TW201346435A - 防塵薄膜組件收納容器 - Google Patents

Abstract

提供一種重量輕且剛性高的防塵薄膜組件收納容器，其為在隨時間變化的樹脂製的容器本體上安裝最小限度的加固構件而成。防塵薄膜組件收納容器10，具備：載置防塵薄膜組件12的方形的樹脂製的容器本體14；以及以其周緣部進行嵌合卡定，從而覆蓋防塵薄膜組件12的樹脂製的蓋體16，沿著容器本體14的外周緣形成的凸狀突肋18的突出面18a形成為防塵薄膜組件12的載置面。安裝於容器本體14的外側底面且在其外周緣與凸狀突肋18之間的加固構件為：框形體，其包含沿所述外周緣的各邊固定的直棒狀體26a在內的大小可以調整；或L字形體，其相互獨立地固定於容器本體14的各角部。

Description

防塵薄膜組件收納容器

本發明是有關於一種防塵薄膜組件收納容器。

在大規模積體電路(Large Scale Integration，LSI)或超大規模積體電路等的半導體製造或液晶顯示器等的製造過程中，需要進行將光照射到半導體晶圓或液晶用原板上，從而製作圖案的微影作業。此時，如果光罩(photomask)或初縮遮罩(reticle)上附著了灰塵，有時會發生轉印圖案的變形，或邊緣不清晰且基底髒汙等現象。這是由於灰塵會吸收光或使其曲折的緣故。這種作業通常是在無塵室裡進行的，但要保持光罩的時常清潔是很困難的，所以，通常使用將透明的防塵薄膜黏貼於防塵薄膜組件框架而製作的防塵薄膜組件。例如，在進行光刻時，將防塵薄膜組件置於光罩上，既能夠防止異物附著於光罩上，又可通過將焦點對準光罩上的圖案進行曝光，從而不受附著於防塵薄膜上的灰塵的影響地進行轉印。

另一方面，防塵薄膜組件本身如果附著了異物，也會導致異物向光罩上附著，故要求其具有高度的清潔性。在防塵薄膜 組件的保管和運輸時，使用防塵薄膜組件收納容器。通常使用通過射出成型法或真空成型法得到的樹脂製的防塵薄膜組件收納容器。這是因為，樹脂製的防塵薄膜組件收納容器表面平滑，並且發生灰塵的風險小。

為了使收納有防塵薄膜組件的內部保持清潔狀態，要求防塵薄膜組件收納容器具有一定的剛性，使得在運輸等時即使受到外力也不容易發生變形。但是，樹脂製的防塵薄膜組件收納容器的剛性有一定的界限，因此，如下面的專利文獻1、專利文獻2所述，通常採取以下措施，即將鋁合金的棒或方管等的加固構件以「日」字形狀或「目」字形狀安裝在容器本體的外面以確保剛性。

現有技術文獻 專利文獻

專利文獻1：日本專利特開2005-170507號公報

專利文獻2：日本專利第4391435號公報

若像專利文獻1、專利文獻2所記載的那樣，為使樹脂製的防塵薄膜組件收納容器具有足夠的剛性而在容器本體的外面安裝大量的加固構件的話，會導致防塵薄膜組件收納容器的重量和製造成本的增加。為此，要求安裝在防塵薄膜組件收納容器上的加固構件以最小限度的需要獲得足夠的加固效果。

如上所述，由於樹脂製的防塵薄膜組件收納容器是通過 射出成型法或真空成型法而成型的，故成型之後的成型應力會逐漸釋放，其形狀、尺寸隨時間的經過發生變化。防塵薄膜組件收納容器越是大型，這種隨時間的變化越大。在隨時間的變化後的防塵薄膜組件收納容器的容器本體上安裝加固構件時，甚至會出現因預先形成在容器本體上的安裝孔發生了位置偏離，無法安裝加固構件的情況。

本發明即為解決上述課題而提出的，本發明的目的是提供一種能夠簡單地在隨時間的變化後的樹脂製的容器本體上安裝最小限度的加固構件，並且重量輕、剛性高的防塵薄膜組件收納容器。

為了達到上述目的，提出以下技術方案：

1. 一種防塵薄膜組件收納容器，具備：載置防塵薄膜組件的方形的樹脂製的容器本體；以及以其周緣部進行嵌合卡定，從而覆蓋所述防塵薄膜組件的樹脂製的蓋體，沿著所述容器本體的外周緣形成的凸狀突肋的突出面形成為所述防塵薄膜組件的載置面，所述防塵薄膜組件收納容器的特徵在於：安裝於所述容器本體的外側底面且在其外周緣與所述凸狀突肋之間的加固構件為框形體或L字形體，所述框形體包含沿所述外周緣的各邊固定的直棒狀體在內的大小可以調整，所述L字形體相互獨立地固定於所述容器本體的各角部。

2. 如上述1所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述框 形體由所述直棒狀體和配置於所述容器本體的角部的所述L字形體構成，為使所述框形體的大小可以調整，所述直棒狀體和所述L字形體的安裝位置是可變的。

3. 如上述1或2所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述L字形體以其角部成為平面或曲面的方式來形成。

4. 如上述1~3中任一項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述防塵薄膜組件至少一邊的長度為500mm以上。

5. 如上述1~4中任一項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述加固構件的底面與所述容器本體的外側底面在同一平面上。

6. 如上述1~5中任一項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中在由所述凸狀突肋包圍的容器本體的底面區域的各角部形成有角部突肋，所述角部突肋的兩端與形成所述角部的兩根凸狀突肋連接。

7. 如上述1~6中任一項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中在安裝於所述容器本體的彼此對向的邊上的所述加固構件上，設有用於搬運所述防塵薄膜組件收納容器的握持機構。

8. 如上述1~7中任一項所述的防塵薄膜組件收納容器，其裝設有覆蓋所述容器本體的整個外側底面的板體。

根據本發明，能夠提供一種在尺寸等發生了隨時間的變化的樹脂製的防塵薄膜組件收納容器上簡單地安裝最小限度的加 固構件，並且重量輕、且剛性高的防塵薄膜組件收納容器。

10‧‧‧防塵薄膜組件收納容器

12‧‧‧防塵薄膜組件

12a‧‧‧防塵薄膜組件框架

12b‧‧‧防塵薄膜

12c‧‧‧複合層

14‧‧‧容器本體

16‧‧‧蓋體

18‧‧‧凸狀突肋

18a‧‧‧突出面

20a‧‧‧菱形突肋

20b‧‧‧角部突肋

22‧‧‧凹部

24‧‧‧保持構件

24a‧‧‧梢

24b‧‧‧梢支撐體

26‧‧‧框形體

26a、26b‧‧‧直棒狀體

26c、26d、38‧‧‧L字形體

28‧‧‧安裝螺栓

30‧‧‧緊固螺栓

32‧‧‧長孔

34‧‧‧螺絲孔

36、38a‧‧‧平面

37‧‧‧把手

40‧‧‧板體

X‧‧‧對角線

圖1是表示本發明的防塵薄膜組件收納容器的一例的縱截面圖及部分放大截面圖。

圖2是圖1所示的容器本體14的平面圖。

圖3是以圖2所示的容器本體14中的箭頭A-A面切割的截面圖。

圖4是表示作為圖1所示的容器本體14的加固構件使用的一例的平面圖。

圖5是表示形成圖4所示的加固構件的角部的L字形體26c、26d的立體圖。

圖6(a)及圖6(b)是表示作為容器本體14的加固構件使用的另一例的平面圖及其放大圖。

圖7是表示本發明的防塵薄膜組件收納容器的另一例的縱截面圖。

圖1表示本發明的防塵薄膜組件收納容器的一例。圖1是防塵薄膜組件收納容器10的縱截面圖，載有防塵薄膜組件12的長方形的樹脂製容器本體14與樹脂製蓋體16在周緣部相互嵌合卡定。容器本體14和蓋體16是使用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA樹脂)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS樹脂)、聚碳酸酯樹脂(PC 樹脂)等熱塑性樹脂通過射出成型或真空成型而製作的。尤其是邊長超過500mm的大型防塵薄膜組件12用的容器本體14及蓋體16，優選以真空成型法製造。出於異物檢查的目的，容器本體14優選黑色，而蓋體16為了能以目視確認內部，優選透明或半透明。出於防止異物附著的考慮，優選容器本體14及蓋體16實施防靜電處理。

如圖1中的防塵薄膜組件收納容器10的部分放大圖所示，載置於容器本體14之上並由蓋體16覆蓋著的防塵薄膜組件12，在其由鋁、不銹鋼、聚乙烯等構成的防塵薄膜組件框架12a的上端面貼付或黏著有硝化纖維素、醋酸纖維素或氟樹脂等的透明防塵薄膜12b。並且，在防塵薄膜組件框架12a的下端面，設置有由黏合層和保護黏合層的離型層(分離膜)構成的複合層12c，所述黏合層用於往光罩上安裝防塵薄膜組件，由聚丁烯樹脂、聚醋酸乙烯酯樹脂、丙烯酸系樹酯構成。

防塵薄膜組件12載置於沿容器本體14的外周緣形成在外周緣附近的凸狀突肋18的突出面18a上。如容器本體14的平面圖即圖2所示，凸狀突肋18及突出面18a為長方形。突出面18a形成為長邊方向的幅度比短邊方向的幅度要大。如以圖2所示的箭頭A-A面切割的截面圖即圖3所示，長邊方向的突出面18a上設有多個保持構件24。保持構件24是可自由裝卸地保持載置於突出面18a上的防塵薄膜組件12的構件，其由梢24a和梢支撐體24b構成，所述梢24a插入形成於載置在突出面18a上的防塵薄膜組 件框架12a的側面上的凹部(未圖示)之內，梢24a對於梢支撐體24b能夠可自由地插入拔出。借助梢支撐體24b，通過把保持構件24的梢24a插入到防塵薄膜組件框架12a側面的凹部，能夠將載置於凸狀突肋18的突出面18a上的防塵薄膜組件12固定於規定的位置，另一方面，通過從梢支撐體24b中將梢24a拔出，能夠釋放防塵薄膜組件12。

如圖1所示，在容器本體14的凸狀突肋18和外周緣之間，沿著凸狀突肋18設有凹部22，所述凹部22通過將容器本體14的外周部折回而形成。通過折回，能夠提高容器本體14的周緣部的剛性，尤其能夠提高對於往容器本體14的長邊方向及短邊方向彎曲變形的剛性。進一步，當蓋體16的外周緣嵌合卡定於凹部22時，能夠提高與蓋體16的結合強度和防塵薄膜組件收納容器10的整體強度。

如圖1~圖3所示，在容器本體14的凸狀突肋18所包圍的底面區域的中央部，形成有菱形突肋20a，並且，在呈垂直的兩根凸狀突肋18、凸狀突肋18的角部形成有其兩端與凸狀突肋18、凸狀突肋18連接的角部突肋20b。由於菱形突肋20a及角部突肋20b橫穿容器本體14的對角線X，所以能夠有效地防止容器本體14的扭轉變形。由於菱形突肋20a與角部突肋20b之間不相互交叉，所以菱形突肋20a及角部突肋20b的側面不會被切斷，並且不會成為連接部變形的始點，可獲得強力的加固效果。

如上所述，用突肋等加固的容器本體14的外側底面， 安裝有如圖4所示的長方形的框形體26作為加固構件，與突肋一起對容器本體14起到加固作用，從而提高剛性。與傳統的「日」字形或「目」字形的加固構件相比，框形體26的重量輕。形成框形體26的長邊的直棒狀體26a和形成短邊的直棒狀體26b通過板狀的L字形體26c、L字形體26d連接。直棒狀體26a、直棒狀體26b由鋁合金等耐腐蝕、重量輕且剛性高的材料構成，橫截面形狀為實心矩形。L字形體26c、L字形體26d可優選使用鋼鐵製或不銹鋼製，如果可以採用厚壁的話，可使用鋁合金製的構件。L字形體26c設置在框形體26的外側，L字形體26d設置在框形體26的內側。直棒狀體26a、直棒狀體26b與L字形體26c、L字形體26d之間通過緊固螺栓30、緊固螺栓30固定。如圖5所示，在L字形體26c、L字形體26d上形成有長孔32、長孔32，故L字形體26c、L字形體26d和直棒狀體26a、直棒狀體26b的安裝位置可以調節。

對於框形體26向容器本體14上的安裝，如圖1及圖2所示，是通過擰緊從凹部22的內側插入到直棒狀體26a、直棒狀體26b的螺絲孔34、螺絲孔34的安裝螺栓28來進行的，所述直棒狀體26a、直棒狀體26b與容器本體14的凹部22的外側底部抵接。從強度的觀點，安裝螺栓28優選金屬製，特別優選在緊固面上設有法蘭(flange)。優選用樹脂包覆安裝螺栓28的向容器本體14內部的露出部分，並且用有機溶劑等溶解處理安裝螺栓28與容器本體14的邊界部分，以防止從間隙中產生粉塵或鬆動。

構成框形體26的角部的L字形體26c、L字形體26d上未設置向容器本體14的安裝機構，可以通過放鬆緊固螺栓30、緊固螺栓30並沿長孔32、長孔32調節L字形體26c、L字形體26d的位置。因此，即使容器本體14的尺寸因製造時的偏差或隨時間的變化而發生變化，也可以通過放鬆緊固螺栓30、緊固螺栓30來移動L字形體26c、L字形體26d，從而能夠調節與直棒狀體26a、直棒狀體26b的位置關係，將框形體26安裝到變形後的容器本體14的凹部22的外側底面。如此安裝到容器本體14的凹部22的底面側的框形體26，如圖1及圖3所示，直棒狀體26a、直棒狀體26b的底面與容器本體14的外側底面處於同一平面，在防塵薄膜組件收納容器的搬運過程中，即使框形體26接觸到其他物品等，也不會損傷其他物品，並且，還能夠防止框形體26被刮壞產生粉塵的情況。

在形成框形體26的短邊而彼此對向的直棒狀體26b、直棒狀體26b上，如圖4所示，安裝有作為握持構件的字形的把手37、把手37。把手37、把手37借助螺栓(未圖示)被緊固於不銹鋼製的直棒狀體26b、直棒狀體26b上。通過握持把手37、把手37來搬運防塵薄膜組件收納容器，能夠抑制由握持容器本體14及/或蓋體16所引起的變形等的發生，並能大幅度地減少向所收納的防塵薄膜組件12附著異物的可能性。作為把手37、把手37，也可以是板狀的突起物，並且，也可以安裝在框形體26的其他位置。

形成框形體26的角部的L字形體26c、L字形體26d，優選將其角部加削為平面而成的去角，或者加工成曲面。例如，如圖5所示，通過將L字形體26c、L字形體26d的角部形成為平面36、平面36，當容器本體14向扭轉方向變形時，平面36、平面36成為抵抗面，故優選平面36形成為使高和長盡可能地長。具體來講，優選形成高20mm~50mm、長40mm~100mm的平面36。

圖4所示的作為加固構件的框形體26，即使載置一邊為500mm以上的大型防塵薄膜組件12的大型的樹脂製容器本體14的尺寸等發生隨時間的變化，也能夠安裝到容器本體14之上。這是因為能夠通過移動框形體26的L字形體26c、L字形體26d來調節與直棒狀體26a、直棒狀體26b的位置關係，從而調整框形體26的大小的緣故。並且，作為加固構件的框形體26，與傳統的「日」字形或「目」字形的加固構件相比重量輕，因此，具備裝有框形體26的容器本體14的防塵薄膜組件收納容器10的重量輕且剛性高。

另外，作為另一個實施方式，如容器本體14的後視圖圖6(a)及圖6(b)所示，可以使用相互獨立地固定於容器本體14的各角部的板狀的L字形體38作為加固構件。L字形體38也是從凹部22的內側借助安裝螺栓28固定於凹部22的底面側。採用L字形體38加固了各角部的容器本體14對於扭轉方向的變形具有足夠的抵抗力。特別是如圖6(b)所示的L字形體38，通過將角 部形成為平面38a，相對於使容器本體14向扭轉方向變形的應力，平面38a成為抵抗面，故優選。並且，由於L字形體38與別的L字形體38之間相互獨立地安裝於容器本體14，所以即使因隨時間的變化等發生容器本體14的尺寸偏差，也能夠簡單地安裝到角部。另外，各L字形體38上設有字形的把手37，在搬運防塵薄膜組件收納容器時，容器本體14上不會出現負荷的不平衡。

在圖1~圖6(a)及圖6(b)所示的容器本體14的外側底面，由凸狀突肋18、菱形突肋20a、角部突肋20b等形成的凹部留有開口，在防塵薄膜組件收納容器10的搬運中不能採用滾輪運送。這是因為凹部和滾輪之間的咬合引起的衝擊會使容器本體14發生變形。如圖7所示，通過在容器本體14的整個外側底面上將板體40安裝到框形體26或L字形體38上，將容器本體14的外側底面形成為平滑面，從而可採用防塵薄膜組件收納容器10的滾輪運送。另外，通過使容器本體14的外側底面為平滑面，當將防塵薄膜組件收納容器10傾斜時，能夠利用真空吸附。板體40可以不是容器本體10的加固構件，可以使用厚度2mm~8mm的樹脂製的構件。作為樹脂，可使用聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA樹脂)、丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS樹脂)、聚碳酸酯樹脂(PC樹脂)、聚氯乙烯樹脂(PVC樹脂)。將該板體40向框形體26或L字形體38上安裝時，可使用螺栓、雙面膠帶、膠黏劑。此外，當容器本體14的中央部及其附近存在翹曲或隆起等時，優選使用雙面膠帶或膠黏劑將該部分和板體40進行接合。

[實施例]

以下對本發明的實施例作詳細說明，不過，本發明的範圍並非限定於這些實施例。

使用實施了防靜電處理的丙烯腈-丁二烯-苯乙烯(ABS樹脂)製的厚度為5mm的片材，通過真空成型法製作了如圖所示的長方形的容器本體14、以及與其在外周緣嵌合卡定的蓋體16。作為片材，容器本體14使用黑色的，而蓋體16使用透明的。在容器本體14的外周緣的附近並且沿著外周緣形成有長方形的凸狀突肋18，該凸狀突肋18的突出面18a為防塵薄膜組件12的裝載面。突出面18a的長邊方向的幅度形成為比短邊方向的幅度寬，並設有防塵薄膜組件12的保持構件24。另外，在凸狀突肋18和外周緣之間，沿著凸狀突肋18設有凹部22，所述凹部22通過使容器本體14的外周部折回而形成。在由凸狀突肋18包圍的底面區域，中央部形成有菱形突肋20a，並且，在呈正交的兩根凸狀突肋18、凸狀突肋18的角部形成有其兩端與凸狀突肋18、凸狀突肋18連接的角部突肋20b。菱形突肋20a及角部突肋20b橫穿容器本體14的對角線X。將蓋體16的外周緣嵌合卡定於容器本體14的凹部22的防塵薄膜組件收納容器10的外形尺寸為1350mm×1550mm，高度為120mm。

然後，製作了形成圖4所示的框形體26的直棒狀體26a、直棒狀體26b和L字形體26c、L字形體26d，所述框形體26為上述所製作的容器本體14的加固構件。直棒狀體26a、直棒 狀體26b使用鋁合金(A6061)製的扁方棒(截面10mm×30mm)，通過機械加工形成了螺絲孔34及用於安裝L字形體26c、L字形體26d的螺絲孔(直棒狀體26a、直棒狀體26b的側面)。另外，在短邊側的直棒狀體26b的外側側面安裝了不銹鋼(SUS304)製的字形的把手37。L字形體26c、L字形體26d是通過將不銹鋼(SUS304)的冷軋板(厚度3mm)彎曲加工，使角部形成為平面36並形成長孔32作為螺絲孔而製作的。此外，作為用於將直棒狀體26a、直棒狀體26b安裝到容器本體14時的安裝螺栓28，採用通過將不銹鋼(SUS304)製的六角孔螺栓在ABS樹脂中嵌入成型而製作的法蘭六角螺栓。

將製作的直棒狀體26a、直棒狀體26b和L字形體26c、L字形體26d向容器本體安裝時，將直棒狀體26a、直棒狀體26b抵接於容器本體14的凹部22的直線部分的外側底面，並使螺絲孔34與凹部22底部的螺絲孔對齊，從凹部22的內側插入安裝螺栓28，從而安裝了直棒狀體26a、直棒狀體26b。安裝後，為了消除縫隙，對於與容器本體14相接觸的安裝螺栓28的法蘭外緣部，用溶劑(甲基乙基酮，MEK)施以溶解處理。接著，移動調整圖5所示的L字形體26c、L字形體26d，使得長孔32和形成於直棒狀體26a、直棒狀體26b側面上的螺絲孔對齊，用緊固螺栓30與直棒狀體26a、直棒狀體26b連接，從而製作框形體26。安裝於容器本體14的框形體26的底面與容器本體14的外側底面為同一平面。另外，所製作的容器本體14，與設計相比雖然產生了長邊 方向上+5mm、短邊方向上+3mm的尺寸偏差，但通過調節框形體26的大小，順利地將其安裝到了容器本體14上。

將由框形體26加固的容器本體14及蓋體16搬進空氣潔凈度等級10(Class 10)的無塵室，用界面活性劑和純水仔細清洗後，讓其完全乾燥。接著，將預先在暗室內通過用聚光燈實施過異物檢查的防塵薄膜組件12裝載於容器本體14的凸狀突肋18的突出面18a上，並用保持構件24固定。防塵薄膜組件12為：外尺寸1392mm×1146mm、內尺寸1370mm×1124mm、高5mm，通過在鋁合金(A5052)製的防塵薄膜組件框架12a(厚3.8mm、表面施以黑色鋁陽極氧化處理)上，用作為遮罩黏合劑以及防塵薄膜膠黏劑的矽酮樹脂，黏貼由厚度約3μm的氟樹脂構成的防塵薄膜12b而製作。在如上所述那樣裝載固定了防塵薄膜組件12後的容器本體14上，小心地嵌合密封上蓋體16，從而得到收納有防塵薄膜組件12的防塵薄膜組件收納容器10。

並且，用寬40mm的聚氯乙烯(PVC)製的膠帶黏接固定防塵薄膜組件收納容器10的周緣部，用內部進行了清潔處理的防靜電處理聚乙烯(PE)袋捆包兩層，收納於內部配有緩衝材料的加強瓦楞紙箱內。以這樣捆包的狀態，進行了從群馬至福岡(群馬至東京間使用卡車，東京至福岡間使用飛機)間的往返運輸測試。運輸測試後，將打開包裝取出的防塵薄膜組件收納容器10搬入無塵室，對其內部進行了確認，結果顯示，絲毫未觀察到防塵薄膜組件上的異物附著，保持了極其清潔的狀態。

[產業上之可利用性]

本發明的防塵薄膜組件收納容器可用來作為半導體裝置用的防塵薄膜組件的收納容器及保管容器，也可用作比半導體裝置用的防塵薄膜組件大型的液晶用的防塵薄膜組件的收納容器及保管容器。

10‧‧‧防塵薄膜組件收納容器

12‧‧‧防塵薄膜組件

12a‧‧‧防塵薄膜組件框架

12b‧‧‧防塵薄膜

12c‧‧‧複合層

14‧‧‧容器本體

16‧‧‧蓋體

18‧‧‧凸狀突肋

18a‧‧‧突出面

20a‧‧‧菱形突肋

22‧‧‧凹部

26a‧‧‧直棒狀體

28‧‧‧安裝螺栓

37‧‧‧把手

Claims (8)

1. 一種防塵薄膜組件收納容器，具備：載置防塵薄膜組件的方形的樹脂製的容器本體；以及以其周緣部進行嵌合卡定，從而覆蓋所述防塵薄膜組件的樹脂製的蓋體，沿著所述容器本體的外周緣形成的凸狀突肋的突出面形成為所述防塵薄膜組件的載置面，所述防塵薄膜組件收納容器的特徵在於：安裝於所述容器本體的外側底面且在其外周緣與所述凸狀突肋之間的加固構件為框形體或L字形體，所述框形體包含沿所述外周緣的各邊固定的直棒狀體在內的大小可以調整，所述L字形體相互獨立地固定於所述容器本體的各角部。
2. 如申請專利範圍第1項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述框形體由所述直棒狀體和配置於所述容器本體的角部的所述L字形體構成，為使所述框形體的大小可以調整，所述直棒狀體和所述L字形體的安裝位置是可變的。
3. 如申請專利範圍第1項或第2項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述L字形體以其角部成為平面或曲面的方式來形成。
4. 如申請專利範圍第1項至第3項中任一項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述防塵薄膜組件至少一邊的長度為500mm以上。
5. 如申請專利範圍第1項至第4項中任一項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中所述加固構件的底面與所述容器本體的外側 底面在同一平面上。
6. 如申請專利範圍第1項至第5項中任一項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中在由所述凸狀突肋包圍的容器本體的底面區域的各角部形成有角部突肋，所述角部突肋的兩端與形成所述角部的兩根凸狀突肋連接。
7. 如申請專利範圍第1項至第6項中任一項所述的防塵薄膜組件收納容器，其中在安裝於所述容器本體的彼此對向的邊上的所述加固構件上，設有用於搬運所述防塵薄膜組件收納容器的握持機構。
8. 如申請專利範圍第1項至第7項中任一項所述的防塵薄膜組件收納容器，其裝設有覆蓋所述容器本體的整個外側底面的板體。