JPS6322379A - 光学薄膜組立体の梱包方法と容器 - Google Patents

光学薄膜組立体の梱包方法と容器

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JPS6322379A
JPS6322379A JP62125635A JP12563587A JPS6322379A JP S6322379 A JPS6322379 A JP S6322379A JP 62125635 A JP62125635 A JP 62125635A JP 12563587 A JP12563587 A JP 12563587A JP S6322379 A JPS6322379 A JP S6322379A
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本発明は例えばペリクル（ｐｅｌｌｉｃｌｅ）ずなわち
薄皮のような光学薄膜組立体、特にこのような組立体を
製造時から使用時に至るまで無塵状態に貯蔵する技術に
関する。
（従来技術とその問題点） 光学薄膜特に薄皮は当業界に広く知られている。
このような光学薄膜はその製造方法と共に米国特許第４
，３７８，９５３号に記載されている。その他の薄皮が
米国特許第４，４６５，７５９号、第４．１３１，３６
３月、第４，４８２，５９１号に記載されている。薄皮
をその製造時から使用時まで無塵状態に保持する必要性
も当業界において公知である。薄皮（ペリクル）のよう
な光学薄膜に使用する特別の梱包容器が１９８４年９月
１１日Ｍｉｃｒｏ　Ｌｉｔｈｏｇｒａｐｈｙ会社（ＭＬ
Ｉ）に与えられた米国特許第４，４７０，５０８号に記
載されている。従来技術であるＭＬＩの薄皮を入れる容
器の実施例も“最もきれいな容器の中の最もきれいな薄
皮”との題目でＭＬＩのカタログに記載されている。あ
とでもっと詳細に説明するように本発明は従来の梱包技
術特にＭＬＩ特許とそのカタログに記載のものにくらべ
て顕著な改善であると確信するものを提供する。
本発明の目的のために、ペリクル（薄皮）とその使用法
の詳細は両方とも上述のように公知であるからそれらを
説明することは重要でない。薄皮そのものは前側面と後
側面を有し例えば環状又は矩形の比較的剛性のある周囲
フレームすなわち周囲リムと、前記フレームに取付りら
れその全体を横切って延在し前面と後面を備えた光学Ｔ
４膜と、からなると述べるだけで充分である。前記薄皮
すなわちペリクルは例えばフォトマスク（感光性マスク
）のダストカバーとして半導体工業に使用されている。
前記フレームの前側面はフォトマスクの面に対しその重
要な地域すなわち露出されるべき地域の周囲に取付しノ
られ又はその他の方法で保持され、且つ光学薄膜は前記
重要地域の上に拡がってこれを覆い、かくして周囲の塵
芥が入らないように防護カバーとなる。
ここに述べる周囲の塵芥とはあらゆる種類の粒子、特に
１ミクロンのように小さい粒子を含めたフォトマスクの
薄皮面上に存在する空気に伴われた粒子を言う。ペリク
ルの光学薄膜の後面を無塵状態に保つことが望ましいが
、その前面をそうすることが大切である。これは前面の
塵芥が全露出工程の像面上にあるフォトマスク上に落下
してそれに悪えいきようするためである。ペリクルの光
学薄膜の後面に塵芥が存在することは望ましくないが、
そこに塵芥が存在してもフォトマスクしたかって全露出
工程の像面から比較的遠く離れていでえいきようしない
のでそれほど厳密でない。上述のＭＬＩ特許とカタログ
に記載されている型式の梱包容器を使用する上の特別の
欠点は、この容器がこの重要な相違を考慮していないこ
とである。
Ｍｌ、■特許とカタログに記載の梱包容器は薄膜部材の
上下において該容器の内面に接着剤の層を設けて空気に
伴われた塵芥を補足するが前記薄膜の前面をその後面よ
りも強く防護していない。
（問題点を解決するための手段） 以上の見地から、本発明の目的はペリクル並びに光学薄
膜組立体のための進歩した無塵梱包技術を提供すること
である。
本発明の別の目的は簡単で廉価で信頼性のある前記技術
を提供することである。
本発明の特別の目的はべりタルやその他のこのような組
立体の片側面をその反対側面より以上に塵芥を防くよう
に貯蔵する技術を提供することである。
本発明のなお特別の目的は容器の内面の塵埃を比較的容
易に検査できる梱包技術を提供することである。
本発明のなお別の特定の目的は周囲の塵が少なく、なる
べくは全く存在しないで展示できるよう特に設計されて
いる梱包容器と光学薄膜組立体を提供することである。
これから明らかとなるように、ここに記載の梱包容器は
前側面と後側面を有する周囲フレームと、該フレームに
取付けられその全体を越えて延在しＯ 前面と後面を有する光学薄膜と、を有するペリクルやそ
の他の光学薄膜に使用するのに特に適するものである。
ペリクルの場合にその光学薄膜の前面は前述のように重
要な面であり、すなわちこの面はフォトマスクや類似の
作動面に対面状態である。ここに記載の容器は光学薄膜
の前面すなわち重要面がベース部材の残部に対し間隙を
設けて保たれるようにペリクルの周囲フレームの前側面
をその全体に沿って支持する上向き周囲肩部を形成した
ベース部材を包含している。また前記容器はベース部材
とペリクル全体を覆うカバーを設けている。本発明によ
りペリクルの周囲フレームの前側面の全体とベース部材
の上向き肩部との間に沿ってシールを設け、ペリクルの
前面すなわち重要面をベース部材の中に密閉している。
本発明の実際の実施例においてペリクルのフレームと容
器の上向き肩部との間のシールは連続状の接着剤片の形
状をなし且つ殆んどすべての好適な実施例において、こ
の連続状の接着剤片は永久的にペリクルのフレームに固
定され且つペリクルの使用時にこのペリクルを別の作動
面例えばフォトマスクに接着するのに役立つ。この同じ
好適な実施例においてここに説明する容器のカバー形成
部分はべりタルのフレームの後側面に力を作用させペリ
クルをベース部材の周囲局部の方向に押圧して密封装置
の密閉性能を強化するための周囲リブ装置を包含してい
る。
なおここに記載の梱包容器の好適な実施例を参照すれば
、その殆んどずべての内面すなわちそのベース部材とそ
のカバーを形作る表面は好適な実施例において黒色にし
ているが、その他の暗い色にしても良い。この特定の色
は前記表面にたまるかも知れない周囲の塵芥を表示する
のに最良であり、その故にたまった塵芥がたとえ１０ミ
クロンのように微細な粒子であっても容易に見付けるこ
とができる。同時にこれらの表面は前記表面間及び周囲
の塵芥との間が全くくっつかないようにするか、くっつ
くのを減少するようにするため帯電防止材料を含んでい
る。更にペリクル全体の１部分を構成する光学薄膜その
ものはなるべく、該薄膜の本体すべてに一体的に設けら
れ、かくして薄膜そのものと周囲の塵芥との間の吸引力
を減少させるか又は全く無くしてしまうような帯電防止
物質を含んだ組成物で作る。
（実施例） 本発明を図面に関連して詳細に説明する。
類似の部品を類似の参照番号で示している３枚の図面の
中の特に第１図を参照する。この図は本発明に基づいて
設計され且つ全般的に参照番号１０で示されているペリ
クルすなわち薄皮を図示している。前記薄皮１０は比較
的剛性のある任意の適当な材料例えばプラスチックで設
計した環状のフレームすなわちリム１２を包含し、該リ
ムは扁平な前側面１４と反対側の扁平な後側面１６を備
えている。光学薄膜１８がフレーム１２の後側面１６の
全面に取付けられその全面を越えて延び且つそれ自身の
前面と後面２２を備えている。フレーム１２と薄膜１８
は図面では環状に示されているが、矩形や正方形やその
他の形状であっても良い。
前記光学薄膜１８は例えば前述の米国特許に示すように
任意の適当な材料で任意の適当な方法で作る。しかしな
がら、本発明の一つの見地によれば前記薄膜を作る組成
物はなるべく成形作業の初めに帯電防止物質を含み、そ
の成形時に薄膜本体全般に該帯電防止物質を一体的に分
布するようにする。例えば米国特許第４，３７８，９５
３号に示す方法に記載の光学薄膜は、最後の薄膜となる
回転中の支持面に施される流動性組成物から作られる。
この方法において帯電防止物質は回転中の基質に施され
る前に流動性組成物の中に包含される。実際に使用する
帯電防止物質の例はステアリン酸、ポリアクリリック酸
、スタチックレスキュー（Ｓｔａｔｉｃ　ｒｅｓｃｕｅ
）　、ステチサイド（５ｔａｔｉｃｉｄｅ）である。
なお第１図を参照すれば、薄皮１０はフレーム１２の前
面の全体に固定されて拡がった接着剤層を含んでいる。
この接着剤層は例えば普通の二重側面テープ例えば３Ｍ
（スリーエム）会社の製品番号４４７であり、薄皮をそ
の加工面例えば第１図に点線２６で示しているフォトマ
スクの面、に付着するのを助けるために薄皮のフレーム
の前面に沿って設けられている。光学薄膜１８の前面２
０はフォトマスク２６に直接対面の状態である。
したがって前面２０は前述のように薄皮の重要面である
と考えられる。あとで述べるように本発明の別の特徴に
よれば接着剤２４が薄皮１０をその加工面例えばフォト
マスク２６に取付ける働きをするばかりでなく、薄皮を
製造する時と実際に使用する時との間の期間中における
該薄皮の全体的梱包の重要なシールすなわち密閉装置と
して役立つ。
さて、第２図と第３図を参照すれば、薄皮１０を実際に
使用する前に貯蔵するため本発明に基づいて設計されて
いる梱包容器に注目する。この容器は第２図及び第３図
において、割合剛性のある任意の適当な材料例えばＰＶ
Ｃプラスチックで作ったベース部材３０とカバー３２を
備えている。
あとで分るように、ベース部材３０とカバー３２は互に
協働して、薄皮１０を無塵状態で入れるための貯蔵区画
３４を提供する。この目的のため及び本発明のなお別の
特徴に基づいて、特に区画３４を形作る表面を含むベー
ス部材とカバーの内側面は黒色（又はその他の暗い色例
えばダークブルー、褐色、赤色）に色どられ、且つなる
べく容器の全表面はあとで述べる目的のため黒色（又は
その他の暗い色）に色どられている。更に、前記ベース
部材の内面特に区画３４を形作る内面３４は帯電防止物
質例えば前述の物質を前に述べた理由によって塗装して
いる。
特に第２図を参照すれば、ベース部材３０が最低内面又
は底部内面３６を備え、この内面３６は第３図に最良に
示すように薄皮１０の１部分となる支持フレーム１２の
接着剤含有前面１４を支持するように形成されている垂
直な上向きの環状肩部３８によって囲まれている。その
結果接着剤層２４がフレーム１２の前側面１４の全体と
肩部３８と間に沿って延在し且つ本発明に基づいてその
間の塵芥のシールとして役立つ。その結果、薄皮１０の
前面２０はベース部材３０の塵芥防止図画３４′の中に
気密状に密封される。
第２図及び第３図に示すように、カバー３２がベース部
材３０の上に嵌まるように設計されている。この目的の
ため前記カバー３２は上端４０と外周リム４２を備え、
該外周リム４２は特に第３図に示すようにベース部材３
０の外周に嵌まるよう設計しである。この嵌合が割合か
たくなるようにベース部材とカバーを設計しである。同
時に、容易に除去できるテープ４４を第３図に示すよう
に部材３０とカバー３２の間の外側の接手を施すことが
できる。更に、カバー４０がフレームＩ２の後側面１６
を対面するように下方向に突出する内側環状リブ４６を
備えている。特に第３図に示すようにリブ４６は前記フ
レームの後側面１６全体に接触し且つ該フレームを下向
きに肩部３８に押しつけている。このことは肩部３８と
フレームの前側面１４の間の密封性を改善する。
梱包容器２８に関する以上の説明から、このカバーとベ
ースが薄皮１０を割合塵芥のない状態に保持する装置と
して役立つことは明らかとなる。
しかしながら、前記梱包容器は光学薄膜の後面２２より
も前面２０に対し大きな防護を与え、それは前記容器内
における薄皮の位置関係とシール２４の使用に基因する
ものであることも明白となる。実際問題として薄皮はき
れいな部屋で製造され且つ梱包され且つ容器そのものが
周囲の塵芥に対して注意深く検査され且つこの検査は容
器を黒く塗っであるので容易に行われる。
容器２８をペリクルすなわち薄皮１０に関連して説明し
たが、前記容器はその他の型式の光学薄膜、特に反対側
面よりも遥かに大きく周囲の塵芥に対し防護すべき重要
な側面を有する光学薄膜にも同じように使用することが
できる。また」−述のシールは、シールとして役立つば
かりでなく薄皮をその作動面にくっつけるだめの手段と
しても役立つ接着剤からできているが、本発明はこのよ
うなシールに限定されないものと理解すべきである。
若しも特別の光学薄膜がこのような接着剤を含まないか
、又はシールとして充分でないことがわかれば、容器２
８はそれ自体分離したシールを設けることができる。例
えばゴム座金型の０リングを肩部３８とフレーム１２の
前側面１４の間に使用し、環状リブ４６が充分な力をフ
レームの後側面に作用させ前記座金を横切って信頼性の
あるシールを作るようにすることもできる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に基づいて設計した薄皮の１部を除去し
た斜視図、第２図は第１図の薄皮と本発明に基づいて設
計した梱包容器とを分離状態で示す断面図、第３図は第
１図の薄皮を本発明に基づいて設計した梱包容器の中に
貯蔵した組立状態を示す断面図である。 １０・・・・・・薄皮、　　　　　１２・・・・・・フ
レーム、１４・・・・・・前側面、　　　　１６・・・
・・・後側面、１８・・・・・・光学薄膜、　　　２０
・・・・・・前　面、２２・・・・・・後　面、　　　
　２４・・・・・・接着剤、２６・・・・・・フォトマ
スク、　２８・・・・・・容　器、３０・・・・・・ベ
ース部材、　　　３２・・・・・・カバー、３４・・・
・・・内　面、　　　　３６・・・・・・底部内面、３
８・・・・・・肩　部、　　　　４０・・・・・・上　
端、４２・・・・・・リ　ム、　　　　　４４・・・・
・・密封テープ、４６・・・・・・リ　ブ。

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）前側面と後側面を有する周囲フレームと前記フレ
    ームに取付けられ該フレームの全体に延在する光学薄膜
    とを備えた光学薄膜組立体と、前記光学薄膜組立体を使
    用する時まで貯蔵するための容器とを包含し、前記容器
    が前記周囲フレームの前側面をその全体に沿って支持す
    る上向きの周囲肩部を形成しているベース部材を備え、
    前記光学薄膜の前側面が前記ベース部材の残部との間に
    空間を有するように構成され、前記容器がまた前記ベー
    ス部材と光学薄膜組立体全体の上に配置されるカバーを
    備え、前記光学薄膜の前面を前記ベース部材の内部に密
    閉するため前記周囲フレームの前側面の全部と前記肩部
    の間に沿ってシール装置が延在する光学部材組立体容器
    。
  2. （２）前記カバーが前記シール装置の密封性能を強める
    ため前記フレームの後側に圧着する周囲リブ装置を有す
    る特許請求の範囲第１項記載の容器。
  3. （３）前記シール装置が前記光学薄膜組立体を使用する
    ときに該光学薄膜組立体を別の表面例えばフォトマスク
    に接着させる連続状接着剤片の形状をしている特許請求
    の範囲第１項記載の容器。
  4. （４）前記光学薄膜組立体が薄皮であり且つ前記光学薄
    膜の前側面が周囲の塵芥及びその他の粒子から防護すべ
    きフォトマスクやその他の作動面と直接対面状態に置か
    れるように計画されている特許請求の範囲第１項記載の
    容器。
  5. （５）前側面と後側面とを有する周囲フレームと前記フ
    レームに取付けられその全部を横切って延在し前面と後
    面を有する光学薄膜とを有する薄皮と、前記薄皮を使用
    する時まで貯蔵する容器とを包含し、前記容器が殆んど
    すべてを黒色にした内面を有するベース部材を備え、前
    記ベース部材が前記周囲フレームの前側面をその全部に
    沿って支持する上向き周囲肩部を備え、前記光学薄膜の
    前側面が前記ベース部材の残部との間に空間を有するよ
    うに形成され、前記容器がまた前記ベース部材と前記薄
    皮の上に配置されたカバーを備え、前記カバーが殆んど
    すべてを黒色にした内面を備え、前記カバーがまた前記
    薄皮を前記周囲肩部に押圧するために前記薄皮の後側面
    上に圧着する周囲リブ装置を備え、シール装置が前記容
    器の内部に配置され且つ前記周囲フレームの前側面の全
    部と前記肩部の間に沿って配置されて前記光学薄膜の前
    側面を密閉し、前記密閉装置が容器組立体の使用時にフ
    ォトマスクやその他の作動面に対し薄皮を接着する作用
    も行う連続状接着剤片の形状をしている薄皮容器組立体
    。
  6. （６）薄皮のような光学薄膜組立体を製造した後で実際
    に使用する前まで貯蔵するための容器であって、前記光
    学薄膜組立体が前側面と後側面を有する周囲フレームと
    、前面と後面を有し且つ前記フレームに取付けられその
    全部を横切って延在する光学薄膜とを備えた前記容器に
    おいて；前記周囲フレームの前側面をその全体にわたっ
    て支持する形状をした上向き肩部を形成したベース部材
    を包含し、かくして前記光学薄膜の前側面が前記ベース
    部材の残部に対し間に空間を介在するよう構成され、前
    記ベース部材とその肩部との上にカバーを配置し、前記
    カバーが前記ベース部材と協働して前記光学薄膜組立体
    を受入れるだけ充分広い内部区画を形成し、前記光学薄
    膜の前面を前記ベース部材内で密閉するため前記光学薄
    膜組立体を前記容器の中に入れたとき前記肩部と前記光
    学薄膜の周囲フレーム形成部分の前側面との間に沿って
    密閉作用を行うシール装置を包含することを特徴とする
    容器。
  7. （７）前記シール装置が連続状の接着剤片の形状をして
    いる特許請求の範囲第６項記載の容器。
  8. （８）前記連続状接着剤片が永久的に前記周囲フレーム
    の前側面に固定され、かくして前記光学薄膜組立体を使
    用するときに該光学薄膜組立体をフォトマスクのような
    別の表面に接着する装置としても役立つ特許請求の範囲
    第７項記載の容器。
  9. （９）前側面と後側面を有する周囲フレームと前記フレ
    ームに取付けられその全体を越えて延在し前面と後面を
    有する光学薄膜を有する薄皮のような光学薄膜組立体を
    梱包する方法において；上向きの周囲肩部を形成するベ
    ース部材を有する容器を設ける工程と、前記周囲フレー
    ムの前側面が前記周囲肩部の全体に沿って支持され且つ
    前記光学薄膜の前面が前記ベース部材の残部に対し空間
    をへだてて保持されるように前記光学薄膜組立体を前記
    ベース部材内に支持する工程と、前記光学薄膜の前面を
    前記ベース部材内に密閉するように前記周囲フレームの
    前側面全体と前記肩部との間に沿ってシールを設ける工
    程と、前記容器の１部分となるカバーによって前記ベー
    ス部材の上部を覆う工程と、を包含する光学薄膜組立体
    を梱包する方法。
  10. （１０）前記光学薄膜組立体が薄皮であり１つ前記光学
    薄膜の前面が周囲の塵芥及びその他の粒子から防護しよ
    うとするフォトマスクやその他の作動面に対し対向状態
    に置かれるように計画されている特許請求の範囲第９項
    記載の方法。
JP62125635A 1986-05-30 1987-05-22 光学薄膜組立体の梱包方法と容器 Expired - Lifetime JP2541554B2 (ja)

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