JP2856611B2 - キャリア保持機構 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、半導体基板（以下単に
ウェーハと呼ぶ）を複数枚収納するキャリアを掴み搬送
するキャリア搬送装置におけるキャリア保持機構に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図２は従来のキャリア保持機構の一例を
説明するためのキャリア搬送装置を示す斜視図である。
従来、この種のキャリア搬送装置は、図２に示すよう
に、一方向に移動する搬送ヘッド４と、搬送ヘッド４か
ら上下に上昇する支持棒１と、支持棒１の先端に取付け
らるキャリア７を保持する保持部２と、この保持部２よ
り突出しキャリア７の凹みを引換けるフック３と、キャ
リア７の有無を検知するセンサである発光部５ａ及び受
光部５ｂを有している。

【０００３】このキャリア搬送装置でキャリア７を移動
させる場合、まず、センサである発光部５ａから光を投
射し、キャリア７により光が遮断されれば、有と確認
し、支持棒１がつぼみ、保持部２とフック３によりキャ
リア７を掴み、搬送ヘッド４が移動し、キャリア７は別
の場所に移動させる。また、キャリア７が無いときは、
発光部５ａの光は受光部５ｂに入光され、支持棒１は動
作せず、停止したままになる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】この従来のキャリア搬
送装置におけるキャリア保持機構では、キャリアの有り
を確認し、４つの保持部とフックでキャリアを保持して
いるものの、一本の保持部でもその保持状態が悪いと、
キャリアが傾き、キャリア内のウェーハが、脱落し、ウ
ェーハが割れ、落下附近にある処理槽等にウェーハの割
れたかすが処理槽内の処理液に混入し、汚染してしまう
問題があった。

【０００５】本発明の目的は、キャリアを確実に保持す
るキャリア保持機構を提供することである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明のキャリア保持機
構は、搬送すべきキャリアの四隅に対応して設けられた
四つの保持部のの各々に、前記キャリアの対応する壁面
の有無を検知するセンサが備え付けられていることを特
徴としている。

【０００７】

【実施例】次に、本発明について、図面を参照して説明
する。

【０００８】図１は本発明のキャリア保持機構の一実施
例を示す斜視図及び部分拡大図である。このキャリア保
持機構は、図１に示すように、搬送ヘッドより伸びる４
本の支持棒１の先端の保持部２にキャリアの壁面に接し
ているか否かを確認するセンサ６を取付けることであ
る。それ以外は従来例と同じである。また、このセンサ
６は発光部と受光部を備えたもので、例えば、市販の反
射型フォトインタラプタである。

【０００９】次に、このキャリア保持機構の動作を説明
する。まず、搬送ヘッドよりキャリアを支持棒１が下降
し、支持棒１がつぼみ、保持部２で掴む、この時、各保
持部２のセンサ６がキャリアの壁の有無を検知する。そ
して各センサ３の信号の論理積を取ることによってキャ
リアの保持状態が完全であることを確認する。また、１
つのセンサでもキャリアの壁を確認できないときは、エ
ラーとし搬送動作を停止させる。

【００１０】このように複数本ある支持棒１の保持部２
に独立してセンサ２を設ければフック３がキャリアの凹
みに充分入らない場合は、その保持部のセンサ６の信号
が得られず、エラーとしてカウントされる。従って、各
センサ６が同時に信号を発生することは保持部２のフッ
ク３がキャリアの凹みに挿入され、確実にキャリアを保
持したことになる。

【００１１】

【発明の効果】以上説明したように本発明は、複数本の
支持棒の保持棒の保持部の全てにキャリアの壁面の有無
を検出するセンサを設け、これらセンサの信号の論理積
が０でないことを確認することによって、キャリアのバ
ンドリング状態を確認できるので、キャリアを傾きをむ
けて保持したり、収納されたウェーハを落下させること
なく、確実に保持出来るという効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のキャリア保持機構一実施例を示す斜視
図及び部分拡大図である。

【図２】従来のキャリア搬送装置の一例を示す斜視図で
ある。

【符号の説明】

１ 支持棒 ２ 保持部 ３ フック ４ 搬送ヘッド ５ａ 発光部 ５ｂ 受光部 ６ センサ

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 搬送すべきキャリアの四隅に対応して設
   けられた四つの保持部のの各々に、前記キャリアの対応
   する壁面の有無を検知するセンサが備え付けられている
   ことを特徴とするキャリア保持機構。