JP2738780B2 - 傾斜ボックス - Google Patents

傾斜ボックス

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JP2738780B2
JP2738780B2 JP5500022A JP50002293A JP2738780B2 JP 2738780 B2 JP2738780 B2 JP 2738780B2 JP 5500022 A JP5500022 A JP 5500022A JP 50002293 A JP50002293 A JP 50002293A JP 2738780 B2 JP2738780 B2 JP 2738780B2
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Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の背景〕 この発明はシリコンウェハーが収容されたウェハーキ
ャリヤを貯蔵・運搬するための貯蔵用ボックスに関す
る。
シリコンウェハーに対するウェハーキャリヤを収容す
るためのウェハーボックスが従来から幾つか存在する
が、これらは大きな欠点を有していた。例えば、ウェハ
ーキャリヤはボックスの中でしっかりと固定した状態に
収容されておらず、キャリヤ内のウェハーはボックスを
持ち上げて移動したり少し傾けたりすると動いてしま
う。従来のボックスは、ロボットでウェハーキャリヤを
うまく扱うことができなかったし、ボックスを開けると
きには手動でもウェハーキャリヤをうまく扱えなかっ
た。
〔発明の概要〕
この発明の目的は、ウェハーキャリヤや、シリコンな
どの材料からなるウェハーやメモリディスク、フォトプ
レートなどが収容された同じようなカセットを貯蔵・運
搬するための新しく、かつ改善された閉じた貯蔵用ボッ
クスであり、ロボットあるいは手動によって扱えるよう
な貯蔵用ボックスを提供することである。
この発明の特徴は、ボックス底部から即座に取り外す
ことのできる回転可能なカバーを備えたプラスチック成
形されたボックスを提供していることである。ボックス
底部は、ディスクキャリヤの挿入や取り出しを容易にす
るという特徴と、キャリヤ及びウェハーを予め決められ
た位置へ鋭角に（at steep angle）傾斜させた状態で適
切に配置し、ディスクの利用可能なサイドすなわち「グ
リーン」サイドがキャリヤのどこにも接触しないように
するという特徴も合わせ持っている。こうした特徴の中
には、キャリヤのＨバー端部のみがそこへ載る予め形成
された傾斜した支持壁や、キャリヤの足がそこへ載りそ
こに設けられたロケータデフォーメーションへ係合する
傾斜した足壁（foot wall）、ボックス底部の前部ラッ
チ部と後部ヒンジ部との間の大きな高さの違い、キャリ
ヤ内に収容されたディスクの端部と均一な状態で対向す
るようにするためのカバーの傾斜部分がある。
傾斜した支持壁はキャリヤのＨバー端部が支持壁へ載
るようにするが、このために、キャリヤはロボットある
いは手動によって取り外すことができるような適切な位
置に正しく配置され、ディスクのブランク面のみがキャ
リヤの離間したリブあるいは歯へ当接する状態でディス
クを保持できるようになっている。
傾斜した足壁もキャリヤの足と係合することによって
キャリヤを支持する。足壁のオフセット部あるいはレッ
ジ部が細長い足と直角に（transversely）当接してキャ
リヤを足壁の上へ適切に配置し、傾斜した支持壁のプリ
フォーム部とＨバー端部によって確実に係合する。
そこへカバーが係合しているボックス底部の対向する
ラッチ部とヒンジ部との間でボックス底部にかなりの高
さの違いがあり、また、キャリヤを取り出すときにキャ
リヤの移動を妨げるものがないため、キャリヤをボック
スへ挿入したりボックスから取り出すときにキャリヤを
ロボットや手動で非常に扱いやすくなっている。これら
の特徴はすべて、ディスクを貯蔵・運搬するときにそれ
らを傾斜した状態で適切に位置付けするのに大いに寄与
している。また、キャリヤ内においてスペーサリブもし
くは歯の上でのディスクの動きが最小限に抑えられ、ウ
ェハーに対して、それも特にウェハーの処理の行われる
非常に繊細な前面に対して損傷を与える可能性が極力小
さくなっている。
〔図面の簡単な説明〕
図１はこの発明の装置の側部立面図であり、カバーの
開いた位置を破線で示している。
図２はこの発明の装置の後部立面図である。
図３はこの発明の装置の正面図であり、詳細を明かに
するために一部が切り欠いてある。
図４は図２及び図３の４−４線断面図である。
図５は図４の５−５線拡大詳細断面図である。
図６は図４の６−６線拡大詳細断面図である。
図７は図４の７−７線拡大詳細断面図である。
図８は図１の８−８線詳細断面図である。
図９はヒンジアセンブリの一つの拡大詳細平面図であ
る。
図10は図９の10-10線拡大詳細断面図である。
図11は図９の11-11線拡大詳細断面図である。
図12は図11と類似の拡大詳細断面図であるが、開いた
カバーの別の位置を示している。
図13は図４の13-13線拡大詳細断面図である。
図14はこの発明の別の実施例に対する側部立面図であ
り、カバーの別の開いた構造を示している。
図15は図14に示されているボックスの詳細断面図であ
る。
図16は図15の16-16線拡大詳細断面図である。
図17は開いた状態にあるボックスの詳細平面図であ
り、カバーの一部が切り欠いてある。
〔実施例の詳細な説明〕
図１〜図13に示されているウェハーキャリヤ運搬用及
び貯蔵用のボックスは参照番号10によって表されてい
る。ボックス10はカーボンが充填されたポリカーボネー
トなどのプラスチックから全体が成形されており、運搬
中に生じるガタツキ（jostling）を吸収して、コンテナ
の中に収容されているウェハーキャリヤ11を損傷から保
護し、またウェハーキャリヤ11内に収容されているウェ
ハーＷを保護している。ウェハーキャリヤは図３及び図
４において点線によって表されており、またキャリヤの
一部は図５及び図13にも描かれている。ウェハーキャリ
ヤは数多くのタイプのキャリヤのうちの任意のものでよ
いが、そうしたウェハーキャリヤが米国特許第4,949,84
8号に開示されている。同じようなタイプの他のウェハ
ーキャリヤをこの明細書に開示されているボックス10に
対して使用することができる。図５に示されているよう
に、ウェハーキャリヤはウェハーＷを互いに分離するた
めにそれぞれに対するコンパートメント12を有する。ウ
ェハーキャリヤ11は多数の離間用のリブ13を有する。リ
ブ13はコンパートメントを互いに離間しておりウェハＷ
を互いに離間した状態に維持している。
通常こうしたウェハーはシリコンから形成されている
が、ガリウムひ素から形成されていてもよく、厚みは約
0.050インチ（1.27mm）であり、直径は150mmから200mm
の間あるいはそれ以上である。こうしたウェハーが回路
あるいは回路素子に加工されると、この加工によってウ
ェハーに大きな価値が付与される。従ってウェハーに損
傷や破損が生じることは極めて重大なことであり、避け
なければならない。メモリディスクやフォトプレートは
一般にシリコンウェハーと同じ大きさを有する。この明
細書においてウェハーという言葉を使用する場合、それ
はディスクやプレート、基板、そして他の同じような形
状の物体を意味しているものとする。
図４に示されているように、ウェハーキャリヤ11はボ
ックス10の支持部14が棚などの水平な面の上に載ってい
るときにはボックス10の中で傾斜した状態で支持され
る。ボックスの底部15は傾斜した底部パネル部16と傾斜
た側壁パネル部17を有することがわかろう。これらのパ
ネル部は両方ともウェハーキャリヤ11を傾斜した状態に
支持する働きを行っている。底部パネル部16はウェハー
キャリヤ11の下部あるいは足11.1を支持しており、傾斜
した側壁パネル部17はキャリヤの端壁部18を支持してい
る。キャリヤの端壁部18はキャリヤが有するＨバー端壁
である。底部パネル部16は水平方向に対して約10°の角
度で傾斜している。また、一般に垂直方向に設けられた
側壁パネル部17は垂直方向に対して約10°の角度だけ傾
斜している。底部パネル部16及び側壁パネル部17を支持
する二つのウェハーキャリヤは互いに対してほぼ直角な
方向に配置されている。底部15の傾斜した側壁パネル部
17はリセス19を有する。リセス19はキャリヤのＨバーの
端壁部18を受容するような特有の形状と構造を有する。
同様に、底部パネル部16にはオフセット部16.1が設けら
れており、キャリヤの足11.1をボックスの底部15の中の
適切な位置へガイドするようになっている。
底部15の傾斜した側壁パネル部17は図２に示されてい
るようにボックスの幅の一部のみを構成しており、別の
パネル部20がパネル部17と協働することによってボック
スの底部15の後壁21を形成している。ボックスの底部15
の後壁21は一対のフランジあるいは細長いタブ22も形成
している。タブ22は傾斜した側壁パネル部17の上部から
離間されており、図２に示されているようにリセス24を
形成している。リセス24はロボットアーム25を受容する
ことによって、ボックスを持ち上げたりボックス全体を
傾けたりその方向を維持するようになっている。
ボックスの底部15はリム部26を有する。リム部26はカ
バー28のリム部27と密着した状態で相互係合する。相互
係合するリム部26,27はボックスの周辺全体にわたって
延びていて、ボックスの側部すべてにおいて互いに密接
に係合しており、カバー28が底部15の上へ緊密な状態で
閉じたときボックスの内部29を完全に閉じ込めた状態に
する。図１及び図４からわかるように、底部15のリブ部
26とボックスのカバー28のリム部27は階段形状のオフセ
ット部26.1,27.1を有しており、ラッチ30に隣接するリ
ム部26,27はヒンジアセンブリ31に隣接するボックス後
部におけるリム部とは高さが大きく異なる。
従って、傾斜した側壁パネル部17の上部23は後壁21上
の隆起したリム部26と非常に近接している。その結果、
カバーが図１に示されている点線の位置まで開いたと
き、ウェハーキャリヤ11はボックスの底部15のリム部26
のどの部分とも干渉（interfere）することなく、手動
あるいはロボットによって滑らかに持ち上げることがで
きる。
同様に、底部15の傾斜した底部パネル部16の上部32は
ラッチ30に隣接したリム部26と非常に近接している。そ
の結果、カバーが図１に示されている位置まで開いてい
るとき、手動によってウェハーキャリヤ11を底部15から
持ち上げたり、ロボットによってウェハーキャリヤ11は
ボックスのどの部分とも干渉することなくボックスの底
部15からウェハーキャリヤを持ち上げることができる。
ウェハーキャリヤ11はその側壁の各々に上部フランジ
33を有する。上部フランジ33はボックスの底部15から手
動によってキャリヤを持ち上げるのに有用である。ウェ
ハーキャリヤ11は図４及び図13に示されているように、
堅固なループあるいはハンドル34も有する。ハンドル34
はロボットアームによって底部15から持ち上げられる。
カバーを開いたあと、このロボットアームは持ち上げ用
部分あるいはハンドル34の中に滑り込み、ボックス底部
からウェハーキャリヤを簡単に持ち上げられるようにな
っている。
ボックスの底部15の二つの端壁35はリセス状のパネル
部36を有する。パネル部36は細長いタブあるいはフラン
ジ部37を形成している。フランジ部37はパネル部36と協
働してリセス38を形成している。リセス38はロボットア
ーム25.1の一部を受容して、閉じた状態にあるボックス
の持ち上げを容易にする。パネル部36はウェハーキャリ
ヤ11の側部と対向していて、ウェハーキャリヤの動きを
抑えている。パネル部36とリセス38は図１及び図４に示
されているように端壁35のほぼ中央に配置されており、
従ってロボットアーム25.1がリセス38の中に移動しボッ
クスを持ち上げたとき、ボックスはほぼバランスがとれ
て図に示されているように水平に維持され、キャリヤ内
のウェハーＷはガタツキがないようになる。
ラッチ30はフック形状のキャッチ39を有する。キャッ
チ39はカバーのリム部27に設けられたキーパ40への取り
外し可能に取付けられている。ラッチ30はフレキシブル
な本体41を有する。本体41は取付け用ピン43を用いて本
体のバイト形状部へ連結されている。取付け用ピン43を
ボックスの底部15のリム部26に設けられた取付け用タブ
44から下方へ延びている。上側のタブ44及び下側のタブ
45を互いに絞ることによって、ラッチ本体を屈曲させ、
キャッチ39をキーパから持ち上げる。これとは違って、
図１に示されているようにロッド形状のペグ46をロボッ
トアーム25.2によって操作して、キャッチをキーパから
持ち上げてもよい。ラッチ30については本願出願人によ
り1991年３月20日に出願された同時係属出願第673,467
号にさらに詳しく開示されている。
ボックスのカバー28は傾斜したパネル部47を有する。
パネル部47はウェハーキャリヤ支持用の傾斜した底部パ
ネル部16と対向しており、ウェハーを底部パネル部16上
でウェハーが動かないように保持している。傾斜したパ
ネル部47は底部パネル部16とほぼ同じ角度方向に配置さ
れており、水平に配置されたボックス支持用のパネル部
48と鋭角を形成するように配置されている。ボックスを
次々に積み重ねる場合には、同じようなボックス10がパ
ネル部48の上に載せられる。カバー28は垂直方向に延び
るネスティング用（nesting）のリブ49を有する。ボッ
クスを次々に積み重ねるとき、リブ49はパネル部16に近
接してボックス底部の下側部分の中に係合し、ボックス
同士の動きを極力抑える。
カバー部28はさらに別の拘束用の（confining）パネ
ル部50,51も有する。パネル部50,51はボックスの底部15
に設けられたウェハーキャリヤ支持用の側壁パネル部17
と対向するように配置されている。またパネル部50,51
はパネル部47とほぼ直角に配置されている。図３及び図
４に示されているように、拘束用のパネル部51はボック
スの前部にカバー28のほぼ中央に近接するように配置さ
れている。パネル部51はロボット受容用のフランジ部37
と係合し、ボックス内におけるウェハーキャリヤの動き
を最小限に抑えている。拘束用のパネル部50は中央のパ
ネル部51の両側に配置されており、ウェハーキャリヤ11
の隣接する端壁52へ密接して対向している。
ウェハーキャリヤ拘束用のパネル部50,51の他に、カ
バーの前壁53はパネル部54を有する。パネル部54はカバ
ー28の側壁パネル部28.1と一体に形成されている。カバ
ー28の側壁パネル部28.1はボックスの底部のリム部26と
密接に相互係合するリム部27と一体に形成されている。
ヒンジアセンブリ31は図９〜図12に詳しく示されてい
る。
図２に最もよく示されているように、二つのヒンジア
センブリ31が設けられている。二つのヒンジアセンブリ
31はボックス底部の後壁21に近接して対称に配置されて
おり、カバー部を開いた位置へ回転できるようになって
いる。
ヒンジアセンブリ31の各々は堅固でかつ固定された一
対のソケット部55を有する。ソケット部55はボックスの
底部15、さらに詳しくはその後壁21へ一体化されて取付
けられている。ソケット部55の各々は二つの別々の丸い
キャビティ56,57を有する。ソケット部55の各々は二つ
の別々の細長いアクセス用スロット58,59を有する。ア
クセス用スロット58,59はそれぞれ丸いソケットのキャ
ビティ56,57の中へ開口している。細長いアクセス用ス
ロット58は丸いキャビティ56の直径全体に等しい幅を有
すること、またアクセス用スロット59は丸いキャビティ
57の直径よりもかなり小さい幅を有すること、さらには
細長いアクセス用スロット59は丸いキャビティ57の中心
軸に関して非対称に配置されていることがわかろう。ア
クセス用スロット59は丸いキャビティ57の直径と平行に
延びているが、丸いキャビティ57の中心からずれてい
る。スロット59は丸いキャビティ57の半径に対して鋭角
をなして延びている。
ヒンジアセンブリ31の各々は一対の挿入部60,61を有
する。挿入部60,61は後壁21及びリム部26に隣接してボ
ックスの底部15へ取付けられている。挿入部60,61は丸
いキャビティ56,57の中にそれぞれ受容される。挿入部6
0は円柱形状を有し、キャビティ56全体をほぼ占めてお
り、カバー28が図１に示されているように閉じた位置か
ら開いた位置へ回転するときカバー28を支える。挿入部
60は挿入部61がそのキャビティ57から解放されるときは
いつでもキャビティ56から持ち上げられる。
挿入部61は図11及び図12に示されているように、ほぼ
半円形の形状を有する。挿入部61は一つのフラットな側
部61.1と一つの丸い側部61.2を有する。側壁61.2はキャ
ビティ57の丸い形状に適合した形状を有する。側部61.2
はアクセス用スロット59よりも若干小さな幅を有しい
て、挿入部61がキャビティ57の中で適切な方向に配置さ
れるとスロットを介して持ち上げられる。
半円形の挿入部61のカバー28に対する方向に特に留意
すべきである。アクセス用スロット59の形状及び位置と
ともに挿入部の構造はヒンジアセンブリが外れないよう
なものになっている。すなわち、挿入部61はカバー28が
図11に示されているように閉じられているときにはキャ
ビティから持ち上がらないようになっている。カバー28
が図１に示されているように文字Ｐによって表される点
線の位置へ反転しているときは、挿入部61はアクセス用
スロット59を介して外れないような状態に維持されたま
まである。なぜなら、カバー28のこの開いた位置あるい
は反転した位置においては、挿入部61はまだアクセス用
スロット59とまだ位置が揃わないからである。
しかし、カバー部がさらに若干回転できて図１に文字
Ａで点線で表されている別の位置、そして図12において
文字Ａで表されているカバー28の位置にあるときには、
挿入部61はアクセス用スロット59とまっすぐに位置が揃
う。従って、このとき挿入部61をソケット部55から持ち
上げることができ、カバー28をボックスの底部15から外
すことができる。
従って、ウェハーキャリヤ11を運搬あるいは貯蔵する
ためのボックスの通常の使用においては、カバーを図１
に示されている点線の位置まで反転して開き、ボックス
底部15を支持しているのと同じ面の上にボックスを載せ
て、ウェハーキャリヤをボックスの中に装着したり降ろ
したりすることができる。
しかし、ボックスを使用したあとでボックスを完全に
洗浄したい場合には、カバーを別の位置Ａまで下げて取
り外し、そのあと洗浄浴槽あるいは洗浄機に入れて、ボ
ックス及びそのカバーを次の使用サイクルのために準備
する。
ボックス10を使用するときにとくに注目すべきこと
は、カバーを開いた位置まで回転したときに、ウェハー
キャリヤ11は手動あるいはロボットを用いてたやすく取
り上げられ、ウェハーキャリヤとボックス底部あるいは
リム部26のいかなる部分とも干渉することなくボックス
底部から滑らかに（smoothly）取り出されることであ
る。ラッチ30がカバーを解放したあと、ラッチはバイト
部42がボックス底部の隣接する部分と当接してキャッチ
39が邪魔にならない位置へ回転するまで取付け用ピン43
のまわりに下方へ回転することに注意すべきである。
ウェハーキャリヤを再びボックスの中に設置しなおす
ときには、ウェハーキャリヤ11を傾斜した底部パネル部
16及び側壁パネル部17の上に滑らかに係合させオフセッ
ト部16.1,17.1によってガイドする。そうすると、ウェ
ハーは図４に示されているように傾斜した位置に保持さ
れ、その結果、キャリヤ内のすべてのウェハーはリブ13
のセットの一つにもたれ掛かり、従って運搬したり貯蔵
したりするときにガタツキがないようになる。
カバー28の前部は一対のフランジ62を有する。フラン
ジ62はカバー28を開いたり閉じたりするときにカバー28
を操作するために使用されるロボットアーム63を受容す
る。
図14〜図17に示されているボックスは参照番号70で表
わされている。ボックス70も底部71とカバー72を有す
る。底部71とカバー72は二つの部材からなるヒンジアセ
ンブリ73によって互いに連結されており、ラッチ74によ
ってラッチされる。カバー72と底部71は相互係合用のリ
ム部75,76において互いに係合している。ボックスの底
部71はその端壁77.1にリセス77を有する。リセス77はロ
ボットアームを受容してボックスを持ち上げて運ぶ。
図15に示されているように、ボックスの底部71は傾斜
した底部パネル78を有する。底部パネル部78はウェハー
キャリヤ79を傾斜した状態に支持する。ボックスの底部
71は別の傾斜したパネル部80も有する。パネル部80もウ
ェハーキャリヤの一部を傾斜した状態で支持する。この
ボックス70においては、底部パネル部78は特有の形状を
有する。底部パネル部78はウェハーキャリヤ79のＨバー
端壁を受容するためのリセス81を有する。図からわかる
ようにこの実施例においてはウェハーＷは傾斜した状態
に配置されるが、底部パネル部78とほぼ平行である。ウ
ェハーキャリヤ79の足あるいは底部79.1は傾斜した側壁
のパネル部80へ当接しており、オフセット80.1によって
側方への動きが拘束されている。
ウェハーキャリヤ79の開口した上部とその上部フラン
ジ83はボックスのヒンジアセンブリ73に近接している。
また、キャリヤの前部の端壁84と、ウェハーキャリヤが
ロボットによって扱えるようにしているロボットフラン
ジ85（図16を参照のこと）は拘束用のパネル部86と近接
している。パネル部86はカバー部72の一部である。パネ
ル部86もオフセット部86.1を有する。ウェハーキャリヤ
がそうした構造（feature）を有する場合には、オフセ
ット部86.1は図13に参照番号34によって描かれているタ
イプのロボットのハンドルを受容し拘束する。カバー72
は別の傾斜した拘束用のパネル部87を有する。パネル部
87はウェハーキャリヤの上部フランジと対向しており、
処理したり運搬したりするときにその中のウェハーが偶
然にウェハーキャリヤから出ることがないようにしてい
る。
図14において以下のことに留意すべきである。すなわ
ち、カバー72は図14において文字Ｏによって表された点
線の開いた位置まで回転するが、キャリヤの成形におい
てラッチ部及びヒンジアセンブリを単に配置しなおすこ
とによって、カバー部を図14において文字Ｎで表されて
いる反対の位置へ回転するような構造にできる。また、
図15において点線で表されているウェハーキャリヤ79
は、特許第4,949,848号に開示されているキャリヤや当
該分野の技術者によく知られた同様のキャリヤと同じよ
うなものである。
図14〜図17のボックス70は図17に示されているように
細長い形状を有しており、二つのウェハーキャリヤを収
容する。二つのウェハーキャリヤはボックス底部に横に
並べて収容され、カバー72によって閉じ込められる。
ボックス70に対するこの実施例においては、ボックス
10と同様にウェハーキャリヤは傾斜した状態に配置さ
れ、従ってウェハーはすべて傾斜していてウェハーキャ
リヤ内においてリブ79.2のセットの一つの上に載る。
ウェハーキャリヤはカバーを開けると手動あるいはロ
ボットを用いてボックス底部から容易に持ち上げて取り
出せる。ウェハーキャリヤがロボットによってボックス
から取り上げられるときには、ロボットはウェハーキャ
リヤの端壁84に隣接した取付け用のロボットフランジ85
と係合し、ウェハーキャリヤをボックス底部の周辺リブ
あるいはカバーのどの部分とも干渉することなく、ボッ
クス底部から滑らかに取り上げられる。同様に、ウェハ
ーキャリヤが手動によってボックスの底部71から取り上
げられる場合には、ウェハーキャリヤは両手によって取
り上げられ、ウェハーキャリヤの上部に設けられたフラ
ンジ79の上方へ上げられる。この場合にも、ウェハーキ
ャリヤはボックス底部のどの部分とも干渉することな
く、ボックス底部から滑らかに持ち上げられる。これと
は違ってある場合には、カバーを図14に示されている位
置Ｎへ回転させるようにヒンジを取付けることが好まし
い。この場合にも、ウェハーキャリヤは手動あるいはロ
ボットによって容易に取り扱うことができる。
ウェハー及びウェハーキャリヤを貯蔵及び運搬するた
めの新しくかつ改善されたボックスが提供されているこ
とがわかろう。このボックスはウェハーキャリヤ及びそ
の中のウェハーを傾斜した状態に維持することによっ
て、またウェハーキャリヤ及びウェハーを傾斜したパネ
ルによって拘束してウェハーをボックス内に貯蔵してい
るときウェハーキャリヤ内におけるウェハーの動きを最
小限に抑えることによって、ウェハーが損傷しないよう
に安全に貯蔵する。ウェハーキャリヤは即座にかつ容易
にボックスの中に設置でき、ウェハーと干渉することな
く、あるいはウェハーに損傷を与えることなく滑らかか
つ容易に持ち上げることができる。
この発明は発明の精神あるいは本質から逸脱すること
なく別の形で実現することが可能である。従って、上述
した実施例は単に説明のためのものであり、発明を制限
することはない。この発明の範囲に関しては上述した実
施例よりも添付の請求の範囲を参照すべきである。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 エガム，ショーン・ディー アメリカ合衆国 55318 ミネソタ，チ ャスカ，ウッドクレスト・ドライブ 2491 (56)参考文献 特開 平１−268148（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−269819（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−134817（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−190471（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−32077（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−27732（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−60248（ＪＰ，Ｕ)

Claims (18)

    (57)【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】ウェハーが各コンパートメントの中に収容
    されているウェハーキャリヤを貯蔵・運搬するための傾
    斜ボックスであって、 互いに相互係合している底部及びカバー部を有するボッ
    クスを有し、前記ボックスが底部パネル部とこの底部パ
    ネル部に接合された側壁パネル部を有し、前記パネル部
    の一つがウェハーキャリヤの予め決められた部分へ係合
    するような特有の形状を有し、前記パネル部の両方が水
    平方向及び垂直方向から傾斜していて傾斜したウェハー
    キャリヤの接合部を支持しており、ウェハーを動かない
    ように位置付けしている傾斜ボックス。
  2. 【請求項２】前記ウェハーキャリヤがＨ形状の端壁部を
    有し、前記パネル部の一つがウェハーキャリヤのＨ形状
    の端壁部と係合するような形状を有する請求の範囲第１
    項記載の傾斜ボックス。
  3. 【請求項３】前記ウェハーキャリヤがＨ形状の端壁部を
    有し、前記側壁パネル部が前記Ｈ形状の端壁部を受容す
    るような形状のリセスを有する請求の範囲第１項記載の
    傾斜ボックス。
  4. 【請求項４】前記ウェハーキャリヤがＨ形状の端壁部を
    有し、前記底部パネル部が前記Ｈ形状の端壁部を受容す
    るような形状のリセスを有していてウェハーが前記底部
    パネルとほぼ平行な傾斜した位置に横たわる請求の範囲
    第１項記載の傾斜ボックス。
  5. 【請求項５】前記ウェハーキャリヤが離間して設けられ
    た支持用の足を有し、前記パネル部の一つがオフセット
    部を有し、前記支持用の足がパネル部を横切って移動し
    ないように拘束している請求の範囲第１項記載の傾斜ボ
    ックス。
  6. 【請求項６】前記パネル部の両方がボックスの底部に設
    けられている請求の範囲第１項記載の傾斜ボックス。
  7. 【請求項７】前記ボックスが傾斜した底部パネル部と傾
    斜した側壁パネル部とに対向する拘束用のパネル部を有
    し、この拘束用のパネル部の各々がそれが対向している
    パネル部と同様に傾斜している請求の範囲第２項記載の
    傾斜ボックス。
  8. 【請求項８】前記パネル部の両方がボックスの底部に設
    けられ、ボックスのカバー部がそれぞれ傾斜した底部パ
    ネル部及び傾斜した側壁パネル部と対向する拘束用のパ
    ネル部を有し、この拘束用のパネル部の各々はこの拘束
    用のパネル部が対向しているパネル部と同様に傾斜して
    いる請求の範囲第１項記載の傾斜ボックス。
  9. 【請求項９】前記パネル部が互いにほぼ直角に配置され
    ていてウェハーキャリヤの接合部を支持し抱き込んでい
    る請求の範囲第１項記載の傾斜ボックス。
  10. 【請求項１０】前記カバー部が底部へヒンジ連結されて
    おり、底部が前記パネル部に近接したところにリム部を
    有していて、ウェハーキャリヤをパネル部に沿って移動
    し、ボックスの底部から離すことができるようになって
    いる請求の範囲第１項記載の傾斜ボックス。
  11. 【請求項１１】前記パネル部が水平方向に対して異なる
    傾斜を有し、前記リム部が互いに異なる高さを有する請
    求の範囲第10項記載の傾斜ボックス。
  12. 【請求項１２】前記傾斜したパネル部の各々が上部及び
    下部を有し、リム部が傾斜した各パネル部の上部に隣接
    している請求の範囲第11項記載の傾斜ボックス。
  13. 【請求項１３】前記底部及びカバー部が水平方向を向い
    たボックス支持部を有していて、その上に同じようなボ
    ックスを積めるようになっている請求の範囲第１項記載
    の傾斜ボックス。
  14. 【請求項１４】前記ボックスの底部が壁部を有し、この
    壁部が互いに離間した状態で対向するフランジ部を有し
    ており、このフランジ部がロボットアームを受容するた
    めのリセス部を形成している特許請求の範囲第１項記載
    の傾斜ボックス。
  15. 【請求項１５】ウェハーキャリアを貯蔵・運搬するため
    の傾斜ボックスであって、 ボックスと、 二つの部材からなる取り外し可能なヒンジアセンブリ
    と、 を有し、前記ボックスが底部と、閉じた状態においてボ
    ックスと相互係合するカバー部とを有し、前記カバー部
    がまず反転した開いた位置まで回転したあと次に別の位
    置へ回転し、前記ヒンジアセンブリが底部とカバー部と
    を相互に連結していて前述した回転を可能にしており、
    前記ヒンジアセンブリが組み付けられた挿入部材とソケ
    ット部材を有し、挿入部材とソケット部材がカバー部の
    閉じた位置と開いた位置との間において互いに対して回
    転が可能であり、カバー部を前記別の位置まで回転する
    と前記挿入部材とソケット部材が解放されて分離し、前
    記ソケット部材が丸いソケットキャビティに通じ、この
    ソケットキャビティの中心軸に関して非対称に配置され
    たアクセススロットを有し、前記挿入部材がアクセスス
    ロットに合わせた寸法でその中を通っている傾斜ボック
    ス。
  16. 【請求項１６】前記アクセス用スロットが丸いソケット
    キャビティの半径に対して鋭角を形成している請求の範
    囲第15項記載の傾斜ボックス。
  17. 【請求項１７】前記挿入部材が平坦な側部と、丸いキャ
    ビティの形状に対応した丸い側部とを有する請求の範囲
    第15項記載の傾斜ボックス。
  18. 【請求項１８】支持用表面の上に設置される傾斜ボック
    スであって、前記反転して開いた位置においてカバー部
    が前記支持用表面と係合し、前記別の位置においてはボ
    ックスの底部が前記表面上に載った状態でカバー部が支
    持表面より下方へ回転する請求の範囲第15項記載の傾斜
    ボックス。
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