CN213780636U - 一种光罩转移器 - Google Patents

Abstract

本实用新型提供了一种光罩转移器。光罩转移器包括握把、连接件、第一承载件、第二承载件和限位顶柱；连接件包括第一侧面和第二侧面，握把与第一侧面的中心位置连接；第一承载件和第二承载件平行、间隔并且关于第二侧面的垂直平分面对称设置在第二侧面上；第一承载件的内侧设置有位于同一平面的第一台阶和第二台阶，第二台阶靠近第一承载件的另一端的一侧设置有第一翻边；第二承载件的内侧设置有第三台阶和第四台阶，第四台阶设置有第二翻边；限位顶柱贯穿连接件，限位顶柱相对所述连接件可活动，用于固定光罩。从光罩的侧面固定光罩，与光罩表面和背面上的薄膜不接触，提高了人工转移光罩的效率，降低了光罩报废的概率。

Description

一种光罩转移器

技术领域

本实用新型涉及晶圆制造领域，特别涉及一种光罩转移器。

背景技术

在使用光刻机制造晶圆的过程中，需要将晶圆放在光罩(mask)下方进行曝光，不同批次的晶圆需要刻蚀的图形可能不同，当需要更换图形时，需要更换不同的光罩。光罩通常存放在机台的储存室(library)内，存储室内放置有支架，光罩悬挂在支架上。在正常情况下，可以通过机械臂自动从储存室内的支架上取出光罩并转移到光罩盒子中。

然而，当光刻机宕机或机械臂出现故障时，机械臂不能正常运行，此时需要人工用手转移光罩。人工用手转移光罩时，光罩容易滑落并且光罩表面和背面的薄膜(pellicle)容易被划伤，导致光罩报废。

实用新型内容

本实用新型提供了一种光罩转移器，以解决人工转移光罩时光罩容易滑落并且光罩表面和背面的薄膜容易被划伤的技术问题。

为解决上述技术问题，本实用新型提供了一种光罩转移器，所述光罩转移器包括握把、连接件、第一承载件、第二承载件和限位顶柱；

所述连接件包括相对的第一侧面和第二侧面，所述握把的一端与所述第一侧面的中心位置连接，另一端向远离所述第一侧面的方向延伸；

所述第一承载件和所述第二承载件平行、间隔并且关于所述第二侧面的垂直平分面对称设置在所述第二侧面上，所述垂直平分面与所述第二侧面的长边垂直并且与所述第二侧面的短边平行，所述第一承载件的一端与所述第二侧面连接，另一端向远离所述第二侧面的方向延伸；所述第二承载件的一端与所述第二侧面连接，另一端向远离所述第二侧面的方向延伸；所述第一承载件的内侧设置有位于同一平面的第一台阶和第二台阶，所述第一台阶和所述第二台阶用于承载光罩，所述第一台阶位于所述第一承载件的一端，所述第二台阶位于所述第一承载件的另一端，所述第二台阶靠近所述第一承载件的另一端的一侧设置有用于固定所述光罩的第一翻边，其中，所述第一承载件的内侧是指所述第一承载件和所述第二承载件相对的侧面；

所述第二承载件的内侧设置有与所述第一台阶和所述第二台阶位于同一平面的第三台阶和第四台阶，所述第三台阶和所述第四台阶用于承载所述光罩，所述第三台阶位于所述第二承载件的一端，所述第四台阶位于所述第二承载件的另一端，所述第四台阶靠近所述第二承载件的另一端的一侧设置有用于固定所述光罩的第二翻边，所述第一翻边和所述第二翻边位于同一平面上；

所述第一承载件和所述第二承载件之间的距离大于所述光罩的宽度，所述第一翻边与所述第二侧面之间的距离大于所述光罩的长度，所述第一台阶的顶面与所述第二侧面的顶边之间的距离大于零；

所述限位顶柱沿所述第一侧面指向所述第二侧面的方向贯穿所述连接件，所述限位顶柱相对所述连接件可活动，所述限位顶柱用于固定所述光罩，所述限位顶柱和所述第一翻边位于所述第一台阶的同一侧，所述限位顶柱与所述第二侧面上的交点与所述第一台阶的顶面之间的距离小于所述光罩的厚度。

可选的，所述第一承载件的一端、所述第二承载件的一端、所述第一台阶的一端和所述第三台阶的一端均与所述第二侧面垂直连接。

可选的，所述第一台阶和所述第三台阶关于所述第二侧面的垂直平分面对称设置，所述第二台阶和所述第四台阶关于所述第二侧面的垂直平分面对称设置。

可选的，所述第一承载件和所述第二承载件分别设置在所述第二侧面的两端，所述第一承载件的底面、所述第二承载件的底面和所述第二侧面的底边在同一平面上。

可选的，所述第一翻边与所述第二台阶的顶面垂直，并且与所述第一承载件的另一端的端面齐平；所述第二翻边与所述第四台阶的顶面垂直，并且与所述第二承载件的另一端的端面齐平。

可选的，所述第二侧面上设置有用于固定所述光罩的凸起结构，所述凸起结构和所述第一翻边位于所述第一台阶的同一侧，所述凸起结构与所述第一台阶的顶面之间的距离小于所述光罩的厚度。

可选的，所述第一台阶的上方和所述第三台阶的上方分别设置一个所述凸起结构。

可选的，所述第一侧面和所述第二侧面平行，所述限位顶柱分别与所述第一侧面和所述第二侧面垂直。

可选的，所述限位顶柱包括顶柱和弹簧，所述弹簧套在所述顶柱上，所述顶柱上设置有外螺纹，所述连接件上开设有用于固定所述顶柱的孔，所述孔在靠近所述第一侧面的一端用于容纳和固定所述弹簧，所述孔在靠近所述第二侧面的一端设置有与所述外螺纹相配合的内螺纹，所述顶柱的长度大于孔的长度。

可选的，所述第一台阶的顶面、所述第二台阶的顶面、所述第三台阶的顶面、所述第四台阶的顶面均设置有软胶垫片。

本实用新型提供的一种光罩转移器，可以从光罩的侧面固定光罩，与光罩表面和背面上的薄膜不接触，不再需要用手直接接触光罩，从而防止人工转移光罩时光罩滑落或光罩表面和背面的薄膜被划伤，提高了人工转移光罩的效率，降低了光罩报废的概率。

附图说明

图1是本实用新型一实施例提供的一种光罩转移器的结构示意图。

图2是本实用新型一实施例提供的一种光罩转移器的主视图。

图3是本实用新型一实施例提供的一种光罩转移器的右视图。

图4是本实用新型一实施例提供的一种光罩转移器的仰视图。

图5是本实用新型一实施例提供的一种光罩转移器和光罩的结构示意图。

[附图标记说明如下]：

握把-1、连接件-2、第一承载件-3、第二承载件-4、限位顶柱-5；第一侧面-21、第二侧面-22；第一台阶-31、第二台阶-32、第一翻边-33；第三台阶-41、第四台阶-42、第二翻边-43；凸起结构-221；光罩-6。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图对本实用新型提出的一种光罩转移器作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。

如图1-5所示，本实施例提供了一种光罩转移器，所述光罩转移器包括握把1、连接件2、第一承载件3、第二承载件4和限位顶柱5；所述连接件2包括相对的第一侧面21和第二侧面22，所述握把1的一端与所述第一侧面21的中心位置连接，另一端向远离所述第一侧面21的方向延伸；所述第一承载件3和所述第二承载件4平行、间隔并且关于所述第二侧面22的垂直平分面对称设置在所述第二侧面22上，所述垂直平分面与所述第二侧面22的长边垂直并且与所述第二侧面22的短边平行，所述第一承载件3的一端与所述第二侧面22连接，另一端向远离所述第二侧面22的方向延伸；所述第二承载件4的一端与所述第二侧面22连接，另一端向远离所述第二侧面22的方向延伸；所述第一承载件3的内侧设置有位于同一平面的第一台阶31和第二台阶32，所述第一台阶31和所述第二台阶32用于承载光罩6，所述第一台阶31位于所述第一承载件3的一端，所述第二台阶32位于所述第一承载件3的另一端，所述第二台阶32靠近所述第一承载件3的另一端的一侧设置有用于固定所述光罩6的第一翻边33，其中，所述第一承载件3的内侧是指所述第一承载件3和所述第二承载件4相对的侧面；所述第二承载件4的内侧设置有与所述第一台阶31和所述第二台阶32位于同一平面的第三台阶41和第四台阶42，所述第三台阶41和所述第四台阶42用于承载所述光罩6，所述第三台阶41位于所述第二承载件4的一端，所述第四台阶42位于所述第二承载件4的另一端，所述第四台阶42靠近所述第二承载件4的另一端的一侧设置有用于固定所述光罩6的第二翻边43，所述第一翻边33和所述第二翻边43位于同一平面上；所述第一承载件3和所述第二承载件4之间的距离大于所述光罩6的宽度，所述第一翻边33与所述第二侧面22之间的距离大于所述光罩6的长度，所述第一台阶31的顶面与所述第二侧面22的顶边之间的距离大于零；所述限位顶柱5沿所述第一侧面21指向所述第二侧面22的方向贯穿所述连接件2，所述限位顶柱5相对所述连接件2可活动，所述限位顶柱5用于固定所述光罩6，所述限位顶柱5和所述第一翻边33位于所述第一台阶31的同一侧，所述限位顶柱5与所述第二侧面22的交点与所述第一台阶31的顶面之间的距离小于所述光罩6的厚度。

其中，所述第一侧面21和第二侧面22可以平行设置，也可以形成较小的夹角；所述第一台阶31和所述第二台阶32优选为两个独立的台阶，以便减少与光罩6的底面接触的面积；在其它实施例中，所述第一台阶31和所述第二台阶32也可以相连形成一个台阶；所述第三台阶41可以和所述第一台阶31关于所述第二侧面22的垂直平分面对称设置，所述第四台阶42可以和所述第二台阶32关于所述第二侧面22的垂直平分面对称设置；在其它实施例中，所述第三台阶41的长度可以不等于所述第一台阶31的长度，所述第四台阶42的长度可以不等于所述第二台阶32的长度；所述第一台阶31的顶面是指所述第一台阶31与光罩6的底面接触的一侧；所述第二侧面22的顶边是指所述光罩转移器在使用状态时(如图5所示)所述第二侧面22最上方的一条边。

所述第一承载件3与所述第二承载件4之间的距离略大于光罩6的宽度；所述第一翻边33与所述第二侧面22之间的距离略大于光罩6的长度。在使用所述光罩转移器时，光罩6的底面边缘放在所述第一台阶31、所述第二台阶32、所述第三台阶41和所述第四台阶42上，所述第一台阶31、所述第二台阶32、所述第三台阶41、所述第四台阶42、所述第一承载件3的内侧、所述第二承载件4的内侧、所述第二侧面22围成的区域用于容纳光罩6，所述第二台阶32上的第一翻边33、所述第四台阶42上的第二翻边43和所述第二侧面22可以防止光罩6沿光罩6的长度方向滑落；所述第一承载件3的内侧和所述第二承载件4的内侧可以防止光罩6沿光罩6的宽度方向滑落。

从储存室内的支架上取出光罩6的过程包括以下步骤：

步骤一、将所述光照转移器伸入存储光罩6的储存室内，例如，将所述光照转移器伸入ASML(Advanced Semiconductor Material Lithography，先进半导体材料光刻)公司的光刻机的储存室内；

步骤二、将所述光罩转移器用于容纳关罩的区域对准悬挂在支架上的光罩6，往上提起让所述光罩6落入所述光罩转移器；

步骤三、将所述限位顶柱5顶住所述光罩6的侧面；

步骤四、将所述光罩6提起并从内储存室内取出。

本实施例提供的一种光罩转移器，可以从光罩6的侧面固定光罩6，与光罩6表面和背面上的薄膜不接触，不再需要用手直接接触光罩6，从而防止人工转移光罩6时光罩6滑落或光罩6表面和背面的薄膜被划伤，提高了人工转移光罩6的效率，降低了光罩6报废的概率。

可选的，如图1所示，所述第一承载件3的一端、所述第二承载件4的一端、所述第一台阶31的一端和所述第三台阶41的一端均与所述第二侧面22垂直连接。这样设计方便制造所述光罩转移器，方便固定所述光罩6。

可选的，如图1-2所示，所述第一台阶31和所述第三台阶41关于所述第二侧面22的垂直平分面对称设置，所述第二台阶32和所述第四台阶42关于所述第二侧面22的垂直平分面对称设置。这样设计容易使所述光罩转移器和所述光罩6保持平衡，从而方便使用所述光罩6，并且方便制造所述光罩转移器。

可选的，如图1-2所示，所述第一承载件3和所述第二承载件4分别设置在所述第二侧面22的两端，所述第一承载件3的底面、所述第二承载件4的底面和所述第二侧面22的底边在同一平面上。这样设计方便使用所述光罩6，并且方便制造所述光罩转移器。

可选的，如图1和图5所示，所述第一翻边33与所述第二台阶32的顶面垂直，并且与所述第一承载件3的另一端的端面齐平；所述第二翻边43与所述第四台阶42的顶面垂直，并且与所述第二承载件4的另一端的端面齐平。这样设计方便使用所述光罩6，并且方便制造所述光罩转移器。

可选的，如图1和图5所示，所述第二侧面22上设置有用于固定所述光罩6的凸起结构221，所述凸起结构221和所述第一翻边33位于所述第一台阶31的同一侧，所述凸起结构221与所述第一台阶31的顶面之间的距离小于所述光罩6的厚度。所述凸起结构221可以是凸点或台阶型的结构，所述凸起结构221与所述第一翻边33之间沿平行于所述第一承载件3的延伸方向的距离略大于所述光罩6的长度。设置所述凸起结构221可以进一步固定所述光罩6。

可选的，如图1和图5所示，所述第一台阶31的上方和所述第三台阶41的上方分别设置一个所述凸起结构221。这样设置可以通过所述凸起结构221、所述第一翻边33和所述第二翻边43固定所述光罩6。

可选的，如图1和图5所示，所述第一侧面21和所述第二侧面22平行，所述限位顶柱5分别与所述第一侧面21和所述第二侧面22垂直。这样设计方便使用所述光罩6，并且方便制造所述光罩转移器。

可选的，如图1和图5所示，所述限位顶柱5包括顶柱和弹簧，所述弹簧套在所述顶柱上，所述顶柱上设置有外螺纹，所述连接件2上开设有用于固定所述顶柱的孔，所述孔在靠近所述第一侧面21的一端用于容纳和固定所述弹簧，所述孔在靠近所述第二侧面22的一端设置有与所述外螺纹相配合的内螺纹，所述顶柱的长度大于孔的长度。这样设置可以实现所述限位顶柱5相对所述连接件2可活动。在其它实施例中，所述限位顶柱5也可以通过卡槽等方式实现所述限位顶柱5相对所述连接件2可活动。

可选的，如图1和图5所示，所述第一台阶31的顶面、所述第二台阶32的顶面、所述第三台阶41的顶面、所述第四台阶42的顶面均设置有软胶垫片。设置软胶垫片可以防止划伤所述光罩6。

可选的，所述握把1、所述连接件2、所述第一承载件3和所述第二承载件4可以一体成型，也可以分别制作后焊接连接。所述凸起结构221和所述第二侧面可以一体成型，也可以分别制作后焊接连接。所述第一承载件3、所述第一台阶31、所述第二台阶32和所述第一翻边33可以一体成型，也可以分别制作后焊接连接。

可选的，参考图1-4所示，所述连接件2、所述第一承载件3和所述第二承载件4有钢材制成，所述限位顶柱5由硬质胶制成，所述握把1由铁制成。利用硬质胶制作所述限位顶住，可以防止划伤所述光罩6。

可选的，参考图1-4所示，所述第一承载件3和所述第二承载件4之间的内宽为158mm，外宽为168mm，所述第一承载件3的长度为156mm；所述限位顶柱5的直径为3mm；所述握把1的直径为12.5mm；所述连接件2的第一侧面21和第二侧面22之间的距离为25mm。

综上所述，本实用新型提供的一种光罩转移器，可以从光罩6的侧面固定光罩6，与光罩6表面和背面上的薄膜不接触，不再需要用手直接接触光罩6，从而防止人工转移光罩6时光罩6滑落或光罩6表面和背面的薄膜被划伤，提高了人工转移光罩6的效率，降低了光罩6报废的概率。

上述描述仅是对本实用新型较佳实施例的描述，并非对本实用新型范围的任何限定，本领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于本实用新型的保护范围。

Claims (10)

1.一种光罩转移器，其特征在于，所述光罩转移器包括握把、连接件、第一承载件、第二承载件和限位顶柱；

所述连接件包括相对的第一侧面和第二侧面，所述握把的一端与所述第一侧面的中心位置连接，另一端向远离所述第一侧面的方向延伸；

所述第一承载件和所述第二承载件平行、间隔并且关于所述第二侧面的垂直平分面对称设置在所述第二侧面上，所述垂直平分面与所述第二侧面的长边垂直并且与所述第二侧面的短边平行，所述第一承载件的一端与所述第二侧面连接，另一端向远离所述第二侧面的方向延伸；所述第二承载件的一端与所述第二侧面连接，另一端向远离所述第二侧面的方向延伸；所述第一承载件的内侧设置有位于同一平面的第一台阶和第二台阶，所述第一台阶和所述第二台阶用于承载光罩，所述第一台阶位于所述第一承载件的一端，所述第二台阶位于所述第一承载件的另一端，所述第二台阶靠近所述第一承载件的另一端的一侧设置有用于固定所述光罩的第一翻边，其中，所述第一承载件的内侧是指所述第一承载件和所述第二承载件相对的侧面；

所述第二承载件的内侧设置有与所述第一台阶和所述第二台阶位于同一平面的第三台阶和第四台阶，所述第三台阶和所述第四台阶用于承载所述光罩，所述第三台阶位于所述第二承载件的一端，所述第四台阶位于所述第二承载件的另一端，所述第四台阶靠近所述第二承载件的另一端的一侧设置有用于固定所述光罩的第二翻边，所述第一翻边和所述第二翻边位于同一平面上；

所述第一承载件和所述第二承载件之间的距离大于所述光罩的宽度，所述第一翻边与所述第二侧面之间的距离大于所述光罩的长度，所述第一台阶的顶面与所述第二侧面的顶边之间的距离大于零；

所述限位顶柱沿所述第一侧面指向所述第二侧面的方向贯穿所述连接件，所述限位顶柱相对所述连接件可活动，所述限位顶柱用于固定所述光罩，所述限位顶柱和所述第一翻边位于所述第一台阶的同一侧，所述限位顶柱与所述第二侧面上的交点与所述第一台阶的顶面之间的距离小于所述光罩的厚度。

2.如权利要求1所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述第一承载件的一端、所述第二承载件的一端、所述第一台阶的一端和所述第三台阶的一端均与所述第二侧面垂直连接。

3.如权利要求2所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述第一台阶和所述第三台阶关于所述第二侧面的垂直平分面对称设置，所述第二台阶和所述第四台阶关于所述第二侧面的垂直平分面对称设置。

4.如权利要求3所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述第一承载件和所述第二承载件分别设置在所述第二侧面的两端，所述第一承载件的底面、所述第二承载件的底面和所述第二侧面的底边在同一平面上。

5.如权利要求4所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述第一翻边与所述第二台阶的顶面垂直，并且与所述第一承载件的另一端的端面齐平；所述第二翻边与所述第四台阶的顶面垂直，并且与所述第二承载件的另一端的端面齐平。

6.如权利要求1所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述第二侧面上设置有用于固定所述光罩的凸起结构，所述凸起结构和所述第一翻边位于所述第一台阶的同一侧，所述凸起结构与所述第一台阶的顶面之间的距离小于所述光罩的厚度。

7.如权利要求6所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述第一台阶的上方和所述第三台阶的上方分别设置一个所述凸起结构。

8.如权利要求1所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述第一侧面和所述第二侧面平行，所述限位顶柱分别与所述第一侧面和所述第二侧面垂直。

9.如权利要求8所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述限位顶柱包括顶柱和弹簧，所述弹簧套在所述顶柱上，所述顶柱上设置有外螺纹，所述连接件上开设有用于固定所述顶柱的孔，所述孔在靠近所述第一侧面的一端用于容纳和固定所述弹簧，所述孔在靠近所述第二侧面的一端设置有与所述外螺纹相配合的内螺纹，所述顶柱的长度大于孔的长度。

10.如权利要求1所述的一种光罩转移器，其特征在于，所述第一台阶的顶面、所述第二台阶的顶面、所述第三台阶的顶面、所述第四台阶的顶面均设置有软胶垫片。

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