JP2005243770A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 露光装置EXは、マスクMのパターンを基板Pに露光する露光部Sと、露光部Sで用いるマスクMを収納するマスクケースCを保管可能なライブラリLBと、マスクMとマスクケースCとのそれぞれを保持可能であるとともに、ライブラリLBに対して搬送するアーム部20を有する搬送系H1とを備えている。
【選択図】 図1
Description
本発明の露光装置(EX)は、マスク(M)のパターンを基板(P)に露光する露光部(S)を備えた露光装置において、露光部(S)で用いるマスク(M)又は該マスク(M)を収納するマスクケース(C)を保管可能なライブラリ(LB)と、マスク(M)とマスクケース(C)とのそれぞれを保持可能であるとともに、ライブラリ(LB)に対して搬送する搬送手段(H1、20)とを備えることを特徴とする。
図1において、露光装置EXは、マスクMのパターンを感光基板Pに露光する露光部Sと、露光部Sで用いるマスクMを収納したマスクケースCを保管する保管装置としてのライブラリLBと、マスクMとマスクケースCとのそれぞれを保持可能であるとともに、ライブラリLBに対して搬送可能な搬送系H1とを備えている。また、搬送系H1は、露光部SとライブラリLBとの間において、マスクケースCから取り出したマスクMを搬送可能となっている。そして、露光部S、ライブラリLB、及び搬送系H1は、所定環境に設定された露光チャンバCH1内部に収容されており、搬送系H1を含む露光装置EX全体の動作は制御装置CONTにより制御される。
マスクストッカよりマスクMを収容したマスクケースCが無人搬送車により露光チャンバCH1の近傍まで搬送される。制御装置CONTは、無人搬送車に搬送されたマスクケースCの露光チャンバCH1に対する移動に伴って、シャッタ部70Aを駆動して開口部70を開ける。無人搬送車はアーム部材を有しており、そのアーム部材を駆動して開口部70を介してマスクケースCを載置部10に載置する。ここで、マスクケースCが載置部10に載置される前に、アーム部20(第2アーム26)は載置部10の凹部10Bに予め配置されている。載置部10に載置されたマスクケースCはピン部材11に当たることで位置決めされる。
ここで、図1などを参照して説明したように、マスクケースCはライブラリLBにおいてZ軸方向に複数積み重ねられている。アーム部20(第1アーム25)はこれら複数のマスクケースCに収納された複数のマスクMのうちから露光処理に使うべき指定されたマスクMを1つ選択し、このマスクMを収納したマスクケースCにアクセスする。
マスクMをマスクケースCから取り出したアーム部20(第1アーム25)は、−Y方向に移動した後、そのままZ軸方向の最上位置である位置CA1まで搬送し、この位置CA1においてマスクMをキャリア21に渡す。キャリア21は、位置CA1と位置CA2との間をキャリアガイド部21Aに支持されつつ移動可能であるとともに、キャリアガイド部21AとともにZ軸方向に移動可能である。つまり、キャリア21は図1中、X軸及びZ軸方向に移動可能に設けられている。キャリア21は下面に真空吸着孔を有しており、連結された不図示の真空ポンプのON・OFFによってマスクMを吸着保持及び保持解除可能となっている。キャリア21は、位置CA1においてアーム部20からマスクMを受け取った後、位置CA2まで搬送する。
本実施形態の特徴的な部分は、ライブラリLBにマスクケースCを搬送して設置する搬送系(搬送アーム)H2と、ライブラリLBのマスクケースCから露光部SにマスクMを搬送する搬送系(搬送アーム)H1とが別々に設けられている点にある。そして、ライブラリLBにマスクケースCを搬送して設置するマスクケース搬送系H2は、露光部Sを収納する露光チャンバCH1外部に設けられており、露光チャンバCH1とは別の搬送チャンバCH2に収容されている。マスクケース搬送系H2は搬送チャンバCH2内部に収容されてユニット化されており、マスクケース搬送系H2及び搬送チャンバCH2を含んで搬送ユニットUが構成されている。搬送ユニットUは、露光チャンバCH1の外部に配置されてその露光チャンバCH1に接続されており、マスクケース搬送系H2は、露光チャンバCH1に収納されたライブラリLBに対向するように設けられている。
マスクストッカよりマスクMを収容したマスクケースCが無人搬送車により搬送ユニットUの近傍まで搬送される。制御装置CONTは、無人搬送車に搬送されたマスクケースCの搬送ユニットUに対する移動に伴って、シャッタ部72Aを駆動して開口部72を開ける。無人搬送車はアーム部材を有しており、そのアーム部材を駆動して開口部72を介してマスクケースCを載置部10に載置する。ここで、マスクケースCが載置部10に載置される前に、アーム部1は載置部10の凹部10Bに予め配置されている。載置部10に載置されたマスクケースCはピン部材11に当たることで位置決めされる。
図13において、無人搬送車AGVはチャンバ部80を有しており、移動機構81によって移動可能である。無人搬送車AGVはそのチャンバ部80の内部空間にマスクケースCを収容した状態で搬送可能である。チャンバ部80には、露光チャンバCH1の開口部70に接続可能な開口部82が形成されている。なお図13には不図示であるが、開口部70、82のそれぞれには、その開口部70、82を開閉するシャッタ部が設けられている。
マスクストッカよりマスクMを収容したマスクケースCが無人搬送車AGVにより露光チャンバCH1の近傍まで搬送される。無人搬送車AGVが露光チャンバCH1の開口部70近傍まで移動した後、開口部82及び開口部70のそれぞれに設けられている不図示のシャッタ部が駆動し、開口部70、82が開けられるとともに、それら開口部70、82どうしが接続され、図13に示す状態となる。
図14において、搬送ユニットUの搬送チャンバCH2内部には、マスクケースCを一時保管するバッファ部BFが設けられている。バッファ部BFはライブラリLBと同等の構成を有し、マスクケースCを収納可能な複数の収納部を有している。
28…駆動機構(駆動手段)、90…棚部材(ライブラリ)、BF…バッファ部、
C…マスクケース、CH1…露光チャンバ、CH2…搬送チャンバ、
CONT…制御装置、EX…露光装置、H1…搬送系、H2…マスクケース搬送系、
LB…ライブラリ、M…マスク、P…感光基板(基板)、S…露光部
Claims (10)
- マスクのパターンを基板に露光する露光部を備えた露光装置において、
前記露光部で用いるマスク又は該マスクを収納するマスクケースを保管可能なライブラリと、
前記マスクと前記マスクケースとのそれぞれを保持可能であるとともに、前記ライブラリに対して搬送する搬送手段とを備えることを特徴とする露光装置。 - 前記搬送手段は、前記露光部と前記ライブラリとの間において、前記マスクケースから取り出したマスクの搬送を行うことを特徴とする請求項1記載の露光装置。
- 前記搬送手段は、前記マスクを保持して搬送可能な第1アームと、前記マスクケースを保持して搬送可能な第2アームとを備えることを特徴とする請求項1又は2記載の露光装置。
- 前記搬送手段は、前記第1アームと前記第2アームとをほぼ一体的に移動させるとともに、前記マスクもしくは前記マスクケースを保持する際に、前記第1アームと前記第2アームとの相対的な位置関係を変更して保持搬送することを特徴とする請求項3記載の露光装置。
- 前記第1アームと前記第2アームとの間に、それぞれの相対的な位置関係を変更する駆動手段を備えることを特徴とする請求項3又は4記載の露光装置。
- 前記搬送手段は、前記ライブラリに前記マスクを前記マスクケースごと搬送するとともに、該マスクケースに収納された前記マスクを前記露光部に搬送することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記搬送手段は、前記ライブラリに前記マスクケースを搬送して設置する第1搬送系と、前記ライブラリから前記露光部に前記マスクを搬送する第2搬送系とを備えることを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載の露光装置。
- 前記第1搬送系は、主に前記露光部を収納する露光チャンバとは別の搬送チャンバに収納され、前記露光チャンバに収納された前記ライブラリに対向するように設けられたことを特徴とする請求項7記載の露光装置。
- 前記搬送チャンバは、前記マスクケースを一時的に保管するバッファ部を有することを特徴とする請求項8記載の露光装置。
- 前記バッファ部は、前記搬送チャンバに対して分離可能に設けられていることを特徴とする請求項9記載の露光装置。
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