KR20070098033A - 레티클 저장장치 - Google Patents

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KR20070098033A KR1020060029169A KR20060029169A KR20070098033A KR 20070098033 A KR20070098033 A KR 20070098033A KR 1020060029169 A KR1020060029169 A KR 1020060029169A KR 20060029169 A KR20060029169 A KR 20060029169A KR 20070098033 A KR20070098033 A KR 20070098033A
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Abstract

레티클 저장장치를 제공한다. 제공된 레티클 저장장치는 본체와, 본체의 내부에 배치되며 다수의 레티클을 수직 보관하는 레티클 스토리지 모듈 및 본체의 일측에 배치되어 레티클 스토리지 모듈에 수직 보관된 레티클이 이송되는 레티클 카세트가 안착되며, 사용자에 의해 레티클 카세트를 이송하는 매뉴얼포트와 자동으로 레티클 카세트를이송할 수 있는 OHT포트를 구비한 로드포트모듈을 포함한다. 따라서, 제공된 레티클 저장장치에 의하면 레티클을 수직 보관하여 레티클의 오염을 방지하고, 로드포트모듈의 OHT포트와 레티클 카세트 이송모듈을 구비하여 레티클 카세트를 자동으로 후속 공정위치로 이동시킬 수 있다.

Description

레티클 저장장치{Reticle stocker}
도 1은 본 발명에 따른 레티클 저장장치를 도시한 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 레티클 저장장치를 부분적으로 절개한 측면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 레티클 저장장치의 스토리지 모듈과 레티클 트랜스퍼 모듈의 모습을 보인 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 레티클 트랜스퍼 모듈의 모습을 보인 측면도이다.
**도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명**
100 : 레티클 저장장치 110 : 본체
120 : 팬 필터 모듈 122 : 팬
124 : 필터부재 126 : 이온화유닛
130 : 스토리지 모듈 134,135,136 : 제 1,2,3슬롯
137 : 위치감지센서용 반사판 138 : 공출하/이중반입센서용 반사판
140 : 레티클 트랜스퍼 모듈 149a : 위치감지센서
149b : 공출하/이중반입센서 150 :로드포트모듈
152 : 매뉴얼포트 154 : OHT포트
156 : 파티클 검사유닛 160 : 레티클 카세트 이송모듈
본 발명은 레티클 저장장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 레티클이 파티클에 의해 오염되는 것을 방지하며, 레티클을 자동으로 노광공정이 수행되는 위치로 이동시킬 수 있게 하는 레티클 저장장치에 관한 것이다.
일반적으로, 하나의 완전한 반도체 소자를 제작하기 위해서는 순수 실리콘 웨이퍼(Silicon wafer)를 가공 및 연마한 후, 그 실리콘 웨이퍼 상에 포토리소그래피공정, 식각공정, 박막증착공정, 확산공정 등 여러가지 공정을 반복하여 소정 회로패턴(Pattern)을 갖는 박막을 복층으로 적층함으로써 제작된다.
이와 같은 공정 중에서 미리 설계된 회로패턴을 실리콘 웨이퍼 상에 찍는 공정을 포토리소그래피(Photolithography)공정이라고 하며, 포토리소그래피공정은 크게 감광막 도포공정, 노광공정, 현상공정 등으로 이루어진다. 여기서, 노광공정은 포토레지스트가 도포된 웨이퍼를 웨이퍼 스테이지에 안착시켜 이 웨이퍼의 일정지역에만 빛을 쬠으로써 레티클 스테이지에 안착된 레티클(Reticle)의 패턴을 웨이퍼로 옮기는 공정이다. 이 패턴들은 이후 수행되는 공정인 식각공정 때 웨이퍼 표면과 포토레지스트 사이에 놓여 있는 공정상의 실질적 마스크(Mask) 역할을 하는 SiO2, Si3N4 등과 같은 박막층에 패턴을 형성시키는 식각 방지층으로 사용되는 것이다.
한편, 노광공정에 사용되는 레티클은 레티클 저장장치의 스토리지 모듈에서 대략 바닥과 수평되게 보관되는데, 이와 같이 레티클이 스토리지 모듈에서 수평으로 보관되면 레티클의 패턴면에 파티클이 안착되어 레티클이 오염되는 문제점이 있다.
또한, 레티클은 레티클 트랜스퍼 모듈에 의해 스토리지 모듈에서 레티클 카세트로 이동시키고 이 레티클 카세트를 사용자에 의해 노광공정이 수행되는 위치로 이동시키게 된다. 즉, 레티클을 노광공정이 수행되는 위치로 이동시키는 과정에서 전자동으로 하지 못하고 사용자에 의해 이동시킴으로써 번거로움이 있고 이에 따른 소요시간이 늘어나는 문제점이 있다.
따라서, 본 발명은 이와 같은 문제점을 감안한 것으로서, 본 발명의 목적은 레티클의 보관 시 파티클에 의해 레티클이 오염되는 것을 방지하는 레티클 저장장치를 제공하는데 있다.
본 발명의 다른 목적은 레티클이 수납된 레티클 카세트를 자동으로 이동시킬 수 있도록 하는 레티클 저장장치를 제공하는데 있다.
이와 같은 목적을 구현하기 위한 본 발명에 따른 레티클 저장장치는 본체와,상기 본체의 내부에 배치되며, 다수의 레티클을 수직 보관하는 레티클 스토리지 모듈과, 상기 레티클 스토리지 모듈의 레티클을 상기 본체의 외부로 이송하는 레티클 트랜스퍼 모듈과, 상기 본체의 외부에 배치되어 상기 레티클 트랜스퍼 모듈에 의해 이송된 레티클이 적재되는 레티클 카세트가 안착된 로드포트모듈 및 상기 로드포트 모듈에 안착된 상기 레티클 카세트를 이송하는 레티클 카세트 이송모듈을 포함한다.
상기 로드포트모듈은 상기 본체의 일측 하부에 배치되어 사용자에 의해 상기 레티클 카세트를 수동으로 이송되도록 하는 매뉴얼포트와, 상기 본체의 일측 상부에 배치되어 상기 레티클 카세트를 자동으로 이송되도록 하는 OHT포트를 포함하며,상기 레티클 카세트 이송모듈은 상기 OHT포트에 안착된 상기 레티클 카세트를 자동으로 이송하는 것을 특징으로 한다.
상기 레티클 카세트 이송모듈은 상기 OHT포트의 레티클 카세트를 파지하고 수직이동시키는 파지부와, 상기 파지부가 수용되는 하우징과, 상기 하우징이 수평이동되도록 마련된 레일부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 레티클의 파티클 유무를 검색하는 파티클 검색유닛이 더 포함되며, 상기 파티클 검색유닛은 상기 매뉴얼포트의 내부에 배치된 것을 특징으로 한다.
상기 본체의 상부에 배치되어 상기 본체의 내부가 청정환경이 유지되도록 상기 본체의 내부로 수직 하방 기체를 공급하도록 하는 팬과, 상기 팬을 통해 유입된 기체를 필터링하기 위한 필터부재를 구비하는 팬 필터 모듈이 더 포함되는 것을 특징으로 한다.
상기 스토리지 모듈에는 회전 가능한 원통형상의 중앙부재와, 상기 중앙부재에 장착되어 상기 레티클을 수직 보관될 수 있도록 슬롯들이 형성된 지지브라켓을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 슬롯들은 상기 레티클의 하부 내측을 지지하는 제 1슬롯과, 상기 레티 클의 하부 외측을 지지하는 제 2슬롯 및 상기 레티클의 상부 내측을 지지하는 제 3슬롯을 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 레티클 트랜스퍼 모듈에는 상기 레티클의 이송 시 상기 레티클의 위치를 확인할 수 있는 위치확인센서와 상기 레티클의 공출하와 이중반입을 감지할 수 있는 공출하/이중반입센서가 장착되고, 상기 스토리지 모듈의 지지브라켓에는 상기 위치확인센서와 공출하/이중반입센서에서 조사된 광을 반사할 수 있도록 반사판들이 장착된 것을 특징으로 한다.
상기 스토리지 모듈에는 파티클이 정전기에 의해 상기 레티클에 안착되는 것을 방지하도록 이온화유닛이 배치 것을 특징으로 한다.
이하에서는 첨부한 도면들을 참조하여 본 발명의 실시예를 상세히 설명하기로 한다.
도 1은 본 발명에 따른 레티클 저장장치를 도시한 사시도이고, 도 2는 본 발명에 따른 레티클 저장장치를 부분적으로 절개한 측면도이고, 도 3은 본 발명에 따른 레티클 저장장치의 스토리지 모듈과 레티클 트랜스퍼 모듈의 모습을 보인 사시도이고, 도 4는 도 3에 도시된 레티클 트랜스퍼 모듈의 모습을 보인 측면도이다.
도 1 내지 도 4를 참조하면, 본 발명에 따른 레티클 저장장치(100)는 외관을 형성하는 본체(110)와, 이 본체(110)의 상부에 배치되는 팬 필터 모듈(Fan filter module,120)과, 본체(110)의 내부에 배치되어 다수의 레티클(R)이 보관되는 스토리지 모듈(Storage module,130)과, 본체(110)의 내부에 배치되어 스토리지 모듈(130) 에 보관된 레티클(R)을 이송하는 레티클 트랜스퍼 모듈(Reticle transfer module,140)과, 본체(110)의 외면 일측에 배치되어 레티클 트랜스퍼 모듈(140)에 의해 이송된 레티클(R)이 적재되는 레티클 카세트(C)가 안착된 로드포트모듈(150) 및 로드포트모듈(150)에 안착된 레티클 카세트(C)를 자동으로 이송할 수 있는 레티클 카세트 이송모듈(160)을 포함한다.
본체(110)는 대략 박스형상으로 이루어지며, 그 내부에는 스토리지 모듈(130) 및 레티클 트랜스퍼 모듈(140)이 배치될 수 있도록 공간이 형성된다. 본체(110)의 일측에는 레티클 트랜스퍼 모듈(140)에 의해 스토리지 모듈(130)에서 레티클 카세트로 이송되는 레티클(R)이 본체(110)의 외부로 인출입될 수 있도록 도어(115)가 형성되며, 이때의 도어(115)는 레티클(R)의 보호 및 오염을 방지하게 된다.
팬 필터 모듈(120)은 상술한 바와 같이 본체(110)의 상부에 배치되어 본체(110)의 내부가 청정환경이 유지되도록 수직 하방의 기체를 공급하는 역할을 수행한다. 구체적으로, 팬 필터 모듈(120)에는 상측에 공기유입구가 형성되어 이 공기유입구를 통해 소정 기체를 본체(110)의 내부로 유입시키고 이 유입된 기체를 본체(110)의 외부로 배기시킬 수 있도록 회전 속도가 조절되는 팬(122)이 배치되고, 이 팬(122)의 하측에는 유입된 공기를 필터링하기 위한 필터부재(124)가 유입된 기체의 이동 경로 상에 배치된다. 또한, 팬 필터 모듈(120)에는 도시되지는 않았지만 유입된 기체에 의해 발생된 압력을 조절하기 위한 압력조절판이 배치될 수 있다.
스토리지 모듈(130)은 레티클(R)에 형성된 패턴면이 오염되는 것을 방지할 수 있도록 레티클(R)의 패턴면이 측면으로 향하도록 수직으로 보관되며, 이를 위해 하측에 배치된 모터(미도시)에 의해 회전 가능한 원통형상의 중앙부재(132)와 이 중앙부재(132)의 외면에 장착되어 레티클(R)을 지지하는 다수의 지지브라켓(133)을 구비한다.
상술한 중앙부재(132)에 장착된 지지브라켓(133)은 두 개의 링이 연결된 형상으로 이루어진다. 이 지지브라켓(133)의 내외측 링 상면에는 수직 보관되는 레티클(R)의 하부를 지지할 수 있도록 제 1슬롯(134)과 제 2슬롯(135)이 형성되고, 지지브라켓(133)의 내측 링 하면에는 레티클(R)의 상부를 지지할 수 있도록 제 3슬롯(136)이 형성되며, 이때의 슬롯들(134,135,136)은 하나의 세트로 이루어진다.
즉, 레티클(R)은 어느 하나의 지지브라켓(133)에 형성된 제 1슬롯(134)과 제 2슬롯(135)에 하면이 지지되고 상기의 지지브라켓(133)의 상부에 배치된 지지브라켓(133)에 형성된 제 3슬롯(136)에 내측 상면에 지지됨으로써 수직 보관되는 것이다.
또한, 상술한 지지브라켓(133)의 외측 링 외주면에는 레티클(R)의 위치를 감지하기 위한 위치확인센서용 반사판(137)이 배치되고, 지지브라켓(133)의 내측 링 외주면에는 공출하/이중반입센서용 반사판(138)이 배치되는데, 이때의 공출하/이중반입센서용 반사판(138)은 공출하/이중반입센서(149b)에서 조사된 광이 레티클(R)의 쿼츠부분을 통과하여 굴절되므로 소정 각도로 경사지게 배치되는 것이 바람직하다. 그리고, 스토리지 모듈(130)의 상측에는 본체(110)의 내부에서 팬 필터 모듈(120)에 의해 유동되는 파티클이 정전기에 의해 레티클(R)에 안착되는 것을 방지 하기 위한 이온화 유닛(126)이 배치될 수 있다.
레티클 트랜스퍼 모듈(140)은 상술한 바와 같이 본체(110)의 내부에서 스토리지 모듈(130)의 측면에 배치되며, 스토리지 모듈(130)과 로드포트모듈(150)의 레티클 카세트의 사이에서 레티클(R)을 이송하는 역할을 수행한다. 구체적으로, 레티클 트랜스퍼 모듈(140)은 레티클(R)을 파지할 수 있도록 둘 이상의 핑거로 이루어진 그리퍼(Gripper,142)와, 스토리지 모듈(130)에서 수직 보관된 레티클(R)을 수직 및/또는 수평이송할 수 있도록 그리퍼(142)를 회전시키는 틸트부(144)와, 이 틸트부(144)를 전후좌우로 수평이동시키는 제 1구동부(146)와, 이 제 1구동부(146)를 수직이동시키는 제 2구동부(148)를 포함한다.
상술한 그리퍼(142)는 도시된 바와 같이 수직으로 보관되는 레티클(R)의 상면과 하면의 일부를 지지하게 되는데, 이와 같이 레티클(R)의 최소면적만을 사용하여 레티클(R)을 파지하게 되면 이 레티클(R)을 인식하기 위한 바코드가 완벽하게 노출시킬 수 있으므로 레티클(R)의 ID를 인식하기에 최상의 요건을 제공하게 된다.
또한, 틸트부(144)에는 레티클(R)의 이송 시 이 레티클(R)의 위치를 확인하는 위치확인센서(149a)와 레티클(R)의 공출하 및 이중반입을 방지하여 레티클(R)의 손상을 막기 위한 공출하/이중반입센서(149b)가 배치되며, 이때의 위치확인센서(149a)와 공출하/이중반입센서(149b)는 소정의 광을 조사함과 더불어 스토리지 모듈(130)에 장착된 반사판(137,138)에 의해 반사된 광을 수광하는 광센서일 수 있다. 틸트부(144)의 내부에는 이머전시(Emergency) 상황에서 레티클(R)이 손상되는 것을 방지하기 위하여 그리퍼(142)를 탄성지지하는 탄성부재(미도시)가 배치될 수 있다.
로드포트모듈(150)은 도시된 바와 같이 본체(110)의 외면 일측에 배치되어 레티클 카세트(C)가 안착되는데, 본체(110)의 일측 하부에는 레티클 카세트(C)를 사용자에 의해 노광공정이 수행되는 위치로 레티클(R)을 이송할 수 있도록 하는 매뉴얼포트(152)가 배치되고, 본체(110)의 일측 상부에는 종래와는 달리 레티클 카세트(C)를 자동으로 노광공정이 수행되는 위치로 이송할 수 있도록 레티클 카세트(C) 이송모듈(160)과 연계된 OHT(Overhead hoist transfer)포트(154)가 배치된다. 각 포트(152,154)에는 스토리지 모듈(130)로 레티클(R)을 반입하거나 스토리지 모듈(130)에서 레티클(R)을 반출하는 것을 동시에 수행할 수 있도록 2개의 레티클 카세트(C)가 안착될 수 있다. 매뉴얼포트(152)의 내부에는 이 매뉴얼포트(152)에 안착되는 레티클(R)의 파티클 오염여부를 검사하기 위한 파티클 검사유닛(156)이 배치되며, 이때의 파티클 검사유닛(156)은 매뉴얼포트(152)에 안착된 레티클 카세트(C)의 수직방향으로 평행하게 배치되는 것이 바람직하다. 이로 인해 본 발명에 따른 레티클 저장장치(100)에서는 본체(110)의 외부에 별도의 파티클 검사유닛(156)을 구비할 필요 없이 매뉴얼포트(152)의 내부에 배치됨으로써 레티클 저장장치(100)의 설치공간에 대한 효율성을 증진시킬 수 있다.
한편, 레티클 카세트 이송모듈(160)은 도시된 바와 같이 OHT포트(154)에 안착된 레티클 카세트(C)를 자동으로 노광공정이 수행되는 위치 즉, 스캐너 또는 스텝퍼설비의 레티클 스테이지(미도시)로 이송할 수 있도록 OHT포트(154)의 상측에 배치된다. 레티클 카세트 이송모듈(160)은 크게 레일부(161), 이 레일부(161)를 따 라 수평이동하는 하우징(163)과, 이 하우징(163)의 내부에 배치되어 OHT포트에(154) 안착된 레티클 카세트(C)를 파지하고 수직이동시키는 파지유닛(165)을 포함한다. 여기서, 하우징(163)은 상술한 파지부(165)가 그 내부에 배치될 수 있도록 공간이 형성되며, 상부에는 레일부(161)를 따라 이동될 수 있도록 롤러 또는 바퀴가 장착된 이동체(164)가 배치된다. 그리고, 레일부(161)는 OHT포트(154)의 레티클카세트(C)를 노광공정이 수행되는 레티클 스테이지로 이송할 수 있도록 이 레티클 스테이지의 위치까지 연장되며, 하우징(163)의 이동체(164)가 상면에 배치된다. 파지부(165)의 하측에는 OHT포트(154)의 레티클 카세트(C)를 파지할 수 있도록 파지유닛(166)가 배치되며, 이 파지유닛(166)은 하우징(163)의 내부에 배치된 동력수단(미도시) 예를 들면 모터에 의해 수직이동된다.
즉, 본 발명에 따른 레티클 저장장치(100)에서 레티클(R)을 노광공정이 수행되는 위치로 자동으로 이송되는 과정을 살펴보면, 먼저 레티클 스토리지 모듈(130)에서 수직 보관된 레티클(R)은 레티클 트랜스퍼 모듈(140)에 의해 로드포트모듈(150)의 OHT포트(154)로 이송되어 레티클 카세트(C)로 적재된다. 상기의 레티클 카세트(C)는 레티클 카세트 이송모듈(160)의 파지부(165)가 하강되어 파지된 후 상승됨으로써 하우징(163)에 고정된다. 이 후 레티클 카세트(C)가 고정된 하우징(163)이 레일부(161)를 따라 노광공정이 수행되는 위치로 이송함으로써 자동으로 레티클(R)을 이송할 수 있는 것이다. 이와 더불어 본 발명에서는 OHT포트(154) 이외에 매뉴얼포트(152)가 마련되는 바 매뉴얼포트(152)에 안착된 레티클 카세트(C)를 사용자에 의해 수동으로 이동시킬 수도 있다.
이에 따라 본 발명에 따른 레티클 저장장치(100)는 종래와는 달리 레티클(R)이 적재된 레티클 카세트(C)를 이송하는 경우에도 자동으로 할 수 있으므로 사용자가 직접 레티클 카세트(C)를 이송하는 번거로움이 없으며 레티클 카세트(C)를 이송하는데 소요되는 시간을 단축시킬 수 있다.
이상에서 설명한 바와 같이 본 발명에 따른 레티클 저장장치는 레티클이 적재된 레티클 카세트를 자동으로 이송할 수 있으므로 번거로움이 없으며 레티클 카세트를 이송하는데 소요되는 시간을 단축할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명에 따른 레티클 저장장치는 레티클을 수직으로 보관함으로써 이 레티클의 패턴면에 파티클이 안착되는 것을 방지하여 레티클을 오염을 방지하게 되는 효과가 있다.

Claims (9)

  1. 본체;
    상기 본체의 내부에 배치되며, 다수의 레티클을 수직 보관하는 레티클 스토리지 모듈;
    상기 레티클 스토리지 모듈의 레티클을 상기 본체의 외부로 이송하는 레티클 트랜스퍼 모듈;
    상기 본체의 외부에 배치되어 상기 레티클 트랜스퍼 모듈에 의해 이송된 레티클이 적재되는 레티클 카세트가 안착된 로드포트모듈; 및
    상기 로드포트모듈에 안착된 상기 레티클 카세트를 이송하는 레티클 카세트 이송모듈을 포함하는 레티클 저장장치.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 로드포트모듈은 상기 본체의 일측 하부에 배치되어 사용자에 의해 상기 레티클 카세트가 수동으로 이송되는 매뉴얼포트와, 상기 본체의 일측 상부에 배치되어 상기 레티클 카세트가 자동으로 이송되는 OHT포트를 포함하며,
    상기 레티클 카세트 이송모듈은 상기 OHT포트에 안착된 상기 레티클 카세트를 자동으로 이송하는 것을 특징으로 하는 레티클 저장장치.
  3. 제 2항에 있어서,
    상기 레티클 카세트 이송모듈은 상기 OHT포트의 레티클 카세트를 파지하고 수직이동시키는 파지부와, 상기 파지부가 수용되는 하우징과, 상기 하우징이 수평이동되도록 마련된 레일부를 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클 저장장치.
  4. 제 2항에 있어서,
    상기 레티클의 파티클 유무를 검색하는 파티클 검색유닛이 더 포함되며, 상기 파티클 검색유닛은 상기 매뉴얼포트의 내부에 배치된 것을 특징으로 하는 레티클 저장장치.
  5. 제 1항에 있어서,
    상기 본체의 상부에 배치되어 상기 본체의 내부가 청정환경이 유지되도록 상기 본체의 내부로 수직 하방 기체를 공급하도록 하는 팬과, 상기 팬을 통해 유입된 기체를 필터링하기 위한 필터부재를 구비하는 팬 필터 모듈이 더 포함되는 것을 특징으로 하는 레티클 저장장치.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 스토리지 모듈에는 회전 가능한 원통형상의 중앙부재와, 상기 중앙부재에 장착되어 상기 레티클을 수직 보관될 수 있도록 슬롯들이 형성된 지지브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클 저장장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 슬롯들은 상기 레티클의 하부 내측을 지지하는 제 1슬롯과, 상기 레티클의 하부 외측을 지지하는 제 2슬롯 및 상기 레티클의 상부 내측을 지지하는 제 3슬롯을 포함하는 것을 특징으로 하는 레티클 저장장치.
  8. 제 7항에 있어서,
    상기 레티클 트랜스퍼 모듈에는 상기 레티클의 이송 시 상기 레티클의 위치를 확인할 수 있는 위치확인센서와 상기 레티클의 공출하와 이중반입을 감지할 수 있는 공출하/이중반입센서가 장착되고,
    상기 스토리지 모듈의 지지브라켓에는 상기 위치확인센서와 공출하/이중반입센서에서 조사된 광을 반사할 수 있도록 반사판들이 장착된 것을 특징으로 하는 레티클 저장장치.
  9. 제 1항에 있어서,
    상기 스토리지 모듈에는 파티클이 정전기에 의해 상기 레티클에 안착되는 것을 방지하도록 이온화유닛이 배치된 것을 특징으로 하는 레티클 저장장치.
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