KR101141484B1 - 기판수납용기, 마스크 블랭크 수납체 및 전사 마스크 수납체 - Google Patents

기판수납용기, 마스크 블랭크 수납체 및 전사 마스크 수납체 Download PDF

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Abstract

본 발명은, 마스크 블랭크, 전사 마스크 등의 막이 부착된 유리기판의 외주단면이 삽입유지되는 기판수납용기의 홈의 단면형상을 개량하여, 기판표면에 형성되어 있는 막이 홈측면에 간섭하여 박리되는 등의 폐해가 발생하지 않도록 하는 것이다.
마스크 블랭크 수납체(1)는, 마스크 블랭크(10)가 수납용기(20)에 밀폐상태로 수납된 구성으로 되어 있다. 수납용기(20)의 용기본체(30)의 좌우 및 바닥에는 마스크 블랭크(10)의 좌우 및 하측의 외주단면(11b)이 수납유지되어 있는 유지홈(43, 45)이 형성되어 있으며, 유지홈(43(45))은, 홈바닥면(43a(45a))과 홈측면(43b, 43c(45b, 45c))의 들어간 모서리의 각도(θa, θb)를 적절히 설정함으로써, 상기 홈측면이 마스크 블랭크(10)의 차광막 및 레지스트막의 단부(14)에 간섭하지 않도록 되어 있다.

Description

기판수납용기, 마스크 블랭크 수납체 및 전사 마스크 수납체{HOUSING CONTAINER OF SUBSTRATE, MASK BLANK STORING BODY AND TRANSFER MASK STORING BODY}
본 발명은, 유리기판의 표면에 차광막 및 레지스트막이 적층된 구성의 마스크 블랭크, 패터닝된 차광막이 적층되어 있는 전사 마스크 등의 막이 부착된 유리기판을 반송하기 위해 이용되는 기판수납용기에 관한 것이다.
마스크 블랭크, 전사 마스크 등의 기판은 일반적으로 기계적으로 취약하며, 그 용도상, 미세한 티끌 등이 표면에 부착되지 않도록 관리할 필요가 있다. 이러한 기판을 출하할 때에는, 먼지 등이 침입하지 않도록 밀폐상태의 용기에 기판을 수납할 필요가 있다. 또한, 표면을 손상시키지 않도록, 기판의 외주 가장자리부분만을 유지한 상태로 기판을 수납할 필요가 있다.
특허문헌 1에는, 대형 크기의 기판(대형 정밀시트형상 (반(半))제품)을 세로로 놓은 상태로 밀폐수납하기 위한 종형(縱型) 용기가 제안되어 있다. 상기 종형 용기에서는, 지지부재 및 한쌍의 유지부재에 각각 형성되어 있는 지지용 홈 및 한 쌍의 유지용 홈에 의해, 용기내에서 세로로 놓은 상태의 기판 하측의 외주단면(外周端面)부분 및 좌우의 외주단면부분을 유지할 수 있도록 되어 있다. 또한, 기판을 수납한 본체부에 커버체(蓋體)부를 덮어씌우면, 이들 사이에 개재하고 있는 O링에 의해 내부가 밀폐상태로 유지되도록 되어 있다.
또한, 기판의 외주단면을 유지하기 위한 홈은, 상기 특허문헌에도 개시되어 있는 바와 같이, 홈바닥면으로부터 홈개구측을 향해 좌우로 확대된 사다리꼴형상의 단면이 되어, 기판의 외주단면부분을 양측으로부터 핀칭할 수 있으며, 기판 표면에는 닿지 않도록 되어 있다.
[특허문헌 1] 일본특허공개공보 제2005-173556호
여기서, 기판의 외주단면부분을 핀칭하기 위한 홈의 단면형상을 적절히 설정하지 않으면, 마스크 블랭크, 전사 마스크 등과 같이, 유리기판의 표면에 박막이 형성되어 있는 것에 있어서는, 유리기판 표면의 박막의 단부가 홈측면에 간섭할 우려가 있다. 이들이 간섭하면, 박막의 일부가 박리되어, 박막표면에 티끌로서 부착되는 등의 폐해를 일으키므로 바람직하지 않다.
도 5를 참조하여 설명하면, 막이 부착된 유리기판, 예컨대 마스크 블랭크(100)에 있어서는, 유리기판(101)으로서 외주단면 양측의 가장자리에 모따기가 실시된 것이 사용되고, 또한 그 유리기판(101)의 표면(102)에는 차광막(103) 및 레지스트막(104)이 적층되어 있다. 차광막(103) 및 레지스트막(104)의 외주 가장자리부(105)는, 이들의 막형성후에, 유리기판(101)의 모따기면(102a)으로부터 외측으로 돌출된 부분이 제거된다. 이러한 구성의 마스크 블랭크(100)를 수납하기 위해 이용되는 용기(110)의 홈(120)으로서, 좌우 측면(121, 122)이 유리기판(101)의 모따기면(102a)과 거의 동일한 경사각도로 되어 있는 경우에는, 마스크 블랭크(100)를 상기 홈(120)에 삽입할 때에, 차광막 및 레지스트막의 외주 가장자리부(105)가 홈측면(121)에 닿게 되어, 막의 일부가 박리되는 등의 폐해가 발생한다. 또한, 삽입시에 막이 박리되지 않아도, 반송중에 가해지는 진동 등에 의해, 마스크 블랭크(100)의 외주단면이 홈으로부터 들뜨는 방향으로 진동하면, 막의 외주 가장자리부(105)가 홈측면(121)에 반복해서 닿게 되어, 박리 등의 폐해가 발생된다.
본 발명의 과제는, 이러한 문제점을 감안하여, 마스크 블랭크, 전사 마스크 등의 막이 부착된 유리기판의 외주단면이 삽입유지되는 기판수납용기의 홈의 단면형상을 개량하여, 기판표면에 형성되어 있는 막이 홈측면에 간섭하여 박리되는 등의 폐해가 발생하지 않도록 한 기판수납용기를 제안하는 데 있다.
상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명은, 표면에 박막이 형성되고, 상기 표면과 외주(外周)단면의 돌출된 모서리부분(2개의 면이 교차하며, 외측으로 돌출된 모서리 부분)이 모따기면으로 되어 있는 막이 부착된 유리기판을 수납하기 위한 기판수납용기로서, 상기 막이 부착된 유리기판의 상기 외주단면을 유지하기 위한 유지홈을 가지고, 상기 유지홈은, 홈바닥면과, 대향하는 제 1 및 제 2 홈측면을 구비하고 있으며, 상기 제 1 홈측면과 상기 홈바닥면의 들어간 모서리(2개의 면이 교차하며, 내측으로 들어간 모서리 부분)의 각도는, 상기 막이 부착된 유리기판의 상기 외주단면과 상기 모따기면이 이루는 각도보다 큰 것을 특징으로 한다.
본 발명에서는, 홈바닥면과 제 1 홈측면의 들어간 모서리의 각도가, 막이 부착된 유리기판의 외주단면과 모따기면이 이루는 각도보다 크다. 따라서, 막이 부착된 유리기판의 외주단면을 유지홈에 위치결정하여 삽입하고, 상기 외주단면을 홈바닥면에 맞닿게 한 상태에서, 막이 부착된 유리기판의 모따기면에 대해 유지홈의 제 1 홈측면이 멀어지는 방향으로 경사져 있으므로, 막의 단부가 상기 제 1 홈측면에 간섭하는 경우가 없다.
여기서, 본 발명에서는, 상기 막이 부착된 유리기판에서의 이면(裏面)과 상기 외주단면과의 돌출된 모서리부분도 모따기면으로 되어 있는 경우에는, 상기 유지홈에서의 상기 제 2 홈측면과 상기 홈바닥면의 들어간 모서리의 각도가, 상기 막이 부착된 기판의 외주단면과 상기 이면측의 상기 모따기면이 이루는 각도보다 작은 것을 특징으로 한다.
이와 같이 하면, 막이 부착된 유리기판의 외주단면을 유지홈에 삽입하여, 상기 외주단면을 유지홈의 홈바닥면에 맞닿게 한 상태에서, 막이 부착된 유리기판의 이면과 모따기면이 이루는 돌출된 모서리가 제 2 홈측면에 맞닿는다. 이렇게 맞닿음으로써, 막이 부착된 유리기판의 유지홈의 폭방향에서의 위치결정상태를 형성할 수 있다.
또한, 본 발명에서는 상기 유지홈이 형성된 기판유지부재가 탈?부착 가능한 상태로 부착되어 있는 것을 특징으로 한다. 유지홈에 오물 등이 부착된 경우에, 기판유지부재를 분리하여 세정할 수 있다. 이로써, 항상 오물이 없는 상태로 막이 부착된 유리기판을 수납할 수 있다.
또한, 본 발명에서는, 상단면이 개구부로 되어 있는 편평한 직육면체 형상의 용기본체와, 상기 개구부를 봉쇄하고 있는 탈?부착 가능한 용기커버를 가지며, 상기 기판유지부재는, 상기 용기본체 내부의 바닥면 및 대향하는 한 쌍의 측면에 부착되어 있는 것을 특징으로 한다. 세로로 놓인 상태로 직사각형 윤곽의 막이 부착된 유리기판을 수납할 경우에는, 이들 3변의 유지홈에 의해 막이 부착된 유리기판이 확실히 유지된다.
이 경우, 본 발명에서는 상기 용기커버는 적색의 반(半)투명부분을 구비하고 있으며, 상기 용기본체에 수납되는 막이 부착된 유리기판의 이면에 상기 반투명부분이 대치되도록, 상기 용기커버를 상기 용기본체에 덮어 씌울 수 있도록 되어 있는 것을 특징으로 한다.
용기본체에 막이 부착된 유리기판을 수납한 후에, 막이 부착된 유리기판에 용기커버가 닿지 않도록, 반투명부분을 통해 막이 부착된 유리기판의 위치를 확인하면서, 용기커버를 덮어 씌울 수 있다. 또한, 적색의 반투명부분은, 수납되는 막이 부착된 기판의 이면에 대치되게 되므로, 상기 반투명부분을 투과한 광이 직접적으로 기판표면의 막을 조사하지 않으므로, 감광성의 레지스트막 등이 형성되어 있는 경우에도, 상기 막이 감광되는 경우가 없다.
다음으로, 본 발명은 마스크 블랭크 수납체에 관한 것으로서, 상기 구성의 기판수납용기와, 상기 기판수납용기에 수납되어 있는 상기 막이 부착된 유리기판을 가지며, 상기 막이 부착된 유리기판은, 차광막 및 레지스트막이 적층된 마스크 블랭크인 것을 특징으로 한다.
또한, 본 발명은 전사(轉寫) 마스크 수납체에 관한 것으로서, 상기 구성의 기판수납용기와, 상기 기판수납용기에 수납되어 있는 상기 막이 부착된 유리기판을 가지며, 상기 막이 부착된 유리기판은, 패터닝된 차광막이 형성되어 있는 전사 마스크인 것을 특징으로 한다.
본 발명의 기판수납용기에서는, 수납되는 막이 부착된 유리기판의 막이, 기판외주단면을 유지하기 위한 유지홈의 홈측면에 간섭하는 경우가 없다. 이로써, 수납시나 혹은 반송시에, 이러한 간섭에 의해 막이 박리되는 등의 폐해가 발생하지 않으므로, 먼지가 발생하지 않는 적절한 상태로 막이 부착된 유리기판을 수납유지할 수 있다.
도 1은 본 발명을 적용한 마스크 블랭크 수납체를 나타낸 사시도이다.
도 2는 도 1의 마스크 블랭크 수납체를 나타낸 단면도로서, (a)는 도 1의 a-a선으로 절단한 경우를 나타낸 단면도이고, (b)는 (a)의 b-b선으로 절단한 경우를 나타낸 단면도이며 (c)는 (a)의 c-c선으로 절단한 경우를 나타낸 단면도이다.
도 3은 도 1의 마스크 블랭크 수납체의 수납용기의 유지홈을 나타낸 부분 확대 단면도이다.
도 4는 유지홈의 다른 예를 나타낸 설명도이다.
도 5는 마스크 블랭크와 유지홈의 간섭에 의한 폐해를 나타낸 설명도이다.
이하, 도면을 참조하여 본 발명의 실시형태를 설명한다.
도 1은, 본 발명을 적용한 마스크 블랭크 수납체를 나타낸 사시도 및 커버를 벗긴 상태를 나타낸 부분 사시도이다. 도 2는 각각 도 1의 a-a선, b-b선 및 c-c선으로 절단한 경우를 나타낸 단면도이다. 또한, 도 3은 마스크 블랭크를 유지하기 위한 홈의 단면형상을 나타낸 부분 확대 단면도이다. 마스크 블랭크 수납체(1)는, 직사각형의 1장의 마스크 블랭크(10)와, 상기 마스크 블랭크(10)를 밀폐상태로 수납하고 있는 수납용기(20)로 구성되어 있다.
먼저, 수납되어 있는 마스크 블랭크(10)는, 도 3으로부터 알 수 있는 바와 같이, 일정한 두께를 가진 직사각형 유리기판(11)의 표면(11a)에, 차광막(12) 및 레지스트막(13)이 적층된 구성으로 되어 있다. 유리기판(11)은 직사각형 형상이며, 그 외주단면(11b)의 양측의 가장자리부분은 45도로 모따기된 모따기면(11c, 11d)으로 되어 있다. 유리기판의 표면(11a)에 적층되어 있는 차광막(12) 및 레지스트막(13)의 단부(14)는, 유리기판의 표면(11a)과 모따기면(11c)의 돌출된 모서리부분에 위치한다. 예컨대, 유리기판(11)은 두께가 8mm이고, 차광막(12)의 두께는 약 100nm이며, 레지스트막(13)의 두께는 약 1미크론이다.
다음으로, 수납용기(20)는 도 1에 나타낸 바와 같이, 세로로 놓은 형태의 편평한 직육면체 형상의 용기이며, 용기본체(30)와 용기커버(50)로 구성되어 있다. 또, 용기커버(50)를 용기본체(30)에 고정하기 위한 고정구(도시생략)를 설치해도 된다. 용기커버(50)의 하부 가장자리 프레임부분(51)은, 용기본체(30)의 상단개구부(31)를 규정하고 있는 상부 가장자리 프레임부분(32)보다 조금더 크고, 상기 하부 가장자리 프레임부분(51)의 내측에 상단 가장자리 프레임부분(32)이 정확히 끼워 넣어지는 크기로 되어 있다.
용기커버(50)를 덮어 씌운 상태에서는, 그 하부 가장자리 프레임부분(51)의 하단면이, 용기본체(30)의 단면(33)에 맞닿은 상태가 된다. 이러한 상태로, 고정구(도시생략)에 의해 용기커버(50)가 용기본체(30)측에 체결고정되고, 용기커버(50)와 용기본체(30)의 맞춤면이 밀폐되어, 수납용기(20)의 내부가 밀폐상태로 유지된다.
도 2 및 도 3도 참조하여 설명하면, 용기본체(30)는 한 쌍의 측판부분(35, 36), 한 쌍의 단판(端板)부분(37, 38), 바닥판부분(39) 및 상단이 단면(33; 段面)으로 되어 있는 직사각형 프레임형상부분(40)을 구비한 플라스틱 성형품으로 이루어진다. 또한, 한 쌍의 단판부분(37, 38)의 내측면에는, 각각 기판유지판(42)이 탈?부착 가능한 상태로 부착되어 있으며, 이들의 기판유지판(42)에는, 마스크 블랭크(10)의 좌우 외주단면(11b)을 각각 유지하기 위한 유지홈(43)이 형성되어 있다. 바닥판부분(39)에도 탈?부착 가능한 상태로 기판유지판(44)이 배치되어 있으며, 상기 유지판(44)에도 마스크 블랭크(10)의 하측의 외주단면(11b)을 유지하기 위한 유지홈(45)이 형성되어 있다.
본 예에서는, 단판부분(37, 38)의 내측면에 상하방향으로 연장되는 삽입홈(37a, 38a)이 형성되어 있으며, 각 기판유지판(42)을, 이들의 상단개구로부터 수직으로 끼워넣음으로써, 단판부분(37, 38)에 부착할 수 있으며, 상단개구로부터 상측으로 빼냄으로서 분리할 수 있도록 되어 있다. 또한, 바닥판부분(39)의 기판유지판(44)은, 그 양단부가 단판부분(37, 38)에 형성된 삽입홈(37a, 38a)의 하단부에 삽입된 상태로 배치된다. 따라서, 기판유지판(44)의 양단부를 삽입홈(37a, 38a)에 넣은 상태로 바닥판부분(39)까지 떨어뜨리고, 다음으로 좌우의 기판유지판(42)을 상측으로부터 삽입홈(37a, 38a)에 끼워넣으면, 이들 기판유지판(42)의 하단면에 의해 바닥판부분(39)에 배치된 기판유지판(44)의 양단부가 눌려 고정된다. 삽입홈(37a, 38a)에 끼워넣어진 좌우의 기판유지판(42)은, 고정용 비스(도시생략)에 의해, 단판부분(37, 38)에 고정되도록 되어 있다.
좌우의 기판유지판(42)의 유지홈(43)을 따라, 상측으로부터 마스크 블랭크(10)를 삽입하면, 좌우의 유지홈(43)과, 바닥판부분(39)의 기판유지판(44)의 유지홈(45)에 의해, 마스크 블랭크(10)의 좌우 및 하측의 외주단면의 3변이 유지된 상태로, 용기본체(30)에 수납된 상태가 된다.
한편, 용기커버(50)는, 한 쌍의 측판부분(53, 54)과, 한 쌍의 단판부분(55, 56)과, 상부판부분(57)을 구비한 플라스틱제의 것이다. 상부판부분(57)에는 외주단면의 긴변방향을 따라 일정한 간격으로 복수의 탄성체(58)가 설치되어 있다. 용기본체(30)에 마스크 블랭크(10)를 수납한 후에 용기커버(50)를 덮어 씌운 상태에서, 이들의 탄성체(58)에 의해 마스크 블랭크(10) 상측의 외주단면이 하측으로 가압된 상태가 형성되도록, 탄성체(58)의 부착 높이가 설정되어 있다. 따라서, 용기커버(50)를 덮어 씌워, 고정구(60)에 의해 용기커버(50)를 용기본체(30)에 고정한 상태에서는, 그 내부에 수납되어 있는 마스크 블랭크(10)는, 상측의 외주단면이 탄성체(58)에 의해 하측으로 눌려, 그 좌우 및 하측의 외주단면이, 용기본체(30) 좌우의 유지홈(43) 및 바닥측의 유지홈(45)에 의해 백래시(backlash) 없이 유지된 상태가 형성된다.
여기서, 본 예의 용기커버(50)에 있어서는, 한쪽의 측판부분(53)에서의 하부 가장자리 프레임부분(51) 보다 상측의 부분이 적색의 반투명판(59)에 의해 형성되어 있다. 용기커버(50)를 용기본체(30)에 탈?부착할 때에, 외측으로부터 상기 반투명판(57)을 통해, 내부의 마스크 블랭크(10)의 상단부분을 시인(視認)할 수 있도록 되어 있다.
(유지홈의 단면형상)
다음으로, 도 3을 참조하여 본 예의 유지홈(43, 45)의 단면형상에 대해 설명한다. 좌우의 기판유지판(42) 및 바닥측의 기판유지판(44)에 형성되어 있는 유지홈(43, 45)의 단면형상은 동일하므로, 바닥측의 기판유지판(44)에 형성되어 있는 유지홈(45)에 대해 설명하고, 좌우의 유지홈(43)에 대해서는 상세한 설명을 생략한다.
본 예의 유지홈(45)은, 홈바닥면(45a)과, 한 쌍의 홈측면(45b, 45c)에 의해 규정되어 있으며, 홈개구측을 향해 확대된 사다리꼴형상의 단면형상을 이루고 있다. 홈바닥면(45a)과, 한쪽의 홈측면(45b)이 교차하는 들어간 모서리의 각도(θa)는 다음의 각도범위가 되며, 본 예에서는 150°로 설정되어 있다.
135°〈 θa 〈 180°
이에 반해, 홈바닥면(45a)과, 다른 쪽의 홈측면(45c)이 교차하는 들어간 모서리의 각도(θb)는 다음의 각도범위가 되며, 본 예에서는 100°로 설정되어 있다.
90°〈 θb 〈 135°
앞서 설명한 바와 같이, 마스크 블랭크(10)의 외주 가장자리에는 모따기면(11c, 11d)이 형성되어 있으며, 표면(11a)과 모따기면(11c)이 이루는 각도, 이면(11e)과 모따기면(11d)이 이루는 각도는 45°로 되어 있다. 따라서, 도 3에 나타낸 바와 같이, 마스크 블랭크(10)의 표면측(막형성측)이 홈측면(45b)의 측이 되도록, 마스크 블랭크(10)의 외주단면(11b)을 유지홈(45)에 삽입하면, 표면에 형성되어 있는 차광막 및 레지스트막의 단부(14)에 대해 홈측면(45b)이 간섭하지 않도록 떨어지고, 반대측의 홈측면(45c)에는, 유리기판의 이면(11e)과 모따기면(11d)의 돌출된 모서리가 맞닿은 상태가 된다.
좌우의 기판유지판(42)에 형성되어 있는 유지홈(43)도 단면이 동일하게 되어 있으며, 홈바닥면(43a), 홈측면(43b, 43c)을 구비하고, 홈바닥면(43a)과 홈측면(43b)의 들어간 모서리의 각도(θa)가 상기한 바와 같이 설정되고, 홈바닥면(43a)과 다른쪽의 홈측면(43c)의 들어간 모서리의 각도(θb)도 상기한 바와 같이 설정되어 있다.
따라서, 마스크 블랭크(10) 표면의 차광막 및 레지스트막의 단부(14)에, 홈측면(43b, 45b)이 간섭하는 것을 회피할 수 있다. 또한, 마스크 블랭크(10)의 이면(11e)과 모따기면(11d)의 돌출된 모서리가 홈측면(43c, 45c)에 닿아, 마스크 블랭크(10)의 홈폭방향의 위치결정도 이루어진다. 특히, 도 3에 나타낸 바와 같이, 외주단면(11b)과 표면측의 모따기면(11c)의 돌출된 모서리가, 유지홈(43, 45)의 홈바닥면(43a)과 홈측면(43b)의 들어간 모서리, 및 홈바닥면(45a)과 홈측면(45b)의 들어간 모서리에 일치하도록, 홈바닥면(43a, 45a)의 폭을 설정해 두면, 마스크 블랭크(10)의 홈폭방향의 위치결정이 확실히 이루어져, 유지홈(43, 45) 내에서 마스크 블랭크(10)의 외주단면(11b)이 홈폭방향으로 이동하는 것을 확실히 방지할 수 있다.
또, 유지홈(43(45))으로서는 도 4에 나타낸 바와 같이, 홈바닥면(43a(45a))과 좌우의 홈측면(43b, 43c(45b, 45c))의 들어간 모서리의 각도(θ)가, 135°〈 θ 〈 180°의 범위내의 각도로 설정된 것이어도 된다. 이 경우에도, 마스크 블랭크 표면의 차광막 및 레지스트막의 단부(14)와 유지홈(43(45))의 홈측면과의 간섭을 회피할 수 있다. 또한, 홈바닥면의 폭과, 마스크 블랭크의 외주단면의 폭을 동일하게 해 두면, 마스크 블랭크의 홈폭방향의 위치결정도 이루어진다.
또한, 도 3에 나타낸 단면형상의 유지홈과, 도 4에 나타낸 단면형상의 유지홈을 조합하여 이용할 수도 있다. 가령, 좌우의 기판유지판(42)의 유지홈(43)으로서 도 3에 나타낸 유지홈을 채용하고, 바닥측의 기판유지판(44)의 유지홈(45)으로서 도 4에 나타낸 유지홈을 채용할 수 있다. 반대로, 좌우의 기판유지판의 유지홈으로서 도 4에 나타낸 것을 채용하고, 바닥측의 기판유지판의 유지홈으로서 도 4에 나타낸 것을 채용할 수도 있다.
이상 설명한 바와 같이, 본 예의 마스크 블랭크 수납체(1)에서는, 마스크 블랭크(10)의 좌우 및 하측의 3변의 외주단면(11b)이, 수납용기(20)의 용기본체(30)의 좌우의 유지홈(43) 및 바닥측의 유지홈(45)에 의해 유지되고, 이러한 상태로 마스크 블랭크(10)는 용기커버(50)의 탄성체(58)에 의해 덜커덕거리지 않도록 눌려져 있다. 또한, 용기커버(50)와 용기본체(30)의 맞춤면은 시일(seal)재에 의해 밀폐되어 마스크 블랭크(10)가 수납되어 있는 내부가 밀폐상태로 되어 있다. 또한, 각 유지홈(43, 45)의 한쪽의 홈측면(43b, 45b)의 경사각도를, 마스크 블랭크(10)의 표면에 형성한 차광막 및 레지스트막의 단부(14)에 간섭하지 않도록 설정하고 있다.
따라서, 본 예의 마스크 블랭크 수납체(1)를 이용하면, 마스크 블랭크(10)를 손상시키지 않으며, 또한 표면에 티끌, 먼지 등을 부착하지 않고, 마스크 블랭크(10)를 이동 및 수송시킬 수 있다. 특히, 유지홈(43, 45)의 홈측면(43b, 45b)이 마스크 블랭크(10)의 막에 간섭하지 않기 때문에, 마스크 블랭크(10)를 수납용기(20)에 넣었다 뺐다 하는 작업시나, 또는 마스크 블랭크 수납체(1)의 반송 혹은 수송시에, 이러한 간섭으로 인해 막의 단부가 박리되어, 그에 따라 발생된 먼지가 마스크 블랭크의 표면에 부착되는 폐해를 확실히 방지할 수 있다.
또한, 본 예의 마스크 블랭크 수납체(1)의 수납용기(20)의 용기커버(50)는, 그 한쪽의 측판부분에 적색의 반(半)투명판(59)이 부착되어 있다. 용기커버(50)는, 상기 반투명판(59)이, 수납되는 마스크 블랭크(10)의 이면측에 면(面)하도록, 용기본체(30)에 덮어 씌어진다. 반투명판(59)을 통해 용기본체(30)에 수납된 마스크 블랭크(10)의 상단부분을 육안으로 인식할 수 있으므로, 용기커버(50)를 덮어 씌울 때나 혹은 분리할 때에, 용기커버(50)를 마스크 블랭크(10)에 닿지 않도록 취급할 수 있다. 또한, 반투명판(59)은 마스크 블랭크(10)의 이면에 대치된다. 반투명판(59)을 통해 외부광의 일부의 광성분이 마스크 블랭크(10)의 이면을 조사하여도, 반사측의 표면(11a)에 형성되어 있는 레지스트막(13)이 감광되거나 하는 폐해가 발생하는 경우도 없다.
여기서, 용기커버(50)의 반투명판(59)이, 용기본체(30)에 수납된 마스크 블랭크(10)의 이면측에 면하도록, 반투명판(59)을 위치시키는 측을 나타내는 지표를 용기본체(30)에 설치해 두는 것이 바람직하다.
또, 상기 예는 마스크 블랭크 수납체에 관한 것이나, 본 발명은 차광막이 패터닝되어 있는 전사 마스크의 수납체, 수납용기로서도 이용할 수 있다. 나아가서는, 표면에 막이 형성되어 있는 막이 부착된 유리기판이라면, 마스크 블랭크 및 전사 마스크 이외의 것이어도 본 발명을 적용할 수 있다.
1 : 마스크 블랭크 수납체 10 : 마스크 블랭크
11 : 유리기판 11a : 표면
11b : 외주단면 11c, 11d : 모따기면
11e : 이면 12 : 차광막
13 : 레지스트막 14 : 막의 단부
20 : 수납용기 30 : 용기본체
35, 36 : 측판부분 37, 38 : 단판(端板)부분
37a, 38a : 삽입홈 39 : 바닥판부분
42, 44 : 기판유지판 43, 45 : 유지홈
43a, 45a : 홈바닥면 43b, 43c, 45b, 45c : 홈측면
50 : 용기커버 58 : 탄성체
59 : 반투명판

Claims (10)

  1. 막이 부착된 유리기판을 수납하기 위한 기판수납용기로서,
    상기 막이 부착된 유리기판은, 한 쌍의 표면과 2쌍의 외주(外周) 단면을 갖는 판 형상이고, 각 표면과 각 외주 단면과의 돌출된 모서리부분(outside corner)이 각각 모따기면으로 되어 있으며, 적어도 일방(一方)의 표면에 박막이 형성되어 있고,
    상기 기판수납용기는, 용기본체와 용기커버와 기판유지부재로 이루어지며,
    상기 용기본체는, 한 쌍의 측판(側板)부분과 한 쌍의 단판(端板)부분과 바닥판(底板)부분과 개구부로 이루어지고,
    상기 한 쌍의 단판부분의 내측면에는, 상기 바닥판부분측으로부터 상기 개구부측을 향해 연장되는 삽입홈이 형성되어 있으며,
    상기 기판유지부재는, 끼움결합부분을 상기 삽입홈의 개구부측으로부터 바닥판부분측을 향해 끼워넣음으로써, 단판부분에 대해 탈부착 가능하게 부착되어 있고,
    한 쌍의 단판 부분에 부착된 각 기판유지부재의 유지홈은, 홈바닥면이 서로 대향하는 배치로 되어 있어, 상기 막이 부착된 유리 기판의 한 쌍의 외주단면을 유지하는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  2. 제 1항에 있어서,
    상기 바닥판부분에는, 기판유지부재가 상기 개구부측으로 상기 기판유지부재의 유지홈이 향하는 방향으로 부착되며, 상기 바닥판부분의 기판유지부재는, 길이방향의 양단이 상기 한 쌍의 단판부분의 각 삽입홈에 삽입된 상태로 탈부착 가능하게 부착되어 있는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  3. 제 2항에 있어서,
    용기커버는, 한 쌍의 측판부분과 한 쌍의 단판부분과 상부판부분과 개구부로 이루어지는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  4. 제 3항에 있어서,
    상기 용기커버의 상부판부분의 내측면에는, 길이방향을 따라 복수의 탄성체가 설치되어 있으며, 상기 탄성체는, 상기 막이 부착된 유리기판의 수납 시에는, 상기 막이 부착된 유리 기판의 외주단면에 맞닿는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  5. 제 3항에 있어서,
    상기 용기커버의 일방의 측판부분은, 적색의 반투명부분을 구비하고 있으며, 상기 용기본체에 수납되는 막이 부착된 유리기판의 이면(裏面)에 상기 반투명부분이 대치하도록, 상기 용기커버를 상기 용기본체에 덮어 씌우는 것이 가능하게 되어 있는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  6. 제 1항에 있어서,
    상기 유지홈은, 홈바닥면과 대향하는 2개의 홈측면을 구비하고 있으며,
    상기 홈바닥면의 폭은, 상기 막이 부착된 유리기판의 외주단면의 폭과 동일하게 하는 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 홈측면과 상기 홈바닥면의 들어간 모서리의 각도는, 135°보다 크고 180°보다 작은 것을 특징으로 하는 기판수납용기.
  8. 제 1항에 기재된 기판수납용기와,
    상기 기판수납용기에 수납되어 있는 상기 막이 부착된 유리기판을 가지는 마스크 블랭크 수납체로서,
    상기 막이 부착된 유리기판은, 차광막 및 레지스트막이 적층된 마스크 블랭크인 것을 특징으로 하는 마스크 블랭크 수납체.
  9. 제 1항에 기재된 기판수납용기와,
    상기 기판수납용기에 수납되어 있는 상기 막이 부착된 유리기판을 가지는 전사 마스크 수납체로서,
    상기 막이 부착된 유리기판은, 패터닝된 차광막이 형성되어 있는 전사 마스크인 것을 특징으로 하는 전사 마스크 수납체.
  10. 삭제
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