JP2003307831A

JP2003307831A - 合成石英ガラス板用容器

Info

Publication number: JP2003307831A
Application number: JP2002113299A
Authority: JP
Inventors: Hitoshi Mishiro; 均三代
Original assignee: Asahi Glass Co Ltd
Current assignee: AGC Inc
Priority date: 2002-04-16
Filing date: 2002-04-16
Publication date: 2003-10-31

Abstract

(57)【要約】【課題】合成石英ガラス板を、破損等を起こすことな
く搬送・輸送できる合成石英ガラス板用容器を提供す
る。【解決手段】合成石英ガラス製のペリクル板Ａを収容
する収容空間１１を有する容器本体１０と蓋体２０とを
備え、容器本体１０の周壁１０ｂの内面に、ペリクル板
Ａを載置する載置面１３と、ペリクル板Ａの水平方向の
移動を規制する位置決め面１４とを有する保持部１５を
形成するとともに、蓋体２０の天板下面に、容器本体１
０の保持部１５の載置面１３とともにペリクル板Ａの周
縁を挟持する押付部２１を形成したペリクル板用容器。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、特にはＦ₂レーザ
ー（波長１５７．６ｎｍ）を利用した光リソグラフィ用
ペリクルに使用される合成石英ガラス製のペリクル板、
もしくは、ペリクルフレームに貼付ける前の、即ち合成
石英ガラスインゴットのスライス加工以降、フレーム貼
付けまでのペリクル用素板等の合成石英ガラス薄板を搬
送、輸送するのに適した合成石英ガラス板用容器に関す
るものである。尚、本発明においては、このペリクル素
板を含めて「ベルクル板」といい、以下、合成石英ガラ
ス薄板の代表としてペリクル板を例として説明する。

【０００２】

【従来の技術】集積回路の製造工程で使用される光リソ
グラフィ工程においては、レジスト材を塗布した半導体
ウェハを露光することによりパターン形成が行われる。
この際に用いるマスクに傷・異物が存在していると、パ
ターンとともに傷・異物がウェハ上に転写され、回路の
短絡・断線等の原因となる。このため、マスクの表面の
異物よけとして、マスクの片面または両面にペリクルを
装着する方法がとられている。

【０００３】従来、ペリクルは、アルミニウムなどから
なるフレームにニトロセルロースまたはフッ素樹脂から
なる数ｎｍ〜数μｍの厚みのペリクル膜を接着剤で貼り
付けたものが用いられており、これをマスク上のパター
ンを覆うように固定して用いられていた。

【０００４】しかし、このような有機膜等を使用したペ
リクルは、パターン密度や露光精度を上げるために露光
波長を短くすると、例えばＦ₂レーザー（波長１５７．
６ｎｍ）を用いた露光では光学的エネルギーが強大にな
り、有機分の分解等を促すため、実際の露光で使用する
エネルギーでのショット数、いいかえれば使用時間に対
して十分な耐久性を持っていないため、現時点では実用
に適していない。

【０００５】一方、Ｆ₂レーザーを効率的に透過する材
料として合成石英ガラスが良く知られており、前述の有
機膜に替わってペリクルとして使用することが提案され
ている。同時に上記の短波長光線の透過率を向上させる
ために合成石英製のペリクル板に反射防止膜を成膜する
ことも提案されている。このペリクル板の厚みは、実用
上、０．０１〜２．０ｍｍであることが望ましいとされ
ているが、実際の露光を鑑みた場合、ペリクル板の板内
に厚みのばらつきがあると、屈折光の光路が変化して転
写パターンの位置がずれ、良好なリソグラフが行えない
ことが知られている。ペリクル板自体の厚みを薄くすれ
ばするほど屈折光の到達点での変位量は小さくなるた
め、ペリクル板の厚みを極力薄くする試みがなされてお
り、現在では８００μｍ以下のベリクル板が主流となっ
ている。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】この合成石英ガラスを
用いたペリクル板は、傷をきらい、搬送・輸送や保管中
のパーティクルの付着を嫌うなどの理由から、収納容器
が必要となる。しかし、ペリクル板の厚みが薄くなれば
なるほど、特に８００μｍ以下になると搬送や輸送中の
振動や衝撃により非常に破損、破壊しやすくなるといっ
た不具合がある。

【０００７】そこで、本発明は合成石英ガラス製のペリ
クル板を、破損等を起こすことなく搬送・輸送できる合
成石英ガラス板用容器を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明は、合成石英ガラス板を収容する収容空間を有
する容器本体と前記容器本体の収容空間の開口を開閉自
在に覆う蓋体とを備え、前記容器本体の収容空間を画成
する周壁の内面に、合成石英ガラス板の周縁を載置する
載置面と、合成石英ガラス板の水平方向の移動を規制す
る位置決め面とを有する段状の保持部を形成するととも
に、前記蓋体の天板下面から前記容器本体側に突出し、
前記容器本体の保持部の載置面とで合成石英ガラス板の
周縁を挟持する押付部を形成したことを特徴とする合成
石英ガラス板用容器を提供する。

【０００９】本発明の合成石英ガラス板用容器では、容
器本体に設けた保持部の載置面と位置決め面とにより合
成石英ガラス板を容器本体の所定位置に位置決めして保
持するとともに、蓋体に突設した押付部と容器本体の載
置面とにより合成石英ガラス板を確実に挟み込んで合成
石英ガラス板の垂直方向の動きを抑制する。

【００１０】

【発明の実施の形態】以下に本発明を図面に示した実施
の形態に基づいて詳細に説明する。尚、本明細書では、
本発明の合成石英ガラス板用容器をペリクル板用に用い
たときにはぺリクル板用容器とも称する。

【００１１】図１乃至図３は本発明に係るペリクル板用
容器の一実施の形態を示したものであり、図１は矩形の
ペリクル板Ａを収容するペリクル板用容器を示した斜視
図、図２は該容器にペリクル板を収容した状態を示した
断面図、図３はブロック状の保持部および押付部のみを
示す斜視図である。

【００１２】このペリクル板用容器は、ペリクル板Ａを
収容する容器本体１０と、蓋体２０とから構成されてい
る。容器本体１０は、矩形の平板からなる底壁１０ａ
と、この底壁１０ａの周縁に沿って立設された側壁１０
ｂとによって上方に開口する収容空間１１を有してい
る。また、容器本体１０には、側壁１０ｂおよび底壁１
０ａから収容空間１１へ突出するブロック状の保持部１
２が付設されている。なお、この保持部１２は、底壁１
０ａおよび側壁１０ｂと一体に成形してもよいし、別体
に形成してそれを底壁１０ａおよび側壁１０ｂに接着、
溶着、ネジとめ等によって固定してもよい。また、保持
部１２には、図３に示したように、ペリクル板Ａの周縁
を載置する載置面１３と、載置面１３から垂直方向に形
成され、載置面１３に載置されたペリクル板Ａの水平方
向の移動を規制する位置決め面１４とが形成されてお
り、断面略Ｌ字状を呈している。

【００１３】蓋体２０は、矩形の平板からなる天板２０
ａと、この天板２０ａの周縁に沿って立設された側壁２
０ｂとで形成されている。尚、この蓋体２０は、図２に
示すように、容器本体１０と一体化したときに、その側
壁２０ｂが容器本体１０の側壁１０ｂの外側に被さるよ
うに天板２０ａの大きさおよび側壁２０ｂの厚みが設定
されている。また、天板２０ａの下面には、容器本体１
０に設けられた保持部１２に対応する位置に、押付部２
１が立設されている。この押付部２１も、天板２０ａお
よび側壁２０ｂと一体に成形してもよいし、別体に形成
してそれを天板２０ａおよび側壁２０ｂに接着、溶着、
ネジ止め等によって固定してもよい。また、押付部２１
は、図３に示したように、容器本体１０と一体化したと
きに、容器本体１０に設けられた保持部１２の載置面１
３と対向する下面２２と、保持部１２の位置決め面１４
と対向する垂直面２３とが形成されており、断面略逆Ｌ
字状を呈している。

【００１４】そして、このペリクル板用容器では、図２
に示したように、先ず、容器本体１０の載置面１３にペ
リクル板Ａを載置する。この場合、ペリクル板Ａは、位
置決め面１４によって水平方向の移動が拘束される。そ
して、蓋体２０を容器本体１０に被せることにより、蓋
体２０の押付部２１の下面２２がペリクル板Ａの上面に
当接し、下面２２と保持部１２の載置面１３とでペリク
ル板Ａを挟持し、ペリクル板Ａの垂直方向への動きが抑
制される。

【００１５】このとき、蓋体２０の押付部２１の垂直部
２４と、容器本体１０の保持部１２の位置決め面１４と
が、ペリクル板Ａの上面にて垂直方向で重なり合う部分
を持つようにすることにより、ペリクル板Ａが容器本体
の保持部１２に乗り上げて破損するといった不具合を防
止することができる。このような重なり部分は、ペリク
ル板Ａの板厚に合わせて、保持部１２の載置面１３まで
の高さと、押付部２１の垂直面１３の垂下長とを適宜調
整することにより実現できる。

【００１６】上記実施の形態では、保持部１２の載置面
１３と押付部２１の下面２２を水平面によって形成して
いるが、保持部１２および押付部２１の形状は、その他
にも、例えば図４に示すように、保持部１５の載置面１
３を位置決め面１４側から漸次下降するテーパ面とし、
これと対応して、押付部２１の下面２２を垂直面２３側
から漸次下降するテーパ面とすることもできる。保持部
１２および押付部２１をこのような形状とすることによ
り、図５に示したように、ペリクル板Ａの下面周縁のエ
ッジａが保持部１２のテーパ面（載置面）１３に当接
し、またペリクル板Ａの上面には押付部２１のテーパ面
（下面）２２の稜２２ａが当接する。即ち、この場合、
保持部１２および押付部２１は共にペリクル板Ａと線接
触する。図３に示した形状の保持部１２および押付部２
１では、ペリクル板Ａと保持部１２の載置面１３及び押
付部２１の下面２２とは面接触であったのに対し、図４
に示す保持部１２および押付部２１では接触面積が大幅
に減り、保持部１２および押付部２１からペリクル板Ａ
への異物の付着を大幅に減らすことができる。

【００１７】また、ペリクル板Ａと、保持部１２の載置
面１３および押付部２１の下面２２との接触面積を減ら
すために、図６に示すように、保持部１２の載置面１３
に半球形の突起部１３ａを形成し、押付部２１の下面２
２に半球形の突起物２２ｂを形成してもよい。これによ
り、図７に示すように、ペリクル板Ａを保持部１２の突
起部１３ａと押付部２１の突起部２２ｂとにより点接触
にて挟持できる。

【００１８】図８乃至図１０は本発明に係るペリクル板
用容器の他の実施の形態を示したものであり、図８は円
形のペリクル板Ａを収容するペリクル板用容器を示した
斜視図、図９はペリクル板を収容した状態を示した断面
図である。

【００１９】このペリクル板用容器は、ペリクル板Ａを
収容する円筒状の容器本体３０と、円筒状の蓋体４０と
から構成されている。容器本体３０は、円形の底壁３０
ａと、この底壁３０ａの周縁に沿って立設された側壁３
０ｂとによって上方に開口する収容空間３１を有してい
る。また、容器本体３０の側壁３０ｂおよび底壁３０ａ
には、収容空間３１に突出する環状の保持部３２が付設
されている。この保持部３２には、図９に示したよう
に、ペリクル板Ａの周縁を載置する載置面３３と、載置
面３３から垂直方向に形成され、載置面３３に載置され
たペリクル板Ａの水平方向の移動を規制する位置決め面
３４を備えている。なお、この保持部３２は、底壁３０
ａおよび側壁３０ｂと一体に成形してもよいし、別体に
形成してそれを底壁３０ａおよび側壁３０ｂに接着、溶
着、ネジとめ等によって固定してもよい。

【００２０】蓋体４０は、円形の天板４０ａと、天板４
０ａの周縁に沿って立設された側壁４０ｂとから形成さ
れている。尚、この蓋体４０は、図９に示すように、容
器本体３０と一体化したときに、その側壁４０ｂが容器
本体３０の側壁３０ｂの外側に被さるように天板４０ａ
の直径および側壁４０ｂの厚みが設定されている。ま
た、蓋体４０の天板４０ａの下面には、複数個（ここで
は４個）の押付部４１が略等間隔で立設されている。こ
の押付部４１は、図９に示したように、容器本体３０に
蓋体４０を嵌め合わせたとき、容器本体３０の保持部３
２の載置面３３と対向する下面４２と、保持部３２の位
置決め面３４と対向する垂直面４３とを有する。なお、
この押付部４１は、天板４０ａおよび側壁４０ｂと一体
に成形してもよいし、別体に形成してそれを天板４０ａ
および側壁４０ｂに接着、溶着、ネジ止め等によって固
定してもよい。

【００２１】そして、このペリクル板用容器では、図９
に示したように、先ず、容器本体３０の載置面３３にペ
リクル板Ａを載置する。この場合、ペリクル板Ａは、位
置決め面３４によって水平方向の移動が拘束される。そ
して、蓋体４０を容器本体３０に被せることにより、蓋
体４０の押付部４１の下面４２がペリクル板Ａの上面に
当接し、下面４２と保持部３２の載置面３３とでペリク
ル板Ａを挟持し、ペリクル板Ａの垂直方向への動きが抑
制される。

【００２２】上記実施の形態では、ペリクル板Ａの下面
の周縁全体が容器本体３０の保持部３２の載置面３３と
面接触するため、図１０（但し、説明のために蓋体４０
の半分を示してあるに）示すように、容器本体３０の保
持部３２を、断面形状はそのままで、蓋体４０の押付部
４１に対応させて複数箇所（ここでは４箇所）に形成
し、接触面積を減らずことが好ましい。さらには、容器
本体３０の保持部３２の載置面３３および押付部４１の
下面４２を、図４に示したようにテーパ面としたり、図
６に示したように半球形状の突起物を付設してペリクル
板Ａとの接触面積をより小さくすることも好ましい。

【００２３】ところで、上記円筒状で、容器本体３０に
保持部３２が分割されて形成された構成のペリクル板用
容器では、容器本体３０の保持部３２と蓋体４０の押付
部４１との位置がズレると、ペリクル板Ａの周縁には、
容器本体３０の保持部３２の載置面３３による押し上げ
力と蓋体４０の押付部４１の下面４２による押し付け力
とが異なる位置で加わるため、ペリクル板Ａが割れ易く
なる。そこで、容器本体３０と蓋体４０とに、両者が相
対的に周方向へ回動しないように、位置決め手段を設け
ることが好ましい。

【００２４】このような位置決め手段５０としては、同
じく図１０に示したように、容器本体３０の側壁３０ｂ
の上面に突起５１を立設するとともに、蓋体４０の天板
から側壁にかけてその一部を切欠して規制孔５２を形成
し、突起５１と規制孔５２とを嵌め合わせる構成とする
ことができる。これにより、容器本体３０と蓋体４０と
が相互に周方向に回動するのを防止することができる。

【００２５】また、位置決め手段５０として、図１１に
示すように、容器本体３０の保持部３２に蓋体４０の押
付部４１の幅よりも広い間隔で一対の立片５３，５３を
設け、容器本体３０と蓋体４０とを一体化したときに、
容器本体３０の保持部３２の立片５３，５３の間に押付
部４１が収容される構成としてもよい。

【００２６】あるいは、位置決め手段５０として、図１
２に示すように、蓋体４０の押付部４１に容器本体３０
の保持部３２の幅よりも広い間隔で一対の立片５４，５
４を設け、容器本体３０と蓋体４０とを一体化したとき
に、蓋体４０の押付部４１の立片５４，５４の間に容器
本体３０の保持部３２が収容される構成としてもよい。

【００２７】なお、図１１および図１２に示した容器本
体３０の保持部３２と蓋体４０の押付部４１とは、それ
ぞれ逆の形状とすることができる。

【００２８】さらに、位置決め手段５０として、図１３
に示すように、容器本体３０の底壁の適所に円柱状の凸
部５５を形成し、蓋体４０の天板の対応個所に凹部５５
を形成して、それらを嵌合させる構成とすることもでき
る。

【００２９】また、位置決め手段５０として、図１４に
示すように、容器本体３０の底壁の適所に、一対の板状
の立片５７，５７を所定間隙で立設するとともに、蓋体
４０の天板の対応個所に１枚の板状の立片５８を立設
し、容器本体３０の２枚の立片５７，５７で蓋体４０の
立片５８を挟み込むようにする構成とすることもでき
る。

【００３０】なお、図１３および図１４に示した凸部５
５と凹部５６、一対の立片５７，５７と立片５８とは、
容器本体３０および蓋体４０にそれぞれ逆の組み合わせ
てで設けてもよい。

【００３１】また、本発明のペリクル板用容器は、複数
枚のベリクル板Ａを収容することもできる。すなわち、
図１５は複数枚のペリクル板Ａを単一の容器に収納する
場合の実施形態を示す断面図であるが、容器本体１０の
保持部の載置面上に複数枚のペリクル板Ａをスペーサ８
０を介在させて積層して収容する。ここで、容器本体６
０の保持部６１の位置決め面６２の高さは、ペリクル板
Ａの収容枚数とスペーサ８０の厚みに合わせて設定する
とともに、図示は省略するが、容器本体６０および蓋体
７０の周壁の高さをそれに見合ったものにする。また、
本体容器６０の保持部６１および蓋体７０の押付部７１
の構造は、上記したような単一のペリクル板Ａを収容す
る容器と同様にすることができる。

【００３２】なお、スペーサ８０の形状は、ペリクル板
Ａの平面形状に合わせることができ、ペリクル板Ａが円
形である場合は、ペリクル板Ａの有効領域を外した任意
の内径寸法を持つリング状とし、ペリクル板Ａが矩形で
ある場合は、ペリクル板Ａの有効領域を外した任意の大
きさの額縁状の形態とすれば良い。但し、スペーサ８０
の強度を保つためには、外形寸法と内径寸法との差が１
ｍｍ以上あることが望ましく、特に外形寸法はペリクル
板Ａの外形寸法以下であることが望ましい。このスペー
サ８０の厚み並びに材質は、充分に弾性をもつ樹脂の中
から任意の厚みを選べば良い。

【００３３】上記に挙げた各ペリクル板用容器は、保持
部や押付部を含めてポリプロピレン、ポリスチレン、ポ
リエチレン、ポリカーボネート、アクリル、ＡＢＳ、フ
ッ素樹脂等の樹脂材料、あるいは金属やセラミックのよ
うな無機材料等から形成されるのが一般的である。しか
し、これらの材料は、基本的には弾性が低いため、搬送
・輸送時の振動や衝撃に対する吸収力が弱い。また、交
差以上の大きな寸法誤差がある場合も、ペリクル板Ａは
大きな振動や衝撃を受ける。そこで、図１６あるいは図
１７にそれぞれ半断面図にて示すように、適当な弾性材
料からなる衝撃吸収部材を介在させることも好ましい。

【００３４】すなわち、図１６に示すペリクル板用容器
は、ペリクル板Ａを載置する保持部９１を備える容器本
体９０と、蓋体１００と、これらの間に介在される中蓋
１１０と、衝撃吸収部材１２０とから構成されている。
ここで、中蓋１１０に押付部１１１が設けられており、
ペリクル板Ａは容器本体９０の保持部９１と中蓋１１０
の押付部１１１とで挟持される。また、中蓋１１０の上
には衝撃吸収部材１２０が載置され、その上に蓋体１０
０が被せられる。なお、衝撃吸収部材１２０は、蓋体１
２０の天板下面の全面を隙間無く覆う一枚のシート物で
あってもよいし、樹脂製チューブを格子状やネット状、
リング状等に編組したものであってもよい。

【００３５】また、図１７に示すように、容器本体１３
０と蓋体１４０とが重なり合う部分に、何れか一方、な
いしは両方に衝撃吸収部材１５０を介在させても同様の
効果が得られる。

【００３６】本発明のペリクル板用容器は、上記に限ら
ず種々の変更がさらに可能である。例えば、図１８に半
断面にて示すように、楕円状の容器本体１６０と、楕円
状の蓋体１７０とで構成し、容器本体１６０に、矩形の
ペリクル板Ａ（図示せず）を載置できるように、ペリク
ル板Ａの４辺に対応する個所に４つの保持部１６１を設
けるとともに、蓋体１７０にも対応個所に押付部（図示
せず）を設けてもよい。このような構成により、外観が
楕円状もしくは円形の筒体でありながら、矩形のペリク
ル板Ａを収容することが可能になる。

【００３７】

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係る合成
石英ガラス板用容器によれば、合成石英ガラス板を良好
に収容でき、輸送中の振動や衝撃で破損させることを防
止することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明のペリクル板用容器の一実施形態（矩形
ペリクル板用）を示す斜視図である。

【図２】図２に示したペリクル板用容器にリクル板を収
容した状態を示す断面図である。

【図３】容器本体の保持部および蓋体の押付部の一例を
示す斜視図である。

【図４】容器本体の保持部および蓋体の押付部の他の例
を示す斜視図である。

【図５】図４の保持部および押付部によってペリクル板
を挟持した状態を示す断面図である。

【図６】容器本体の保持部および蓋体の押付部のさらに
他の例を示す斜視図である。

【図７】図６の保持部および押付部によってペリクル板
を挟持した状態を示す断面図である。

【図８】本発明のペリクル板用容器の他の実施形態（円
形ペリクル板用）を示す斜視図である。

【図９】図８に示したペリクル板用容器にペリクル板を
収容した状態を示す断面図である。

【図１０】図８に示した円形ペリクル板用容器の他の実
施形態（保持部複数個配置）を示す平面図であり、かつ
容器本体と蓋体とのズレを防止する位置決め手段を示す
平面図である。

【図１１】位置決め手段の他の例を示す斜視図である。

【図１２】位置決め手段のさらに他の例を示す斜視図で
ある。

【図１３】位置決め手段のさらに他の例を示す斜視図で
ある。

【図１４】位置決め手段のさらに他の例を示す斜視図で
ある。

【図１５】本発明のペリクル板用容器のさらに他の実施
形態（複数枚のペリクル板収容）を示す断面図である。

【図１６】本発明のペリクル板用容器のさらに他の実施
形態（緩衝部材具備）に示す半断面図である。

【図１７】緩衝部材を具備するペリクル板用容器の他の
例を示す半断面図である。

【図１８】本発明のペリクル板用容器のさらに他の実施
形態を示す半断面図である。

【符号の説明】

１０容器本体１１収容容器１２保持部１３載置面１３ａ突起１４位置決め面２０蓋体２１押付部２２下面２２ａ稜２２ｂ突起２３垂直面３０容器本体３１収容空間３２保持部３４位置決め面４０蓋体４１押付部４２下面４３垂直面５０位置決め手段５１突起５２規制孔５３側壁５４凸部５５凹部５７，５８立片６０容器本体６１保持部６２位置決め面７０蓋体８０スペーサ９０容器本体９１保持部１００蓋体１１０中蓋１１１保持部１２０衝撃吸収部材１３０容器本体１４０蓋体１５０衝撃吸収部材１６０容器本体１６１保持部１７０蓋体

フロントページの続きＦターム(参考） 2H095 BC33 BE12 3E096 AA01 AA04 AA06 BA20 BA24 BA30 BB03 BB04 CA02 CA03 DA01 DA03 DA17 DA23 DA25 DB01 DB07 DB08 DC01 DC02 EA02X EA02Y EA06X EA06Y FA09 FA10 FA23 FA26 GA03 GA07 GA11 GA13 5F031 CA01 CA04 DA12 EA02 EA10 EA12 EA14 KA02 KA11 PA20 PA23

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】合成石英ガラス板を収容する収容空間を
有する容器本体と前記容器本体の収容空間の開口を開閉
自在に覆う蓋体とを備え、前記容器本体の収容空間を画
成する周壁の内面に、合成石英ガラス板の周縁を載置す
る載置面と、合成石英ガラス板の水平方向の移動を規制
する位置決め面とを有する段状の保持部を形成するとと
もに、前記蓋体の天板下面から前記容器本体側に突出
し、前記容器本体の保持部の載置面とで合成石英ガラス
板の周縁を挟持する押付部を形成したことを特徴とする
合成石英ガラス板用容器。
【請求項２】請求項１に記載の合成石英ガラス板用容
器であって、前記容器本体の周壁の内面に収容空間の内
方へ突出するブロック状の突出片を形成し、該突出片に
前記保持部を形成するとともに、前記蓋体の押付部を前
記容器本体の突出片と対応させて形成したことを特徴と
する合成石英ガラス板用容器。
【請求項３】請求項１または２に記載の合成石英ガラ
ス板用容器であって、前記容器本体の保持部の載置面
と、前記蓋体の押付部の下面の何れか一方、もしくは両
方にテーパ面を形成し、前記テーパ面または該テーパ面
の稜を前記合成石英ガラス板に当接させるようにしたこ
とを特徴とする合成石英ガラス板用容器。
【請求項４】請求項１または２に記載の合成石英ガラ
ス板用容器であって、前記容器本体の保持部の載置面
と、前記蓋体の押付部の下面の何れか一方、もしくは両
方に、先端にＲ加工を施した突起部を設け、該突起部の
先端で合成石英ガラス板の上下面を挟持することを特徴
とする合成石英ガラス板用容器。
【請求項５】請求項１〜４の何れかに記載の合成石英
ガラス板用容器であって、容器が円形である場合に、前
記容器本体と前記蓋体とに、相対的に周方向に回動する
のを防止する位置決め手段を配設したことを特徴とする
合成石英ガラス板用容器。
【請求項６】請求項５に記載の合成石英ガラス板用容
器であって、前記位置決め手段を、前記容器本体の保持
部または前記蓋体の押付部の何れか一方に一対の突片を
設けるとともに、他方に前記一対の突片間に収容可能な
突片を設けて構成したことを特徴とする合成石英ガラス
板用容器。
【請求項７】請求項５に記載の合成石英ガラス板用容
器であって、前記位置決め手段を、前記容器本体または
前記蓋体の何れか一方に凸部を形成し、他方に該凸部に
嵌合する凹部を形成して構成したことを特徴とする合成
石英ガラス板用容器。
【請求項８】請求項１〜７の何れかに記載の合成石英
ガラス板用容器であって、複数枚の合成石英ガラス板
を、該合成石英ガラス板の周縁に沿ってスペーサを介在
させ、積層状態で収納可能としたことを特徴とする合成
石英ガラス板用容器。
【請求項９】請求項１〜８の何れかに記載の合成石英
ガラス板用容器であって、周縁下面に支持部を有する中
蓋を備えるとともに、該中蓋を覆う弾性材料からなる衝
撃吸収部材を備え、容器本体に収容した合成石英ガラス
板の上面を前記中蓋で押さえ、該中蓋と蓋体との間に前
記衝撃吸収部材を介在させるようにしたことを特徴とす
る合成石英ガラス板用容器。
【請求項１０】請求項１〜８の何れかに記載の合成石
英ガラス板用容器であって、容器本体と蓋体とが重なり
あう部分に衝撃吸収部材を介在させることを特徴とする
合成石英ガラス板用容器。