TW202000546A - 基板收納容器 - Google Patents

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Abstract

本發明提供一種基板收納容器，其中，插銷機構包括：卡合用插銷（32），卡合用插銷升降凸輪（35），透過向卡合用插銷（32）進退的方向進退，使卡合用插銷（32）相對於卡合凹部進退，在卡合凹部內使卡合用插銷（32）接近或遠離容器主體的另一端部，以及轉動凸輪（31），卡合用插銷升降凸輪（35）具有卡合用插銷連接部（357），所述卡合用插銷連接部（357）透過向卡合用插銷（32）接近卡合凹部的方向移動，使卡合用插銷（32）與卡合凹部卡合，此後使卡合用插銷（32）接近容器主體的另一端部。

Description

基板收納容器
本發明涉及在收納、保管、搬運、運輸由半導體晶片等構成的基板等時使用的基板收納容器。
以往，作為收納由半導體晶片構成的基板並用於在工廠內的工序中搬運的基板收納容器，具備容器主體和蓋體的結構已被公眾所知（例如，參照專利文獻1～專利文獻3）。
容器主體的一端部具有形成了容器主體開口部的開口周緣部。容器主體的另一端部具有封閉的筒狀的壁部。在容器主體內形成有基板收納空間。基板收納空間由壁部包圍形成，能收納多個基板。蓋體相對於開口周緣部可裝拆，能封閉容器主體開口部。側方基板支承部在基板收納空間內以成對的方式設置於壁部。當未用蓋體封閉容器主體開口部時，側方基板支承部能夠在使相鄰的基板彼此以規定的間隔分開排列的狀態下支承多個基板的邊緣部。
在作為蓋體的一部分的、在封閉容器主體開口部時與基板收納空間相對的部分設有前部保持構件。當用蓋體封閉容器主體開口部時，前部保持構件能夠支承多個基板的邊緣部。此外，後側基板支承部以與前部保持構件成對的方式設於壁部。後側基板支承部能夠支承多個基板的邊緣部。當用蓋體封閉容器主體開口部時，後側基板支承部透過與前部保持構件共同動作支承多個基板，由此在使相鄰的基板彼此以規定的間隔分開排列的狀態下保持多個基板。
現有技術文獻
專利文獻
專利文獻1：日本專利公報特許第4716671號
專利文獻2：日本專利公報特許第4739033號
專利文獻3：美國專利公報第9514971號
本發明要解決的技術問題
在以往的蓋體設有插銷機構。插銷機構設置在蓋體的左右兩端部附近，具備：能從蓋體的上邊朝向上的方向突出的兩個上側插銷部；以及能從蓋體的下邊朝向下的方向突出的兩個下側插銷部。上側插銷和下側插銷透過與形成於容器主體的插銷卡合凹部卡合，由此蓋體被固定在容器主體的開口周緣部。
在蓋體的外表面設有操作部。操作部具有插銷轉動構件。透過使插銷轉動構件轉動，與設於插銷轉動構件的凸輪部抵接的插銷臂相對於插銷轉動構件進退，作為插銷臂的前端部分的上側插銷和下側插銷成為從蓋體的上邊、下邊突出的狀態，或成為不從上邊、下邊突出的狀態。
可是，在以往的基板收納容器中，在插銷轉動構件轉動期間，插銷轉動構件的凸輪部總是與插銷臂相對滑動。此外，插銷臂不僅透透過凸輪部相對於插銷轉動構件進退，而且進行將蓋體推入容器主體的內側的所謂升降動作（推入動作）。因此，需要用於使插銷轉動構件轉動的規定的轉動力，理想的是用更小的轉動力使插銷轉動構件轉動。
本發明的目的是提供一種能夠用更小的轉動力使蓋體的操作部的插銷轉動構件轉動的基板收納容器。
解決技術問題的技術方案
本發明涉及一種基板收納容器，其包括：容器主體，在內部形成有能夠收納多個基板的基板收納空間，在一端部具有開口周緣部，所述開口周緣部形成與所述基板收納空間連通的容器主體開口部；以及蓋體，相對於所述開口周緣部可裝拆，能夠以被所述開口周緣部包圍的位置關係封閉所述容器主體開口部，所述開口周緣部具有至少一對卡合凹部，所述至少一對卡合凹部具有彼此相對的位置關係並與所述蓋體相對形成，所述蓋體包括：蓋體主體；以及至少一對插銷機構，所述至少一對插銷機構能夠在卡合位置和卡合解除位置之間相對於所述蓋體主體移動，所述卡合位置是當用所述蓋體封閉所述容器主體開口部時與所述至少一對卡合凹部分別卡合並使所述蓋體主體相對於所述容器主體固定的位置，所述卡合解除位置是相對於所述卡合凹部的卡合被解除且所述蓋體主體相對於所述容器主體的固定被解除的位置，所述插銷機構包括：卡合用插銷，透過相對於所述卡合凹部進退而卡合或脫離，在所述卡合凹部內接近或遠離所述容器主體的相對於所述一端部的另一端部；卡合用插銷升降凸輪，透過向所述卡合用插銷進退的方向進退，使所述卡合用插銷相對於所述卡合凹部進退，在所述卡合凹部內使所述卡合用插銷接近或遠離所述容器主體的所述另一端部；以及轉動凸輪，透過轉動，使所述卡合用插銷升降凸輪向所述卡合用插銷進退的方向進退，所述卡合用插銷升降凸輪具有卡合用插銷連接部，所述卡合用插銷連接部透過向所述卡合用插銷接近所述卡合凹部的方向移動，使所述卡合用插銷與所述卡合凹部卡合，此後使所述卡合用插銷接近所述容器主體的所述另一端部。
此外，優選的是，在所述卡合用插銷的前端部設有卡止用輥，所述卡止用輥卡合併卡止於所述卡合凹部。
此外，優選的是，所述蓋體具有具備蓋體外表面和蓋體內表面的大致長方形的板狀，所述卡合凹部的底部在與所述蓋體外表面或所述蓋體內表面平行的截面上具有V形，在作為所述卡合用插銷的前端部的一部分的、當所述卡合用插銷位於所述卡合位置時與形成所述卡合凹部的底部的所述開口周緣部的卡合凹部形成部的部分抵接的部分，具有與所述卡合凹部的底部一致的V形端面。此外，優選的是，所述卡合用插銷的前端部由靜摩擦係數小的材料構成。此外，優選的是，透過對所述卡合用插銷的前端部實施壓花（embossing）加工而使所述卡合用插銷的前端部的靜摩擦係數變小。
發明效果
按照本發明，能夠提供一種能夠用更小的轉動力使蓋體的操作部的插銷轉動構件轉動的基板收納容器。
以下，參照附圖對本實施方式的基板收納容器1進行說明。
圖1是表示基板收納容器1中收納有多個基板W的情況的分解立體圖。圖2是表示基板收納容器1的容器主體2的上方立體圖。圖3是表示基板收納容器1的容器主體2的下方立體圖。圖4是表示基板收納容器1的容器主體2的側視剖視圖。
在此，為了便於說明，將從後述的容器主體2朝向蓋體3的方向（圖1中的從右上朝向左下的方向）定義為向前的方向D11，將其相反的方向定義為向後的方向D12，並將它們合起來定義為前後方向D1。此外，將從後述的下壁24朝向上壁23的方向（圖1中的向上的方向）定義為向上的方向D21，將其相反的方向定義為向下的方向D22，並將它們合起來定義為上下方向D2。此外，把從後述的第二側壁26朝向第一側壁25的方向（圖1中的從右下朝向左上的方向）定義為向左的方向D31，將其相反的方向定義為向右的方向D32，並將它們合起來定義為左右方向D3。在主要的附圖中圖示了表示這些方向的箭頭。
此外，基板收納容器1中收納的基板W（參照圖1）是圓盤狀的矽晶片、玻璃晶片、藍寶石晶片等，是用於工業的薄的晶片。本實施方式中的基板W是直徑300mm的矽晶片。
如圖1所示，基板收納容器1收納由上述的矽晶片構成的基板W，用作在工廠內的工序中搬運的工序內容器，或用作用於透過陸運手段、空運手段、海運手段等運輸手段運輸基板的發貨容器，基板收納容器1包括容器主體2和蓋體3。容器主體2具備作為側方基板支承部的基板支承板狀部5和後側基板支承部6（參照圖2等），蓋體3具備作為蓋體側基板支承部的前部保持構件7（參照圖12）。
容器主體2具有在一端部形成有容器主體開口部21、另一端部封閉的筒狀的壁部20。在容器主體2內形成有基板收納空間27。基板收納空間27由壁部20包圍形成。在作為壁部20的一部分的、形成基板收納空間27的部分配置有基板支承板狀部5。如圖1所示，基板收納空間27能夠收納多個基板W。
基板支承板狀部5在基板收納空間27內以成對的方式設置在壁部20上。當容器主體開口部21未被蓋體3封閉時，基板支承板狀部5透過與多個基板W的邊緣部抵接，能在使相鄰的基板W彼此以規定的間隔分開排列的狀態下支承多個基板W的邊緣部。在基板支承板狀部5的後側，後側基板支承部6與基板支承板狀部5一體成形設置。
後側基板支承部6（參照圖2等）在基板收納空間27內以與後述的前部保持構件7成對的方式設置在壁部20上。當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，後側基板支承部6透過與多個基板W的邊緣部抵接能夠支承多個基板W的邊緣部的後部。
蓋體3相對於形成容器主體開口部21的開口周緣部28（圖1等）可裝拆，能夠將容器主體開口部21封閉。前部保持構件7設置在作為蓋體3的一部分的、容器主體開口部21被蓋體3封閉時與基板收納空間27相對的部分上。前部保持構件7在基板收納空間27的內部以與後側基板支承部6成對的方式配置。
當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，前部保持構件7透過與多個基板W的邊緣部抵接，能夠支承多個基板W的邊緣部的前部。當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，前部保持構件7透過與後側基板支承部6共同動作支承多個基板W，在使相鄰的基板W彼此以規定的間隔分開排列的狀態下保持基板W。
基板收納容器1由塑膠材料等樹脂構成，當沒有特別說明時，作為上述材料的樹脂，例如可以列舉聚碳酸酯、環烯烴聚合物、聚醚醯亞胺、聚醚酮、聚對苯二甲酸丁二醇酯、聚醚醚酮、液晶聚合物等熱塑性樹脂及它們的合金等。當考慮對這些成形材料的樹脂賦予導電性時，可選擇性地添加碳纖維、碳粉末、碳納米管、導電性聚合物等導電性物質。此外，為了提高剛性，也可以添加玻璃纖維和碳纖維等。
以下，具體說明各部分。
圖5是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的蓋體3的插銷結構的插銷轉動構件31、插銷臂32和插銷升降凸輪構件35的立體圖。圖6是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的蓋體3的插銷轉動構件31轉動到使插銷結構的插銷臂32變成卡合解除位置的位置的情況的放大正視圖。圖7是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的蓋體3的插銷結構的插銷臂32位於卡合解除位置的情況的放大剖視圖。圖8是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的蓋體3的插銷轉動構件31轉動到使插銷結構的插銷臂32變成插入位置的位置的情況的放大正視圖。圖9是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的蓋體3的插銷結構的插銷臂32移動到插入位置的情況的放大剖視圖。圖10是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的蓋體3的插銷轉動構件31轉動到使插銷結構的插銷臂32變成推入位置的位置的情況的放大正視圖。圖11是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的蓋體3的插銷結構的插銷臂32移動到推入位置的情況的放大剖視圖。
如圖1所示，容器主體2的壁部20具有後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25和第二側壁26。後壁22、上壁23、下壁24、第一側壁25和第二側壁26由上述的材料構成並一體成形。
第一側壁25和第二側壁26相對，上壁23和下壁24相對。上壁23的後端、下壁24的後端、第一側壁25的後端和第二側壁26的後端，全部與後壁22連接。上壁23的前端、下壁24的前端、第一側壁25的前端和第二側壁26的前端構成開口周緣部28，所述開口周緣部28形成呈大致長方形的容器主體開口部21。
開口周緣部28設置在容器主體2的一端部，後壁22位於容器主體2的另一端部。由壁部20的外表面形成的容器主體2的外形為箱形。壁部20的內表面亦即後壁22的內表面、上壁23的內表面、下壁24的內表面、第一側壁25的內表面和第二側壁26的內表面形成被它們包圍的基板收納空間27。由開口周緣部28形成的容器主體開口部21與基板收納空間27連通，所述基板收納空間27由壁部20包圍並形成在容器主體2的內部。基板收納空間27中最多能夠收納25個基板W。
如圖1所示，在作為上壁23和下壁24的一部分的、開口周緣部28的附近的部分，形成有朝向基板收納空間27的外側凹入的插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B。在上壁23和下壁24的左右兩端部附近各形成有一個插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B，共計形成有四個。
如圖1所示，在上壁23的外表面，與上壁23一體成形地設置有肋235。肋235提高了容器主體2的剛性。此外，在上壁23的中央部固定有頂端凸緣236。頂端凸緣236是在AMHS（自動晶片輸送系統）、PGV（晶片基板輸送台車）等上懸掛基板收納容器1時在基板收納容器1上成為被懸掛的部分的構件。
如圖3所示，在下壁24固定有底板244。底板244具有與構成下壁24的外表面的下表面的大體整個面相對配置的大致長方形的板狀，固定在下壁24上。
如圖3所示，在下壁24的四角形成有兩種作為通孔的供氣孔242和排氣孔243。在本實施方式中，下壁24的前部的兩處通孔是用於排出容器主體2的內部的氣體的排氣孔243，後部的兩處通孔是用於向容器主體2的內部供給氣體的供氣孔242。
在作為供氣孔242的通孔中配置有作為附加部件的供氣用篩檢程式部90，在作為排氣孔243的通孔中配置有排氣用篩檢程式部91。即，供氣用篩檢程式部90和排氣用篩檢程式部91的內部的氣體的流道構成能夠將基板收納空間27和容器主體2的外部的空間連通的通氣道的一部分。此外，供氣用篩檢程式部90和排氣用篩檢程式部91配置於壁部20。在供氣用篩檢程式部90和排氣用篩檢程式部91，氣體能夠在容器主體2的外部的空間與基板收納空間27之間通過。供氣用篩檢程式部90與氣體噴出噴嘴部8的內部空間連通，透過氣體噴出噴嘴部8的內部空間，向供氣用篩檢程式部90供給的吹掃氣體向基板收納空間27供給。
如圖2等所示，基板支承板狀部5分別設置在第一側壁25和第二側壁26上，以在左右方向D3上成對的方式在基板收納空間27內設置在容器主體2上。具體地說，如圖4等所示，基板支承板狀部5具有板部51。
板部51具有板狀的大致弧形。在第一側壁25、第二側壁26上沿上下方向D2分別各設置有25個，合計設置有50個板部51。相鄰的板部51以在上下方向D2上以10mm～12mm間隔彼此分開且平行的位置關係配置。
此外，設置在第一側壁25上的25個板部51和設置在第二側壁26上的25個板部51具有彼此在左右方向D3上相對的位置關係。在板部51的上表面設有凸部511、512。支承於板部51的基板W僅與凸部511、512的突出端接觸，而不與板部51面接觸。
這種結構的基板支承板狀部5能夠在使多個基板W中的相鄰的基板W彼此以規定的間隔分開且成為彼此平行的位置關係的狀態下支承多個基板W的邊緣部。
如圖4所示，後側基板支承部6具有後側端緣支承部60。後側端緣支承部60在基板支承板狀部5的板部51的後端部與容器主體2一體成形。
後側端緣支承部60的個數與基板收納空間27中能夠收納的基板W的每一個對應，具體地說，設有25個。配置在第一側壁25和第二側壁26上的後側端緣支承部60，在前後方向D1上具有與後述的前部保持構件7成對的位置關係。透過在基板收納空間27內收納基板W並關閉蓋體3，後側端緣支承部60夾持並支承基板W的邊緣部的端緣。
如圖1所示，蓋體3具有與容器主體2的開口周緣部28的形狀大體一致的大致長方形形狀。蓋體3相對於容器主體2的開口周緣部28可裝拆，透過在開口周緣部28安裝蓋體3，蓋體3能以被開口周緣部28包圍的位置關係封閉容器主體開口部21。如圖8等所示，蓋體3具有蓋體主體30。
如圖1、圖7等所示，蓋體主體30具備具有大致長方形的板狀的內側板狀部301、具有大致長方形的板狀的外側板狀部302以及周壁部303。內側板狀部301的向後的方向D12側的面構成蓋體內表面，當容器主體開口部21被蓋體3封閉時，蓋體內表面和容器主體內表面一起形成基板收納空間27。在內側板狀部301的周緣部設有周壁部303，所述周壁部303以環繞所述周緣部一周的方式沿著所述周緣部朝向前的方向D11延伸，所述向前的方向D11是與內側板狀部301的蓋體內表面垂直的方向。內側板狀部301和周壁部303例如由聚碳酸酯一體成形並連接。內側板狀部301、周壁部303不限於由聚碳酸酯構成。
如圖1等所示，在向前的方向D11上的周壁部303的伸出端部，配置有外側板狀部302。外側板狀部302在外側板狀部302的周緣被周壁部303包圍的狀態下固定在內側板狀部301。利用該結構，由內側板狀部301、周壁部303、外側板狀部302構成箱形的結構，形成被內側板狀部301、周壁部303和外側板狀部302包圍的蓋體內部空間304（參照圖7）。此外，外側板狀部302的向前的方向D11側的面，構成蓋體外表面。因此，蓋體3作為整體，具有具備蓋體外表面和蓋體內表面的、與容器主體2的開口周緣部28的形狀大體一致的大致長方形的板狀（薄長方體形狀）。蓋體3相對於容器主體2的開口周緣部28可裝拆，透過將蓋體3安裝在開口周緣部28，蓋體3能夠封閉容器主體開口部21。
在作為蓋體3的內表面（圖1所示的蓋體3的後側的面）的、與蓋體3封閉容器主體開口部21時形成在緊靠開口周緣部28的向後的方向D12的位置的臺階部分的面（密封面281）相對的面亦即構成蓋體主體30的內側板狀部301的周緣上，以環繞蓋體3的外周緣部一周的方式安裝有環狀的密封構件4。密封構件4以環繞蓋體主體30的周壁部303一周的方式配置。密封構件4是能彈性變形的聚酯系、聚烯烴系等各種熱塑性彈性體、氟橡膠製品、矽橡膠製品等。
當將蓋體3安裝到開口周緣部28時，密封構件4被容器主體2的密封面281（參照圖1）和蓋體主體30的內表面夾持並彈性變形。即，透過將密封構件4介於蓋體3和容器主體2之間，蓋體3能夠在蓋體主體30與開口周緣部28彼此不抵接而分開的狀態下封閉容器主體開口部21。透過從開口周緣部28取下蓋體3，能相對於容器主體2內的基板收納空間27取放基板W。
如圖7等所示，在蓋體主體30的蓋體內部空間304中設有插銷機構，所述插銷機構包括：作為插銷驅動部的插銷轉動構件31；作為卡合用插銷的插銷臂32；以及作為卡合用插銷升降凸輪的插銷升降凸輪構件35，所述插銷升降凸輪構件35連接作為轉動凸輪的插銷轉動構件31和插銷臂32。插銷機構在蓋體內部空間304中配置在偏向向左的方向D31的位置和偏向向右的方向D32的位置。插銷臂32在上下方向D2上成對，合計配置有兩對。如圖5所示，一對插銷臂32的基端部321（參照圖7）與插銷升降凸輪構件35的前端部352分別卡合。插銷升降凸輪構件35的基部351與作為插銷驅動部的插銷轉動構件31分別卡合。插銷升降凸輪構件35和插銷臂32，從與插銷轉動構件31卡合的插銷升降凸輪構件35的基端部分別朝向上的方向D21、向下的方向D22延伸。
更具體地說，插銷轉動構件31由主成分為POM（聚縮醛樹脂）的樹脂一體成形。因此，插銷轉動構件31由當如後所述地插銷臂32在卡合解除位置、插入位置和推入位置之間移動時基本不會因來自插銷升降凸輪構件35和插銷臂32的反作用力等而彈性變形的剛體構成。插銷轉動構件31不限於由主成分為POM（聚縮醛樹脂）的樹脂構成。插銷轉動構件31具有圓形部311，以圓形部311的中心為轉動軸心可轉動地支承於蓋體主體30的內側板狀部301（參照圖8等）。插銷轉動構件31能夠這樣地轉動，但是以不能沿上下方向D2和左右方向D3移動的方式支承於內側板狀部301。在圓形部311的周緣附近的位置以點對稱的位置關係形成有一對長孔312，所述一對長孔312具有大致沿著周緣且以圓形部311的中心角計為約90°的弧形。
如圖5等所示，在長孔312中，從圓形部311的中心到長孔312的直線距離，因長孔312的部位不同而不同。例如，從圖6所示的圓形部311的中心到長孔312的順時針方向的端部為止的直線距離，採用最大的值。此外，從圓形部311的中心到長孔312的逆時針方向的端部為止的直線距離，採用最小的值。
在插銷轉動構件31的中央部，形成有以一條直線狀突出的直線狀凸部313。直線狀凸部313在周圍具有從圓形部311突出的壁部，在由壁部包圍的空間中，能卡合用於開閉蓋體3的裝置（未圖示）的臂的前端上設置的一條直線狀的凸部。透過在該一條直線狀的凸部（未圖示）卡合在直線狀凸部313的空間中的狀態下使臂（未圖示）轉動，能夠使插銷轉動構件31轉動。透過插銷轉動構件31轉動，根據從圓形部311的中心到長孔312的直線距離的不同，如後所述地，插銷轉動構件31能夠使插銷臂32在卡合位置與卡合解除位置之間移動。
此外，在插銷轉動構件31的周緣部設有彈性突出部314。彈性突出部314由以局部覆蓋形成於插銷轉動構件31的周緣部的缺口的方式形成的、沿插銷轉動構件31的周向延伸的構件構成，該構件的一部分向插銷轉動構件31的半徑方向外側突出。當圓柱狀的凸部355位於圖6所示的長孔312的順時針方向或逆時針方向的端部時，彈性突出部314能夠與形成在外側板狀部302的卡合部（未圖示）卡合，利用該卡合，插銷轉動構件31成為暫時不易轉動的狀態。在插銷臂32位於後述的推入位置時、或位於卡合解除位置且圓柱狀的凸部355位於長孔312的逆時針方向的端部時以外的情況下，彈性突出部314特別是與外側板狀部302的一部分不卡合，插銷轉動構件31處於容易轉動的狀態。
兩對插銷臂32能夠在針對插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B的卡合解除且蓋體主體30相對於容器主體2的固定解除的卡合解除位置與卡合位置之間相對於蓋體主體30移動。卡合位置包括插入位置和推入位置。在卡合位置，兩對插銷臂32能夠在插入位置和推入位置之間相對於蓋體主體30移動。所述插入位置是在容器主體開口部21被蓋體3封閉時兩對插銷臂32分別插入在上下方向D2上成對的兩對插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B的位置。所述推入位置是透過從位於插入位置的狀態在插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B中使前端嵌合部324朝向前的方向D11移動並將形成插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B的開口周緣部28的部分朝向前的方向D11推由此相對地將蓋體3向作為容器主體2的方向的向後的方向D12推入的位置。
具體地說，一對插銷臂32具有相對於透過插銷轉動構件31的轉動軸心且與左右方向D3和前後方向D1平行的面對稱的形狀。因此，僅對一方的插銷臂32進行說明，在沒有特別需要的情況下，省略對另一方的插銷臂32進行說明。
插銷臂32由主成分為POM（聚縮醛樹脂）的樹脂一體成形，如圖7所示，當正視時具有大致長方形的形狀。如圖5等所示，插銷臂32具有連接軸325、支點部323和前端嵌合部324。插銷臂32不限於由主成分為POM（聚縮醛樹脂）的樹脂構成。
當插銷臂32位於後述的卡合解除位置時，插銷臂32的基部被從內側板狀部301朝向前的方向D11突出的基部支承部306（參照圖7等）支承。如圖11等所示，當插銷臂32從後述的插入位置向推入位置移動時，由於如後所述地插銷臂32的基部變成不被基部支承部306支承，所以插銷臂32的基部透過貫穿長孔357的連接軸325被插銷升降凸輪構件35支承而得到支承。
連接軸325是用於與後述的插銷升降凸輪構件35的長孔357嵌合而將插銷升降凸輪構件35和插銷臂32彼此連接的構件。連接軸325形成為圓棒狀，在插銷臂32的基端部朝向左右方向D3設置。
支點部323是支承插銷臂32的前端部並成為轉動中心的部分。支點部323是成為槓桿原理下的支點的部分。支點部323在插銷臂32的前端附近，朝向後的方向D12突出。支點部323的突出端部是用於與前端側凸輪305的平坦面305A（參照圖7等）滑動接觸並使插銷臂32的前端嵌合部324上下移動的部分。在支點部323與前端側凸輪305的平坦面305A滑動接觸的狀態下，插銷臂32被送出後，設有連接軸325的插銷臂32的基部透過如後所述地被朝向後的方向D12推，由此使插銷臂32的前端嵌合部324被朝向前的方向D11推。另一方面，透過將插銷臂32的基部朝向前的方向D11推，插銷臂32的前端部朝向後的方向D12返回。
作為插銷構件的前端嵌合部324從蓋體內部空間304的通孔303A、303B向外部伸出，與開口周緣部28的插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B直接嵌合。前端嵌合部324構成槓桿原理的作用點。前端嵌合部324以在與開口周緣部28的插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B嵌合的狀態下能夠發揮足夠的力的方式與支點部323隔開少許距離設置。
如圖5等所示，構成插銷臂32的前端部322的端緣的前端嵌合部324，具有在左右方向D3上延伸的直線狀。如圖10所示，插銷臂32在長邊方向（上下方向D2）上具有如下的程度的長度：當圓柱狀的凸部355位於順時針方向的長孔312的端部時亦即插銷臂32位於插入位置和推入位置時，一對插銷臂32的前端部322插入插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B並不與形成插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B的底部240A等的卡合凹部形成部的部分（以下稱為“底部形成部232A”）抵接。如圖9所示，當插銷臂32位於插入位置時，插銷臂32的前端部322與形成插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B的容器主體2的開口周緣部28的部分不抵接。
插銷升降凸輪構件35透過使插銷臂32向進退的方向進退，由此使插銷臂32相對於卡合凹部231A、231B、241A、241B進退，使插銷臂32在卡合凹部231A、231B、241A、241B內向接近/遠離作為容器主體2的另一端部的後壁22的方向移動。
具體地說，如圖5所示，插銷升降凸輪構件35的前板部3501和一對側板部3502由主成分為PBT（聚對苯二甲酸丁二醇酯）的樹脂一體成形。在前板部3501的中央部，形成有以2行2列配置的四個矩形的通孔353。如圖7等所示，在靠近基部351的兩個通孔353與靠近前端部352的兩個通孔353之間，設有從前板部3501的後側的面朝向後的方向D12突出的支承凸部356。支承凸部356的突出端部通與內側板狀部301抵接並滑動，在插銷升降凸輪構件35移動時支承插銷升降凸輪構件35的前板部3501等。前板部3501、一對側板部3502不限於由主成分為PBT（聚對苯二甲酸丁二醇酯）的樹脂構成。
如圖5所示，前板部3501的前端部352，具有位於朝向前的方向D11突出一級的位置的前方突出板部3521。如圖5等所示，在前板部3501的基部351設有朝向前的方向D11延伸的圓柱狀的凸部355。圓柱狀的凸部355與插銷轉動構件31的一對長孔312一個一個地卡合，能在長孔312內相對於長孔312相對地移動。
當圓柱狀的凸部355位於圖6中的長孔312的逆時針方向的端部時，插銷臂32位於卡合解除位置。此時，插銷臂32的前端部322成為不從形成於構成蓋體3的上邊、下邊的周壁部303上形成的通孔303A、303B（參照圖1等）朝向上的方向D21、向下的方向D22分別突出的狀態。如圖5所示，當圓柱狀的凸部355位於長孔312的順時針方向的端部時，插銷臂32位於推入位置。此時，插銷臂32的前端部322從形成於蓋體3的周壁部303的通孔303A、303B朝向上的方向D21、向下的方向D22突出。
如圖5等所示，在前端部352的側板部3502的部分，形成有長孔357。長孔357形成為在插銷升降凸輪構件35上隨著從基部351朝向前端部352（隨著遠離插銷轉動構件31）而朝向前的方向D11傾斜地直線狀延伸。長孔357中貫穿有插銷臂32的連接軸325，連接軸325在長孔357中，能沿長孔357的延伸方向移動。形成有長孔357的插銷升降凸輪構件35的部分，構成卡合用插銷連接部。
在構成蓋體3的蓋體內表面的內側板狀部301的部分，形成有朝基板收納空間27的外側（向前的方向D11）凹入的凹部341（參照圖12）。在凹部341中固定設有前部保持構件7。
前部保持構件7具有前部保持構件基板承接部73（參照圖12）。前部保持構件基板承接部73以在左右方向D3上分開規定的間隔成對的方式兩個兩個地配置。以這樣成對的方式兩個兩個配置的前部保持構件基板承接部73，以在上下方向D2上排列的狀態設置有25對。透過將基板W收納在基板收納空間27內並關閉蓋體3，前部保持構件基板承接部73夾持並支承基板W的邊緣部的端緣。
如上構成的基板收納容器的蓋體3的插銷驅動部以如下方式動作。
首先，如圖6所示，當圓柱狀的凸部355位於長孔312的逆時針方向的端部時，插銷臂32位於卡合解除位置。此時，插銷臂32的前端部322處於不從形成於構成蓋體3的上邊的周壁部303的通孔303A、303B（參照圖1等）朝向上的方向D21、向下的方向D22分別突出的狀態。此外，如圖7所示，插銷臂32的基部被從內側板狀部301朝向前的方向D11突出的基部支承部306支承。
接著，如圖8所示，當圓柱狀的凸部355從長孔312的逆時針方向的端部向靠近順時針方向的端部的位置移動時，插銷臂32位於插入位置。此時，插銷臂32的前端部322從形成在蓋體3的周壁部303的通孔303A、303B朝向上的方向D21、向下的方向D22突出。此外，如圖9所示，插銷臂32的基部與插銷臂32位於卡合解除位置時同樣地被基部支承部306支承。因此，插銷臂32的前端嵌合部324尚未被朝向前的方向D11移動，前端嵌合部324與形成插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B的容器主體2的開口周緣部28的部分不抵接。
接著，當圓柱狀的凸部355接近長孔312的順時針方向的端部時，插銷臂32接近推入位置。此時，如圖11所示，插銷臂32的基部被移動到與基部支承部306的前表面不相對的位置，插銷臂32的基部變成不被基部支承部306支承。此時，插銷臂32的基部透過貫穿長孔357的連接軸325被插銷升降凸輪構件35支承而得到支承。此外，如果圓柱狀的凸部355進一步接近長孔312的順時針方向的端部，則連接軸325沿著傾斜延伸的長孔357朝向後的方向D12移動。此外，如圖10所示，當圓柱狀的凸部355位於長孔312的順時針方向的端部時，如圖11所示，成為從基部支承部306落到內側板狀部301上的狀態。即，插銷臂32以支點部323為中心轉動，插銷臂32的基部朝向後的方向D12移動，插銷臂32的前端部322的前端嵌合部324在插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B中朝向前的方向D11移動，與形成插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B的容器主體2的開口周緣部28的部分抵接，將該部分相對於蓋體3相對地朝向前的方向D11推。由此，蓋體3相對於容器主體2被朝向後的方向D12相對地推入，容器主體開口部21被蓋體3封閉。
按照上述構成的本實施方式的基板收納容器1，能夠得到以下的效果。
如上所述，基板收納容器1的插銷機構包括：作為卡合用插銷的插銷臂32，透過相對於作為卡合凹部的插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B進退而卡合/脫離，在插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B內接近/遠離相對於容器主體2的一端部的另一端部；作為卡合用插銷升降凸輪的插銷升降凸輪構件35，透過使插銷臂32向進退的方向進退，使插銷臂32相對於插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B進退，在插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B內使插銷臂32接近/遠離容器主體2的另一端部；以及作為轉動凸輪的插銷轉動構件31，透過轉動，使插銷升降凸輪構件35向插銷臂32進退的方向進退。
插銷升降凸輪構件35具有作為卡合用插銷連接部的長孔357，所述長孔357透過向插銷臂32接近插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B的方向移動，使插銷臂32與插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B卡合，此後使插銷臂32接近容器主體2的另一端部。
利用上述結構，能夠使插銷臂32、插銷升降凸輪構件35、插銷轉動構件31和蓋體主體30的相互滑動的部分減少。此外，使插銷臂32與插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B卡合後，使插銷臂32朝向前的方向D11移動，由於將形成有插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B的容器主體2的開口周緣部28的部分相對於蓋體3朝向前的方向D11相對地推，因此作為所述推力能夠利用插銷臂32轉動時的槓桿原理。因此，能夠以更小的轉動力使蓋體3的操作部33的插銷轉動構件31轉動。
此外，由於能夠減少相互滑動的部分，所以能夠抑制顆粒的產生，能夠抑制顆粒進入基板收納空間27。
接著，參照附圖對本發明第二實施方式的基板收納容器進行說明。圖12是表示在基板收納容器中下側插銷部32B從蓋體3突出的情況的正視圖。圖13是表示在基板收納容器中下側插銷部32B從蓋體3突出的情況的放大立體圖。
在第二實施方式中，上側插銷部32A、下側插銷部32B的結構與第一實施方式中的上側插銷部32A、下側插銷部32B的結構不同。對於除此以外的結構，由於與第一實施方式相同，所以針對同一構件用相同的附圖標記進行圖示，並省略說明。
在上側插銷部32A、下側插銷部32B的前端部分別設有與插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B（參照圖1）卡合併被卡止的卡止用輥327B。如圖13所示，卡止用輥327B具有未圖示的轉動軸部、與轉動軸部一體轉動的一對端部大直徑部3271B、以及位於一對端部大直徑部3271B之間的中央小直徑部3272B，這些結構一體成形。
在插銷臂32位於插入位置並插入插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B（參照圖1）後，卡止用輥327B的端部大直徑部3271B與形成插銷卡合凹部231A、231B、241A、241B的容器主體2的開口周緣部28的部分抵接。利用該構成，由於與該部分抵接的的卡止用輥327B能夠轉動，所以能夠抑制該部分和上側插銷部32A、下側插銷部32B滑動，由此能夠抑制顆粒的產生。
接著，參照附圖對本發明第三實施方式的基板收納容器進行說明。圖14是表示基板收納容器的插銷臂32B的立體圖。
在第三實施方式中，插銷臂32B的前端嵌合部324B的結構與第一實施方式中的插銷臂32的前端嵌合部324的結構不同。由於除此以外的結構與第一實施方式相同，所以針對同一構件用相同的附圖標記進行圖示，並省略說明。
插銷臂32B的長邊方向上的長度大於第一實施方式中的插銷臂32的長邊方向上的長度。插銷臂32B的前端嵌合部324B具有V形的端面。V形的端面向遠離插銷轉動構件31的方向突出。V形的端面具有前端定位部面3242B和一對偏離防止面3241B。前端定位部面3242B由左右方向D3上的V形的端面的中央部分的面構成。一對偏離防止面3241B位於前端定位部面3242B的大體左右方向D3的兩側。
對此，未圖示的基板收納容器的容器主體的插銷卡合凹部的底部，具有與插銷臂32B的前端嵌合部324B一致的形狀。插銷臂32A、插銷臂32A所卡合的插銷卡合凹部的底部也具有同樣的結構。
利用該構成，能夠使插銷臂32B的前端嵌合部324B卡合在插銷卡合凹部的底部，由此，在與蓋體外表面或蓋體內表面平行的方向（與上下方向D2和左右方向D3平行的方向）上，能夠將插銷臂32B等相對於插銷卡合凹部241B等定位，在同方向上，能夠抑制插銷臂32B等相對於插銷卡合凹部241B等產生位置偏離。
本發明不限於上述的實施方式，在權利要求的技術範圍內可以實施變形。
例如，可以由靜摩擦係數小的材料構成作為卡合用插銷的前端部的插銷臂32的前端嵌合部324。此外，可以對作為卡合用插銷的前端部的插銷臂32的前端嵌合部324實施壓花加工。透過採用這種結構，利用插銷臂的前端嵌合部與形成插銷卡合凹部的容器主體的開口周緣部的部分之間的滑動，能夠抑制產生顆粒。
此外，插銷臂32由主成分為POM（聚縮醛樹脂）的樹脂一體成形，但是不限於由主成分為POM（聚縮醛樹脂）的樹脂構成。例如，插銷臂32也可以由主成分為PEEK的樹脂成形。
此外，容器主體和蓋體的形狀、容器主體中能收納的基板的個數和尺寸，不限於本實施方式中的容器主體2和蓋體3的形狀、容器主體2中能收納的基板W的個數和尺寸。此外，本實施方式中的基板W是直徑300mm的矽晶片，但是不限於該值。
此外，後側基板支承部在本實施方式中，在基板支承板狀部5的板部51的後端部具有與容器主體2一體成形構成的後側端緣支承部60，可是不限於該結構。例如，後側基板支承部也可以不與容器主體一體成形，而作為單獨的結構。
此外，在本實施方式中，下壁24的前部的兩處通孔是用於排出容器主體2的內部氣體的排氣孔243，後部的兩處通孔是用於向容器主體2的內部供給氣體的供氣孔242，但是不限於該結構。例如，下壁的前部的兩處通孔中的至少一個，也可以是用於向容器主體的內部供給氣體的供氣孔。
1‧‧‧基板收納容器 2‧‧‧容器主體 3‧‧‧蓋體 33‧‧‧操作部 4‧‧‧密封構件 5‧‧‧基板支承板狀部 51‧‧‧板部 511、512‧‧‧凸部 6‧‧‧後側基板支承部 60‧‧‧後側端緣支承部 7‧‧‧前部保持構件 73‧‧‧前部保持構件基板承接部 8‧‧‧氣體噴出噴嘴部 20‧‧‧壁部 21‧‧‧容器主體開口部 22‧‧‧後壁 23‧‧‧上壁 24‧‧‧下壁 240A‧‧‧底部 25‧‧‧第一側壁 26‧‧‧第二側壁 27‧‧‧基板收納空間 28‧‧‧開口周緣部 281‧‧‧密封面 30‧‧‧蓋體主體 301‧‧‧內側板狀部 302‧‧‧外側板狀部 303‧‧‧周壁部 303A、303B‧‧‧通孔 304‧‧‧蓋體內部空間 305‧‧‧凸輪 305A‧‧‧平坦面 306‧‧‧基部支承部 31‧‧‧插銷轉動構件（轉動凸輪，插銷機構） 311‧‧‧圓形部 312‧‧‧長孔 313‧‧‧直線狀凸部 314‧‧‧彈性突出部 32‧‧‧插銷臂（卡合用插銷，插銷機構） 32A‧‧‧上側插銷部 32B‧‧‧下側插銷部 321‧‧‧基端部 322‧‧‧前端部 323‧‧‧支點部 324‧‧‧前端嵌合部 324B‧‧‧前端嵌合部 3241B‧‧‧偏離防止面 3242B‧‧‧前端定位部面 325‧‧‧連接軸 3271B‧‧‧端部大直徑部 3272B‧‧‧中央小直徑部 341‧‧‧凹部 35‧‧‧插銷升降凸輪構件（卡合用插銷升降凸輪，插銷機構） 351‧‧‧基部 352‧‧‧前端部 3521‧‧‧前方突出板部 353‧‧‧通孔 355‧‧‧凸部 356‧‧‧支承凸部 3501‧‧‧前板部 3502‧‧‧側板部 231A、231B、241A、241B‧‧‧插銷卡合凹部 232A‧‧‧底部形成部 235‧‧‧肋 236‧‧‧凸緣 242‧‧‧供氣孔 243‧‧‧排氣孔 244‧‧‧底板 327B‧‧‧卡止用輥 357‧‧‧長孔（卡合用插銷連接部） 90‧‧‧供氣用篩檢程式部 91‧‧‧排氣用篩檢程式部 W‧‧‧基板 D1、D11、D12、D2、D21、D22、D3、D31、D32‧‧‧方向
圖1是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1中收納有多個基板W的情況的分解立體圖。 圖2是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的容器主體2的上方立體圖。 圖3是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的容器主體2的下方立體圖。 圖4是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的容器主體2的側視剖視圖。 圖5是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的蓋體3的插銷結構的插銷轉動構件31、插銷臂32和插銷升降凸輪構件35的立體圖。 圖6是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的蓋體3的插銷結構的插銷轉動構件31轉動到使插銷臂32變成卡合解除位置的位置的情況的放大正視圖。 圖7是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的蓋體3的插銷結構的插銷臂32位於卡合解除位置的情況的放大剖視圖。 圖8是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的蓋體3的插銷結構的插銷轉動構件31轉動到使插銷臂32變成插入位置的位置的情況的放大正視圖。 圖9是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的蓋體3的插銷結構的插銷臂32移動到插入位置的情況的放大剖視圖。 圖10是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的蓋體3的插銷結構的插銷轉動構件31轉動到使插銷臂32變成推入位置的位置的情況的放大正視圖。 圖11是表示本發明第一實施方式的基板收納容器1的蓋體3的插銷結構的插銷臂32移動到推入位置的放大剖視圖。 圖12是表示在本發明第二實施方式的基板收納容器中下側插銷部32B從蓋體3突出的情況的正視圖。 圖13是表示在本發明第二實施方式的基板收納容器中下側插銷部32B從蓋體3突出的情況的放大立體圖。 圖14是表示本發明第三實施方式的基板收納容器的插銷臂32B的立體圖。
3‧‧‧蓋體
28‧‧‧開口周緣部
30‧‧‧蓋體主體
302‧‧‧外側板狀部
304‧‧‧蓋體內部空間
31‧‧‧插銷轉動構件(轉動凸輪，插銷機構)
311‧‧‧圓形部
312‧‧‧長孔
313‧‧‧直線狀凸部
314‧‧‧彈性突出部
32‧‧‧插銷臂(卡合用插銷，插銷機構)
35‧‧‧插銷升降凸輪構件(卡合用插銷升降凸輪，插銷機構)
352‧‧‧前端部
353‧‧‧通孔
355‧‧‧凸部
D2、D21、D22、D3、D31、D32‧‧‧方向

Claims (5)

  1. 一種基板收納容器，包括： 容器主體，在內部形成有能夠收納多個基板的基板收納空間，在一端部具有開口周緣部，所述開口周緣部形成與所述基板收納空間連通的容器主體開口部；以及蓋體，相對於所述開口周緣部可裝拆，能夠以被所述開口周緣部包圍的位置關係封閉所述容器主體開口部，所述開口周緣部具有至少一對卡合凹部，所述至少一對卡合凹部具有彼此相對的位置關係並與所述蓋體相對形成，所述蓋體包括：蓋體主體；以及至少一對插銷機構，所述至少一對插銷機構能夠在卡合位置和卡合解除位置之間相對於所述蓋體主體移動，所述卡合位置是當用所述蓋體封閉所述容器主體開口部時與所述至少一對卡合凹部分別卡合併使所述蓋體主體相對於所述容器主體固定的位置，所述卡合解除位置是相對於所述卡合凹部的卡合被解除且所述蓋體主體相對於所述容器主體的固定被解除的位置，所述插銷機構包括：卡合用插銷，透過相對於所述卡合凹部進退而卡合或脫離，在所述卡合凹部內接近或遠離所述容器主體的相對於所述一端部的另一端部；卡合用插銷升降凸輪，透過向所述卡合用插銷進退的方向進退，使所述卡合用插銷相對於所述卡合凹部進退，在所述卡合凹部內使所述卡合用插銷接近或遠離所述容器主體的所述另一端部；以及轉動凸輪，透過轉動，使所述卡合用插銷升降凸輪向所述卡合用插銷進退的方向進退，所述卡合用插銷升降凸輪具有卡合用插銷連接部，所述卡合用插銷連接部透過向所述卡合用插銷接近所述卡合凹部的方向移動，使所述卡合用插銷與所述卡合凹部卡合，此後使所述卡合用插銷接近所述容器主體的所述另一端部。
  2. 根據權利要求1所述的基板收納容器，其中在所述卡合用插銷的前端部設有卡止用輥，所述卡止用輥卡合併卡止於所述卡合凹部。
  3. 根據權利要求1所述的基板收納容器，其中 所述蓋體具有具備蓋體外表面和蓋體內表面的長方形的板狀，所述卡合凹部的底部在與所述蓋體外表面或所述蓋體內表面平行的截面上具有V形，在作為所述卡合用插銷的前端部的一部分的、當所述卡合用插銷位於所述卡合位置時與形成所述卡合凹部的底部的所述開口周緣部的卡合凹部形成部的部分抵接的部分，具有與所述卡合凹部的底部一致的V形端面。
  4. 根據權利要求1所述的基板收納容器，其中所述卡合用插銷的前端部由靜摩擦係數小的材料構成。
  5. 根據權利要求4所述的基板收納容器，其中透過對所述卡合用插銷的前端部實施壓花加工而使所述卡合用插銷的前端部的靜摩擦係數變小。
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