KR100711825B1 - 블랭크 마스크 포장용기 - Google Patents

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KR100711825B1
KR100711825B1 KR1020060078347A KR20060078347A KR100711825B1 KR 100711825 B1 KR100711825 B1 KR 100711825B1 KR 1020060078347 A KR1020060078347 A KR 1020060078347A KR 20060078347 A KR20060078347 A KR 20060078347A KR 100711825 B1 KR100711825 B1 KR 100711825B1
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남기수
차한선
양신주
양철규
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주식회사 에스앤에스텍
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Abstract

본 발명은, 블랭크 마스크의 운반시 블랭크 마스크에 외부의 이물질이 부착되지 않으며 블랭크 마스크가 외부의 충격으로부터 보호될 수 있을 뿐만 아니라 블랭크 마스크의 운반이 용이하게 이루어질 수 있도록 구조가 개선된 블랭크 마스크 포장용기에 관한 것이다. 본 발명에 따른 블랭크 마스크 포장용기는 상부가 개방되어 있는 수납부가 내부에 형성되어 있으며, 사각의 판 형상으로 이루어진 다수의 블랭크 마스크가 상기 각 블랭크 마스크의 두께 방향으로 상호 간에 일정 간격 이격되게 배치되도록 상기 수납부에 수납되는 케이스; 상기 케이스의 수납부가 폐쇄되도록 상기 케이스에 결합되는 커버; 및 상기 커버와 케이스가 결합되는 결합위치와 상기 커버와 케이스가 분리되는 분리위치 사이에서 슬라이딩 가능하도록 상기 커버 및 케이스 중 어느 하나에 결합되어, 상기 커버를 상기 케이스에 착탈 가능하게 결합시키는 슬라이딩부재;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
블랭크 마스크, 포토 마스크, 포토리소그래피

Description

블랭크 마스크 포장용기{Blankmask packing box}
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 블랭크 마스크 포장용기의 개략적인 분리사시도이다.
도 2는 도 1 에 도시된 케이스에 카세트가 결합된 상태를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
도 3은 도 1에 도시된 케이스의 바닥면을 개략적으로 나타낸 배면도이다.
도 4는 도 1의 커버의 내측면에 결합되는 상측 쿠션부재의 개략적인 사시도이다.
도 5는 도 1에 도시된 카세트의 평면도에 상측 쿠션부재를 투영시켜 얻은 개략도이다.
도 6은 도 1에 도시된 케이스에 커버가 결합된 상태를 개략적으로 나타낸 측면도이다.
도 7은 도 6의 Ⅶ-Ⅶ선 단면도이다.
도 8은 도 6의 Ⅷ-Ⅷ선 단면도이다.
도 9는 도 7의 Ⅸ-Ⅸ선 단면도이다.
도 10은 본 발명의 다른 실시예에 따른 블랭크 마스크 포장용기에 있어서 케이스 본체, 카세트 및 흡수부재의 결합상태를 개략적으로 나타낸 평면도이다.
<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>
1...블랭크 마스크 10...케이스
11...케이스 본체 12...카세트
13...상측 쿠션부재 14...흡수부재
20...커버 21...하측 쿠션부재
32...연결부재 31...제1가이드홈부
32...슬라이딩부재 33...제2가이드홈부
34...걸림턱 100...블랭크 마스크 포장용기
111...결합 돌출부 112...핸들링부
121...수납부 122...측면 돌출부
123...측면 삽입부 124...측면 접촉부
131...하면 돌출부 132...하면 삽입부
133...하면 접촉부 211...상면 돌출부
212...상면 삽입부 213...상면 접촉부
321...슬라이딩부 322...걸림부
본 발명은 블랭크 마스크 포장용기에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 복수의 블랭크 마스크를 포장하여 운반하기 위한 블랭크 마스크 포장용기에 관한 것이 다.
블랭크 마스크는 포토리소그래피(Photolithography) 공정시 사용되는 포토 마스크의 원재료로서 널리 사용되고 있다. 이러한 블랭크 마스크는 일반적으로 바이너리 블랭크 마스크와 위상반전 블랭크 마스크로 분류된다. 바이너리 블랭크 마스크는 투명기판 위에 차광막, 반사방지막 및 레지스트막이 순차적으로 적층되어 형성되며, 위상반전 블랭크 마스크는 투명기판 위에 위상반전막, 차광막, 반사방지막 및 레지스트막이 순차적으로 적층되어 형성된다.
블랭크 마스크는 일반적으로 블랭크 마스크 제조사에서 제조된 후 포토 마스크 제조사로 운반되어 포토 마스크 제조에 사용된다. 따라서, 품질이 우수한 포토 마스크를 제조하기 위해서는 그 원재료인 블랭크 마스크가 고품질 상태가 유지되도록 운반되어야 한다. 예를 들어, 블랭크 마스크의 운반시 이물질이 블랭크 마스크에 부착되지 않게 하고 운반시 발생하는 충격으로부터 블랭크 마스크가 파손되지 않도록 보호해야 한다. 특히, 미세 패턴을 형성하기 위해서 포토 마스크의 원재료인 블랭크 마스크에 이물질이 부착되는 것을 최소화시키는 것이 블랭크 마스크의 제조 과정 뿐만 아니라 운반 과정에서도 필수적으로 요구되고 있다.
상술한 바와 같은 이유로, 블랭크 마스크를 고품질 상태로 운반하는데 적합한 블랭크 마스크 포장용기에 대한 개발 필요성이 대두되고 있다.
본 발명의 목적은, 블랭크 마스크의 운반시 블랭크 마스크에 외부의 이물질이 부착되지 않으며 블랭크 마스크가 외부의 충격으로부터 보호될 수 있을 뿐만 아 니라 블랭크 마스크의 운반이 용이하게 이루어질 수 있도록 구조가 개선된 블랭크 마스크 포장용기를 제공하는 것이다.
상기 목적을 달성하기 위해, 본 발명에 따른 블랭크 마스크 포장용기는 상부가 개방되어 있는 수납부가 내부에 형성되어 있으며, 사각의 판 형상으로 이루어진 다수의 블랭크 마스크가 상기 각 블랭크 마스크의 두께 방향으로 상호 간에 일정 간격 이격되게 배치되도록 상기 수납부에 수납되는 케이스; 상기 케이스의 수납부가 폐쇄되도록 상기 케이스에 결합되는 커버; 및 상기 커버와 케이스가 결합되는 결합위치와 상기 커버와 케이스가 분리되는 분리위치 사이에서 슬라이딩 가능하도록 상기 커버 및 케이스 중 어느 하나에 결합되어, 상기 커버를 상기 케이스에 착탈 가능하게 결합시키는 슬라이딩부재;를 구비하는 것을 특징으로 한다.
이하, 본 발명에 따른 바람직한 실시예들을 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 블랭크 마스크 포장용기의 개략적인 분리사시도이며, 도 2는 도 1에 도시된 케이스에 카세트가 결합된 상태를 개략적으로 나타낸 평면도이며, 도 3은 도 1에 도시된 케이스의 바닥면을 개략적으로 나타낸 배면도이며, 도 4는 도 1의 커버의 내측면에 결합되는 상측 쿠션부재의 개략적인 사시도이며, 도 5는 도 1에 도시된 카세트의 평면도에 상측 쿠션부재를 투영시켜 얻은 개략도이다.
도 1 내지도 5를 참조하면, 본 실시예의 블랭크 마스크 포장용기(100)는 케 이스(10)와, 커버(20)와, 결합수단을 구비한다.
상기 케이스(10)는 케이스 본체(11)와, 카세트(12)를 구비한다.
상기 케이스 본체(11)는 전체적으로 박스 형상으로 이루어져 있으며, 결합 돌출부(111)와, 핸들링부(112)를 구비한다. 결합 돌출부(111)는 케이스 본체(11)의 바닥면에 돌출되게 4개 형성되어 있다. 핸들링부(112)는 케이스 본체(11)의 양 측면에 각각 형성되어 케이스 본체(11)의 운반시 운반자가 잡기 위한 부분이다. 핸들링부(112)는 운반자의 손가락이 삽입 가능한 홈 형상으로 이루어져 있다.
상기 카세트(12)는 전체적으로 박스 형상으로 이루어져 있으며, 케이스 본체(11)의 내부에 설치된다. 카세트(12)의 내부에는 상부가 개방되어 있는 수납부(121)가 형성되어 있다. 수납부(121)에는 사각의 판 형상으로 이루어진 다수의 블랭크 마스크(1)가 수납되어, 도 2에 도시되어 있는 바와 같이 각 블랭크 마스크(1)의 두께 방향(T)으로 상호 간에 일정 간격 이격되게 배치된다.
카세트(12)의 내측면 중 서로 마주하는 한 쌍의 내측면, 예를 들어 도 2에 도시된 좌측 내측면 및 우측 내측면 각각에는 복수의 측면 돌출부(122)가 형성되어 있다. 각 측면 돌출부(122)는 좌측 내측면 또는 우측 내측면에 대해 돌출되게 형성되어 있으며, 상하방향(UN)으로 길게 형성되어 있다. 또한, 각 측면 돌출부(122)는 수납부(121)의 중심쪽으로 볼록하게 형성된 곡면 형상으로 이루어져 있어, 블랭크 마스크(1)의 표면과 접촉하지 않는다. 본 실시예에 있어서, 각 측면 돌출부(122)의 상하방향에 대해 수직인 평면에 대한 임의의 단면은 반원 형상으로 이루어져 있다. 카세트(12)의 좌측 내측면 또는 우측 내측면에 형성된 복수의 측 면 돌출부(122)는 블랭크 마스크의 배치방향(T)으로 상호 간에 일정 간격 이격되게 형성되어 있다. 그리고, 카세트(12)의 좌측 내측면에 형성된 측면 돌출부(122)들과 카세트의 우측 내측면에 형성된 측면 돌출부(122)들은 서로 일대일로 대응되게 형성되어 있을 뿐만 아니라 서로 마주하고 있다.
카세트의 좌측 내측면에 형성된 측면 돌출부 중 서로 인접한 측면 돌출부(122) 사이마다, 블랭크 마스크(1)의 좌측 가장자리가 삽입되는 측면 삽입부(123)가 형성되어 있다. 마찬가지로, 카세트의 우측 내측면에도 측면 돌출부(122) 사이마다 블랭크 마스크(1)의 우측 가장자리가 삽입되는 측면 삽입부(123)가 형성되어 있다. 또한, 카세트(12)의 좌측 내측면에 형성된 서로 인접한 측면 돌출부(122) 사이마다, 블랭크 마스크(1)의 측면과 동일한 폭을 가지는 측면 접촉부(124)가 형성되어 있으며, 마찬가지로 카세트의 우측 내측면에도 측면 접촉부(124)가 형성되어 있다. 블랭크 마스크(1)를 하방으로 삽입하는 경우에, 블랭크 마스크의 양측 가장자리는 서로 마주하는 한 쌍의 측면 삽입부(123)에 삽입되며 블랭크 마스크의 양 측면은 서로 마주하는 한 쌍의 측면 접촉부(124)에 접촉하게 된다. 이 때에, 각 측면 돌출부(122)는 반원의 곡면 형상으로 이루어져 있어서, 블랭크 마스크(1)의 표면, 즉 정면 및 배면과 접촉하지 않고 블랭크 마스크의 모서리와 접촉하게 된다.
또한, 카세트(12)의 내측 바닥면에는 한 쌍의 하측 쿠션부재(13)가 설치되어 있다. 각 하측 쿠션부재(13)에는 블랭크 마스크의 배치방향(T)으로 상호 간에 일정 간격 이격되게 배치된 하면 돌출부(131)가 형성되어 있다. 각 하면 돌출 부(131)는 상방으로 볼록한 곡면 형상으로 이루어져 있어, 블랭크 마스크(1)의 표면과 접촉하지 않는다. 본 실시예에 있어서, 각 하면 돌출부(131)의 좌우방향에 대해 수직인 평면에 대한 임의의 단면은 반원 형상으로 이루어져 있다. 서로 인접한 하면 돌출부(131) 사이마다, 각 블랭크 마스크의 하측 가장자리 일부가 삽입되는 하면 삽입부(132)와, 블랭크 마스크의 하측면과 동일한 폭을 가지는 하면 접촉부(133)가 형성되어 있다. 블랭크 마스크(1)의 삽입시, 블랭크 마스크(1)의 하측 가장자리 일부는 한 쌍의 하면 삽입부(132)에 삽입되며 블랭크 마스크의 하측면 일부는 한 쌍의 하면 접촉부(133)에 접촉하게 된다. 이 때에, 각 하면 돌출부(131)는 반원의 곡면 형상으로 이루어져 있어서, 블랭크 마스크의 표면, 즉 정면 및 배면과 접촉하지 않고 블랭크 마스크의 모서리 일부와 접촉하게 된다.
상기 커버(20)는 상기 케이스 본체(11)에 결합되어 상기 카세트의 수납부(121)를 폐쇄한다. 커버(20)와 케이스 본체(11)의 결합시, 커버(20)의 하측 에지부 전체와 케이스 본체(11)의 상측 에지부 전체는 서로 접촉한다. 카세트의 수납부(121)가 밀폐되게 형성되도록 하기 위해서, 커버(20)의 하측 에지부와 케이스 본체(11)의 상측 에지부 사이에 오링 등과 같은 밀폐부재(미도시)가 개재되는 것이 바람직하다.
커버(20)의 내측면에는 한 쌍의 상측 쿠션부재(21)가 서로 나란하게 결합되어 있다. 한 쌍의 상측 쿠션부재(21)는 한 쌍의 연결부재(22)에 의해 연결되어 있다. 각 상측 쿠션부재(21)에는 블랭크 마스크의 배치방향(T)으로 상호 간에 이격되게 배치된 복수의 상면 돌출부(211)가 형성되어 있다. 각 상면 돌출부(211)는 하방으로 볼록한 곡면 형상으로 이루어져 있어, 블랭크 마스크(1)의 표면과 접촉하지 않는다. 상면 돌출부(211) 사이에는, 블랭크 마스크(1)의 상측 가장자리 일부가 삽입되는 상면 삽입부(212)와, 블랭크 마스크의 상측면과 동일한 폭을 가지는 상면 접촉부(213)가 형성되어 있다. 특히, 본 실시예에 있어서, 서로 인접한 상면 삽입부(212) 사이에는 한 쌍의 상면 돌출부(211)가 배치되어 있다. 블랭크 마스크(1)가 카세트(12)에 삽입된 상태에서 커버(20)를 케이스 본체(11)에 결합하는 경우에, 블랭크 마스크의 상측 가장자리 일부는 상측 쿠션부재의 상면 삽입부(212)에 삽입되며 블랭크 마스크의 상측면 일부는 상면 접촉부(213)에 접촉하게 된다. 이 때에, 각 상면 돌출부(211)는 하방으로 볼록한 곡면 형상으로 이루어져 있어서, 블랭크 마스크(1)의 표면, 즉 정면 및 배면과 접촉하지 않고 블랭크 마스크(1)의 모서리 일부와 접촉하게 된다.
그리고, 각 측면 삽입부(123) 및 상면 삽입부(212)는 도 5에 도시되어 있는 바와 같이 배치되어 있어, 측면 삽입부(123)에 삽입된 블랭크 마스크(1)의 상측 가장자리가 상면 삽입부(212)에 삽입되도록 할 수 있게 된다.
상기 커버(20)의 상면에는 상기 케이스 본체의 각 결합 돌출부(111)와 대응되는 위치에 각 결합 돌출부(111)가 삽입 가능한 결합 홈부(201)가 형성되어 있다. 따라서, 다수의 블랭크 마스크 포장용기(100)를 상하방향으로 적층하는 경우에는, 각 결합 돌출부(111)를 각 결합 홈부(201)에 삽입하기만 하면 다수의 포장용기(100)를 상하방향으로 용이하게 적층할 수 있게 된다.
상기 케이스 본체(11), 카세트(12), 커버(20) 및 쿠션부재(13,21)들은 각각 폴리프로필렌, 폴리카보네이트, 폴리에스테르, 폴리아미드 등 중 어느 하나로 제조된다. 특히, 카세트(12) 및 쿠션부재(13,21)들은 블랭크 마스크(1)를 충격으로부터 보호할 수 있는 충격 흡수성 소재, 예를 들어 폴리에스테르 등으로 이루어지는 것이 바람직하다.
상기 결합수단은 상기 커버(20)를 상기 케이스 본체(11)에 착탈 가능하게 결합시킨다. 결합수단은 제1가이드홈부(31)와, 슬라이딩부재(32)와, 제2가이드홈부(33)를 구비한다.
상기 제1가이드홈부(31)는 케이스 본체(11)의 양 측 단부에 각각 일방향으로 길게 형성되어 있다. 본 실시예에 있어서, 각 제1가이드홈부(31)는 블랭크 마스크의 배치방향에 수직인 방향, 즉 좌우방향(LR)으로 길게 형성되어 있다.
상기 슬라이딩부재(32)는 상기 커버(20) 및 케이스 본체(11)중 어느 하나에 결합되는데, 본 실시예에 있어서는 케이스 본체(11)의 양 측 단부에 각각 결합되어 있다. 각 슬라이딩부재(32)는 슬라이딩부(321)와, 걸림부(322)를 가진다. 슬라이딩부(321)는 상기 일방향(T)으로 길게 형성되어 있다. 슬라이딩부(321)는 제1가이드홈부(31)에 끼워져 제1가이드홈부의 길이방향으로 슬라이딩 가능하다. 걸림부(322)는 슬라이딩부(321)가 제1가이드홈부(31)에 끼워진 상태에서 케이스 본체(11)의 측면에 형성된 걸림턱(34)에 걸려서, 슬라이딩부재(32)가 슬라이딩부의 끼움방향과 반대방향으로 분리되는 것이 방지된다. 도 7에 도시되어 있는 바와 같이 케이스의 걸림턱(34)은 하방을 향하고 있으며, 제1가이드홈부(31)는 상방을 향하도록 형성되어 있다.
상기 제2가이드홈부(33)는 커버(20)의 양 측 단부에 각각 형성되어 있다. 각 제2가이드홈부(33)는, 커버(20)와 케이스 본체(11)의 결합시 케이스 본체의 각 제1가이드홈부(31)와 연결된다. 따라서, 커버(20)와 케이스 본체(11)의 결합시 각 슬라이딩부재의 슬라이딩부(321)가 슬라이딩되어 각 제2가이드홈부(33)에 끼워질 수 있게 된다.
슬라이딩부재(32)는 결합위치와, 분리위치 사이에서 슬라이딩 가능하다. 도 6에 실선으로 도시된 결합위치에서는, 도 7 및 도 8에 도시되어 있는 바와 같이 각 슬라이딩부재의 슬라이딩부(321)가 제1가이드홈부(31) 및 제2가이드홈부(32)에 모두 끼워지고 각 슬라이딩부재의 걸림부(322)가 케이스의 걸림턱(34)에 걸리게 되어, 커버(20)가 케이스 본체(11)와 결합되어 커버의 결합방향과 반대방향으로 분리되지 않게 된다. 도 6에 가상선으로 도시된 분리위치에서, 각 슬라이딩부재의 슬라이딩부(321)가 제1가이드홈부(31)에만 끼워지고 제2가이드홈부(33)에 끼워지지 않은 상태에 있게 되므로 커버(20)를 케이스 본체(11)로부터 분리할 수 있게 된다. 이와 같이, 본 실시예에 있어서는 케이스 본체(11)에 커버(20)를 덮은 후에, 각 슬라이딩부재(32)를 슬라이딩시켜 결합위치에 위치시키기만 하면 커버(20)와 케이스 본체(11)를 결합할 수 있게 되며, 커버(20)를 분리하기 위해서는 슬라이딩부재(32)를 슬라이딩시켜 분리위치에 위치시키기만 하면 되므로, 커버(20)와 케이스 본체(11)의 결합 및 분리가 용이하게 된다. 또한, 슬라이딩부재(32)의 슬라이딩에 의해 커버(20)를 결합 및 분리시킬 수 있게 되므로, 케이스 본체(11)에 수납된 블랭크 마스크(1)에 충격이 가해지지 않게 되어 블랭크 마스크를 보호할 수 있을 뿐 만 아니라 카세트의 수납부(121)에 잔존하는 이물질이 블랭크 마스크(1)에 부착되는 것도 방지할 수 있게 된다.
상술한 바와 같이, 본 실시예에 있어서는 복수의 블랭크 마스크(1) 각각의 가장자리를 측면 삽입부(123) 및 하면 삽입부(132)에 삽입시킴으로써 복수의 블랭크 마스크를 카세트의 수납부(121)에 용이하게 고정시킬 수 있게 된다. 그리고, 커버(20)를 케이스 본체(11)에 결합하여 상측 쿠션부재의 상면 삽입부(212)에 블랭크 마스크의 상측 가장자리를 삽입한 후에, 슬라이딩부재(32)를 결합위치로 슬라이딩시키기만 하면 수납부(121)를 폐쇄시킬 수 있게 되므로, 외부의 이물질이 수납부로 유입되어 블랭크 마스크(1)를 오염시키는 것을 방지할 수 있게 된다. 그리고, 블랭크 마스크(1)의 모서리만이 측면 돌출부(122), 하면 돌출부(131) 및 상면 돌출부(211)에 접촉하며 블랭크 마스크(1)의 표면이 카세트(12)의 내측면 어느 부분도 접촉하지 않게 되므로, 블랭크 마스크(1)의 수납 과정에서 블랭크 마스크의 표면이 손상되는 것을 방지할 수 있게 된다.
또한, 본 실시예에 있어서는 슬라이딩부재(32)를 부드럽게 슬라이딩시킴으로써 커버(20)와 케이스 본체(11)를 결합 및 분리할 수 있게 되므로, 결합 및 분리 과정에서 케이스(10)에 충격이 가해지는 것을 방지할 수 있게 된다. 따라서, 비록 카세트 본체의 수납부(121)에 이물질이 잔존하는 경우라도 충격에 의해 이물질이 블랭크 마스크(1)에 부착되는 것을 방지할 수 있게 된다. 또한, 블랭크 마스크가 충격 흡수성 소재로 이루어진 카세트(12) 및 쿠션부재(13,21)들에 의해 지지되므로, 블랭크 마스크(1)가 외부의 충격에 의해 파손되는 것을 방지할 수 있게 된다.
그리고, 다수의 블랭크 포장용기(100)를 적층하는 경우에, 케이스 본체의 바닥면에 형성된 결합 돌출부(111)들을 커버의 상면에 형성된 결합 홈부(201)들을 삽입하기만 하면 포장용기들을 용이하게 적층할 수 있게 되며, 나아가 적층된 포장용기(100)들이 좌우방향으로 분리되지 않도록 견고하게 고정된다.
또한, 케이스 본체의 핸들링부(112)를 잡고 블랭크 마스크 포장용기(100)를 운반함으로써, 그 포장용기의 운반이 용이하게 이루어질 수 있게 된다.
한편, 본 실시예에 있어서는 카세트의 수납부에 잔존하는 수분이나 아웃가스를 제거하기 위하여 어떠한 구성요소도 구비되어 있지 않으나, 도 10에 도시되어 있는 바와 같이 케이스 본체(11)의 내측면과 카세트(12)의 외측면 사이에 흡수부재(14)가 개재되도록 구성할 수 있다. 흡수부재(14)는 친수성 제올라이트(zeolite) 또는 실리카겔(silica gel) 등으로 이루어져 있어서, 수분 및/또는 아웃가스(outgas)를 흡수한다. 따라서, 블랭크 마스크를 포장용기에 장기간 보관하는 경우에도 블랭크 마스크의 품질을 최상의 상태로 유지할 수 있게 된다.
이상, 본 발명을 바람직한 실시예들을 들어 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예들에 한정되지 않으며, 본 발명의 기술적 사상 내에서 당 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 많은 변형이 가능함은 명백하다.
상기한 구성의 본 발명에 따르면, 외부의 이물질이 수납부로 유입되어 블랭크 마스크를 오염시키는 것을 방지할 수 있으며, 나아가 블랭크 마스크의 수납 과정에서 블랭크 마스크의 표면이 손상되는 것을 방지할 수 있다. 또한, 커버와 케 이스의 결합 및 분리 과정에서 케이스에 충격이 가해지는 것을 방지할 수 있게 되므로, 비록 카세트의 수납부에 이물질이 잔존하는 경우라도 충격에 의해 이물질이 블랭크 마스크에 부착되는 것을 방지할 수 있게 된다.

Claims (9)

  1. 삭제
  2. 상부가 개방되어 있는 수납부가 내부에 형성되어 있으며, 사각의 판 형상으로 이루어진 다수의 블랭크 마스크가 상기 각 블랭크 마스크의 두께 방향으로 상호 간에 일정 간격 이격되게 배치되도록 상기 수납부에 수납되는 케이스;
    상기 케이스의 수납부가 폐쇄되도록 상기 케이스에 결합되는 커버; 및
    상기 커버와 케이스가 결합되는 결합위치와 상기 커버와 케이스가 분리되는 분리위치 사이에서 슬라이딩 가능하도록 상기 커버 및 케이스 중 어느 하나에 결합되어, 상기 커버를 상기 케이스에 착탈 가능하게 결합시키는 슬라이딩부재;를 구비하며,
    상기 케이스에는, 제1가이드홈부가 일방향으로 길게 형성되어 있으며,
    상기 커버에는, 상기 커버와 케이스의 결합시 상기 제1가이드홈부와 연결되는 제2가이드홈부가 형성되어 있으며,
    상기 슬라이딩부재는 상기 제1가이드홈부의 길이방향으로 슬라이딩 가능하도록 상기 제1가이드홈부에 끼워지는 슬라이딩부와, 상기 슬라이딩부재가 상기 슬라이딩부의 끼움방향과 반대방향으로 분리되는 것이 방지되도록 상기 케이스에 걸리는 걸림부를 가지며,
    상기 결합위치에서, 상기 슬라이딩부가 상기 제1가이드홈부 및 제2가이드홈부에 끼워지고 상기 걸림부가 상기 케이스에 걸려서 상기 커버가 상기 커버의 결합방향과 반대방향으로 분리되는 것이 방지되며,
    상기 분리위치에서, 상기 슬라이딩부가 상기 제1가이드홈부에만 끼워져서 상기 커버가 상기 케이스로부터 분리 가능한 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크 포장용기.
  3. 삭제
  4. 상부가 개방되어 있는 수납부가 내부에 형성되어 있으며, 사각의 판 형상으로 이루어진 다수의 블랭크 마스크가 상기 각 블랭크 마스크의 두께 방향으로 상호 간에 일정 간격 이격되게 배치되도록 상기 수납부에 수납되는 케이스;
    상기 케이스의 수납부가 폐쇄되도록 상기 케이스에 결합되는 커버; 및
    상기 커버와 케이스가 결합되는 결합위치와 상기 커버와 케이스가 분리되는 분리위치 사이에서 슬라이딩 가능하도록 상기 커버 및 케이스 중 어느 하나에 결합되어, 상기 커버를 상기 케이스에 착탈 가능하게 결합시키는 슬라이딩부재;를 구비하며,
    상기 케이스는 케이스 본체와, 상기 케이스 본체의 내부에 설치되며 상기 수납부가 형성된 카세트를 구비하며,
    상기 카세트의 내측면 중 서로 마주하는 한 쌍의 내측면 각각에는, 상기 블랭크 마스크의 배치방향으로 상호 간에 이격되게 배치되며 상기 내측면에 대해 각각 돌출된 복수의 측면 돌출부가 형성되어 있으며,
    상기 측면 돌출부 사이에는, 상기 각 블랭크 마스크의 양측 가장자리가 각각 삽입되는 측면 삽입부가 형성되어 있으며,
    상기 카세트의 내측 바닥면에는 하측 쿠션부재가 결합되어 있으며,
    상기 하측 쿠션부재에는, 상기 블랭크 마스크의 배치방향으로 상호 간에 이격되게 배치된 복수의 하면 돌출부가 형성되어 있으며,
    상기 하면 돌출부 사이에는, 상기 각 블랭크 마스크의 하측 가장자리가 삽입되는 하면 삽입부가 형성되어 있으며,
    상기 커버의 내측면에는 상측 쿠션부재가 결합되어 있으며,
    상기 상측 쿠션부재에는, 상기 블랭크 마스크의 배치방향으로 상호 간에 이격되게 배치된 상면 돌출부가 형성되어 있으며,
    상기 상면 돌출부 사이에는, 상기 각 블랭크 마스크의 상측 가장자리가 삽입되는 상면 삽입부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크 포장용기.
  5. 제 4항에 있어서,
    상기 각 측면 돌출부는 상하방향으로 길게 형성되어 있으며,
    상기 각 측면 돌출부는 상기 블랭크 마스크의 표면과 접촉하지 않도록 상기 수납부의 중심쪽으로 볼록하게 형성된 곡면 형상으로 이루어져 있으며,
    상기 각 하면 돌출부는 상기 블랭크 마스크의 표면과 접촉하지 않도록 상방으로 볼록하게 형성된 곡면 형상으로 이루어져 있으며,
    상기 각 상면 돌출부는 상기 블랭크 마스크의 표면과 접촉하지 않도록 하방으로 볼록하게 형성된 곡면 형상으로 이루어져 있으며,
    상기 쿠션부재는 한 쌍이 구비되어 서로 나란하게 배치되어 있으며,
    상기 각 블랭크 마스크의 모서리가 상기 측면 돌출부, 하면 돌출부 및 상면 돌출부와 접촉하여, 상기 각 블랭크 마스크가 상기 수납부에 고정되는 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크 포장용기.
  6. 상부가 개방되어 있는 수납부가 내부에 형성되어 있으며, 사각의 판 형상으로 이루어진 다수의 블랭크 마스크가 상기 각 블랭크 마스크의 두께 방향으로 상호 간에 일정 간격 이격되게 배치되도록 상기 수납부에 수납되는 케이스;
    상기 케이스의 수납부가 폐쇄되도록 상기 케이스에 결합되는 커버; 및
    상기 커버와 케이스가 결합되는 결합위치와 상기 커버와 케이스가 분리되는 분리위치 사이에서 슬라이딩 가능하도록 상기 커버 및 케이스 중 어느 하나에 결합되어, 상기 커버를 상기 케이스에 착탈 가능하게 결합시키는 슬라이딩부재;를 구비하며,
    상기 케이스는 케이스 본체와, 상기 케이스 본체의 내부에 설치되며 상기 수납부가 형성된 카세트를 구비하며,
    상기 카세트의 내측면 중 서로 마주하는 한 쌍의 내측면 각각에는, 상기 블랭크 마스크의 배치방향으로 상호 간에 이격되게 배치되며 상기 내측면에 대해 각각 돌출된 복수의 측면 돌출부가 형성되어 있으며,
    상기 측면 돌출부 사이에는, 상기 각 블랭크 마스크의 양측 가장자리가 각각 삽입되는 측면 삽입부가 형성되어 있으며,
    상기 케이스 본체의 내측면과 상기 카세트의 외측면 사이에는, 수분 또는 아웃가스 또는 수분과 아웃가스 모두를 흡수하는 흡수부재가 개재되어 있는 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크 포장용기.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 흡수부재는 친수성 제올라이트 또는 실리카겔로 이루어져 있는 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크 포장용기.
  8. 상부가 개방되어 있는 수납부가 내부에 형성되어 있으며, 사각의 판 형상으로 이루어진 다수의 블랭크 마스크가 상기 각 블랭크 마스크의 두께 방향으로 상호 간에 일정 간격 이격되게 배치되도록 상기 수납부에 수납되는 케이스;
    상기 케이스의 수납부가 폐쇄되도록 상기 케이스에 결합되는 커버; 및
    상기 커버와 케이스가 결합되는 결합위치와 상기 커버와 케이스가 분리되는 분리위치 사이에서 슬라이딩 가능하도록 상기 커버 및 케이스 중 어느 하나에 결합되어, 상기 커버를 상기 케이스에 착탈 가능하게 결합시키는 슬라이딩부재;를 구비하며,
    상기 커버의 상면 및 상기 케이스의 바닥면 중 어느 하나의 면에는 상기 어느 하나의 면에 대해 돌출된 결합 돌출부가 형성되어 있으며,
    상기 커버의 상면 및 상기 케이스의 바닥면 중 다른 하나의 면에는 상기 결합 돌출부가 삽입 가능한 결합 홈부가 형성되어 있는 것을 특징으로 하는 블랭크 마스크 포장용기.
  9. 삭제
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CN113320830A (zh) * 2021-05-08 2021-08-31 上海传芯半导体有限公司 一种存放掩膜基版的包装盒子

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KR20050057661A (ko) * 2002-10-17 2005-06-16 가부시키가이샤 다이하치카세이 웨이퍼 등의 정밀 기판 수용 용기

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