TWM582489U - 光罩盒及其固持件 - Google Patents

Abstract

本創作提供了一種光罩盒及其固持件。其中，該固持件主要包含一支持本體、至少一條狀支持件、一彈性本體以及至少一固定孔。其中該至少一條狀支持件設於該支持本體上，該彈性本體具有至少一開口，且該彈性本體包覆該支持本體並使每個該條狀支持件超出每個該開口向上延伸一距離。該至少一固定孔則設於該支持本體及該彈性本體上。而該固持件透過該至少一固定孔設於一光罩盒內。

Description

光罩盒及其固持件

本創作提供了一種光罩盒及其固持件，尤指一種由彈性本體包覆支持本體的固持件及使用其的光罩盒。

在半導體製程的產業中，涉及黃光微影等蝕刻技術所使用的光罩，會依照製程使用的基板尺寸而有不同，而採用不同尺寸的光罩。

在眾多種類的半導體製程中，用於製造薄膜電晶體液晶顯示器（Thin film transistor liquid crystal display, TFT-LCD）製程上所選用的基板和光罩通常具有較大的尺寸，才能夠用來製成較大的半導體元件，並應用在大尺寸的面板中。

針對如此大尺寸的光罩，往往會需要特別的載具來協助提供其儲存與傳輸。有鑑於大尺寸光罩實質上屬於易碎的板狀薄片，因此傳統的大尺寸光罩儲存盒內部四角周緣多會設有橡膠或矽膠製的固持件。透過大尺寸光罩盒上蓋及下蓋蓋合時，以四個角上下共八個點抵持大尺寸光罩。提供一定的穩定和阻尼能力，減少大尺寸光罩因碰撞或晃動導致受損的問題。

同樣的技術手段後來也被廣泛的應用在各種尺寸的光罩儲存或傳送盒中。透過類似的技術手段保定光罩，減少其因物理碰撞而受損的機會。然而，類似的固持件仍具有一定的缺點。如矽膠或橡膠在使用久了之後，和光罩直接接觸一段時間，容易造成黏滯於光罩上剝落，甚至是印痕於光罩的問題。然而，改用其他阻尼材料的效果，應用在光罩的固持作用時，其功效亦不佳。

為解決先前技術所提到的問題，本創作提供了一種光罩盒及其固持件。首先，所述固持件主要包含一支持本體、至少一條狀支持件、一彈性本體以及至少一固定孔。其中，該至少一條狀支持件設於該支持本體上，該彈性本體具有至少一開口，該彈性本體包覆該支持本體並使每個該條狀支持件超出每個該開口向上延伸一距離。而該至少一固定孔設於該支持本體及該彈性本體上。最後該固持件透過該至少一固定孔設於一光罩盒內。

基於本創作固持件的選用，本創作應用之光罩盒主要包含一上蓋、一下蓋以及至少一固持件。其中該下蓋與該上蓋配對密合形成一內表面，而該至少一固持件設於該內表面。

在所述光罩盒中，每個該固持件包含一支持本體、至少一條狀支持件、一彈性本體以及至少一固定孔。該至少一條狀支持件設於該支持本體上，該彈性本體具有至少一開口，該彈性本體包覆該支持本體並使每個該條狀支持件超出每個該開口向上延伸一距離。而該至少一固定孔設於該支持本體及該彈性本體上。

以上對本創作的簡述，目的在於對本創作之數種面向和技術特徵作一基本說明。新型簡述並非對本創作的詳細表述，因此其目的不在特別列舉本創作的關鍵性或重要元件，也不是用來界定本創作的範圍，僅為以簡明的方式呈現本創作的數種概念而已。

為能瞭解本創作的技術特徵及實用功效，並可依照說明書的內容來實施，茲進一步以如圖式所示的較佳實施例，詳細說明如後：

請同時參照圖1與圖2，圖1係本創作實施例固持件的結構示意圖；圖2係本創作實施例支持本體和條狀支持件的結構示意圖。

如圖1所示，圖1中本實施例之固持件10主要包含支持本體100、至少一條狀支持件101、彈性本體102以及至少一固定孔104a。其中，至少一條狀支持件101設於支持本體100上，而彈性本體102具有至少一開口103，該彈性本體102包覆支持本體100並使每個條狀支持件101超出每個開口103向上延伸一距離。如此一來，當條狀支持件101抵住光罩R（可先參照圖5）時，便不會與彈性本體102產生物理接觸。

而至少一固定孔104b及至少一固定孔104a依序設於支持本體100（圖2）及彈性本體102（圖1）上。而固持件10透過前述的至少一固定孔（104a及104b）設於光罩盒200內（可先參照圖4及圖5）。

在本實施例中，彈性本體102的材質可以是矽膠或橡膠，至於支持本體100的材質可以是塑膠。更進一步來說，本實施例中支持本體100所選用的塑膠材質為聚醚醚酮（Polyaryletherketone, PEEK）；而彈性本體102之橡膠為熱塑性橡膠（Thermo-Plastic-Rubber, TPR）。如圖1所示，本實施例中的彈性本體102周緣上更設有至少一穩定肋105的至少一穩定翼106的其組合。

在圖1的實施例中，由於支持本體100及其上條狀支持件101所選用的塑膠材質為聚醚醚酮（Polyaryletherketone, PEEK）之故，因此可以發揮既能抵持光罩R（參照圖5）且又耐磨，避免產生微小粒子的功效。此外，由於支持本體100被彈性本體102所包覆，透過彈性本體102本身材質的阻尼特性，可以有效的減緩支持本體100之至少一條狀支持件101抵持的光罩R因晃動、碰撞，進而產生的損害。

請同時參照圖3與圖4，圖3係本創作實施例光罩盒的外觀結構示意圖；圖4係本創作實施例固持件的設置位置示意圖。

如圖3所示，圖3的實施例中展示了應用圖1實施例固持件10的光罩盒200。該光罩盒200主要包含上蓋201、下蓋202以及圖1中的至少一固持件10。接著如圖3及4所示，下蓋202與該上蓋201配對密合形成內表面203（圖4僅舉上蓋201的內表面203為例），而至少一固持件10設於內表面203。

在本實施例中，光罩盒200為光罩儲存盒，更進一步來說為大尺寸光罩盒，且該大尺寸光罩盒更可以用於承載光罩R（如圖5中所示的板狀薄片）。所述光罩R尺寸規格係長幅800毫米（mm）且寬幅介於920-960毫米（mm）之間。當然，在其他有可能的實施樣態中，該光罩盒還可以是光罩傳送盒或極紫外光光罩盒（EUV Pod）。

以圖4的實施例來說，作為光罩盒200的大尺寸光罩盒，其內表面203四周緣各設有至少一卡榫槽204，且每個固持件10透過至少一固定孔（104a或104b）固定於每個卡榫槽204中。

請參照圖5，圖5係本創作實施例抵持光罩之剖面結構圖。如圖5所示，在本實施例中，當光罩盒200的上蓋201及下蓋202蓋合，並使設於其內表面203四周緣的固持件10上下夾持光罩R的時候，會由上蓋201的條狀支持件101a及下蓋202的條狀支持件101b來夾持光罩R。由於本實施例之條狀支持件101a及條狀支持件101b的材質採用聚醚醚酮（Polyaryletherketone, PEEK）之故，可以避免因與光罩R接觸而容易產生微小粒子的問題。

此外，由於聚醚醚酮（Polyaryletherketone, PEEK）的材料特性，更可直接避免如傳統技術裡面產生黏滯於光罩R上，甚至是剝落等問題。而由圖5的剖面更可看到，當固持件10被固定於卡榫槽204中時，彈性本體102可以對支持本體100和條狀支持件101b提供有效的阻尼手段，大幅減少因為搬運時晃動或碰撞進而損傷光罩R的問題。

此外，本實施例為了進一步防止固持件10自卡榫槽204掉落或剝落，除了透過彈性本體102及支持本體100（如圖2）上的孔洞104加以固定之外，更在彈性本體102上設有穩定肋105。如圖5所示，在本實施例中，穩定肋105會鑲嵌在卡榫槽204的側壁中，大幅增加彈性本體102和卡榫槽204的摩擦力，讓固持件10更不容易因為外力而自卡榫槽204中脫落或剝落。

此外，穩定肋105的設計更有助於工業製造上的脫模作業，無論是使用或製造都能帶來相當程度進步性的技術特徵。同樣的，如圖1所示的穩定翼106亦具有同樣的功能。

惟以上所述者，僅為本創作之較佳實施例而已，當不能以此限定本創作實施之範圍，即依本創作申請專利範圍及說明內容所作之簡單變化與修飾，皆仍屬本創作涵蓋之範圍內。

10‧‧‧固持件

100‧‧‧支持本體

101‧‧‧條狀支持件

101a‧‧‧條狀支持件

101b‧‧‧條狀支持件

102‧‧‧彈性本體

103‧‧‧開口

104a‧‧‧固定孔

104b‧‧‧固定孔

105‧‧‧穩定肋

106‧‧‧穩定翼

200‧‧‧光罩盒

201‧‧‧上蓋

202‧‧‧下蓋

203‧‧‧內表面

204‧‧‧卡榫槽

R‧‧‧光罩

圖1係本創作實施例固持件的結構示意圖。 圖2係本創作實施例支持本體和條狀支持件的結構示意圖。 圖3係本創作實施例光罩盒的外觀結構示意圖。 圖4係本創作實施例固持件的設置位置示意圖。 圖5係本創作實施例抵持光罩之剖面結構圖。

Claims (8)

1. 一種固持件，包含：一支持本體；至少一條狀支持件，設於該支持本體上；一彈性本體，具有至少一開口，該彈性本體包覆該支持本體並使每個該條狀支持件超出每個該開口向上延伸一距離；以及至少一固定孔，設於該支持本體及該彈性本體上；其中，該固持件透過該至少一固定孔設於一光罩盒內。
2. 如請求項1所述的固持件，其中該彈性本體周緣上更設有至少一穩定肋、至少一穩定翼或其組合。
3. 一種光罩盒，包含：一上蓋；一下蓋，與該上蓋配對密合形成一內表面；以及至少一固持件，設於該內表面，每個該固持件包含：一支持本體；至少一條狀支持件，設於該支持本體上；一彈性本體，具有至少一開口，該彈性本體包覆該支持本體並使每個該條狀支持件超出每個該開口向上延伸一距離；以及至少一固定孔，設於該支持本體及該彈性本體上。
4. 如請求項3所述的光罩盒，其中該光罩盒為光罩傳送盒、光罩儲存盒或極紫外光光罩盒。
5. 如請求項3所述的光罩盒，其中該光罩儲存盒為大尺寸光罩盒。
6. 如請求項5所述的光罩盒，其中該大尺寸光罩盒之該內表面四周緣各設有至少一卡榫槽，且每個該固持件透過該至少一固定孔固定於每個該卡榫槽中。
7. 如請求項5所述的光罩盒，其中該大尺寸光罩盒更承載一光罩，該光罩尺寸規格係長幅800毫米(mm)且寬幅介於920-960毫米(mm)之間。
8. 如請求項6所述的光罩盒，其中該彈性本體周緣上更設有至少一穩定肋、至少一穩定翼或其組合。