JP3205374U - ペリクルフレーム台車 - Google Patents

Abstract

【課題】リユース用のペリクルフレーム回収品の収率向上、利用者側での作業負担軽減、回収されたペリクルフレームの置き場スペースの有効利用を可能とするペリクルフレーム台車を提供する。【解決手段】フォトマスク防塵フィルムを保持して該フォトマスク防塵フィルムとともにペリクルを構成するペリクルフレームを保持ないしは搬送するためのペリクルフレーム台車１０であって、ペリクルフレームＰＦを収納する内ケース２０と、積層された状態の内ケース２０を収容する筐体３０と、を備える。内ケース２０が可撓性を有する素材で構成されていてもよい。また、内ケース２０に剛性を向上させる補強材２１が設けられていてもよい。【選択図】図７

Description

本考案は、ペリクルフレーム台車に関する。

液晶や半導体の製造工程において、露光トラブルを防ぐ手段としてペリクルが利用されている。ペリクルは、フォトマスク用防塵フィルムが、例えばアルミニウム製の金属枠からなるペリクルフレームに取り付けられて構成されている（例えば特許文献１参照）。

近年、使用後のペリクルのフレームを回収し、リユースフレームとして再利用する試みがおこなわれている。これは、例えば、ユーザー等の利用者に対して使用後のペリクルの防塵フィルムとフレームとを分離してもらい、フレームを袋に入れて保管してもらう、といった形で行われている。

特開２００２−２９６７６３号公報

しかしながら、従来の回収手法によると、ペリクルフレームの表面に傷が付いたり、フレームが曲がったりすることがあった。また、ペリクルを分解したうえでペリクルフレームを袋に入れて保管する作業は、再利用することの恩恵を受けない利用者側にとってみれば負担が大きい。さらに、利用者側にすれば、ペリクルフレームの置き場スペースを有効利用することが難しくなる。

本考案は、リユース用のペリクルフレーム回収品の収率向上、利用者側での作業負担軽減、回収されたペリクルフレームの置き場スペースの有効利用を可能とするペリクルフレーム台車を提供することを目的とする。

かかる課題を解決するべく、本考案は、フォトマスク防塵フィルムを保持して該フォトマスク防塵フィルムとともにペリクルを構成するペリクルフレームを保持ないしは搬送するためのペリクルフレーム台車であって、
前記ペリクルフレームを収納する内ケースと、
積層された状態の前記内ケースを収容する筐体と、
を備えることを特徴とするものである。

このペリクルフレーム台車によれば、ペリクルフレームを内ケースに収納した状態で筐体に出し入れすることができるため、ペリクルフレームの出し入れの際にフレーム表面に傷が付くことを回避することができる。また、ペリクルフレームを単に袋に入れて保管しておく場合とは異なり、このペリクルフレーム台車によれば、筐体内で曲げが生じづらい状態でペリクルフレームを保管することができる。

また、このペリクルフレーム台車によれば、ペリクルフレームを内ケースに収納し、該内ケースを筐体内に収容するという一連の作業でペリクルフレームを保管することができ、あるいはこれと逆の手順でペリクルフレームを取り出すことができることから、単に袋に入れて保管しておく場合とは異なり、利用者側の作業負担が軽減する。

さらに、このペリクルフレーム台車によれば、予め形態が決められている筐体内にペリクルフレームを並べて収容することができることから、単に袋に入れて床上等に保管しておく場合とは異なり、置き場スペースを有効利用することが可能である。しかも、ペリクルフレーム台車によれば、収容されているペリクルフレームをそのまま搬送することができる。

ペリクルフレーム台車において、前記内ケースが可撓性を有する素材で構成されていてもよい。

この場合、前記内ケースに剛性を向上させる補強材が設けられていてもよい。

前記内ケースにおける前記ペリクルフレームの出し入れ口にマグネットが配置されていてもよい。

前記内ケースの内側にクッション材が設けられていてもよい。

ペリクルフレーム台車において、前記内ケースは前記筐体内に立てかけられた状態で収容されていることが好ましい。

ペリクルフレーム台車において、前記内ケースは、前記ペリクルフレームが多くとも１個収納されるものであることが好ましい。

前記筐体は、開口可能な前開口部を備えるものであってもよい。

前記筐体は、少なくとも一部が開口可能な上開口部を備えていてもよい。

前記筐体の底部にキャスターが取り付けられていてもよい。

前記筐体の底部に、フォークリフトの爪を差し込み可能な被差し込み部が設けられていてもよい。

本考案によれば、リユース用のペリクルフレーム回収品の収率向上、利用者側での作業負担軽減、回収されたペリクルフレームの置き場スペースの有効利用が可能となる。

本考案の一実施形態を示すペリクルフレーム台車の側面図である。 ペリクルフレーム台車の背面図である。 図１に示すペリクルフレーム台車の平面図である。 ペリクルフレーム台車の斜視図である。 前開口部および上開口部が開口した状態のペリクルフレーム台車の斜視図である。 筐体内に内ケースを収容した状態のペリクルフレーム台車の斜視図である。 ペリクルフレーム台車の筐体内における内ケースおよびペリクルフレームを、一部外側に出した状態で示す斜視図である。

以下、図面を参照しつつ本考案の好適な実施形態について詳細に説明する（図１等参照）。

本考案に係るペリクルフレーム台車１０は、ペリクルフレームＰＦを一時的ないしは長期にわたって保持し、あるいは保持した状態で搬送することができる台車として構成されている。

まず、ペリクルおよびペリクルフレームＰＦについて簡単に説明しておく。ペリクルとは、液晶・半導体の製造工程の露光トラブルを防ぐためのフォトマスク用防塵フィルムであり、用途に応じて例えば半導体用途、大型液晶ディスプレイ用途などのペリクルが利用される。露光の際、ペリクルの表面に付着したパーティクルはウエハ上で結像しないため、露光トラブルを防ぐことができる。

ペリクルフレームＰＦは、ペリクルを保持する例えば金属製の矩形枠で構成されている。ペリクルフレームＰＦは、内ケース２０に収納される（図７等参照）。ペリクルフレームＰＦを収納した内ケース２０は、ペリクルフレーム台車１０の筐体３０内に収容される。

ペリクルフレーム台車１０は、内ケース２０を収納する筐体３０を備える。筐体３０は例えば略直方体形状の箱状であり（図１〜図３等参照）、内ケース２０を立てかけられた状態で収容可能に形成されている（図６等参照）。

また、筐体３０には、内ケース２０を出し入れ可能とする開口部３１が形成されている。例えば本実施形態のペリクルフレーム台車１０の筐体３０には、奥行き寸法が大、幅が小となるように配置した場合の前面３０Ａに、開口可能な前開口部３１Ａを備える（図４等参照）。前開口部３１Ａは、例えば開き扉３２によって構成することができる（図５参照）。

また、筐体３０の上面３０Ｂには上開口部３１Ｂが形成されている（図４等参照）。上開口部３１Ｂは、前面３０Ａの開口と連なる開口を当該上面３０Ｂに形成し、全体としてＬ字形状の開口部３１とすることで、内ケース２０の出し入れ作業をより行いやすくする（図５、図６参照）。上開口部３１ｂは、例えば前後方向（奥行方向）にスライドする摺動蓋３３によって構成することができる（図５等参照）。

また、筐体３０には、キャスター３４、ハンドル３５、被差し込み部３６が設けられている（図１等参照）。

キャスター３４は筐体３０の底部の例えば四隅に取り付けられており（図３等参照）、内ケース２０を収容した状態のままでペリクルフレーム台車１０を移動させることを容易とする。

ハンドル３５は筐体３０の例えば背面３０の、作業者らが握りやすく押したり引いたりしやすい位置に取り付けられている（図２等参照）。

被差し込み部３６は、フォークリフトの爪を差し込み可能あるいは差し込み容易にするよう、筐体３０の底部に設けられている。例えば、本実施形態では、筐体３０の側面視において底部の左右それぞれに被差し込み部３６を設けている（図１参照）。

内ケース２０は、ペリクルフレームＰＦを収納するケースとして好適に形成されている。特に図示していないが、内ケース２０の内側にクッション材を設けておけば、内ケース２０をどこかにぶつけてしまったとしてもペリクルフレームＰＦに加わる衝撃を緩衝し、変形したり表面に傷が付いたりすることを回避することができる。

例えば本実施形態では、内ケース２０として、可撓性を有する素材で構成されたケースを用いている。内ケース２０の例えば長辺側の１辺はペリクルフレームＰＦを出し入れするための出し入れ口（収納口）２４となっている（図７参照）。また、隣接する長辺および短辺の両方を開いてＬ字状の出し入れ口２４とすればファイルケースのように大きく開くので、ペリクルフレームＰＦの出し入れがさらに行いやすくなる。

内ケース２０における出し入れ口２４に、閉じた状態を保持する部材たとえば図示しないマグネット（およびこれと金属などの組み合わせ等でもよい）等を配置してもよい。内ケース２０が可撓性素材で構成されていても、マグネットが出し入れ口２４を閉じた状態に保持するので、収納されているペリクルフレームＰＦが出し入れ口２４から出てしまうことがない。

また、内ケース２０に、剛性を向上させる補強材２１を設けてもよい。補強材２１は、自重の影響で内ケース２０が撓（しな）ったり座屈のように曲がったりするのを抑制する。補強材２１は、例えば、出し入れ口２４に沿って設けることができる（図７参照）。出し入れ口２４が上述のごときＬ字状であれば、隣接する長辺および短辺の両方に沿って補強材２１を設けることもできる。磁石などを利用して一対の補強材２１どうしが吸着し合い、あるいは離れにくくなるようにしてもよい。

なお、内ケース２０に対してペリクルフレームＰＦを複数個収納することが可能であるが、本実施形態では１つの内ケース２０に多くとも１個のペリクルフレームＰＦを収納することとしている。

続いて、新規のペリクルフレーム台車１０に、使用後のペリクルフレームＰＦを収容する際の一連の動き等を説明する。

まず、ペリクルフレームＰＦの使用現場あるいはその近傍などにペリクルフレーム台車１を準備し、当該ペリクルフレーム台車１の筐体３０を開梱し、前開口部３１Ａと上開口部３１Ｂを開ける。次に、あらかじめ筐体３０内に収容されている複数の内ケース２０のうちの１個を開口部３１から引き出して取り出す（図７参照）。

取り出した内ケース２０の出し入れ口２４から、保管対象であるペリクルフレーム（例えば使用済みとなったペリクルフレーム）ＰＦを収納する。その後、ペリクルフレームＰＦを収納した内ケース２０を開口部３１から筐体３０内に収容する（図７参照）。その後、ペリクルフレーム台車１を移動させて任意の場所で保管する。

このペリクルフレーム台車１０によれば、ペリクルフレームＰＦを内ケース２０に収納した状態で筐体３０に出し入れすることができるため、ペリクルフレームＰＦの出し入れの際にフレーム表面に傷が付くことを回避することができる。また、ペリクルフレームＰＦを単に袋に入れて保管しておく場合とは異なり、このペリクルフレーム台車１０によれば、筐体３０内で曲げが生じづらい状態でペリクルフレームＰＦを保管することができる。

また、このペリクルフレーム台車１０によれば、ペリクルフレームＰＦを内ケース２０に収納し、該内ケース２０を筐体３０内に収容するという一連の作業でペリクルフレームＰＦを保管することができ、あるいはこれと逆の手順でペリクルフレームＰＦを取り出すことができることから、単に袋に入れて保管しておく場合とは異なり、利用者側の作業負担が軽減する。

さらに、このペリクルフレーム台車１０によれば、予め形態が決められている筐体３０内に（それぞれ内ケース２０に収納された状態の）ペリクルフレームＰＦを並べて収容することができることから、単に袋に入れて床上等に保管しておく場合とは異なり、置き場スペースを有効利用することが可能である。しかも、ペリクルフレーム台車１０によれば、収容されているペリクルフレームＰＦをそのまま搬送し、任意の場所で保管することができる。

上述のごとき各利点は、例えば、コスト高であるペリクルフレームＰＦを回収して再利用する場面などで有利に働く。すなわち、利用者側で保管していると変形したり傷が付いたりすることがあったが、本実施形態のペリクルフレーム台車１０によれば、傷が付きにくい状態で運搬、保管、返却してもらうことができる。したがって、リユース用のペリクルフレーム回収品の収率向上、利用者側での作業負担軽減、回収されたペリクルフレームＰＦの置き場スペースの有効利用が可能となる。

なお、上述の実施形態は本考案の好適な実施の一例ではあるがこれに限定されるものではなく本考案の要旨を逸脱しない範囲において種々変形実施可能である。例えば、上述した実施形態では筐体３０にキャスター３４が直接取り付けられたペリクルフレーム台車１０を説明したがこれは好適な一例にすぎず、この他、例えばキャスター付き台車を用意しておき、これにキャスター無しの筐体を載せて移動できるようにしてもよい。

本考案は、フォトマスク防塵フィルムを保持して該フォトマスク防塵フィルムとともにペリクルを構成するペリクルフレームを保持ないしは搬送する場合に適用して好適である。

１０…ペリクルフレーム台車
２０…内ケース
２１…補強材
２３…クッション材
２４…出し入れ口
３０…筐体
３０Ａ…前面
３０Ｂ…上面
３１…開口部
３１Ａ…前開口部
３１Ｂ…上開口部
３４…キャスター
３６…被差し込み部
ＰＦ…ペリクルフレーム

Claims (11)

1. フォトマスク防塵フィルムを保持して該フォトマスク防塵フィルムとともにペリクルを構成するペリクルフレームを保持ないしは搬送するためのペリクルフレーム台車であって、
   前記ペリクルフレームを収納する内ケースと、
   積層された状態の前記内ケースを収容する筐体と、
   を備えることを特徴とするペリクルフレーム台車。
2. 前記内ケースが可撓性を有する素材で構成されていることを特徴とする請求項１に記載のペリクルフレーム台車。
3. 前記内ケースに剛性を向上させる補強材が設けられていることを特徴とする請求項２に記載のペリクルフレーム台車。
4. 前記内ケースにおける前記ペリクルフレームの出し入れ口にマグネットが配置されていることを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のペリクルフレーム台車。
5. 前記内ケースの内側にクッション材が設けられていることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のペリクルフレーム台車。
6. 前記内ケースは前記筐体内に立てかけられた状態で収容されていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載のペリクルフレーム台車。
7. 前記内ケースは、前記ペリクルフレームが多くとも１個収納されるものであることを特徴とする請求項１から６のいずれか一項に記載のペリクルフレーム台車。
8. 前記筐体は、開口可能な前開口部を備えることを特徴とする請求項１から７のいずれか一項に記載のペリクルフレーム台車。
9. 前記筐体は、少なくとも一部が開口可能な上開口部を備えることを特徴とする請求項８に記載のペリクルフレーム台車。
10. 前記筐体の底部にキャスターが取り付けられていることを特徴とする請求項１から９のいずれか一項に記載のペリクルフレーム台車。
11. 前記筐体の底部に、フォークリフトの爪を差し込み可能な被差し込み部が設けられていることを特徴とする請求項１から１０のいずれか一項に記載のペリクルフレーム台車。

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