JPH08172038A - ペリクル収納容器 - Google Patents
ペリクル収納容器Info
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- JPH08172038A JPH08172038A JP31304594A JP31304594A JPH08172038A JP H08172038 A JPH08172038 A JP H08172038A JP 31304594 A JP31304594 A JP 31304594A JP 31304594 A JP31304594 A JP 31304594A JP H08172038 A JPH08172038 A JP H08172038A
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
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Abstract
(57)【要約】 （修正有）
【目的】 本発明はペリクル収納容器内外の圧力差等に
よる容器の変形に伴なうフレームの撓み、ペリクル膜の
しわ、のびの発生による品質劣化、および上蓋を開ける
ために過剰力を必要とする問題を解決し、ペリクル容器
内への異物の侵入を防止したペリクル収納容器の提供を
目的とするものである。 【構成】 本発明のペリクル収納容器は、トレイ４にペ
リクル膜を上向きにしてペリクル１を置き、上蓋３でペ
リクルを固定するペリクル収納容器において、上蓋３も
しくはトレイ４の一部に開孔部８を設け、その開孔部８
を除粒子用フィルター９で覆い、かつペリクルを含む空
間を上蓋３、トレイ４、除粒子用フィルター９、及びパ
ッキン７により画成してなることを特徴とするものであ
る。
よる容器の変形に伴なうフレームの撓み、ペリクル膜の
しわ、のびの発生による品質劣化、および上蓋を開ける
ために過剰力を必要とする問題を解決し、ペリクル容器
内への異物の侵入を防止したペリクル収納容器の提供を
目的とするものである。 【構成】 本発明のペリクル収納容器は、トレイ４にペ
リクル膜を上向きにしてペリクル１を置き、上蓋３でペ
リクルを固定するペリクル収納容器において、上蓋３も
しくはトレイ４の一部に開孔部８を設け、その開孔部８
を除粒子用フィルター９で覆い、かつペリクルを含む空
間を上蓋３、トレイ４、除粒子用フィルター９、及びパ
ッキン７により画成してなることを特徴とするものであ
る。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明はペリクル収納容器、特に
はＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表示
板を製造する際のゴミよけとして使用される、実質的に
500nm以下の光を用いる露光方式における帯電防止され
たリソグラフィー用ペリクルを収納する容器に関するも
のである。
はＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置あるいは液晶表示
板を製造する際のゴミよけとして使用される、実質的に
500nm以下の光を用いる露光方式における帯電防止され
たリソグラフィー用ペリクルを収納する容器に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】ＬＳＩ、超ＬＳＩなどの半導体装置ある
いは液晶表示板などの製造においては、半導体ウェハー
あるいは液晶用原版に光を照射してパターニングを作成
するのであるが、この場合に用いる露光原版にゴミが付
着していると、このゴミが光を吸収したり、光を曲げて
しまうため、転写したパターニングが変形したり、エッ
ジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりし
て、寸法、品質、外観などが損なわれ、半導体装置や液
晶表示板などの性能や製造歩留りの低下を来すという問
題があった。このため、これらの作業は通常クリーンル
ームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光
原版を常に清浄に保つことが難しいので、露光原版の表
面にゴミよけのための露光用の光をよく通過させるペリ
クルを貼着する方法が行なわれている。
いは液晶表示板などの製造においては、半導体ウェハー
あるいは液晶用原版に光を照射してパターニングを作成
するのであるが、この場合に用いる露光原版にゴミが付
着していると、このゴミが光を吸収したり、光を曲げて
しまうため、転写したパターニングが変形したり、エッ
ジががさついたものとなるほか、白地が黒く汚れたりし
て、寸法、品質、外観などが損なわれ、半導体装置や液
晶表示板などの性能や製造歩留りの低下を来すという問
題があった。このため、これらの作業は通常クリーンル
ームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光
原版を常に清浄に保つことが難しいので、露光原版の表
面にゴミよけのための露光用の光をよく通過させるペリ
クルを貼着する方法が行なわれている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】これらペリクルを収納
するための容器は、一般にポリプロピレン、ＡＢＳ、ポ
リフルオロアセテート（ＰＦＡ）、ポリテトラフルオロ
エチレン（ＰＴＦＥ）、ポリメチルメタアクリレート
（ＰＭＭＡ）等の樹脂材料によって作られているため、
帯電し易く、ケースに付着したゴミを洗浄によって完全
に除去する事が困難である。そのうえ、従来のペリクル
収納容器は図５に示したようにペリクル膜11を張設した
ペリクル枠12をトレイ14上に載せ、ペリクル枠12をペリ
クル枠支持体15で支え、その上から上蓋13をかぶせクリ
ップ16で固定する収納方式であるため、トレイと上蓋の
気密性が不充分であり、したがって空気中に浮遊するゴ
ミを集めて、輸送中の衝撃や環境の変化によるペリクル
収納容器内外の圧力差等に基づくペリクル収納容器内へ
の空気の出入りの際、ペリクル収納容器内に異物を侵入
させ、収納した製品上にその異物を付着させることがあ
った。
するための容器は、一般にポリプロピレン、ＡＢＳ、ポ
リフルオロアセテート（ＰＦＡ）、ポリテトラフルオロ
エチレン（ＰＴＦＥ）、ポリメチルメタアクリレート
（ＰＭＭＡ）等の樹脂材料によって作られているため、
帯電し易く、ケースに付着したゴミを洗浄によって完全
に除去する事が困難である。そのうえ、従来のペリクル
収納容器は図５に示したようにペリクル膜11を張設した
ペリクル枠12をトレイ14上に載せ、ペリクル枠12をペリ
クル枠支持体15で支え、その上から上蓋13をかぶせクリ
ップ16で固定する収納方式であるため、トレイと上蓋の
気密性が不充分であり、したがって空気中に浮遊するゴ
ミを集めて、輸送中の衝撃や環境の変化によるペリクル
収納容器内外の圧力差等に基づくペリクル収納容器内へ
の空気の出入りの際、ペリクル収納容器内に異物を侵入
させ、収納した製品上にその異物を付着させることがあ
った。
【０００４】そこで、これについてはペリクル収納容器
の気密性を高めるために、上蓋とトレイとをパッキンを
介して接触させる方法が提案されている（特願平5-2916
68号明細書参照）。しかしながら、この方法では、ペリ
クル収納容器内外の空気の出入りが完全に閉ざされてし
まうために、輸送中の衝撃や環境の変化によりペリクル
収納容器内外に圧力差が生じ、その際にそれらの圧力差
を是正することはこの方法では不可能であるし、ペリク
ル収納容器内圧がペリクル収納容器外圧に対して負の場
合、ペリクル収納容器が変形しフレームが撓みペリクル
膜にしわ、のびが発生する等の品質劣化の問題や、ペリ
クルを取り出す際上蓋を開ける為に過剰な力が必要とな
るという問題もある。
の気密性を高めるために、上蓋とトレイとをパッキンを
介して接触させる方法が提案されている（特願平5-2916
68号明細書参照）。しかしながら、この方法では、ペリ
クル収納容器内外の空気の出入りが完全に閉ざされてし
まうために、輸送中の衝撃や環境の変化によりペリクル
収納容器内外に圧力差が生じ、その際にそれらの圧力差
を是正することはこの方法では不可能であるし、ペリク
ル収納容器内圧がペリクル収納容器外圧に対して負の場
合、ペリクル収納容器が変形しフレームが撓みペリクル
膜にしわ、のびが発生する等の品質劣化の問題や、ペリ
クルを取り出す際上蓋を開ける為に過剰な力が必要とな
るという問題もある。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明はこのような不
利、問題点を解決したペリクル収納容器に関するもので
あり、これはトレイにペリクル膜を上向きにしてペリク
ルを置き、上蓋でペリクルを固定するペリクル収納容器
において、上蓋もしくはトレイの一部に開孔部を設け、
その開孔部を除粒子用フィルターで覆い、かつペリクル
を含む空間を上蓋、トレイ、除粒子用フィルター、及び
パッキンにより画成してなることを特徴とするものであ
る。
利、問題点を解決したペリクル収納容器に関するもので
あり、これはトレイにペリクル膜を上向きにしてペリク
ルを置き、上蓋でペリクルを固定するペリクル収納容器
において、上蓋もしくはトレイの一部に開孔部を設け、
その開孔部を除粒子用フィルターで覆い、かつペリクル
を含む空間を上蓋、トレイ、除粒子用フィルター、及び
パッキンにより画成してなることを特徴とするものであ
る。
【０００６】すなわち、本発明者らはペリクル収納容器
内の通気性を確保しつつ、異物の侵入を防止できるリソ
グラフィー用ペリクル収納容器を開発すべく種々検討し
た結果、これについてはペリクル収納容器の上蓋とトレ
イとをパッキンを介して嵌合し、上蓋もしくはトレイの
一部に開孔部を設けたものとしたところ、上蓋またはト
レイの一部に設けた開孔部によってペリクル収納容器内
外の通気性が確保されるので、ペリクル収納容器内が負
圧になることによるペリクルの品質劣化の問題および上
蓋を開けるために過剰の力が必要とされるという問題が
解消されるということを見出した。
内の通気性を確保しつつ、異物の侵入を防止できるリソ
グラフィー用ペリクル収納容器を開発すべく種々検討し
た結果、これについてはペリクル収納容器の上蓋とトレ
イとをパッキンを介して嵌合し、上蓋もしくはトレイの
一部に開孔部を設けたものとしたところ、上蓋またはト
レイの一部に設けた開孔部によってペリクル収納容器内
外の通気性が確保されるので、ペリクル収納容器内が負
圧になることによるペリクルの品質劣化の問題および上
蓋を開けるために過剰の力が必要とされるという問題が
解消されるということを見出した。
【０００７】また、これについては上蓋とトレイがパッ
キンを介して接触しているので、これらの接触面からの
空気の出入りが遮断され、ペリクル収納容器内への空気
の出入り箇所が上記した上蓋またはトレイの一部に設け
られた開孔部に限定されるが、この開孔部を除粒子用フ
ィルターで覆ったものとすると、ペリクル収納容器の内
外圧差により生ずるペリクル収容器への空気の出入りの
際の異物侵入が防止されることが見出され、これによれ
ば通気性があり異物の侵入を防止できるペリクル収納容
器を容易に得ることができるという有利性が与えられ
る。以下にこれをさらに詳述する。
キンを介して接触しているので、これらの接触面からの
空気の出入りが遮断され、ペリクル収納容器内への空気
の出入り箇所が上記した上蓋またはトレイの一部に設け
られた開孔部に限定されるが、この開孔部を除粒子用フ
ィルターで覆ったものとすると、ペリクル収納容器の内
外圧差により生ずるペリクル収容器への空気の出入りの
際の異物侵入が防止されることが見出され、これによれ
ば通気性があり異物の侵入を防止できるペリクル収納容
器を容易に得ることができるという有利性が与えられ
る。以下にこれをさらに詳述する。
【０００８】
【作用】本発明のペリクル収納容器は前記したように、
トレイにペリクル膜を上向きにしてペリクルを置き、上
蓋でペリクルを固定するペリクル収納容器において、上
蓋もしくはトレイの一部に開孔部を設け、その開孔部を
除粒子用フィルターで覆い、かつペリクルを含む空間を
上蓋、トレイ、除粒子用フィルター、及びパッキンによ
り画成してなることを特徴とするものであるが、このペ
リクル収納容器を構成する材質は一般に用いられている
樹脂材料、金属等とすればよく、これにはプロピレン、
ポリエチレン、ＡＢＳ、ポリフルオロアセテート（ＰＦ
Ａ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリ
メチルメタアクリレート（ＰＭＭＡ）等の樹脂材料、ア
ルミニウム、アルミニウム合金、ステンレススチール等
の金属が例示される。
トレイにペリクル膜を上向きにしてペリクルを置き、上
蓋でペリクルを固定するペリクル収納容器において、上
蓋もしくはトレイの一部に開孔部を設け、その開孔部を
除粒子用フィルターで覆い、かつペリクルを含む空間を
上蓋、トレイ、除粒子用フィルター、及びパッキンによ
り画成してなることを特徴とするものであるが、このペ
リクル収納容器を構成する材質は一般に用いられている
樹脂材料、金属等とすればよく、これにはプロピレン、
ポリエチレン、ＡＢＳ、ポリフルオロアセテート（ＰＦ
Ａ）、ポリテトラフルオロエチレン（ＰＴＦＥ）、ポリ
メチルメタアクリレート（ＰＭＭＡ）等の樹脂材料、ア
ルミニウム、アルミニウム合金、ステンレススチール等
の金属が例示される。
【０００９】本発明のペリクル収納容器では上蓋とトレ
イとがパッキンを介して接触させられるのであるが、こ
のパッキンは上蓋とトレイとの機械的な直接接着を押え
るクッション材となるものであるということから、適度
に弾性をもち、変形時に発塵の少ないものとし、継ぎ目
の無いエンドレスのものとすることが好ましい。したが
って、これは例えばポリエチレン、ポリプロピレン、Ａ
ＢＳ樹脂、ポリ塩化ビニル等のプラスチック材、または
シリコーンゴム、フッ素系ゴム、ウレタン系ゴム等の合
成ゴム等で作られたものとすることがよい。このパッキ
ンの断面形状は円形状でも、ペリクル枠側あるいはトレ
イ側に尖った楔状のものでもよく、このサイズは自由に
設定すればよいが、好ましくは直径１〜10mmの円形状の
もの、幅が１〜10mmで高さが１〜10mmの楔状のものとす
ればよい。
イとがパッキンを介して接触させられるのであるが、こ
のパッキンは上蓋とトレイとの機械的な直接接着を押え
るクッション材となるものであるということから、適度
に弾性をもち、変形時に発塵の少ないものとし、継ぎ目
の無いエンドレスのものとすることが好ましい。したが
って、これは例えばポリエチレン、ポリプロピレン、Ａ
ＢＳ樹脂、ポリ塩化ビニル等のプラスチック材、または
シリコーンゴム、フッ素系ゴム、ウレタン系ゴム等の合
成ゴム等で作られたものとすることがよい。このパッキ
ンの断面形状は円形状でも、ペリクル枠側あるいはトレ
イ側に尖った楔状のものでもよく、このサイズは自由に
設定すればよいが、好ましくは直径１〜10mmの円形状の
もの、幅が１〜10mmで高さが１〜10mmの楔状のものとす
ればよい。
【００１０】本発明のペリクル収納容器ではペリクル容
器内外の圧力差を是正するために、ペリクル容器の上蓋
もしくはトレイの一部に開孔部が設けられる。この開孔
部は小さければ小さいほど微粒子の侵入する可能性は低
減できるけれども、これを 0.1mm以下のものとして穿孔
することは実質的に困難であるし、これでは圧力差の緩
和もしずらくなるので、 0.2〜10mm程度のものとするこ
とがよい。
器内外の圧力差を是正するために、ペリクル容器の上蓋
もしくはトレイの一部に開孔部が設けられる。この開孔
部は小さければ小さいほど微粒子の侵入する可能性は低
減できるけれども、これを 0.1mm以下のものとして穿孔
することは実質的に困難であるし、これでは圧力差の緩
和もしずらくなるので、 0.2〜10mm程度のものとするこ
とがよい。
【００１１】また、開孔部はそのままでは微粒子が侵入
するので、これは除粒子用フィルターで覆うことが必要
とされる。この除粒子用フィルターはそれ自身が発塵性
のものは使用できないが、発塵性でない限りは公知のも
のとすればよく、したがってこれには半導体インライン
ガスフィルターとして用いられている、例えばＳＵＳ３
１６Ｌの焼結体で作られている除塵用フィルターを使用
すればよい。
するので、これは除粒子用フィルターで覆うことが必要
とされる。この除粒子用フィルターはそれ自身が発塵性
のものは使用できないが、発塵性でない限りは公知のも
のとすればよく、したがってこれには半導体インライン
ガスフィルターとして用いられている、例えばＳＵＳ３
１６Ｌの焼結体で作られている除塵用フィルターを使用
すればよい。
【００１２】この除粒子用フィルターの大きさはペリク
ル容器の強度を著しく損なわない範囲で自由に設定する
ことができるが、これは好ましくは面積が１〜200mm2程
度のものとすればよい。なお、このフィルターのペリク
ル枠への固定は接着剤で行えばよいが、この接着剤の材
料は、容器を溶解する溶媒を含んでいたり、それ自身か
ら発塵するようなものでなければ何でもよく、これには
公知のエポキシ系接着剤、アクリル系接着剤、シリコー
ン系接着剤などが例示される。
ル容器の強度を著しく損なわない範囲で自由に設定する
ことができるが、これは好ましくは面積が１〜200mm2程
度のものとすればよい。なお、このフィルターのペリク
ル枠への固定は接着剤で行えばよいが、この接着剤の材
料は、容器を溶解する溶媒を含んでいたり、それ自身か
ら発塵するようなものでなければ何でもよく、これには
公知のエポキシ系接着剤、アクリル系接着剤、シリコー
ン系接着剤などが例示される。
【００１３】本発明のペリクル収納容器は上記したよう
に構成されるが、これは例えばその縦断面図としての図
１〜図４に示されたものとされる。この図１のものはペ
リクル膜１が張設されたペリクル枠２をトレイ４の上に
載置したものであるが、このペリクル枠２はトレイ４に
設けられているペリクル枠支持体５によって横方向のズ
レ、がたつきが防止されており、このペリクル枠２はこ
の上方から上蓋３をかぶせることによって、外側上方角
部を押さえることによって固定される。この上蓋３およ
びトレイ４はクリップ６により固定されているが、この
上蓋３には、断面形状が円形のパッキン７が設けられて
おり、これによって上蓋３とトレイ４との接着面からの
空気の出入りが遮断される。
に構成されるが、これは例えばその縦断面図としての図
１〜図４に示されたものとされる。この図１のものはペ
リクル膜１が張設されたペリクル枠２をトレイ４の上に
載置したものであるが、このペリクル枠２はトレイ４に
設けられているペリクル枠支持体５によって横方向のズ
レ、がたつきが防止されており、このペリクル枠２はこ
の上方から上蓋３をかぶせることによって、外側上方角
部を押さえることによって固定される。この上蓋３およ
びトレイ４はクリップ６により固定されているが、この
上蓋３には、断面形状が円形のパッキン７が設けられて
おり、これによって上蓋３とトレイ４との接着面からの
空気の出入りが遮断される。
【００１４】しかし、このパッキン７は図２に示したよ
うにトレイ４の側に設けてもよく、また図３に示したよ
うに断面形状が楔状のものとしてもよい。また、これに
は図１、図２、図３に示したようにこの上蓋３に開孔部
８を設け、これによってペリクル収納容器内外の通気性
が確保されるので、トラックや航空機による輸送時に生
ずるペリクル収納容器内外の圧力差等による容器の変形
に伴なうフレームの撓み、ペリクル膜のしわ、のびの発
生等の品質劣化の問題および上蓋を開けるために過剰な
力が必要とされるという問題が解消されるという有利性
が与えられるが、この開孔部８は図４に示したようにト
レイ４側に設置されていてもよい。
うにトレイ４の側に設けてもよく、また図３に示したよ
うに断面形状が楔状のものとしてもよい。また、これに
は図１、図２、図３に示したようにこの上蓋３に開孔部
８を設け、これによってペリクル収納容器内外の通気性
が確保されるので、トラックや航空機による輸送時に生
ずるペリクル収納容器内外の圧力差等による容器の変形
に伴なうフレームの撓み、ペリクル膜のしわ、のびの発
生等の品質劣化の問題および上蓋を開けるために過剰な
力が必要とされるという問題が解消されるという有利性
が与えられるが、この開孔部８は図４に示したようにト
レイ４側に設置されていてもよい。
【００１５】なお、この開孔部８には除粒子用フィルタ
ー９が設けられているので、このペリクル収納容器の内
外圧差等により生ずるペリクル収納容器への空気の出入
りの際における容器内への異物侵入阻止率が高められる
ので、この異物侵入によるペリクルへの異物付着が防止
されるという有利性が与えられる。
ー９が設けられているので、このペリクル収納容器の内
外圧差等により生ずるペリクル収納容器への空気の出入
りの際における容器内への異物侵入阻止率が高められる
ので、この異物侵入によるペリクルへの異物付着が防止
されるという有利性が与えられる。
【００１６】
【実施例】つぎに本発明の実施例、比較例をあげる。 実施例１、比較例１ 上蓋３、トレイ４、ペリクル枠支持体５、クリップ６を
ポリプロピレンで製作し、これらを用いて図１に示した
ペリクル収納容器を作製し、この上蓋３に直径３mmのシ
リコーンゴム製の継ぎ目のないパッキン７を設けると共
に、この上蓋３にドリルを用いて直径５mmの開孔部８を
設け、この開孔部８にこれを全面覆うように直径７mmの
ＳＵＳ３１６Ｌの焼結体製の除塵用フィルター９をかぶ
せ、その後このフィルター９の周辺部をエポキシ樹脂製
の接着剤で接着してこれを上蓋３に固定した。
ポリプロピレンで製作し、これらを用いて図１に示した
ペリクル収納容器を作製し、この上蓋３に直径３mmのシ
リコーンゴム製の継ぎ目のないパッキン７を設けると共
に、この上蓋３にドリルを用いて直径５mmの開孔部８を
設け、この開孔部８にこれを全面覆うように直径７mmの
ＳＵＳ３１６Ｌの焼結体製の除塵用フィルター９をかぶ
せ、その後このフィルター９の周辺部をエポキシ樹脂製
の接着剤で接着してこれを上蓋３に固定した。
【００１７】ついで、このペリクル収納容器にペリクル
〔信越化学工業（株）製〕を収納したのち、これを圧力
容器内に設置し、大気圧から１kg/cm2に加圧したのち-7
60mmHgまで減圧する操作を10回繰り返した。つぎにクラ
ス 100のクリーンルーム内でペリクル収納容器からペリ
クルを取り出し、暗室内で40万ルクスの光を照射してペ
リクル膜１表面の異物の増加数を調べたところ、ペリク
ル膜１上に異物の増加はなく、またこれにはペリクル枠
２の撓み、ペリクル膜のしわ、のびの品質劣化も全く見
られなかった。
〔信越化学工業（株）製〕を収納したのち、これを圧力
容器内に設置し、大気圧から１kg/cm2に加圧したのち-7
60mmHgまで減圧する操作を10回繰り返した。つぎにクラ
ス 100のクリーンルーム内でペリクル収納容器からペリ
クルを取り出し、暗室内で40万ルクスの光を照射してペ
リクル膜１表面の異物の増加数を調べたところ、ペリク
ル膜１上に異物の増加はなく、またこれにはペリクル枠
２の撓み、ペリクル膜のしわ、のびの品質劣化も全く見
られなかった。
【００１８】しかし、比較のためにこのペリクル収納容
器を図５に示した従来公知のものとし、このペリクルに
ついて実施例１と同じ試験を行ったところ、このペリク
ル膜11の上には新たに７個の異物の付着が認められ、ま
たこれについてはペリクル枠12沿いのペリクル膜11に５
mm程度のしわ数本の発生が認められた。
器を図５に示した従来公知のものとし、このペリクルに
ついて実施例１と同じ試験を行ったところ、このペリク
ル膜11の上には新たに７個の異物の付着が認められ、ま
たこれについてはペリクル枠12沿いのペリクル膜11に５
mm程度のしわ数本の発生が認められた。
【００１９】実施例２、比較例２ 実施例１と同一のポリプロピレン製のペリクル収納容器
において、上蓋３にドリルを用いて直径５mmの開孔部８
を設け、その開孔部８にこれを全部覆う直径７mmのＳＵ
Ｓ３１６Ｌの燒結体製の除塵用フィルター９をかぶせ、
その後フィルター周辺部をエポキシ樹脂製の接着剤で付
着して上蓋３に固定し、さらに上蓋３に直径３mmのシリ
コーンゴム製のパッキン７を設け、ここにペリクル〔信
越化学工業（株）製〕を収納し、これを羽田−福岡間に
航空機で往復させた。
において、上蓋３にドリルを用いて直径５mmの開孔部８
を設け、その開孔部８にこれを全部覆う直径７mmのＳＵ
Ｓ３１６Ｌの燒結体製の除塵用フィルター９をかぶせ、
その後フィルター周辺部をエポキシ樹脂製の接着剤で付
着して上蓋３に固定し、さらに上蓋３に直径３mmのシリ
コーンゴム製のパッキン７を設け、ここにペリクル〔信
越化学工業（株）製〕を収納し、これを羽田−福岡間に
航空機で往復させた。
【００２０】ついで、クラス 100のクリーンルーム内で
このペリクル収納容器からペリクルを取り出し、暗室内
で40万ルクスの光を照射してペリクル膜１の表面におけ
る異物の増加をしらべたところ、このペリクル膜１には
異物の増加は認められず、またこれにはペリクル枠２の
撓み、ペリクル膜のしわ、のびなどの品質劣化も全く見
られなかった。
このペリクル収納容器からペリクルを取り出し、暗室内
で40万ルクスの光を照射してペリクル膜１の表面におけ
る異物の増加をしらべたところ、このペリクル膜１には
異物の増加は認められず、またこれにはペリクル枠２の
撓み、ペリクル膜のしわ、のびなどの品質劣化も全く見
られなかった。
【００２１】しかし、比較のためにこのペリクル収納容
器を図５に示した従来公知のものとし、これにペリクル
を収納し、実施例２と同様にこの容器を航空機で輸送し
たのち、これについて実施例２と同様の検査を行なった
ところ、このペリクル膜11の上には新たに４個の異物が
付着していることが確認された。
器を図５に示した従来公知のものとし、これにペリクル
を収納し、実施例２と同様にこの容器を航空機で輸送し
たのち、これについて実施例２と同様の検査を行なった
ところ、このペリクル膜11の上には新たに４個の異物が
付着していることが確認された。
【００２２】
【発明の効果】本発明のペリクル収納容器によれば、上
蓋もしくはトレイの一部に設けた開孔部によりペリクル
収納容器内外の通気製が確保されるので、トラックや航
空機による輸送時に生ずるペリクル収納容器内外の圧力
差異により容器の変形に伴なうフレームの撓み、ペリク
ル膜のしわ、のびの発生等による品質劣化の問題および
上蓋を開けるために過剰の力が必要になるという問題が
解決されるし、その開孔部が除粒子フィルターで覆われ
ているので、ペリクル収納容器への空気の出入りの際の
異物侵入が防止されるという有利性が与えられる。
蓋もしくはトレイの一部に設けた開孔部によりペリクル
収納容器内外の通気製が確保されるので、トラックや航
空機による輸送時に生ずるペリクル収納容器内外の圧力
差異により容器の変形に伴なうフレームの撓み、ペリク
ル膜のしわ、のびの発生等による品質劣化の問題および
上蓋を開けるために過剰の力が必要になるという問題が
解決されるし、その開孔部が除粒子フィルターで覆われ
ているので、ペリクル収納容器への空気の出入りの際の
異物侵入が防止されるという有利性が与えられる。
【図１】本発明のペリクル収納容器の一例の縦断面図を
示したものである。
示したものである。
【図２】本発明のペリクル収納容器の他の例の縦断面図
を示したものである。
を示したものである。
【図３】本発明のペリクル収納容器の別の例の縦断面図
を示したものである。
を示したものである。
【図４】本発明のペリクル収納容器にさらに他の例の縦
断面図を示したものである。
断面図を示したものである。
【図５】従来公知のペリクル収納容器の一例の縦断面図
を示したものである。
を示したものである。
１，11…ペリクル膜 ２，12…ペリクル枠 ３，13…上蓋 ４，14…トレイ ５，15…ペリクル枠支持体 ６，16…クリップ ７…パッキン ８…開孔部 ９…除粒子用フィルター
Claims (2)
- 【請求項１】 トレイにペリクル膜を上向きにしてペリ
クルを置き、上蓋でペリクルを固定するペリクル収納容
器において、上蓋もしくはトレイの一部に開孔部を設
け、その開孔部を除粒子用フィルターで覆い、かつペリ
クルを含む空間を上蓋、トレイ、除粒子用フィルター、
及びパッキンにより画成してなることを特徴とするペリ
クル収納容器。 - 【請求項２】 フィルターがステンレス鋼の焼結体で作
られている請求項１に記載したペリクル収納容器。
Priority Applications (1)
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|---|---|---|---|
| JP31304594A JP3356897B2 (ja) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | ペリクル収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31304594A JP3356897B2 (ja) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | ペリクル収納容器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08172038A true JPH08172038A (ja) | 1996-07-02 |
| JP3356897B2 JP3356897B2 (ja) | 2002-12-16 |
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ID=18036544
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31304594A Expired - Fee Related JP3356897B2 (ja) | 1994-12-16 | 1994-12-16 | ペリクル収納容器 |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3356897B2 (ja) |
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- 1994-12-16 JP JP31304594A patent/JP3356897B2/ja not_active Expired - Fee Related
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|---|---|
| JP3356897B2 (ja) | 2002-12-16 |
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