JP2738780B2 - Inclined box - Google Patents
Inclined boxInfo
- Publication number
- JP2738780B2 JP2738780B2 JP5500022A JP50002293A JP2738780B2 JP 2738780 B2 JP2738780 B2 JP 2738780B2 JP 5500022 A JP5500022 A JP 5500022A JP 50002293 A JP50002293 A JP 50002293A JP 2738780 B2 JP2738780 B2 JP 2738780B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- box
- panel
- wafer carrier
- cover
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67373—Closed carriers characterised by locking systems
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
- H01L21/6735—Closed carriers
- H01L21/67386—Closed carriers characterised by the construction of the closed carrier
Description
【発明の詳細な説明】 〔発明の背景〕 この発明はシリコンウェハーが収容されたウェハーキ
ャリヤを貯蔵・運搬するための貯蔵用ボックスに関す
る。Description: BACKGROUND OF THE INVENTION The present invention relates to a storage box for storing and transporting a wafer carrier containing a silicon wafer.
シリコンウェハーに対するウェハーキャリヤを収容す
るためのウェハーボックスが従来から幾つか存在する
が、これらは大きな欠点を有していた。例えば、ウェハ
ーキャリヤはボックスの中でしっかりと固定した状態に
収容されておらず、キャリヤ内のウェハーはボックスを
持ち上げて移動したり少し傾けたりすると動いてしま
う。従来のボックスは、ロボットでウェハーキャリヤを
うまく扱うことができなかったし、ボックスを開けると
きには手動でもウェハーキャリヤをうまく扱えなかっ
た。There have been several wafer boxes for accommodating wafer carriers for silicon wafers, but these have significant drawbacks. For example, the wafer carrier is not housed securely in the box, and the wafer in the carrier will move if the box is lifted and moved or tilted slightly. Conventional boxes have not been able to handle the wafer carrier with a robot well, nor have they been able to handle the wafer carrier manually when opening the box.
この発明の目的は、ウェハーキャリヤや、シリコンな
どの材料からなるウェハーやメモリディスク、フォトプ
レートなどが収容された同じようなカセットを貯蔵・運
搬するための新しく、かつ改善された閉じた貯蔵用ボッ
クスであり、ロボットあるいは手動によって扱えるよう
な貯蔵用ボックスを提供することである。SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention to provide a new and improved closed storage box for storing and transporting wafer carriers and similar cassettes containing wafers, memory disks, photoplates, etc. made of materials such as silicon. And to provide a storage box that can be handled by a robot or manually.
この発明の特徴は、ボックス底部から即座に取り外す
ことのできる回転可能なカバーを備えたプラスチック成
形されたボックスを提供していることである。ボックス
底部は、ディスクキャリヤの挿入や取り出しを容易にす
るという特徴と、キャリヤ及びウェハーを予め決められ
た位置へ鋭角に（at steep angle）傾斜させた状態で適
切に配置し、ディスクの利用可能なサイドすなわち「グ
リーン」サイドがキャリヤのどこにも接触しないように
するという特徴も合わせ持っている。こうした特徴の中
には、キャリヤのＨバー端部のみがそこへ載る予め形成
された傾斜した支持壁や、キャリヤの足がそこへ載りそ
こに設けられたロケータデフォーメーションへ係合する
傾斜した足壁（foot wall）、ボックス底部の前部ラッ
チ部と後部ヒンジ部との間の大きな高さの違い、キャリ
ヤ内に収容されたディスクの端部と均一な状態で対向す
るようにするためのカバーの傾斜部分がある。A feature of the present invention is to provide a plastic molded box with a rotatable cover that can be quickly removed from the bottom of the box. The bottom of the box facilitates the insertion and removal of the disc carrier, and the carrier and wafer are properly positioned at an acute angle (at steep angle) to a predetermined position to allow the disc to be used. It also has the feature that the side or "green" side does not touch any part of the carrier. These features include a pre-formed sloping support wall on which only the H-bar end of the carrier rests, or a sloping foot on which the carrier feet rest and engage the locator deformation provided thereon. A large difference in height between the front latch and the rear hinge at the bottom of the box, at the bottom of the box, and a cover to evenly oppose the edge of the disc contained in the carrier There is a sloped part.
傾斜した支持壁はキャリヤのＨバー端部が支持壁へ載
るようにするが、このために、キャリヤはロボットある
いは手動によって取り外すことができるような適切な位
置に正しく配置され、ディスクのブランク面のみがキャ
リヤの離間したリブあるいは歯へ当接する状態でディス
クを保持できるようになっている。The sloping support wall allows the H-bar end of the carrier to rest on the support wall, for which the carrier is correctly positioned so that it can be removed by robot or manually, and only the blank side of the disc Can hold the disk in contact with the spaced ribs or teeth of the carrier.
傾斜した足壁もキャリヤの足と係合することによって
キャリヤを支持する。足壁のオフセット部あるいはレッ
ジ部が細長い足と直角に（transversely）当接してキャ
リヤを足壁の上へ適切に配置し、傾斜した支持壁のプリ
フォーム部とＨバー端部によって確実に係合する。The inclined foot wall also supports the carrier by engaging the carrier's feet. The offset or ledge of the foot wall will abut the elongate foot at right angles (transversely) to properly position the carrier on the foot wall and securely engage the H-bar end with the inclined support wall preform I do.
そこへカバーが係合しているボックス底部の対向する
ラッチ部とヒンジ部との間でボックス底部にかなりの高
さの違いがあり、また、キャリヤを取り出すときにキャ
リヤの移動を妨げるものがないため、キャリヤをボック
スへ挿入したりボックスから取り出すときにキャリヤを
ロボットや手動で非常に扱いやすくなっている。これら
の特徴はすべて、ディスクを貯蔵・運搬するときにそれ
らを傾斜した状態で適切に位置付けするのに大いに寄与
している。また、キャリヤ内においてスペーサリブもし
くは歯の上でのディスクの動きが最小限に抑えられ、ウ
ェハーに対して、それも特にウェハーの処理の行われる
非常に繊細な前面に対して損傷を与える可能性が極力小
さくなっている。There is a considerable height difference at the bottom of the box between the opposing latches and hinges at the bottom of the box with which the cover is engaged, and there is nothing to hinder the movement of the carrier when removing the carrier This makes it very easy to handle the carrier by robot or manually when inserting or removing the carrier from the box. All of these features contribute significantly to the proper positioning of the discs in an inclined position when storing and transporting them. Also, movement of the disk over the spacer ribs or teeth in the carrier is minimized, which can damage the wafer, especially the very delicate front surface where the processing of the wafer takes place. It is as small as possible.
図１はこの発明の装置の側部立面図であり、カバーの
開いた位置を破線で示している。FIG. 1 is a side elevational view of the device of the present invention, with the open position of the cover indicated by dashed lines.
図２はこの発明の装置の後部立面図である。 FIG. 2 is a rear elevation view of the device of the present invention.
図３はこの発明の装置の正面図であり、詳細を明かに
するために一部が切り欠いてある。FIG. 3 is a front view of the device of the present invention, partially cut away for clarity.
図４は図２及び図３の４−４線断面図である。 FIG. 4 is a sectional view taken along line 4-4 of FIGS.
図５は図４の５−５線拡大詳細断面図である。 FIG. 5 is an enlarged detailed sectional view taken along line 5-5 of FIG.
図６は図４の６−６線拡大詳細断面図である。 FIG. 6 is an enlarged detailed sectional view taken along line 6-6 of FIG.
図７は図４の７−７線拡大詳細断面図である。 FIG. 7 is an enlarged detailed sectional view taken along line 7-7 of FIG.
図８は図１の８−８線詳細断面図である。 FIG. 8 is a detailed sectional view taken along line 8-8 in FIG.
図９はヒンジアセンブリの一つの拡大詳細平面図であ
る。FIG. 9 is an enlarged detailed plan view of one of the hinge assemblies.
図10は図９の10-10線拡大詳細断面図である。 FIG. 10 is an enlarged detailed sectional view taken along line 10-10 of FIG.
図11は図９の11-11線拡大詳細断面図である。 FIG. 11 is an enlarged detailed sectional view taken along line 11-11 of FIG.
図12は図11と類似の拡大詳細断面図であるが、開いた
カバーの別の位置を示している。FIG. 12 is an enlarged detail section similar to FIG. 11, but showing another position of the open cover.
図13は図４の13-13線拡大詳細断面図である。 FIG. 13 is an enlarged detailed sectional view taken along line 13-13 of FIG.
図14はこの発明の別の実施例に対する側部立面図であ
り、カバーの別の開いた構造を示している。FIG. 14 is a side elevation view of another embodiment of the present invention, illustrating another open configuration of the cover.
図15は図14に示されているボックスの詳細断面図であ
る。FIG. 15 is a detailed sectional view of the box shown in FIG.
図16は図15の16-16線拡大詳細断面図である。 FIG. 16 is an enlarged detailed sectional view taken along line 16-16 of FIG.
図17は開いた状態にあるボックスの詳細平面図であ
り、カバーの一部が切り欠いてある。FIG. 17 is a detailed plan view of the box in the open state, with a portion of the cover cut away.
図１〜図13に示されているウェハーキャリヤ運搬用及
び貯蔵用のボックスは参照番号10によって表されてい
る。ボックス10はカーボンが充填されたポリカーボネー
トなどのプラスチックから全体が成形されており、運搬
中に生じるガタツキ（jostling）を吸収して、コンテナ
の中に収容されているウェハーキャリヤ11を損傷から保
護し、またウェハーキャリヤ11内に収容されているウェ
ハーＷを保護している。ウェハーキャリヤは図３及び図
４において点線によって表されており、またキャリヤの
一部は図５及び図13にも描かれている。ウェハーキャリ
ヤは数多くのタイプのキャリヤのうちの任意のものでよ
いが、そうしたウェハーキャリヤが米国特許第4,949,84
8号に開示されている。同じようなタイプの他のウェハ
ーキャリヤをこの明細書に開示されているボックス10に
対して使用することができる。図５に示されているよう
に、ウェハーキャリヤはウェハーＷを互いに分離するた
めにそれぞれに対するコンパートメント12を有する。ウ
ェハーキャリヤ11は多数の離間用のリブ13を有する。リ
ブ13はコンパートメントを互いに離間しておりウェハＷ
を互いに離間した状態に維持している。The box for transporting and storing wafer carriers shown in FIGS. 1 to 13 is designated by the reference numeral 10. The box 10 is entirely formed of a plastic such as polycarbonate filled with carbon, absorbs jostling generated during transportation, protects the wafer carrier 11 contained in the container from damage, Further, it protects the wafer W accommodated in the wafer carrier 11. The wafer carrier is represented by the dashed line in FIGS. 3 and 4, and a portion of the carrier is also depicted in FIGS. While the wafer carrier may be any of a number of types of carriers, such wafer carriers are disclosed in U.S. Pat. No. 4,949,843.
No. 8 is disclosed. Other wafer carriers of a similar type can be used for the box 10 disclosed herein. As shown in FIG. 5, the wafer carriers have respective compartments 12 for separating the wafers W from each other. The wafer carrier 11 has a number of separating ribs 13. The ribs 13 separate the compartments from each other and
Are kept apart from each other.
通常こうしたウェハーはシリコンから形成されている
が、ガリウムひ素から形成されていてもよく、厚みは約
0.050インチ（1.27mm）であり、直径は150mmから200mm
の間あるいはそれ以上である。こうしたウェハーが回路
あるいは回路素子に加工されると、この加工によってウ
ェハーに大きな価値が付与される。従ってウェハーに損
傷や破損が生じることは極めて重大なことであり、避け
なければならない。メモリディスクやフォトプレートは
一般にシリコンウェハーと同じ大きさを有する。この明
細書においてウェハーという言葉を使用する場合、それ
はディスクやプレート、基板、そして他の同じような形
状の物体を意味しているものとする。Typically, such wafers are formed from silicon, but may be formed from gallium arsenide and have a thickness of about
0.050 inch (1.27mm) with diameter from 150mm to 200mm
Between or more. When such a wafer is processed into circuits or circuit elements, the processing adds great value to the wafer. Therefore, damage or breakage of the wafer is extremely serious and must be avoided. Memory disks and photoplates generally have the same size as a silicon wafer. When the word wafer is used in this specification, it is intended to mean disks, plates, substrates, and other similarly shaped objects.
図４に示されているように、ウェハーキャリヤ11はボ
ックス10の支持部14が棚などの水平な面の上に載ってい
るときにはボックス10の中で傾斜した状態で支持され
る。ボックスの底部15は傾斜した底部パネル部16と傾斜
た側壁パネル部17を有することがわかろう。これらのパ
ネル部は両方ともウェハーキャリヤ11を傾斜した状態に
支持する働きを行っている。底部パネル部16はウェハー
キャリヤ11の下部あるいは足11.1を支持しており、傾斜
した側壁パネル部17はキャリヤの端壁部18を支持してい
る。キャリヤの端壁部18はキャリヤが有するＨバー端壁
である。底部パネル部16は水平方向に対して約10°の角
度で傾斜している。また、一般に垂直方向に設けられた
側壁パネル部17は垂直方向に対して約10°の角度だけ傾
斜している。底部パネル部16及び側壁パネル部17を支持
する二つのウェハーキャリヤは互いに対してほぼ直角な
方向に配置されている。底部15の傾斜した側壁パネル部
17はリセス19を有する。リセス19はキャリヤのＨバーの
端壁部18を受容するような特有の形状と構造を有する。
同様に、底部パネル部16にはオフセット部16.1が設けら
れており、キャリヤの足11.1をボックスの底部15の中の
適切な位置へガイドするようになっている。As shown in FIG. 4, the wafer carrier 11 is supported in an inclined state in the box 10 when the support portion 14 of the box 10 rests on a horizontal surface such as a shelf. It can be seen that the bottom 15 of the box has an inclined bottom panel 16 and an inclined side wall panel 17. Both of these panels function to support the wafer carrier 11 in an inclined state. The bottom panel 16 supports the lower portion or feet 11.1 of the wafer carrier 11, and the sloping side wall panel 17 supports the end wall 18 of the carrier. The end wall portion 18 of the carrier is an H-bar end wall of the carrier. The bottom panel portion 16 is inclined at an angle of about 10 ° with respect to the horizontal direction. Generally, the side wall panel portion 17 provided in the vertical direction is inclined at an angle of about 10 ° with respect to the vertical direction. The two wafer carriers supporting the bottom panel 16 and the side wall panel 17 are arranged in a direction substantially perpendicular to each other. Sloped side wall panel at bottom 15
17 has a recess 19. Recess 19 has a unique shape and structure to receive end wall 18 of the H bar of the carrier.
Similarly, the bottom panel 16 is provided with an offset 16.1 to guide the feet 11.1 of the carrier into the proper position in the bottom 15 of the box.
底部15の傾斜した側壁パネル部17は図２に示されてい
るようにボックスの幅の一部のみを構成しており、別の
パネル部20がパネル部17と協働することによってボック
スの底部15の後壁21を形成している。ボックスの底部15
の後壁21は一対のフランジあるいは細長いタブ22も形成
している。タブ22は傾斜した側壁パネル部17の上部から
離間されており、図２に示されているようにリセス24を
形成している。リセス24はロボットアーム25を受容する
ことによって、ボックスを持ち上げたりボックス全体を
傾けたりその方向を維持するようになっている。The sloping side wall panel part 17 of the bottom part 15 forms only a part of the width of the box as shown in FIG. 2, and another panel part 20 cooperates with the panel part 17 so that the bottom part of the box The rear wall 21 of 15 is formed. Box bottom 15
The rear wall 21 also forms a pair of flanges or elongated tabs 22. The tab 22 is spaced from the top of the sloping side wall panel portion 17 to form a recess 24 as shown in FIG. By receiving the robot arm 25, the recess 24 lifts the box, tilts the entire box, and maintains the direction.
ボックスの底部15はリム部26を有する。リム部26はカ
バー28のリム部27と密着した状態で相互係合する。相互
係合するリム部26,27はボックスの周辺全体にわたって
延びていて、ボックスの側部すべてにおいて互いに密接
に係合しており、カバー28が底部15の上へ緊密な状態で
閉じたときボックスの内部29を完全に閉じ込めた状態に
する。図１及び図４からわかるように、底部15のリブ部
26とボックスのカバー28のリム部27は階段形状のオフセ
ット部26.1,27.1を有しており、ラッチ30に隣接するリ
ム部26,27はヒンジアセンブリ31に隣接するボックス後
部におけるリム部とは高さが大きく異なる。The bottom 15 of the box has a rim 26. The rim portion 26 is engaged with the rim portion 27 of the cover 28 in a state of being in close contact therewith. The interengaging rims 26, 27 extend around the entire perimeter of the box and are closely engaged with each other on all sides of the box, such that when the cover 28 is closed tightly over the bottom 15 the box The inside 29 of the is completely trapped. As can be seen from FIGS. 1 and 4, the ribs on the bottom 15
26 and the rim 27 of the box cover 28 have step-shaped offset portions 26.1 and 27.1, and the rims 26 and 27 adjacent to the latch 30 are higher than the rim at the rear of the box adjacent to the hinge assembly 31. Are very different.
従って、傾斜した側壁パネル部17の上部23は後壁21上
の隆起したリム部26と非常に近接している。その結果、
カバーが図１に示されている点線の位置まで開いたと
き、ウェハーキャリヤ11はボックスの底部15のリム部26
のどの部分とも干渉（interfere）することなく、手動
あるいはロボットによって滑らかに持ち上げることがで
きる。Therefore, the upper portion 23 of the inclined side wall panel portion 17 is very close to the raised rim portion 26 on the rear wall 21. as a result,
When the cover is opened to the position shown by the dashed line in FIG. 1, the wafer carrier 11 is brought into contact with the rim 26 at the bottom 15 of the box.
Can be lifted smoothly, manually or by robot, without interfering with any part of the car.
同様に、底部15の傾斜した底部パネル部16の上部32は
ラッチ30に隣接したリム部26と非常に近接している。そ
の結果、カバーが図１に示されている位置まで開いてい
るとき、手動によってウェハーキャリヤ11を底部15から
持ち上げたり、ロボットによってウェハーキャリヤ11は
ボックスのどの部分とも干渉することなくボックスの底
部15からウェハーキャリヤを持ち上げることができる。Similarly, the upper portion 32 of the inclined bottom panel portion 16 of the bottom portion 15 is very close to the rim portion 26 adjacent to the latch 30. As a result, when the cover is open to the position shown in FIG. 1, the wafer carrier 11 can be manually lifted from the bottom 15 by a robot, or the wafer carrier 11 can be robotically moved to the bottom 15 of the box without interfering with any part of the box. Can lift the wafer carrier.
ウェハーキャリヤ11はその側壁の各々に上部フランジ
33を有する。上部フランジ33はボックスの底部15から手
動によってキャリヤを持ち上げるのに有用である。ウェ
ハーキャリヤ11は図４及び図13に示されているように、
堅固なループあるいはハンドル34も有する。ハンドル34
はロボットアームによって底部15から持ち上げられる。
カバーを開いたあと、このロボットアームは持ち上げ用
部分あるいはハンドル34の中に滑り込み、ボックス底部
からウェハーキャリヤを簡単に持ち上げられるようにな
っている。Wafer carrier 11 has an upper flange on each of its side walls
With 33. The upper flange 33 is useful for manually lifting the carrier from the bottom 15 of the box. The wafer carrier 11 is, as shown in FIGS. 4 and 13,
It also has a rigid loop or handle 34. Handle 34
Is lifted from the bottom 15 by the robot arm.
After opening the cover, the robot arm slides into the lifting section or handle 34 so that the wafer carrier can be easily lifted from the bottom of the box.
ボックスの底部15の二つの端壁35はリセス状のパネル
部36を有する。パネル部36は細長いタブあるいはフラン
ジ部37を形成している。フランジ部37はパネル部36と協
働してリセス38を形成している。リセス38はロボットア
ーム25.1の一部を受容して、閉じた状態にあるボックス
の持ち上げを容易にする。パネル部36はウェハーキャリ
ヤ11の側部と対向していて、ウェハーキャリヤの動きを
抑えている。パネル部36とリセス38は図１及び図４に示
されているように端壁35のほぼ中央に配置されており、
従ってロボットアーム25.1がリセス38の中に移動しボッ
クスを持ち上げたとき、ボックスはほぼバランスがとれ
て図に示されているように水平に維持され、キャリヤ内
のウェハーＷはガタツキがないようになる。The two end walls 35 of the bottom 15 of the box have recessed panel portions 36. The panel portion 36 forms an elongated tab or flange portion 37. The flange portion 37 forms a recess 38 in cooperation with the panel portion 36. Recess 38 receives a portion of robot arm 25.1 to facilitate lifting of the closed box. The panel 36 faces the side of the wafer carrier 11 to suppress the movement of the wafer carrier. The panel portion 36 and the recess 38 are disposed substantially at the center of the end wall 35 as shown in FIGS.
Thus, when the robot arm 25.1 moves into the recess 38 and lifts the box, the box is substantially balanced and remains horizontal as shown, and the wafer W in the carrier is free of rattling. .
ラッチ30はフック形状のキャッチ39を有する。キャッ
チ39はカバーのリム部27に設けられたキーパ40への取り
外し可能に取付けられている。ラッチ30はフレキシブル
な本体41を有する。本体41は取付け用ピン43を用いて本
体のバイト形状部へ連結されている。取付け用ピン43を
ボックスの底部15のリム部26に設けられた取付け用タブ
44から下方へ延びている。上側のタブ44及び下側のタブ
45を互いに絞ることによって、ラッチ本体を屈曲させ、
キャッチ39をキーパから持ち上げる。これとは違って、
図１に示されているようにロッド形状のペグ46をロボッ
トアーム25.2によって操作して、キャッチをキーパから
持ち上げてもよい。ラッチ30については本願出願人によ
り1991年３月20日に出願された同時係属出願第673,467
号にさらに詳しく開示されている。The latch 30 has a hook-shaped catch 39. The catch 39 is detachably attached to a keeper 40 provided on the rim 27 of the cover. Latch 30 has a flexible body 41. The main body 41 is connected to a bite-shaped portion of the main body by using a mounting pin 43. The mounting pin 43 is attached to the rim 26 on the bottom 15 of the box.
It extends downward from 44. Upper tab 44 and lower tab
By squeezing 45 together, the latch body bends,
Lift the catch 39 from the keeper. Unlike this,
As shown in FIG. 1, the rod-shaped peg 46 may be operated by the robot arm 25.2 to lift the catch from the keeper. Latch 30 is described in copending application Ser. No. 673,467 filed on Mar. 20, 1991 by the present applicant.
In more detail.
ボックスのカバー28は傾斜したパネル部47を有する。
パネル部47はウェハーキャリヤ支持用の傾斜した底部パ
ネル部16と対向しており、ウェハーを底部パネル部16上
でウェハーが動かないように保持している。傾斜したパ
ネル部47は底部パネル部16とほぼ同じ角度方向に配置さ
れており、水平に配置されたボックス支持用のパネル部
48と鋭角を形成するように配置されている。ボックスを
次々に積み重ねる場合には、同じようなボックス10がパ
ネル部48の上に載せられる。カバー28は垂直方向に延び
るネスティング用（nesting）のリブ49を有する。ボッ
クスを次々に積み重ねるとき、リブ49はパネル部16に近
接してボックス底部の下側部分の中に係合し、ボックス
同士の動きを極力抑える。The box cover 28 has an inclined panel part 47.
The panel portion 47 faces the inclined bottom panel portion 16 for supporting the wafer carrier, and holds the wafer on the bottom panel portion 16 so that the wafer does not move. The inclined panel portion 47 is arranged in substantially the same angle direction as the bottom panel portion 16, and is a panel portion for horizontally supporting a box.
It is arranged to form an acute angle with 48. When boxes are stacked one after another, a similar box 10 is placed on the panel section 48. The cover 28 has vertically extending nesting ribs 49. As the boxes are stacked one after the other, the ribs 49 engage into the lower portion of the bottom of the box adjacent the panel portion 16 to minimize movement between the boxes.
カバー部28はさらに別の拘束用の（confining）パネ
ル部50,51も有する。パネル部50,51はボックスの底部15
に設けられたウェハーキャリヤ支持用の側壁パネル部17
と対向するように配置されている。またパネル部50,51
はパネル部47とほぼ直角に配置されている。図３及び図
４に示されているように、拘束用のパネル部51はボック
スの前部にカバー28のほぼ中央に近接するように配置さ
れている。パネル部51はロボット受容用のフランジ部37
と係合し、ボックス内におけるウェハーキャリヤの動き
を最小限に抑えている。拘束用のパネル部50は中央のパ
ネル部51の両側に配置されており、ウェハーキャリヤ11
の隣接する端壁52へ密接して対向している。The cover part 28 also has further confining panel parts 50,51. Panels 50 and 51 are at the bottom of the box
Side wall panel part 17 for supporting wafer carrier provided in
And are arranged to face. Panels 50, 51
Are arranged substantially at right angles to the panel section 47. As shown in FIGS. 3 and 4, the restraining panel portion 51 is disposed at the front of the box so as to be substantially close to the center of the cover 28. Panel part 51 is a flange part 37 for receiving a robot.
To minimize movement of the wafer carrier within the box. The restraining panel portions 50 are disposed on both sides of the central panel portion 51, and the wafer carrier 11 is provided.
Is closely opposed to the adjacent end wall 52.
ウェハーキャリヤ拘束用のパネル部50,51の他に、カ
バーの前壁53はパネル部54を有する。パネル部54はカバ
ー28の側壁パネル部28.1と一体に形成されている。カバ
ー28の側壁パネル部28.1はボックスの底部のリム部26と
密接に相互係合するリム部27と一体に形成されている。In addition to the panel portions 50 and 51 for restraining the wafer carrier, the front wall 53 of the cover has a panel portion 54. The panel portion 54 is formed integrally with the side wall panel portion 28.1 of the cover 28. The side wall panel portion 28.1 of the cover 28 is integrally formed with a rim portion 27 that closely engages the rim portion 26 at the bottom of the box.
ヒンジアセンブリ31は図９〜図12に詳しく示されてい
る。The hinge assembly 31 is shown in more detail in FIGS.
図２に最もよく示されているように、二つのヒンジア
センブリ31が設けられている。二つのヒンジアセンブリ
31はボックス底部の後壁21に近接して対称に配置されて
おり、カバー部を開いた位置へ回転できるようになって
いる。As best shown in FIG. 2, two hinge assemblies 31 are provided. Two hinge assembly
Numeral 31 is symmetrically disposed near the rear wall 21 of the box bottom so that the cover can be rotated to the open position.
ヒンジアセンブリ31の各々は堅固でかつ固定された一
対のソケット部55を有する。ソケット部55はボックスの
底部15、さらに詳しくはその後壁21へ一体化されて取付
けられている。ソケット部55の各々は二つの別々の丸い
キャビティ56,57を有する。ソケット部55の各々は二つ
の別々の細長いアクセス用スロット58,59を有する。ア
クセス用スロット58,59はそれぞれ丸いソケットのキャ
ビティ56,57の中へ開口している。細長いアクセス用ス
ロット58は丸いキャビティ56の直径全体に等しい幅を有
すること、またアクセス用スロット59は丸いキャビティ
57の直径よりもかなり小さい幅を有すること、さらには
細長いアクセス用スロット59は丸いキャビティ57の中心
軸に関して非対称に配置されていることがわかろう。ア
クセス用スロット59は丸いキャビティ57の直径と平行に
延びているが、丸いキャビティ57の中心からずれてい
る。スロット59は丸いキャビティ57の半径に対して鋭角
をなして延びている。Each of the hinge assemblies 31 has a pair of rigid and fixed socket portions 55. The socket part 55 is integrally mounted on the bottom part 15 of the box, more specifically on the rear wall 21. Each of the socket portions 55 has two separate round cavities 56,57. Each of the socket portions 55 has two separate elongated access slots 58,59. The access slots 58, 59 open into the round socket cavities 56, 57, respectively. The elongated access slot 58 has a width equal to the entire diameter of the round cavity 56 and the access slot 59 has a round cavity.
It can be seen that it has a width significantly smaller than the diameter of 57, and that the elongated access slots 59 are arranged asymmetrically with respect to the central axis of the round cavity 57. The access slot 59 extends parallel to the diameter of the round cavity 57, but is offset from the center of the round cavity 57. Slot 59 extends at an acute angle to the radius of round cavity 57.
ヒンジアセンブリ31の各々は一対の挿入部60,61を有
する。挿入部60,61は後壁21及びリム部26に隣接してボ
ックスの底部15へ取付けられている。挿入部60,61は丸
いキャビティ56,57の中にそれぞれ受容される。挿入部6
0は円柱形状を有し、キャビティ56全体をほぼ占めてお
り、カバー28が図１に示されているように閉じた位置か
ら開いた位置へ回転するときカバー28を支える。挿入部
60は挿入部61がそのキャビティ57から解放されるときは
いつでもキャビティ56から持ち上げられる。Each of the hinge assemblies 31 has a pair of insertion portions 60,61. Inserts 60, 61 are attached to the bottom 15 of the box adjacent the rear wall 21 and rim 26. Inserts 60, 61 are received in round cavities 56, 57, respectively. Insertion section 6
0 has a cylindrical shape and substantially occupies the entire cavity 56 and supports the cover 28 when the cover 28 rotates from a closed position to an open position as shown in FIG. Insertion section
The 60 is lifted from the cavity 56 whenever the insert 61 is released from its cavity 57.
挿入部61は図11及び図12に示されているように、ほぼ
半円形の形状を有する。挿入部61は一つのフラットな側
部61.1と一つの丸い側部61.2を有する。側壁61.2はキャ
ビティ57の丸い形状に適合した形状を有する。側部61.2
はアクセス用スロット59よりも若干小さな幅を有しい
て、挿入部61がキャビティ57の中で適切な方向に配置さ
れるとスロットを介して持ち上げられる。The insertion portion 61 has a substantially semicircular shape as shown in FIGS. The insert 61 has one flat side 61.1 and one round side 61.2. The side wall 61.2 has a shape adapted to the round shape of the cavity 57. Side 61.2
Has a slightly smaller width than the access slot 59 and is lifted through the slot when the insert 61 is positioned in the cavity 57 in the appropriate direction.
半円形の挿入部61のカバー28に対する方向に特に留意
すべきである。アクセス用スロット59の形状及び位置と
ともに挿入部の構造はヒンジアセンブリが外れないよう
なものになっている。すなわち、挿入部61はカバー28が
図11に示されているように閉じられているときにはキャ
ビティから持ち上がらないようになっている。カバー28
が図１に示されているように文字Ｐによって表される点
線の位置へ反転しているときは、挿入部61はアクセス用
スロット59を介して外れないような状態に維持されたま
まである。なぜなら、カバー28のこの開いた位置あるい
は反転した位置においては、挿入部61はまだアクセス用
スロット59とまだ位置が揃わないからである。Particular attention should be paid to the orientation of the semicircular insert 61 relative to the cover 28. The structure of the insertion portion together with the shape and position of the access slot 59 is such that the hinge assembly does not come off. That is, the insertion portion 61 does not lift from the cavity when the cover 28 is closed as shown in FIG. Cover 28
Is inverted to the position of the dotted line represented by the letter P as shown in FIG. 1, the insertion portion 61 is maintained so as not to come off via the access slot 59. This is because at this open position or the inverted position of the cover 28, the insertion portion 61 is not yet aligned with the access slot 59.
しかし、カバー部がさらに若干回転できて図１に文字
Ａで点線で表されている別の位置、そして図12において
文字Ａで表されているカバー28の位置にあるときには、
挿入部61はアクセス用スロット59とまっすぐに位置が揃
う。従って、このとき挿入部61をソケット部55から持ち
上げることができ、カバー28をボックスの底部15から外
すことができる。However, when the cover part can be further rotated slightly and is in another position represented by the dotted line with the letter A in FIG. 1 and the position of the cover 28 represented by the letter A in FIG.
The insertion portion 61 is aligned with the access slot 59 straight. Therefore, at this time, the insertion portion 61 can be lifted from the socket portion 55, and the cover 28 can be removed from the bottom portion 15 of the box.
従って、ウェハーキャリヤ11を運搬あるいは貯蔵する
ためのボックスの通常の使用においては、カバーを図１
に示されている点線の位置まで反転して開き、ボックス
底部15を支持しているのと同じ面の上にボックスを載せ
て、ウェハーキャリヤをボックスの中に装着したり降ろ
したりすることができる。Therefore, in normal use of the box for transporting or storing the wafer carrier 11, the cover should be closed as shown in FIG.
Can be flipped open to the position shown by the dotted line, and the box can be placed on the same surface that supports the box bottom 15 and the wafer carrier can be loaded or unloaded into the box .
しかし、ボックスを使用したあとでボックスを完全に
洗浄したい場合には、カバーを別の位置Ａまで下げて取
り外し、そのあと洗浄浴槽あるいは洗浄機に入れて、ボ
ックス及びそのカバーを次の使用サイクルのために準備
する。However, if you want to completely clean the box after using it, lower the cover to another position A, remove it, put it in a washing tub or washing machine and put the box and its cover in the next cycle of use. Prepare for.
ボックス10を使用するときにとくに注目すべきこと
は、カバーを開いた位置まで回転したときに、ウェハー
キャリヤ11は手動あるいはロボットを用いてたやすく取
り上げられ、ウェハーキャリヤとボックス底部あるいは
リム部26のいかなる部分とも干渉することなくボックス
底部から滑らかに（smoothly）取り出されることであ
る。ラッチ30がカバーを解放したあと、ラッチはバイト
部42がボックス底部の隣接する部分と当接してキャッチ
39が邪魔にならない位置へ回転するまで取付け用ピン43
のまわりに下方へ回転することに注意すべきである。Of particular note when using the box 10 is that when the cover is rotated to the open position, the wafer carrier 11 is easily picked up by hand or using a robot, and the wafer carrier and the bottom or rim 26 of the box are removed. To be removed smoothly from the bottom of the box without interfering with any part. After the latch 30 releases the cover, the latch catches when the bite 42 contacts the adjacent part of the box bottom.
Mounting pin 43 until 39 rotates out of the way
Note that it rotates down around
ウェハーキャリヤを再びボックスの中に設置しなおす
ときには、ウェハーキャリヤ11を傾斜した底部パネル部
16及び側壁パネル部17の上に滑らかに係合させオフセッ
ト部16.1,17.1によってガイドする。そうすると、ウェ
ハーは図４に示されているように傾斜した位置に保持さ
れ、その結果、キャリヤ内のすべてのウェハーはリブ13
のセットの一つにもたれ掛かり、従って運搬したり貯蔵
したりするときにガタツキがないようになる。When re-installing the wafer carrier in the box, place the wafer carrier 11 on the inclined bottom panel.
It smoothly engages on the side walls 16 and the side wall panel part 17 and is guided by the offset parts 16.1 and 17.1. The wafer is then held in a tilted position as shown in FIG. 4, so that all wafers in the carrier are rib 13
Lean on one of the sets, so that there is no rattling when transporting or storing.
カバー28の前部は一対のフランジ62を有する。フラン
ジ62はカバー28を開いたり閉じたりするときにカバー28
を操作するために使用されるロボットアーム63を受容す
る。The front portion of the cover 28 has a pair of flanges 62. The flange 62 is used to open and close the cover 28 when the cover 28 is opened or closed.
Receives the robot arm 63 used to operate the.
図14〜図17に示されているボックスは参照番号70で表
わされている。ボックス70も底部71とカバー72を有す
る。底部71とカバー72は二つの部材からなるヒンジアセ
ンブリ73によって互いに連結されており、ラッチ74によ
ってラッチされる。カバー72と底部71は相互係合用のリ
ム部75,76において互いに係合している。ボックスの底
部71はその端壁77.1にリセス77を有する。リセス77はロ
ボットアームを受容してボックスを持ち上げて運ぶ。The boxes shown in FIGS. 14-17 are designated by reference numeral 70. Box 70 also has a bottom 71 and a cover 72. The bottom part 71 and the cover 72 are connected to each other by a hinge assembly 73 composed of two members, and are latched by a latch 74. The cover 72 and the bottom 71 are engaged with each other at rims 75 and 76 for mutual engagement. The bottom 71 of the box has a recess 77 in its end wall 77.1. Recess 77 receives the robot arm and lifts and carries the box.
図15に示されているように、ボックスの底部71は傾斜
した底部パネル78を有する。底部パネル部78はウェハー
キャリヤ79を傾斜した状態に支持する。ボックスの底部
71は別の傾斜したパネル部80も有する。パネル部80もウ
ェハーキャリヤの一部を傾斜した状態で支持する。この
ボックス70においては、底部パネル部78は特有の形状を
有する。底部パネル部78はウェハーキャリヤ79のＨバー
端壁を受容するためのリセス81を有する。図からわかる
ようにこの実施例においてはウェハーＷは傾斜した状態
に配置されるが、底部パネル部78とほぼ平行である。ウ
ェハーキャリヤ79の足あるいは底部79.1は傾斜した側壁
のパネル部80へ当接しており、オフセット80.1によって
側方への動きが拘束されている。As shown in FIG. 15, the bottom 71 of the box has an inclined bottom panel 78. The bottom panel portion 78 supports the wafer carrier 79 in an inclined state. Box bottom
71 also has another inclined panel section 80. The panel section 80 also supports a part of the wafer carrier in an inclined state. In this box 70, the bottom panel portion 78 has a unique shape. The bottom panel portion 78 has a recess 81 for receiving the H-bar end wall of the wafer carrier 79. As can be seen, in this embodiment, the wafer W is disposed in an inclined state, but is substantially parallel to the bottom panel portion 78. The foot or bottom 79.1 of the wafer carrier 79 abuts the panel portion 80 of the inclined side wall, and the lateral movement is restrained by the offset 80.1.
ウェハーキャリヤ79の開口した上部とその上部フラン
ジ83はボックスのヒンジアセンブリ73に近接している。
また、キャリヤの前部の端壁84と、ウェハーキャリヤが
ロボットによって扱えるようにしているロボットフラン
ジ85（図16を参照のこと）は拘束用のパネル部86と近接
している。パネル部86はカバー部72の一部である。パネ
ル部86もオフセット部86.1を有する。ウェハーキャリヤ
がそうした構造（feature）を有する場合には、オフセ
ット部86.1は図13に参照番号34によって描かれているタ
イプのロボットのハンドルを受容し拘束する。カバー72
は別の傾斜した拘束用のパネル部87を有する。パネル部
87はウェハーキャリヤの上部フランジと対向しており、
処理したり運搬したりするときにその中のウェハーが偶
然にウェハーキャリヤから出ることがないようにしてい
る。The open top of the wafer carrier 79 and its upper flange 83 are adjacent the hinge assembly 73 of the box.
An end wall 84 at the front of the carrier and a robot flange 85 (see FIG. 16) for allowing the wafer carrier to be handled by the robot are close to a restraining panel portion 86. The panel section 86 is a part of the cover section 72. Panel section 86 also has offset section 86.1. If the wafer carrier has such a feature, the offset portion 86.1 will receive and constrain the handle of a robot of the type depicted by reference numeral 34 in FIG. Cover 72
Has another inclined restraining panel portion 87. Panel section
87 faces the upper flange of the wafer carrier,
The wafers therein are prevented from accidentally leaving the wafer carrier during processing and transport.
図14において以下のことに留意すべきである。すなわ
ち、カバー72は図14において文字Ｏによって表された点
線の開いた位置まで回転するが、キャリヤの成形におい
てラッチ部及びヒンジアセンブリを単に配置しなおすこ
とによって、カバー部を図14において文字Ｎで表されて
いる反対の位置へ回転するような構造にできる。また、
図15において点線で表されているウェハーキャリヤ79
は、特許第4,949,848号に開示されているキャリヤや当
該分野の技術者によく知られた同様のキャリヤと同じよ
うなものである。The following should be noted in FIG. That is, the cover 72 rotates to the open position of the dashed line represented by the letter O in FIG. 14, but by simply repositioning the latch and hinge assembly in the molding of the carrier, the cover is designated by the letter N in FIG. It can be configured to rotate to the opposite position shown. Also,
The wafer carrier 79 represented by the dotted line in FIG.
Is similar to the carriers disclosed in US Pat. No. 4,949,848 and similar carriers well known to those skilled in the art.
図14〜図17のボックス70は図17に示されているように
細長い形状を有しており、二つのウェハーキャリヤを収
容する。二つのウェハーキャリヤはボックス底部に横に
並べて収容され、カバー72によって閉じ込められる。The box 70 in FIGS. 14-17 has an elongated shape, as shown in FIG. 17, and houses two wafer carriers. The two wafer carriers are housed side by side at the bottom of the box and are enclosed by a cover 72.
ボックス70に対するこの実施例においては、ボックス
10と同様にウェハーキャリヤは傾斜した状態に配置さ
れ、従ってウェハーはすべて傾斜していてウェハーキャ
リヤ内においてリブ79.2のセットの一つの上に載る。In this embodiment for box 70, the box
As in 10, the wafer carrier is placed in an inclined position, so that the wafers are all inclined and rest on one of the sets of ribs 79.2 in the wafer carrier.
ウェハーキャリヤはカバーを開けると手動あるいはロ
ボットを用いてボックス底部から容易に持ち上げて取り
出せる。ウェハーキャリヤがロボットによってボックス
から取り上げられるときには、ロボットはウェハーキャ
リヤの端壁84に隣接した取付け用のロボットフランジ85
と係合し、ウェハーキャリヤをボックス底部の周辺リブ
あるいはカバーのどの部分とも干渉することなく、ボッ
クス底部から滑らかに取り上げられる。同様に、ウェハ
ーキャリヤが手動によってボックスの底部71から取り上
げられる場合には、ウェハーキャリヤは両手によって取
り上げられ、ウェハーキャリヤの上部に設けられたフラ
ンジ79の上方へ上げられる。この場合にも、ウェハーキ
ャリヤはボックス底部のどの部分とも干渉することな
く、ボックス底部から滑らかに持ち上げられる。これと
は違ってある場合には、カバーを図14に示されている位
置Ｎへ回転させるようにヒンジを取付けることが好まし
い。この場合にも、ウェハーキャリヤは手動あるいはロ
ボットによって容易に取り扱うことができる。When the cover is opened, the wafer carrier can be easily lifted and removed from the bottom of the box manually or by using a robot. When the wafer carrier is picked up from the box by the robot, the robot moves the mounting robot flange 85 adjacent to the end wall 84 of the wafer carrier.
And the wafer carrier is smoothly picked up from the bottom of the box without interfering with any part of the peripheral ribs or cover at the bottom of the box. Similarly, when the wafer carrier is manually picked up from the bottom 71 of the box, the wafer carrier is picked up by both hands and raised above a flange 79 provided on the top of the wafer carrier. Also in this case, the wafer carrier is lifted smoothly from the box bottom without interfering with any part of the box bottom. If this is not the case, it is preferable to mount the hinge so that the cover is rotated to the position N shown in FIG. Also in this case, the wafer carrier can be easily handled manually or by a robot.
ウェハー及びウェハーキャリヤを貯蔵及び運搬するた
めの新しくかつ改善されたボックスが提供されているこ
とがわかろう。このボックスはウェハーキャリヤ及びそ
の中のウェハーを傾斜した状態に維持することによっ
て、またウェハーキャリヤ及びウェハーを傾斜したパネ
ルによって拘束してウェハーをボックス内に貯蔵してい
るときウェハーキャリヤ内におけるウェハーの動きを最
小限に抑えることによって、ウェハーが損傷しないよう
に安全に貯蔵する。ウェハーキャリヤは即座にかつ容易
にボックスの中に設置でき、ウェハーと干渉することな
く、あるいはウェハーに損傷を与えることなく滑らかか
つ容易に持ち上げることができる。It can be seen that a new and improved box for storing and transporting wafers and wafer carriers has been provided. This box keeps the wafer carrier and the wafers therein tilted, and the movement of the wafers in the wafer carrier when storing the wafers in the box with the wafer carrier and wafers constrained by tilted panels. Is minimized to ensure safe storage without damaging the wafer. The wafer carrier can be quickly and easily placed in the box and lifted smoothly and easily without interfering with or damaging the wafer.
この発明は発明の精神あるいは本質から逸脱すること
なく別の形で実現することが可能である。従って、上述
した実施例は単に説明のためのものであり、発明を制限
することはない。この発明の範囲に関しては上述した実
施例よりも添付の請求の範囲を参照すべきである。The present invention may be embodied in other forms without departing from the spirit or nature of the invention. Accordingly, the above-described embodiments are merely illustrative and do not limit the invention. For the scope of the invention, reference should be made to the appended claims rather than to the embodiments described above.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 エガム，ショーン・ディー アメリカ合衆国 55318 ミネソタ，チ ャスカ，ウッドクレスト・ドライブ 2491 (56)参考文献 特開 平１−268148（ＪＰ，Ａ) 特開 昭62−269819（ＪＰ，Ａ) 特開 昭59−134817（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−190471（ＪＰ，Ａ) 実開 昭61−32077（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−27732（ＪＰ，Ｕ) 実開 平２−60248（ＪＰ，Ｕ) ────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Egham, Sean Dee United States 55318 Woodcrest Drive, Minnesota, Chaska, 2491 (56) References JP-A-1-268148 (JP, A) JP-A-62- 269819 (JP, A) JP-A-59-134817 (JP, A) JP-A-61-190471 (JP, A) JP-A-61-32077 (JP, U) JP-A-2-27732 (JP, U) 2-60248 (JP, U)
Claims (18)
されているウェハーキャリヤを貯蔵・運搬するための傾
斜ボックスであって、 互いに相互係合している底部及びカバー部を有するボッ
クスを有し、前記ボックスが底部パネル部とこの底部パ
ネル部に接合された側壁パネル部を有し、前記パネル部
の一つがウェハーキャリヤの予め決められた部分へ係合
するような特有の形状を有し、前記パネル部の両方が水
平方向及び垂直方向から傾斜していて傾斜したウェハー
キャリヤの接合部を支持しており、ウェハーを動かない
ように位置付けしている傾斜ボックス。1. An inclined box for storing and transporting a wafer carrier in which wafers are housed in each compartment, said box having a bottom and a cover interengaged with each other, A box having a bottom panel portion and a side wall panel portion joined to the bottom panel portion, wherein one of the panel portions has a unique shape such that the panel portion engages a predetermined portion of a wafer carrier; An inclined box, wherein both parts are inclined from the horizontal and vertical directions to support the junction of the inclined wafer carrier and position the wafer immovably.
有し、前記パネル部の一つがウェハーキャリヤのＨ形状
の端壁部と係合するような形状を有する請求の範囲第１
項記載の傾斜ボックス。2. The wafer carrier of claim 1, wherein said wafer carrier has an H-shaped end wall and one of said panel portions is shaped to engage with the H-shaped end wall of the wafer carrier.
Item inclined box.
有し、前記側壁パネル部が前記Ｈ形状の端壁部を受容す
るような形状のリセスを有する請求の範囲第１項記載の
傾斜ボックス。3. The slope of claim 1 wherein said wafer carrier has an H-shaped end wall and said side wall panel has a recess shaped to receive said H-shaped end wall. box.
有し、前記底部パネル部が前記Ｈ形状の端壁部を受容す
るような形状のリセスを有していてウェハーが前記底部
パネルとほぼ平行な傾斜した位置に横たわる請求の範囲
第１項記載の傾斜ボックス。4. The wafer carrier has an H-shaped end wall, and the bottom panel has a recess shaped to receive the H-shaped end wall, wherein the wafer is connected to the bottom panel. 2. The tilt box of claim 1, wherein the tilt box lies in a substantially parallel tilted position.
た支持用の足を有し、前記パネル部の一つがオフセット
部を有し、前記支持用の足がパネル部を横切って移動し
ないように拘束している請求の範囲第１項記載の傾斜ボ
ックス。5. The wafer carrier has supporting feet provided at a distance, one of the panel sections has an offset section, and the supporting feet do not move across the panel section. The inclined box according to claim 1, wherein the inclined box is constrained.
けられている請求の範囲第１項記載の傾斜ボックス。6. An inclined box according to claim 1, wherein both of said panel portions are provided at the bottom of the box.
斜した側壁パネル部とに対向する拘束用のパネル部を有
し、この拘束用のパネル部の各々がそれが対向している
パネル部と同様に傾斜している請求の範囲第２項記載の
傾斜ボックス。7. The box has a restraining panel portion facing the slanted bottom panel portion and the slanted side wall panel portion, and each of the restraining panel portions has a facing panel portion. 3. The tilt box according to claim 2, which is also tilted.
けられ、ボックスのカバー部がそれぞれ傾斜した底部パ
ネル部及び傾斜した側壁パネル部と対向する拘束用のパ
ネル部を有し、この拘束用のパネル部の各々はこの拘束
用のパネル部が対向しているパネル部と同様に傾斜して
いる請求の範囲第１項記載の傾斜ボックス。8. The box portion is provided at the bottom of the box, and the cover portion of the box has a restraining panel portion facing the inclined bottom panel portion and the inclined side wall panel portion, respectively. 2. The inclined box according to claim 1, wherein each of the panel sections is inclined similarly to the panel section on which the restraining panel section faces.
ていてウェハーキャリヤの接合部を支持し抱き込んでい
る請求の範囲第１項記載の傾斜ボックス。9. An inclined box according to claim 1, wherein said panel portions are arranged substantially at right angles to each other to support and embrace a joint portion of the wafer carrier.
おり、底部が前記パネル部に近接したところにリム部を
有していて、ウェハーキャリヤをパネル部に沿って移動
し、ボックスの底部から離すことができるようになって
いる請求の範囲第１項記載の傾斜ボックス。10. The box, wherein the cover is hinged to a bottom, and the bottom has a rim adjacent to the panel, for moving the wafer carrier along the panel, from the bottom of the box. 2. The tilt box of claim 1, wherein the tilt box is detachable.
傾斜を有し、前記リム部が互いに異なる高さを有する請
求の範囲第10項記載の傾斜ボックス。11. The inclined box according to claim 10, wherein said panel portion has a different inclination with respect to a horizontal direction, and said rim portions have different heights.
下部を有し、リム部が傾斜した各パネル部の上部に隣接
している請求の範囲第11項記載の傾斜ボックス。12. The slant box of claim 11, wherein each of said slanted panel portions has an upper portion and a lower portion, and a rim portion is adjacent to an upper portion of each slanted panel portion.
たボックス支持部を有していて、その上に同じようなボ
ックスを積めるようになっている請求の範囲第１項記載
の傾斜ボックス。13. An inclined box according to claim 1, wherein said bottom and said cover have a horizontally oriented box support on which a similar box can be mounted.
壁部が互いに離間した状態で対向するフランジ部を有し
ており、このフランジ部がロボットアームを受容するた
めのリセス部を形成している特許請求の範囲第１項記載
の傾斜ボックス。14. A box having a bottom portion having a wall portion, said wall portion having a flange portion opposed to each other while being spaced apart from each other, and said flange portion forming a recess portion for receiving a robot arm. The inclined box according to claim 1, wherein
の傾斜ボックスであって、 ボックスと、 二つの部材からなる取り外し可能なヒンジアセンブリ
と、 を有し、前記ボックスが底部と、閉じた状態においてボ
ックスと相互係合するカバー部とを有し、前記カバー部
がまず反転した開いた位置まで回転したあと次に別の位
置へ回転し、前記ヒンジアセンブリが底部とカバー部と
を相互に連結していて前述した回転を可能にしており、
前記ヒンジアセンブリが組み付けられた挿入部材とソケ
ット部材を有し、挿入部材とソケット部材がカバー部の
閉じた位置と開いた位置との間において互いに対して回
転が可能であり、カバー部を前記別の位置まで回転する
と前記挿入部材とソケット部材が解放されて分離し、前
記ソケット部材が丸いソケットキャビティに通じ、この
ソケットキャビティの中心軸に関して非対称に配置され
たアクセススロットを有し、前記挿入部材がアクセスス
ロットに合わせた寸法でその中を通っている傾斜ボック
ス。15. An inclined box for storing and transporting a wafer carrier, comprising: a box; a two-piece detachable hinge assembly, wherein the box has a bottom and a box in a closed state. A cover portion interengaging with the cover portion, wherein the cover portion first rotates to an inverted open position and then to another position, and the hinge assembly interconnects the bottom portion and the cover portion. The above-mentioned rotation is enabled,
The hinge assembly has an assembled insertion member and a socket member, the insertion member and the socket member are rotatable with respect to each other between a closed position and an open position of the cover portion, and the cover portion is separated from the other. When the insertion member is rotated to the position, the insertion member and the socket member are released and separated from each other, and the socket member communicates with a round socket cavity, and has an access slot arranged asymmetrically with respect to a central axis of the socket cavity, wherein the insertion member has Inclined box that passes through it with dimensions that match the access slot.
キャビティの半径に対して鋭角を形成している請求の範
囲第15項記載の傾斜ボックス。16. The tilt box of claim 15, wherein said access slot forms an acute angle with the radius of the round socket cavity.
ビティの形状に対応した丸い側部とを有する請求の範囲
第15項記載の傾斜ボックス。17. The tilt box of claim 15, wherein said insert has a flat side and a round side corresponding to the shape of the round cavity.
スであって、前記反転して開いた位置においてカバー部
が前記支持用表面と係合し、前記別の位置においてはボ
ックスの底部が前記表面上に載った状態でカバー部が支
持表面より下方へ回転する請求の範囲第15項記載の傾斜
ボックス。18. An angled box mounted on a support surface, wherein the cover engages the support surface in the inverted open position and the bottom of the box in the alternate position. 16. The tilt box according to claim 15, wherein the cover portion rotates below the support surface while resting on the surface.
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/699,747 US5248033A (en) | 1991-05-14 | 1991-05-14 | Hinged tilt box with inclined portion |
| US699,747 | 1991-05-14 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05508748A JPH05508748A (en) | 1993-12-02 |
| JP2738780B2 true JP2738780B2 (en) | 1998-04-08 |
Family
ID=24810723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP5500022A Expired - Fee Related JP2738780B2 (en) | 1991-05-14 | 1992-04-10 | Inclined box |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5248033A (en) |
| EP (1) | EP0539574A1 (en) |
| JP (1) | JP2738780B2 (en) |
| KR (1) | KR100239967B1 (en) |
| WO (1) | WO1992021146A1 (en) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2803567B2 (en) * | 1994-05-11 | 1998-09-24 | 信越半導体株式会社 | Packaging structure for semiconductor wafer storage container |
| US5482161A (en) * | 1994-05-24 | 1996-01-09 | Fluoroware, Inc. | Mechanical interface wafer container |
| US5452801A (en) * | 1994-07-13 | 1995-09-26 | Middlesex General Industries, Inc. | Conveyor cassette for wafers |
| KR100234359B1 (en) * | 1995-07-20 | 1999-12-15 | 윤종용 | Wafer cassette having the box function |
| DE69702809T2 (en) * | 1996-04-30 | 2001-02-22 | Ibm | Containers for storing and transporting fragile objects |
| US5782356A (en) * | 1996-04-30 | 1998-07-21 | International Business Machines Corporation | Container for storing and transporting fragile objects |
| US6003674A (en) * | 1996-05-13 | 1999-12-21 | Brooks; Ray Gene | Method and apparatus for packing contaminant-sensitive articles and resulting package |
| JP3880131B2 (en) * | 1997-05-07 | 2007-02-14 | 信越ポリマー株式会社 | Substrate storage container |
| USD418977S (en) * | 1998-08-14 | 2000-01-18 | Black & Decker Inc. | Tool container |
| USD446018S1 (en) | 1998-08-14 | 2001-08-07 | Black & Decker Inc. | Tool receiving insert |
| US6405864B1 (en) | 1998-08-14 | 2002-06-18 | Black & Decker Inc. | Tool container |
| US6755302B1 (en) | 1998-08-14 | 2004-06-29 | Black & Decker Inc. | Tool container |
| US6053354A (en) * | 1998-10-09 | 2000-04-25 | Contico International, Inc. | Container with hinged lid assembly |
| USD437684S1 (en) | 1999-08-11 | 2001-02-20 | Black & Decker Inc. | Tool container |
| US7220590B2 (en) * | 2001-03-14 | 2007-05-22 | Beckman Coulter, Inc. | Conductive plastic rack for pipette tips |
| US6875282B2 (en) * | 2001-05-17 | 2005-04-05 | Ebara Corporation | Substrate transport container |
| US7175026B2 (en) | 2002-05-03 | 2007-02-13 | Maxtor Corporation | Memory disk shipping container with improved contaminant control |
| TWI283621B (en) * | 2002-12-02 | 2007-07-11 | Miraial Co Ltd | Thin plate storage container |
| TWM244573U (en) * | 2003-09-15 | 2004-09-21 | Power Geode Technology Co Ltd | Wafer box carrier |
| DE102005050158A1 (en) * | 2005-10-19 | 2007-04-26 | Manfred Jacob Kunststofftechnik Gmbh | Packaging for electronic components, in particular for notebooks |
| US8881907B2 (en) * | 2010-04-22 | 2014-11-11 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | Substrate storage container with gravity center adjustment member |
| US9278650B2 (en) * | 2013-11-04 | 2016-03-08 | Ford Global Technologies, Llc | Step pad cargo system |
Family Cites Families (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3055534A (en) * | 1957-12-03 | 1962-09-25 | Boenccke Alfred | Container |
| US3086676A (en) * | 1961-04-27 | 1963-04-23 | Ingwersen Mfg Co Inc | Receptacle |
| US3333726A (en) * | 1966-02-14 | 1967-08-01 | Foster Grant Co Inc | Hinge for container |
| JPS53116175A (en) * | 1977-03-19 | 1978-10-11 | Uni Charm Corp | Concentrating machine for products |
| JPS58158030A (en) * | 1982-03-15 | 1983-09-20 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Magnetic recording medium |
| US4450960A (en) * | 1982-08-30 | 1984-05-29 | Empak Inc. | Package |
| JPS59134817A (en) * | 1983-01-21 | 1984-08-02 | Hitachi Ltd | Case for containing jig |
| US4520925A (en) * | 1983-08-09 | 1985-06-04 | Empak Inc. | Package |
| US4493418A (en) * | 1983-08-17 | 1985-01-15 | Empak Inc. | Wafer processing cassette |
| US4609103A (en) * | 1984-08-27 | 1986-09-02 | Texas Instruments Incorporated | Semiconductor slice cassette carrier |
| JPS6176933A (en) * | 1984-09-21 | 1986-04-19 | Kyoji Sasa | Rotary aqueduct type testing method of avalanche of sand and stone, and its testing device |
| JPH0662190B2 (en) * | 1985-02-01 | 1994-08-17 | 日立東京エレクトロニクス株式会社 | Plate case storage case |
| IT1181778B (en) * | 1985-05-07 | 1987-09-30 | Dynamit Nobel Silicon Spa | CONTAINER FOR THE STORAGE AND TRANSPORT OF SILICON DISKS (SLICES) |
| US4663803A (en) * | 1986-04-15 | 1987-05-12 | Menasha Corporation | Security hinge joint with separate hinge pin |
| JPH0729693B2 (en) * | 1986-05-15 | 1995-04-05 | 三菱マテリアル株式会社 | Cassette holder |
| GB2198406B (en) * | 1986-11-26 | 1990-12-12 | Shinko Electric Co Ltd | Railway carrier apparatus for semiconductor wafers |
| US4809874A (en) * | 1988-02-26 | 1989-03-07 | Pehr Harold T | Hinged closure for containers |
| JPH01268148A (en) * | 1988-04-20 | 1989-10-25 | Nippon Steel Corp | Wafer transporting case |
| US4949848A (en) * | 1988-04-29 | 1990-08-21 | Fluoroware, Inc. | Wafer carrier |
| EP0343762A3 (en) * | 1988-05-24 | 1991-05-08 | Empak Inc. | Substrate package |
| JPH0227732A (en) * | 1988-07-15 | 1990-01-30 | Nec Corp | Method for connecting work of low resistance wiring |
| US5111936A (en) * | 1990-11-30 | 1992-05-12 | Fluoroware | Wafer carrier |
-
1991
- 1991-05-14 US US07/699,747 patent/US5248033A/en not_active Expired - Lifetime
-
1992
- 1992-04-07 EP EP92913311A patent/EP0539574A1/en not_active Withdrawn
- 1992-04-07 WO PCT/US1992/002934 patent/WO1992021146A1/en not_active Application Discontinuation
- 1992-04-10 JP JP5500022A patent/JP2738780B2/en not_active Expired - Fee Related
-
1993
- 1993-01-13 KR KR1019930700089A patent/KR100239967B1/en not_active IP Right Cessation
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR100239967B1 (en) | 2000-01-15 |
| EP0539574A1 (en) | 1993-05-05 |
| US5248033A (en) | 1993-09-28 |
| KR930701825A (en) | 1993-06-12 |
| WO1992021146A1 (en) | 1992-11-26 |
| JPH05508748A (en) | 1993-12-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2738780B2 (en) | Inclined box | |
| US5255797A (en) | Wafer carrier with wafer retaining cushions | |
| JP3017287B2 (en) | Cushion device and protective cover | |
| TW583742B (en) | Horizontal cassette | |
| US4718552A (en) | Disk shipper and transfer tray | |
| US5706946A (en) | Thin-plate supporting container | |
| KR970003729B1 (en) | Substrate package | |
| US5842575A (en) | Disk package for rotating memory disks | |
| JPH02501877A (en) | Robotic wafer transport assembly | |
| KR20100105875A (en) | Method and apparatuses for large diameter wafter handling | |
| US7048127B2 (en) | Lid unit for thin-plate holding container, thin-plate holding container, and simplified attaching/detaching mechanism | |
| JPH0640461A (en) | Box for wafer carrier | |
| JP2004515916A (en) | Wafer carrier with stacking adapter plate | |
| EP0539533B1 (en) | Single wafer robotic package | |
| WO2001001828A1 (en) | Wafer container | |
| US5368172A (en) | Table tennis paddle and ball holder | |
| EP0343762A2 (en) | Substrate package | |
| TW200523185A (en) | Shipper with tooth design for improved loading | |
| JP2004304122A (en) | Precision board storing vessel | |
| JP2908985B2 (en) | Wafer holding in wafer storage container | |
| JP3601925B2 (en) | Cassette transport cart | |
| JPS60193877A (en) | Wafer case for transport | |
| JP2002045068A (en) | Small animal-housing box | |
| JPS61190471A (en) | Housing case for tabular article | |
| JP2001072168A (en) | Storing case |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
| R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |