JPH04225257A - ウェーハカセット - Google Patents
ウェーハカセットInfo
- Publication number
- JPH04225257A JPH04225257A JP2406975A JP40697590A JPH04225257A JP H04225257 A JPH04225257 A JP H04225257A JP 2406975 A JP2406975 A JP 2406975A JP 40697590 A JP40697590 A JP 40697590A JP H04225257 A JPH04225257 A JP H04225257A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- wafer cassette
- card
- card holder
- wafer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims abstract description 5
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 claims description 22
- 238000004886 process control Methods 0.000 claims description 10
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 1
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、半導体ウェーハを収納
・搬送するウェーハカセットに関する。
・搬送するウェーハカセットに関する。
【０００２】
【従来の技術】従来の半導体ウェーハ（以下、ウェーハ
という）の製造・加工工程においては、同一銘柄のウェ
ーハを１個のウェーハカセット（以下、カセットという
）に複数枚ずつ充填して、このカセットを樹脂製の搬送
ボックスに収納した状態で各工程に搬送させ、その都度
搬送ボックスからカセットを出し入れしながら種々の指
定された処理を施すのである。その際、各工程における
カセットの処理作業を指示するために、いわゆるランカ
ードと称する必要な指示項目を記入した工程管理用カー
ドを搬送ボックスに保持させて、作業者に確認させるよ
うにしているのが通常である。
という）の製造・加工工程においては、同一銘柄のウェ
ーハを１個のウェーハカセット（以下、カセットという
）に複数枚ずつ充填して、このカセットを樹脂製の搬送
ボックスに収納した状態で各工程に搬送させ、その都度
搬送ボックスからカセットを出し入れしながら種々の指
定された処理を施すのである。その際、各工程における
カセットの処理作業を指示するために、いわゆるランカ
ードと称する必要な指示項目を記入した工程管理用カー
ドを搬送ボックスに保持させて、作業者に確認させるよ
うにしているのが通常である。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、搬送ボ
ックスで工程管理用カードを保持する場合はつぎのよう
な問題がある。すなわち、■ウェーハを加工するのにそ
の都度搬送ボックスから出し入れするのに手間がかかる
こと、■またウェーハの加工中はカセットが搬送ボック
スから切り離されることになるから、そのトラッキング
の信頼性が低下すること、■搬送ボックスの在庫管理な
どに要する費用が嵩むこと、などである。本発明は、こ
のような課題を解決したカセットを提供することを目的
とする。
ックスで工程管理用カードを保持する場合はつぎのよう
な問題がある。すなわち、■ウェーハを加工するのにそ
の都度搬送ボックスから出し入れするのに手間がかかる
こと、■またウェーハの加工中はカセットが搬送ボック
スから切り離されることになるから、そのトラッキング
の信頼性が低下すること、■搬送ボックスの在庫管理な
どに要する費用が嵩むこと、などである。本発明は、こ
のような課題を解決したカセットを提供することを目的
とする。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、半導体ウェー
ハを充填するウェーハカセットにおいて、少なくとも一
方の側面に工程管理用カードを保持するカードホルダを
設けたことを特徴とするウェーハカセットである。なお
、前記カードホルダに把手を一体的に取付けることがで
きる。
ハを充填するウェーハカセットにおいて、少なくとも一
方の側面に工程管理用カードを保持するカードホルダを
設けたことを特徴とするウェーハカセットである。なお
、前記カードホルダに把手を一体的に取付けることがで
きる。
【０００５】
【作 用】本発明によれば、ウェーハカセットの一方
の側面にカードホルダを一体的に取付けるようにしたの
で、ウェーハカセット個々に工程管理用カードを保持す
ることができ、これによって搬送ボックスを必要とせず
に各ウェーハカセットを個別にトラッキングしながら搬
送することができる。なお、前記カードホルダに把手を
設けるようにすれば、塵埃の影響を受けずにウェーハカ
セットのハンドリングを行うことができる。
の側面にカードホルダを一体的に取付けるようにしたの
で、ウェーハカセット個々に工程管理用カードを保持す
ることができ、これによって搬送ボックスを必要とせず
に各ウェーハカセットを個別にトラッキングしながら搬
送することができる。なお、前記カードホルダに把手を
設けるようにすれば、塵埃の影響を受けずにウェーハカ
セットのハンドリングを行うことができる。
【０００６】
【実施例】以下に本発明の実施例について図面を参照し
て説明すると、図１に示すように、その側面が通常Ｕ面
２とＨ面３とから構成されるカセット１のたとえばＵ面
２側に、コの字状とされる左右側受け部４ａ，４ｂおよ
び下部受け部４ｃとからなるカードホルダ４をＵ面２と
一体的に設ける。なお、カードホルダ４を通常のポケッ
ト（袋）構造としないで４ａ，４ｂ，４ｃの３つの受け
部に分割したのはパーティクルへの対策によるものであ
る。
て説明すると、図１に示すように、その側面が通常Ｕ面
２とＨ面３とから構成されるカセット１のたとえばＵ面
２側に、コの字状とされる左右側受け部４ａ，４ｂおよ
び下部受け部４ｃとからなるカードホルダ４をＵ面２と
一体的に設ける。なお、カードホルダ４を通常のポケッ
ト（袋）構造としないで４ａ，４ｂ，４ｃの３つの受け
部に分割したのはパーティクルへの対策によるものであ
る。
【０００７】ここで、それらの寸法関係について説明す
ると、図２に示すように、左右側受け部４ａ，４ｂの間
隔ｂは通常の工程管理用カード５（Ａ５判相当）を２つ
折りにしてＡ６判の大きさを縦にして入る程度の値とし
、また各受け部の深さｄは２つ折りにした工程管理用カ
ード５を挿入してもＵ面２の表面と若干の隙間ｇが生じ
る程度にするのが望ましい。その理由は、工程管理用カ
ード５は本来無塵紙で作成されてはいるが、カセット１
との接触によって新たな塵埃が発生するのを防止するた
めである。
ると、図２に示すように、左右側受け部４ａ，４ｂの間
隔ｂは通常の工程管理用カード５（Ａ５判相当）を２つ
折りにしてＡ６判の大きさを縦にして入る程度の値とし
、また各受け部の深さｄは２つ折りにした工程管理用カ
ード５を挿入してもＵ面２の表面と若干の隙間ｇが生じ
る程度にするのが望ましい。その理由は、工程管理用カ
ード５は本来無塵紙で作成されてはいるが、カセット１
との接触によって新たな塵埃が発生するのを防止するた
めである。
【０００８】なお、左右側受け部４ａ，４ｂの長さｈは
、挿入される工程管理用カード５を下部受け部４ｃに確
実にガイドし得る程度の値とするのが望ましい。また、
下部受け部４ｃを複数個にすれば、工程管理用カード５
をより確実に保持することが可能である。図３はカード
ホルダ４に把手６を取付けるようにしたカセット１Ａの
実施例を示したものである。すなわち、左右側受け部４
ａ，４ｂに把手６を一体化したものである。このように
構成するようにすれば、カセット１のハンドリングする
際にカセット本体を触らずに把手６を持って運ぶことが
できるから、ウェーハを塵埃から隔離することが可能で
ある。
、挿入される工程管理用カード５を下部受け部４ｃに確
実にガイドし得る程度の値とするのが望ましい。また、
下部受け部４ｃを複数個にすれば、工程管理用カード５
をより確実に保持することが可能である。図３はカード
ホルダ４に把手６を取付けるようにしたカセット１Ａの
実施例を示したものである。すなわち、左右側受け部４
ａ，４ｂに把手６を一体化したものである。このように
構成するようにすれば、カセット１のハンドリングする
際にカセット本体を触らずに把手６を持って運ぶことが
できるから、ウェーハを塵埃から隔離することが可能で
ある。
【０００９】
【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
個々のカセットにカードホルダを設けるようにしたので
、搬送ボックスを必要とせずにカセットのトラッキング
を誤りなく確実に行うことができ、またウェーハのハン
ドリングの手間が省け、さらに搬送ボックスの在庫管理
費用を節減し得るなどすぐれた効果を奏する。
個々のカセットにカードホルダを設けるようにしたので
、搬送ボックスを必要とせずにカセットのトラッキング
を誤りなく確実に行うことができ、またウェーハのハン
ドリングの手間が省け、さらに搬送ボックスの在庫管理
費用を節減し得るなどすぐれた効果を奏する。
【図１】本発明の実施例を示す斜視図である。
【図２】図１の部分平面図である。
【図３】他の実施例を示す斜視図である。
１，１Ａ カセット（ウェーハカセット）２
Ｕ面 ４ カードホルダ ５ 工程管理用カード ６ 把手
Ｕ面 ４ カードホルダ ５ 工程管理用カード ６ 把手
Claims (2)
- 【請求項１】 半導体ウェーハを充填するウェーハカ
セットにおいて、少なくとも一方の側面に工程管理用カ
ードを保持するカードホルダを設けたことを特徴とする
ウェーハカセット。 - 【請求項２】 前記カードホルダに把手を一体的に取
付けたことを特徴とする請求項１記載のウェーハカセッ
ト。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2406975A JPH04225257A (ja) | 1990-12-26 | 1990-12-26 | ウェーハカセット |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2406975A JPH04225257A (ja) | 1990-12-26 | 1990-12-26 | ウェーハカセット |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04225257A true JPH04225257A (ja) | 1992-08-14 |
Family
ID=18516592
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2406975A Pending JPH04225257A (ja) | 1990-12-26 | 1990-12-26 | ウェーハカセット |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH04225257A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4055625A4 (en) * | 2019-11-08 | 2023-12-06 | Entegris, Inc. | ENVIRONMENTAL REGULATING SUBSTANCE CARRIER |
-
1990
- 1990-12-26 JP JP2406975A patent/JPH04225257A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP4055625A4 (en) * | 2019-11-08 | 2023-12-06 | Entegris, Inc. | ENVIRONMENTAL REGULATING SUBSTANCE CARRIER |
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