JPH1070183A - 壊れやすい物体の保管及び運搬用の容器 - Google Patents
壊れやすい物体の保管及び運搬用の容器Info
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- JPH1070183A JPH1070183A JP10346897A JP10346897A JPH1070183A JP H1070183 A JPH1070183 A JP H1070183A JP 10346897 A JP10346897 A JP 10346897A JP 10346897 A JP10346897 A JP 10346897A JP H1070183 A JPH1070183 A JP H1070183A
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- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67369—Closed carriers characterised by shock absorbing elements, e.g. retainers or cushions
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
- B65D25/00—Details of other kinds or types of rigid or semi-rigid containers
- B65D25/02—Internal fittings
- B65D25/04—Partitions
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F1/00—Originals for photomechanical production of textured or patterned surfaces, e.g., masks, photo-masks, reticles; Mask blanks or pellicles therefor; Containers specially adapted therefor; Preparation thereof
- G03F1/66—Containers specially adapted for masks, mask blanks or pellicles; Preparation thereof
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 半導体ウェーハまたはリソグラフィあるいは
その両方用のレチクルなど壊れやすい物体を保管し運搬
するための容器を提供する。 【解決手段】 １側面１０６が開いた１つの箱を形成す
る、１対の側壁１０２、頂壁１０４、底壁１０６及び背
壁１０８と、側壁間に間隔をおいて配置され、物体を分
離する複数の仕切り１１６と、保管及び運搬中に物体を
傾斜した状態に維持し、物体が仕切りにもたれかかり容
易に動かないようにする手段とを含む、壊れやすい物体
を保管し運搬する容器。
その両方用のレチクルなど壊れやすい物体を保管し運搬
するための容器を提供する。 【解決手段】 １側面１０６が開いた１つの箱を形成す
る、１対の側壁１０２、頂壁１０４、底壁１０６及び背
壁１０８と、側壁間に間隔をおいて配置され、物体を分
離する複数の仕切り１１６と、保管及び運搬中に物体を
傾斜した状態に維持し、物体が仕切りにもたれかかり容
易に動かないようにする手段とを含む、壊れやすい物体
を保管し運搬する容器。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、壊れやすい物体の
保管及び運搬用の容器、特に半導体ウェーハやリソグラ
フィ用レチクルなどの保管及び運搬用の容器を対象とす
る。
保管及び運搬用の容器、特に半導体ウェーハやリソグラ
フィ用レチクルなどの保管及び運搬用の容器を対象とす
る。
【０００２】
【従来の技術】半導体リソグラフィにおいて、レチクル
は露光用の光源とウェーハ上の感光性ポリマーとの間の
マスクとして使用する。ある領域の露光をマスクで遮
り、感光性ポリマーを反応させることによりウェーハ上
にパターンを作成することができる。使用するレジスト
の種類に応じて、露光部分が溶解しあるいは後続の現像
に対する耐性を示し、最終的にそこに画像が解像され
る。
は露光用の光源とウェーハ上の感光性ポリマーとの間の
マスクとして使用する。ある領域の露光をマスクで遮
り、感光性ポリマーを反応させることによりウェーハ上
にパターンを作成することができる。使用するレジスト
の種類に応じて、露光部分が溶解しあるいは後続の現像
に対する耐性を示し、最終的にそこに画像が解像され
る。
【０００３】レチクル上で汚染が起こった場合は、汚染
物質が原因でパターンは所望のものから逸脱する。これ
を防ぐため、透明のメンブレンまたは薄膜をレチクルに
被せて取り付ける。汚染物質はレチクルではなく薄膜上
に集まり、露光時に焦点から外れ、解像されないので、
所望のパターンは影響を受けない。薄膜メンブレンは非
常に薄く、非常に脆いので、破損しないように保護する
には細心の注意が必要である。
物質が原因でパターンは所望のものから逸脱する。これ
を防ぐため、透明のメンブレンまたは薄膜をレチクルに
被せて取り付ける。汚染物質はレチクルではなく薄膜上
に集まり、露光時に焦点から外れ、解像されないので、
所望のパターンは影響を受けない。薄膜メンブレンは非
常に薄く、非常に脆いので、破損しないように保護する
には細心の注意が必要である。
【０００４】現在、レチクルはカセットに入れて保管し
運搬している。例えばMicrascanツールの場合、１枚の
レチクルを箱状のカセットに縦に入れて保管するが、レ
チクルが箱の中でガタつきやすく薄膜を傷つけることが
多い。
運搬している。例えばMicrascanツールの場合、１枚の
レチクルを箱状のカセットに縦に入れて保管するが、レ
チクルが箱の中でガタつきやすく薄膜を傷つけることが
多い。
【０００５】したがって、容器内で動くことによって生
じるレチクルへの損傷を減少あるいは防止するためのレ
チクルの保管及び運搬用の容器の必要がある。
じるレチクルへの損傷を減少あるいは防止するためのレ
チクルの保管及び運搬用の容器の必要がある。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】したがって本発明の一
目的は、容器中で動くことによって生じる損傷を防止す
るレチクルの保管及び運搬用の容器を提供することであ
る。
目的は、容器中で動くことによって生じる損傷を防止す
るレチクルの保管及び運搬用の容器を提供することであ
る。
【０００７】本発明の他の目的は、他の種類の壊れやす
い物体を運ぶのに適した容器を提供することである。
い物体を運ぶのに適した容器を提供することである。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記及びその他の目的に
従って、１側面が開いた１つの箱を形成する、１対の側
壁、頂壁、底壁及び背壁と、側壁の間に間隔をおいて配
置され、物体を分離する複数の仕切りと、保管及び運搬
中に物体を傾斜した状態に維持し、物体が仕切りにもた
れかかり容易に動かないようにする手段とを含む、壊れ
やすい物体を保管及び運搬する容器を提供する。
従って、１側面が開いた１つの箱を形成する、１対の側
壁、頂壁、底壁及び背壁と、側壁の間に間隔をおいて配
置され、物体を分離する複数の仕切りと、保管及び運搬
中に物体を傾斜した状態に維持し、物体が仕切りにもた
れかかり容易に動かないようにする手段とを含む、壊れ
やすい物体を保管及び運搬する容器を提供する。
【０００９】
【発明の実施の形態】図面、特に図１を参照すると、傾
斜した仕切りを備える容器が示されている。このタイプ
の容器は、他の壊れやすい物体も保管し運搬できるが、
レチクルの保管及び運搬に適している。容器１００は、
１対の側壁１０２、頂壁１０４、底壁１０６及び背壁１
０８を有し、全体として背壁１０８の反対側に開いた側
面１１０がある箱を形成する。保持棒１１２あるいは他
の適した保持手段が側壁１０２に取り付けられ、開いた
側面１１０をまたいで延びるので、運搬中にレチクルが
開いた側面１１０から滑り落ちることはない。レチクル
を容易に容器１００に挿入することができ、かつ滑り落
ちを防止できれば、保持棒１１２は底壁１０６から任意
の距離に配置してもよい。
斜した仕切りを備える容器が示されている。このタイプ
の容器は、他の壊れやすい物体も保管し運搬できるが、
レチクルの保管及び運搬に適している。容器１００は、
１対の側壁１０２、頂壁１０４、底壁１０６及び背壁１
０８を有し、全体として背壁１０８の反対側に開いた側
面１１０がある箱を形成する。保持棒１１２あるいは他
の適した保持手段が側壁１０２に取り付けられ、開いた
側面１１０をまたいで延びるので、運搬中にレチクルが
開いた側面１１０から滑り落ちることはない。レチクル
を容易に容器１００に挿入することができ、かつ滑り落
ちを防止できれば、保持棒１１２は底壁１０６から任意
の距離に配置してもよい。
【００１０】容器１００は持ち運びのための取手１１４
を有し、この取手を頂壁１０４上に中心からずらして配
置することにより、運搬中に容器１００が傾き、背壁１
０８が開いた側面１１０より低くなる。これによってレ
チクルの滑り落ちがさらに防止される。
を有し、この取手を頂壁１０４上に中心からずらして配
置することにより、運搬中に容器１００が傾き、背壁１
０８が開いた側面１１０より低くなる。これによってレ
チクルの滑り落ちがさらに防止される。
【００１１】容器１００の内部には、側壁１０２の間に
レチクルを分離する仕切りあるいは隔壁１１６がある。
仕切り１１６は垂直からずれたある角度１１８で固定さ
れる。角度１１８の大きさはレチクルの重心及び仕切り
材に対するレチクルの摩擦係数にも左右されるが、レチ
クルが仕切り１１６にもたれかかって搭載または運搬時
の移動やガタつきを最小限にしあるいは防止できるよう
十分に大きい（たとえば、垂直に近い時）角度、あるい
は十分に小さい（たとえば、水平に近い時）角度でなけ
ればならない。一般的に、角度１１８は以下の条件を満
たすものである。 Ｘg＜Ｘo Ｘ'g＞Ｘo 上式で、 Ｘg＝傾斜の方向が面ｘ−ｙに対して垂直であると仮定
して、物体の重心の成分ｘの計算値または測定値、 Ｘ'g＝物体の傾斜時の、Ｘgの相対的位置ｘ、 Ｘo＝傾斜の方向が面ｙ−ｚに対して垂直であり、回転
軸を中心に傾斜すると仮定して、物体の測定幅である。
レチクルを分離する仕切りあるいは隔壁１１６がある。
仕切り１１６は垂直からずれたある角度１１８で固定さ
れる。角度１１８の大きさはレチクルの重心及び仕切り
材に対するレチクルの摩擦係数にも左右されるが、レチ
クルが仕切り１１６にもたれかかって搭載または運搬時
の移動やガタつきを最小限にしあるいは防止できるよう
十分に大きい（たとえば、垂直に近い時）角度、あるい
は十分に小さい（たとえば、水平に近い時）角度でなけ
ればならない。一般的に、角度１１８は以下の条件を満
たすものである。 Ｘg＜Ｘo Ｘ'g＞Ｘo 上式で、 Ｘg＝傾斜の方向が面ｘ−ｙに対して垂直であると仮定
して、物体の重心の成分ｘの計算値または測定値、 Ｘ'g＝物体の傾斜時の、Ｘgの相対的位置ｘ、 Ｘo＝傾斜の方向が面ｙ−ｚに対して垂直であり、回転
軸を中心に傾斜すると仮定して、物体の測定幅である。
【００１２】上記の条件を満たす、角度１１８が１８度
（水平から７２度）の作業モデルを作成した。仕切り１
１６の数とサイズは、レチクルのサイズ、重量、及び搭
載時の容器１００の所望の重量、寸法にも左右される。
（水平から７２度）の作業モデルを作成した。仕切り１
１６の数とサイズは、レチクルのサイズ、重量、及び搭
載時の容器１００の所望の重量、寸法にも左右される。
【００１３】保管及び運搬時に物体を傾斜した状態に維
持する別の方法を図２に示す。容器２００は図１の容器
１００と同様であるが、破損しやすい半導体ウェーハの
保管及び運搬により適しており、加工ツールに搭載する
ための自動ウェーハ搬送装置と共に使用できるという追
加の利点もある。
持する別の方法を図２に示す。容器２００は図１の容器
１００と同様であるが、破損しやすい半導体ウェーハの
保管及び運搬により適しており、加工ツールに搭載する
ための自動ウェーハ搬送装置と共に使用できるという追
加の利点もある。
【００１４】容器２００は、開いた側面２０２と、ウェ
ーハを分離する角度ゼロの仕切り２０４とを有する。長
さが異なる支持ペグ（くぎ状突起）対２０６、２０８
（後側の対は図示せず）が容器２００の１側面の四隅近
くの外側に取り付けられているので、保管中に容器２０
０は開いた側面２０２から離れて傾斜し、仕切り２０４
は水平から僅かにずれた有効角度になる。ペグ対２０
６、２０８の長さ（つまり仕切り２０４の有効角度）は
容器１００の仕切り１１６の場合と同じ要因に左右され
るが、一般的に容器２００がペグ対２０６、２０８によ
って支持される時に所望の角度が得られるように設定す
る。別法として、開いた側面２０２を上に向けて容器２
００を置くとき、長さの異なる支持ペグ対２１０、２１
２を使用して、仕切り２０４を垂直から僅かにずれた有
効角度にすることもできる。
ーハを分離する角度ゼロの仕切り２０４とを有する。長
さが異なる支持ペグ（くぎ状突起）対２０６、２０８
（後側の対は図示せず）が容器２００の１側面の四隅近
くの外側に取り付けられているので、保管中に容器２０
０は開いた側面２０２から離れて傾斜し、仕切り２０４
は水平から僅かにずれた有効角度になる。ペグ対２０
６、２０８の長さ（つまり仕切り２０４の有効角度）は
容器１００の仕切り１１６の場合と同じ要因に左右され
るが、一般的に容器２００がペグ対２０６、２０８によ
って支持される時に所望の角度が得られるように設定す
る。別法として、開いた側面２０２を上に向けて容器２
００を置くとき、長さの異なる支持ペグ対２１０、２１
２を使用して、仕切り２０４を垂直から僅かにずれた有
効角度にすることもできる。
【００１５】容器２００中でウェーハまたは他の物体を
傾斜させることはさらに利点がある。製品追跡用にウェ
ーハの縁部にバーコードを刻印することが広く行われて
いる。ウェーハを垂直に重ねて保管する通常のウェーハ
・カセットでは、ウェーハがカセットに入った状態でバ
ーコードを読み取るのは不可能ではないにせよ困難であ
る。前述のように適切な角度に傾斜させると、容器に入
ったままでバーコードを走査することが可能になり、し
たがって製造工程を通してカセットに入ったウェーハの
追跡及び選択性が向上する。
傾斜させることはさらに利点がある。製品追跡用にウェ
ーハの縁部にバーコードを刻印することが広く行われて
いる。ウェーハを垂直に重ねて保管する通常のウェーハ
・カセットでは、ウェーハがカセットに入った状態でバ
ーコードを読み取るのは不可能ではないにせよ困難であ
る。前述のように適切な角度に傾斜させると、容器に入
ったままでバーコードを走査することが可能になり、し
たがって製造工程を通してカセットに入ったウェーハの
追跡及び選択性が向上する。
【００１６】運搬中にウェーハを傾斜した位置に維持す
るため、図１の取手１１４と同様な中心からそれた取手
２１４を取り付ける。こうすると持ち運ぶときにウェー
ハが滑り落ちるのが防止される。
るため、図１の取手１１４と同様な中心からそれた取手
２１４を取り付ける。こうすると持ち運ぶときにウェー
ハが滑り落ちるのが防止される。
【００１７】容器２００を自動ウェーハ搬送装置と共に
使用するために、ツール（図示せず）の隣にツール・イ
ンターフェース２２０を置く。ツール・インターフェー
ス２２０は、それぞれ支持ペグ対２０６、２０８の長さ
に対応する深さの溝穴対２２２、２２４を有する。支持
ペグ対２０６、２０８が溝穴２２２、２２４に差し込ま
れている時、仕切り２０４は水平であり、容器２００に
入れたウェーハを自動的にツールに搭載し、降ろすこと
ができる。
使用するために、ツール（図示せず）の隣にツール・イ
ンターフェース２２０を置く。ツール・インターフェー
ス２２０は、それぞれ支持ペグ対２０６、２０８の長さ
に対応する深さの溝穴対２２２、２２４を有する。支持
ペグ対２０６、２０８が溝穴２２２、２２４に差し込ま
れている時、仕切り２０４は水平であり、容器２００に
入れたウェーハを自動的にツールに搭載し、降ろすこと
ができる。
【００１８】以上まとめると、容器内で動くことによる
損傷を防ぎ、半導体ウェーハのような破損しやすい他の
タイプの物体を持ち運ぶのにも適した、レチクルの保管
及び運搬用の容器が提供された。本明細書では、本発明
を単に具体例としてレチクルあるいはウェーハ・キャリ
アに関連して説明したが、本発明の適用可能性が半導体
技術のみに限定されることを意味するものではない。全
体として１側面が開いた１つの箱を形成する、１対の側
壁、頂壁、底壁及び背壁と、側壁の間に間隔をおいて配
置され、物体を分離する複数の仕切りと、保管及び運搬
中に物体を傾斜した状態に維持し、物体が仕切りにもた
れかかって容易に動かないようにする手段とを含む本発
明は、壊れやすい物体を保管及び運搬することが望まし
いいかなる容器にも広範に適用できることを、当業者な
ら理解するであろう。
損傷を防ぎ、半導体ウェーハのような破損しやすい他の
タイプの物体を持ち運ぶのにも適した、レチクルの保管
及び運搬用の容器が提供された。本明細書では、本発明
を単に具体例としてレチクルあるいはウェーハ・キャリ
アに関連して説明したが、本発明の適用可能性が半導体
技術のみに限定されることを意味するものではない。全
体として１側面が開いた１つの箱を形成する、１対の側
壁、頂壁、底壁及び背壁と、側壁の間に間隔をおいて配
置され、物体を分離する複数の仕切りと、保管及び運搬
中に物体を傾斜した状態に維持し、物体が仕切りにもた
れかかって容易に動かないようにする手段とを含む本発
明は、壊れやすい物体を保管及び運搬することが望まし
いいかなる容器にも広範に適用できることを、当業者な
ら理解するであろう。
【００１９】本発明を具体的な実施形態に関して説明し
たが、前述の記載に鑑みて、当業者には数多くの代替
例、修正例及び変形例が明白であろう。したがって本発
明は、本発明の範囲、精神及び頭記の特許請求の範囲に
含まれるそのようなすべての代替例、修正例及び変形例
を包含するものである。
たが、前述の記載に鑑みて、当業者には数多くの代替
例、修正例及び変形例が明白であろう。したがって本発
明は、本発明の範囲、精神及び頭記の特許請求の範囲に
含まれるそのようなすべての代替例、修正例及び変形例
を包含するものである。
【図１】傾斜した仕切りを有する容器を示す図である。
【図２】すべて本発明による、角度ゼロの仕切りと容器
を傾斜した位置に維持するための支持ペグとを有する容
器を示す図である。
を傾斜した位置に維持するための支持ペグとを有する容
器を示す図である。
１００ 容器 １０２ 側壁 １０４ 頂壁 １０６ 底壁 １０８ 背壁 １１０ 開いた側面 １１２ 保持棒 １１４ 取手 １１６ 仕切り １１８ 角度 ２００ 容器
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 クリストファー・ピー・アウスシュニット アメリカ合衆国06804 コネチカット州ブ ルックフィールド オブチューズ・ロー ド・サウス 118 (72)発明者 ジョシュア・エス・ハグ アメリカ合衆国12590 ニューヨーク州ワ ッピンガーズ・フォールズ サリー・レー ン 37
Claims (8)
- 【請求項１】１側面が開いた箱を形成する、１対の側
壁、頂壁、底壁及び背壁と、 側壁の間に間隔をおいて配置され、物体を分離する複数
の仕切りと、 保管及び運搬中に物体を傾斜した状態に維持し、物体が
仕切りにもたれかかり容易に動かないようにする手段と
を含む、壊れやすい物体を保管及び運搬する容器。 - 【請求項２】保管及び運搬中に物体を傾斜した状態に維
持するために仕切りが傾斜している請求項１に記載の容
器。 - 【請求項３】側壁に取り付けられ、開いた側面をまたい
で延びる、運搬中に物体を容器内に保持するための保持
手段をさらに含む請求項２に記載の容器。 - 【請求項４】仕切りの角度がゼロであり、さらに、 運搬中に物体を傾斜した状態で維持するために中心から
ずらして容器に取り付けられた取手と、 保管中に物体を傾斜した状態で維持するために、容器壁
の外側に取り付けられた、長さが異なる、複数の支持ペ
グとを含む請求項１に記載の容器。 - 【請求項５】物体が半導体ウェーハであり、さらに、加
工ツールに自動搭載するためにウェーハを水平の向きに
維持する手段を含む請求項１に記載の容器。 - 【請求項６】自動搭載するためにウェーハを水平の向き
に維持する手段が、支持ペグの長さに対応した深さの異
なる溝穴を有するツール・インターフェースを含む請求
項５に記載の容器。 - 【請求項７】運搬時に、背壁が開いた側面より低くなる
ように中心からずらして容器に取り付けた取手をさらに
備える請求項１に記載の容器。 - 【請求項８】壊れやすい物体がレチクルである請求項１
に記載の容器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US08/641378 | 1996-04-30 | ||
| US08/641,378 US5782356A (en) | 1996-04-30 | 1996-04-30 | Container for storing and transporting fragile objects |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH1070183A true JPH1070183A (ja) | 1998-03-10 |
Family
ID=24572099
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10346897A Pending JPH1070183A (ja) | 1996-04-30 | 1997-04-21 | 壊れやすい物体の保管及び運搬用の容器 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5782356A (ja) |
| JP (1) | JPH1070183A (ja) |
Families Citing this family (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7604306B1 (en) | 2001-08-23 | 2009-10-20 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company | Reticle box transport cart |
| US20030067253A1 (en) * | 2001-10-10 | 2003-04-10 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Co., Ltd. | Anti-ESD movable rack system for storing reticles |
| GB2398534B (en) * | 2003-02-19 | 2005-11-16 | Gillette Co | Safety razors |
| US20040188303A1 (en) * | 2003-03-25 | 2004-09-30 | Chouinard Richard J. | Adjustable width container for coverslips |
| US7172068B1 (en) * | 2004-03-11 | 2007-02-06 | Griffin Jeffrey M | Circular saw blade storage apparatus |
| US20080006083A1 (en) * | 2006-06-26 | 2008-01-10 | Feinstein Adam J | Apparatus and method of transporting and loading probe devices of a metrology instrument |
| CN102569138B (zh) * | 2010-12-10 | 2016-05-11 | 台湾积体电路制造股份有限公司 | 晶片盒 |
| TW201226277A (en) * | 2010-12-30 | 2012-07-01 | Chunghwa Picture Tubes Ltd | A box for transporting |
| CN102553874A (zh) * | 2012-02-23 | 2012-07-11 | 高佳太阳能股份有限公司 | 硅片清洗周转盒 |
| FR2988574B1 (fr) * | 2012-03-29 | 2015-03-13 | Thierry Leroy | Meuble pour trier des objets destines a etre recuperes, par exemple du linge. |
| CN103935642B (zh) * | 2014-04-14 | 2016-03-23 | 昆山市富众网络科技有限公司 | 螃蟹包装盒 |
| US11634270B2 (en) * | 2016-06-16 | 2023-04-25 | Plano Molding Company, Llc | Utility box with angled floor |
Family Cites Families (15)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US254836A (en) * | 1882-03-14 | File for postal and other cards | ||
| US789494A (en) * | 1897-08-25 | 1905-05-09 | Nils F Garbo | Sorting-cabinet. |
| US1030317A (en) * | 1911-10-26 | 1912-06-25 | Carlisle H Middauge | Separating-case. |
| US3486631A (en) * | 1967-09-29 | 1969-12-30 | John T Shaler Co | Basket for polished wafers |
| GB2041726B (en) * | 1979-01-08 | 1983-04-13 | Plessey Co Ltd | Storage cabinets |
| FR2502921A1 (fr) * | 1981-03-31 | 1982-10-08 | Scherf Rayons | Dispositif de rayonnage |
| JPS58202542A (ja) * | 1982-05-21 | 1983-11-25 | Nec Corp | 半導体基板収納装置 |
| US4448307A (en) * | 1982-06-09 | 1984-05-15 | Roggenkamp Clyde L | Dental supply dispenser |
| JPS6037723A (ja) * | 1983-08-10 | 1985-02-27 | Nec Corp | 半導体装置の製造方法 |
| US4640416A (en) * | 1985-04-12 | 1987-02-03 | Amaray International Corporation | Disk storage and carrying case |
| US4620740A (en) * | 1986-01-31 | 1986-11-04 | Michael Kinzig | Cabinet for the storage and carrying of record albums |
| US4709815A (en) * | 1986-08-25 | 1987-12-01 | Engineered Data Products, Inc. | Tape cartridge holding case |
| US4776623A (en) * | 1987-05-15 | 1988-10-11 | Manning James A | Apparatus for storing and transporting cassettes |
| US4981222A (en) * | 1988-08-24 | 1991-01-01 | Asq Boats, Inc. | Wafer boat |
| US5248033A (en) * | 1991-05-14 | 1993-09-28 | Fluoroware, Inc. | Hinged tilt box with inclined portion |
-
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