JPH0672482A - 基板ウェファー懸架容器、基板ウェファー懸架装置、及び基板ウェファー懸架容器に挿入するためのクッション - Google Patents
基板ウェファー懸架容器、基板ウェファー懸架装置、及び基板ウェファー懸架容器に挿入するためのクッションInfo
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- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
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-
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- Packaging Of Annular Or Rod-Shaped Articles, Wearing Apparel, Cassettes, Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【目的】 半導体ウェファー、円板又は基板を貯蔵及び
搬送するためのパッケージ乃至容器であって、搬送又は
取扱い中の振動や衝撃をある程度吸収出来、しかも外部
環境からの汚染を防止出来るたけでなく、パッケージ内
側から基板のこすれ等により粒子が発生し同基板を汚染
したり、損傷したりするのを防止出来るパッケージを提
供する。 【構成】 パッケージはカバー（１２）、底部材（１
０）、ウェファー噛合い表面（１４４，１４６）を備え
た突出部材（１３５）を有する少なくとも一つのクッシ
ョン（１８，２０）、該クッションを固定するための軌
道（４４，４５）又は（７８，８０）及び前記ウェファ
ーを収納するためのカセット（１４）を備えている。
搬送するためのパッケージ乃至容器であって、搬送又は
取扱い中の振動や衝撃をある程度吸収出来、しかも外部
環境からの汚染を防止出来るたけでなく、パッケージ内
側から基板のこすれ等により粒子が発生し同基板を汚染
したり、損傷したりするのを防止出来るパッケージを提
供する。 【構成】 パッケージはカバー（１２）、底部材（１
０）、ウェファー噛合い表面（１４４，１４６）を備え
た突出部材（１３５）を有する少なくとも一つのクッシ
ョン（１８，２０）、該クッションを固定するための軌
道（４４，４５）又は（７８，８０）及び前記ウェファ
ーを収納するためのカセット（１４）を備えている。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はパッケージに関するもの
であり、より具体的には、取換え可能な弾性クッション
を備えた基板ウェファーパッケージにして、前記クッシ
ョン間にはウェファーが懸架され、エッジ形状部におけ
る滑動又は枢動を防止し、以って粒子の発生及びウェフ
ァーに対する損傷を排除するようにした基板ウェファー
パッケージに関するものである。
であり、より具体的には、取換え可能な弾性クッション
を備えた基板ウェファーパッケージにして、前記クッシ
ョン間にはウェファーが懸架され、エッジ形状部におけ
る滑動又は枢動を防止し、以って粒子の発生及びウェフ
ァーに対する損傷を排除するようにした基板ウェファー
パッケージに関するものである。
【０００２】
【従来の技術の説明】基板ウェファーを保持し、搬送す
るためのパッケージ乃至容器が当業界において種々知ら
れている。例えば、（Ｎｅｎｔｌ氏の）米国特許第５，
０４６，６１５号は円板搬送装置を開示しており、該装
置はカバー内に鋸歯状スカラップの列として設けた下向
きに延びる鋸歯状葉部材を利用することによりウェファ
ー又は円板を直立し平行な隔置部品として整列させると
ともに、同円板のしっかりした配置を行なうことにより
最後の搬送体内における縦方向又は横方向の動きを防止
している。
るためのパッケージ乃至容器が当業界において種々知ら
れている。例えば、（Ｎｅｎｔｌ氏の）米国特許第５，
０４６，６１５号は円板搬送装置を開示しており、該装
置はカバー内に鋸歯状スカラップの列として設けた下向
きに延びる鋸歯状葉部材を利用することによりウェファ
ー又は円板を直立し平行な隔置部品として整列させると
ともに、同円板のしっかりした配置を行なうことにより
最後の搬送体内における縦方向又は横方向の動きを防止
している。
【０００３】（Ｇｒｅｇｏｒｓｏｎ氏等の）米国特許第
４，９６６，２８４号は基板ウェファーを貯蔵し、搬送
するための基板パッケージ容器を開示している。この特
許に開示された容器は屈曲する片持ち梁式の水平方向ア
ームの対向列を含んでおり、該アームには各端部にウェ
ファーと噛合うための中心Ｖ字割溝が設けられている。
４，９６６，２８４号は基板ウェファーを貯蔵し、搬送
するための基板パッケージ容器を開示している。この特
許に開示された容器は屈曲する片持ち梁式の水平方向ア
ームの対向列を含んでおり、該アームには各端部にウェ
ファーと噛合うための中心Ｖ字割溝が設けられている。
【０００４】（Ｍｏｒｔｅｎｓｅｎ氏の）米国特許第
４，７９３，４８８号は半導体ウェファーを貯蔵及び搬
送するための二部分からなるパッケージを開示してい
る。このパッケージはウェファーを定位置に固定するた
めにウェファーに対してばね圧力を誘起せしめる複数個
のウェファー接触子を含んでいる。
４，７９３，４８８号は半導体ウェファーを貯蔵及び搬
送するための二部分からなるパッケージを開示してい
る。このパッケージはウェファーを定位置に固定するた
めにウェファーに対してばね圧力を誘起せしめる複数個
のウェファー接触子を含んでいる。
【０００５】（Ａｒｍｓｔｒｏｎｇ氏の）米国特許第
４，６５３，６３６号は高温ウェファーボートを開示し
ている。このウェファーボートは慣用的リブと、底支持
リブと、側方支持レールと側方保持レールとを含んでい
る。これらのレールはウェファーの位置決めを維持のす
るために整合された割溝を備えている。
４，６５３，６３６号は高温ウェファーボートを開示し
ている。このウェファーボートは慣用的リブと、底支持
リブと、側方支持レールと側方保持レールとを含んでい
る。これらのレールはウェファーの位置決めを維持のす
るために整合された割溝を備えている。
【０００６】（Ｋｏｅｚ氏の）米国特許第４，５８８，
０８６号は２部分からなり透明な蓋を備えた基板搬送体
を開示している。ベース部分は半円形のＶ字形状割溝を
含んでいる。カバーはまたウェファーの頂部と噛合うた
めのＶ字形状割溝をも含んでいる。
０８６号は２部分からなり透明な蓋を備えた基板搬送体
を開示している。ベース部分は半円形のＶ字形状割溝を
含んでいる。カバーはまたウェファーの頂部と噛合うた
めのＶ字形状割溝をも含んでいる。
【０００７】（Ｖｏｓｓ氏等の）米国特許第４，５５
５，０２４号は半導体ウェファーのためのパッケージユ
ニットを開示しており、該ユニットはウェファー表面を
支持するためベース内に設けたばね舌片と、蓋内に設け
た内向きに突出する保持コーンとを含んでいる。ウェフ
ァーは４つの接触点において固定されている。この設計
の目標はウェファーとの接触を最小限に保持することで
ある。
５，０２４号は半導体ウェファーのためのパッケージユ
ニットを開示しており、該ユニットはウェファー表面を
支持するためベース内に設けたばね舌片と、蓋内に設け
た内向きに突出する保持コーンとを含んでいる。ウェフ
ァーは４つの接触点において固定されている。この設計
の目標はウェファーとの接触を最小限に保持することで
ある。
【０００８】（Ｊｏｈｎｓｏｎ氏の）米国特許第４，４
５０，９６０号は輪郭形状を備え、柔軟なフィンガーを
含んだパッケージを開示しており、同フィンガーはウェ
ファーを隔置し、固定するとともにパッケージ底に関し
てパッケージ頂部に向けての上向き圧力を提供してい
る。
５０，９６０号は輪郭形状を備え、柔軟なフィンガーを
含んだパッケージを開示しており、同フィンガーはウェ
ファーを隔置し、固定するとともにパッケージ底に関し
てパッケージ頂部に向けての上向き圧力を提供してい
る。
【０００９】（Ｋｕｄｌｉｃｈ氏の）米国特許第４，１
６０，５０４号は互いに対向して形成された複数個の平
行で、横方向に延びるガイドリブと、円板をして直立位
置に維持するよう協働する複数個のノブとを備えている
パッケージを開示している。
６０，５０４号は互いに対向して形成された複数個の平
行で、横方向に延びるガイドリブと、円板をして直立位
置に維持するよう協働する複数個のノブとを備えている
パッケージを開示している。
【００１０】（Ｊｏｈｎｓｏｎ氏の）米国特許第４，０
４３，４５１号は半導体ウェファーのための更に別の搬
送容器を開示している。蓋は内部のウェファー位置決め
リブと、ウェファーのエッジの直下及び上方に設けた弾
性的でカーブしたウェファー支持体とを備えている。ベ
ースは柔らかくばね性のあるプラスチックからなり、波
形のウェファー噛合い表面を備えた細長いパネルを含ん
でいる。
４３，４５１号は半導体ウェファーのための更に別の搬
送容器を開示している。蓋は内部のウェファー位置決め
リブと、ウェファーのエッジの直下及び上方に設けた弾
性的でカーブしたウェファー支持体とを備えている。ベ
ースは柔らかくばね性のあるプラスチックからなり、波
形のウェファー噛合い表面を備えた細長いパネルを含ん
でいる。
【００１１】前述した従来技術の引用例においてウェフ
ァーパッケージ技術の顕著な改良例が説明されたが、こ
れらの従来技術に係るパッケージを用いても真の問題点
は存在し続ける。これらの問題点の多くはパッケージ乃
至容器が封入するウェファー基板の特性故に生ずるもの
である。そのような基板ウェファーは破損し易く、傷付
き易く、従って極めて脆弱である。これらの基板ウェフ
ァーは粒子又は他の環境汚染物によって容易に損傷を受
ける。前述した以外の他の従来技術のある物は確かにウ
ェファーを外部環境から保護することが出来る。しかし
ながら、そのようなパッケージが用いられる時には、ウ
ェファーはパッケージ作業そのものによって損傷を受け
たり、ウェファーがパッケージ内のウェファーエッジ輪
郭上を枢動し、滑動するか又は回転することによって生
成される粒子によって汚染されるパッケージの内部環境
のために損傷を受けてしまう。そのような内部汚染はパ
ッケージ内で基板ウェファーを緩衝するか保持するのに
用いられる熱可塑性プラスチックがそれらの弾性記憶作
用を失なうにつれて顕著なものになり、遂には、ウェフ
ァーはもはやしっかり保持されなくなる。そのような屈
曲的クリープが発生する時には、パッケージ封入された
ウェファーはそれらのエッジ輪郭部上で枢動又は滑動す
ることにより粒子を発生する可能性があり、同粒子はウ
ェファー基板を損傷するか又は汚染する可能性がある。
かくして、これらのパッケージは基板ウェファーのエッ
ジを損傷するだけでなく、集積回路を製造する際用いら
れる高度に敏感な面表面をも損傷する可能性がある。
ァーパッケージ技術の顕著な改良例が説明されたが、こ
れらの従来技術に係るパッケージを用いても真の問題点
は存在し続ける。これらの問題点の多くはパッケージ乃
至容器が封入するウェファー基板の特性故に生ずるもの
である。そのような基板ウェファーは破損し易く、傷付
き易く、従って極めて脆弱である。これらの基板ウェフ
ァーは粒子又は他の環境汚染物によって容易に損傷を受
ける。前述した以外の他の従来技術のある物は確かにウ
ェファーを外部環境から保護することが出来る。しかし
ながら、そのようなパッケージが用いられる時には、ウ
ェファーはパッケージ作業そのものによって損傷を受け
たり、ウェファーがパッケージ内のウェファーエッジ輪
郭上を枢動し、滑動するか又は回転することによって生
成される粒子によって汚染されるパッケージの内部環境
のために損傷を受けてしまう。そのような内部汚染はパ
ッケージ内で基板ウェファーを緩衝するか保持するのに
用いられる熱可塑性プラスチックがそれらの弾性記憶作
用を失なうにつれて顕著なものになり、遂には、ウェフ
ァーはもはやしっかり保持されなくなる。そのような屈
曲的クリープが発生する時には、パッケージ封入された
ウェファーはそれらのエッジ輪郭部上で枢動又は滑動す
ることにより粒子を発生する可能性があり、同粒子はウ
ェファー基板を損傷するか又は汚染する可能性がある。
かくして、これらのパッケージは基板ウェファーのエッ
ジを損傷するだけでなく、集積回路を製造する際用いら
れる高度に敏感な面表面をも損傷する可能性がある。
【００１２】本発明はベース及びカバーを備えた、リッ
ジ状になっている透明な熱可塑性プラスチックパッケー
ジを提供することにより従来技術の不具合を克服してい
る。カバー内にはエラストマ材料又は可撓性の熱可塑性
材料から作られたクッションが設けられている。同一の
エラストマ又は可撓性の熱可塑性プラスチックからなる
クッションがベースに連結されており、パッケージが用
いられる時には基板ウェファーは２つのエラストマクッ
ション間に挿入され、これらによってしっかりと定位置
に保持される。前記２つのクッションは同一の構造を備
えている。各クッションは一対の平行レールを有するベ
ースを備えている。平行レールの間には複数個のウェフ
ァー係合部材が延びている。各ウェファー係合部材は弾
性的ではあるがウェファーのエッジとしっかり噛合うよ
う変形可能である。各係合部材は又両側で外向きに延び
るアングル表面をも備えている。ウェファーのエッジ
は、かくて、アングルを有し、外向きに延びる表面間に
しっかりと固定されている。箱が閉じられた時には、ウ
ェファーはベース上のクッションとカバー内のクッショ
ンの間にしっかりと保持されるので、前述の従来技術の
パッケージとくらべてウェファーへの損傷の可能性は大
いに減少する。
ジ状になっている透明な熱可塑性プラスチックパッケー
ジを提供することにより従来技術の不具合を克服してい
る。カバー内にはエラストマ材料又は可撓性の熱可塑性
材料から作られたクッションが設けられている。同一の
エラストマ又は可撓性の熱可塑性プラスチックからなる
クッションがベースに連結されており、パッケージが用
いられる時には基板ウェファーは２つのエラストマクッ
ション間に挿入され、これらによってしっかりと定位置
に保持される。前記２つのクッションは同一の構造を備
えている。各クッションは一対の平行レールを有するベ
ースを備えている。平行レールの間には複数個のウェフ
ァー係合部材が延びている。各ウェファー係合部材は弾
性的ではあるがウェファーのエッジとしっかり噛合うよ
う変形可能である。各係合部材は又両側で外向きに延び
るアングル表面をも備えている。ウェファーのエッジ
は、かくて、アングルを有し、外向きに延びる表面間に
しっかりと固定されている。箱が閉じられた時には、ウ
ェファーはベース上のクッションとカバー内のクッショ
ンの間にしっかりと保持されるので、前述の従来技術の
パッケージとくらべてウェファーへの損傷の可能性は大
いに減少する。
【００１３】
【発明の要約】本発明の一般的な目的はウェファー基板
のためのパッケージであって、ウェファーがパッケージ
箱の外の環境により汚染又は損傷されるのを防止するよ
うシール可能なパッケージを提供することである。同様
にして、本発明の目的はそのようなウェファーパッケー
ジであって、ウェファーが定位置にしっかりと保持し、
しかも粒子の発生にかかる箱内部の環境によって損傷を
受けないようにウェファーを固定することが出来るウェ
ファーパッケージを提供することである。
のためのパッケージであって、ウェファーがパッケージ
箱の外の環境により汚染又は損傷されるのを防止するよ
うシール可能なパッケージを提供することである。同様
にして、本発明の目的はそのようなウェファーパッケー
ジであって、ウェファーが定位置にしっかりと保持し、
しかも粒子の発生にかかる箱内部の環境によって損傷を
受けないようにウェファーを固定することが出来るウェ
ファーパッケージを提供することである。
【００１４】本発明のパッケージは基本的には３つの主
要部品すなわちベース、カバー及びクッション手段装置
とからなっている。カバー及びベースはカセットをして
その内部に封入されるウェファーを入れた状態で完全に
閉じる役目を果している。一つの例が前述の米国特許第
４，９６６，２８４号の図２に示されている。これらの
カセットを使用することによりウェファーをロボットに
より取扱うことが可能となる。パッケージすべき一群の
ウェファーを保持するためのカセットは任意選択的なも
のである。代替的な実施例はベースの側壁内に複数個の
ポケットを内蔵することによりカセットの必要性を排除
している。前記ベース及びカバーはかくしてパッケージ
の外側からの汚染を防止するためにシールすることが出
来る。
要部品すなわちベース、カバー及びクッション手段装置
とからなっている。カバー及びベースはカセットをして
その内部に封入されるウェファーを入れた状態で完全に
閉じる役目を果している。一つの例が前述の米国特許第
４，９６６，２８４号の図２に示されている。これらの
カセットを使用することによりウェファーをロボットに
より取扱うことが可能となる。パッケージすべき一群の
ウェファーを保持するためのカセットは任意選択的なも
のである。代替的な実施例はベースの側壁内に複数個の
ポケットを内蔵することによりカセットの必要性を排除
している。前記ベース及びカバーはかくしてパッケージ
の外側からの汚染を防止するためにシールすることが出
来る。
【００１５】本発明が従来技術と異なる点は弾性的又は
可撓的な熱可塑性クッションをベース及びカバーと連結
させている点であり、これらのクッションは搬送中のパ
ッケージの種々の要素に対して円板形状のウェファーが
相対的運動を起すのを防止するために設けられている。
これらのクッションは弾性的又は可撓的な熱可塑性材料
から作られており、形状が等しいので入れ換え可能であ
る。各クッションは一対の平行レールから構成されてお
り、同平行レール間には複数個の突出したエッジ係合部
材が配設されている。例えば、ウェファーを装着したカ
セットがベース内に置かれると、各ウェファーの下側エ
ッジはクッションの個別に延びる部材と接触する。前記
突出部材は変形屈曲することにより関連する円板形状の
ウェファーの形状と適合する。ウェファーのエッジはウ
ェファーに向けて延びている２つのアングル表面間に保
持され、同アングル表面がウェファーのエッジを収納す
る。カバーは次にベース上に配置される。そうすると、
カバーに連結されたクッションの突出部材がウェファー
の対向する表面に噛合う。前記２つのクッションは円板
を定位置にしっかりと保持するよう協働するので、前記
円板が箱の内部構造とこすれ合い粒子が発生し、ウェフ
ァーを汚染したり損傷したりすることはない。このこと
が達成されるのはクッションの存在によりウェファーが
箱内のエッジ輪郭上で枢動したり滑動したりすることが
防止されるからである。
可撓的な熱可塑性クッションをベース及びカバーと連結
させている点であり、これらのクッションは搬送中のパ
ッケージの種々の要素に対して円板形状のウェファーが
相対的運動を起すのを防止するために設けられている。
これらのクッションは弾性的又は可撓的な熱可塑性材料
から作られており、形状が等しいので入れ換え可能であ
る。各クッションは一対の平行レールから構成されてお
り、同平行レール間には複数個の突出したエッジ係合部
材が配設されている。例えば、ウェファーを装着したカ
セットがベース内に置かれると、各ウェファーの下側エ
ッジはクッションの個別に延びる部材と接触する。前記
突出部材は変形屈曲することにより関連する円板形状の
ウェファーの形状と適合する。ウェファーのエッジはウ
ェファーに向けて延びている２つのアングル表面間に保
持され、同アングル表面がウェファーのエッジを収納す
る。カバーは次にベース上に配置される。そうすると、
カバーに連結されたクッションの突出部材がウェファー
の対向する表面に噛合う。前記２つのクッションは円板
を定位置にしっかりと保持するよう協働するので、前記
円板が箱の内部構造とこすれ合い粒子が発生し、ウェフ
ァーを汚染したり損傷したりすることはない。このこと
が達成されるのはクッションの存在によりウェファーが
箱内のエッジ輪郭上で枢動したり滑動したりすることが
防止されるからである。
【００１６】叙上から明らかなように、本発明の主要な
目的の一つは半導体ウェファー、円板又は基板を搬送
し、貯蔵するためのパッケージを提供することである。
目的の一つは半導体ウェファー、円板又は基板を搬送
し、貯蔵するためのパッケージを提供することである。
【００１７】別の目的はウェファーの搬送中出会う衝撃
の幾分か並びに振動を吸収するパッケージ内に複数個の
ウェファーを懸架することである。
の幾分か並びに振動を吸収するパッケージ内に複数個の
ウェファーを懸架することである。
【００１８】本発明の別の目的は半導体ウェファー、円
板又は基板を貯蔵及び搬送するためのハイテク、最新技
術のウェファーパッケージにして手動的又はロボット的
に操作可能なパッケージを提供することである。
板又は基板を貯蔵及び搬送するためのハイテク、最新技
術のウェファーパッケージにして手動的又はロボット的
に操作可能なパッケージを提供することである。
【００１９】本発明の更に別な目的は搬送中及び取扱い
中にウェファーが外部環境によって汚染されるのを防止
するウェファーパッケージを提供することである。
中にウェファーが外部環境によって汚染されるのを防止
するウェファーパッケージを提供することである。
【００２０】本発明の別の目的はパッケージの内側に粒
子が発生して脆弱なウェファーを汚染又は損傷すること
を防止出来るウェファーパッケージを提供することであ
る。
子が発生して脆弱なウェファーを汚染又は損傷すること
を防止出来るウェファーパッケージを提供することであ
る。
【００２１】本発明の別の目的はウェファーを弾性体ク
ッション間に懸架してウェファーの枢動又は滑動を排除
し、ウェファーがパッケージの内部構造体とこすれ合わ
ないようにし、かくてウェファーが汚染されないように
するパッケージを提供することである。
ッション間に懸架してウェファーの枢動又は滑動を排除
し、ウェファーがパッケージの内部構造体とこすれ合わ
ないようにし、かくてウェファーが汚染されないように
するパッケージを提供することである。
【００２２】本発明の別の目的は容易に入れ換え可能か
つ挿入可能なエラストマ的又は可撓的熱可塑性クッショ
ンを提供することである。
つ挿入可能なエラストマ的又は可撓的熱可塑性クッショ
ンを提供することである。
【００２３】本発明の更に別な目的はクッションの屈曲
的クリープ量又は弾性記憶損失量が最小であり、容易に
取換えが可能であるためパッケージの寿命を増大させ得
るようなクッションを提供することである。
的クリープ量又は弾性記憶損失量が最小であり、容易に
取換えが可能であるためパッケージの寿命を増大させ得
るようなクッションを提供することである。
【００２４】更に別な目的はパッケージのベース及びカ
バー内に、保持すべきウェファーのエッジに適合するよ
う変形可能なるとともにウェファーのエッジをクッショ
ン上に心合せし易くするアングル表面を含んでいるその
ような弾性クッションを提供することである。
バー内に、保持すべきウェファーのエッジに適合するよ
う変形可能なるとともにウェファーのエッジをクッショ
ン上に心合せし易くするアングル表面を含んでいるその
ような弾性クッションを提供することである。
【００２５】本発明の別の目的は二次パッケージに要す
る詰物の量及び寸法を減じ以ってパッケージされたウェ
ファーをしっかり固定することで搬送コストを減ずるこ
とである。
る詰物の量及び寸法を減じ以ってパッケージされたウェ
ファーをしっかり固定することで搬送コストを減ずるこ
とである。
【００２６】
【実施例】図１はパッケージ５の一部切取って示せる正
面図である。前記パッケージは底部材１０、カバー１２
及び内部のウェファー搬送カセット１４を含んでいる。
やはり図示されているウェファー１６はカセット１４内
に位置している。更に着脱自在のクッション１８及び２
０の端面図が示されているが、このクッションの間に前
記ウェファーがしっかりと保持されている。図２はパッ
ケージの側面図を示しており、同パッケージには内部ウ
ェファー搬送カセット１４が備わっており、これらが隠
れ線で示されている。
面図である。前記パッケージは底部材１０、カバー１２
及び内部のウェファー搬送カセット１４を含んでいる。
やはり図示されているウェファー１６はカセット１４内
に位置している。更に着脱自在のクッション１８及び２
０の端面図が示されているが、このクッションの間に前
記ウェファーがしっかりと保持されている。図２はパッ
ケージの側面図を示しており、同パッケージには内部ウ
ェファー搬送カセット１４が備わっており、これらが隠
れ線で示されている。
【００２７】パッケージ５の底部材１０及びカバー１２
は好ましくはウェファーを視認し易くするために剛固か
つ透明な熱可塑性プラスチック材で作られている。図
１、図２及び図４に示すように底部材１０は底２４とこ
れら延びて上っている４個の一体壁２６，２８，３０及
び３２を備えている。以下説明するカバー１２上の対応
するリムと会合する外向きに突出するリム３４は壁２
６，２８，３０及び３２の頂部に沿って配置されてい
る。対向する壁２６及び３０上のリム３４は掛金部材３
６及び３８を含んでいる。前記掛金はパッケージの要求
条件に応じた任意の適当な掛金とすることが出来る。図
示のパッケージ継目は気密シールを得るためのシール４
０及び４２を含んでいる。前記壁２６及び３０はパッケ
ージの人による取扱いを容易にするため掛金部材の下方
の地点３７及び３９において凹所を設けられている。
は好ましくはウェファーを視認し易くするために剛固か
つ透明な熱可塑性プラスチック材で作られている。図
１、図２及び図４に示すように底部材１０は底２４とこ
れら延びて上っている４個の一体壁２６，２８，３０及
び３２を備えている。以下説明するカバー１２上の対応
するリムと会合する外向きに突出するリム３４は壁２
６，２８，３０及び３２の頂部に沿って配置されてい
る。対向する壁２６及び３０上のリム３４は掛金部材３
６及び３８を含んでいる。前記掛金はパッケージの要求
条件に応じた任意の適当な掛金とすることが出来る。図
示のパッケージ継目は気密シールを得るためのシール４
０及び４２を含んでいる。前記壁２６及び３０はパッケ
ージの人による取扱いを容易にするため掛金部材の下方
の地点３７及び３９において凹所を設けられている。
【００２８】底２４の内側表面４３の上側表面上には２
本のＬ字形状をしたクッション保持用軌道４４及び４５
が設けられている。前記軌道の両側には更に低位置平面
状表面５２上に設けた溝４８及び５０が備えられてい
る。各溝はそれを横切って延びる位置決めリブ５８及び
６０を備えている。前記位置決め壁の内側表面に沿って
リップ５４が設けられている。リップ５４は壁２８に沿
って位置決め用割出し部材５６を含んでいる。割出し部
材５６並びにリブ５８及び６０は以下詳細に述べるよう
にウェファーカセットを収納するためのものである。
本のＬ字形状をしたクッション保持用軌道４４及び４５
が設けられている。前記軌道の両側には更に低位置平面
状表面５２上に設けた溝４８及び５０が備えられてい
る。各溝はそれを横切って延びる位置決めリブ５８及び
６０を備えている。前記位置決め壁の内側表面に沿って
リップ５４が設けられている。リップ５４は壁２８に沿
って位置決め用割出し部材５６を含んでいる。割出し部
材５６並びにリブ５８及び６０は以下詳細に述べるよう
にウェファーカセットを収納するためのものである。
【００２９】カバー１２は図１、図２及び図５に示すよ
うに４つの一体壁６４，６６，６８及び７０を備えたベ
ース６２を含んでいる。外向きに突出するリム７２は壁
の頂部に沿って設けられ、リム３４と会合することによ
ってパッケージをテープシーリングするための表面を提
供している。壁６４及び６８におけるリム７２は掛金部
材３６及び３８と噛合う掛金部材７４及び７６を含んで
いる。壁６４及び６８は掛金の操作を容易にするために
同掛金上方の地点６１及び６３に位置した凹みを含んで
いる。前記ベース６２は又その内側表面上において２本
のＬ字形状の平行なクッション保持軌道７８及び８０を
含んでいる。ベース６２は又上側平面表面８２と下側平
面表面８４を備えている。前記上側平面状表面８２はパ
ッケージの頂部から延びており、積重ねの目的のため、
底部材１０の上側平面表面４４によって誘起された凹所
と会合するよう設計されている。
うに４つの一体壁６４，６６，６８及び７０を備えたベ
ース６２を含んでいる。外向きに突出するリム７２は壁
の頂部に沿って設けられ、リム３４と会合することによ
ってパッケージをテープシーリングするための表面を提
供している。壁６４及び６８におけるリム７２は掛金部
材３６及び３８と噛合う掛金部材７４及び７６を含んで
いる。壁６４及び６８は掛金の操作を容易にするために
同掛金上方の地点６１及び６３に位置した凹みを含んで
いる。前記ベース６２は又その内側表面上において２本
のＬ字形状の平行なクッション保持軌道７８及び８０を
含んでいる。ベース６２は又上側平面表面８２と下側平
面表面８４を備えている。前記上側平面状表面８２はパ
ッケージの頂部から延びており、積重ねの目的のため、
底部材１０の上側平面表面４４によって誘起された凹所
と会合するよう設計されている。
【００３０】図３はウェファー搬送カセット１４の斜視
図である。カセット１４は対向する側面８６及び８８を
備えており、同側面には側面８６の一端部に沿って垂直
方向かつ外向きに延びている第一の支持バー９０と側面
８８の一端部に沿って垂直方向かつ外向きに延びている
第二の支持バー９２とが設けられている。「Ｈ」字形状
の部材９４及びセグメント化された半割ロッド９６が前
記支持バー９０及び９２の間に配置されており、同バー
から引込んだ位置にある。垂直方向に向いた平面部材９
８が後方部分間に配置されており、側面８６及び８８の
後方部分と面一の関係をなしている。側面８６及び８８
の底部に沿ってそれぞれ設けられた底部エッジ１００及
び１０２の各々は位置決めリブ５８及び６０と適合する
ための凹所８７及び８９を備えた凹み部分を備えてい
る。側面８６の上側エッジに沿って設けられた平面状頂
部エッジ１０４は支持バー９０の上側部分と平面状部材
９８の外側部分の間に位置しており、類似の平面状頂部
エッジ１０６は支持バー９２の上側部分と平面状部材９
８の上側かつ外側部分の間において側面８８の上側エッ
ジに沿って延びている。
図である。カセット１４は対向する側面８６及び８８を
備えており、同側面には側面８６の一端部に沿って垂直
方向かつ外向きに延びている第一の支持バー９０と側面
８８の一端部に沿って垂直方向かつ外向きに延びている
第二の支持バー９２とが設けられている。「Ｈ」字形状
の部材９４及びセグメント化された半割ロッド９６が前
記支持バー９０及び９２の間に配置されており、同バー
から引込んだ位置にある。垂直方向に向いた平面部材９
８が後方部分間に配置されており、側面８６及び８８の
後方部分と面一の関係をなしている。側面８６及び８８
の底部に沿ってそれぞれ設けられた底部エッジ１００及
び１０２の各々は位置決めリブ５８及び６０と適合する
ための凹所８７及び８９を備えた凹み部分を備えてい
る。側面８６の上側エッジに沿って設けられた平面状頂
部エッジ１０４は支持バー９０の上側部分と平面状部材
９８の外側部分の間に位置しており、類似の平面状頂部
エッジ１０６は支持バー９２の上側部分と平面状部材９
８の上側かつ外側部分の間において側面８８の上側エッ
ジに沿って延びている。
【００３１】リブ１０８ａ〜１０８ｎ並びに交番的に設
けられたウェファーポケット１１０ａ〜１１０ｎは前記
平面状頂部エッジ１０４と側面８６の下側部分の間の距
離部分に沿って垂直方向に延びているが、前記下側部分
付近において前記リブ１０８ａ〜１０８ｎ並びに交番ウ
ェファーポケット１１０ａ〜１１０ｎはカーブした横断
面形状をなし、側面８６の下側部分と交差している。同
様にして、リブ１１２ａ〜１１２ｎ並びに交番ウェファ
ーポケット１１４ａ〜１１４ｎは平面状頂部エッジ１０
６と側面８８の下側部分の間の距離の大部分に対して垂
直方向に延びているが、下側部分付近においては前記リ
ブ１０８ａ〜１０８ｎ並びに交番ウェファーポケット１
１０ａ〜１１０ｎはカーブした横断面形状をとり、側面
８８の下側部分と交差している。ウェファーポケットの
背部は寸法的安定性を付与するために１２５ａ〜１２５
ｎで示すように丸味をつけられている。これらの背部は
同様にしてカーブした横断面形状をとり、側面８８の下
側部分と交差している。
けられたウェファーポケット１１０ａ〜１１０ｎは前記
平面状頂部エッジ１０４と側面８６の下側部分の間の距
離部分に沿って垂直方向に延びているが、前記下側部分
付近において前記リブ１０８ａ〜１０８ｎ並びに交番ウ
ェファーポケット１１０ａ〜１１０ｎはカーブした横断
面形状をなし、側面８６の下側部分と交差している。同
様にして、リブ１１２ａ〜１１２ｎ並びに交番ウェファ
ーポケット１１４ａ〜１１４ｎは平面状頂部エッジ１０
６と側面８８の下側部分の間の距離の大部分に対して垂
直方向に延びているが、下側部分付近においては前記リ
ブ１０８ａ〜１０８ｎ並びに交番ウェファーポケット１
１０ａ〜１１０ｎはカーブした横断面形状をとり、側面
８８の下側部分と交差している。ウェファーポケットの
背部は寸法的安定性を付与するために１２５ａ〜１２５
ｎで示すように丸味をつけられている。これらの背部は
同様にしてカーブした横断面形状をとり、側面８８の下
側部分と交差している。
【００３２】前記平面状頂部エッジ１０４及び１０６
は、外側周縁付近において、それぞれ垂直方向の位置決
め孔及び割溝１１６ａ〜１１６ｂおよび１１７ａ〜１１
７ｂを含んでいる。ウェファー搬送カセット１４は又支
持バー９０及び９２内にそれぞれ配置されたロボット式
ハンドラ用割溝１１８及び１１９並びに平面状部材９８
の頂部エッジ及び側面８６，８８の上側部分付近におい
てウェファー搬送カセット１４後部に配置されたロボッ
トハンドラ用割溝１２０及び１２２を含んでいる。側面
８６及び８８の上側部分上にはロボットタブ部材１２３
ａ及び１２３ｂが配置されている。ロボット式カセット
は輸送及び貯蔵及び／又は処理の目的で用いることが可
能であり、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエ
チレン、テフロン又は他の類似材料のような適当なポリ
マから構成することが出来る。
は、外側周縁付近において、それぞれ垂直方向の位置決
め孔及び割溝１１６ａ〜１１６ｂおよび１１７ａ〜１１
７ｂを含んでいる。ウェファー搬送カセット１４は又支
持バー９０及び９２内にそれぞれ配置されたロボット式
ハンドラ用割溝１１８及び１１９並びに平面状部材９８
の頂部エッジ及び側面８６，８８の上側部分付近におい
てウェファー搬送カセット１４後部に配置されたロボッ
トハンドラ用割溝１２０及び１２２を含んでいる。側面
８６及び８８の上側部分上にはロボットタブ部材１２３
ａ及び１２３ｂが配置されている。ロボット式カセット
は輸送及び貯蔵及び／又は処理の目的で用いることが可
能であり、ポリカーボネート、ポリプロピレン、ポリエ
チレン、テフロン又は他の類似材料のような適当なポリ
マから構成することが出来る。
【００３３】次に図１、図７、図８及び図９の(a) から
(d) を参照し、ウェファーが間に懸架されるクッション
１８及び２０について議論する。前記クッションはエラ
ストマ又は可撓性熱可塑性プラスチック又は他の材料で
あって可撓的クリープが最小でポリビニリデンフルオラ
イド（ＰＶＤＦ）のように弾性記憶効果の少ない特性を
備えた材料から作られているのが好ましい。より具体的
には、たわみに関するクリープ量はＡＳＴＭ規格Ｄ２９
９０に従って測定した時に０．２５〜１．５％のたわみ
（６０℃時）の範囲内におさまっているべきである。各
クッションは２本の平行レール１３０及び１３２を備え
ており、これらのレールはカバー１２又は底１０の平行
Ｌ字形状軌道と噛合い、これによって保持されるように
設計されている。２本の平行レール１３０及び１３２の
間には全体として１３５で示される複数個の突出部材が
配設されている。部材１３５は梱包されるべきカセット
内のウェファーの間隔に従って隔置されており、種々に
変化する径のウェファーを保持することが出来る。これ
らの部材１３５は基本的には個々のウェファーのための
クッションを与えるための複数個の個別の可撓性クッシ
ョンである。
(d) を参照し、ウェファーが間に懸架されるクッション
１８及び２０について議論する。前記クッションはエラ
ストマ又は可撓性熱可塑性プラスチック又は他の材料で
あって可撓的クリープが最小でポリビニリデンフルオラ
イド（ＰＶＤＦ）のように弾性記憶効果の少ない特性を
備えた材料から作られているのが好ましい。より具体的
には、たわみに関するクリープ量はＡＳＴＭ規格Ｄ２９
９０に従って測定した時に０．２５〜１．５％のたわみ
（６０℃時）の範囲内におさまっているべきである。各
クッションは２本の平行レール１３０及び１３２を備え
ており、これらのレールはカバー１２又は底１０の平行
Ｌ字形状軌道と噛合い、これによって保持されるように
設計されている。２本の平行レール１３０及び１３２の
間には全体として１３５で示される複数個の突出部材が
配設されている。部材１３５は梱包されるべきカセット
内のウェファーの間隔に従って隔置されており、種々に
変化する径のウェファーを保持することが出来る。これ
らの部材１３５は基本的には個々のウェファーのための
クッションを与えるための複数個の個別の可撓性クッシ
ョンである。
【００３４】各部材１３４は第一及び第二の脚１３６及
び１３８を備えており、これらの脚はレール１３０及び
１３２と反対側に位置するウェファー噛合い部分１４０
から横断方向に延びている。前記脚１３６及び１３８は
レール１３０及び１３２のそれぞれの内側エッジ１３１
及び１３３に取付けられている。各ウェファー噛合い部
分１４０上にはＵ字形状の収納子１４２が設けられてい
る。第一及び第二のアングル表面１４４及び１４６はそ
れぞれＵ字形状の収納子１４２の両側上において外向き
に延びており、以後述べるようにウェファーを心合せす
るため用いられている。図９の(a) 及び(b) はＵ字形状
収納子１４２及びアングル表面１４４及び１４６の拡大
図を示している。前記アングル表面は１４７，１４８及
び１４９において示されるようにクッションの中央部分
内において隣接したアングル表面に接続されている。こ
の接続部分はクッションの安定性を増大させている。ウ
ェファー噛合い部分１４０のアングル表面１４４及び１
４６は連続している必要は無い。図６の(c) に示すよう
にアングル表面をセグメント化する設計は別法である
が、これによってもやはり心合せ効果は得られる。クッ
ションは弾性的であり、各部材１３４は以下詳細に説明
するようにそれぞれのウェファーエッジ形状に適合し、
ウェファーをしっかりと保持する。
び１３８を備えており、これらの脚はレール１３０及び
１３２と反対側に位置するウェファー噛合い部分１４０
から横断方向に延びている。前記脚１３６及び１３８は
レール１３０及び１３２のそれぞれの内側エッジ１３１
及び１３３に取付けられている。各ウェファー噛合い部
分１４０上にはＵ字形状の収納子１４２が設けられてい
る。第一及び第二のアングル表面１４４及び１４６はそ
れぞれＵ字形状の収納子１４２の両側上において外向き
に延びており、以後述べるようにウェファーを心合せす
るため用いられている。図９の(a) 及び(b) はＵ字形状
収納子１４２及びアングル表面１４４及び１４６の拡大
図を示している。前記アングル表面は１４７，１４８及
び１４９において示されるようにクッションの中央部分
内において隣接したアングル表面に接続されている。こ
の接続部分はクッションの安定性を増大させている。ウ
ェファー噛合い部分１４０のアングル表面１４４及び１
４６は連続している必要は無い。図６の(c) に示すよう
にアングル表面をセグメント化する設計は別法である
が、これによってもやはり心合せ効果は得られる。クッ
ションは弾性的であり、各部材１３４は以下詳細に説明
するようにそれぞれのウェファーエッジ形状に適合し、
ウェファーをしっかりと保持する。
【００３５】クッション２０は図１に示すようにレール
１３０及び１３２をＬ字形状の軌道７８及び８０内に挿
入することによってカバーに取付けられている。クッシ
ョン１８は同様の方法で底１０に取付けられている。ク
ッション１８及び２０は容易に軌道から外し、懸架すべ
き複数個のウェファーに適当なスペースを与えるべく置
換えることが可能である。図９の(C) 及び(D) はクッシ
ョンの任意選択的断面形状を示している。図９の(c) は
ウェファーエッジをＶ字形状の収納領域１４２ｂへと心
合せさせ易いようアングル表面１４４ａ及び１４６ａを
含んでいる。同様にして図９の(D) のものはウェファー
エッジを平坦表面の収納領域１４２ｂに心合せさせ易く
するようアングル表面１４４ｂ及び１４６ｂを含んでい
る。
１３０及び１３２をＬ字形状の軌道７８及び８０内に挿
入することによってカバーに取付けられている。クッシ
ョン１８は同様の方法で底１０に取付けられている。ク
ッション１８及び２０は容易に軌道から外し、懸架すべ
き複数個のウェファーに適当なスペースを与えるべく置
換えることが可能である。図９の(C) 及び(D) はクッシ
ョンの任意選択的断面形状を示している。図９の(c) は
ウェファーエッジをＶ字形状の収納領域１４２ｂへと心
合せさせ易いようアングル表面１４４ａ及び１４６ａを
含んでいる。同様にして図９の(D) のものはウェファー
エッジを平坦表面の収納領域１４２ｂに心合せさせ易く
するようアングル表面１４４ｂ及び１４６ｂを含んでい
る。
【００３６】本発明はウェファー及びクッションを箱の
内部に配置することに関して幾つかの代替的実施例を有
している。
内部に配置することに関して幾つかの代替的実施例を有
している。
【００３７】第一の代替的実施例は図１０に示されてい
る。この実施例はカセットがウェファーを保持する必要
性を除いている。ベース１６０は側壁１６２及び１６４
の両側において図２のカセットにおいて見られたのと同
様の複数個の交番的ウェファーポケット及びリブを含ん
でいる。図１０は代表的なポケットの切断面図である。
前記ポケットはベース壁１６６及び側壁１６８を備えて
いる。この実施例のベースはカセットを収納するための
位置決めリブを備えた溝又は位置決め割出し部材を備え
たリブを必要としない。残りの特徴は本発明のもともと
の実施例のものと同じであり、Ｌ字形状の軌道１７４，
１７５，１７６，１７７によって接続された２つのクッ
ション１７０及び１７２並びに積重ねのための手段装置
が設けられている。
る。この実施例はカセットがウェファーを保持する必要
性を除いている。ベース１６０は側壁１６２及び１６４
の両側において図２のカセットにおいて見られたのと同
様の複数個の交番的ウェファーポケット及びリブを含ん
でいる。図１０は代表的なポケットの切断面図である。
前記ポケットはベース壁１６６及び側壁１６８を備えて
いる。この実施例のベースはカセットを収納するための
位置決めリブを備えた溝又は位置決め割出し部材を備え
たリブを必要としない。残りの特徴は本発明のもともと
の実施例のものと同じであり、Ｌ字形状の軌道１７４，
１７５，１７６，１７７によって接続された２つのクッ
ション１７０及び１７２並びに積重ねのための手段装置
が設けられている。
【００３８】第二の代替的実施例が図１１に示されてい
る。この実施例は壁１７８及び１８０上に位置する複数
個の交番的ウェファーポケット及びリブを設けることに
よってウェファーカセットの必要性を無くしているとい
う点においては図１０の実施例と類似している。断面図
で示した側面上の例示的側方ポケットにはベース壁１８
２及び側壁が備えられている。この実施例は又一つのク
ッション１８２のみを含んでいる。前記一つのクッショ
ンはカバー１８４内に配置されているのが好ましいが、
ベース１８５内に配置することも可能である。第二のク
ッションを設ける代りに側壁１７８及び１８０上に設け
たのと同様な複数個のウェファーポケットが設けられて
いる。これらのクッション代替用ポケットは理想的には
図１１に示すように保持されているウェファーと類似の
曲率を備えている。前記クッションをベースに設け、ウ
ェファーポケットをカバー内に設けることも可能なるこ
とを理解されたい。
る。この実施例は壁１７８及び１８０上に位置する複数
個の交番的ウェファーポケット及びリブを設けることに
よってウェファーカセットの必要性を無くしているとい
う点においては図１０の実施例と類似している。断面図
で示した側面上の例示的側方ポケットにはベース壁１８
２及び側壁が備えられている。この実施例は又一つのク
ッション１８２のみを含んでいる。前記一つのクッショ
ンはカバー１８４内に配置されているのが好ましいが、
ベース１８５内に配置することも可能である。第二のク
ッションを設ける代りに側壁１７８及び１８０上に設け
たのと同様な複数個のウェファーポケットが設けられて
いる。これらのクッション代替用ポケットは理想的には
図１１に示すように保持されているウェファーと類似の
曲率を備えている。前記クッションをベースに設け、ウ
ェファーポケットをカバー内に設けることも可能なるこ
とを理解されたい。
【００３９】第三の代替的実施例が図１２に示されてい
る。この実施例はカセット１８６を内蔵しているが一つ
のクッション１８８のみがカバー１９０内に位置してい
る。この第三の実施例の全ての他の特徴はもとの実施例
と同様のものである。
る。この実施例はカセット１８６を内蔵しているが一つ
のクッション１８８のみがカバー１９０内に位置してい
る。この第三の実施例の全ての他の特徴はもとの実施例
と同様のものである。
【００４０】
【操作の態様】基板すなわちウェファー１７０ａ〜１７
０ｎを含んだウェファー搬送カセット１４が最初底１０
に置かれ、底エッジ１００および１０２が底１０の溝４
８及び５０内に係止する。この際カセットは適正に配向
し、底１０に対して一つの位置にのみ整合させられる。
位置決め割出し部材５６は一つの適正な配向のみを許容
する。カセット１４の「Ｈ」形状部材９４は位置決め、
割出された部材５６上に噛合う。垂直方向の支持バー９
０及び９２は位置決め割出し部材５６のまわりに位置す
る。同時に、カセット１６の平面状部材９８が側面に対
して密着配置される。もしもカセット１４がその垂直軸
方向のまわりにおいていづれかの方向に１８０度回転さ
れている場合には、カセット１４の平面状部材９８はウ
ェファー搬送体であるカセット１４が底１０にフィット
するためには、位置決め、割出し部材５６によって占有
される領域内にフィットしなければならないであろう。
もちろん、セグメントロッド半割部材９６の下方かつ垂
直支持バー９０及び９２の間における「Ｈ」形状部材９
４の領域は位置決め割出し部材５６によって収納され
る。第一及び第二の代替的実施例においては、ウェファ
ーは底のウェファーポケット内に挿入される。
０ｎを含んだウェファー搬送カセット１４が最初底１０
に置かれ、底エッジ１００および１０２が底１０の溝４
８及び５０内に係止する。この際カセットは適正に配向
し、底１０に対して一つの位置にのみ整合させられる。
位置決め割出し部材５６は一つの適正な配向のみを許容
する。カセット１４の「Ｈ」形状部材９４は位置決め、
割出された部材５６上に噛合う。垂直方向の支持バー９
０及び９２は位置決め割出し部材５６のまわりに位置す
る。同時に、カセット１６の平面状部材９８が側面に対
して密着配置される。もしもカセット１４がその垂直軸
方向のまわりにおいていづれかの方向に１８０度回転さ
れている場合には、カセット１４の平面状部材９８はウ
ェファー搬送体であるカセット１４が底１０にフィット
するためには、位置決め、割出し部材５６によって占有
される領域内にフィットしなければならないであろう。
もちろん、セグメントロッド半割部材９６の下方かつ垂
直支持バー９０及び９２の間における「Ｈ」形状部材９
４の領域は位置決め割出し部材５６によって収納され
る。第一及び第二の代替的実施例においては、ウェファ
ーは底のウェファーポケット内に挿入される。
【００４１】カバー１２が次に基板又はウェファー１７
０ａ〜１７０ｎを収納した搬送体上に置かれる。ウェフ
ァーが破損したり、傷付いたりするのを防止するため
に、前記カバーは底１０上に対して真直に配置されるべ
きである。カバー１２のリム７２は底１０のリム３４上
に整合する。
０ａ〜１７０ｎを収納した搬送体上に置かれる。ウェフ
ァーが破損したり、傷付いたりするのを防止するため
に、前記カバーは底１０上に対して真直に配置されるべ
きである。カバー１２のリム７２は底１０のリム３４上
に整合する。
【００４２】各ウェファー噛合い部分１４０はウェファ
ーがそれぞれのＵ字形状収納子１４２内に受容されるに
従って、図６の(a) から(c) に示すように各ウェファー
と適合する。第一及び第二のアングル表面１４４及び１
４６はウェファーエッジをＵ字形状の受容子内に心決め
するのに役立つ。カバー１２が基板ウェファー１７０ａ
〜１７０ｎに対してわずかにより大きい下向きの圧力に
より押圧されると、クッション１８及び２０は変形して
図６の(c) に示すようにウェファーエッジを取囲み、ウ
ェファーエッジをしてしっかり、かつやわらかく保持す
る。前記クッションはウェファーで満杯になっていない
カセットの場合でも安全な荷出しを行える適正な緩衝作
用を提供する。代替的実施例のウェファーも同様にして
クッションと係合する。本発明の目的を満足するのには
一つのクッションで十分である。何故ならば同クッショ
ンはウェファーのエッジ部分及びすでにウェファーポケ
ット内に固定されたウェファーのまわりに巻付くことに
より同ウェファーをしっかり係止するからである。ウェ
ファーはいったん固定されたならばスリップしたり、枢
動したり、又は回転したり、又は汚染のもとになる粒子
を発生したりすることはない。
ーがそれぞれのＵ字形状収納子１４２内に受容されるに
従って、図６の(a) から(c) に示すように各ウェファー
と適合する。第一及び第二のアングル表面１４４及び１
４６はウェファーエッジをＵ字形状の受容子内に心決め
するのに役立つ。カバー１２が基板ウェファー１７０ａ
〜１７０ｎに対してわずかにより大きい下向きの圧力に
より押圧されると、クッション１８及び２０は変形して
図６の(c) に示すようにウェファーエッジを取囲み、ウ
ェファーエッジをしてしっかり、かつやわらかく保持す
る。前記クッションはウェファーで満杯になっていない
カセットの場合でも安全な荷出しを行える適正な緩衝作
用を提供する。代替的実施例のウェファーも同様にして
クッションと係合する。本発明の目的を満足するのには
一つのクッションで十分である。何故ならば同クッショ
ンはウェファーのエッジ部分及びすでにウェファーポケ
ット内に固定されたウェファーのまわりに巻付くことに
より同ウェファーをしっかり係止するからである。ウェ
ファーはいったん固定されたならばスリップしたり、枢
動したり、又は回転したり、又は汚染のもとになる粒子
を発生したりすることはない。
【００４３】前記カバーリムはベースリムのまわりに噛
合い、掛金部材３６，３８，７４及び７６が噛合うと、
その間カセット１４、底１０、カバー１２、クッション
１８及び２０及び基板又はウェファー１７０ａ〜１７０
ｎの間には相互噛合い作用が発生する。この相互噛合い
作用は特にウェファーの汚染を減少し、排除するという
パッケージ目的に役立つばかりでなく、基板及びウェフ
ァーの貯蔵並びに搬送能力を与えるとともに、カバー１
２及び底部材１０のテーピングに対する清浄な周縁を提
供するのにも役立ち、安全な荷出し及び貯蔵作用が得ら
れる。
合い、掛金部材３６，３８，７４及び７６が噛合うと、
その間カセット１４、底１０、カバー１２、クッション
１８及び２０及び基板又はウェファー１７０ａ〜１７０
ｎの間には相互噛合い作用が発生する。この相互噛合い
作用は特にウェファーの汚染を減少し、排除するという
パッケージ目的に役立つばかりでなく、基板及びウェフ
ァーの貯蔵並びに搬送能力を与えるとともに、カバー１
２及び底部材１０のテーピングに対する清浄な周縁を提
供するのにも役立ち、安全な荷出し及び貯蔵作用が得ら
れる。
【００４４】更に前記掛金を清浄に保持することは、も
しも本コンテナをしてテーピングするのに適したものに
するだけでなく、縮み包装したり、適当なタイプのポリ
エステル、ポリエチレン又はマイラフィルムで荷造りす
るのに適したものにしたい場合には特に重要であること
を指摘しておく。かくすれば構造的にしっかりしている
ばかりでなく非汚染コンテナを提供することが出来る。
こうすれば又コンテナのコストが低下し、その中に支持
されるウェファーの構造的一体性も維持される。最後
に、底１０の上側平面状部材によって形成された凹所を
カバー１２の上側平面状部材と噛合せることにより同様
のパッケージ乃至コンテナを積重ねることが出来る。
しも本コンテナをしてテーピングするのに適したものに
するだけでなく、縮み包装したり、適当なタイプのポリ
エステル、ポリエチレン又はマイラフィルムで荷造りす
るのに適したものにしたい場合には特に重要であること
を指摘しておく。かくすれば構造的にしっかりしている
ばかりでなく非汚染コンテナを提供することが出来る。
こうすれば又コンテナのコストが低下し、その中に支持
されるウェファーの構造的一体性も維持される。最後
に、底１０の上側平面状部材によって形成された凹所を
カバー１２の上側平面状部材と噛合せることにより同様
のパッケージ乃至コンテナを積重ねることが出来る。
【００４５】前述の開示及び好ましい実施例の説明は本
発明を例示するものとして受取るべきことを理解された
い。本発明はクッションを変更することにより種々のウ
ェファーを梱包するように容易に適応させることが可能
である。更には、当業者ならば本発明の真の精神及び範
囲から離脱すること無く修整例を案出することが可能な
ることも理解されたい。
発明を例示するものとして受取るべきことを理解された
い。本発明はクッションを変更することにより種々のウ
ェファーを梱包するように容易に適応させることが可能
である。更には、当業者ならば本発明の真の精神及び範
囲から離脱すること無く修整例を案出することが可能な
ることも理解されたい。
【図１】基板パッケージ内部に設けたウェファー搬送体
内のウェファーを示すために一部切取って示せる基板パ
ッケージの正面図。
内のウェファーを示すために一部切取って示せる基板パ
ッケージの正面図。
【図２】隠れ線によりウェファー搬送体を示してある基
板パッケージの側面図。
板パッケージの側面図。
【図３】ウェファー搬送体の斜視図。
【図４】本発明の箱の底部材の上面図。
【図５】本発明の箱の頂部部材の上面図。
【図６】(A) から(C) は本発明のクッションと噛合うウ
ェファー輪郭の正面図。
ェファー輪郭の正面図。
【図７】本発明のクッションの一つの平面図。
【図８】本発明のクッションの一つの平面図。
【図９】(A) 〜(D) はクッションのエッジ部の種々の実
施例を示す拡大断面図。
施例を示す拡大断面図。
【図１０】ウェファー搬送体を必要としない、本発明の
代替的実施例の部分的に切取って示せる横断面図。
代替的実施例の部分的に切取って示せる横断面図。
【図１１】本発明に係るクッションを一つだけ備えた図
１０の代替的実施例の部分的に切取って示せる断面図。
１０の代替的実施例の部分的に切取って示せる断面図。
【図１２】一つのクッションのみを備えた代替的実施例
の部分的に切取って示せる横断面図。
の部分的に切取って示せる横断面図。
５ パッケージ乃至容器 １０ 底部材 １２ カバー １４ カセット １６ ウェファー １８，２０ クッション ２４ 底 ２６，２８，３０，３２ 一体壁 ４４，４５ 軌道 ６２ ベース ６４，６６，６８，７０ 一体壁 ７８，８０ 軌道 １３５ 突出部材 １４４，１４６ 噛合い表面
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成５年６月２８日
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】発明の名称
【補正方法】変更
【補正内容】
【発明の名称】 基板ウェファー懸架容器、基板ウェフ
ァー懸架装置、及び基板ウェファー懸架容器に挿入する
ためのクッション
ァー懸架装置、及び基板ウェファー懸架容器に挿入する
ためのクッション
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】特許請求の範囲
【補正方法】変更
【補正内容】
【特許請求の範囲】
Claims (39)
- 【請求項１】 複数個の基板ウェファーをシール可能な
汚染防止容器内に懸架するための基板ウェファー懸架容
器であって、同容器は (a) 第一のベースを備えたカバーにして同ベースはそ
れから垂直方向に延びる４つの一体壁を含んでいるカバ
ーと、 (b) 前記ベースから垂直に延びている４つの一体側面
を含んだ第二のベースを備えた底と、 (c) ウェファーエッジと係合する表面を有する複数個
の突出部材を備えた少なくとも一つのクッションと、 (d) 前記クッションを固定するための、前記容器上に
配置された手段装置と、 (e) 前記基板ウェファーのロット又はグループを収納
するための、前記容器上の配置された手段装置。 - 【請求項２】 請求項１に記載の基板ウェファー懸架容
器において、前記基板ウェファーのロット又はグループ
を収納するための前記手段装置は着脱自在なウェファー
搬送体であり、前記パッケージカバー及び底により前記
搬送体は前記パッケージ頂部とパッケージ底の間にはさ
まれ、前記ウェファーのロット又はグループは少なくと
も一つのクッションによって係合されることを特徴とす
る基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項３】 請求項１に記載の容器において、前記基
板ウェファーのロット又はグループを収納するための前
記手段装置が前記底の対向する側壁上に設けられた複数
個のウェファーポケットであることを特徴とする基板ウ
ェファー懸架容器。 - 【請求項４】 請求項１に記載の容器において、前記ク
ッションを収納するための前記手段装置は一連の平行軌
道であることを特徴とする基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項５】 請求項１に記載の容器において、前記ク
ッションはエラストマ材料から作られていることを特徴
とする基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項６】 請求項１に記載の容器において、前記ク
ッションは可撓性熱可塑性材料から作られていることを
特徴とする基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項７】 請求項５に記載の容器において、前記可
撓性で熱可塑性材料がポリビニリデンフルオライド（Ｐ
ＶＤＦ）であることを特徴とする基板ウェファー懸架容
器。 - 【請求項８】 請求項１に記載の容器において、前記ク
ッションはＡＳＴＭ規格Ｄ２９９０に従って測定した
時、６０℃で１．５％たわみよりも少ない屈曲上のクリ
ープ量を示す材料から作られていることを特徴とする基
板ウェファー懸架容器。 - 【請求項９】 請求項１に記載の容器において、前記ウ
ェファーエッジと係合する表面はウェファーエッジ収納
子の両側上に設けた第一及び第二のアングル表面を有し
ていることを特徴とする基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項１０】 請求項１に記載の容器において、隣接
部材の前記アングル表面は前記クッションの中央部分に
沿って接続されていることを特徴とする基板ウェファー
懸架容器。 - 【請求項１１】 請求項８に記載の容器において、前記
アングル表面がセグメント化されていることを特徴とす
る基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項１２】 複数個の基板ウェファーをシール可能
な汚染防止容器内に懸架するための基板ウェファー懸架
容器であって、同容器は (a) 第一のベースを備えたカバーにして同ベースはそ
れから垂直方向に延びる４つの一体壁を含んでいるカバ
ーと、 (b) 前記ベースから垂直に延びている４つの一体側面
を含んだ第二のベースを備えた底と、 (c) 第三のベースを備えた第一のクッションにして、
同第三のベースからは複数個の部材が延びており、各前
記部材は前記ベースと対向するウェファーエッジ係合表
面を備えている第一のクッションと、 (d) 第四のベースを備えた第二のクッションにして、
同第四のベースからは第二の複数個の部材が延びてお
り、各前記第二の部材は前記第四のベースと対向する第
二のウェファーエッジ係合表面を備えている第二のクッ
ションと、 (e) 前記第一のクッションを前記カバーに固定するた
めの、前記カバー上に配置した手段装置と、 (f) 前記第二のクッションを前記底に固定するため
の、前記底上に配置した手段装置と、 (g) 着脱自在なウェファー担持体にして、前記パッケ
ージカバー及び底は前記担持体がウェファーをして前記
第一及び第二のクッションの間に懸架した状態でパッケ
ージ頂部とパッケージ底の間に挿入するようにされてい
る担持体とを有する基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項１３】 請求項１２に記載の容器において、前
記ウェファーエッジ係合表面はＵ字形状の収納子の両側
上に設けた第一及び第二のアングル表面を有しているこ
とを特徴とする基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項１４】 請求項１２に記載の容器において、前
記ウェファーエッジ係合表面はＶ字形状の収納子を有し
ていることを特徴とする基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項１５】 請求項１２に記載の容器において、前
記ウェファーエッジ係合表面は平坦な表面の両側上に第
一及び第二のアングル表面を有していることを特徴とす
る基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項１６】 請求項１２に記載の容器において、前
記第一及び第二のクッションはエラストマ材料から作ら
れていることを特徴とする基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項１７】 請求項１２に記載の容器において、前
記第一及び第二のクッションは可撓性に富んだ可塑性プ
ラスチックから作られていることを特徴とする基板ウェ
ファー懸架容器。 - 【請求項１８】 請求項１２に記載の容器において、前
記可撓性に富んだ可塑性プラスチック材はポリビニリデ
ンフルオライド（ＰＶＤＦ）であることを特徴とする基
板ウェファー懸架容器。 - 【請求項１９】 請求項１２に記載の容器において、前
記第一及び第二のクッションはＡＳＴＭ規格Ｄ２９９０
に従って測定された時６０℃において１．５％たわみよ
りも少ない屈曲クリープ量を備えた材料から作られてい
ることを特徴とする基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項２０】 請求項１２に記載の容器において、近
接部材の前記アングル表面は前記クッションの中央部分
に沿って接続されていることを特徴とする基板ウェファ
ー懸架容器。 - 【請求項２１】 請求項１２に記載の容器において、前
記カバー上に配置された前記手段装置は前記第一のクッ
ションの第三のベースを収納するための第一のセットの
平行軌道を有していることを特徴とする基板ウェファー
懸架容器。 - 【請求項２２】 請求項１０に記載の容器において、前
記底上に配置した前記手段装置は前記第二のクッション
の第四のベースを収納するための第二のセットの平行軌
道を有していることを特徴とする基板ウェファー懸架容
器。 - 【請求項２３】 請求項１０に記載の容器において、前
記着脱自在のウェファー担持体が前記複数個のウェファ
ーと摩擦的に係合するための複数個の隔置された垂直溝
を含んでいることを特徴とする基板ウェファー懸架容
器。 - 【請求項２４】 複数個の基板ウェファーを懸架するた
めの基板ウェファー懸架容器であって、同容器は (a) パッケージ底部にして、４つの側面、前記パッケ
ージベースと対向して前記４つの側面を取囲むリム、相
対する側面上に設けた相対する掛金、パッケージ積重ね
のための隆起した底表面、該底表面上で第一のクッショ
ンを収納するための第一のセットの平行軌道を含んだパ
ッケージ底部と、 (b) パッケージ頂部にして、４つの側面、前記４つの
側面の開口エッジを取囲むリム、相対する側面上に設け
た相対する掛金部材、隆起積重ね表面を含んだ頂部表面
並びに第二のクッションを収納するための第二のセット
の平行軌道を含むパッケージ頂部を有し、 (c) 前記第一及び第二のクッションの各々は、 i) ベースにして、該ベースは前記平行軌道と噛合う
一対の平行レールを備えているベースと、 ii) 前記ベースから延びる複数個の部材を有し、 iii) 各前記部材は前記ベースと相対してウェファーエ
ッジ係合表面を備えており、前記ウェファーエッジ係合
表面はＵ字形状収納子の両側上において第一及び第二の
アングル表面を備えており、かくて前記レールが前記軌
道と噛合うことにより前記第一及び第二のクッションを
前記パッケージ頂部及び底部にしっかり固定しており、
更に前記懸架容器は、 (d) 相対する密閉側壁、後方壁及び前記側壁を接続す
るクロスバーを含んだウェファー搬送体カセットと、 (e) ロボット的取扱いのための、前記カセット上に設
けた手段装置と、 (f) 前記カセットを前記パッケージベース内に配置す
るための、前記カセット上に設けた手段装置とを有して
いる基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項２５】 請求項２２に記載の容器において、近
接部材の前記アングル表面は前記クッションの中央部分
に沿って中心が接続されていることを特徴とする基板ウ
ェファー懸架容器。 - 【請求項２６】 請求項２２に記載の容器において、前
記クッションはエラストマ材料から作られていることを
特徴とする基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項２７】 請求項２２に記載の容器において、前
記クッションは可撓性の熱可塑性プラスチックから作ら
れていることを特徴とする基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項２８】 請求項２２に記載の容器において、前
記可撓性の熱可塑性材料がポリビニリデンフルオライド
（ＰＶＤＦ）であることを特徴とする基板ウェファー懸
架容器。 - 【請求項２９】 請求項２２に記載の容器において、前
記クッションがＡＳＴＭ規格Ｄ２９９０に従って測定し
た時に、６０℃において１．５％たわみより少ない屈曲
上のクリープ値を備えた材料から作られていることを特
徴とする基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項３０】 請求項２２に記載の容器において、前
記箱が熱可塑性材料から作られていることを特徴とする
基板ウェファー懸架容器。 - 【請求項３１】 基板ウェファー容器と組合せて用いら
れる複数個の基板ウェファーを懸架するための基板ウェ
ファー懸架装置であって、同懸架装置は (a) 各々が一つのベースを備えてなる第一及び第二の
クッションと、 (b) 前記ベースから延びる複数個の部材を有し、 (c) 各前記部材は前記ベースと対向してウェファーエ
ッジ係合表面を備えており、 (d) 前記ウェファーエッジ係合表面はウェファーエッ
ジ収納子の両側上において第一及び第二のアングル表面
を備えており、前記懸架装置は更に、 (e) 前記クッションを前記基板ウェファー容器にしっ
かりと固定するために前記複数個の部材と対向して前記
ベース上に設けられた手段装置を有している基板ウェフ
ァー懸架装置。 - 【請求項３２】 請求項３１に記載の懸架装置におい
て、近接部材の前記アングル表面が前記クッションの中
心部分に沿って中心が接続されていることを特徴とする
基板ウェファー懸架装置。 - 【請求項３３】 請求項３１に記載の懸架装置におい
て、前記クッションがエラストマ材料から作られている
ことを特徴とする基板ウェファー懸架装置。 - 【請求項３４】 請求項３１に記載の懸架装置におい
て、前記クッションが可撓性の熱可塑性プラスチックか
ら作られていることを特徴とする基板ウェファー懸架装
置。 - 【請求項３５】 請求項３１に記載の懸架装置におい
て、前記可撓性の熱可塑性プラスチック材料がポリビニ
リデンフルオライドであることを特徴とする基板ウェフ
ァー懸架装置。 - 【請求項３６】 請求項３１に記載の懸架装置におい
て、前記クッションはＡＳＴＭ規格Ｄ２９９０に従って
測定された時に６０℃で１．５％たわみより少ない屈曲
上のクリープ値を備えた材料から作られていることを特
徴とする基板ウェファー懸架装置。 - 【請求項３７】 請求項３１に記載の懸架装置におい
て、前記ウェファーエッジ噛合い表面はＵ字形状収納子
の両側上において第一及び第二のアングル表面を含んで
いることを特徴とする基板ウェファー懸架装置。 - 【請求項３８】 請求項３１に記載の懸架装置におい
て、前記ウェファーエッジ係合表面がＶ字形状の収納子
を有していることを特徴とする基板ウェファー懸架装
置。 - 【請求項３９】 請求項３１に記載の懸架装置におい
て、前記ウェファー係合表面は平坦な表面の両側上にお
いて第一及び第二のアングル表面を有していることを特
徴とする基板ウェファー懸架装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/887,965 US5273159A (en) | 1992-05-26 | 1992-05-26 | Wafer suspension box |
| US887965 | 1992-05-26 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0672482A true JPH0672482A (ja) | 1994-03-15 |
| JP2547369B2 JP2547369B2 (ja) | 1996-10-23 |
Family
ID=25392239
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28152192A Expired - Lifetime JP2547369B2 (ja) | 1992-05-26 | 1992-10-20 | 基板ウェファー懸架容器、基板ウェファー懸架装置、及び基板ウェファー懸架容器に挿入するためのクッション |
Country Status (8)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5273159A (ja) |
| EP (1) | EP0571678B1 (ja) |
| JP (1) | JP2547369B2 (ja) |
| KR (1) | KR0185702B1 (ja) |
| CA (1) | CA2075654C (ja) |
| DE (2) | DE571678T1 (ja) |
| MY (2) | MY109978A (ja) |
| TW (1) | TW228612B (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007227941A (ja) * | 1998-07-10 | 2007-09-06 | Entegris Inc | クッション付きウェハー容器 |
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| JP2013522885A (ja) * | 2010-03-11 | 2013-06-13 | インテグリス・インコーポレーテッド | 薄型ウェーハシッパー |
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