JP2007145398A - 基板収納容器、マスクブランク収納体、および転写マスク収納体 - Google Patents

Abstract

【課題】広い作業スペースを必要とせず、表面を汚すことなく、また、表面を傷つけることなく、大型基板の出し入れ作業を行うことのできる基板収納容器を提案すること。
【解決手段】マスクブランク収納体１は、基板収納容器１０にマスクブランク５０が密閉状態で収納保持された構成となっている。基板収納容器１０は、外側容器２０に内側容器３０が引き出し可能に収納され、内側容器３０の内部には、外周端面が保持された状態で大型サイズのマスクブランク５０が収納されている。内側容器３０を外側容器２０から引き出し、内側容器３０の内側容器蓋３２を外すと、マスクブランク５０の裏面５１ｆが露出する。吸着盤などの治具を用いてマスクブランク５０を内側容器本体３１から取り出して所定の場所に移すことができる。
【選択図】図２

Description

本発明は、ガラス基板の表面に遮光膜およびレジスト膜が積層された構成のマスクブランク、パターニングされている遮光膜が形成されている転写マスクなどの基板を搬送するために用いる基板収納容器に関するものである。特に、本発明は、一辺が例えば700mm以上の大型サイズのマスクブランク、転写マスクを搬送するのに適した基板収納容器に関するものである。

マスクブランク、転写マスクなどの基板は一般に機械的に脆弱であり、その用途上、微細な塵などが表面に付着しないように管理する必要がある。また、大型大画面のディスプレイ製品などの出現によって、そのような製品の製造工程に用いられる転写マスクなどの基板も大型化している。例えば、縦横の寸法が、850mm×1400mm、1200mm×1400mm、さらには1400mm×1600mmの大型のマスクブランク、転写マスクなどが用いられるようになってきている。

大型のマスクブランク、転写マスクなどを搬送するために用いる収納容器としては、樹脂性の容器本体を金属製の補強部材によって補強した構成のものが知られている。特許文献１には、このような大型サイズの基板を収納するための大型容器が開示されており、樹脂板からなる蓋体部と、同じく樹脂板からなる本体部とをバックル錠で互いに密閉状態で係合して密閉容器としてあり、その内部に収容・保持されている大型サイズの基板は、その周縁部が蓋体部の保持部材間に保持され、両面が実質的に容器内の他の部材と非接触な状態とされている。また、蓋体部と本体部の外側面にはアルミニウム・アングルが補強のために取り付けられている。
特開２００５−１７０５０７号公報

従来の収納容器は、上記特許文献に開示されているように、左右に開閉する構成となっており、基板の出し入れ作業は、一般に縦横寸法の大きな偏平な収納容器を横に倒した状態で行われる。このため、基板の出し入れ作業に当たっては、収納容器を左右に開くために広い作業スペースが必要である。

また、基板の出し入れ時に埃などが膜表面に付かないように、膜が形成されている面が下向きの状態で基板が取り扱われる。しかしながら、収納容器を左右に開いた状態では、基板の両面が開放状態になるので、表面に埃が付着するおそれが高い。さらに、左右に開いた収納容器の部分、収納容器から取り外した固定具、あるいは、固定具を緩めるための治具などが基板表面に当たり、基板を傷つける危険性もある。

本発明の課題は、このような点に鑑みて、大型基板の出し入れ作業のための広い作業スペースを必要とせず、基板表面を汚すことなく、また、基板表面を傷つけることなく、大型基板の出し入れ作業を行うことのできる基板収納容器を提案することにある。

上記の課題を解決するために、本発明の基板収納容器は、外側容器と、当該外側容器に対して引き出し可能な状態で収納されている引き出し式内側容器と、当該引き出し式内側容器の内部に形成された基板収納部とを有していることを特徴としている。

本発明の基板収納容器では、内側容器を外側容器から引き出し、引き出された内側容器に対して基板の出し入れが行われる。外側容器を左右に開閉する必要がないので、作業スペースが少なくて済む。また、引き出した内側容器を所定の場所に移動して、基板の出し入れを行うことができるので、基板の表面あるいは裏面に埃などの汚れが付着することを回避あるいは抑制でき、また、基板が外側容器の構成部品に当たり傷が付くなどのおそれもない。

ここで、大型の基板を収納するための基板収納容器の場合には、前記外側容器を補強するための金属製の補強部材を当該外側容器の外側面に取り付けておくことが望ましい。

補強部材を取り付けることにより、大型の基板を収納するための前記外側容器を樹脂製とすることができる。この場合には、外側容器を、樹脂製の平板状の外側容器本体と、樹脂製の平板状の外側容器蓋と、これら外側容器本体および外側容器蓋を重ね合わせることによりこれらの間に形成される三辺が封鎖された一定厚さの矩形の内側容器収納部と、当該内側容器収納部の開口部を封鎖する樹脂製の容器蓋とを備えた構成とすることができる。

また、前記内側容器も樹脂製とすることができる。この場合には、収納される基板の両面に内側容器の構成部材が当たることの無いように、内側容器を、樹脂製の平板状の内側容器本体と、樹脂製の平板状の内側容器蓋と、前記内側容器本体に形成されている本体側枠状テーパ面と、前記内側容器蓋に形成されている蓋側枠状テーパ面とから構成し、収納される基板を挟み、前記内側容器本体に前記内側容器蓋を重ね合わせることにより、前記本体側枠状テーパ面および前記蓋側枠状テーパ面によって、基板の外周端面部分を両側から保持するようにすることが望ましい。

さらに、搬送中などにおいて外部から埃などが侵入して基板の表面あるいは裏面に付着することの無いように、前記外側容器および／または前記内側容器を密閉容器とすることが望ましい。

次に、本発明はマスクブランク収納体に関するものであり、上記構成の基板収納容器にマスクブランクが収納された構成となっていることを特徴としている。

また、本発明は転写マスク収納体に関するものであり、上記構成の基板収納容器に転写マスクが収納された構成となっていることを特徴としている。

本発明では、外側容器に引き出し式内側容器が収納され、当該引き出し式内側容器に基板を保持した構成を採用している。金属製の補強部材などによって補強された大型の外側容器を左右に開いて基板の出し入れを行う必要がなく、引き出し式内側容器を引き出して、クリーンな場所などにおいて基板の出し入れを行うことができる。よって、基板の出し入れ作業のための必要スペースが少なくて済み、基板の出し入れ作業時に基板の表面あるいは裏面が埃などによって汚れてしまうことを防止でき、また、基板の出し入れ作業時に基板を傷つけてしまうことも防止できる。

以下に、図面を参照して、本発明の実施の形態を説明する。

図１は本発明を適用したマスクブランク収納体を示す斜視図であり、図２はその主要構成要素の分解斜視図である。また、図３はその内側容器の主要構成要素の分解斜視図であり、図４は内側容器の部分拡大断面図である。

まず、図１および図２を参照して説明すると、マスクブランク収納体１は、偏平な直方体形状の基板収納容器１０と、この基板収納容器１０に密閉状態で収納保持されているマスクブランク５０とを有している。マスクブランク５０は、大型のものであり、例えば、縦横の寸法が、850mm×1400mm、1200mm×1400mm、あるいは、1400mm×1600mmである。これに対応して、基板収納容器１０の縦横の寸法も設定されている。

基板収納容器１０は、偏平な直方体形状の外側容器２０と、この内部に引き出し可能な状態で収納されている内側容器３０とを備えており、内側容器３０の内部にマスクブランク５０が収納保持されている。また、外側容器２０は補強のために、その外側面に、アルミニウムなどからなる金属製の補強枠４０が取り付けられている。

外側容器２０は、樹脂製の偏平な外側容器本体２１と、樹脂製の偏平な外側容器蓋２２と、細長い蓋板２３とを備えている。外側容器本体２１に外側容器蓋２２を重ね合わせると、これらの間には、底面および左右の端面が封鎖された偏平な内側容器収納部２４が形成されるようになっている。外側容器本体２１および外側容器蓋２２の合わせ面２５にはシール材(図示せず)が介在しており、これらの間の密閉性が確保されている。また、内側容器収納部２４の上端開口部２６は、シール材(図示せず)を介して蓋板２３によって封鎖される。よって、内側容器収納部２４は密閉状態に保持される。蓋板２３は、例えば、ラチェット・バックル錠などの固定具２７によって外側容器本体２１および外側容器蓋２２の側に固定される。

外側容器本体２１および外側容器蓋２２は、それらの外側に取り付けた補強枠４０によって相互に固定されている。補強枠４０は、重ね合わせた外側容器本体２１および外側容器蓋２３の上端および下端を取り囲む状態に取り付けられ、また、それらの表面に十文字状に取り付けられている。補強枠４０の取り付け位置、取り付けパターンなどは、外側容器２０の寸法、強度などに応じて適宜設定されるべきものであり、図示の例に限定されるものではない。

本例では、下端の補強枠４０には、左右一対のキャスタ４１が取り付けられており、マスクブランク収納体１の移動が容易となっている。また、内側容器３０の抜き差しを容易に行うことができるようにするためには、内側容器収納部２４の内部の両側の内側端面２４ａ、２４ｂに、ローラーガイドなどのガイド部材(図示せず)が取り付けられている。

次に、図３および図４を参照して説明すると、内側容器３０は樹脂製であり、内側容器収納部２４に対して引き出し可能な偏平な直方体形状をしている。内側容器３０の上端面には引き手３０ａが取り付けられており、当該内側容器３０の出し入れ作業を行い易くしている。

内側容器３０は、樹脂製の矩形形状をした内側容器本体３１と、同じく樹脂製の矩形形状をした内側容器蓋３２から構成されている。内側容器本体３１には一定深さの基板収納用の凹部３３が形成されており、当該凹部３３の内周面は、その凹部底面３４の側の部分が外側に向けて傾斜したテーパ面３５ａとされ、テーパ面３５ａに連続して凹部底面３４に直交する側面３５ｂとされている。テーパ面３５ａと側面３５ｂの入り隅の角度θ１は約１５０度に設定されている。内側容器蓋３２は、凹部３３の開口部に嵌る大きさの矩形板であり、その内側表面３６の外周縁に沿ってテーパ面３６ａが形成されている。内側容器蓋３２を凹部３３に嵌めた状態において、テーパ面３６ａと凹部３３の側面３５ｂの入り隅の角度θ２が約１００度になるように設定されている。

ここで、マスクブランク５０は、一定の厚さの矩形のガラス基板５１の表面５１ａに、遮光膜５２およびレジスト膜５３が積層された構成の大型サイズのものである。ガラス基板５１は、その外周端面５１ｂの両側の縁部分に、４５度で面取りされた面取り面５１ｃ、５１ｄが形成されている。遮光膜５２の端を覆っているレジスト膜５３の端５３ａは、ガラス基板表面５１ａと表面側の面取り面５１ｃの出隅を覆う位置まで広がっている。

この構成のマスクブランク５０は、内側容器３０の内側容器本体３１の凹部３３に収納され、その上から内側容器蓋３２が装着され、不図示の固定具によって、内側容器本体３１に対して内側容器蓋３２が固定される。図４に示すように、マスクブランク５０の外周端面５１ｂが、両側からテーパ面３５ａおよび３６ａによって保持された状態が形成される。よって、マスクブランク５０は、レジスト膜５３の表面およびガラス基板の裏面５１ｆに内側容器３０の構成部材が当たらない状態で、当該内側容器３０の内部に収納保持された状態が形成される。

また、本例では、テーパ面３５ａの傾斜角度が面取り面５１ｃの傾斜角度より小さいので、レジスト膜５３の端部５３ａがテーパ面３５ａに干渉してしまうことを回避できる。さらに、反対側のテーパ面３６ａは面取り面５１ｄの傾斜角度より大きいので、ガラス基板５１の面取り面５１ｄとガラス基板裏面５１ｆの出隅５１ｇがテーパ面３６ａに当接した状態になり、マスクブランク５０がその厚さ方向にがた付くことなく、凹部３３に収納保持される。

次に、このように構成したマスクブランク収納体１の取り扱い方法、特に、マスクブランク５０の出し入れ作業について説明する。まず、マスクブランク５０が収納されているマスクブランク収納体１は、図１に示すように、縦置き状態で保管され、移動され、あるいは輸送される。マスクブランク５０の取り出し時には、たとえば、図２に示すように、マスクブランク収納体１を横に水平に倒す。この状態で、固定具２７を外して、外側容器２０の蓋板２３を外す。蓋板２３を外すと、内側容器３０の上端面に取り付けられている引き手３０ａが露出する。作業員は、当該引き手３０ａを持って内側容器３０を容易に引き出すことができる。内側容器３０を引き出した後は、不図示の固定具を外して、その内側容器蓋３２を取り外す。この結果、内側容器本体３１の凹部３３が開放状態となり、そこに収納保持されているマスクブランク５０の裏面５１ｆが露出する。この後は、吸着盤などの治具を用いて、マスクブランク５０を凹部３３から取り出して、所定の場所に移動すればよい。マスクブランク５０を収納する作業は、上記とは逆の手順で行うことができる。

このように、本例のマスクブランク収納体１を用いれば、マスクブランク５０の出し入れ作業において、それを左右に開く必要がないので、作業スペースが少なくて済む。また、内側容器３０を引き出した後に、その内側容器蓋３２を取り外した状態では、マスクブランク５０の裏面５１ｆが露出するものの、膜が形成されている表面側は内側容器本体３１によって覆われた状態のままである。したがって、マスクブランク５０の表面側が露出する状態の発生を最小限に抑制できるので、膜表面に埃などが付着して汚れるおそれが殆どない。また、外側容器２０、内側容器３０の部材、固定具などがマスクブランク５０の表面に当って当該表面を傷つけてしまう危険も回避できる。

なお、本例はマスクブランク収納体についてのものであるが、本発明の構成を、ガラス基板表面にパターニングされた遮光膜が形成された構成の転写マスクを収納するための収納容器、転写マスク収納体として適用することができる。また、マスクブランク、転写マスク以外のガラス基板などの収納容器あるいは収納体として適用することができる。

本発明を適用したマスクブランク収納体の斜視図である。 図１のマスクブランク収納体の主要構成要素の分解斜視図である。 図１のマスクブランク収納体の内側容器の主要構成要素の分解斜視図である。 内側容器の部分拡大断面図である。

符号の説明

１ マスクブランク収納体
１０ 収納容器
２０ 外側容器
２１ 外側容器本体
２２ 外側容器蓋
２３ 蓋板
２４ 内側容器収納部
２５ 合わせ面
２６ 開口部
２７ 固定具
３０ 内側容器
３０ａ 引き手
３１ 内側容器本体
３２ 内側容器蓋
３３ 凹部
３４ 凹部底面
３５ａ テーパ面
３５ｂ 側面
４０ 補強枠
４１ キャスタ
５０ マスクブランク
５１ ガラス基板
５１ａ 表面
５１ｂ 外周端面
５１ｃ、５１ｄ 面取り面
５１ｆ 裏面
５１ｇ 出隅

Claims (7)

1. 外側容器と、
   当該外側容器に対して引き出し可能な状態で収納されている引き出し式内側容器と、
   当該引き出し式内側容器の内部に形成された基板収納部とを有していることを特徴とする基板収納容器。
2. 請求項１において、
   前記外側容器を補強するための金属製の補強部材枠が当該外側容器の外側面に取り付けられていることを特徴とする基板収納容器。
3. 請求項２において、
   前記外側容器は、樹脂製の平板状の外側容器本体と、樹脂製の平板状の外側容器蓋と、これら外側容器本体および外側容器蓋を重ね合わせることによりこれらの間に形成される三辺が封鎖された一定厚さの矩形の内側容器収納部と、当該内側容器収納部の開口部を封鎖する樹脂製の容器蓋とを備えていることを特徴とする基板収納容器。
4. 請求項３において、
   前記内側容器は、樹脂製の平板状の内側容器本体と、樹脂製の平板状の内側容器蓋と、前記内側容器本体に形成されている本体側枠状テーパ面と、前記内側容器蓋に形成されている蓋側枠状テーパ面とを備えており、
   収納対象の基板を挟み、前記内側容器本体に前記内側容器蓋を重ね合わせることにより、前記本体側枠状テーパ面および前記蓋側枠状テーパ面によって、前記基板の外周端面部分が両側から保持された状態が形成されるようになっていることを特徴とする基板収納容器。
5. 請求項１ないし４のうちのいずれかの項において、
   前記外側容器および／または前記内側容器は密閉容器であることを特徴とする基板収納容器。
6. 請求項１ないし５のうちのいずれかの項に記載の基板収納容器と、
   当該基板収納容器に収納されている基板とを有し、
   前記基板は、遮光膜およびレジスト膜が積層されたマスクブランクであることを特徴とするマスクブランク収納体。
7. 請求項１ないし５のうちのいずれかの項に記載の基板収納容器と、
   当該基板収納容器に収納されている基板とを有し、
   前記基板は、パターニングされた遮光膜が形成されている転写マスクであることを特徴とする転写マスク収納体。

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