JP6993908B2

JP6993908B2 - トレイ保持治具

Info

Publication number: JP6993908B2
Application number: JP2018043371A
Authority: JP
Inventors: 信裕篠塚; 祥子大出; 正彦増村
Original assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Current assignee: Shin Etsu Polymer Co Ltd
Priority date: 2018-03-09
Filing date: 2018-03-09
Publication date: 2022-01-14
Anticipated expiration: 2038-03-09
Also published as: JP2019160934A

Description

本発明は、１ｍｍ以下の大きさの電子部品等からなる微小物品の保持、検査、搬送、輸送等に使用されるトレイ保持治具に関するものである。

近年の電子部品１０は、携帯機器等の薄型化や小型化に伴い、益々薄型化や軽量化が図られているが、反面、非常に脆く損傷しやすくなって来ているので、製造時の取り扱いに細心の注意を払う必要がある。そこで、従来においては、脆弱な電子部品１０を保持・検査・搬送する場合には、そのまま保持・検査・搬送するのではなく、強度や剛性に優れる専用のトレイ保持治具に保持させ、このトレイ保持治具に保持させた状態で安全に保持・検査・搬送するようにしている（特許文献１、２、３、４参照）。

この種のトレイ保持治具は、様々なタイプがあるが、例えば図５や図６に示すように、略有底筒形のトレイ１と、このトレイ１の内部に隙間５を介し変形可能に張架される弱粘着性の粘着フィルム２０Ａとを備え、この粘着フィルム２０Ａの露出した表面に所定の電子部品１０が着脱自在に粘着保持される。

トレイ１は、樹脂含有の成形材料により、背の低い略有底角筒形に射出成形され、底部２の平坦な内底面ＸＹ方向に複数の支持突起８が所定の間隔で一体的に配列されており、各支持突起８が断面略半楕球形等に形成されて薄膜の粘着フィルム２０Ａの裏面を水平に接触支持する。支持突起８の頂点から隣接する支持突起８の頂点までの距離は、射出成形による寸法精度の制約上、１ｍｍ以上に設定される。各支持突起８についても、射出成形による寸法精度の制約上、高さ１ｍｍ以上に設定され、湾曲した頂点の曲率半径も、０．５ｍｍ以上とされる。

トレイ１の底部２には排気孔６が穿孔され、この排気孔６が排気装置７にチューブを介し着脱自在に接続されており、この排気装置７の駆動に基づき、排気孔６からトレイ１の内底面３と粘着フィルム２０Ａとの間の隙間５の空気が外部に排気されることにより、粘着フィルム２０Ａが変形する。

このようなトレイ保持治具に電子部品１０を保持させる場合には、平坦な粘着フィルム２０Ａの弱粘着性の表面に電子部品１０を押し付ければ、トレイ保持治具に電子部品１０を粘着保持させることができる（図６参照）。これに対し、トレイ保持治具から電子部品１０を剥離して取り外す場合には、トレイ１の排気孔６に排気装置７をチューブを介し接続して排気装置７を駆動させれば、排気孔６からトレイ１の内底面３と粘着フィルム２０Ａとの間の隙間５の空気が外部に排気され、緊張した粘着フィルム２０Ａが支持突起８の形状に沿うよう凹凸に変形して電子部品１０に対する粘着面積を減少させるので、電子部品１０を簡単に剥離して取り外すことができる。

ところで、近年の電子部品１０は、携帯機器等の高機能化、薄型化、小型化に伴い、さらなる小型化が要求され、□１ｍｍ以下の大きさの微小部品１１が開発され、製造されている。例えば、近年のキャパシタ等は、０．５ｍｍ×０．５ｍｍサイズ以下の０．４ｍｍ×０．２ｍｍ程度の大きさの微小部品１１に製造されることがある。

特開２０１５‐１９１４８３号公報特開２０００‐１０９７１０号公報特開２０１０‐１０２０５号公報特開２０１０‐１５３４０９号公報

従来におけるトレイ保持治具は、以上のように構成され、トレイ１の支持突起８の頂点から隣接する支持突起８の頂点までの距離が１ｍｍ程度であり、各支持突起８の頂点の曲率半径も０．５ｍｍ程度が限界なので、電子部品１０が微小部品１１の場合、粘着フィルム２０Ａが変形時に微小部品１１に悪影響を及ぼすという問題がある。具体的には、保持した微小部品１１を検査・搬送・輸送するため、粘着フィルム２０Ａが支持突起８の形状に沿いつつ凹凸に変形すると、微小部品１１が粘着フィルム２０Ａから跳ね上がったり（図７参照）、傾斜して姿勢が悪化（図８参照）し、微小部品１１の安全な取り外しに支障を来すこととなる。

このような問題を解消する手段として、（１）トレイ１の内底面３に、高さ１０μｍ以上５０μｍ以下の微細な凹凸を形成するとともに、この微細な凹凸上に薄膜の粘着フィルム２０Ａを積層し、凹凸を利用して粘着フィルム２０Ａを変形させる方法、（２）トレイ１の内底面３にメッシュ構造体を敷設するとともに、このメッシュ構造体上に薄膜の粘着フィルム２０Ａを積層し、メッシュ構造体の網目を利用して粘着フィルム２０Ａを変形させる方法が提案されている。

しかしながら、（１）の方法の場合、トレイ１の内底面３に高さ１０μｍ以上５０μｍ以下の凹凸を微細に形成する必要があるが、射出成形等の金型による各種成形法では実現が非常に困難である。これに対し、レーザ加工の場合には、微細な凹凸の加工が可能ではあるが、コスト高となり、ランニングコストの削減を図ることができないという大きな問題が新たに生じる。また、（２）の方法の場合、メッシュ構造体を形成する線の線径を５００μｍ未満にするのが困難なので、例えば微小部品１１のサイズが０．５ｍｍ×０．５ｍｍ以下の場合、微小部品１１の跳ね上がりや傾斜に伴う姿勢の悪化を防ぐことができないおそれがある。

本発明は上記に鑑みなされたもので、トレイの底部に微細な加工を特に施すことなく、粘着シートの変形時に１ｍｍ以下の大きさの微小物品が粘着シートから跳ね上がったり、傾斜等するのを防ぐことのできるトレイ保持治具を提供することを目的としている。

本発明においては上記課題を解決するため、略有底筒形のトレイと、このトレイの内部に隙間を介し支持されて１ｍｍ以下の大きさの微小物品を着脱自在に保持する可撓性の粘着シートとを備え、トレイに排気孔が設けられ、この排気孔からトレイの底部と粘着シートとの間の隙間の気体が外部に排気されることにより、粘着シートが変形するものであって、
粘着シートに、トレイの底部に対向して粘着シートを変形させる凹凸部が形成され、この凹凸部の十点平均粗さＲｚが５μｍ以上２０μｍ以下の範囲とされており、粘着シートが３０μｍ以上５０μｍ以下の厚さに形成されることを特徴としている。

なお、トレイの底部に排気孔が設けられ、トレイの底部内底面の周縁部に、粘着シートの周縁部を支持するスペーサ部材が取り付けられるようにすることができる。
また、粘着シートのトレイの底部内底面に対向する裏面に、凹凸部がエンボス加工されると良い。
また、凹凸部は、略錐体形、略斜線形、略亀甲模様形、あるいは略錐台形であると良い。

ここで、特許請求の範囲におけるトレイは、略有底筒形であれば、略有底円筒形、略有底角筒形、略有底多角形の筒形等でも良い。また、１ｍｍ以下の大きさの微小物品には、少なくとも１ｍｍ以下の大きさの微小部品、具体的には各種の微小医療部品、微小機械部品、微小電子部品、より具体的には、極小なキャパシタ部品、抵抗素子、半導体部品、螺子等が含まれる。粘着シートには、粘着性のシートやフィルムが含まれる。この粘着シートは、単層、複層、多層を特に問うものではない。さらに、排気孔は、トレイの底部や周壁下部等に設けることができる。

本発明によれば、トレイの内部に成形精度に限界のある支持突起を成形するのではなく、粘着シートに微細な凹凸部を形成するので、粘着シートが変形時に微小物品に悪影響を及ぼすことが少ない。また、微細な凹凸部をレーザ加工ではなく、エンボス加工等することが可能なので、製造コストの低減を図ることができる。

本発明によれば、トレイの底部に微細な加工を特に施すことなく、粘着シートの変形時に１ｍｍ以下の大きさの微小物品が粘着シートから跳ね上がったり、傾斜等するのを防ぐことができるという効果がある。

請求項２記載の発明によれば、トレイの底部に排気孔が設けられるので、トレイの底部内底面方向に粘着シートを吸引し、変形させることができる。また、トレイの内底面の中央部等ではなく、周縁部にスペーサ部材を取り付けるので、トレイの底部内底面と粘着シートの周縁部を除く大部分との間に広い隙間を形成し、トレイの底部内底面方向に粘着シートの大部分を吸引し、適切に変形させることができる。
請求項３記載の発明によれば、トレイの底部と粘着シートとの摩擦抵抗が減少するので、静電気の改善が期待できる。

本発明に係るトレイ保持治具の実施形態を模式的に示す断面説明図である。本発明に係るトレイ保持治具の実施形態におけるトレイの内底面、未変形の粘着フィルム、及び微小部品の関係を模式的に示す断面説明図である。本発明に係るトレイ保持治具の実施形態におけるトレイの内底面、変形した粘着フィルム、及び微小部品の関係を模式的に示す断面説明図である。本発明に係るトレイ保持治具の実施形態における凹凸部を模式的に示す説明図で、（ａ）図はピラミット形の凹凸部を示す拡大平面図、（ｂ）図は略斜線形の凹凸部を示す拡大平面図、（ｃ）図は亀甲模様形の凹凸部を示す拡大平面図、（ｄ）図は台形の凹凸部を示す拡大平面図である。従来におけるトレイ保持治具を模式的に示す断面説明図である。図５のトレイ保持治具の未変形の粘着フィルムと電子部品との関係を示す断面説明図である。変形した粘着フィルムから微小部品が跳ね上がった状態を示す断面説明図である。変形した粘着フィルム上の微小部品が上下方向に傾斜した状態を示す断面説明図である。

以下、図面を参照して本発明の好ましい実施の形態を説明すると、本実施形態におけるトレイ保持治具は、図１ないし図４に示すように、有底筒形のトレイ１と、このトレイ１の内部に隙間５を介し張架されて□１ｍｍ以下の大きさの微小部品１１を着脱自在に保持する弱粘着性の粘着フィルム２０とを備え、粘着フィルム２０に、トレイ１の底部２に対向して粘着フィルム２０を変形させる微細な凹凸部３０が形成されるとともに、この凹凸部３０の十点平均粗さＲｚが５μｍ以上２０μｍ以下の範囲とされ、かつ粘着フィルム２０が３０μｍ以上５０μｍ以下の厚さに形成される。

トレイ１は、図１に示すように、所定の成形材料により上面が開口した背の低い（例えば、高さ１３～４０ｍｍ）有底角筒形の箱構造に射出成形される。このトレイ１は、例えば加工性、剛性、成形性、耐衝撃性等に優れるＡＢＳ樹脂含有の成形材料により、扱いやすい５１×５１ｍｍ等の大きさに射出成形される。

トレイ１の成形材料は、射出成形に好適なＡＢＳ樹脂が主ではあるが、何らこれに限定されるものではない。例えば必要に応じ、透明性や耐衝撃性等に優れるポリカーボネート、機械的特性，耐環境特性，耐熱性，耐薬品性，難燃性に優れるポリエーテルエーテルケトン、ポリアセタール、ポリフェニレンエーテル等が使用され、導電性に資するカーボン粒子等の各種フィラーが選択的に添加される。

トレイ１の底部２の平坦な内底面３の周縁部には、平面枠形に成形された樹脂製のスペーサ４が接着され、このスペーサ４の平坦な表面に、緊張した粘着フィルム２０の裏面周縁部が積層粘着されており、この粘着フィルム２０とトレイ１の内底面３との間に、粘着フィルム変形用の隙間５が区画形成される。また、トレイ１の底部２中央には、丸い排気孔６が貫通して穿孔され、この排気孔６が真空ポンプ等の排気装置７にチューブを介し着脱自在に接続されており、この排気装置７の駆動に基づき、排気孔６からトレイ１の内底面３と粘着フィルム２０との間の隙間５の空気が外部に排気されることにより、粘着フィルム２０が変形する。

微小部品１１は、□１．０ｍｍ×１．０ｍｍ以下の大きさ、具体的には０．５ｍｍ×０．５ｍｍのサイズ以下、例えば０．４ｍｍ×０．２ｍｍ程度の大きさのキャパシタ等からなる。

粘着フィルム２０は、薄膜のフィルム、例えば剥離性や耐候性等に優れるエチレン‐メチルメタクリレート共重合樹脂（ＥＭＭＡ）、耐熱性や柔軟性等に優れるオレフィン系熱可塑性エラストマー、制振性等に優れる水素添加スチレン系熱可塑性エラストマー製のフィルムからなり、平面矩形に成形・加工されるとともに、エンドレスのスペーサ４の表面に変形可能に緊張して覆着される。

粘着フィルム２０は、エチレン‐メチルメタクリレート共重合樹脂、オレフィン系熱可塑性エラストマー、水素添加スチレン系熱可塑性エラストマー製のフィルムが主ではあるが、何らこれに限定されるものではない。例えば、弱粘着性を長期に亘って維持することができ、微小部品１１に悪影響を及ぼさないのであれば、柔軟性，透明性，通気性，引張強さ，引裂強さ，衝撃強さ等の機械的性質，防水・防湿性，耐薬品性に優れる軽量で透明なウレタン系、シリコーン系、フッ素系等の薄いフィルムでも良い。

粘着フィルム２０は単層のフィルムでも良いが、表面層、中間層、及び裏面層からなる三層構造のフィルムの場合、表面層と裏面層とは、同一の樹脂組成の層でも良いし、異なる樹脂組成の層でも良い。粘着フィルム２０のトレイ１の底部２に対向する裏面層は、ホモポリプロピレンのマトリクスにゴム成分が重合したオレフィン系エラストマー樹脂を含有することが好ましい。このオレフィン系エラストマー樹脂としては、ゼラス[三菱ケミカル株式会社製：登録商標]、ハイトレル[東レ・デュポン社製：登録商標]、ジュラネックス[ポリプラスチック株式会社製：登録商標]等があげられる。

粘着フィルム２０が表面層、中間層、及び裏面層からなる三層構造の場合、粘着フィルム２０の表面層と裏面層とには、繊維、無機充填剤、難燃剤、紫外線吸収剤、帯電防止剤、無機物、高級脂肪酸塩等からなる添加剤が必要に応じて添加される。

凹凸部３０は、例えばトレイ１の底部２に対向する粘着フィルム２０の裏面２２にエンボスロール等を用いて精細に成形され、底部２の内底面３に対向して接触し、凹部と凸部の配列や起伏により、粘着フィルム２０の凸凹変形に資するよう機能する。

この凹凸部３０は、特に限定されるものではないが、例えば図４に示すように、多数の角錐体が並んだ錐体形であるピラミッド形（図４（ａ）参照）３１、多数の斜線が所定の間隔で斜めに並んだ斜線形（図４（ｂ）参照）３２、多数の亀甲が並んだ亀甲模様形（図４（ｃ）参照）３３、あるいは多数の角錐台が並んだ錐台形である台形（図４（ｄ）参照）３４等に成形される。これらの中では、実験結果から、亀甲模様形３３や台形３４の採用が好ましく、斜線形３２の採用がより好ましく、ピラミッド形３１の採用が最適である。

凹凸部３０の内底面３に対向する対向面の十点平均粗さＲｚは、５μｍ以上２０μｍ以下、好ましくは１０μｍ以上２０μｍ以下が良い。これは、十点平均粗さＲｚが５μｍ未満の場合には、粘着フィルム２が適切に変形せず、微小部品１１の剥離や取り外しに支障を来すからである。これに対し、十点平均粗さＲｚが２０μｍを越える場合には、粘着フィルム２が過剰に変形し、微小部品１１の姿勢が悪化するからである。

ここで、十点平均粗さＲｚは、基準長さＬにおいて、最も高い山頂から高さが５番目までの山頂の標高をそれぞれＹｐ１，Ｙｐ２，Ｙｐ３，Ｙｐ４，及びＹｐ５、最も深い谷底から深さが５番目までの谷底の標高をそれぞれＹｖ１，Ｙｖ２，Ｙｖ３，Ｙｖ４，及びＹｖ５とした場合、以下の式（１）により求められる値をμｍで表した粗さ値をいう。

Ｒｚ＝│Ｙｐ１＋Ｙｐ２＋Ｙｐ３＋Ｙｐ４＋Ｙｐ５│＋│Ｙｖ１＋Ｙｖ２＋Ｙｖ３＋Ｙ
ｖ４＋Ｙｖ５│／５ …（式１）

十点平均粗さＲｚは、その値が大きいほど凹凸部３０の内底面３に対向する対向面が全体として粗く、値が小さいほど対向面が全体として平滑であることを意味する。この十点平均粗さＲｚは、例えばＭｉｔｓｕｔｏｙｏ株式会社製の触針式表面粗さ測定機[製品名：サーフテストＳＪ‐３０１]、先端の半径が２μｍ，円錐のテーパ角６０°の触針をそれぞれ用い、ＪＩＳＢ０６０１２００１に準拠し、測定力０．７５ｍＮ、カットオフ値λｓ＝２．５μｍ（なお、測定しようとする対象の表面粗さがカットオフ値未満である場合には、カットオフ値を調整しても良い）、λｃ＝０．８ｍｍの条件下で測定される。

粘着フィルム２０の凹凸部３０を含む厚さ（総厚）は、３０μｍ以上５０μｍ以下、好ましくは３０μｍ以上４８μｍ以下、より好ましくは３１μｍ以上４０μｍ以下の範囲が良い。これは、粘着フィルム２０の厚さが３０μｍ未満の場合には、粘着フィルム２０をスペーサ４の表面に適切に覆着することができず、しかも、粘着フィルム表面２１の鏡面性が悪化し、微小部品１１の粘着保持に支障を来すからである。これに対し、粘着フィルム２０の厚さが５０μｍを越える場合には、微小部品１１の剥離・取り外し時に粘着フィルム２０が十分に凹凸に変形せず、微小部品１１を簡単に取り外すことができないからである。

係る粘着フィルム２０の製造方法には、溶融押出成形法、溶液流延法、カレンダー法、延伸法、多層加工法等があるが、特に限定されるものではない。この粘着フィルム２０が多層構造の場合、この多層構造の粘着フィルム２０は、水冷式共押出インフレーション法、空冷式共押出インフレーション法、共押出Ｔダイにより製造する方法、表面層となる樹脂フィルムを製造し，この樹脂フィルムに中間層を押出ラミネート法で積層した後，裏面層となる樹脂フィルムをドライラミネーションする方法、裏面層，中間層，及び表面層をドライラミネーションする方法、溶剤キャスティング法、熱プレス成形方法等により製造される。これらの製造方法の中では、表面層，中間層，及び裏面層の厚みの制御が容易な共押出Ｔダイにより製造する方法が最適である。

凹凸部３０対向面の十点平均粗さＲｚと、粘着フィルム２０の厚さとを調整する方法としては、特に限定されるものではないが、例えば、粘着フィルム２０を成形した後、成形した粘着フィルム２０に、凹凸部３０形成用の模様溝を有するエンボスロールを圧接することにより、凹凸部３０対向面の十点平均粗さＲｚと、粘着フィルム２０の厚さとを共に調整する方法があげられる。

上記構成において、トレイ保持治具に□１ｍｍ以下の大きさの微小部品１１を保持させる場合には、平坦な粘着フィルム２０の弱粘着性の表面２１に微小部品１１を押し付ければ、トレイ保持治具に微小部品１１を粘着保持させることができる（図２参照）。この際、粘着フィルム２０の凹凸部３０がトレイ１の内底面３に接触して状態を安定させるので、粘着フィルム２０に凸凹の変形が生じることが少なく、その結果、微小部品１１を適切な姿勢で粘着保持させることができる。

これに対し、トレイ保持治具から微小部品１１を剥離して取り外す場合には、トレイ１の排気孔６に排気装置７をチューブを介して接続して排気装置７を駆動させれば良い。すると、トレイ１の排気孔６からトレイ１の内底面３と粘着フィルム裏面２２との間の隙間５の空気が外部に排気され、緊張した粘着フィルム２０が凹凸に撓みながら変形して微小部品１１に対する粘着面積を減少させるので、微小部品１１を簡単に剥離して取り外すことができる（図３参照）。

この際、凹凸部３０が従来の支持突起８と同様の機能を発揮し、粘着フィルム２０が撓みながら厚さ方向に凹凸に変形する。また、凹凸部３０の十点平均粗さＲｚが５μｍ以上２０μｍ以下の範囲で、かつ粘着フィルム２０が３０μｍ以上５０μｍ以下の厚さなので、粘着フィルム２０が十分に凹凸変形し、微小部品１１を簡単に取り外すことができる。

上記によれば、トレイ１の内底面３に成形精度に限界のある支持突起８を配列成形するのではなく、粘着フィルム２０の裏面２２に微細な凹凸部３０をエンボス加工するので、粘着フィルム２０が変形時に微小部品１１に悪影響を及ぼすことがない。したがって、粘着フィルム２０が凹凸に変形しても、微小部品１１が粘着フィルム２０から跳ね上がったり、傾斜して姿勢が悪化し、微小部品１１の安全な取り外しに支障を来すのを有効に防止することができる。

また、精細な凹凸部３０をレーザ加工ではなく、エンボス加工するので、高価なレーザ加工装置を省略することができ、ランニングコストの削減を図ることができる。また、凹凸部３０をエンボスロールで成形するので、微細な凹凸部３０を容易に形成することができる。さらに、メッシュ構造体等を何ら採用する必要がないので、例えば微小部品１１のサイズが０．５ｍｍ×０．５ｍｍ以下の場合でも、微小部品１１の跳ね上がりや傾斜に伴う姿勢の悪化を防ぐことが可能になる。

なお、上記実施形態では平面枠形のスペーサ４を示したが、何らこれに限定されるものではなく、Ｉ字形やＬ字形等のスペーサ４を複数使用しても良い。また、上記実施形態では粘着フィルム２０の裏面２２に凹凸部３０をエンボスロールで成形したが、何らこれに限定されるものではなく、グラビア印刷やスクリーン印刷等しても良い。また、凹凸部３０は、上記模様に何ら限定されるものではなく、例えば鱗模様、籠目模様、市松模様等に形成しても良い。

以下、本発明に係るトレイ保持治具の実施例を比較例と共に説明する。
〔実施例１〕
先ず、ポリプロピレン樹脂を使用して厚さ３１μｍの粘着フィルムを成形した。ポリプロピレン樹脂としては、ゼラス[三菱ケミカル株式会社製：登録商標]を使用した。粘着フィルムを成形したら、この粘着フィルムをラミネート機にセットし、粘着フィルムの裏面にエンボス模様を成形してピラミッド形の凹凸部とした。ラミネート機には、グラビア印刷用のエンボスロールをセットした。このエンボスロールは、深さ５μｍの凹凸部形成溝が形成されたロールとした。また、エンボス模様の凹凸部を成形する際の圧力は、２０ｋｇｆ／ｍ^２に調整した。

エンボス模様の凹凸部を成形したら、この凹凸部表面の十点平均粗さＲｚを測定した。この十点平均粗さＲｚは、Ｍｉｔｓｕｔｏｙｏ株式会社製の触針式表面粗さ測定機[製品名：サーフテストＳＪ‐３０１]、先端の半径が２μｍ，円錐のテーパ角６０°の触針をそれぞれ用い、ＪＩＳＢ０６０１２００１に準拠し、測定力０．７５ｍＮ、カットオフ値λｓ＝２．５μｍ、λｃ＝０．８ｍｍの条件下で測定した。測定したところ、凹凸部表面の十点平均粗さＲｚは５μｍであった。

次いで、予め成形しておいた樹脂製のトレイの底部内底面に粘着フィルムを平面枠形のスペーサを介して積層接着し、粘着フィルムの凹凸部をトレイの底部内底面に隙間を介して対向させ、トレイ保持治具を製造した。この際、トレイに対する粘着フィルムの組み込み状態を目視により観察し、適切な場合には○、不適切な場合には×として表１に記載した。

次いで、トレイ保持治具の粘着フィルムの露出した表面に微小部品を押し付け、トレイ保持治具の粘着フィルムに微小部品を粘着保持させた。この際、微小部品は、□１．０ｍｍ×０．０３ｍｍｔのＳｉウェーハとした。また、微小部品の粘着保持状態を目視により観察し、適切な場合には○、不適切な場合には×として表１に記載した。

微小部品を粘着保持させたら、トレイ裏面の排気孔に真空ポンプをチューブを介して接続し、真空ポンプを駆動して粘着フィルムを凹凸に変形させた後、微小部品をピンセットで剥離して取り外した。この際、微小部品の剥離状態を目視により観察し、適切な場合には○、不適切な場合には×として表１に記載した。

〔実施例２〕
基本的には実施例１と同様であるが、ポリプロピレン樹脂を使用して厚さ３１μｍの粘着フィルムを成形した。また、ラミネート機にセットしたエンボスロールは、深さ１０μｍの凹凸部形成溝が形成されたロールに変更した。
粘着フィルムを成形したら、エンボス模様の凹凸部を成形し、この凹凸部表面の十点平均粗さＲｚを測定した。測定したところ、凹凸部表面の十点平均粗さＲｚは１０μｍであった。

以下、実施例１と同様にしてトレイに対する粘着フィルムの組み込み状態、微小部品の粘着保持状態、及び微小部品の剥離状態をそれぞれ目視により観察し、適切な場合には○、不適切な場合には×として表１にまとめた。

〔実施例３〕
基本的には実施例１と同様であるが、ポリプロピレン樹脂を使用して厚さ４２μｍの粘着フィルムを成形した。また、ラミネート機にセットしたエンボスロールは、深さ１５μｍの凹凸部形成溝が形成されたロールに変更した。
粘着フィルムを成形したら、エンボス模様の凹凸部を成形し、この凹凸部表面の十点平均粗さＲｚを測定した。測定したところ、凹凸部表面の十点平均粗さＲｚは１５μｍであった。

〔実施例４〕
基本的には実施例１と同様であるが、ポリプロピレン樹脂を使用して厚さ４８μｍの粘着フィルムを成形した。また、ラミネート機にセットしたエンボスロールは、深さ６μｍの凹凸部形成溝が形成されたロールに変更した。
粘着フィルムを成形したら、エンボス模様の凹凸部を成形し、この凹凸部表面の十点平均粗さＲｚを測定した。測定したところ、凹凸部表面の十点平均粗さＲｚは６μｍであった。

〔実施例５〕
基本的には実施例１と同様であるが、ポリプロピレン樹脂を使用して厚さ３１μｍの粘着フィルムを成形した。また、ラミネート機にセットしたエンボスロールは、深さ２０μｍの凹凸部形成溝が形成されたロールに変更した。
粘着フィルムを成形したら、エンボス模様の凹凸部を成形し、この凹凸部表面の十点平均粗さＲｚを測定した。測定したところ、凹凸部表面の十点平均粗さＲｚは２０μｍであった。

〔比較例１〕
基本的には実施例１と同様であるが、ポリプロピレン樹脂を使用して厚さ４３μｍの粘着フィルムを成形した。また、ラミネート機にセットしたエンボスロールは、深さ３μｍの凹凸部形成溝が形成されたロールに変更した。
粘着フィルムを成形したら、エンボス模様の凹凸部を成形し、この凹凸部表面の十点平均粗さＲｚを測定した。測定したところ、凹凸部表面の十点平均粗さＲｚは３μｍであった。

〔比較例２〕
基本的には実施例１と同様であるが、ポリプロピレン樹脂を使用して厚さ５５μｍの粘着フィルムを成形した。また、ラミネート機にセットしたエンボスロールは、深さ３３μｍの凹凸部形成溝が形成されたロールに変更した。
粘着フィルムを成形したら、エンボス模様の凹凸部を成形し、この凹凸部表面の十点平均粗さＲｚを測定した。測定したところ、凹凸部表面の十点平均粗さＲｚは３３μｍであった。

〔比較例３〕
基本的には実施例１と同様であるが、ポリプロピレン樹脂を使用して厚さ３０μｍの粘着フィルムを成形した。また、ラミネート機にセットしたエンボスロールは、深さ３５μｍの凹凸部形成溝が形成されたロールに変更した。
粘着フィルムを成形したら、エンボス模様の凹凸部を成形し、この凹凸部表面の十点平均粗さＲｚを測定した。測定したところ、凹凸部表面の十点平均粗さＲｚは３５μｍであった。

各実施例の場合、トレイに対する粘着フィルムの組み込み状態、微小部品の粘着保持状態、及び微小部品の剥離状態に関し、全て良好で適切な結果を得た。
各比較例の場合、トレイに対する粘着フィルムの組み込み状態と、微小部品の粘着保持状態とは良好で適切な結果を得た。しかしながら、微小部品を剥離して取り外すとき、微小部品の姿勢が悪化し、不良で不適切な結果を招いた。

本発明に係るトレイ保持治具は、医療機器、家電機器、携帯機器、情報機器、自動車機器、電気電子部品、半導体等の製造分野で使用される。

１トレイ
２底部
３内底面
４スペーサ（スペーサ部材）
５隙間
６排気孔
１０電子部品
１１微小部品（微小物品）
２０粘着フィルム（粘着シート）
２１表面
２２裏面
３０凹凸部
３１ピラミッド形
３２斜線形
３３亀甲模様形
３４台形

Claims

略有底筒形のトレイと、このトレイの内部に隙間を介し支持されて１ｍｍ以下の大きさの微小物品を着脱自在に保持する可撓性の粘着シートとを備え、トレイに排気孔が設けられ、この排気孔からトレイの底部と粘着シートとの間の隙間の気体が外部に排気されることにより、粘着シートが変形するトレイ保持治具であって、
粘着シートに、トレイの底部に対向して粘着シートを変形させる凹凸部が形成され、この凹凸部の十点平均粗さＲｚが５μｍ以上２０μｍ以下の範囲とされており、粘着シートが３０μｍ以上５０μｍ以下の厚さに形成されることを特徴とするトレイ保持治具。
トレイの底部に排気孔が設けられ、トレイの底部内底面の周縁部に、粘着シートの周縁部を支持するスペーサ部材が取り付けられる請求項１記載のトレイ保持治具
粘着シートのトレイの底部内底面に対向する裏面に、凹凸部がエンボス加工される請求項１又は２記載のトレイ保持治具。
凹凸部は、略錐体形、略斜線形、略亀甲模様形、あるいは略錐台形である請求項１、２、又は３記載のトレイ保持治具。