JP3023612U - ペリクルのペリクル収納容器への固定構造 - Google Patents
ペリクルのペリクル収納容器への固定構造Info
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Abstract
(57)【要約】 (修正有)
【解決手段】トレイ11と、上蓋部16の外周部下縁部
に一体に連設されたリング状押圧部17を具備し、トレ
イ11に着脱可能に取り付けられる蓋体12とからなる
ペリクル収納容器10のトレイ11内底面にペリクル枠
1の上端面にペリクル膜2を張設したペリクル3を載置
すると共に、蓋体のリング状押圧部17内周面でペリク
ル枠の上端面を押圧することにより、ペリクルをペリク
ル収納容器に固定するペリクル3のペリクル収納容器1
0への固定構造において、ペリクル枠の上端面外周縁部
17aをテーパ面になすと共に、テーパ面に蓋体のリン
グ状押圧部17内周面を当接して押圧するよう構成する
ペリクル3のペリクル収納容器10への固定構造。 【効果】ペリクルをペリクル収納容器内に横ずれを確実
に防止して固定することができる。
に一体に連設されたリング状押圧部17を具備し、トレ
イ11に着脱可能に取り付けられる蓋体12とからなる
ペリクル収納容器10のトレイ11内底面にペリクル枠
1の上端面にペリクル膜2を張設したペリクル3を載置
すると共に、蓋体のリング状押圧部17内周面でペリク
ル枠の上端面を押圧することにより、ペリクルをペリク
ル収納容器に固定するペリクル3のペリクル収納容器1
0への固定構造において、ペリクル枠の上端面外周縁部
17aをテーパ面になすと共に、テーパ面に蓋体のリン
グ状押圧部17内周面を当接して押圧するよう構成する
ペリクル3のペリクル収納容器10への固定構造。 【効果】ペリクルをペリクル収納容器内に横ずれを確実
に防止して固定することができる。
Description
【0001】
本考案は、リソグラフィー用ペリクル、特にはLSI、超LSI等の半導体装 置あるいは液晶表示板を製造する際のゴミ避けとして使用される、実質的に50 0nm以下の光を用いる露光方式におけるリソグラフィー用ペリクルのペリクル 収納容器への固定構造に関するものである。
【0002】
LSI、超LSI等の半導体装置あるいは液晶表示板等の製造において、半導 体ウェハーあるいは液晶表示板に光を照射してパターニングを作成するのである が、この場合に用いる露光原版にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収し たり、光を曲げてしまうために、転写したパターンが変形したり、エッジががさ ついたものとなるほか、下地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観等が損なわ れ、半導体装置や液晶表示板などの性能や製品歩留りの低下をきたすという問題 があった。
【0003】 このため、これらの作業は通常クリーンルームで行われているが、このクリー ンルーム内でも露光原版を常に清浄に保つことは難しいので、これには露光原版 の表面にゴミよけのための露光用の光をよく透過させるペリクルを貼着する方法 がとられている。
【0004】 このような用途に用いられるペリクルは、ペリクル枠の上端面にペリクル膜を 張設してなるものであるが、ペリクルは異物が付着することは好ましくはなく、 このためペリクルは専用の容器に入れて、搬送、保管等を行う。
【0005】 この場合、ペリクル収納容器としては、従来、図5に示す如きものが使用され ている。
【0006】 即ち、図5に示す如きペリクル収納容器10は、トレイ11及び蓋体12から なり、ペリクル枠1の上端面にペリクル膜2を張設してなるペリクル3を収納、 固定するものである。
【0007】 ここで、トレイ11は、上記ペリクル枠1が載置される内底面がその周囲より 上方に突出して載置台13が形成された底壁部14と、その外周部上縁部に一体 に突設されたリング状壁15とからなる。また、蓋体12は、上記ペリクル膜2 を覆う上蓋部16と、その外周部下縁部に一体に連設されたリング状押圧部17 と、その外周部に一体に連設された装着部18とからなるもので、上記リング状 押圧部17は、上記上蓋部16の外周部下縁部に一体に連設された傾斜壁部17 a及びこの傾斜壁部17aの外周部に一体に連設された水平壁部17bからなり 、また上記装着部18は、上記押圧部17(水平壁部17b)と一体に順次連設 された傾斜連絡壁18a、水平当接壁18b、上向壁18c及び横突出壁18d からなる。
【0008】 上記容器10内にペリクル1を収納する場合、トレイ11の載置台13上にペ リクル枠1を載置する。なお、19は上記載置台13の周囲(ペリクル枠1を載 置した場合においてペリクル枠1の周囲)に点在して複数個配設され、ペリクル 枠1を位置決めするために立設された支持体である。
【0009】 一方、上記ペリクル3の上から蓋体12を被せ、蓋体12の水平当接壁18b 、上向壁18c、横突出壁18dの内面をトレイ11の底壁面及びリング状壁1 5の内面に当接、嵌着し、更にこれらトレイ11と蓋体12との外周部をクリッ プ20で止めるものである。
【0010】 なお、図中21はペリクル枠1の下端面に設けられた粘着剤層、22はこれを 保護する剥離紙である。
【0011】 ここで、上記蓋体12を被せた際、図6に示したように、蓋体12の押圧部1 7の水平壁17b内面がペリクル枠1の上端面に当接し、これがペリクル枠1を 垂直方向に押圧することにより、蓋体12とトレイとでペリクル3を挟持した状 態でペリクル3が固定されるものである。
【0012】 しかしながら、上記ペリクル3のペリクル収納容器10への固定方法は、蓋体 12でペリクル枠1を垂直方向にのみ押圧するもので、ペリクル枠1と当接して いる蓋体12の上記水平壁17b内面(ペリクル枠1との当接部)及びペリクル 枠1のペリクル膜2を張設した上端面は互いに水平面であることから、ペリクル 3は輸送中等に摩擦に伴う横ずれを頻繁に生じ、そこで塵埃が発生する。この場 合、トレイ11の内底面には、上述したようにペリクル枠1をその周囲から保持 する複数の支持体19が点在して立設されているものの、ペリクル枠1とそれら の支持体19とを隙間なく収納することは困難であり、ペリクル枠1の保持性は 不十分であるため、上記横ずれは防止され難いものである。
【0013】 また、上記蓋体12の水平壁17b内面(ペリクル枠1との当接部)が、ペリ クル枠1のペリクル膜2を張設した上端面に面当接し、これら面はペリクル膜2 の張設方向、つまり水平方向と一致しており、ペリクル膜2と同一平面内にある 。従って、輸送中等に頻繁に生ずる摩擦を伴うペリクル3の横ずれにより上記当 接部17bで発生した塵埃は水平移動し、ペリクル膜2に付着する問題があり、 ペリクル3の品質低下を生じさせる。
【0014】 本考案は上記事情に鑑みなされたもので、輸送中等におけるペリクル枠の横ず れを確実に防止し、この横ずれに基づく塵埃の発生を防止したペリクルのペリク ル収納容器への固定構造を提供することを目的とする。
【0015】
本考案は、上記目的を達成するため、トレイと、上蓋部の外周部下縁部に一体 に連設されたリング状押圧部を具備し、上記トレイに着脱可能に取り付けられる 蓋体とからなるペリクル収納容器の上記トレイ内底面にペリクル枠の上端面にペ リクル膜を張設したペリクルを載置すると共に、上記蓋体のリング状押圧部内周 面で上記ペリクル枠の上端面を押圧することにより、上記ペリクルを上記ペリク ル収納容器に固定するペリクルのペリクル収納容器への固定構造において、上記 ペリクル枠の上端面外周縁部をテーパ面になすと共に、このテーパ面に上記蓋体 のリング状押圧部内周面を当接して押圧するよう構成したことを特徴とするペリ クルのペリクル収納容器への固定構造を提供する。
【0016】 この場合、この好適態様として、上記蓋体のリング状押圧部が上記上蓋部の外 周部下縁部に一体に連設された傾斜壁部とその外周縁部に一体に連設された水平 壁部とからなり、上記傾斜壁部内周面(当接部)を上記テーパ面と当接してテー パ面を押圧するようにした上記固定構造、及び、上記蓋体のリング状押圧部が上 記上蓋部の外周部下縁部に一体に連設された傾斜壁部とその外周縁部に一体に連 設された水平壁部とからなり、これら両壁部の連設部内周面に存する凸状交差部 (当接部)を上記テーパ面と当接してテーパ面を押圧するようにした固定構造を 提供する。
【0017】 即ち、本考案者らは、ペリクル容器収納中のペリクルの保持性が高く、ペリク ル収納容器内でのペリクル膜への異物付着率が極めて低いリソグラフィー用ペリ クル収納容器を開発すべく検討した結果、トレイにペリクル膜を上向きにしてペ リクルを置き、蓋体でペリクルを固定するペリクル収納容器において、この蓋体 内面の当接部を、閉蓋時に内底部上に載置されたペリクル枠のテーパ面(糸面) に当接させてペリクルを固定させたところ、当接部、即ち糸面がペリクルに対し て水平でなく、蓋体重力及び蓋体による押圧力からなる当接部の下方向への力か らペリクル枠側への水平方向の保持力を発生させる角度を有していることによっ て、ペリクル収納容器内でのペリクルの保持性が確保されること、従ってペリク ル収納容器内でのペリクルの横ずれによる発塵の問題が解消されることを見い出 した。
【0018】 また、蓋体内面の当接部をペリクル枠の糸面に当接させてペリクルを固定して いるので、ペリクル膜と当接部とは同一平面内に位置せず、しかも当接部はペリ クル膜よりも低い位置にあることから、万が一蓋体開閉時の接触により当接部で 塵埃が発生しても、その塵埃が当接部より上方に位置するペリクル膜へ付着する 可能性は低い。よって、当接部で発生した塵埃の水平移動によるペリクルの品質 劣化の問題が解消されることを見い出した。
【0019】 従って、本考案の固定構造によれば、従来の固定構造に比べてペリクルの横ず れによる発塵が極めて少ないと共に、ペリクル収納容器内でのペリクル膜への異 物付着率が極めて低いため、ペリクルを汚染することなく、収納、運搬、保管す ることができる。
【0020】 本発明のトレイ及び蓋体の材料には特に制限はないが、製造の生産性及び強度 の点で硬質性樹脂とすることが好ましい。また、静電気による異物付着を防止す る意味で、これらの材料は帯電防止材料であることが好ましい。次に、トレイに 密着載置されたペリクル枠の位置決めのためにトレイの内底部にペリクル枠を周 囲から囲むための複数の支持体を点在して立設してもよい。また、ペリクルが載 置されるトレイ内底部をその周囲より上方に突出させて、ペリクルの周囲からの 塵の付着を防止することも好適である。
【0021】
以下、本考案の実施例につき図1〜4を参照して説明する。なお、図5,6と 同一構成部品については同一の参照符号を付し、その説明を省略する。
【0022】 図1,2は本考案の一実施例を示し、この実施例は、ペリクル枠1の上端面外 周縁部に形成されたテーパ面(糸面)1aに蓋体12の押圧部17の傾斜壁部1 7a内周面を面当接してペリクル枠1を斜め方向に押圧したものである。
【0023】 また、図3は本考案の他の実施例を示し、この実施例は上記テーパ面(糸面) 1aに蓋体12の押圧部17の傾斜壁部17aと水平壁部17bとの連設部内周 面に存する凸状交差部17cを線状に当接してペリクル枠1を斜め方向に押圧し たものである。
【0024】 このように、本考案は、ペリクル枠1の上端面に形成したテーパ面(糸面)を 蓋体12の当接部(図1,2における傾斜壁部17a内周面、図3における凸状 交差部17c)で押圧するもので、斜め内下方向にペリクル枠1を押圧するもの である。
【0025】 ここで、図4に上記当接部のベクトル図を示す。図4の(1)において、Fは 蓋体12の自重と蓋体12による押圧力との和であり、Fを糸面(テーパ面)に 対して水平方向、垂直方向に分解した各々の分力をF1,F2(F1=Fsinλ ,F2=cosλ、λは糸面の角度)で表す。また、当接部の接触面ではF2に比 例した、摩擦力F3(F3=μF2=μFcosλ、μは摩擦係数)がF1と反対方 向に存在する。従って、糸面水平方向にはF1とF3の差、即ち図4(2)に示し たF4(=F1−F3、蓋体が糸面に沿って移動しようとする力)が生ずる。
【0026】 F4の水平方向分力、垂直方向分力F4x,F4yで表すと、F4yは蓋体12がペ リクル枠1を上から押さえようとする力であり、一方、F4xは、蓋体12が外側 に移動しようとする力であり、逆にペリクル枠1側には−F4xの相対的な力が働 き、ペリクル枠1を内側に保持する力となる。従って、ペリクル収納容器10内 でのペリクル3の保持性が確保され、ペリクル収納容器10内でのペリクル3の 横ずれがなくなるという有位性が与えられる。
【0027】 ここで、当接部と糸面が図2のように面接触の場合は、当接部(傾斜壁部17 内周面)及び糸面の各々の角度は同じであれば、15〜75°の任意の角度でよ い。但し、F4xをより多く要求する場合には各々の角度λを鋭角にすればよく、 逆にF4yをより多く要求する場合は各々の角度λを鈍角にすればよい。
【0028】 本考案においては、図2,3に示したように蓋体12内面の当接部をペリクル 枠1の糸面に当接させてペリクルを固定しているので、ペリクル枠1がしっかり と固定保持され、横ずれ、がたつきが確実に防止される。また、ペリクル膜2と 当接部とは同一平面内に位置せず、しかも当接部はペリクル膜2よりも低い位置 にあることから、万が一蓋体開閉時の接触により当接部で塵埃が発生しても、そ の塵埃が当接部より上部に位置するペリクル膜2へ付着する可能性は低い。よっ て、当接部で発生した塵埃の水平移動によるペリクルの品質劣化の問題が解消さ れるという有位性が与えられる。
【0029】 なお、上記ペリクル用容器10のトレイ11及び蓋体12の材質は一般に用い られている樹脂材料、金属等でよい。この例としてはポリプロピレン、ポリエチ レン、ABS樹脂、PFA、PTFE、PMMA等の樹脂材料、アルミ、アルミ 合金、ステンレススチール等の金属が挙げられる。また、内部の発塵を防ぐため に、容器本体及び蓋体は硬質樹脂製であることが好ましく、特に帯電防止性を付 与した樹脂を好適に使用することができる。更に、トレイ11はペリクル膜2上 の異物検査を行うために黒色にしておくことが好ましい。
【0030】 次に実験例により本考案の効果を具体的に示す。
【0031】 〔実験例1〕 トレイ11、蓋体12及びクリップ20をポリプロピレンで製作した図1に示 したペリクル収納容器の蓋体12内面の当接部(傾斜壁部17a内周面)に45 °の角度を持たせた。
【0032】 そのペリクル収納容器に、ペリクル膜2を張設したペリクル枠1の上端外周線 に上記傾斜壁部17a内周面と同様に45°の角度、C0.20の糸面加工を施 した信越化学工業(株)製ペリクルを図2に示すように収納し、次にそれらを1 往復20mm、100往復/分で振動する振とう機に設置し、30分間振動を与 えた。
【0033】 次いで、クラス100のクリーンルーム内でケースからペリクルを取り出し、 暗室内で40万ルクスの光を照射してペリクル表面の異物の増加数を調べた。こ の結果、ペリクル膜上には異物は増加していなかった。また、ペリクル枠の撓み 、ペリクル膜のしわ、伸びなどの品質劣化も全く見られなかった。
【0034】 比較のために、図5,6に示した従来公知のペリクル収納容器において同じ試 験を行ったところ、このペリクル膜上には新たに13個の異物が付着していた。
【0035】 〔実験例2〕 実験例1と同様にしてペリクルを収納し、東京−福岡間をトラックで往復させ た。
【0036】 次いで、クラス100のクリーンルーム内でケースからペリクルを取り出し、 暗室内で40万ルクスの光を照射してペリクル表面の異物の増加数を調べた。こ の結果、ペリクル膜上には異物は増加していなかった。また、ペリクル枠の撓み 、ペリクル膜のしわ、伸びなどの品質劣化も全く見られなかった。
【0037】 比較のために、図5,6に示した従来公知のペリクル収納容器において同様の 輸送試験を行ったところ、このペリクル膜上には新たに4個の異物が付着してい た。
【0038】
本考案によれば、ペリクルをペリクル収納容器内に横ずれを確実に防止して固 定することができ、ペリクル収納容器中のペリクルの保持性が高く、ペリクル収 納容器内でのペリクル膜への異物付着率が極めて低いものである。
【図1】本考案の一実施例を示す断面図である。
【図2】同実施例の部分拡大図である。
【図3】本考案の他の実施例にかかる部分断面拡大図で
ある。
ある。
【図4】(1)及び(2)は本考案の押圧状態を示すベ
クトル図である。
クトル図である。
【図5】従来のペリクル用容器を示す断面図である。
【図6】同従来例の部分拡大図である。
1 ペリクル枠 2 ペリクル膜 3 ペリクル
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/027
Claims (7)
- 【請求項1】 トレイと、上蓋部の外周部下縁部に一体
に連設されたリング状押圧部を具備し、上記トレイに着
脱可能に取り付けられる蓋体とからなるペリクル収納容
器の上記トレイ内底面にペリクル枠の上端面にペリクル
膜を張設したペリクルを載置すると共に、上記蓋体のリ
ング状押圧部内周面で上記ペリクル枠の上端面を押圧す
ることにより、上記ペリクルを上記ペリクル収納容器に
固定するペリクルのペリクル収納容器への固定構造にお
いて、上記ペリクル枠の上端面外周縁部をテーパ面にな
すと共に、このテーパ面に上記蓋体のリング状押圧部内
周面を当接して押圧するよう構成したことを特徴とする
ペリクルのペリクル収納容器への固定構造。 - 【請求項2】 上記蓋体のリング状押圧部が上記上蓋部
の外周部下縁部に一体に連設された傾斜壁部とその外周
縁部に一体に連設された水平壁部とからなり、上記傾斜
壁部内周面を上記テーパ面と当接してテーパ面を押圧す
るようにした請求項1記載の固定構造。 - 【請求項3】 上記蓋体のリング状押圧部が上記上蓋部
の外周部下縁部に一体に連設された傾斜壁部とその外周
縁部に一体に連設された水平壁部とからなり、これら両
壁部の連設部内周面に存する凸状交差部を上記テーパ面
と当接してテーパ面を押圧するようにした請求項1記載
の固定構造。 - 【請求項4】 上記トレイ及び蓋体がそれぞれ硬質樹脂
にて形成された請求項1,2又は3記載の固定構造。 - 【請求項5】 上記トレイ及び蓋体がそれぞれ帯電防止
性硬質樹脂にて形成された請求項4記載の固定構造。 - 【請求項6】 上記トレイの内底面にペリクル枠の外周
部に沿ってペリクル枠の位置決めのための支持体を複数
個点在して立設した請求項1乃至5のいずれか1項記載
の固定構造。 - 【請求項7】 上記ペリクルが載置されるトレイ内底部
をその周囲より上方に突出させた請求項1乃至6のいず
れか1項記載の固定構造。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1995011683U JP3023612U (ja) | 1995-10-06 | 1995-10-06 | ペリクルのペリクル収納容器への固定構造 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1995011683U JP3023612U (ja) | 1995-10-06 | 1995-10-06 | ペリクルのペリクル収納容器への固定構造 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP3023612U true JP3023612U (ja) | 1996-04-23 |
Family
ID=43158878
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1995011683U Expired - Lifetime JP3023612U (ja) | 1995-10-06 | 1995-10-06 | ペリクルのペリクル収納容器への固定構造 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3023612U (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101086612B (zh) * | 2006-06-09 | 2010-09-15 | 信越化学工业株式会社 | 防护薄膜组件收纳容器及其制造方法 |
JP2011007827A (ja) * | 2009-06-23 | 2011-01-13 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 大型精密部材収納容器 |
JP2017151130A (ja) * | 2016-02-22 | 2017-08-31 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器 |
-
1995
- 1995-10-06 JP JP1995011683U patent/JP3023612U/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101086612B (zh) * | 2006-06-09 | 2010-09-15 | 信越化学工业株式会社 | 防护薄膜组件收纳容器及其制造方法 |
JP2011007827A (ja) * | 2009-06-23 | 2011-01-13 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 大型精密部材収納容器 |
JP2017151130A (ja) * | 2016-02-22 | 2017-08-31 | 信越化学工業株式会社 | ペリクル収納容器 |
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