JPH0272528U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0272528U JPH0272528U JP15274988U JP15274988U JPH0272528U JP H0272528 U JPH0272528 U JP H0272528U JP 15274988 U JP15274988 U JP 15274988U JP 15274988 U JP15274988 U JP 15274988U JP H0272528 U JPH0272528 U JP H0272528U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- reticle
- case body
- case
- lid
- adhesive film
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002313 adhesive film Substances 0.000 claims description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 claims 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 claims 1
Description
第1図は本考案の一実施例の断面図、第2図は
従来のレチクル用ケースの分解斜視図である。 1…ふた、2…レチクル支持部、3…ケース本
体、4…底面、5…粘着膜。
従来のレチクル用ケースの分解斜視図である。 1…ふた、2…レチクル支持部、3…ケース本
体、4…底面、5…粘着膜。
Claims (1)
- 内壁にレチクルの周縁部を載置する突起状のレ
チクル支持部を有するケース本体と該ケース本体
を覆うふたとからなるレチクル用ケースにおいて
、前記ふたの裏面と前記ケース本体の底面部内に
塵埃を吸着させるための粘着膜を設けたことを特
徴とするレチクル用ケース。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15274988U JPH0272528U (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP15274988U JPH0272528U (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0272528U true JPH0272528U (ja) | 1990-06-01 |
Family
ID=31427955
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP15274988U Pending JPH0272528U (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0272528U (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018120221A (ja) * | 2017-01-25 | 2018-08-02 | 家登精密工業股▲ふん▼有限公司 | 極紫外線フォトマスクポッド |
-
1988
- 1988-11-22 JP JP15274988U patent/JPH0272528U/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2018120221A (ja) * | 2017-01-25 | 2018-08-02 | 家登精密工業股▲ふん▼有限公司 | 極紫外線フォトマスクポッド |