク層やレジスト層が付着している可能性があるＣ端面の主表面に近接する位置には、第１当接部が接触しないため、Ｃ端面においてパーティクルが発生することがない。
これによって、ブランクスケースによるマスクブランクスの搬送において、膜質の低下や、光学特性の低下、さらに、フォトリソ工程における不具合の発生等の悪影響を防止することができる。

本発明のブランクスケースは、
前記第１当接部が、前記Ｃ端面および前記主表面で形成される主稜線と、前記Ｃ端面および前記端面で形成される端稜線と、の中央位置よりも前記端稜線に近接する位置でそれぞれの前記Ｃ端面に当接する。
これにより、端面がＣ端面に沿うようにマスクブランクスが回転しようとした際に、当接している第１当接部によって回転が効果的に阻止されて、マスクブランクスが移動することがない。同時に、既に成膜された成膜面である主表面とこの成膜された主表面に隣接してマスク層やレジスト層が付着している可能性があるＣ端面の主表面に近接する位置には、第１当接部が接触しないため、Ｃ端面においてパーティクルが発生することがない。
ここで、主稜線と端稜線との中央位置とは、Ｃ端面に沿った方向において、主稜線と端稜線とから等距離にある位置を意味する。

本発明のブランクスケースは、
それぞれの前記Ｃ端面に当接する一組の前記第１当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に対称に設けられる。
これにより、マスクブランクスの上端が底辺を回転の中心軸線として主表面が傾くように回転しようとした場合に、第１当接部が、マスクブランクスの側方となる２箇所のＣ端面の回転方向にそれぞれ対象な位置に当接していることで、このようなマスクブランクスの回転を防止できる。しかも、回転方向の順方向と逆方向の２箇所で第１当接部がＣ端面に当接しているため、いずれの回転方向にもマスクブランクスが動かないように規制することができる。言い換えると、マスクブランクスの厚さ方向において、外側位置から２箇所の第１当接部が、それぞれＣ端面を中央位置に向けて止めているため、いわばマスクブランクスを挟んで位置規制することが可能となる。

本発明のブランクスケースは、
前記第１当接部が、前記主稜線および前記端稜線に対して平行に形成される。
これにより、第１当接部が、Ｃ端面に対して主稜線および端稜線と平行に当接することになる。したがって、マスクブランクスの移動しようとする方向である回転方向に対して略直交する横方向に第１当接部がＣ端面に当接して、マスクブランクスの移動を規制することができる。より安定したマスクブランクスの移動規制が可能となる。

本発明のブランクスケースは、
前記第１当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿うとともに前記主稜線および前記端稜線に直交する断面において前記Ｃ端面に対して点接触する。
これにより、マスクブランクスが回転移動しようとした際に、回転方向におけるＣ端面に対する第１当接部の接触箇所を減らして、接触位置におけるマスクブランクスのホールド状態を向上することができる。具体的には、Ｃ端面に対する第１当接部の接触箇所を線状にして、接触箇所における摩擦力を大きくすることができる。同時に、Ｃ端面が第１当接部に対してずれてしまい、保持手段における規制位置からマスクブランクスが外れてしまうことを防止することができる。
同時に、接触箇所を減らすことで、第１当接部とＣ端面とが摺動した際に、パーティクルの発生を抑制することが可能となる。

本発明のブランクスケースは、
前記第２当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に複数形成される。
これにより、マスクブランクスが回転移動しようとした際に、当接片に対して端面が傾く方向への位置規制をおこなうことが容易になる。これは、マスクブランクスの端面が傾く方向への移動が発生しかけた場合に、複数の第２当接部のうち、端面が大きく傾く位置にある第２当接部が端面に押圧されて、この移動を停止させることができるためである。

本発明のブランクスケースは、
前記第２当接部として、前記Ｃ端面および前記端面で形成される２本の端稜線に対して、これら前記端稜線の中央位置よりも前記端稜線に近接する位置で前記端面に当接する第２端当接部を有する。
これにより、マスクブランクスが回転移動しようとした際に、当接片に対して端面が傾く方向への位置規制をおこなうことが容易になる。これは、マスクブランクスの端面が傾く方向への移動が発生しかけた場合に、複数の第２当接部のうち、端面が大きく傾く位置にある第２端当接部が端面に押圧されて、この移動を停止させることができるためである。
さらに、第２端当接部と第１当接部とが端稜線を挟んだ位置でそれぞれマスクブランクスに当接することにより、端稜線が第２端当接部と第１当接部とから離脱してしまうような移動防止をおこなうことができる。
ここで、２本の端稜線の中央位置とは、端面に沿った方向において、２本の端稜線から等距離にある位置を意味する。

本発明のブランクスケースは、
前記第２当接部として、前記Ｃ端面および前記端面で形成される２本の端稜線に対して、これら前記端稜線の中央位置に近接する位置で前記端面に当接する第２中当接部を有する。
これにより、マスクブランクスの端面が傾く方向への移動が発生しかけた場合に、端面がどちらのＣ端面に向かって傾いた場合でも、中央位置にある第２中当接部が端面に押圧されて、この移動を停止させることができる。このため、マスクブランクスが回転移動しようとした際に、当接片に対して端面が傾く方向への位置規制をおこなうことが容易になる。
さらに、第２中当接部が端面に当接していることにより、マスクブランクスが主表面に沿って側方に向けて移動することが防止できる。したがって、マスクブランクスがブランクスケースに対して摺動してパーティクルが発生することを確実に防止できる。
ここで、２本の端稜線の中央位置とは、端面に沿った方向において、２本の端稜線から等距離にある位置を意味する。

本発明のブランクスケースは、
前記第２当接部が、２本の前記端稜線に平行に形成される。
これにより、第２当接部が、端面に対して２本の端稜線と平行に当接することになる。したがって、マスクブランクスが主表面に沿って側方に向けて移動しようとした際に、第２当接部が端面に当接して、マスクブランクスの移動を規制することができる。より安定したマスクブランクスの移動規制が可能となる。

本発明のブランクスケースは、
前記第２当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿うとともに２本の前記端稜線に直交する断面において前記端面に対して点接触する。
これにより、マスクブランクスが移動しようとした際に、移動方向における端面に対する第２当接部の接触箇所を減らして、接触位置におけるマスクブランクスのホールド状態を向上することができる。具体的には、端面に対する第２当接部の接触箇所を線状にして、接触箇所における摩擦力を大きくすることができる。
同時に、接触箇所を減らすことで、第２当接部と端面とが摺動した際に、パーティクルの発生を抑制することが可能となる。
また、端面にあるレジストは表面から離れるほど少なくなるため、発塵の確率も少なくなる。よって、中央部に接点をもうけることが発塵抑制で重要となる。

本発明のブランクスケースは、
前記保持手段は、収納された前記マスクブランクスの上方となる前記端面に当接する上当接部を有する。
これにより、上当接部がマスクブランクスの上方端面に接触して、マスクブランクスの上方角部を保持する構造としているため、保持手段とマスクブランク端面との接触面積は極めて小さい。その結果、マスクブランクの主表面へのパーティクル付着を抑制することができる。さらに、保持手段がマスクブランクの成膜面である主表面に接触することはないため、例えば主表面における膜欠陥の発生などの主表面への悪影響を防止することができる。

本発明のブランクスケースは、
前記上当接部および前記当接片は、いずれも収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿った直線状に延在する軸に沿って所定間隔で配列され、前記軸には前記上当接部および前記当接片に対応して複数の切欠きを設けている。
これにより、上当接部およびの当接片の各々の（一つ一つの）軸回りの動きの自由度を上げられるので、ブランクスケース内に収納された複数枚のマスクブランクスに対して、各々の上当接部およびの当接片をしっかりとマスクブランクスに当接させ、それぞれのマスクブランクスをしっかりと保持することができる。

本発明のブランクスケースは、
前記上当接部および前記当接片は、前記軸に対して断面視で互いが鋭角となる方向に配列されている。
これにより、ケース本体のマスクブランクスを収納して、該ケース本体に蓋体を被せるときに、マスクブランクスの上方端面を保持する上当接部は最初にその先端部がマスクブランクスと接触し、続いて当接片その他の部分がマスクブランクと接触するので、マスクブランクスに対する保持力を向上でき、接触時の発塵を抑制することができる。

本発明のブランクスケースは、
収納された前記マスクブランクスには、前記主表面の一方にマスク層が形成されている。
これにより、ケース本体のマスクブランクスを収納して、該ケース本体に蓋体を被せた際に、マスク層には接触せずに上当接部と当接片とによってマスクブランクスの上方角部を保持することができる。したがって、マスクブランクスに対する保持力を向上でき、接触時の発塵を抑制することができる。

本発明によれば、搬送中にガラス基板表面にパーティクルが付着することを確実に防止し、ケースに収納する前に既に形成した膜に起因するパーティクルの発生を防止し、パーティクル発生の原因となる基板の回転を確実に防止することができるという効果を奏することが可能となる。

本発明に係るブランクスケースの第１実施形態を示す模式正断面図である。 本発明に係るブランクスケースの第１実施形態を示す模式側断面図である。 本発明に係るブランクスケースの第１実施形態における蓋体の内側を示す斜視図である。 本発明に係るブランクスケースの第１実施形態における保持手段を示す下面図である。 本発明に係るブランクスケースの第１実施形態における保持手段を示す側面図である。 図４，図５のブランクスケースの第１実施形態に収納されたマスクブランクスと保持手段との当接状態を示す断面矢視図である。 図６のブランクスケースの第１実施形態に収納されたマスクブランクスと保持手段との当接状態を示す拡大断面図である。 本発明のブランクスケースの第２実施形態に収納されたマスクブランクスと保持手段との当接状態を示す断面矢視図である。 本発明のブランクスケースの第３実施形態に収納されたマスクブランクスと保持手段との当接状態を示す断面矢視図である。

以下、本発明に係るブランクスケースの第１実施形態を、図面に基づいて説明する。
図１は、本実施形態におけるブランクスケースを示す模式正断面図であり、図２は、本実施形態におけるブランクスケースを示す模式側断面図である。図において、符号１０は、ブランクスケースである。

本実施形態に係るブランクスケース１０は、図１，図２に示すように、ケース本体１２と、上フタ（蓋体）１３と、ブランクス支持体（中子）１４と、を含むパーツを備えている。
ブランクスケース１０を構成するパーツとして、ケース本体１２と上フタ（蓋体）１３とを互いに係着して一体化させる係止部１７を備えていてもよい。

ケース本体（本体部）１２は、例えば矩形の底部１２ａを有する有底筒形状であり、開放端側に上フタ（蓋体）１３が係合される。ケース本体（本体部）１２に上フタ１３を係合させることで、内部に気密な空間Ｅが形成される。

ブランクス支持体１４は、ブランクスケース１０の空間Ｅ内に収容される。ブランクス支持体１４は、例えば矩形の筒状体であり、一対の内面に、それぞれ複数の挿入溝１５，１５…が形成されている。この挿入溝１５は、上フタ（蓋体）１３から底部１２ａに向けて延び、上フタ（蓋体）１３に近接する端部では断面方向が開いており、底部１２ａに近接する下部では断面方向が閉じられている。

こうした向かい合う一対の挿入溝１５，１５の間に、フォトマスクブランクス（マスクブランクス）Ｍを収容することができる。即ち、ブランクスケース１０の空間Ｅ内に収容されるブランクス支持体１４は、複数枚のマスクブランクスＭを支持することができる。

マスクブランクスＭは、対向する２つの主表面Ｍ１，Ｍ２と、この２つの主表面Ｍ１，Ｍ２の間に介在する周縁端部において、主表面Ｍ１，Ｍ２と直交する方向の端面Ｍ３と、端面Ｍ３と主表面Ｍ１との間に介在する面取りされたＣ端面Ｍ４と、端面Ｍ３と主表面Ｍ２との間に介在する面取りされたＣ端面Ｍ５とを有する（図１，図２，図６）。
ガラス基板Ｍ０は、主表面Ｍ１，Ｍ２が四角形状（例えば矩形状、正方形状）とされる。端面Ｍ３と、Ｃ端面Ｍ４と、Ｃ端面Ｍ５とは、マスクブランクスＭの全周に設けられる。

主表面Ｍ１とＣ端面Ｍ４との境界位置には、直線状の主稜線Ｒ１が形成される。Ｃ端面Ｍ４と端面Ｍ３との境界位置には、直線状の端稜線Ｒ３が形成される。端面Ｍ３とＣ端面Ｍ５との境界位置には、直線状の端稜線Ｒ４が形成される。Ｃ端面Ｍ５と主表面Ｍ２との境界位置には、直線状の主稜線Ｒ２が形成される（図６）。

マスクブランクスＭは、ガラス基板Ｍ０の主表面（マスク面）Ｍ１に、転写パターン形成用のマスク層やフォトレジスト層からなる層Ｍｍを形成したものからなる。層Ｍｍは、ガラス基板Ｍ０の一主表面（マスク面）Ｍ１上に積層される。層Ｍｍは、クロム、モリブデンやシリコン等の薄膜からなるマスク層およびレジスト層からなる薄膜を形成して、遮光性、透過性、反射率、消尽率等、所定の光学特性を有するものとされる。
マスクブランクスＭにおいては、主表面Ｍ１と連続するＣ端面Ｍ４にも、主稜線Ｒ１を越えて成膜時に層Ｍｍが回り込むように形成されることがある（図６）。

こうしたマスクブランクスＭを運搬する際には、ブランクス支持体１４の向かい合う一対の挿入溝１５，１５の間に１枚ずつ挿入し、さらにブランクス支持体１４をブランクスケース１０の空間Ｅ内に収容して、ブランクスケース１０ごと運搬する。
本実施形態のブランクスケース１０は、マスク層およびレジスト層付きのマスクブランクスＭを、中ケース（ブランクス支持体）１４に収納し、このブランクス支持体１４をケース本体１２に収納し、このケース本体１２の開口部側に上フタ（蓋体）１３を被せる。

ケース本体１２の開口縁１２ｂには、その外周に段差が形成される。段差は、開口縁１２ｂに沿って、その全周に周設される。ケース本体１２の開口縁１２ｂには、段差よりも上端に近接する部分が、段差よりも下側の側壁部に比べて厚さが薄くなる嵌合凸部が形成されている。嵌合凸部は、開口縁に沿って、その全周に周設される。嵌合凸部は、開口縁１２ｂの全周において、均一な厚さ、かつ、均一な高さとされることができる。

上フタ（蓋体）１３の開口縁１３ｂには、その内周に段差が形成される。段差は、開口縁１３ｂに沿って、その全周に周設される。上フタ（蓋体）１３の開口縁１３ｂには、段差よりも下端面に近接する部分が、段差よりも上側の側壁部に比べて厚さが薄くなる嵌合凸部が形成されている。嵌合凸部は、開口縁に沿って、その全周に周設される。嵌合凸部は、開口縁１３ｂの全周において、均一な厚さ、かつ、均一な高さとされることができる。

ケース本体１２の嵌合凸部の外周面と、上フタ（蓋体）１３の嵌合凸部の内周面とは、互いに対応する径寸法とされる。具体的には、ケース本体１２の上から蓋体１３を被せると、蓋体１３の開口縁１３ｂでやや外方に拡開した嵌合凸部とケース本体１２の開口縁１２ｂでやや内方に縮閉した嵌合凸部とが内外方向に重なり合う。

これらケース本体１２の外周面と上フタ（蓋体）１３の内周面とは、ケース本体１２の上から蓋体１３を被せた際に、互いに密着して、ブランクスケース１０内部の空間Ｅを密閉する。同時に、ケース本体１２の段差面と、蓋体１３の下端面とが互いに接触し、蓋体１３の開口縁１３ｂとケース本体１２の開口縁１２ｂとが同一面上に重なり合って蓋体１３とケース本体１２とが接合される。
このとき、ケース本体１２の側壁部と、上フタ（蓋体）１３の側壁部とは、外周面が同一面を形成するように重なり合って面一となる。

また、ケース本体１２では、矩形である開口縁１２ｂの四辺のうち、一方の対向する外周面の側部にそれぞれ係止部１７が設けられる。
上フタ（蓋体）１３は、矩形である開口縁１３ｂの四辺のうち、一方の対向する外周面の側部にはそれぞれ係止部１７が設けられる。
例えば、係止部１７としては、蓋体１３の一方の対向する側壁部の中央から延びた係止片の内側に係止孔部を形成し、対応するケース本体１２の側壁部に係止凸部を形成することができる。

これにより、蓋体１３をケース本体１２に被せたときに、その一方の対向する２箇所において、係止片の係止孔部とケース本体１２の係止凸部とが、それぞれ対応して係止されることで、蓋体１３とケース本体１２とが閉じた状態で固定される構成となっている。なお、係止部１７は、蓋体１３とケース本体１２とが閉じた状態で固定可能であれば、この構成に限定されない。

ケース本体１２および蓋体１３の材質は、樹脂材料で形成されるが、例えばポリプロピレン、アクリル、ポリエチレン、ポリカーボネート、ポリエステル、ポリアミド、ポリアセタール、ポリイミド、ポリエチルサルファイト、ポリブチレンテレフタレート（ＰＢＴ）、アクリロニトリル・ブタジエン・スチレン（ＡＢＳ）、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）等の樹脂から適宜選択されることができる。さらに、これらの樹脂材料には、たとえばカーボン等を混ぜ込んで導電性を付与してもよい。

本実施形態においては、ケース本体１２と、上フタ（蓋体）１３と、ブランクス支持体（中子）１４と、の構造に関しては、上記のものには限定されない。

以下、本実施形態のブランクスケース１０に用いられる保持手段について説明する。

図３は、本実施形態におけるブランクスケースにおける蓋体の内側を示す斜視図である。
本実施形態におけるブランクスケース１０には、図３に示すように、上フタ（蓋体）１３の内側に、保持手段が取り付けられる。

保持手段は、ブランクスケース１０に収納されたマスクブランクの上方角部を保持する。本実施形態では、保持手段として、マスクブランクスＭの上方の角部端面を保持する樹脂材料で形成された複数の保持部材１１を蓋体１３の内側に設けている。具体的には、このような保持部材１１を２本用意して、蓋体１３の空間Ｅに臨む内側である裏面の一方の内側面に互いに対向させて取り付けられる。２本の保持部材１１は保持手段を構成する。

本実施形態の保持部材１１は、当接片１１１と、上当接部１１５と、を備えている。
図４は、本実施形態のブランクスケースにおける保持部材（保持手段）を示す下面図である。図５は、本実施形態のブランクスケースにおける保持部材（保持手段）を示す側面図である。図６は、本実施形態における図４，図５のブランクスケースに収納されたマスクブランクスと保持部材（保持手段）との当接状態を示す断面矢視図である。

当接片１１１は、図３～図５に示すように、収納されたマスクブランクスＭの上方角部分における側方の端面Ｍ３およびＣ端面Ｍ４，Ｍ５に当接する。
上当接部１１５は、図３～図５に示すように、当接片１１１が当接するマスクブランクスＭの側方の端面Ｍ３に隣接する上方の端面における端面Ｍ３に当接する。
本実施形態では、複数枚のマスクブランクスＭの収納に対応できるように、複数の上当接部１１５および当接片１１１を備えている。

複数の当接片１１１はいずれも、直線状に延在した軸１１９に沿って所定間隔で配列されている。当接片１１１の配置数は、ブランクス支持体（中子）１４に収納される複数枚のマスクブランクスＭの収納数に応じて適宜設定される。当接片１１１の配置間隔は、ブランクス支持体（中子）１４に収納される複数枚のマスクブランクスＭの間隔に応じて適宜設定される。

複数の上当接部１１５はいずれも、直線状に延在した軸１１９に沿って所定間隔で配列されている。上当接部１１５の配置数は、ブランクス支持体（中子）１４に収納される複数枚のマスクブランクスＭの収納数に応じて適宜設定される。上当接部１１５の配置間隔は、例えばブランクス支持体（中子）１４に収納される複数枚のマスクブランクスＭの間隔に応じて適宜設定される。

つまり、当接片１１１および上当接部１１５は、軸１１９に対して、それぞれ対応する数で、かつ、対応する配置間隔で儲けられている。
複数の当接片１１１は、それぞれ軸１１９の同じ方向に向けて配列されている。複数の上当接部１１５は、それぞれ軸１１９の同じ方向に向けて配列されている。

複数の当接片１１１は、いずれも軸１１９の延在する方向に対して、直交する方向に向けて突出する。複数の上当接部１１５は、いずれも軸１１９の延在する方向に対して、直交する方向に向けて突出する。

当接片１１１は、マスクブランクスＭの側方となるＣ端面Ｍ４，Ｍ５にそれぞれ当接する第１当接部１１２，１１３と、端面Ｍ３に当接する第２当接部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃと、を備えている。
上当接部１１５は、マスクブランクスＭの上方となる端面Ｍ３に当接する当接凸部１１６を備えている。

また各当接片１１１の第１当接部１１２，１１３、第２当接部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃと各上当接部１１５の当接凸部１１６は、マスクブランクスＭと当接する当接面側が互いに向い合う位置に配列されている。
そして、互いに向かい合った１組の当接片１１１と上当接部１１５とが、一枚のマスクブランクスＭにおける片方のコーナー部分を保持する。

軸１１９は、図３～図６に示すように、所定の厚さを有し長尺である略平板形状である。
軸１１９の平板状の面は、上フタ（蓋体）１３の内側となる面に接触するように配置される。
軸１１９には、長手方向に複数の接続部１１１ｂが長手方向と直交する短手方向に形成されている。

接続部１１１ｂには、軸１１９から離間する端部に当接片１１１が接続されている。上フタ１３の下面と平行な軸１１９の平板面に対して、接続部１１１ｂは略平行に接続される。
接続部１１１ｂに対して、当接片１１１は、軸１１９から離間するにつれて、上フタ１３の下面と平行な軸１１９の平板面から離間するように傾斜して接続される。

接続部１１１ｂに対して、軸１１９の短手方向で反対側となる辺には、当接片１１１に対応する位置に、上当接部１１５が接続される。上当接部１１５は、軸１１９の平板面と直交する方向に延在する。

軸１１９には、長手方向においてそれぞれの接続部１１１ｂの両側に切欠き１１７ａを設けている。また、軸１１９には、長手方向においてそれぞれの上当接部１１５の両側に切欠き１１７ｂを設けている。これらの切欠き１１７ａ，１１７ｂの大きさは適宜設定することができる。つまり、軸１１９の長手方向における切欠き１１７ａの長さ寸法は保持部材１１としての強度および軸１１９に対する接続部１１１ｂおよび当接片１１１の弾性変形等を勘案して設定される。

軸１１９の短手方向における切欠き１１７ａの長さ寸法は保持部材１１としての強度および軸１１９に対する接続部１１１ｂおよび当接片１１１の弾性変形等を勘案して設定される。軸１１９の長手方向における切欠き１１７ｂの長さ寸法は保持部材１１としての強度および軸１１９に対する上当接部１１５の弾性変形等を勘案して設定される。軸１１９の短手方向における切欠き１１７ｂの長さ寸法は保持部材１１としての強度および軸１１９に対する上当接部１１５の弾性変形等を勘案して設定される。
軸１１９の両側には、当接片１１１および上当接部１１５に対応した複数の切欠き１１７ａ，１１７ｂが配置されている。

軸１１９には、上フタ１３の下面に形成された凸部と係合して、保持部材１１を上フタ１３に固定するための係合孔部１１８が複数設けられている。
係合孔部１１８は、保持部材１１を、その姿勢を維持した状態で上フタ１３に強固に固定できれば、形状、配置、等は限定されない。また、保持部材１１の取り付け構造によっては、係合孔部１１８を設けないこともできる。

保持部材１１には、当接片１１１および上当接部１１５に対応した複数の切欠き１１７ａ，１１７ｂが、軸１１９の両側に設けられている。このため、後述する当接片１１１および上当接部１１５の各々の（一つ一つの）軸１１９回りの動きの自由度が向上する。ゆえに、ブランクスケース１０内に収納された複数枚のマスクブランクスＭの１枚１枚をしっかりと保持することができる。

また、ブランクスケース１０内に、全ての当接片１１１および上当接部１１５に対応した枚数のマスクブランクスＭを収納しない場合においても、上記複数の切欠き１１７ａ，１１７ｂにより、収納ケース内に収納されたマスクブランクスＭの１枚１枚を個々独立した状態で保持することができる。したがって、マスクブランクスＭの輸送、搬送中の振動によるパーティクルの発生を抑制することができる。

さらに、切欠き１１７ａ，１１７ｂが形成されていることにより、当接片１１１および上当接部１１５と軸１１９とは、弾性変形しやすくなる。このため、マスクブランクスＭを保持部材１１に保持させるときに、保持部材１１に強く圧力をかけなくても、保持することができる。これにより、収納時のマスクブランクスＭと保持部材１１の摺動接触によるパーティクルの発生も抑制することができる。

次に、当接片１１１について説明する。

当接片１１１は、図３～図６に示すように、上記軸１１９の側面から接続部１１１ｂを介して離間する方向に伸びる当接板部１１１ａを備えている。

当接板部１１１ａは、接続部１１１ｂに接続される。接続部１１１ｂに対して、当接板部１１１ａは、軸１１９から離間するにつれて、上フタ１３の下面と平行な軸１１９の平板面から離間するように傾斜して接続される。
当接板部１１１ａは、矩形型のプレートである。当接板部１１１ａは、軸１１９の長手方向における中央部分に対して、その両端部分において、当接板部１１１ａ表面が上フタ１３から離間する位置になるよう設定されている。
つまり、当接板部１１１ａは、軸１１９の長手方向における中央部分に対して、その両端部分が上フタ１３から離間する方向に屈曲されている。なお、当接板部１１１ａは、軸１１９の長手方向における中央部分と、その両端部分との厚さ寸法が変化していてもよい。

当接板部１１１ａは、軸１１９の長手方向における中央部分の厚みに対して、その両端部分の厚みが薄く、マスクブランクスＭを保持する方向に向かって緩やかに傾斜するように延出している。保持部材１１は、マスクブランクスＭを保持する際に、当接板部１１１ａは軸１１９の長手方向および当接板部１１１ａの厚み方向には弾性変形せずに、当接するマスクブランクスＭを保持・固定することができる。
軸１１９の長手方向において、当接板部１１１ａの幅寸法が、接続部１１１ｂの幅寸法よりも大きく設定されている。これにより、マスクブランクスＭを保持したときに接続部分が弾性変形して当接するマスクブランクスＭを保持・固定することができる。

当接片１１１において、当接板部１１１ａには、第１当接部１１２、第１当接部１１３、第２当接部１１４ａ、第２当接部１１４ｂ、第２当接部１１４ｃが形成されている。
これら第１当接部１１２～第２当接部１１４ｃは、いずれも当接板部１１１ａの同じ側の面に突出している。
これら第１当接部１１２～第２当接部１１４ｃは、いずれも当接板部１１１ａの面から、後述するように、端面Ｍ３，Ｃ端面Ｍ５，Ｍ４に接触するように突出量が設定されている。

当接片１１１において、第１当接部１１２は、Ｃ端面Ｍ５および主表面Ｍ２で形成される主稜線Ｒ２と、Ｃ端面Ｍ５および端面Ｍ３で形成される端稜線Ｒ４と、の中央位置よりも端稜線にＲ４近接する位置でＣ端面Ｍ５に当接する。
当接片１１１において、第１当接部１１３は、Ｃ端面Ｍ４および主表面Ｍ２で形成される主稜線Ｒ１と、Ｃ端面Ｍ４および端面Ｍ３で形成される端稜線Ｒ３と、の中央位置よりも端稜線Ｒ３に近接する位置でＣ端面Ｍ５に当接する。

つまり、第１当接部１１２が、主稜線Ｒ２と端稜線Ｒ４との中央位置よりも端稜線Ｒ４に近接する位置、より好ましくは、主稜線Ｒ２と端稜線Ｒ４との四半分よりも端稜線Ｒ４に近接する位置でＣ端面Ｍ５に当接する。
また、第１当接部１１３が、主稜線Ｒ１と端稜線Ｒ３との中央位置よりも端稜線Ｒ３に近接する位置、より好ましくは、主稜線Ｒ１と端稜線Ｒ３との四半分よりも端稜線Ｒ３．に近接する位置でＣ端面Ｍ４に当接する。

第１当接部１１２は、軸１１９の短手方向、つまり、収納されたマスクブランクスＭにおける側方の主稜線Ｒ１，Ｒ２、端稜線Ｒ３，Ｒ４と平行な方向に延在する。
第１当接部１１３は、軸１１９の短手方向、つまり、収納されたマスクブランクスＭにおける側方の主稜線Ｒ１，Ｒ２、端稜線Ｒ３，Ｒ４と平行な方向に延在する。
当接片１１１において、第１当接部１１２と第１当接部１１３とは、収納されたマスクブランクスＭの厚さ方向に対称に設けられる。

第１当接部１１２が、図６に示すように、収納されたマスクブランクスＭの厚さ方向に沿うとともに側方の主稜線Ｒ１，Ｒ２、端稜線Ｒ３，Ｒ４に直交する断面においてＣ端面Ｍ５に対して点接触する。
第１当接部１１３が、図６に示すように、収納されたマスクブランクスＭの厚さ方向に沿うとともに側方の主稜線Ｒ１，Ｒ２、端稜線Ｒ３，Ｒ４に直交する断面においてＣ端面Ｍ４に対して点接触する。

当接片１１１において、一組のＣ端面Ｍ５とＣ端面Ｍ４とにそれぞれ当接する一組の第１当接部１１２と第１当接部１１３とは、収納されたマスクブランクスＭの厚さ方向に対称に設けられる。

当接片１１１において、端面Ｍ３に当接する第２当接部１１４が、収納されたマスクブランクスＭの厚さ方向に複数形成される。
当接片１１１において、第２当接部１１４として、マスクブランクスＭの厚さ方向における端面Ｍ３の中央位置で当接する第２中当接部１１４ａを有する。
第２中当接部１１４ａが、図６に示すように、収納されたマスクブランクスＭの厚さ方向に沿うとともに側方の主稜線Ｒ１，Ｒ２、端稜線Ｒ３，Ｒ４に直交する断面において端面Ｍ３に対して点接触する。

第２中当接部１１４ａは、当接板部１１１ａの幅方向、つまり、マスクブランクスＭの厚さ方向において、端稜線Ｒ３と端稜線Ｒ４との中央位置に形成される。
当接片１１１において、第２当接部１１４として、マスクブランクスＭの厚さ方向において、端稜線Ｒ３と端稜線Ｒ４との中央位置よりも端稜線Ｒ４に近接する位置で端面Ｍ３に当接する第２端当接部１１４ｂを有する。

第２端当接部１１４ｂが、図６に示すように、収納されたマスクブランクスＭの厚さ方向に沿うとともに側方の主稜線Ｒ１，Ｒ２、端稜線Ｒ３，Ｒ４に直交する断面において端面Ｍ３に対して点接触する。
当接片１１１において、第２当接部１１４として、マスクブランクスＭの厚さ方向において、端稜線Ｒ３と端稜線Ｒ４との中央位置よりも端稜線Ｒ３に近接する位置で端面Ｍ３に当接する第２端当接部１１４ｃを有する。

第２端当接部１１４ｃが、図６に示すように、収納されたマスクブランクスＭの厚さ方向に沿うとともに側方の主稜線Ｒ１，Ｒ２、端稜線Ｒ３，Ｒ４に直交する断面において端面Ｍ３に対して点接触する。

第２当接部１１４として、第２中当接部１１４ａ、第２端当接部１１４ｂ、第２端当接部１１４ｃは、いずれも、軸１１９の短手方向、つまり、収納されたマスクブランクスＭにおける側方の主稜線Ｒ１，Ｒ２、端稜線Ｒ３，Ｒ４と平行な方向に延在する。
第２当接部１１４における第２中当接部１１４ａ、第２端当接部１１４ｂ、第２端当接部１１４ｃは、互いに平行な方向に延在する。

第１当接部１１２と第１当接部１１３と第２端当接部１１４ｂと第２端当接部１１４ｃとは、いずれも、軸１１９の短手方向における当接板部１１１ａの全長に延在する。
第２中当接部１１４ａは、接続部１１１ｂと反対側となる当接板部１１１ａの端部側に配置される。

第１当接部１１２と第２端当接部１１４ｂとは、互いに平行な突条とされており、これらの間には、溝が形成される。
第１当接部１１３と第２端当接部１１４ｃとは、互いに平行な突条とされており、これらの間には、溝が形成される。

上当接部１１５において、当接凸部１１６は、軸１１９の長手方向に、複数配置される。
当接凸部１１６は、上当接部１１５の中央位置付近に配置された略平行な２列の突条として形成される。当接凸部１１６は、収納されたマスクブランクスＭにおける上方の主稜線Ｒ１，Ｒ２、端稜線Ｒ３，Ｒ４と平行な方向に延在する。
当接凸部１１６は、マスクブランクスＭの厚さ方向において、マスクブランクスＭの上方となる端面Ｍ３に中央位置付近で当接する。

当接凸部１１６の長さは、第２中当接部１１４ａと同程度となるように設定される。
２条の当接凸部１１６の長さは、互いに同程度となるように設定される。
マスクブランクスＭの厚さ方向において、２条の当接凸部１１６の間隔は、第２端当接部１１４ｂと第２端当接部１１４ｃとの間隔よりも狭く設定される。
上当接部１１５における当接凸部１１６は、当接片１１１における第２中当接部１１４ａに対応する。

軸１１９に対して当接片１１１が傾斜しているので、軸１１９の背面と当接片１１１の当接板部１１１ａの延長線が形成する角度は、軸１１９に対して断面視で鋭角となる方向に互いが配列されている。本実施形態では、具体的に、当接片１１１と上当接部１１５とが、軸１１９に対して断面視で互いが鋭角となる方向に配列されている。ここで、図５中に示す角度αが、例えば５０度以上９０度未満の範囲内として設定することが好適である。

当接片１１１、上当接部１１５および軸１１９を有する構成とされた保持部材１１は、例えば樹脂材料で一体に形成されている。
保持部材１１を構成する樹脂材料としては、特に限定はされないが、雰囲気の温度、気圧等の変動があっても化学成分ガスの放出が少ない材料が特に好ましく、例えば、ポリブチレンテレフタレート、ポリエチレンテレフタレート、ポリエーテルエーテルケトン、ポリエチレン、ポリプロピレン、環状ポリオレフィン、ポリオレフィンエラストマー、ポリエステルエラストマー、ポリカーボネート、シクロオレフィンポリマー（ＣＯＰ）、フッ素系樹脂から選択される１ 以上の樹脂が好ましく挙げられる。

保持部材１１は、特に、ポリブチレンテレフタレート、ポリカーボネート、ポリエチレン、ポリプロピレンから選択される樹脂材料とすることが好ましい。保持部材１１のうち、上当接部１１５がマスクブランクスＭの上方の端面における端面Ｍ３で接触し、さらに、当接片１１１がマスクブランクスＭの側方となる端面Ｍ３，Ｃ端面Ｍ４，Ｍ５で接触し、所定の圧力がかかった状態でマスクブランクスＭを保持しても、これらの樹脂材料は、所望の硬度と摺動性を兼ね備えているので、マスクブランクスＭと保持部材１１との擦れによるパーティクルの発生を著しく抑制することができる。

中でも特に、ポリブチレンテレフタレートは、上述の硬度と摺動性に加え、化学成分ガスの放出が少なく、特に化学成分の影響を受けやすい化学増幅型レジスト膜を有するマスクブランクスＭに対する保持部材１１として好適である。また、ポリブチレンテレフタレートは、成型しやすく、本実施形態の複雑な構造の保持部材１１を成型する場合に好適である。

本実施形態において、マスクブランクスＭをブランクスケース１０に収納した際における作用について説明する。

本実施形態に係るブランクスケース１０に収納されるマスクブランクスＭの一構成例は、ガラス基板Ｍ０の主表面Ｍ１上に転写パターンとなるマスク層薄膜Ｍｍを形成してなるもの、あるいはさらに該薄膜の表面にレジスト層を形成してなるものである。

マスクブランクスＭをブランクスケース１０に収納した際、複数枚のマスクブランクスＭをブランクス支持体（中子）１４の挿入溝１５に収納する。マスクブランクスＭの所定枚数を収納したら、上フタ（蓋体）１３をケース本体１２に載置する。
ケース本体１２に複数枚のマスクブランクスＭを縦方向つまり主表面を鉛直方向沿って各主表面Ｍ１が対向するように複数のマスクブランクスＭを略平行に並べて収納する。

このとき、２本の保持部材１１の当接片１１１がマスクブランクスＭの側方に当接する。
係止部１７によって、ケース本体１２と上フタ（蓋体）１３とを互いに係着して一体化させる。すると、上当接部１１５がマスクブランクスＭの上方の端部に当接する。

当接片１１１がマスクブランクスＭの側方に当接すると、図６，図７に示すように、マスクブランクスＭの側方となるＣ端面Ｍ５に第１当接部１１２が当接する。同様に、Ｃ端面Ｍ４に第１当接部１１３が当接する。さらに、端面Ｍ３に第２当接部１１４ａ，１１４ｂ，１１４ｃが当接する。

ここで、第１当接部１１２と第２端当接部１１４ｂとの間に位置する溝には、端稜線Ｒ４が対向する位置にある。
同様に、第１当接部１１３と第２端当接部１１４ｃとの間に位置する溝には、端稜線Ｒ３が対向する位置にある。
同時に、当接板部１１１ａは、端面Ｍ３と略平行な位置となり、第２中当接部１１４ａが端面Ｍ３の中央位置に当接する。

したがって、当接片１１１においては、第１当接部１１２～第２端当接部１１４ｃしかマスクブランクスＭに当接していない。
このとき、保持部材１１の当接片１１１において、第１当接部１１２，１１３が、マスクブランクスＭの側方となる２箇所のＣ端面Ｍ５，Ｍ４において、回転方向にそれぞれ対象な位置で当接する。同時に、第２当接部１１４が端面Ｍ３に当接する。
このように、当接片１１１が、端面Ｍ３と、端面Ｍ３の両側に位置する２つのＣ端面Ｍ５，Ｍ５との５箇所で接触する。

ここで、収納されたマスクブランクスＭは、その上端が底辺を回転の中心軸線として主表面Ｍ１が傾くように回転しようとする場合がある。
この場合に、第１当接部１１２，１１３が、マスクブランクスＭの側方となる２箇所のＣ端面Ｍ５，Ｍ４の回転移動する方向となる位置にそれぞれ当接している。しかも、図６に破線矢印で示すように、回転方向の順方向と逆方向の２箇所で第１当接部１１２，１１３がＣ端面Ｍ５，Ｍ４に当接している。

これにより、いずれの回転方向にもマスクブランクスＭが動かないように規制することができる。言い換えると、マスクブランクスＭの厚さ方向において、外側となる位置から２箇所の第１当接部１１２，１１３が、それぞれＣ端面Ｍ５，Ｍ４を厚さ中央位置に向けて止めている。このため、いわばマスクブランクスＭを挟んで位置規制することが可能となる。
マスクブランクスＭの厚さ方向において、中央位置とは、表裏の主表面Ｍ１，Ｍ２から等距離にある位置を意味する。

また、第１当接部１１２，１１３がＣ端面Ｍ５，Ｍ４に当接するのと同時に、第２当接部１１４が３箇所で端面Ｍ３に当接している。これにより、第１当接部１１２，１１３のＣ端面に対する当接位置がずれてしまい、第１当接部１１２，１１３によるＣ端面Ｍ５，Ｍ４に対する回転防止作用がなくなることを防止できる。
さらに、第２当接部１１４が端面Ｍ３に当接していることにより、マスクブランクスＭが主表面Ｍ１，Ｍ２に沿って側方に向けて移動することが防止できる。したがって、マスクブランクスＭがブランクスケース１０に対して摺動してパーティクルが発生することを確実に防止することができる。

第１当接部１１２が、主稜線Ｒ２と端稜線Ｒ４との中央位置よりも、より好ましくは、主稜線Ｒ２と端稜線Ｒ４との四半分よりも、端稜線Ｒ４に近接する位置でＣ端面Ｍ５に当接する。
第１当接部１１３が、主稜線Ｒ１と端稜線Ｒ３との中央位置よりも、より好ましくは、主稜線Ｒ１と端稜線Ｒ３との四半分よりも、端稜線Ｒ３に近接する位置でＣ端面Ｍ４に当接する。

第２端当接部１１４ｂ，１１４ｃが、２本の端稜線Ｒ３，Ｒ４に対して、これらの中央位置よりも端稜線Ｒ３，Ｒ４に近接する位置で端面Ｍ３に当接する。
これらにより、マスクブランクスＭの回転発生を防止できるとともに、さらに、既に成膜された成膜面である主表面Ｍ１とこの成膜された主表面Ｍ１に隣接してマスク層Ｍｍやレジスト層が付着している可能性があるＣ端面Ｍ４の主表面Ｍ１に近接する位置には、第１当接部１１３が接触しないため、Ｃ端面Ｍ４においてパーティクルが発生することがない。

これによって、ブランクスケース１０によるマスクブランクスＭの搬送において、膜質の低下や、光学特性の低下、さらに、フォトリソ工程における不具合の発生等の悪影響を防止することができる。

第１当接部１１２～第２端当接部１１４ｃとマスクブランクスＭとが、線状での当接状態であり、接触箇所を減らすことで、第１当接部１１２～第２端当接部１１４ｃと端面Ｍ３～Ｃ端面Ｍ５とが摺動した際に、パーティクルの発生を抑制することが可能となる。

さらに、複数の第２当接部１１４、特に、第２端当接部１１４ｂ、１１４ｃを設けて、第２端当接部１１４ｂと第１当接部１１２とが溝を形成してこの溝を挟んだ位置でそれぞれマスクブランクスＭに当接することにより、端稜線Ｒ４が第２端当接部１１４ｂと第１当接部１１２とから離脱してしまうような移動防止をおこなうことができる。同時に、第２端当接部１１４ｃと第１当接部１１３とが溝を形成してこの溝を挟んだ位置でそれぞれマスクブランクスＭに当接することにより、端稜線Ｒ３が第２端当接部１１４ｃと第１当接部１１２と３ら離脱してしまうような移動防止をおこなうことができる。

さらに、本実施形態により、マスクブランクスＭの端面Ｍ３が当接板部１１１ａに対して傾く方向への移動が発生しかけた場合に、端面Ｍ３がどちらのＣ端面Ｍ５，Ｍ４に向かって傾きそうになる。この場合でも、端面Ｍ３の中央位置にある第２中当接部１１４ａが端面Ｍ３に押圧されて、この移動を停止させることができる。このため、マスクブランクスＭが回転移動しようとした際に、当接片１１１に対して端面Ｍ３が傾く方向への位置規制をおこなうことが容易になる。

さらに、第２中当接部１１４ａが端面Ｍ３に当接していることにより、マスクブランクスＭが主表面Ｍ１に沿って側方に向けて移動することが防止できる。したがって、マスクブランクスＭがブランクスケース１０に対して摺動してパーティクルが発生することを確実に低減できる。

本実施形態においては、当接片１１１に形成した２本の突条の頂部に一本の溝を形成することで、第１当接部１１２と第２端当接部１１４ｂとを形成することができ、加工時間を短縮し、加工の利便性を向上することができる。

以下、本発明に係るブランクスケースの第２実施形態を、図面に基づいて説明する。
図８は、本実施形態におけるブランクスケースの保持手段とマスクブランクスとの当接状態を示す拡大断面図である。本実施形態において、上述した第１実施形態と異なるのは、第２当接部に関する点であり、これ以外の上述した第１実施形態と対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。

本実施形態においては、図８に示すように、第２当接部１１４として、マスクブランクスＭの厚さ方向に２箇所の第２端当接部１１４ｄ、および、第２端当接部１１４ｅが設けられ、中央位置の第２中当接部１１４ａは設けられていない。

第２端当接部１１４ｄ、は、第１実施形態における第２端当接部１１４ｂに比べて端稜線Ｒ４から、より離間している。つまり、第２端当接部１１４ｄ、は、第１実施形態における第２端当接部１１４ｂに比べて、マスクブランクスＭの厚さ方向中央位置により近接している。

同様に、第２端当接部１１４ｅ、は、第１実施形態における第２端当接部１１４ｃに比べて端稜線Ｒ３から、より離間している。つまり、第２端当接部１１４ｅ、は、第１実施形態における第２端当接部１１４ｃに比べて、マスクブランクスＭの厚さ方向中央位置により近接している。

本実施形態においては、上述した実施形態と同等の効果を奏することができる。

以下、本発明に係るブランクスケースの第３実施形態を、図面に基づいて説明する。
図９は、本実施形態におけるブランクスケースの保持手段とマスクブランクスとの当接状態を示す拡大断面図である。本実施形態において、上述した第１、第２実施形態と異なるのは、第２当接部に関する点であり、これ以外の上述した第１，第２実施形態と対応する構成には同一の符号を付してその説明を省略する。

本実施形態においては、図９に示すように、第２当接部１１４として、マスクブランクスＭの厚さ方向の中央位置に１箇所の第２中当接部１１４ａのみが設けられ、他の第２端当接部は設けられていない。

本実施形態においては、上述した実施形態と同等の効果を奏することができる。

１…ブランクスケース
１１…保持部材（保持手段）
１２…ケース本体（本体部）
１３…上フタ（蓋体）
１４…中ケース（ブランクス支持体）
１５…挿入溝
１７…係止部
１１１…当接片
１１１ａ…当接板部
１１１ｂ…接続部
１１２…第１当接部
１１３…第１当接部
１１４…第２当接部
１１４ａ…第２当接部
１１４ａ…第２中当接部
１１４ｂ…第２端当接部
１１４ｃ…第２端当接部
１１４ｄ…第２端当接部
１１４ｅ…第２端当接部
１１５…上当接部
１１６…当接凸部
１１７ａ，１１７ｂ…切欠き
１１８…係合孔部
１１９…軸
Ｍ…フォトマスクブランクス（マスクブランクス）
Ｍ０…ガラス基板
Ｍ１…主表面（マスク面）
Ｍ２…主表面
Ｍ３…端面
Ｍ４…Ｃ端面
Ｍ５…Ｃ端面
Ｍｍ…層
Ｒ１…主稜線
Ｒ２…主稜線
Ｒ３…端稜線
Ｒ４…端稜線

Claims (14)

1. 上方が開口したケース本体と、該ケース本体に被せる蓋体とを備えて、前記ケース本体及び前記蓋体のそれぞれに嵌合部を有して嵌め合わされ、マスクブランクスを縦方向に収納し、収納されたマスクブランクスの上方角部を保持する保持手段を前記蓋体の内側に設けてなるブランクスケースであって、
   前記マスクブランクスは、対向する２つの主表面と、この２つの主表面の間に介在する周縁端部において、前記主表面と直交する方向の端面と、該端面と前記主表面との間に介在する面取りされたＣ端面とを有しており、
   前記保持手段は、収納された前記マスクブランクスの側方となる前記端面および前記Ｃ端面に当接する当接片を有し、
   前記当接片が、前記マスクブランクスの側方となる前記Ｃ端面にそれぞれ当接する第１当接部と、前記端面に当接する第２当接部と、を備えている
   ことを特徴とするブランクスケース。
2. 前記第１当接部が、前記Ｃ端面および前記主表面で形成される主稜線と、前記Ｃ端面および前記端面で形成される端稜線と、の中央位置よりも前記端稜線に近接する位置でそれぞれの前記Ｃ端面に当接する
   ことを特徴とする請求項１記載のブランクスケース。
3. それぞれの前記Ｃ端面に当接する一組の前記第１当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に対称に設けられる
   ことを特徴とする請求項２記載のブランクスケース。
4. 前記第１当接部が、前記主稜線および前記端稜線に平行に形成される
   ことを特徴とする請求項３記載のブランクスケース。
5. 前記第１当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿うとともに前記主稜線および前記端稜線に直交する断面において前記Ｃ端面に対して点接触する
   ことを特徴とする請求項４記載のブランクスケース。
6. 前記第２当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に複数形成される
   ことを特徴とする請求項１記載のブランクスケース。
7. 前記第２当接部として、前記Ｃ端面および前記端面で形成される２本の端稜線に対して、これら前記端稜線の中央位置よりも前記端稜線に近接する位置で前記端面に当接する第２端当接部を有する
   ことを特徴とする請求項６記載のブランクスケース。
8. 前記第２当接部として、前記Ｃ端面および前記端面で形成される２本の端稜線に対して、これら前記端稜線の中央位置に近接する位置で前記端面に当接する第２中当接部を有する
   ことを特徴とする請求項６記載のブランクスケース。
9. 前記第２当接部が、２本の前記端稜線に平行に形成される
   ことを特徴とする請求項８記載のブランクスケース。
10. 前記第２当接部が、収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿うとともに２本の前記端稜線に直交する断面において前記端面に対して点接触する
    ことを特徴とする請求項９記載のブランクスケース。
11. 前記保持手段は、収納された前記マスクブランクスの上方となる前記端面に当接する上当接部を有する
    ことを特徴とする請求項１記載のブランクスケース。
12. 前記上当接部および前記当接片は、いずれも収納された前記マスクブランクスの厚さ方向に沿った直線状に延在する軸に沿って所定間隔で配列され、前記軸には前記上当接部および前記当接片に対応して複数の切欠きを設けている
    ことを特徴とする請求項１１記載のブランクスケース。
13. 前記上当接部および前記当接片は、前記軸に対して断面視で互いが鋭角となる方向に配列されている
    ことを特徴とする請求項１２記載のブランクスケース。
14. 収納された前記マスクブランクスには、前記主表面の一方にマスク層が形成されている
    ことを特徴とする請求項１記載のブランクスケース。

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