JP3005584B1 - レチクルケ―ス搬送装置 - Google Patents
レチクルケ―ス搬送装置Info
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- G03F7/70—Microphotolithographic exposure; Apparatus therefor
- G03F7/70691—Handling of masks or workpieces
- G03F7/70733—Handling masks and workpieces, e.g. exchange of workpiece or mask, transport of workpiece or mask
- G03F7/70741—Handling masks outside exposure position, e.g. reticle libraries
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
Abstract
【要約】
【課題】 レチクルケースをいつでも露光チャンバに出
し入れでき、露光作業が制限を受けずに生産性が高く、
しかも人体に対して露光光が到達しない安全性に優れた
レチクルケース搬送装置を提供する。 【解決手段】 レチクルストッカー２０と露光チャンバ
３１とを連結し、遮光壁で覆われているトンネル配膳路
１０１と、トンネル配膳路内を走行してレチクルケース
５を露光チャンバ３１とレチクルストッカー２０との間
で配膳する配膳手段１０２と、配膳手段１０２とレチク
ルライブラリ４との間で配膳手段１０２により配膳され
たレチクルケース５をレチクルライブラリ４に搬送、装
着し、レチクルライブラリ４からレチクルケース５を脱
着、搬送して配膳手段１０２に引き渡す搬送手段１２１
〜１２４とを備える構成とする。
し入れでき、露光作業が制限を受けずに生産性が高く、
しかも人体に対して露光光が到達しない安全性に優れた
レチクルケース搬送装置を提供する。 【解決手段】 レチクルストッカー２０と露光チャンバ
３１とを連結し、遮光壁で覆われているトンネル配膳路
１０１と、トンネル配膳路内を走行してレチクルケース
５を露光チャンバ３１とレチクルストッカー２０との間
で配膳する配膳手段１０２と、配膳手段１０２とレチク
ルライブラリ４との間で配膳手段１０２により配膳され
たレチクルケース５をレチクルライブラリ４に搬送、装
着し、レチクルライブラリ４からレチクルケース５を脱
着、搬送して配膳手段１０２に引き渡す搬送手段１２１
〜１２４とを備える構成とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、レチクルケース搬
送装置に関し、特に、レチクルを収納したレチクルケー
スをレチクルストッカーと露光チャンバ内のレチクルラ
イブラリとの間で搬送するレチクルケース搬送装置に関
する。
送装置に関し、特に、レチクルを収納したレチクルケー
スをレチクルストッカーと露光チャンバ内のレチクルラ
イブラリとの間で搬送するレチクルケース搬送装置に関
する。
【０００２】
【従来の技術】半導体素子をフォトリソグラフィで製造
する際に、レチクルに形成されたパターンを半導体ウエ
ハに投影，転写する縮小投影露光装置（ステッパー）が
用いられている。半導体素子製造時には数枚から十数枚
のレチクルを用いて異なるパターンを露光する必要があ
るため、半導体素子の種類毎に多数のレチクルが必要に
なる。そのため、露光装置が設置されているクリーンル
ーム内には、多数のレチクルを保管するレチクルストッ
カーが配置されている。
する際に、レチクルに形成されたパターンを半導体ウエ
ハに投影，転写する縮小投影露光装置（ステッパー）が
用いられている。半導体素子製造時には数枚から十数枚
のレチクルを用いて異なるパターンを露光する必要があ
るため、半導体素子の種類毎に多数のレチクルが必要に
なる。そのため、露光装置が設置されているクリーンル
ーム内には、多数のレチクルを保管するレチクルストッ
カーが配置されている。
【０００３】半導体素子の製造では、半導体素子のロッ
トが露光装置に到着する前に、レチクルストッカーから
ロットの露光に必要なレチクルを出庫し、露光装置が設
置されている露光チャンバまで配膳し、露光チャンバ内
の露光装置で用いるレチクルを保管するレチクルライブ
ラリに装着する必要がある。使用済みのレチクルは、レ
チクルライブラリから脱着され、レチクルストッカーに
戻される。レチクルを移動させる際、雰囲気中の埃の付
着や人が直接触れることを防止するために、レチクルは
専用のレチクルケースに収納して取り扱われる。
トが露光装置に到着する前に、レチクルストッカーから
ロットの露光に必要なレチクルを出庫し、露光装置が設
置されている露光チャンバまで配膳し、露光チャンバ内
の露光装置で用いるレチクルを保管するレチクルライブ
ラリに装着する必要がある。使用済みのレチクルは、レ
チクルライブラリから脱着され、レチクルストッカーに
戻される。レチクルを移動させる際、雰囲気中の埃の付
着や人が直接触れることを防止するために、レチクルは
専用のレチクルケースに収納して取り扱われる。
【０００４】従来、このようなレチクルのセット作業
は、人力により行われていた。図４に示すように、レチ
クルストッカーからレチクル入りレチクルケースを出庫
し、露光チャンバ１に設置された扉２を人の手３で開
け、レチクルライブラリ４にレチクル入りレチクルケー
ス５を装着する。また、レチクルケース５をレチクルラ
イブラリ４から脱着するときは、図５に示すように、露
光チャンバ１に設置された扉２を手３で開け、レチクル
ライブラリ４からレチクル入りレチクルケース５を脱着
し、その後、扉２を人の手３で閉め、レチクル入りレチ
クルケース５をレチクルストッカーに戻すという作業を
実施していた。
は、人力により行われていた。図４に示すように、レチ
クルストッカーからレチクル入りレチクルケースを出庫
し、露光チャンバ１に設置された扉２を人の手３で開
け、レチクルライブラリ４にレチクル入りレチクルケー
ス５を装着する。また、レチクルケース５をレチクルラ
イブラリ４から脱着するときは、図５に示すように、露
光チャンバ１に設置された扉２を手３で開け、レチクル
ライブラリ４からレチクル入りレチクルケース５を脱着
し、その後、扉２を人の手３で閉め、レチクル入りレチ
クルケース５をレチクルストッカーに戻すという作業を
実施していた。
【０００５】人手によるレチクルのセット作業は、工数
が発生するとともに、人が不在などでレチクルセットが
行えない場合、生産性の悪化を招くなどの問題点を有し
ている。
が発生するとともに、人が不在などでレチクルセットが
行えない場合、生産性の悪化を招くなどの問題点を有し
ている。
【０００６】このような問題を解決するため、特開平１
０−１６３０９４号公報では、レチクルケース自動搬送
ロボットを用いてレチクルストッカーからレチクルが収
納されたレチクルケースを露光チャンバに自動的に配膳
し、露光チャンバ内に設置されているロボットにより配
膳されたレチクルケースをレチクルライブラリに自動的
に装着する露光装置が提案されている。
０−１６３０９４号公報では、レチクルケース自動搬送
ロボットを用いてレチクルストッカーからレチクルが収
納されたレチクルケースを露光チャンバに自動的に配膳
し、露光チャンバ内に設置されているロボットにより配
膳されたレチクルケースをレチクルライブラリに自動的
に装着する露光装置が提案されている。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開平
１０−１６３０９４号公報では、自動搬送ロボットが配
膳してきたレチクルケースを露光チャンバに設けられて
いる扉を開けて露光チャンバ内の搬送ロボットに受け渡
しているため、露光中の光が扉から漏れるという問題が
ある。
１０−１６３０９４号公報では、自動搬送ロボットが配
膳してきたレチクルケースを露光チャンバに設けられて
いる扉を開けて露光チャンバ内の搬送ロボットに受け渡
しているため、露光中の光が扉から漏れるという問題が
ある。
【０００８】近年、露光波長がｉ線からより短波長のＫ
ＲＦ線になり、漏れた光が人間の目に悪影響を及ぼすよ
うになったため、露光作業中に扉開閉はできないように
なってきた。その結果、レチクルを受け渡す時間は露光
作業ができないため、露光作業が制限され、生産性の低
下を招いていた。
ＲＦ線になり、漏れた光が人間の目に悪影響を及ぼすよ
うになったため、露光作業中に扉開閉はできないように
なってきた。その結果、レチクルを受け渡す時間は露光
作業ができないため、露光作業が制限され、生産性の低
下を招いていた。
【０００９】本発明は上記問題点にかんがみてなされた
ものであり、レチクルケースをいつでも露光チャンバに
出し入れでき、露光作業が制限を受けずに生産性が高
く、しかも人体に対して露光光が到達しない安全性に優
れたレチクルケース搬送装置の提供を目的とする。
ものであり、レチクルケースをいつでも露光チャンバに
出し入れでき、露光作業が制限を受けずに生産性が高
く、しかも人体に対して露光光が到達しない安全性に優
れたレチクルケース搬送装置の提供を目的とする。
【００１０】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、請求項１記載のレチクルケース搬送装置は、レチク
ルを保管するレチクルストッカーと露光装置が納められ
ている露光チャンバとを連結し、遮光壁で覆われている
トンネル配膳路と、前記トンネル配膳路内を走行してレ
チクルが納められたレチクルケースを前記露光チャンバ
と前記レチクルストッカーとの間で配膳する配膳手段
と、前記配膳手段と前記露光チャンバ内のレチクルを保
管するレチクルライブラリとの間で前記配膳手段により
配膳された前記レチクルケースを前記レチクルライブラ
リに搬送、装着し、前記レチクルライブラリから前記レ
チクルケースを脱着、搬送して前記配膳手段に引き渡す
搬送手段とを備える構成としてある。
め、請求項１記載のレチクルケース搬送装置は、レチク
ルを保管するレチクルストッカーと露光装置が納められ
ている露光チャンバとを連結し、遮光壁で覆われている
トンネル配膳路と、前記トンネル配膳路内を走行してレ
チクルが納められたレチクルケースを前記露光チャンバ
と前記レチクルストッカーとの間で配膳する配膳手段
と、前記配膳手段と前記露光チャンバ内のレチクルを保
管するレチクルライブラリとの間で前記配膳手段により
配膳された前記レチクルケースを前記レチクルライブラ
リに搬送、装着し、前記レチクルライブラリから前記レ
チクルケースを脱着、搬送して前記配膳手段に引き渡す
搬送手段とを備える構成としてある。
【００１１】このような構成の発明によれば、レチクル
ケースの配膳路がトンネル状に遮光され、露光光が外に
漏れないため、露光中でも安全にレチクルケースを露光
チャンバ内に自動的に出し入れすることが可能であり、
レチクルケースの出し入れや露光の時間が制限されない
ため、生産性が高い。
ケースの配膳路がトンネル状に遮光され、露光光が外に
漏れないため、露光中でも安全にレチクルケースを露光
チャンバ内に自動的に出し入れすることが可能であり、
レチクルケースの出し入れや露光の時間が制限されない
ため、生産性が高い。
【００１２】請求項２記載のレチクルケース搬送装置
は、請求項１記載のレチクルケース搬送装置において、
前記トンネル配膳路が、前記露光チャンバの直上を通っ
ている構成としてある。このような構成の発明によれ
ば、配膳路が露光チャンバの上に配置されているため、
立体的な配置により配膳路の経路の選定の自由度が向上
すると共に、設置面積を少なくすることができる。
は、請求項１記載のレチクルケース搬送装置において、
前記トンネル配膳路が、前記露光チャンバの直上を通っ
ている構成としてある。このような構成の発明によれ
ば、配膳路が露光チャンバの上に配置されているため、
立体的な配置により配膳路の経路の選定の自由度が向上
すると共に、設置面積を少なくすることができる。
【００１３】請求項３記載のレチクルケース搬送装置
は、請求項２記載のレチクルケース搬送装置において、
前記トンネル配膳路と前記搬送手段とが前記露光チャン
バの天井で連結されている構成としてある。このような
構成の発明によれば、立体的な配置により、配膳路の設
置面積を少なくすることができる。
は、請求項２記載のレチクルケース搬送装置において、
前記トンネル配膳路と前記搬送手段とが前記露光チャン
バの天井で連結されている構成としてある。このような
構成の発明によれば、立体的な配置により、配膳路の設
置面積を少なくすることができる。
【００１４】請求項４記載のレチクルケース搬送装置
は、請求項３記載のレチクル搬送装置において、前記搬
送手段が、前記レチクルケースを昇降させる搬送アーム
を備える構成としてある。このような構成の発明によれ
ば、立体的な構成により、搬送手段の設置面積を少なく
することができる。
は、請求項３記載のレチクル搬送装置において、前記搬
送手段が、前記レチクルケースを昇降させる搬送アーム
を備える構成としてある。このような構成の発明によれ
ば、立体的な構成により、搬送手段の設置面積を少なく
することができる。
【００１５】請求項５記載のレチクルケース搬送装置
は、請求項１〜４いずれかに記載のレチクルケース搬送
装置において、前記トンネル配膳路と前記露光チャンバ
との連結部が常に解放されている構成としてある。この
ような構成の発明によれば、配膳路がトンネル状に遮光
され、露光光が漏れることがないので、露光光が漏れな
いようにする扉などを設ける必要がなく、簡易な構成と
することができる。
は、請求項１〜４いずれかに記載のレチクルケース搬送
装置において、前記トンネル配膳路と前記露光チャンバ
との連結部が常に解放されている構成としてある。この
ような構成の発明によれば、配膳路がトンネル状に遮光
され、露光光が漏れることがないので、露光光が漏れな
いようにする扉などを設ける必要がなく、簡易な構成と
することができる。
【００１６】請求項６記載のレチクルケース搬送装置
は、請求項１〜５いずれかに記載のレチクルケース搬送
装置において、前記配膳手段及び前記搬送手段がホスト
コンピュータにより管理されている構成としてある。こ
のような構成の発明によれば、ホストコンピュータでレ
チクルの所在を管理する際に、レチクルケースをいつで
も露光チャンバに出し入れできるため、ホストコンピュ
ータで必要なレチクルを必要なときにロットが露光装置
に到着する前にレチクルライブラリに装着できるように
確実に管理することができる。
は、請求項１〜５いずれかに記載のレチクルケース搬送
装置において、前記配膳手段及び前記搬送手段がホスト
コンピュータにより管理されている構成としてある。こ
のような構成の発明によれば、ホストコンピュータでレ
チクルの所在を管理する際に、レチクルケースをいつで
も露光チャンバに出し入れできるため、ホストコンピュ
ータで必要なレチクルを必要なときにロットが露光装置
に到着する前にレチクルライブラリに装着できるように
確実に管理することができる。
【００１７】
【発明の実施の形態】以下、本発明のレチクルケース搬
送装置の一実施形態について図面を参照しつつ説明す
る。図１は、半導体製造装置や液晶表示素子製造等の縮
小投影露光装置を有する製造装置における本発明のレチ
クルケース搬送装置の配膳路の概略を示す平面図であ
る。
送装置の一実施形態について図面を参照しつつ説明す
る。図１は、半導体製造装置や液晶表示素子製造等の縮
小投影露光装置を有する製造装置における本発明のレチ
クルケース搬送装置の配膳路の概略を示す平面図であ
る。
【００１８】この製造装置は、ホストコンピュータ１０
により生産ライン全体が管理されている。図示しないク
リーンルーム内には多数のレチクルを保管するレチクル
ストッカー２０が配置されている。また、同じクリーン
ルーム内に縮小投影露光装置を収納している露光チャン
バである装置Ａ３１〜装置Ｆ３６が配置され、それぞれ
の露光チャンバ３１〜３６は、露光に必要な温度や清浄
度等の環境が一定になるように空調されている。
により生産ライン全体が管理されている。図示しないク
リーンルーム内には多数のレチクルを保管するレチクル
ストッカー２０が配置されている。また、同じクリーン
ルーム内に縮小投影露光装置を収納している露光チャン
バである装置Ａ３１〜装置Ｆ３６が配置され、それぞれ
の露光チャンバ３１〜３６は、露光に必要な温度や清浄
度等の環境が一定になるように空調されている。
【００１９】本発明のレチクルケース搬送装置１００
は、レチクルストッカー２０の天井の開口部と各露光チ
ャンバ３１〜３６の天井に設けられた開口部とを連絡す
るトンネル配膳路１０１を有する。このトンネル配膳路
１０１は、後述する配膳車が走行できる走行路となって
いる。また、トンネル配膳路１０１は、遮光壁で四方を
囲まれており、この遮光壁は露光チャンバ３１〜３６の
天井の開口部に連結され、露光チャンバ３１〜３６の天
井と一体になっていると共に、レチクルストッカー２０
の天井の開口部とも一体に連結されている。そのため、
露光チャンバ３１〜３６内の露光光が露光チャンバ３１
〜３６とトンネル配膳路１０１の外側に漏れない構造と
なっている。
は、レチクルストッカー２０の天井の開口部と各露光チ
ャンバ３１〜３６の天井に設けられた開口部とを連絡す
るトンネル配膳路１０１を有する。このトンネル配膳路
１０１は、後述する配膳車が走行できる走行路となって
いる。また、トンネル配膳路１０１は、遮光壁で四方を
囲まれており、この遮光壁は露光チャンバ３１〜３６の
天井の開口部に連結され、露光チャンバ３１〜３６の天
井と一体になっていると共に、レチクルストッカー２０
の天井の開口部とも一体に連結されている。そのため、
露光チャンバ３１〜３６内の露光光が露光チャンバ３１
〜３６とトンネル配膳路１０１の外側に漏れない構造と
なっている。
【００２０】次に、図２、図３を参照して各露光チャン
バ内の搬送手段について説明する。図２は縦断面図、図
３は横断面図である。これらの図において、鉛直方向の
搬送軸をＺとし、搬送軸Ｚと直交する方向を搬送軸Ｘ及
び搬送軸Ｙとし、搬送軸Ｘは図面左右方向、搬送軸Ｙは
図面と垂直方向とする。また、同じ搬送軸Ｚ、搬送軸Ｘ
でも、位置が異なると異なる数字を後につけることとす
る。各露光装置内の搬送手段は共通であるので、露光チ
ャンバ３１を代表例として説明する。
バ内の搬送手段について説明する。図２は縦断面図、図
３は横断面図である。これらの図において、鉛直方向の
搬送軸をＺとし、搬送軸Ｚと直交する方向を搬送軸Ｘ及
び搬送軸Ｙとし、搬送軸Ｘは図面左右方向、搬送軸Ｙは
図面と垂直方向とする。また、同じ搬送軸Ｚ、搬送軸Ｘ
でも、位置が異なると異なる数字を後につけることとす
る。各露光装置内の搬送手段は共通であるので、露光チ
ャンバ３１を代表例として説明する。
【００２１】露光チャンバ３１の中には図示しない縮小
投影露光装置が設置されており、その露光装置に用いる
レチクルが収納されたレチクルケース５を保管するレチ
クルライブラリ４が露光チャンバ３１内に設置されてい
る。レチクルライブラリ４は、垂直に積み重ねたスロッ
トのそれぞれにレチクルケース５を水平に装着できるよ
うになっている。
投影露光装置が設置されており、その露光装置に用いる
レチクルが収納されたレチクルケース５を保管するレチ
クルライブラリ４が露光チャンバ３１内に設置されてい
る。レチクルライブラリ４は、垂直に積み重ねたスロッ
トのそれぞれにレチクルケース５を水平に装着できるよ
うになっている。
【００２２】露光チャンバ３１の天井３１１には、トン
ネル配膳路１０１と連結されている図示しない開口部が
設けられ、レチクルケースの搬送路になっている。その
開口部にはトンネル配膳路１０１と接続されたトンネル
搬送路１１０が設けられ、そのトンネル搬送路１１０の
中にはＸ２搬送軸１３１方向に移動する第１搬送アーム
１２１が配置されている。このトンネル配膳路１０１と
トンネル搬送路１１０の連結部には開閉扉がなく、常に
解放されている。
ネル配膳路１０１と連結されている図示しない開口部が
設けられ、レチクルケースの搬送路になっている。その
開口部にはトンネル配膳路１０１と接続されたトンネル
搬送路１１０が設けられ、そのトンネル搬送路１１０の
中にはＸ２搬送軸１３１方向に移動する第１搬送アーム
１２１が配置されている。このトンネル配膳路１０１と
トンネル搬送路１１０の連結部には開閉扉がなく、常に
解放されている。
【００２３】また、Ｚ１搬送軸１３２方向に昇降する第
２搬送アーム１２２が配置されている。第１搬送アーム
１２１は、トンネル配膳路１０１を走行してきた配膳車
１０２から第１受け取り部１４１でレチクルケース５を
掴み上げてＸ２搬送軸１３１方向に移動してレチクルケ
ースを搬送し、第２受け取り部１４２で第２搬送アーム
１２２にレチクルケースを受け渡す。露光チャンバの下
方には、第２搬送アーム１２２から第３受け取り部１４
３でレチクルケース５を受け取り、Ｘ１搬送軸１３３方
向に移動する第３搬送アーム１２３が配置されている。
２搬送アーム１２２が配置されている。第１搬送アーム
１２１は、トンネル配膳路１０１を走行してきた配膳車
１０２から第１受け取り部１４１でレチクルケース５を
掴み上げてＸ２搬送軸１３１方向に移動してレチクルケ
ースを搬送し、第２受け取り部１４２で第２搬送アーム
１２２にレチクルケースを受け渡す。露光チャンバの下
方には、第２搬送アーム１２２から第３受け取り部１４
３でレチクルケース５を受け取り、Ｘ１搬送軸１３３方
向に移動する第３搬送アーム１２３が配置されている。
【００２４】また、レチクルライブラリ４に近接して、
Ｚ軸を回転可能（θ）であると共に、Ｙ搬送軸１３４方
向にアームが伸縮し、さらにＺ１搬送軸１３５方向に昇
降できる第４アームが配置されている。この第４搬送ア
ーム１２４は、第３搬送アーム１２３から第４受け取り
部１４４でレチクルケースを受け取り、Ｚ軸周りに回転
（θ）し、Ｚ１搬送軸１３５方向に上昇し、アームをＹ
搬送軸１３４方向に伸長してレチクルライブラリ４の所
定の位置のスロットにレチクルケース５を装着できるよ
うになっている。
Ｚ軸を回転可能（θ）であると共に、Ｙ搬送軸１３４方
向にアームが伸縮し、さらにＺ１搬送軸１３５方向に昇
降できる第４アームが配置されている。この第４搬送ア
ーム１２４は、第３搬送アーム１２３から第４受け取り
部１４４でレチクルケースを受け取り、Ｚ軸周りに回転
（θ）し、Ｚ１搬送軸１３５方向に上昇し、アームをＹ
搬送軸１３４方向に伸長してレチクルライブラリ４の所
定の位置のスロットにレチクルケース５を装着できるよ
うになっている。
【００２５】以上は、配膳車１０２からレチクルケース
５を受け取ってレチクルライブラリ４に装着する場合の
動きを説明しているが、レチクルライブラリ４からレチ
クルケース５を脱着して配膳車１０２に受け渡すとき
は、以上の説明と逆になる。
５を受け取ってレチクルライブラリ４に装着する場合の
動きを説明しているが、レチクルライブラリ４からレチ
クルケース５を脱着して配膳車１０２に受け渡すとき
は、以上の説明と逆になる。
【００２６】次に、上記のように構成されたレチクルケ
ース搬送装置の動作について説明する。ホストコンピュ
ータ１０は、レチクルの所在を常時管理している。ロッ
トが所定の露光装置に到着する前に、そのロットの露光
に必要なレチクルを選定し、配膳し、レチクルライブラ
リ５に装着し、不要になったレチクルをレチクルストッ
カー２０に戻すように、レチクルストッカー２０及びレ
チクルケース搬送装置１００を制御している。ホストコ
ンピュータ１０の指示で、レチクルストッカー２０に保
管されていたレチクルは、レチクルストッカー２０の中
でレチクルケースの中に収納され、レチクル入りレチク
ルストッカー５が出庫され、配膳車１０２に受け渡され
る。
ース搬送装置の動作について説明する。ホストコンピュ
ータ１０は、レチクルの所在を常時管理している。ロッ
トが所定の露光装置に到着する前に、そのロットの露光
に必要なレチクルを選定し、配膳し、レチクルライブラ
リ５に装着し、不要になったレチクルをレチクルストッ
カー２０に戻すように、レチクルストッカー２０及びレ
チクルケース搬送装置１００を制御している。ホストコ
ンピュータ１０の指示で、レチクルストッカー２０に保
管されていたレチクルは、レチクルストッカー２０の中
でレチクルケースの中に収納され、レチクル入りレチク
ルストッカー５が出庫され、配膳車１０２に受け渡され
る。
【００２７】配膳車１０２は、トンネル配膳路１０１を
走行して所定の露光チャンバの天井のトンネル配膳路１
０１の第１受け渡し部１４１に到着する。ここで、第１
搬送アーム１２１が第２受け渡し部１４２からＸ２搬送
軸１３１上を第１受け渡し部１４１へ移動し、配膳車１
０２からレチクル入りレチクルケース５をつかみ取る。
その後、第１搬送アーム１２１はＸ２搬送軸１３１上を
逆方向に移動し、第２受け渡し部１４２に戻る。
走行して所定の露光チャンバの天井のトンネル配膳路１
０１の第１受け渡し部１４１に到着する。ここで、第１
搬送アーム１２１が第２受け渡し部１４２からＸ２搬送
軸１３１上を第１受け渡し部１４１へ移動し、配膳車１
０２からレチクル入りレチクルケース５をつかみ取る。
その後、第１搬送アーム１２１はＸ２搬送軸１３１上を
逆方向に移動し、第２受け渡し部１４２に戻る。
【００２８】一方、第２搬送アーム１２２は、下端位置
の第３受け渡し部１４３から上昇し、第２受け渡し部１
４２へと移動する。第１搬送アーム１２１は、第２受け
渡し部１４２でレチクル入りレチクルケース５を第２搬
送アーム１２２上に受け渡す。第２搬送アーム１２２は
第２受け渡し部１４２から第３受け渡し部１４３へと下
降する。
の第３受け渡し部１４３から上昇し、第２受け渡し部１
４２へと移動する。第１搬送アーム１２１は、第２受け
渡し部１４２でレチクル入りレチクルケース５を第２搬
送アーム１２２上に受け渡す。第２搬送アーム１２２は
第２受け渡し部１４２から第３受け渡し部１４３へと下
降する。
【００２９】第３搬送アーム１２３は、第４受け渡し部
１４４から第３受け渡し部１４３へ搬送軸Ｘ１上を走行
し、第３受け渡し部１４３でレチクルケース５を第２搬
送アーム１２２から受け取る。第３搬送アーム１２３
は、第３受け渡し部１４３からＸ１搬送軸１３３上を第
４受け渡し部１４４へ移動する。
１４４から第３受け渡し部１４３へ搬送軸Ｘ１上を走行
し、第３受け渡し部１４３でレチクルケース５を第２搬
送アーム１２２から受け取る。第３搬送アーム１２３
は、第３受け渡し部１４３からＸ１搬送軸１３３上を第
４受け渡し部１４４へ移動する。
【００３０】第４搬送アーム１２４は、Ｚ軸を回転して
第３搬送アーム１２３からレチクルケース５を受け取
り、再び回転し、Ｚ１搬送軸１３５上を空いているスロ
ットの位置まで上昇し、アームを伸長してレチクルケー
ス５をレチクルライブラリ４のスロットへ挿入し、レチ
クル装着を完了する。
第３搬送アーム１２３からレチクルケース５を受け取
り、再び回転し、Ｚ１搬送軸１３５上を空いているスロ
ットの位置まで上昇し、アームを伸長してレチクルケー
ス５をレチクルライブラリ４のスロットへ挿入し、レチ
クル装着を完了する。
【００３１】図示しない露光装置のレチクル自動搬送装
置は、レチクルライブラリ４に装着されたレチクルケー
ス５から必要なレチクルを取り出し、投影露光光学系に
自動搬送し、レチクルがフォトリソグラフィに供され
る。
置は、レチクルライブラリ４に装着されたレチクルケー
ス５から必要なレチクルを取り出し、投影露光光学系に
自動搬送し、レチクルがフォトリソグラフィに供され
る。
【００３２】フォトリソグラフィで使用されたレチクル
は、レチクルライブラリ４のレチクルケース５に収納さ
れている。このレチクルをレチクルライブラリ４からレ
チクルストッカー２０に戻す場合は、上記と逆の動作に
なる。
は、レチクルライブラリ４のレチクルケース５に収納さ
れている。このレチクルをレチクルライブラリ４からレ
チクルストッカー２０に戻す場合は、上記と逆の動作に
なる。
【００３３】すなわち、ホストコンピュータ１０の指示
で、第４搬送アーム１２４はＺ１搬送軸１３５上を上昇
し、アームを伸張して不要となったレチクルが収納され
ているレチクルケース５を掴み、アームを引き込んでレ
チクルケース５をレチクルライブラリ４から脱着し、再
びＺ１搬送軸１３５上を降下する。そして、降下し終わ
ったらＺ１搬送軸１３５を軸として回転し、第４受け渡
し部１４４でレチクルケース５を第３搬送アーム１２３
に受け渡す。
で、第４搬送アーム１２４はＺ１搬送軸１３５上を上昇
し、アームを伸張して不要となったレチクルが収納され
ているレチクルケース５を掴み、アームを引き込んでレ
チクルケース５をレチクルライブラリ４から脱着し、再
びＺ１搬送軸１３５上を降下する。そして、降下し終わ
ったらＺ１搬送軸１３５を軸として回転し、第４受け渡
し部１４４でレチクルケース５を第３搬送アーム１２３
に受け渡す。
【００３４】第３搬送アーム１２３は、Ｘ１搬送軸１３
３上を第３受け渡し部１４３まで移動し、ここで第２搬
送アーム１２２にレチクルケース５を受け渡す。第２搬
送アーム１２２は、Ｚ２搬送軸１３２上を第２受け渡し
部１４２まで上昇し、ここで第１搬送アーム１２１がレ
チクルケース５を掴み上げ、そのままＸ２搬送軸１３１
上を第１受け渡し部１４１まで移動し、配膳車１０２に
レチクルケースを載置する。
３上を第３受け渡し部１４３まで移動し、ここで第２搬
送アーム１２２にレチクルケース５を受け渡す。第２搬
送アーム１２２は、Ｚ２搬送軸１３２上を第２受け渡し
部１４２まで上昇し、ここで第１搬送アーム１２１がレ
チクルケース５を掴み上げ、そのままＸ２搬送軸１３１
上を第１受け渡し部１４１まで移動し、配膳車１０２に
レチクルケースを載置する。
【００３５】配膳車１０２は、トンネル配膳路１０１を
走行し、レチクル入りレチクルケース５をレチクルスト
ッカー２０に戻す動作を行い、脱着操作を完了する。
走行し、レチクル入りレチクルケース５をレチクルスト
ッカー２０に戻す動作を行い、脱着操作を完了する。
【００３６】このようなレチクルケース搬送装置１００
によれば、レチクルを自動的に配膳し、自動装着、自動
脱着が可能であるため、従来オペレータが人手で行って
いた場合に生じる、工数が発生する、人が不在に場合に
レチクルセットが行えないという不都合を解消すること
ができる。また、露光チャンバから露光光が外部に漏れ
ない構造となっているため、近年の短波長の露光光から
人の眼を防護することができ、安全である。そのため、
露光作業中でもレチクルの装着及び脱着操作が可能とな
り、生産性の向上を図ることができる。さらに、従来の
露光チャンバに設置されていたレチクルケースを出し入
れする開閉扉が不要になるため、露光装置の構成を簡略
化できる。
によれば、レチクルを自動的に配膳し、自動装着、自動
脱着が可能であるため、従来オペレータが人手で行って
いた場合に生じる、工数が発生する、人が不在に場合に
レチクルセットが行えないという不都合を解消すること
ができる。また、露光チャンバから露光光が外部に漏れ
ない構造となっているため、近年の短波長の露光光から
人の眼を防護することができ、安全である。そのため、
露光作業中でもレチクルの装着及び脱着操作が可能とな
り、生産性の向上を図ることができる。さらに、従来の
露光チャンバに設置されていたレチクルケースを出し入
れする開閉扉が不要になるため、露光装置の構成を簡略
化できる。
【００３７】上記説明では、露光チャンバの天井及びレ
チクルストッカーの天井でそれぞれトンネル配膳路が連
結されているが、それぞれ側壁、あるいは床下で連結す
るようにしても良い。
チクルストッカーの天井でそれぞれトンネル配膳路が連
結されているが、それぞれ側壁、あるいは床下で連結す
るようにしても良い。
【００３８】
【発明の効果】以上説明したように、本発明のレチクル
ケースの搬送装置によれば、レチクルケースをいつでも
露光チャンバに出し入れでき、露光作業が制限を受けず
に生産性が高く、しかも、人体に対して露光光が漏れな
いため安全性に優れる。
ケースの搬送装置によれば、レチクルケースをいつでも
露光チャンバに出し入れでき、露光作業が制限を受けず
に生産性が高く、しかも、人体に対して露光光が漏れな
いため安全性に優れる。
【図１】縮小投影露光装置を有する製造装置における本
発明のレチクルケース搬送装置の配膳路の概略を示す平
面図である。
発明のレチクルケース搬送装置の配膳路の概略を示す平
面図である。
【図２】本発明のレチクルケース搬送装置の縦断面を示
す構成図である。
す構成図である。
【図３】本発明のレチクルケース搬送装置の横断面図を
示す構成図である。
示す構成図である。
【図４】従来の人手によりレチクル入りレチクルケース
をレチクルライブラリの装着する様子を示す斜視図であ
る。
をレチクルライブラリの装着する様子を示す斜視図であ
る。
【図５】従来の人手によりレチクル入りレチクルケース
をレチクルライブラリから脱着する様子を示す斜視図で
ある。
をレチクルライブラリから脱着する様子を示す斜視図で
ある。
４ レチクルライブラリ ５ レチクル入りレチクルケース １０ ホストコンピュータ ２０ レチクルストッカー ３１〜３６ 露光チャンバ １００ レチクルケース搬送装置 １０１ トンネル配膳路 １０２ 配膳車 １２１ 第１搬送アーム １２２ 第２搬送アーム １２３ 第３搬送アーム １２４ 第４搬送アーム
Claims (6)
- 【請求項１】 レチクルを保管するレチクルストッカー
と露光装置が納められている露光チャンバとを連結し、
遮光壁で覆われているトンネル配膳路と、 このトンネル配膳路内を走行してレチクルが納められた
レチクルケースを前記露光チャンバと前記レチクルスト
ッカーとの間で配膳する配膳手段と、 この配膳手段と前記露光チャンバ内のレチクルを保管す
るレチクルライブラリとの間で、前記配膳手段により配
膳された前記レチクルケースを前記レチクルライブラリ
に搬送，装着し、前記レチクルライブラリから前記レチ
クルケースを脱着，搬送して前記配膳手段に引き渡す搬
送手段とを備えることを特徴とするレチクルケース搬送
装置。 - 【請求項２】 請求項１記載のレチクルケース搬送装置
において、 前記トンネル配膳路が、前記露光チャンバの直上を通っ
ていることを特徴とするレチクルケース搬送装置。 - 【請求項３】 請求項２記載のレチクルケース搬送装置
において、 前記トンネル配膳路と前記搬送手段とが、前記露光チャ
ンバの天井で連結されていることを特徴とするレチクル
ケース搬送装置。 - 【請求項４】 請求項３記載のレチクル搬送装置におい
て、 前記搬送手段が、前記レチクルケースを昇降させる搬送
アームを備えることを特徴とするレチクルケース搬送装
置。 - 【請求項５】 請求項１〜４いずれかに記載のレチクル
ケース搬送装置において、 前記トンネル配膳路と前記露光チャンバとの連結部が、
常に解放されていることを特徴とするレチクルケース搬
送装置。 - 【請求項６】 請求項１〜５いずれかに記載のレチクル
ケース搬送装置において、 前記配膳手段及び前記搬送手段がホストコンピュータに
より管理されていることを特徴とするレチクルケース搬
送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7401199A JP3005584B1 (ja) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | レチクルケ―ス搬送装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7401199A JP3005584B1 (ja) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | レチクルケ―ス搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP3005584B1 true JP3005584B1 (ja) | 2000-01-31 |
| JP2000269301A JP2000269301A (ja) | 2000-09-29 |
Family
ID=13534734
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7401199A Expired - Fee Related JP3005584B1 (ja) | 1999-03-18 | 1999-03-18 | レチクルケ―ス搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3005584B1 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP3734432B2 (ja) * | 2001-06-07 | 2006-01-11 | 三星電子株式会社 | マスク搬送装置、マスク搬送システム及びマスク搬送方法 |
| US6619903B2 (en) * | 2001-08-10 | 2003-09-16 | Glenn M. Friedman | System and method for reticle protection and transport |
| WO2004088743A1 (ja) * | 2003-03-28 | 2004-10-14 | Hirata Corporation | 基板搬送システム |
| KR100776254B1 (ko) | 2006-03-30 | 2007-11-15 | 삼성전자주식회사 | 레티클 저장장치 |
| JP5738016B2 (ja) * | 2011-03-08 | 2015-06-17 | キヤノン株式会社 | 搬送システム、およびそれを用いたデバイスの製造方法 |
| US9530676B2 (en) * | 2011-06-01 | 2016-12-27 | Ebara Corporation | Substrate processing apparatus, substrate transfer method and substrate transfer device |
-
1999
- 1999-03-18 JP JP7401199A patent/JP3005584B1/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2000269301A (ja) | 2000-09-29 |
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| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
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