JP3023612U

JP3023612U - ペリクルのペリクル収納容器への固定構造

Info

Publication number: JP3023612U
Application number: JP1995011683U
Authority: JP
Inventors: 聡川上; 周樫田
Original assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Chemical Co Ltd
Priority date: 1995-10-06
Filing date: 1995-10-06
Publication date: 1996-04-23
Anticipated expiration: 2001-10-06

Abstract

(57)【要約】（修正有）【解決手段】トレイ１１と、上蓋部１６の外周部下縁部
に一体に連設されたリング状押圧部１７を具備し、トレ
イ１１に着脱可能に取り付けられる蓋体１２とからなる
ペリクル収納容器１０のトレイ１１内底面にペリクル枠
１の上端面にペリクル膜２を張設したペリクル３を載置
すると共に、蓋体のリング状押圧部１７内周面でペリク
ル枠の上端面を押圧することにより、ペリクルをペリク
ル収納容器に固定するペリクル３のペリクル収納容器１
０への固定構造において、ペリクル枠の上端面外周縁部
１７ａをテーパ面になすと共に、テーパ面に蓋体のリン
グ状押圧部１７内周面を当接して押圧するよう構成する
ペリクル３のペリクル収納容器１０への固定構造。【効果】ペリクルをペリクル収納容器内に横ずれを確実
に防止して固定することができる。

Description

【考案の詳細な説明】

【０００１】

【考案の属する技術分野】

本考案は、リソグラフィー用ペリクル、特にはＬＳＩ、超ＬＳＩ等の半導体装置あるいは液晶表示板を製造する際のゴミ避けとして使用される、実質的に５００ｎｍ以下の光を用いる露光方式におけるリソグラフィー用ペリクルのペリクル収納容器への固定構造に関するものである。

【０００２】

【従来の技術及び考案が解決しようとする課題】

ＬＳＩ、超ＬＳＩ等の半導体装置あるいは液晶表示板等の製造において、半導体ウェハーあるいは液晶表示板に光を照射してパターニングを作成するのであるが、この場合に用いる露光原版にゴミが付着していると、このゴミが光を吸収したり、光を曲げてしまうために、転写したパターンが変形したり、エッジががさついたものとなるほか、下地が黒く汚れたりして、寸法、品質、外観等が損なわれ、半導体装置や液晶表示板などの性能や製品歩留りの低下をきたすという問題があった。

【０００３】このため、これらの作業は通常クリーンルームで行われているが、このクリーンルーム内でも露光原版を常に清浄に保つことは難しいので、これには露光原版の表面にゴミよけのための露光用の光をよく透過させるペリクルを貼着する方法がとられている。

【０００４】このような用途に用いられるペリクルは、ペリクル枠の上端面にペリクル膜を張設してなるものであるが、ペリクルは異物が付着することは好ましくはなく、このためペリクルは専用の容器に入れて、搬送、保管等を行う。

【０００５】この場合、ペリクル収納容器としては、従来、図５に示す如きものが使用されている。

【０００６】即ち、図５に示す如きペリクル収納容器１０は、トレイ１１及び蓋体１２からなり、ペリクル枠１の上端面にペリクル膜２を張設してなるペリクル３を収納、固定するものである。

【０００７】ここで、トレイ１１は、上記ペリクル枠１が載置される内底面がその周囲より上方に突出して載置台１３が形成された底壁部１４と、その外周部上縁部に一体に突設されたリング状壁１５とからなる。また、蓋体１２は、上記ペリクル膜２を覆う上蓋部１６と、その外周部下縁部に一体に連設されたリング状押圧部１７と、その外周部に一体に連設された装着部１８とからなるもので、上記リング状押圧部１７は、上記上蓋部１６の外周部下縁部に一体に連設された傾斜壁部１７ａ及びこの傾斜壁部１７ａの外周部に一体に連設された水平壁部１７ｂからなり、また上記装着部１８は、上記押圧部１７（水平壁部１７ｂ）と一体に順次連設された傾斜連絡壁１８ａ、水平当接壁１８ｂ、上向壁１８ｃ及び横突出壁１８ｄからなる。

【０００８】上記容器１０内にペリクル１を収納する場合、トレイ１１の載置台１３上にペリクル枠１を載置する。なお、１９は上記載置台１３の周囲（ペリクル枠１を載置した場合においてペリクル枠１の周囲）に点在して複数個配設され、ペリクル枠１を位置決めするために立設された支持体である。

【０００９】一方、上記ペリクル３の上から蓋体１２を被せ、蓋体１２の水平当接壁１８ｂ、上向壁１８ｃ、横突出壁１８ｄの内面をトレイ１１の底壁面及びリング状壁１５の内面に当接、嵌着し、更にこれらトレイ１１と蓋体１２との外周部をクリップ２０で止めるものである。

【００１０】なお、図中２１はペリクル枠１の下端面に設けられた粘着剤層、２２はこれを保護する剥離紙である。

【００１１】ここで、上記蓋体１２を被せた際、図６に示したように、蓋体１２の押圧部１７の水平壁１７ｂ内面がペリクル枠１の上端面に当接し、これがペリクル枠１を垂直方向に押圧することにより、蓋体１２とトレイとでペリクル３を挟持した状態でペリクル３が固定されるものである。

【００１２】しかしながら、上記ペリクル３のペリクル収納容器１０への固定方法は、蓋体１２でペリクル枠１を垂直方向にのみ押圧するもので、ペリクル枠１と当接している蓋体１２の上記水平壁１７ｂ内面（ペリクル枠１との当接部）及びペリクル枠１のペリクル膜２を張設した上端面は互いに水平面であることから、ペリクル３は輸送中等に摩擦に伴う横ずれを頻繁に生じ、そこで塵埃が発生する。この場合、トレイ１１の内底面には、上述したようにペリクル枠１をその周囲から保持する複数の支持体１９が点在して立設されているものの、ペリクル枠１とそれらの支持体１９とを隙間なく収納することは困難であり、ペリクル枠１の保持性は不十分であるため、上記横ずれは防止され難いものである。

【００１３】また、上記蓋体１２の水平壁１７ｂ内面（ペリクル枠１との当接部）が、ペリクル枠１のペリクル膜２を張設した上端面に面当接し、これら面はペリクル膜２の張設方向、つまり水平方向と一致しており、ペリクル膜２と同一平面内にある。従って、輸送中等に頻繁に生ずる摩擦を伴うペリクル３の横ずれにより上記当接部１７ｂで発生した塵埃は水平移動し、ペリクル膜２に付着する問題があり、ペリクル３の品質低下を生じさせる。

【００１４】本考案は上記事情に鑑みなされたもので、輸送中等におけるペリクル枠の横ずれを確実に防止し、この横ずれに基づく塵埃の発生を防止したペリクルのペリクル収納容器への固定構造を提供することを目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段及び考案の実施の形態】

本考案は、上記目的を達成するため、トレイと、上蓋部の外周部下縁部に一体に連設されたリング状押圧部を具備し、上記トレイに着脱可能に取り付けられる蓋体とからなるペリクル収納容器の上記トレイ内底面にペリクル枠の上端面にペリクル膜を張設したペリクルを載置すると共に、上記蓋体のリング状押圧部内周面で上記ペリクル枠の上端面を押圧することにより、上記ペリクルを上記ペリクル収納容器に固定するペリクルのペリクル収納容器への固定構造において、上記ペリクル枠の上端面外周縁部をテーパ面になすと共に、このテーパ面に上記蓋体のリング状押圧部内周面を当接して押圧するよう構成したことを特徴とするペリクルのペリクル収納容器への固定構造を提供する。

【００１６】この場合、この好適態様として、上記蓋体のリング状押圧部が上記上蓋部の外周部下縁部に一体に連設された傾斜壁部とその外周縁部に一体に連設された水平壁部とからなり、上記傾斜壁部内周面（当接部）を上記テーパ面と当接してテーパ面を押圧するようにした上記固定構造、及び、上記蓋体のリング状押圧部が上記上蓋部の外周部下縁部に一体に連設された傾斜壁部とその外周縁部に一体に連設された水平壁部とからなり、これら両壁部の連設部内周面に存する凸状交差部（当接部）を上記テーパ面と当接してテーパ面を押圧するようにした固定構造を提供する。

【００１７】即ち、本考案者らは、ペリクル容器収納中のペリクルの保持性が高く、ペリクル収納容器内でのペリクル膜への異物付着率が極めて低いリソグラフィー用ペリクル収納容器を開発すべく検討した結果、トレイにペリクル膜を上向きにしてペリクルを置き、蓋体でペリクルを固定するペリクル収納容器において、この蓋体内面の当接部を、閉蓋時に内底部上に載置されたペリクル枠のテーパ面（糸面）に当接させてペリクルを固定させたところ、当接部、即ち糸面がペリクルに対して水平でなく、蓋体重力及び蓋体による押圧力からなる当接部の下方向への力からペリクル枠側への水平方向の保持力を発生させる角度を有していることによって、ペリクル収納容器内でのペリクルの保持性が確保されること、従ってペリクル収納容器内でのペリクルの横ずれによる発塵の問題が解消されることを見い出した。

【００１８】また、蓋体内面の当接部をペリクル枠の糸面に当接させてペリクルを固定しているので、ペリクル膜と当接部とは同一平面内に位置せず、しかも当接部はペリクル膜よりも低い位置にあることから、万が一蓋体開閉時の接触により当接部で塵埃が発生しても、その塵埃が当接部より上方に位置するペリクル膜へ付着する可能性は低い。よって、当接部で発生した塵埃の水平移動によるペリクルの品質劣化の問題が解消されることを見い出した。

【００１９】従って、本考案の固定構造によれば、従来の固定構造に比べてペリクルの横ずれによる発塵が極めて少ないと共に、ペリクル収納容器内でのペリクル膜への異物付着率が極めて低いため、ペリクルを汚染することなく、収納、運搬、保管することができる。

【００２０】本発明のトレイ及び蓋体の材料には特に制限はないが、製造の生産性及び強度の点で硬質性樹脂とすることが好ましい。また、静電気による異物付着を防止する意味で、これらの材料は帯電防止材料であることが好ましい。次に、トレイに密着載置されたペリクル枠の位置決めのためにトレイの内底部にペリクル枠を周囲から囲むための複数の支持体を点在して立設してもよい。また、ペリクルが載置されるトレイ内底部をその周囲より上方に突出させて、ペリクルの周囲からの塵の付着を防止することも好適である。

【００２１】

【実施例】

以下、本考案の実施例につき図１〜４を参照して説明する。なお、図５，６と同一構成部品については同一の参照符号を付し、その説明を省略する。

【００２２】図１，２は本考案の一実施例を示し、この実施例は、ペリクル枠１の上端面外周縁部に形成されたテーパ面（糸面）１ａに蓋体１２の押圧部１７の傾斜壁部１７ａ内周面を面当接してペリクル枠１を斜め方向に押圧したものである。

【００２３】また、図３は本考案の他の実施例を示し、この実施例は上記テーパ面（糸面）１ａに蓋体１２の押圧部１７の傾斜壁部１７ａと水平壁部１７ｂとの連設部内周面に存する凸状交差部１７ｃを線状に当接してペリクル枠１を斜め方向に押圧したものである。

【００２４】このように、本考案は、ペリクル枠１の上端面に形成したテーパ面（糸面）を蓋体１２の当接部（図１，２における傾斜壁部１７ａ内周面、図３における凸状交差部１７ｃ）で押圧するもので、斜め内下方向にペリクル枠１を押圧するものである。

【００２５】ここで、図４に上記当接部のベクトル図を示す。図４の（１）において、Ｆは蓋体１２の自重と蓋体１２による押圧力との和であり、Ｆを糸面（テーパ面）に対して水平方向、垂直方向に分解した各々の分力をＦ₁，Ｆ₂（Ｆ₁＝Ｆｓｉｎλ ，Ｆ₂＝ｃｏｓλ、λは糸面の角度）で表す。また、当接部の接触面ではＦ₂に比例した、摩擦力Ｆ₃（Ｆ₃＝μＦ₂＝μＦｃｏｓλ、μは摩擦係数）がＦ₁と反対方向に存在する。従って、糸面水平方向にはＦ₁とＦ₃の差、即ち図４（２）に示したＦ₄（＝Ｆ₁−Ｆ₃、蓋体が糸面に沿って移動しようとする力）が生ずる。

【００２６】Ｆ₄の水平方向分力、垂直方向分力Ｆ_4x，Ｆ_4yで表すと、Ｆ_4yは蓋体１２がペリクル枠１を上から押さえようとする力であり、一方、Ｆ_4xは、蓋体１２が外側に移動しようとする力であり、逆にペリクル枠１側には−Ｆ_4xの相対的な力が働き、ペリクル枠１を内側に保持する力となる。従って、ペリクル収納容器１０内でのペリクル３の保持性が確保され、ペリクル収納容器１０内でのペリクル３の横ずれがなくなるという有位性が与えられる。

【００２７】ここで、当接部と糸面が図２のように面接触の場合は、当接部（傾斜壁部１７内周面）及び糸面の各々の角度は同じであれば、１５〜７５°の任意の角度でよい。但し、Ｆ_4xをより多く要求する場合には各々の角度λを鋭角にすればよく、逆にＦ_4yをより多く要求する場合は各々の角度λを鈍角にすればよい。

【００２８】本考案においては、図２，３に示したように蓋体１２内面の当接部をペリクル枠１の糸面に当接させてペリクルを固定しているので、ペリクル枠１がしっかりと固定保持され、横ずれ、がたつきが確実に防止される。また、ペリクル膜２と当接部とは同一平面内に位置せず、しかも当接部はペリクル膜２よりも低い位置にあることから、万が一蓋体開閉時の接触により当接部で塵埃が発生しても、その塵埃が当接部より上部に位置するペリクル膜２へ付着する可能性は低い。よって、当接部で発生した塵埃の水平移動によるペリクルの品質劣化の問題が解消されるという有位性が与えられる。

【００２９】なお、上記ペリクル用容器１０のトレイ１１及び蓋体１２の材質は一般に用いられている樹脂材料、金属等でよい。この例としてはポリプロピレン、ポリエチレン、ＡＢＳ樹脂、ＰＦＡ、ＰＴＦＥ、ＰＭＭＡ等の樹脂材料、アルミ、アルミ合金、ステンレススチール等の金属が挙げられる。また、内部の発塵を防ぐために、容器本体及び蓋体は硬質樹脂製であることが好ましく、特に帯電防止性を付与した樹脂を好適に使用することができる。更に、トレイ１１はペリクル膜２上の異物検査を行うために黒色にしておくことが好ましい。

【００３０】次に実験例により本考案の効果を具体的に示す。

【００３１】〔実験例１〕トレイ１１、蓋体１２及びクリップ２０をポリプロピレンで製作した図１に示したペリクル収納容器の蓋体１２内面の当接部（傾斜壁部１７ａ内周面）に４５ °の角度を持たせた。

【００３２】そのペリクル収納容器に、ペリクル膜２を張設したペリクル枠１の上端外周線に上記傾斜壁部１７ａ内周面と同様に４５°の角度、Ｃ０．２０の糸面加工を施した信越化学工業（株）製ペリクルを図２に示すように収納し、次にそれらを１往復２０ｍｍ、１００往復／分で振動する振とう機に設置し、３０分間振動を与えた。

【００３３】次いで、クラス１００のクリーンルーム内でケースからペリクルを取り出し、暗室内で４０万ルクスの光を照射してペリクル表面の異物の増加数を調べた。この結果、ペリクル膜上には異物は増加していなかった。また、ペリクル枠の撓み、ペリクル膜のしわ、伸びなどの品質劣化も全く見られなかった。

【００３４】比較のために、図５，６に示した従来公知のペリクル収納容器において同じ試験を行ったところ、このペリクル膜上には新たに１３個の異物が付着していた。

【００３５】〔実験例２〕実験例１と同様にしてペリクルを収納し、東京−福岡間をトラックで往復させた。

【００３６】次いで、クラス１００のクリーンルーム内でケースからペリクルを取り出し、暗室内で４０万ルクスの光を照射してペリクル表面の異物の増加数を調べた。この結果、ペリクル膜上には異物は増加していなかった。また、ペリクル枠の撓み、ペリクル膜のしわ、伸びなどの品質劣化も全く見られなかった。

【００３７】比較のために、図５，６に示した従来公知のペリクル収納容器において同様の輸送試験を行ったところ、このペリクル膜上には新たに４個の異物が付着していた。

【００３８】

【考案の効果】

本考案によれば、ペリクルをペリクル収納容器内に横ずれを確実に防止して固定することができ、ペリクル収納容器中のペリクルの保持性が高く、ペリクル収納容器内でのペリクル膜への異物付着率が極めて低いものである。

【図面の簡単な説明】

【図１】本考案の一実施例を示す断面図である。

【図２】同実施例の部分拡大図である。

【図３】本考案の他の実施例にかかる部分断面拡大図で
ある。

【図４】（１）及び（２）は本考案の押圧状態を示すベ
クトル図である。

【図５】従来のペリクル用容器を示す断面図である。

【図６】同従来例の部分拡大図である。

【符号の説明】

１ペリクル枠２ペリクル膜３ペリクル

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.⁶ 識別記号庁内整理番号ＦＩ技術表示箇所Ｈ０１Ｌ 21/027

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

【請求項１】トレイと、上蓋部の外周部下縁部に一体
に連設されたリング状押圧部を具備し、上記トレイに着
脱可能に取り付けられる蓋体とからなるペリクル収納容
器の上記トレイ内底面にペリクル枠の上端面にペリクル
膜を張設したペリクルを載置すると共に、上記蓋体のリ
ング状押圧部内周面で上記ペリクル枠の上端面を押圧す
ることにより、上記ペリクルを上記ペリクル収納容器に
固定するペリクルのペリクル収納容器への固定構造にお
いて、上記ペリクル枠の上端面外周縁部をテーパ面にな
すと共に、このテーパ面に上記蓋体のリング状押圧部内
周面を当接して押圧するよう構成したことを特徴とする
ペリクルのペリクル収納容器への固定構造。
【請求項２】上記蓋体のリング状押圧部が上記上蓋部
の外周部下縁部に一体に連設された傾斜壁部とその外周
縁部に一体に連設された水平壁部とからなり、上記傾斜
壁部内周面を上記テーパ面と当接してテーパ面を押圧す
るようにした請求項１記載の固定構造。
【請求項３】上記蓋体のリング状押圧部が上記上蓋部
の外周部下縁部に一体に連設された傾斜壁部とその外周
縁部に一体に連設された水平壁部とからなり、これら両
壁部の連設部内周面に存する凸状交差部を上記テーパ面
と当接してテーパ面を押圧するようにした請求項１記載
の固定構造。
【請求項４】上記トレイ及び蓋体がそれぞれ硬質樹脂
にて形成された請求項１，２又は３記載の固定構造。
【請求項５】上記トレイ及び蓋体がそれぞれ帯電防止
性硬質樹脂にて形成された請求項４記載の固定構造。
【請求項６】上記トレイの内底面にペリクル枠の外周
部に沿ってペリクル枠の位置決めのための支持体を複数
個点在して立設した請求項１乃至５のいずれか１項記載
の固定構造。
【請求項７】上記ペリクルが載置されるトレイ内底部
をその周囲より上方に突出させた請求項１乃至６のいず
れか１項記載の固定構造。