WO2007052672A1 - 物品収納用容器の防振機構 - Google Patents

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WO2007052672A1
WO2007052672A1 PCT/JP2006/321779 JP2006321779W WO2007052672A1 WO 2007052672 A1 WO2007052672 A1 WO 2007052672A1 JP 2006321779 W JP2006321779 W JP 2006321779W WO 2007052672 A1 WO2007052672 A1 WO 2007052672A1
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WO
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shelf member
storage container
article storage
vibration
container
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PCT/JP2006/321779
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Inventor
Masanao Murata
Original Assignee
Asyst Technologies Japan, Inc.
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Publication date
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    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65D—CONTAINERS FOR STORAGE OR TRANSPORT OF ARTICLES OR MATERIALS, e.g. BAGS, BARRELS, BOTTLES, BOXES, CANS, CARTONS, CRATES, DRUMS, JARS, TANKS, HOPPERS, FORWARDING CONTAINERS; ACCESSORIES, CLOSURES, OR FITTINGS THEREFOR; PACKAGING ELEMENTS; PACKAGES
    • B65D85/00—Containers, packaging elements or packages, specially adapted for particular articles or materials

Definitions

  • the present invention relates to an anti-vibration mechanism for an article storage container (hereinafter referred to as Front-Opening Unified Pod: FOUP).
  • FOUP Front-Opening Unified Pod
  • Container force such as FOUP that is transferred along a predetermined route by a suspended lifting carriage (hereinafter referred to as Overhead Hoist Transport: OHT carriage), roller conveyors, or other similar transport means may be subjected to vibration during the transfer process.
  • OHT carriage Overhead Hoist Transport
  • the present invention relates to an anti-vibration mechanism for an article storage container for suppressing transmission of this vibration to articles such as wafers and liquid crystals that are detachably accommodated inside a FOUP.
  • the substrate processing process is managed by a tag attached to the FOUP in which the substrate is stored, and the contents of the tag are also updated sequentially as the substrate processing process progresses.
  • Substrate processing steps are specified by the tag information attached to the FOUP, and subsequent necessary processing is managed by the computer based on this tag information.
  • FIG. 6 The configuration of FOUP, which has been widely used for conventional power, is shown in Fig. 6.
  • 31 is a main body, and 31a is an open surface.
  • Side flanges 31b that can be manually transported are provided on both side surfaces that are located on both sides when viewed from the open surface 31a.
  • 31c is a flange, which is gripped by a finger portion of an OHT carriage, which will be described later.
  • the lid 32 attached to the open surface 31a is moved up and down to the body.
  • 31d is a shelf member, a robot (not shown) installed on the processing station on the open surface 31a.
  • This shelf member 31d is a force fixed integrally to the FOUP body 31, or
  • the lid 32 is held in an airtight state with respect to the open surface 31a of the FOUP main body 31 during the transportation of the FOUP main body 31, and is stored in the processing station.
  • the processing station Prior to processing the substrate, the processing station is provided with the processing station not shown!
  • the key member 32a is unlocked (as shown) by the locking or unlocking means and separated from the FOUP main body 31. .
  • the processing station the processing of all the substrates is completed, and the FOUP main body 31 containing the processed substrates covers the open surface 3 la with the lid 32 before the transfer, and the key member 32a is locked or unlocked. Locked by unlocking means.
  • Patent Document 1 a wafer carrier used for transporting between processing apparatuses and storing wafers before being sent to the next process has been developed and disclosed as Patent Document 1 below.
  • the wafer and the peripheral edge of 9 are sandwiched one by one in a series of grooves 3 formed on the inner wall of the carrier body 2.
  • the tongue piece 5 formed of a flexible material presses the wafer 9 against one side surface of the groove 3 to bring the wafer 9 and the carrier body 2 together, so that the wafer 9 is in the groove 3. Maintain a stable posture that is not displaced by.
  • Patent Document 2 for the purpose of vibration isolation of the substrate when the substrate is conveyed by the traveling carriage.
  • Patent Document 2 The technique disclosed in Patent Document 2 is based on the traveling cart unit 7 that supports the suspension unit 8 in a suspended manner with respect to the support unit 8 that houses the substrate 1, particularly with respect to the conveyance of the substrate that tends to be large. It is characterized by suppressing transmitted vibration.
  • the substrate 1 is disposed in the vertical direction in the support portion 8, and the traveling carriage portion 7 and the support portion 8 are supported in an inertia manner.
  • a vibration isolation mechanism 22 that absorbs vibration in each of the three directions constituting the three dimensions of vertical, traveling, and orthogonal to the traveling cart section.
  • Patent Document 1 Patent No. 3212890
  • Patent Document 2 JP 2004-359436
  • a FOUP shown in FIG. 6 is used in transporting a substrate such as a wafer that receives different processes one by one at a processing station.
  • the main body 31 and the shelf member 31d are fixed in a predetermined arrangement, so that vibrations received by the FOUP main body 31 during transmission are transmitted to the shelf member 3Id as they are.
  • the plurality of boards that are placed on the shelf member 31d in a horizontal state so as to be detachable are also directly subjected to the vibration that the FOUP body 31 receives during transportation.
  • This vibration is caused by a combination of the vibration received by the inertial force generated during acceleration / deceleration of the FOUP main body and the slight vibration generated from the drive unit, and it cannot be avoided.
  • the vibration applied to the shelf member 31d may cause the substrate mounting surface force of the shelf member 31d to jump up the substrate or generate friction between the substrate mounting surface and the substrate, resulting in defective substrates. There is.
  • an object of the present invention is provided with a shelf member that is transported by driving means such as an OHT carriage and that supports a plurality of wafers and other substrates in a horizontal state so that the substrates can be removed detachably.
  • driving means such as an OHT carriage
  • a container such as FOU P receives a slight vibration from the drive source in addition to vibration due to inertial force during acceleration / deceleration during transfer of the container, the transmission of these vibrations to the shelf member is suppressed.
  • a technique is provided in which a container positively supports a shelf member.
  • the vibration isolating mechanism for the article storage container according to claim 1 is a vibration isolating mechanism for the article storage container
  • An article storage container provided with a shelf member that is transported by a conveying means that travels along a predetermined path and supports an article to be conveyed;
  • An elastic member that suppresses transmission of vibrations received by the container to the shelf member during operation of the conveying means
  • the elastic member is characterized in that the article storage container is disposed at an appropriate position for supporting the shelf member, and the container supports the shelf member via the elastic member.
  • the shelf member on which the article to be transported is placed even if the container having the shelf member therein receives various vibrations by the OHT or other transport means. It receives in a suppressed state without receiving vibration as it is.
  • the vibration isolating mechanism for the article storage container according to claim 2 is the vibration isolating mechanism for the article storage container according to claim 1,
  • the article to be conveyed is a wafer
  • the shelf member is a member that holds the wafer detachably in a horizontal direction, and is a container force SFOUP that accommodates the shelf member.
  • the vibration transmitted to the conveying means force FOUP is transmitted as it is to the wafer as well as the effect of the invention of the cited claim 1, the wafer is damaged. Even if it reaches the point where it receives, the wafer mounted on the shelf member in the FOUP can be subjected to vibration that may cause its failure. Can be surely prevented.
  • the vibration isolating mechanism for the article storage container according to claim 3 is the vibration isolating mechanism for the article storage container according to claim 1,
  • the shelf member has a plurality of protrusions on its upper and lower end faces
  • the article storage container is provided with a hole of a size capable of loosely fitting the protrusions at predetermined locations on the upper and lower surfaces thereof.
  • Each of the protrusions is supported by the corresponding hole through the elastic member.
  • the relative positional relationship between the protrusion provided on the shelf member side and the hole formed on the container side is It is regulated and the positioning of shelf members with respect to containers such as FOUP is made accurately.
  • the necessary vibration isolation effect can be obtained by selecting the material and size of the elastic member located between the hole and the projection.
  • the vibration isolating mechanism of the article storage container according to claim 4 is the vibration isolating mechanism of the article storage container according to claim 1,
  • the elastic member is interposed between upper and lower end surfaces of the shelf member, and elastically supports the shelf member with respect to the article storage container.
  • the effect of the invention according to claim 1 or 2 is based on the upper and lower ends of the general-purpose shelf member and the upper and lower ends of the container facing the same.
  • the vibration isolating mechanism for the article storage container according to claim 5 is characterized in that, in addition to the vibration isolating mechanism for the article storage container according to claim 4, the elastic member is a leaf spring. To do.
  • the man-hour required for fixing the shelf member to the container can be reduced based on the effect of the invention of claim 4 cited above.
  • the vibration isolating mechanism for an article storage container according to claim 6 is the vibration isolating mechanism for an article storage container according to claim 1, wherein the conveying means travels in an annular track between processes. It is a type lifting transport device. According to the invention according to claim 6, the effect of the invention according to claim 1 cited above can be suppressed, and in particular, vibrations received by articles conveyed by the OHT carriage can be suppressed. As the transport speed increases, the inertial force generated during start-up and braking tends to increase, and vibration increases. In addition, in the OHT cart, since the drive unit and the container such as FOUP are detachable, a vibration absorbing member cannot be interposed between them. However, according to the invention of claim 6, it is possible to suppress vibrations received by the articles conveyed by the OHT carriage.
  • An elastic member that suppresses transmission of vibrations received by the container to the shelf member during operation of the conveying means
  • the elastic member is characterized in that the article storage container is disposed at an appropriate position for supporting the shelf member, and the container supports the shelf member via the elastic member.
  • the shelf member on which the article to be transported is placed even if the container having the shelf member therein receives various vibrations by the OHT or other transportation means. It receives in a suppressed state without receiving vibration as it is.
  • the wafer carrier disclosed in Patent Document 1 can be applied to the present invention even though it can prevent collision and friction between the wafer and its supporting surface against various vibrations received during the wafer transfer process. It is difficult.
  • the present invention accommodates a large number of substrates (wafers, etc.) so that they can be inserted and removed horizontally.
  • a large number of wafers cannot be displaced with respect to each support surface during the wafer transfer process. Is different from the technique of Patent Document 1 in which the wafer force is individually taken out from the container.
  • Patent Document 1 Considering the application of the technology of Patent Document 1 to the present invention, it is possible to increase the size of the entire container for the wafer holding Z release mechanism, or to increase the complexity of the mechanism, and further to the current F OUP specification. There is a mismatch with the transfer equipment that is established as a premise, and practical application is difficult.
  • the conveyance device disclosed in Patent Document 2 stores a plurality of materials (substrates) 1 in the longitudinal direction in the material (substrate) support portion 8, and includes the traveling carriage portion 7 and the material (substrate). Between the support portion 8, there is provided a vibration isolation mechanism 22 that absorbs vibrations in the front, rear, left and right, and upper and lower directions with respect to the traveling direction of the traveling carriage unit 7.
  • Patent Document 2 suppresses transmission of various vibrations generated from the transport carriage unit 7 of the transport apparatus to the transported substrate 1 in the process of transporting the substrate in the transport apparatus, Damage caused by the vibration of the substrate 1 is prevented.
  • the transport carriage unit 7 having a drive source and the material (substrate) support unit 8 that holds the material (substrate) 1 are in a connected state via a vibration isolation mechanism 22. It is not possible to release the connected state.
  • FIG. 1 is a side view for explaining the relationship between a FOUP and an OHT cart carrying the FOUP in Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the internal configuration of the FOUP main body in Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 3 is a cross-sectional view showing the main configuration of the FOUP in Embodiment 1 of the present invention.
  • FIG. 4 is a schematic view for displaying a main configuration in Example 2 of the present invention.
  • FIG. 5 is a schematic diagram for displaying a main configuration in Example 3 of the present invention.
  • FIG. 6 is a perspective view of a general-purpose FOUP that is the basis for carrying out the present invention.
  • FIG. 1 is a side view for explaining the relation between the FOUP to which the present invention is applied and the OHT carriage carrying the FOUP.
  • FIG. 2 is a perspective view showing the internal configuration of the FOUP main body embodying the present invention
  • FIG. 3 is a cross-sectional view showing the main configuration of the FOUP according to the present invention.
  • reference numeral 1 denotes a running rail, which shows a part of the OHT carriage 2 in the process or between the processes. This OHT cart 2 is not shown in the guide / drive section 2a.
  • the vehicle is controlled by the running rail 1 with the wheels and guide wheels.
  • the necessary power is provided by means of knowledge such as providing a driving motor for the traveling wheels, or providing a DC linear motor for providing a secondary side and a primary side on the rail 1 side and the OHT carriage 2 side, respectively. can get.
  • Reference numeral 2b denotes an alignment mechanism that adjusts the displacement of the container (FOUP), which will be described later, in the traveling rail 1 in the direction orthogonal to the traveling direction of the OHT carriage and in the rotational direction.
  • Four belt belts 2c are provided on the front, rear, left and right in the traveling direction of the OHT carriage 2, and are controlled to be extended and retracted by an elevating mechanism 2d provided in the OHT carriage 2 so as to move the elevating body 2e up and down.
  • this belt-like belt 2c has an electric wire (not shown) embedded in it for power supply and control signals to the elevating body 2e! / Speak.
  • Reference numeral 2f denotes a gripper member, which is one of the components of the elevating body 2e, and is supported so as to be displaceable in the horizontal direction shown in the drawing.
  • Reference numeral 3 denotes a FOUP as an object to be transferred, which includes a main body 3a, a lid 3b, a flange 3c that is gripped or released by the operation of the gripper member 2f, a side flange 3d that is used for manual transfer means, and a plurality of wafers.
  • 4 is configured by a shelf member 3e for individually mounting 4 from the opening of the main body. This shelf member 3e is provided with a series of shelves 3ex for placing the wafers 4 one by one without contacting each other in the vertical direction. Next, the shelf member 3e is elastically supported inside the FOUP 3, A configuration for suppressing the transmission of vibration received when the FOUP 3 receives the conveyance / lift control by the OHT carriage 2 to the shelf member 3e will be described with reference to FIGS.
  • FIG. 2 The configuration disclosed in FIG. 2 is shown including the internal mechanism of the FOUP 3 with the lid 3b (see FIG. 1) removed, and 3f is a series of holes, and the top and bottom of the shelf member 3e. It is formed at the upper and lower parts of the FO UP where the end faces.
  • 3ey is a protrusion, which extends from the upper and lower end surfaces of the shelf member 3e, is provided at a position facing the series of holes 3f, and has a thickness capable of loosely fitting into the corresponding holes.
  • 3g is an annular elastic member that fills the gap formed by loose fitting of the series of holes 3f and the corresponding projection 3ey with a uniform thickness.
  • the annular elastic member 3g can be filled into a series of holes at any time before and after the assembly of the FOUP 3, but the projection 3ey needs to be fitted to the continuous holes 3f before the assembly of the FOUP 3. .
  • the thickness of the annular elastic member 3g that is, the length corresponding to the average gap between the projection 3g and the corresponding hole 3f, and the elastic coefficient of the material of the annular elastic member 3g.
  • the degree of vibration transmission suppression in the annular elastic member 3g is determined.
  • the degree of suppression of vibration transmission in the annular elastic member 3g is determined by the wafer 4 placed on the shelf 3ex of the shelf member 3e in consideration of the transport means (OHT cart 2, roller conveyor, etc.) of the FOUP 3. It is not a good idea to increase the cost in order to obtain the suppression of vibration transmission more than necessary on the basis that there is no risk of damage.
  • a filler such as an adhesive may be applied to each of the inner and outer surfaces of the annular elastic member 3g according to the necessity of airtight maintenance.
  • unprocessed wafers 4 are sequentially placed one by one on each of a series of shelves 3ex of shelf members 3e installed inside, and a lid 3b is attached to the main body 3a. It is assumed that the FOUP 3 that is locked at the opening is in a standby state so that it is transferred to a predetermined processing station (not shown).
  • the elevating body 2e is lowered to just above the FOUP 3, and the clipper member 2f grips the flange 3c of the FOUP 3.
  • the belt-like belt 2c is wound up while the clipper member 2f holds the flange 3c of the FOUP 3, and the FOUP 3 moves to the inside of the OHT carriage 2 and travels to a predetermined processing station.
  • the belt-like belt 2c is unwound, the gripper member 2f is disengaged from the flange 3c of the FOUP 3, and the OHT carriage 2 shifts to another FOUP conveyance.
  • the FOUP 3 which has been transferred to the processing station and disengaged from the flange 3c, has the wafers 4 placed one by one on a series of shelves 3ex with the lid 3b unlocked and arranged vertically. Sequentially A process specific to a predetermined station is performed, and the wafer 4 that has completed the predetermined process is returned to the predetermined shelf 3ex again.
  • the wafers 4 that are sequentially subjected to different processes at various processing stations need to be detachable on a series of shelves 3ex of the shelf member 3e, and are only placed on the shelves 3ex. .
  • the vibrations transmitted to the FOUP 3 are transmitted to the shelf member 3e as they are due to the various vibrations generated from the OHT carriage 2, especially the inertial force generated during acceleration / deceleration during traveling / lifting in high-speed conveyance processing.
  • the wafer 4 is placed on the shelf 3ex of the shelf member 3e, 4 is impacted by splashing or friction with the shelf 3ex, and the degree of force S exceeds a certain limit. Damage to the extent of coming.
  • the shelf member 3e is supported by the FOUP body 3a via the annular elastic body 3g, so that the FOUP 3 is subjected to the traveling / lifting operation by the OHT cart.
  • the size and material of the annular elastic body 3 should be selected according to the expected vibration that the FOUP3 will receive, so that the wafer 4 will not be damaged. Vibration can be suppressed.
  • FIG. 4 is a schematic diagram of a main part showing Example 2 which is a modification of the embodiment.
  • the FOUP 13 includes a FOUP main body 13a, a flange 13c, and a shelf member 13e as basic components.
  • the configuration characteristic of the second embodiment resides in the means for supporting the shelf member 13e with respect to the FOUP main body 13a.
  • the supporting means does not have the shelf 13ex of the shelf member 13e, and the upper and lower ends 13ey are held by the elastic body 13g.
  • the elastic body 13g is formed at a position corresponding to the upper and lower end portions 13ey of the shelf member 13e and is fixed to the support portion 13ax. [0037] When the FOUP 13 is subjected to the various vibrations through the flange 13c by the structure disclosed in FIG. 4 and the conveying means force of the OHT carriage and the like, the various vibrations are caused by the elastic body 13g according to the characteristics of the elastic body 13g. Decay at a rate.
  • FIG. 5 is a schematic diagram of a main part showing Example 3 which is a modification of the embodiment.
  • the FOUP 23 includes a FOUP main body 23a, a flange 23c, and a shelf member 23e as basic components.
  • the characteristic configuration of the third embodiment is the means for supporting the shelf member 23e with respect to the FOUP main body 23a.
  • the support means is provided with leaf springs 23g in the vicinity of both upper and lower ends of the shelf member 23e, and both ends of each leaf spring 23g are joined to the inner peripheral surface of the shelf member 23e and the FOUP body 23a, respectively. .
  • the shelf member 23e is inertially supported via the leaf spring 23g with respect to the FOUP main body 23a, and the FOUP main body 23a is moved up and down by transport means such as an OHT carriage.
  • transport means such as an OHT carriage.
  • the leaf spring By proper selection of 23 g, the wafer can be suppressed to such an extent that it can be prevented from being defective.
  • the present invention is applicable to other transport containers that require countermeasures against vibration, such as a reticle transport container and a liquid crystal substrate transport container, in addition to the semiconductor substrate storage container that stores the silicon substrate.
  • the shelf member on which the article to be transported is placed, even if the container having the shelf member inside receives various vibrations by the OHT force conveying means.
  • the vibrations are received without being directly received.

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Description

明 細 書
物品収納用容器の防振機構
技術分野
[0001] 本発明は、物品収納用容器（以下、 Front- Opening Unified Pod:FOUPという）の 防振機構に関する。
懸垂式昇降搬送台車（以下、 Overhead Hoist Transport : OHT台車という）、ローラ コンベアほかこれに準ずる搬送手段によって所定の経路に沿って移送される FOUP 等の容器力 移送過程において振動を受けることがある。本発明は、 FOUPの内部 に揷脱自在に多数枚収納したウェハ、液晶等の物品にこの振動が伝達することを抑 制するための物品収納用容器の防振機構に関する。
背景技術
[0002] 近年、クリーンルーム内の工程内乃至工程間環状軌道に沿って配置され、ウェハ の各種処理 (薄膜形成、フォトリソグラフィー、洗浄、エッチング、検査等)を行う一連 の処理ステーションで必要な処理を行うため、 OHT台車を用い、前記ウェハを収納 した容器 (FOUP)を搬送することが多!、。
基板の処理工程は基板が収納される FOUPに取り付けられたタグで管理され、タグ の内容も基板処理工程の進行に従い逐次更新される。基板処理の工程は FOUPに 付されたタグの情報により特定され、以降の必要な処理はこのタグ情報に基づきコン ピュータによって管理される。
[0003] このように複数の処理ステーションにて、異なる種類の処理を順次 1枚ずつ受ける 基板の搬送には、移送中は気密状態が保持され、処理ステーションにて所定の処理 を受けるために前面の扉が開放され、一枚ずつ基板がロボットによって挿脱できるよ うに構成された FOUPが用いられて!/、る。
従来力も汎用されている FOUPの構成は図 6に示す通りである。この図 6において 、 31は本体で、 31aは開放面である。当該開放面 31aから見て両側に位置する両側 面には、人手による搬送を可能とするサイドフランジ 31bが設けられる。 31cはフラン ジで、後述する OHT台車のフィンガ部にて把持され、これによつて本体 31及び前記 開放面 31aに装着される蓋体 32がー体に昇降 '搬送される。
[0004] 31dは棚部材で、開放面 31aにおいて図示しないロボット（処理ステーションに設置
)によって挿脱される基板 (ウェハ、液晶等)を水平に多数枚 (例えば、 24枚)保持で きる凹凸状棚部を形成して 、る。
そして、この棚部材 31dは、 FOUP本体 31に対し一体的に固定される力、あるいは
、 FOUP本体 31と一体成形される。
[0005] なお、前記蓋体 32は、 FOUP本体 31の搬送時において、当該 FOUP本体 31の 開放面 31aに対して気密状態にて保持されており、処理ステーションにて収納されて
V、る基板の処理に先だって、当該処理ステーションに備えられて 、る図示しな!、施 錠乃至解錠手段によって鍵部材 32aが解錠（図示の状態)され、 FOUP本体 31と分 離される。
次いで、前記処理ステーションにて、全ての基板の処理が完了し、処理済みの基板 を収納した FOUP本体 31は移送に先だって開放面 3 laを蓋体 32で覆い、前記鍵部 材 32aは施錠乃至解錠手段によって施錠される。
[0006] ところで、ウェハ等の基板を移送するに当っては、基板搬送用容器の基板支持部 において基板が移動して支持部材と基板とが、衝突、摩擦などを生じ、基板の不良 化を来す恐れが多い。
このため、例えば、処理装置間の運搬や次工程に送る前のウェハの保管等に利用 されるウェハキャリアが開発され、下記特許文献 1として開示されている。
即ち、特許文献 1のウェハキャリアは、まず、キャリア本体 2の内壁に形成された一 連の溝部 3に一枚ずつウエノ、 9の周縁部が挟み込まれる。
次に、可撓性のある素材で形成される舌片 5がウェハ 9を前記溝部 3の一方の側面 に押圧し、ウェハ 9とキャリア本体 2とを一体ィ匕させ、ウェハ 9が溝部 3内で変位しない 安定な姿勢を維持する。
[0007] 一方、走行台車によって基板を搬送するに際して、基板の防振を目的として下記特 許文献 2がある。
この特許文献 2に開示の技術は、特に大形ィ匕の傾向にある基板の搬送に関して、 基板 1を収納する支持部 8に対して、当該支持部 8を吊下支持する走行台車部 7から 伝達される振動を抑制することを特徴として ヽる。
即ち、被搬送基板 1の大形化に対応して、当該基板 1を、支持部 8内において縦方 向に配置し、走行台車部 7と支持部 8とは弹性的に支持される。
このための具体的手段として、走行台車部における鉛直、走行、走行直交の 3次元 を構成する 3方向夫々に振動を吸収する防振機構 22が設けられている。
特許文献 1：特許第 3212890号
特許文献 2：特開 2004— 359436
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0008] 従来、処理ステーションにて異なる処理を一枚ずつ受けるウェハ等の基板の搬送 において、例えば、図 6に示す FOUPが用いられる。
この FOUPにおいて、本体 31と棚部材 31dとは、所定の配置で固着されているた め、搬送時にぉ 、て FOUP本体 31が受ける振動はそのまま棚部材 3 Idに伝達され る。
従って、棚部材 31dに水平状態にて一枚ずっ揷脱自在に載置される複数枚の基 板も FOUP本体 31が搬送時に受ける振動をそのまま受ける。
この振動は、 FOUP本体の加減速時に生じる慣性力によって受ける振動、及び駆 動部から発生する微振動等が複合して生ずるもので、その発生は避けることができな い。
このように棚部材 31dに与えられる振動は、当該棚部材 31dの基板載置面力も基 板を跳ね上げ、あるいは基板載置面と基板との摩擦を発生させ、基板の不良化を来 す恐れがある。
[0009] そこで、本発明の目的は、 OHT台車等の駆動手段にて移送され、複数枚のウェハ 等の基板を、水平状態を保って一枚ずっ揷脱自在に支持する棚部材を備えた FOU P等の容器において、当該容器の移送中、加減速時の慣性力による振動に加えて駆 動源から受ける微振動を受けた際、これらの振動の棚部材への伝達を抑制し棚部材 に支持されるウェハ等の基板を含む諸物品の損傷を防止するための手段として、容 器が棚部材を弹性的に支持する技術を提供することである。 課題を解決するための手段
[0010] 前記課題を解決するため、請求項 1に記載の物品収納用容器の防振機構は、 物品収納用容器の防振機構であって、
所定の経路に沿って走行する搬送手段によって移送され、被搬送物品を支持する 棚部材を備える物品収納用容器と、
前記搬送手段の動作時に前記容器が受ける振動が前記棚部材へ伝達することを 抑制する弾性部材とを有し、
前記弾性部材は、前記物品収納用容器が前記棚部材を支持する適所に配置され 、前記容器が前記弾性部材を介して前記棚部材を支持することを特徴とする。
[0011] この請求項 1に係る発明によれば、被搬送物品を載置する棚部材は、当該棚部材 を内部に保有する容器が OHTほかの搬送手段によって諸振動を受けても、この諸 振動をそのまま受けることなく抑制された状態で受ける。
従って、容器に対して棚部材を弹性的に支持し、容器と棚部材との間にて振動伝 達抑制作用を及ぼす弾性体の仕様を適切に定めることによって、被搬送物を損傷す る恐れのないように規制するのみにて被搬送物に損傷を与えることなく安全に搬送さ せることができる。
し力も、搬送手段力 受ける振動の被搬送物品への伝達を抑制するに当り、容器 内に施されるごく簡単な防振手段を採用するだけであるので、現行の FOUP仕様を 前提として成り立つ移載機器とマッチングが採り易く実現が容易である。
[0012] 請求項 2に記載の物品収納用容器の防振機構は、請求項 1に記載の物品収納用 容器の防振機構において、
前記被搬送物品がウェハであり、
前記棚部材が前記ウェハを水平方向に挿脱自在に保持する部材であり、 当該棚部材を収納した容器力 SFOUPであることを特徴とする。
この請求項 2に係る発明によれば、引用先の請求項 1に係る発明の効果は元より、 搬送手段力 FOUPに伝達された振動がそのままウェハに伝達されると、当該ゥェ ハが損傷を受ける程度に及んだ場合においても、 FOUP内の棚部材に揷脱自在な 状態に載置されて 、るウェハは、その不良化を来す恐れのある振動を受けることを的 確に防止できる。
[0013] 請求項 3に記載の物品収納用容器の防振機構は、請求項 1に記載の物品収納用 容器の防振機構において、
棚部材はその上下各端面に複数個の突起を有し、
前記物品収納用容器はその上下各面の所定個所に当該各突起が遊嵌できる大き さの孔を備え、
前記各突起が前記弾性部材を介して夫々対応する前記孔に支持されることを特徴 とする。
この請求項 3に係る発明によれば、引用先の請求項 1又は 2に係る発明の効果は元 より、棚部材側に設けられる突起と、容器側に形成される孔との相対位置関係が規制 され、 FOUP等の容器に対する棚部材の位置決めが的確になされる。併せて、前記 孔と突起間に位置する弾性部材の材質、大きさ等の選択により必要な防振効果も得 られる。
[0014] 請求項 4に記載の物品収納用容器の防振機構は、請求項 1に記載の物品収納用 容器の防振機構において、
前記弾性部材が前記棚部材の上下端面部に介在し、前記物品収納用容器に対し 前記棚部材を弾性支持することを特徴とする。
この請求項 4に係る発明によれば、引用先の請求項 1又は 2に係る発明の効果は元 より、汎用の棚部材の上下端部と、これに対向する容器の上下端部との間に必要な 防振機能を有する弾性部材を介在させるというごく簡単な構成にてウェハ等の被搬 送物品の不良化を的確に防止できる。
[0015] 請求項 5に記載の物品収納用容器の防振機構は、請求項 4に記載の物品収納用 容器の防振機構にぉ 、て、前記弾性部材が板ばねであることを特徴とする。
この請求項 5に係る発明によれば、引用先の請求項 4に係る発明の効果は元より、 容器に対する棚部材の固定に要する工数を削減できる。
[0016] 請求項 6に記載の物品収納用容器の防振機構は、請求項 1に記載の物品収納用 容器の防振機構において、搬送手段が工程内乃至工程間の環状軌道を走行する 懸垂式昇降搬送装置であることを特徴とする。 この請求項 6に係る発明によれば、引用先の請求項 1に係る発明の効果は元より、 とりわけ OHT台車によって搬送される物品が受ける振動を抑制することが出来る。搬 送速度が高速となって、始動、制動時に発生する慣性力が大となる傾向にあり、振動 が大きくなる。また、 OHT台車においては、駆動部と FOUP等の容器とが、着脱自 在のため、これらの間に吸振部材を介在させることができない。しかし本請求項 6に 係る発明によれば、 OHT台車によって搬送される物品が受ける振動を抑制すること が出来る。
[0017] 請求項 7に記載の所定の経路に沿って走行する搬送手段によって移送される物品 収納用容器は、
被搬送物品を支持する棚部材と、
前記搬送手段の動作時に前記容器が受ける振動が前記棚部材へ伝達することを 抑制する弾性部材とを有し、
前記弾性部材は、前記物品収納用容器が前記棚部材を支持する適所に配置され 、前記容器が前記弾性部材を介して前記棚部材を支持することを特徴とする。
[0018] この請求項 7に係る発明によれば、被搬送物品を載置する棚部材は、当該棚部材 を内部に保有する容器が OHTほかの搬送手段によって諸振動を受けても、この諸 振動をそのまま受けることなく抑制された状態で受ける。
従って、容器に対して棚部材を弹性的に支持し、容器と棚部材との間にて振動伝 達抑制作用を及ぼす弾性体の仕様を適切に定めることによって、被搬送物を損傷す る恐れのないように規制するのみにて被搬送物に損傷を与えることなく安全に搬送さ せることができる。
し力も、搬送手段力 受ける振動の被搬送物品への伝達を抑制するに当り、容器 内に施されるごく簡単な防振手段を採用するだけであるので、現行の FOUP仕様を 前提として成り立つ移載機器とマッチングが採り易く実現が容易である。
[0019] 特許文献 1に開示のウェハキャリアは、ウェハの搬送過程において受ける諸振動に 対して、ウェハと、その支持面との衝突乃至摩擦は防止できるにしても、本願発明に 対しての適用は困難である。
即ち、本願発明は、多数枚の基板 (ウェハほか)を水平方向に挿脱自在に収納させ るように棚部材を FOUP等の容器に設置する構成を基礎としており、ウェハ搬送過 程においては、縦方向にウェハを多数枚、各支持面に対し変位できないようにし、ゥ ェハ搬送過程以外はウェハを個々に容器力 取り出す特許文献 1の技術とは用途を 異にしている。
特許文献 1の技術を本願発明に応用することを検討すると、ウェハの保持 Z開放 機構のために容器全体の大きさの増カロ、あるいは機構上の複雑ィ匕更には、現行の F OUP仕様を前提として成り立つ移載機器とミスマッチを生じ、実用化は困難である。
[0020] 一方、特許文献 2に開示の搬送装置は、材料 (基板)支持部 8において縦方向に向 けて複数枚の材料 (基板） 1を収納し、走行台車部 7と材料 (基板)支持部 8との間に、 走行台車部 7の走行方向に対して前後、左右、上下の 3方向において夫々振動を吸 収する防振機構 22を備えている。
この構成によって、材料 (基板)支持部 8に収納され、搬送される材料 (基板）に対し て走行台車部 7の走行時にぉ 、て発生する下記 (ィ）〜 (ハ）各項記載の諸振動は防 振機構 22によって的確に抑制され、基板が受ける振動による基板の損傷は防止でき る。
(ィ)走行台車部 7の駆動部が発生する微振動
(口）走行台車部 7の加減速時に生じる慣性力によって生じる振動
(ハ）走行台車部 7の走行に伴い発生する風圧によって生じる振動
[0021] 確かに、前記特許文献 2に開示の技術は、搬送装置において基板を移送させる過 程において搬送装置の搬送台車部 7から発生する諸振動の被搬送基板 1への伝達 が抑制され、基板 1の振動に起因する損傷は防止される。
しかし、当該特許文献 2の技術は、駆動源を有する搬送台車部 7と、材料 (基板） 1 を保持する材料 (基板)支持部 8とは防振機構 22を介して連結状態にあり、この連結 状態を解除することはできな 、。
従って、材料 (基板) 1は特定個所で複数枚まとめて材料 (基板)支持部 8に装着し 、搬送台車部 7にて他の特定個所にて材料 (基板)支持部 8から取り出されることにな り、一枚ずつ挿脱することを基礎とする本願発明に応用することはできない。 図面の簡単な説明
[0022] [図 1]本発明の実施例 1における FOUPと当該 FOUPを搬送する OHT台車との関連 を説明するための側面図である。
[図 2]本発明の実施例 1における FOUP本体部の内部構成を表示する斜視図である
[図 3]本発明の実施例 1における FOUPの要部構成を示す断面図である。
[図 4]本発明の実施例 2における要部構成を表示するための模式図である。
[図 5]本発明の実施例 3における要部構成を表示するための模式図である。
[図 6]本発明の実施の基礎となる汎用の FOUPの斜視図である。
符号の説明
[0023] 2 OHT台車
3、 13、 23 FOUP
3eゝ 13eゝ 23e 棚咅附
3ex、 ldex、 23ex ¾
3ey 突起
3g、 13g 弾性体
23g 板ばね
発明を実施するための最良の形態
[0024] [実施例 1]
以下、本発明の好適な実施の形態について図面を参照しつつ説明する。 先ず、この実施の形態に関連する図面の概要を述べると、図 1は本発明が適用され る FOUPと当該 FOUPを搬送する OHT台車との関連を説明するための側面図、図
2は本発明を実施した FOUP本体部の内部構成を表示する斜視図、図 3は FOUP の本発明の要部構成を示す断面図である。
[0025] 次に、本発明を適用する FOUPと、当該 FOUPの搬送手段としての OHT台車との 関係を、図 1を参照して説明する。
図 1において、 1は走行レールで、 OHT台車 2の工程内乃至工程間環状軌道の一 部を示している。この OHT台車 2は、その案内 ·駆動部 2aにおいて図示しない走行 輪と案内輪とで走行レール 1に規制されて走行する。
この際、必要とされる動力は、走行輪に駆動モータを備えること、或いはレール 1側 と OHT台車 2側に夫々二次側、一次側を設ける直流リニアモータを備えること等周 知の手段によって得られる。
[0026] 2bは位置合せ機構で、後述する容器 (FOUP)の前記走行レール 1における OHT 台車の走行方向と直交する方向及び回転方向の変位調整を図る。 2cは帯状ベルト で、 OHT台車 2の走行方向の前後左右に 4本設けられ、 OHT台車 2内に備えられる 昇降機構 2dにより伸縮自在に制御され、昇降体 2eを昇降させるように構成される。そ して、この帯状ベルト 2cは内部に昇降体 2eへの電力供給及び制御信号を授受する 電線 (図示せず)を埋設して！/ヽる。
[0027] 2fはグリッパ部材で、昇降体 2eの構成要素の一つであって、図示の左右方向に変 位可能に支持されている。 3は被搬送物としての FOUPで、本体 3a、蓋体 3b、前記 グリッパ部材 2fの動作によって把持又はその解除を受けるフランジ 3c、人手による搬 送手段に利用されるサイドフランジ 3d及び複数枚のウェハ 4を個々に本体開口部か ら揷脱自在に載置する棚部材 3eから構成される。この棚部材 3eにはウェハ 4を互 ヽ に接触することなく一枚ずつ載置する一連の棚 3exが上下方向に設けられて 、る 次に、棚部材 3eを FOUP3の内部に弾性支持し、 FOUP3が OHT台車 2によって 搬送'昇降制御を受けるに際して受ける振動の棚部材 3eへの伝達を抑制する構成 について図 2及び図 3を参照して説明する。
なお、図 2及び図 3において、図 1に開示した構成要素に対応する部分は同一符号 を付し、説明の重複を避ける。
[0028] 図 2に開示の構成は蓋体 3b (図 1を参照）を取り外した状態にて FOUP3の内部機 構を含めて表示したもので、 3fは一連の孔で、棚部材 3eの上下端部が対向する FO UPの上下部に形成されている。
図 3も併せ参照して 3eyは突起で、棚部材 3eの上下端面から延び、前記一連の孔 3fに対向する位置に設けられ、対応する孔に遊嵌できる太さを有して 、る。
3gは環状弾性部材で前記一連の孔 3fと対応する突起 3eyとの遊嵌によってできる 間隙を周囲均等な厚さで気密に充填する。 [0029] なお、前記環状弾性部材 3gは FOUP3の組立て前後何れの時期にも一連の孔に 充填できるがー連の孔 3fに対する突起 3eyの嵌合は、 FOUP3の組立て前に行う必 要がある。
また、環状弾性部材 3gの厚さ、即ち、突起 3gとこれに対応する孔 3fとの周囲の平 均間隙相当の長さと、環状弾性部材 3gの素材の弾性係数を適宜選択することによつ て、環状弾性部材 3gにおける振動伝達抑制の度合 、が決定される。
[0030] この環状弾性部材 3gにおける振動伝達抑制の度合いは、 FOUP3の搬送手段 (O HT台車 2、ローラコンベア等）を考慮のもとに棚部材 3eの棚 3exに載置されたウェハ 4が損傷する恐れのないことを基準とし、必要以上の振動伝達の抑制を得るためにコ ストアップとなることは得策ではな 、。
また、気密保持の必要性に応じて環状弾性部材 3gの内外各表面に接着材等の充 填材を塗布してもよい。
[0031] 次に、前記図 1及び図 2に開示の実施の形態において、その作用を説明する。
先ず、例えば、図示しないストッカーにおいて、未処理のウェハ 4を、内部に設置し た棚部材 3eの一連の棚 3ex夫々に対して順次 1枚ずつ載置のうえ、蓋体 3bが本体 3 aの開口部にて施錠状態にある FOUP3が、所定の処理ステーション（図示せず）に 移送されるように待機状態にあるとする。
次に、待機状態の FOUP3の位置まで走行してきた OHT台車 2の帯状ベルト 2cの 繰出しによって昇降体 2eが FOUP3の直上まで降下し、クリッパ部材 2fが FOUP3の フランジ 3cを把持する。
[0032] 更に、このクリッパ部材 2fが FOUP3のフランジ 3cを把持した状態を維持して帯状 ベルト 2cが巻き上げられ、 FOUP3は OHT台車 2の内部に移行し、所定の処理ステ ーシヨンまで走行する。
この処理ステーション（図示せず）において、帯状ベルト 2cが繰出され、グリッパ部 材 2fは FOUP3のフランジ 3cとの係合を解き、 OHT台車 2は別の FOUPの搬送に 移行する。
[0033] 処理ステーションに搬送され、フランジ 3cとの係合を解かれた FOUP3は、蓋体 3b が開錠され、上下に配列された一連の棚 3exに一枚ずつ載置されたウェハ 4を順次 所定のステーション固有の処理を行 、、所定の処理を終えたウェハ 4は再度所定の 棚 3exに戻される。
このようにして、全てのウェハ 4が所定の処理を施され、棚 3exに戻された後、蓋体 3bの施錠が施され、 FOUP3は再度、 OHT台車によって前記と同様な操作にて必 要な別の処理ステーション乃至ストッカーに移送される。
[0034] ところで、各種処理ステーションにて、順次異なる処理を受けるウェハ 4は棚部材 3e の一連の棚 3exに揷脱自在にしておく必要性があり、当該棚 3exに載置されるのみ である。
このため、仮に、 OHT台車 2から発生する諸振動、とりわけ高速搬送処理において 、走行 ·昇降に際しての加減速時に発生する慣性力に伴 、FOUP3に伝えられる振 動がそのまま棚部材 3eに伝達されると、当該棚部材 3eの棚 3exに載置されているゥ エノ、 4は跳ね上がりによる衝撃、あるいは棚 3exとの摩擦が発生し、これらの度合い 力 Sある限度を超えるとウェハ 4は不良化を来す程度に損傷する。
[0035] し力し、図 2に示されるように、棚部材 3eは FOUP本体 3aに対して環状弾性体 3gを 介して支持されることから、 FOUP3が OHT台車にて走行 ·昇降動作を受けてもその 振動は 100%遮断することは、困難としても、 FOUP3が受ける予測される振動に応 じて環状弾性体 3の大きさ、材質などの選定によって、ウェハ 4を損傷に至らないよう に振動の抑制を図ることができる。
[実施例 2]
[0036] 図 4は前記実施の形態の変形例である実施例 2を示す要部模式図である。この図 4 において、 FOUP13は、基本構成として、 FOUP本体 13a、フランジ 13c、棚部材 1 3eを備えている。
そして、実施例 2の特徴である構成は、 FOUP本体 13aに対する棚部材 13eの支 持手段にある。
この支持手段につ 、て具体的に述べると、棚部材 13eの棚 13exを有しな 、上下両 端部 13eyが弾性体 13gにて保持されて 、る。
また、この弾性体 13gは棚部材 13eの上下両端部 13eyに対応する位置に形成さ れて 、る支持部 13axに固定される。 [0037] 前記図 4に開示の構成によって FOUP13が OHT台車ほかの搬送手段力もフラン ジ 13cを通じて前記諸振動を受けた際、この諸振動は弾性体 13gにより、当該弾性 体 13gの特性に応じた割合で減衰する。
従って、棚部材 13eの棚 13exに揷脱自在に載置されているウェハ（図 1の符号 4を 参照）に伝達される振動は、完全に除去することは原理的に困難としても、弾性体 13 gの適正なる選択によって前記ウェハの不良化を防止できる程度に抑制することがで きる。
[実施例 3]
[0038] 図 5は前記実施の形態の変形例である実施例 3を示す要部模式図である。この図 5 において、 FOUP23は、基本構成として、 FOUP本体 23a、フランジ 23c、棚部材 2 3eを備えている。
そして、実施例 3の特徴ある構成は、 FOUP本体 23aに対する棚部材 23eの支持手 段にある。この支持手段について具体的に述べると、棚部材 23e上下両端部近傍に 板ばね 23gを配置し、各板ばね 23gの両端部は夫々棚部材 23eと FOUP本体 23a の内周面に接合されている。
[0039] 前記構成において、棚部材 23eは、 FOUP本体 23aに対して、板ばね 23gを介し て弹性的に支持されることになり、 FOUP本体 23aが OHT台車ほかの搬送手段によ り走行昇降作用を受ける際、フランジ 23cを通じて受ける振動は、板ばね 23gの弾性 特性に応じた振動抑制作用を受けて棚部材 23eに伝達される。
従って、棚部材 23eの棚 23exに揷脱自在に載置されているウェハ（図 1の符号 4を 参照）に伝達される振動は、完全に除去することは原理的に困難としても、板ばね 23 gの適正なる選択によって前記ウェハの不良化を防止できる程度に抑制することがで きる。
[0040] なお、本願発明は、前記シリコン基板を収納する半導体基板収納容器以外に、レチ クル搬送容器、液晶基板搬送容器など振動対策を必要とするその他の搬送容器に ち適用でさる。
[0041] 本発明を詳細にまた特定の実施態様を参照して説明したが、本発明の精神と範囲 を逸脱することなく様々な変更や修正を加えることができることは当業者にとって明ら かである。
本出願は、 2005年 10月 31日出願の日本特許出願 (特願 2005— 316013)に基づくも のであり、その内容はここに参照として取り込まれる。
産業上の利用可能性
本発明の物品収納用容器の防振機構によれば、被搬送物品を載置する棚部材は 、当該棚部材を内部に保有する容器が OHTほ力の搬送手段によって諸振動を受け ても、この諸振動をそのまま受けることなく抑制された状態で受ける。
従って、容器に対して棚部材を弹性的に支持し、容器と棚部材との間にて振動伝 達抑制作用を及ぼす弾性体の仕様を適切に定めることによって、被搬送物を損傷す る恐れのないように規制するのみにて被搬送物に損傷を与えることなく安全に搬送さ せることができる。
し力も、搬送手段力 受ける振動の被搬送物品への伝達を抑制するに当り、容器 内に施されるごく簡単な防振手段を採用するだけであるので、現行の FOUP仕様を 前提として成り立つ移載機器とマッチングが採り易く実現が容易である。

Claims

請求の範囲
[1] 物品収納用容器の防振機構であって、
所定の経路に沿って走行する搬送手段によって移送され、被搬送物品を支持する 棚部材を備える物品収納用容器と、
前記搬送手段の動作時に前記容器が受ける振動が前記棚部材へ伝達することを 抑制する弾性部材とを有し、
前記弾性部材は、前記物品収納用容器が前記棚部材を支持する適所に配置され 、前記容器が前記弾性部材を介して前記棚部材を支持することを特徴とする物品収 納用容器の防振機構。
[2] 前記被搬送物品がウェハであり、
前記棚部材が前記ウェハを水平方向に挿脱自在に保持する部材であり、 当該棚部材を収納した容器力 SFOUPであることを特徴とする請求項 1に記載の物 品収納用容器の防振機構。
[3] 棚部材はその上下各端面に複数個の突起を有し、
前記物品収納用容器はその上下各面の所定個所に当該各突起が遊嵌できる大き さの孔を備え、
前記各突起が前記弾性部材を介して夫々対応する前記孔に支持されることを特徴 とする請求項 1に記載の物品収納用容器の防振機構。
[4] 前記弾性部材が前記棚部材の上下端面部に介在し、前記物品収納用容器に対し 前記棚部材を弾性支持することを特徴とする請求項 1に記載の物品収納用容器の防 振機構。
[5] 弾性部材が板ばねであることを特徴とする請求項 4に記載の物品収納用容器の防 振機構。
[6] 搬送手段が工程内乃至工程間の環状軌道を走行する懸垂式昇降搬送装置である ことを特徴とする請求項 1に記載の物品収納用容器の防振機構。
[7] 所定の経路に沿って走行する搬送手段によって移送される物品収納用容器であつ て、
被搬送物品を支持する棚部材と、 前記搬送手段の動作時に前記容器が受ける振動が前記棚部材へ伝達することを 抑制する弾性部材とを有し、
前記弾性部材は、前記物品収納用容器が前記棚部材を支持する適所に配置され 、前記容器が前記弾性部材を介して前記棚部材を支持することを特徴とする物品収 納用容器。
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