JPH11121603A - 基板用キャリア及びそれを用いる露光装置と露光方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 基板用キャリア内の基板の踊りやそこからの
飛び出しを防止することのできる基板用キャリアと、そ
のような基板用キャリアを用いる露光装置と露光方法を
提供する。 【解決手段】 基板を運搬するための基板用キャリアで
あって、少なくとも１枚の基板を収納する基板収納部３
と、基板収納部３に通じる基板の出入り口１０１を開閉
する扉１１と、基板用キャリアの運搬状態を検出する検
出器１０２と、検出器１０２の検出結果に基づいて扉１
１を開閉する開閉手段１０３とを有する基板用キャリア
１００。扉を備えるので、基板を基板用キャリア内に抑
制することができる。また検出器を備え、その検出結果
に基づいて扉を開閉する手段を備えるので、他に特別の
開閉操作を要さず扉の開閉がなされ得る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、基板用キャリア及
びそれを用いる露光装置と露光方法に関し、特に半導体
製造の際に基板を保護しながら取り扱うことを可能にす
る基板用キャリア及びそれを用いる露光装置と露光方法
に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来からのウエハキャリアは、図６に示
されるように、複数の棚と溝を有する溝部品で構成され
ている。その棚は断面が楔形状あるいは先端が切り落と
された楔である台形形状を有している。そして、それら
棚同士に挟まれて、断面が楔形状あるいは台形形状の複
数の溝を有する。溝部品の前面は、ウエハを出し入れす
る口であって開放開口として形成されており、棚と溝は
開放された開口からウエハキャリアの奥に向かって水平
かつ平行に形成されている。ウエハキャリアの奥は、収
納されたウエハが所定の位置で止まるように閉じられて
いる。ウエハをこのウエハキャリアに収納する際には、
複数の溝のそれぞれに薄板状のウエハが挿入され、ウエ
ハは各棚の上に載置される。このような構造を有する従
来のウエハキャリアとしては、ＳＥＭＩ規格と呼ばれる
規格に準拠したテフロン製の一体構造のオープンキャリ
アが主流である。また従来の６インチまでのウエハを収
納するウエハ用キャリアは、片手で取り扱うことのでき
る大きさと重量であった。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】以上のような従来のウ
エハキャリアによれば、前面が開放されているため、ウ
エハのウエハキャリア内における踊りやウエハキャリア
からの飛び出しの問題があった。特に、今後取り扱いが
増えると考えられる大型の１２インチウエハ用のウエハ
キャリアはウエハを含めた合計重量が大きく、外形寸法
もかなり大きくなるので、従来のように簡単に片手で取
り扱うことは困難である。したがって、キャリアの載せ
下ろし、移動等の作業時にキャリアが周囲環境による外
力を受ける可能性が高く、そのようなときにキャリアの
前面が開いた状態ではウエハがキャリア内で踊り、場合
によっては飛び出したりの事故が起こり得る。

【０００４】そこで本発明は、ウエハキャリア内のウエ
ハの踊りやウエハキャリアからの飛び出しを防止し、ウ
エハを保護することのできる基板用キャリアを提供し、
さらにそのような基板用キャリアを用いる露光装置と露
光方法を提供することを目的としている。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、請求項１に係る発明による基板用キャリア１００
は、図１〜図４に示すように、基板を運搬するための基
板用キャリアであって、少なくとも１枚の前記基板を収
納する基板収納部３と、前記基板収納部３に通じる前記
基板の出入り口１０１を開閉する扉１１と、前記基板用
キャリアの運搬状態を検出する検出器１０２と、前記検
出器１０２の検出結果に基づいて前記扉１１を開閉する
開閉手段１０３とを有する。

【０００６】このように構成すると、扉を備えるので、
基板を基板用キャリア内に抑制することができる。また
検出器を備え、その検出結果に基づいて扉を開閉する手
段を備えるので、他に特別の開閉操作を要さず扉の開閉
がなされ得る。

【０００７】この基板用キャリアにおいては、請求項２
に記載のように、前記検出器１０２は、少なくとも１以
上の持ち手７を含み、前記検出器は、前記持ち手７が操
作されたときに前記基板用キャリアの運搬開始を検知す
るように構成され、前記開閉手段１０３は、前記検出器
１０２が運搬開始を検知すると前記扉１１を閉じるよう
に構成されている。

【０００８】このように構成すると、持ち手を備えるの
で持ち手の操作により検知器が基板用キャリアの運搬開
始を検知でき、運搬開始により扉を閉じることができ
る。

【０００９】以上の基板用キャリアにおいては、請求項
３に記載のように、前記扉１１は左右に開く２枚の蓋体
を含むようにしてもよい。この場合は、２枚の蓋体で基
板用キャリア内の基板の動きを抑制することができる。

【００１０】請求項３に記載の基板用キャリアにおいて
は、請求項４に記載のように、前記蓋体の開く角度が可
変であるように構成されていてもよい。この場合は、基
板の大きさや、基板用キャリアを用いる露光装置の構造
等に応じて蓋体の開く角度を設定することができる。

【００１１】以上の基板用キャリアにおいては、請求項
５に記載のように、前記検出器１０２は、前記基板用キ
ャリア１００の運搬が終了したことを検知するように構
成され、前記開閉手段１０３は、前記検出器１０２の運
搬終了の検知により前記扉１１を開くように構成されて
いてもよい。

【００１２】このように構成すると、基板用キャリア１
００の運搬が終了したこと、例えば基板用キャリアが運
搬後に降ろされたことを検知し、開閉手段１０３はその
検知により扉１１を開くので、運搬中に扉１１が開くこ
とを防止し、かつ降ろされたときには、他の特別の操作
を要さずに扉１１を開くことができる。

【００１３】上記目的を達成するために、請求項６に係
る発明による露光装置は、図７に示されるように、請求
項１乃至請求項４のいずれかに記載の基板用キャリア１
００を所定位置に設置して、該基板用キャリア１００で
運搬された基板を露光する露光装置２００であって、前
記基板用キャリア１００を所定位置に設置した際に前記
検出器１０２を作動させるように構成されている。

【００１４】このように構成すると、基板用キャリア１
００を所定位置に設置した際に検出器１０２を作動させ
るように構成されているので、他の特別の操作を要さず
に基板用キャリアの扉を開閉することができる。

【００１５】上記目的を達成するために、請求項７に係
る発明による露光方法は、少なくとも１枚の基板Ｗを基
板用キャリア１００に収納し、前記基板用キャリア１０
０を露光装置の所定位置に運搬する前に、前記基板Ｗの
前記基板用キャリア１００内における移動を制限し、前
記基板用キャリア１００を露光装置の所定位置に運搬さ
れた後に前記制限を解除し、前記基板用キャリア１００
から前記基板Ｗを取り出し、取り出した前記基板Ｗを露
光する。

【００１６】基板Ｗの前記基板用キャリア１００内にお
ける移動を制限するので、運搬中に基板が踊ったり飛び
出したりするのを防止でき、露光装置の所定位置に運搬
された後に前記制限を解除するので、特別の操作を要さ
ずに基板用キャリア１００から前記基板Ｗを取り出すこ
とができる。

【００１７】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、図面を参照して説明する。なお、各図において互い
に同一あるいは相当する部材には同一符号を付し、重複
した説明は省略する。

【００１８】図１は、本発明の実施の形態である基板用
キャリアの斜視図である。図１に示されるように、本発
明の基板用キャリアであるウエハキャリア（以下適宜
「基板用キャリア」と呼ぶ）１００は、複数の棚３ａと
溝３ｂを有する溝部品３で構成されている。その棚３ａ
は断面が楔形状あるいは先端が切り落とされた楔である
台形形状を有している。そして、それら棚３ａ同士に挟
まれて、断面が楔形状あるいは台形形状の複数の溝３ｂ
を有する。溝部品３の前面は、ウエハＷ（図２に２点鎖
線で図示）を出し入れする口として開放開口１０１（図
２参照）として形成されており、棚３ａと溝３ｂは開放
された開口１０１からウエハキャリア１００の奥に向か
って水平かつ平行に形成されている。ウエハキャリア１
００の奥は、収納されたウエハＷが所定の位置で止まる
ように閉じられている。ウエハＷをこのウエハキャリア
１００に収納する際には、複数の溝３ｂのそれぞれに薄
板状のウエハＷが挿入され、ウエハＷは各棚３ａの上に
載置される。

【００１９】溝部品３は、平板状の下板１と上板２によ
って挟むように構成されている。また各部品は、開放開
口１０１を正面に見て左右対称に配置されている。

【００２０】図２に本実施の形態による基板用キャリア
の平面図を示す。図２（Ａ）で示されるように、上板２
の上面には水平軸６を支持する支持部品４、５が固設さ
れている。支持部品４は上板２の左手前に、支持部品５
は上板２の左奥に配置されている。

【００２１】水平軸６は、上板２の左端に手前から奥に
向かって配置されており、軸６にとって軸受けとして機
能する支持部品４と５に回動可能に取り付けられてい
る。回動可能とは、正逆方向に往復回転可能なことをい
う。

【００２２】さらに軸６には、持ち手７が軸６と一体的
に取り付けられている。持ち手７の操作者が握る握り手
部分は軸６と平行に前後に伸延しており、その前端と後
端がそれぞれ支持部材４と５の近傍で軸６に固定的に取
り付けられている。このような構造により、持ち手７は
水平軸６と共に水平軸６の中心軸の回りに回転する。ま
た、持ち手７は操作者が握る前には、上板２の外側水平
方向に倒れている。そして、持ち手７と支持部品４との
間にはねじりばね１２があって、持ち手７側のばね受け
１３と不図示の支持部品４側のばね受けとの間で、持ち
手が、図３（Ａ）に示されるように、上板２の外側に倒
れるように押しつける方向に回転力を与えている。ま
た、水平軸６の前端あるいは後端にはかさ歯車８が取り
付けられている。

【００２３】図３（Ａ）は、図２（Ａ）の基板用キャリ
アの正面図である。本図に示されるように、水平軸６に
直交する、垂直方向に配設された垂直軸１０が下板１と
上板２の間に回動可能に支持されている。下板１と上板
２には、それぞれ垂直軸１０用の軸受け穴が設けられて
おり、その穴で垂直軸１０は回動可能に支持されてい
る。また、垂直軸１０の上端にはかさ歯車９が、水平軸
６のかさ歯車８と噛み合うように取り付けられている。
本実施の形態では、かさ歯車８と９の歯車比は１：１に
なるように構成されている。

【００２４】また、垂直軸１０には全体として長方形の
蓋１１の一端が固定されている。蓋１１の他端である先
端部には、溝３ｂに収納されたウエハＷの外周を外側か
ら拘束するために、櫛形の形状の押さえに形成されてい
る。櫛の歯１１ａ（図３（Ｂ）参照）は、溝３ｂと同ピ
ッチに、溝３ｂに対応するように配列されている。櫛の
歯１１ａは弾性的に作られており、各々がばね性（弾
性）を有している。櫛の歯として適した材料の一つは、
いわゆるテフロンである。この櫛の歯１１ａは、基板Ｗ
が基板用キャリア１００に収納され、蓋１１が閉じたと
きに、丁度基板Ｗの外周に接触して僅かに押しつけるよ
うな寸法に設定してもよいし、単に基板Ｗが基板用キャ
リアから飛び出さないように動きを所定の幅に拘束する
だけの非接触型に構成してもよい。また、蓋１１は、持
ち手７が上板２の外側水平方向に倒れているときに、図
２（Ａ）に示されるように、基板用キャリア１００の正
面方向に真っ直ぐ向いて前面開口１０１を開放するよう
に設定されている。

【００２５】垂直軸１０の下端部は、図４（Ｂ）に示さ
れるように、上下動可能なストッパ軸１４を収納する中
空構造になっており、ストッパ軸１４はその中空部の中
を垂直軸１０の軸線方向に往復動ができるように構成さ
れている。また、その中空部の中でストッパ軸１４の上
端部には圧縮ばね１６が圧縮されて納められており、ス
トッパ軸１４は常に押し出される方向の力を受けてい
る。図４、図５では、垂直軸１０は中空構造を示すため
にその周辺を断面して示してある。

【００２６】また、ストッパ軸１４には垂直軸１０の外
側から耳軸１５がストッパ軸１４と直交するよう打ち込
まれており、垂直軸１０とストッパ軸１４との間の回転
規制と垂直軸１０からの抜け止めになっている。なお、
ストッパ軸１４の上下可動範囲は垂直軸１０側面の、垂
直軸１０のなが手方向に設けられたガイド用長穴によっ
て決められている。

【００２７】また、下板１には幅が耳軸１５の太さより
も僅かに大きく、深さが耳軸１５の深さの１／２より大
きいストッパ溝１７が掘られている。耳軸１５が、スト
ッパ溝１７中に納まったときは、垂直軸１０の回転は拘
束され、ストッパ溝１７から上方に浮き上がった位置に
あるときは、垂直軸１０は自由に回転できるように構成
されている。

【００２８】このように本実施の形態では、本発明の開
閉手段１０３は、水平軸６、持ち手７、かさ歯車８、
９、垂直軸１０を含んで構成されており、一部の構成部
品は検出器１０２と共通である。

【００２９】以上説明した構造は、基板用キャリア１０
０を、平面図あるいは正面図で見て、それぞれ図２
（Ａ）（Ｂ）、図３（Ａ）（Ｂ）に示されるように、同
一形状で左右対称に設けられている。したがって、左右
対称の２枚の蓋１１は、基板用キャリア１００の正面か
ら見て左右に開閉する。

【００３０】以上のように構成された基板用キャリア１
００の操作を図面を参照して説明する。基板Ｗを取り扱
う設置台（あるいは露光装置の基板用キャリア用台）１
１０ａ上に置かれた基板用キャリア１１は、上方から見
た場合、持ち手７は図２（Ａ）に示される状態で保持さ
れており、作業者が基板用キャリア１００を持ち上げる
ため、持ち手７を持ち上げると、水平方向に倒れていた
持ち手７は約９０度回転して垂直方向に向いて支持部品
４、５に接して止まり、図２（Ｂ）と図３（Ｂ）に示さ
れる状態になる。

【００３１】笠歯車８と９を介して水平軸６に連動して
垂直軸１０が同じ角度だけ回転することにより、基板用
キャリア１００の正面方向に真っ直ぐ向いて前面開口１
０１を開放するように開いていた蓋１１が、基板用キャ
リア１００の前面開口１０１を閉じるように回動する。

【００３２】このような操作がされているときの、蓋開
閉保持機構でもある本発明の蓋の開閉手段１０３の動作
を説明する。持ち手７が水平方向に倒れているときは、
図４（Ａ）に示されるように、ストッパ軸１４は垂直軸
１０の中空の奥に押し込まれており、かつ耳軸１５はス
トッパ溝１７の方向とは直角方向に向いている。

【００３３】次に持ち手７が持ち上げられ、水平軸６ひ
いては垂直軸１０が９０°回転されると、図４（Ｂ）に
示されるように、耳軸１５は下板１のストッパ溝１７に
平行な方向に向きを変える。しかしながら、基板用キャ
リア１００が未だ設置台１１０ａ上にあるときは、スト
ッパ軸１４は設置台１１０ａに押されているため、耳軸
１５はどちらの方向にも回転自由である。したがって、
この状態で持ち手７を再び離せば持ち手７は元の図２
（Ａ）、図５（Ａ）に示される状態に戻り、蓋１１は再
度開かれる。

【００３４】次に、図４（Ｃ）は、図２（Ｂ）、図３
（Ｂ）に示される状態から基板用キャリア１００を持ち
上げた状態のストッパー軸１４の位置を示すものであ
り、ストッパ軸１４は圧縮ばね１６に押され外部に出っ
張り、耳軸１５が下板１のストッパ溝１７に落ち込んで
止まる。この状態では、耳軸１５がストッパ溝１７に入
っているためストッパ軸１４は回転できなくなり、垂直
軸１０も回転できなくなる。したがって、蓋１１は閉じ
た状態を保持することがでる。即ち、基板用キャリア１
００を持ち上げたときには、蓋が閉じた状態を保持する
ことができ、飛び出し防止を図ることができる。

【００３５】そして、移動先の設置台例えば基板を取り
出して用いる露光装置の基板用キャリア用設置台１１０
ａに置かれると、再び図４（Ｂ）に示されるように、ス
トッパー軸１４は下板１の中に押し込まれ、耳軸１７が
ストッパー溝１７から浮き上がるため、垂直軸１０は回
転方向の拘束が解かれる。したがって、続けて持ち手７
が離されると、垂直軸１０は９０°回転して、図４
（Ａ）の状態、即ち図２（Ａ）、図３（Ａ）の状態にな
り、蓋１１が開く。

【００３６】図４（Ｄ）は、設置台の別の例であり、基
板用キャリア１００が設置台に置かれたときにストッパ
ー軸１４が位置する箇所が沈み穴に加工されている。し
たがって、この設置台１１０ｂに基板用キャリア１００
が置かれても、ストッパー軸１４は下板１に押し込まれ
ず、耳軸１５はストッパー溝１７に落ち込んだままであ
るので、持ち手７が離されても垂直軸１０は回転しな
い。したがって、蓋１１も開かない。このように、設置
台のストッパ軸１４が当たる部分の形状を細工すること
によって蓋開閉の要否を選択できる。

【００３７】図５に、下板の別の形態を示す。この図で
は、下板１ａの下面を、ストッパー軸１４の周囲につい
て沈み穴１８にしてある。この例では、垂直軸１０が一
番下に下がったとき、即ち耳軸１５がストッパー溝１７
に落ち込んだときでも、ストッパー軸１４の下端が下板
１ａの下面と同一面かあるいはそれより内部にあり、下
面より下に突きでない寸法関係に作られている。

【００３８】したがって、図５（Ｃ）に示されるよう
に、沈み穴１８ａに対応する突出部１８ｂが設けられて
いる設置台１１０ｃに置かれると図５（Ａ）に示される
ように、耳軸１５がストッパー溝１７から浮き上がっ
て、図４（Ｂ）に示されるのと同様な状態になる。即ち
この状態で持ち手７を離せば、垂直軸１０は回転し、図
４（Ａ）に示されるのと同様な状態となり、蓋１１は開
く。

【００３９】突出部１８ｂが設けられていない場所であ
れば、いかなる場所に置いたとしても垂直軸１０は押し
上げられず、図５（Ｂ）の状態を維持するので蓋１１は
開かない。例えば、誤って基板用キャリア１００を基板
Ｗを取り出すべきではない場所に置いてしまっても、そ
こでは蓋１１が開くことはないので、基板が保護され
る。

【００４０】このように、円形の沈み穴１８ａの直径よ
り小さい直径で、沈み穴１８ａの深さより僅かに小さい
高さの円形の突出部１８ｂを、基板Ｗの基板用キャリア
１００への装填をする場所と、基板Ｗを基板用キャリア
１００から取り出して用いる場所、例えば露光装置の基
板用キャリア台にのみ設けておけば、必要な場所のみで
蓋１１を開くことができ、基板の安全な運搬を図ること
ができる。

【００４１】この沈み穴１８ａは、ストッパー軸１４用
のガイド穴より直径の大きい穴としたが、ストッパー軸
１１のガイド穴そのものとしてもよい。その場合は、突
出部１８ｂはストッパー軸１４と同一の直径あるいはわ
ずかに小さい直径に形成すればよい。

【００４２】このように、垂直軸１０、ストッパー軸１
４、耳軸１５、バネ１６を含んで、本発明の検出器１０
２が構成されている。

【００４３】図７に、本発明の実施の形態である露光装
置２００の斜視図を示す。この露光装置２００は、以上
説明したような基板用キャリア１００を所定位置に設置
して、基板用キャリア１００で運搬されて来た基板Ｗを
露光する露光装置である。この露光装置はレチクルＲと
ウエハＷを静止した状態で露光する静止型露光装置で
も、レチクルＲとウエハＷを相対走査させながら露光す
る走査型露光装置でも適用可能である。

【００４４】ここで本実施の形態では、基板用キャリア
１００を設置する所定位置は、図５（Ａ）（Ｃ）に示さ
れるように、設置台１１０ｃ上の突出部１８ｂに、基板
用キャリア１００の沈み穴１８ａが嵌合する位置であ
る。このような位置に基板用キャリア１００が設置され
ると、扉即ち蓋１１が開く状態となる。

【００４５】一方、図４の例では、基板キャリアは設置
台１１０ａ上に設置されると、設置台の表面が平坦な面
であっても蓋１１は開くことができる状態となる。この
例では、基板用キャリアを設置する所定位置は、例えば
露光装置用の基板ローダー１１３のアーム１１２（図
７）により基板Ｗを挿脱できる位置である。図７の装置
は、図５に対応する検出器１０２ａを用いる場合である
ので、突出部１８ｂが図示されているが、図４に対応す
る検出器１０２を用いる場合は、突出部１８ｂは不要で
ある。その代わりに不図示の基板キャリアの外周等に当
接する位置決めストッパーが設けられており、前記所定
位置を決めることができる。

【００４６】図７に示されるように、本露光装置２００
は、光源である水銀ランプ２０２が楕円鏡２０１の第１
焦点あるいはその近傍に配置されており、この光源２０
２が不図示のレチクルステージ上に載置されたレチクル
Ｒを照明するように配置されている。楕円鏡２０１、水
銀ランプ２０２とレチクルＲとの間には不図示の照明光
学系が配置されており、レチクルＲは一様に照明され
る。なお、本発明において光源は水銀ランプに限られる
ものではなく、エキシマレーザー（ＫｒＦ、ＡｒＦ）、
エレクトロンビーム、Ｘ線等も適用可能である。

【００４７】レチクルステージに関して光源２０１、２
０２と反対の側には、投影光学系ＰＬと基板Ｗを載置す
る基板ホルダー２０３がこの順に配置されている。基板
Ｗは投影光学系ＰＬに関してレチクルＲと共役な位置に
置かれるように構成されている。基板Ｗは、シリコンウ
エハあるいは液晶表示装置用のガラス板等である。

【００４８】さらに基板ホルダー２０３は、基板ステー
ジ（ＸＹステージ）２０４上に取り付けられている。基
板ステージ２０４はさらにベース２０５上に設置されて
いる。基板ステージ２０４は、ベース２０５上で投影光
学系ＰＬの光軸に平行なＺ軸に直交するＸＹ平面内でＸ
方向及びＹ方向に移動可能な構造を有している。

【００４９】さらに、基板ホルダー２０３上の基板Ｗを
交換するための基板ローダー１１３が露光装置２００の
正面に設けられている。基板ローダー１１３は、ベース
２０５と一体的に構成されている基板ローダーベース２
０６上に設置されている。

【００５０】基板ローダー１１３は、その上部に、基板
ホルダー２０４上の基板Ｗを装脱するためのアーム１１
２を含んで構成されており、アーム１１２はＸＹ平面に
平行な平面内で直進移動と、Ｚ軸に平行な軸の回りに旋
回が可能になっている。また、Ｚ軸方向（露光装置にお
いて上下方向）にも移動可能に構成されている。

【００５１】さらにアーム１１２が、基板ホルダー２０
３に向いた方向から９０°旋回した方向に、基板用キャ
リア１００をセットするための設置台１１０ｃが設けら
れており、設置台１１０ｃは、上下動機構を含む設置台
ベース１１１に取り付けられている。設置台ベース１１
１はベース２０５と一体的に構成されている。このよう
な構造によって、設置台１１０ｃは設置台ベース１１１
に含まれる上下動機構に結合されたエレベータ状に構成
されており、Ｚ軸方向に上下移動可能である。

【００５２】本実施の形態では、設置台１１０ｃには突
出部１８ｂが、基板用キャリア１００の沈み穴１８ａ
（図５（Ａ）（Ｃ））に対応して設けられている。

【００５３】この様な構成において、ストッパー軸１４
の周囲に沈み穴１８ａを有する基板用キャリア１００
が、図７の露光装置２００の設置台１１０ｃに設置され
ると、沈み穴１８ａが突出部１８ｂに嵌合して、基板用
キャリア１００が設置台１１０ｃ上で位置決めされ且つ
突出部１８ｂが沈み穴１８ａに挿入されてストッパー軸
１４を押し込むので、すなわち本発明の検出器１０２が
作動するので、基板用キャリア１００の蓋１１が開き、
基板Ｗがアーム１１２により出し入れ可能な状態にな
る。

【００５４】このとき、設置台１１０ｃは、アーム１１
２が所望の基板Ｗを基板用キャリア１００から取り出せ
るように、設置台ベース１１１に含まれる上下動機構に
よりエレベータ状に上下して、その基板Ｗの取り出しに
適した高さで停止する。

【００５５】そしてアーム１１２が、基板用キャリア１
００から基板Ｗを載せて引き出し、基板ローダー１１３
上で９０°旋回し、基板ホルダー２０３の方を向き且つ
その方向に直進し、基板ホルダー２０３上に基板Ｗを降
ろす。露光装置１００は、その基板Ｗに投影光学系ＰＬ
を介して、レチクルＲのパターンを投影露光する。

【００５６】このように、本発明による露光装置は、基
板用キャリア１００を所定位置に設置すると、他の特別
の操作を要さずに持ち手７を離すだけで基板用キャリア
の扉１１を開閉することができる。したがって、１２イ
ンチウエハなどの大型の基板を用いる露光装置において
も、基板を保護しつつ取り扱いすることができ、安全な
露光が可能である。

【００５７】図７に示される実施の形態では、ストッパ
ー軸１４が沈み穴１８ａを有する基板用キャリア（図
５）を所定位置に設置するため、設置台１１０ｃは突出
部１８ｂを有しているが、その代わりに、ストッパー軸
１４が突出している基板用キャリア（図４）を所定位置
に設置するように、基板用キャリアの位置決めストッパ
ー（不図示）のみを有し、表面は平坦な設置台１１０ａ
を有する露光装置としてもよい。

【００５８】また、ストッパー軸１４が突出している基
板用キャリア（図４）を所定位置に設置する露光装置で
あって、基板用キャリアを設置しても蓋１１が開かない
ように、沈み穴を有する仮り置き用設置台１１０ｂを有
する露光装置としてもよい。この場合は、基板Ｗを出し
入れしたい設置台上の位置にあらためて置き直せるよう
に、別途位置決めのストッパー（不図示）を設けて、そ
こでは蓋１１が開くように構成してもよい。

【００５９】また、以上の説明に含まれていた、基板Ｗ
を基板用キャリア１００に収納し、基板用キャリア１０
０を露光装置の所定位置に運搬する前に、基板Ｗの基板
用キャリア１００内における移動を制限し、基板用キャ
リア１００を露光装置の所定位置に運搬された後にその
制限を解除し、基板用キャリア１００から基板Ｗを取り
出し、取り出した基板Ｗを露光する方法では、基板Ｗの
基板用キャリア１００内における移動を制限するので、
運搬中に基板が踊ったり飛び出したりするのを防止で
き、露光装置の所定位置に運搬された後に制限を解除す
るので、特別の操作を要さずに基板用キャリア１００か
ら基板Ｗを取り出すことができる。

【００６０】ここで、基板の移動の制限とは、蓋１１の
弾性を有する先端部１１ａを基板Ｗの外周部に接触させ
て直接基板用キャリア内側方向に押しつけて溝３ｂ内に
固定する場合と、単に先端部１１ａを基板Ｗの外周部近
傍に位置させることにより、基板Ｗの大きな動きを制限
し、基板Ｗの基板用キャリア１００からの飛び出しを防
止する場合を含む。

【００６１】蓋１１の弾性を有する先端部１１ａは、櫛
の歯状に形成したが、弾性を有する連続した直線状の端
部として形成してもよい。特に、被接触型のときは、こ
の形状でよい。個々のウエハＷの外径の微妙な差に応じ
て、押さえの位置を変化させる必要がないからである。
但し、この場合もウエハＷの保護のために弾性は持たせ
るのが望ましい。

【００６２】以上の実施の形態では、笠歯車８と９の歯
車比は１：１としたが、これに限らず、水平軸６が９０
°回転したときに垂直軸１０の回転をそれより小さく例
えば３：２即ち６０°、あるいは２：１即ち４５°とし
てもよい。このようにすれば、蓋１１が閉じたときウエ
ハ１１の外周部を斜めに支持させることができ、あるい
はウエハＷの大きさによっては、蓋１１を完全に開かな
いでよい場合に対処できる。

【００６３】逆に、水平軸６が９０°回転したときに垂
直軸１０の回転をそれより大きく例えば３：４即ち１２
０°、２：３即ち１３５°、あるいは１：２即ち１８０
°としてもよい。このようにすれば、蓋１１を大きく開
かせることができ、ウエハｗと蓋１１との干渉を避ける
構造とし易い。あるいは、水平軸６の回転角度を９０°
ではなく６０°や４５°とすることもできる。このとき
は、支持部品４、５に水平軸６の回動角をそのように制
限するストッパーを設ければよい。

【００６４】このように、蓋体の開く角度は適切な値に
設定するが、用途によってその角度を適宜変更してもよ
い。本発明の他の実施の形態においては、蓋体の開く角
度は可変であるように構成されており、具体的には、笠
歯車８と９を所望の歯車比を有する組み合わせとして、
それぞれ水平軸６と垂直軸１０上に同時に交換装着でき
るように構成されている。

【００６５】以上のように本発明の実施の形態によれ
ば、持ち手を持つ作業に連動して蓋が開閉するため、新
たに蓋を開閉する作業が不要となる。また、基板用キャ
リアを持ち上げると蓋が閉じ、基板用キャリアを設置台
に置くと蓋が開くため、開閉忘れに伴う事故の発生を防
止することができる。また、笠歯車８、９の歯車比を適
切に選択すれば、蓋の開閉角度を変更できるため、前面
開口側への蓋の出っ張りを減らす等の調節ができる。ま
た、蓋の先端形状に弾性を持たせることにより、ウエハ
径のばらつき、オリフラの位置変化に対して安定したウ
エハ支持を与えることが可能である。さらに、蓋を閉じ
た状態を保持する機能があるため、基板用キャリアの移
動、保管等状況に応じて蓋を閉じたままにすることがで
き、安全上有利である。

【００６６】

【発明の効果】以上のように本発明によれば、基板の出
入口を開閉する扉を備えるので、基板用キャリア内の基
板の踊りや基板用キャリアからの飛び出しを防止し、基
板を保護することが可能となる。また、基板を保護しな
がら取り扱い基板にとって安全な露光が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態である基板用キャリアの斜
視図である。

【図２】図１の基板用キャリアの平面図である。

【図３】図１の基板用キャリアの正面図である。

【図４】図１の基板用キャリアの垂直軸の下端部の一実
施例を示す断面図である。

【図５】図１の基板用キャリアの垂直軸の下端部の別の
実施例を示す断面図である。

【図６】従来の基板用キャリアの斜視図である。

【図７】本発明の実施の形態である露光装置の斜視図で
ある。

【符号の説明】

１ 下板 ２ 上板 ３ 溝部品 ４、５ 支持部品 ６ 水平軸 ７ 持ち手 ８、９ かさ歯車 １０ 垂直軸 １１ 蓋 １２ ねじりばね １３ ばね受け １４ ストッパ軸 １５ 耳軸 １６ 圧縮ばね １７ ストッパ溝 １８ａ 沈み穴 １８ｂ 突出部 １００ 基板用キャリア １０１ 前面開口 １０２ 検出器 １０３ 蓋開閉手段 １１０ 設置台 ２００ 露光装置 Ｗ 基板

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 基板を運搬するための基板用キャリアで
   あって、 少なくとも１枚の前記基板を収納する基板収納部と、 前記基板収納部に通じる前記基板の出入り口を開閉する
   扉と、 前記基板用キャリアの運搬状態を検出する検出器と、 前記検出器の検出結果に基づいて前記扉を開閉する開閉
   手段とを有することを特徴とする基板用キャリア。
2. 【請求項２】 前記検出器は、少なくとも１以上の持ち
   手を含み、 前記検出器は、前記持ち手が操作されたときに前記基板
   用キャリアの運搬開始を検知するように構成され、 前記開閉手段は、前記検出器が運搬開始を検知すると前
   記扉を閉じるように構成されていることを特徴とする、
   請求項１に記載の基板用キャリア。
3. 【請求項３】 前記扉は左右に開く２枚の蓋体を含むこ
   とを特徴とする、請求項１または請求項２に記載の基板
   用キャリア。
4. 【請求項４】 前記蓋体の開く角度が可変であるように
   構成されていることを特徴とする、請求項３に記載の基
   板用キャリア。
5. 【請求項５】 前記検出器は、前記基板用キャリアの運
   搬が終了したことを検知するように構成され、 前記開閉手段は、前記検出器の運搬終了の検知により前
   記扉を開くように構成されていることを特徴とする、請
   求項１乃至請求項４のいずれかに記載の基板用キャリ
   ア。
6. 【請求項６】 請求項１乃至請求項４のいずれかに記載
   の基板用キャリアを所定位置に設置し、該基板用キャリ
   アで運搬された基板を露光する露光装置であって、 前記基板用キャリアを所定位置に設置した際に前記検出
   器を作動させるように構成されていることを特徴とする
   露光装置。
7. 【請求項７】 少なくとも１枚の基板を基板用キャリア
   に収納し、 前記基板用キャリアを露光装置の所定位置に運搬する前
   に、前記基板の前記基板用キャリア内における移動を制
   限し、 前記基板用キャリアを露光装置の所定位置に運搬された
   後に前記制限を解除し、 前記基板用キャリアから前記基板を取り出し、 取り出した前記基板を露光する露光方法。