JPS62143948U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS62143948U JPS62143948U JP1986032761U JP3276186U JPS62143948U JP S62143948 U JPS62143948 U JP S62143948U JP 1986032761 U JP1986032761 U JP 1986032761U JP 3276186 U JP3276186 U JP 3276186U JP S62143948 U JPS62143948 U JP S62143948U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- support frame
- cover body
- flexible sheet
- protrusion
- pellicle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 claims description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 claims description 2
- 239000002390 adhesive tape Substances 0.000 claims description 2
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims 1
Description
第1図は本考案の一実施例の断面図、第2図は
カバー体の斜視図、第3図は別の実施例の断面図
、第4図および第5図は従来例の各例の断面図、
第6図は改良された従来例の断面図である。 1……ペリクル、2……支持枠、3……粘着剤
、4……可撓性シート、5……カバー体、5a…
…フランジ部、5b……突出部、7……粘着テー
プ。
カバー体の斜視図、第3図は別の実施例の断面図
、第4図および第5図は従来例の各例の断面図、
第6図は改良された従来例の断面図である。 1……ペリクル、2……支持枠、3……粘着剤
、4……可撓性シート、5……カバー体、5a…
…フランジ部、5b……突出部、7……粘着テー
プ。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 上面にペリクルが張着された支持枠の下面に粘
着剤を介して貼着された可撓性シートと、 内部に前記支持枠を収納するトレー形状をなし
、外周にフランジ部が形成されると共に、前記支
持枠の上面が当接する突出部と支持枠の取出し用
の凹部とが形成されたカバー体と、 前記可撓性シートとカバー体との間の隙間をシ
ールする粘着テープとを備えてなり、 前記カバー体内に収納された支持枠を前記突出
部と前記可撓性シートとの間で挾持することを特
徴とするペリクル用収納容器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986032761U JPS62143948U (ja) | 1986-03-07 | 1986-03-07 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1986032761U JPS62143948U (ja) | 1986-03-07 | 1986-03-07 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS62143948U true JPS62143948U (ja) | 1987-09-10 |
Family
ID=30839748
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1986032761U Pending JPS62143948U (ja) | 1986-03-07 | 1986-03-07 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS62143948U (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6322379A (ja) * | 1986-05-30 | 1988-01-29 | インコ インダストリアル コ−ポレ−シヨン | 光学薄膜組立体の梱包方法と容器 |
JPH01120148U (ja) * | 1988-02-09 | 1989-08-15 | ||
JP2004361647A (ja) * | 2003-06-04 | 2004-12-24 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 大型ペリクルの収納方法 |
JP2007041458A (ja) * | 2005-08-05 | 2007-02-15 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ペリクル用収納容器 |
JPWO2006059388A1 (ja) * | 2004-12-02 | 2008-08-07 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 大型ペリクルの収納方法 |
-
1986
- 1986-03-07 JP JP1986032761U patent/JPS62143948U/ja active Pending
Cited By (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS6322379A (ja) * | 1986-05-30 | 1988-01-29 | インコ インダストリアル コ−ポレ−シヨン | 光学薄膜組立体の梱包方法と容器 |
JPH01120148U (ja) * | 1988-02-09 | 1989-08-15 | ||
JP2004361647A (ja) * | 2003-06-04 | 2004-12-24 | Asahi Kasei Electronics Co Ltd | 大型ペリクルの収納方法 |
JP4497845B2 (ja) * | 2003-06-04 | 2010-07-07 | 旭化成イーマテリアルズ株式会社 | 大型ペリクルの収納方法 |
JPWO2006059388A1 (ja) * | 2004-12-02 | 2008-08-07 | 旭化成エレクトロニクス株式会社 | 大型ペリクルの収納方法 |
JP2007041458A (ja) * | 2005-08-05 | 2007-02-15 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | ペリクル用収納容器 |
WO2007017963A1 (ja) * | 2005-08-05 | 2007-02-15 | Shin-Etsu Polymer Co., Ltd. | ペリクル用収納容器 |
JP4694299B2 (ja) * | 2005-08-05 | 2011-06-08 | 信越ポリマー株式会社 | ペリクル用収納容器 |