JPS60245143A - ウエ−ハカセツト搬送機構 - Google Patents
ウエ−ハカセツト搬送機構Info
- Publication number
- JPS60245143A JPS60245143A JP10024984A JP10024984A JPS60245143A JP S60245143 A JPS60245143 A JP S60245143A JP 10024984 A JP10024984 A JP 10024984A JP 10024984 A JP10024984 A JP 10024984A JP S60245143 A JPS60245143 A JP S60245143A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- cassette
- wafer cassette
- holding
- base
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はウェーハカセット搬送機構に係v1特にウェー
ハがカセット内で振動することによって生ずるウェーハ
のエツジの欠けなどを防止する機構を有するウェーハカ
セット搬送a#4に関する。
ハがカセット内で振動することによって生ずるウェーハ
のエツジの欠けなどを防止する機構を有するウェーハカ
セット搬送a#4に関する。
半導体ウェーハは、一般にウェーハカセットト呼ばれる
収納具に複数枚数が収納されており、各工程内及び工程
間の搬送はこの収納具に入うた状態で行なわれる。この
搬送を人手によりて行なう場合には搬送時の振動が問題
となることは、少ないのであるが、近年の自動搬送のよ
うに機械的に搬送を行なう4場合にはその振動によって
ウェーハ表面に形成したフォトレジスト膜、cvnir
zどのウェーハエツジ部分での損傷やそれらによるゴミ
の発生などの問題があることがわかった。
収納具に複数枚数が収納されており、各工程内及び工程
間の搬送はこの収納具に入うた状態で行なわれる。この
搬送を人手によりて行なう場合には搬送時の振動が問題
となることは、少ないのであるが、近年の自動搬送のよ
うに機械的に搬送を行なう4場合にはその振動によって
ウェーハ表面に形成したフォトレジスト膜、cvnir
zどのウェーハエツジ部分での損傷やそれらによるゴミ
の発生などの問題があることがわかった。
本発明は、かかる問題を解決するためになされたもので
ありて、ウェーハカセット内でウェーハがほとんど振動
しないウェーハカセット搬送機構を提供することをその
目的とする。
ありて、ウェーハカセット内でウェーハがほとんど振動
しないウェーハカセット搬送機構を提供することをその
目的とする。
本発明の特徴は、半導体ウェーハを収納したウェーバカ
セクトを搬送するウェーハカセット搬送機構において、
この半導体ウェーハが重力方向に対しである傾きを有す
るようにウェーハカセットが保持される機構を有する・
ウェーハカセット搬送a##にある。カセットの傾きは
ウェーハの傾さが5°〜45°になるように規定される
ことが望−ましい。特にウェーハが10°〜25°位ま
での範囲にあると、カセットに加えられる加速Krjど
との関係で最も好ましい特性が侮られる。
セクトを搬送するウェーハカセット搬送機構において、
この半導体ウェーハが重力方向に対しである傾きを有す
るようにウェーハカセットが保持される機構を有する・
ウェーハカセット搬送a##にある。カセットの傾きは
ウェーハの傾さが5°〜45°になるように規定される
ことが望−ましい。特にウェーハが10°〜25°位ま
での範囲にあると、カセットに加えられる加速Krjど
との関係で最も好ましい特性が侮られる。
以下本発明の一実施例を図面と共に説明する。
第1図、第2図は各々ウェーハカセット搬送機構の外観
図であって、第1図の例ではガイドレールlにがん合し
たキャリア2にウェーハカセット保2sf川ラッチ3.
4が設けられており、複数の半害体ウェーハ6が収納さ
れたウェーバカセント5がこれらのラッチによって保持
されて運搬される。
図であって、第1図の例ではガイドレールlにがん合し
たキャリア2にウェーハカセット保2sf川ラッチ3.
4が設けられており、複数の半害体ウェーハ6が収納さ
れたウェーバカセント5がこれらのラッチによって保持
されて運搬される。
第2図の例では自走式のキャリア7上にウェーハカセッ
ト5が載置された状態で運搬される。ウェーハカセット
はその内部に61のガイドみぞが設けられており、この
みぞにウェーハをがん合させて立てて保持するのである
が、このみそはウェーハの出し入れや各種の厚さのウェ
ーハに対して同一のカセットを使用するためなどの理由
によりウェーハの厚さに対して十分に幅広になっている
。
ト5が載置された状態で運搬される。ウェーハカセット
はその内部に61のガイドみぞが設けられており、この
みぞにウェーハをがん合させて立てて保持するのである
が、このみそはウェーハの出し入れや各種の厚さのウェ
ーハに対して同一のカセットを使用するためなどの理由
によりウェーハの厚さに対して十分に幅広になっている
。
したがって、ウェーハカセット運搬時にウェーハが振動
する。第1図、第2図のような自動搬送系ではどうして
も加減速時中動作詩にある程度の振動を発生するが、そ
れによってウェーハのみぞとかん合しているウェーハの
エツジの部分がみぞとぶつかり合ってその部分からゴミ
が発生する。ゴミはウェーハ上に設けた各種の膜の成分
や、ウェーハ自体の欠けなどによるものがあるが、これ
らのゴミはウェーハの素子領域に付層すると素子不良を
引き起こす原因となる。
する。第1図、第2図のような自動搬送系ではどうして
も加減速時中動作詩にある程度の振動を発生するが、そ
れによってウェーハのみぞとかん合しているウェーハの
エツジの部分がみぞとぶつかり合ってその部分からゴミ
が発生する。ゴミはウェーハ上に設けた各種の膜の成分
や、ウェーハ自体の欠けなどによるものがあるが、これ
らのゴミはウェーハの素子領域に付層すると素子不良を
引き起こす原因となる。
第3図、第4図は各々本発明の一実施例の外殻図である
。
。
第3図は第1図に示した搬送機構に本発明を適用した例
で、キャリアがガイドレール1にがん合している台車部
分8と、カセットを保持するラッチ3.4のペースとな
る基台9とから成り、基台9は台$8に対する角度が可
変可能となっている。
で、キャリアがガイドレール1にがん合している台車部
分8と、カセットを保持するラッチ3.4のペースとな
る基台9とから成り、基台9は台$8に対する角度が可
変可能となっている。
この角度はウェーハカセット5を保持用ラッチ4.5に
よって着脱する時は0″に設定され、カセットを保持抜
本実施例ではlOoの傾きにセットされる。これによっ
てウェーハは電力方向に対して約10″の傾きを持つた
めカセットのミソの一つの面と@看し、したがってキャ
リアの動作、停止時にもみそ内で振動することがなくな
る。
よって着脱する時は0″に設定され、カセットを保持抜
本実施例ではlOoの傾きにセットされる。これによっ
てウェーハは電力方向に対して約10″の傾きを持つた
めカセットのミソの一つの面と@看し、したがってキャ
リアの動作、停止時にもみそ内で振動することがなくな
る。
第4図は第2図の搬送+IN構に本発明を適用した例で
あって、自走式のキャリア10の上面にはその動作状態
に応じて角度が変化するカセット載置部11.12が設
けられている。このような構成によって、動作時にはカ
セット5が佃いてウェーッS6はみその一向に密着する
ので、撮動によってウェーハがみそとぶつかり合ってゴ
ミを発生するといつ九障害は防ぐことが出来る。
あって、自走式のキャリア10の上面にはその動作状態
に応じて角度が変化するカセット載置部11.12が設
けられている。このような構成によって、動作時にはカ
セット5が佃いてウェーッS6はみその一向に密着する
ので、撮動によってウェーハがみそとぶつかり合ってゴ
ミを発生するといつ九障害は防ぐことが出来る。
以上のとおり、本発明によれば従来のウェーッーカセッ
トを用いて機械搬送を行なってもゴミの発生のない良好
な搬送を行なうことができる。
トを用いて機械搬送を行なってもゴミの発生のない良好
な搬送を行なうことができる。
第1図、第2図は各々ウェー/”tカセット搬送機構の
外観図、第3図、第4図は各々第1図、第2図のウェー
ハカセット搬送機構に本発明を適用した実施例である。 。 なお図において、1・・・ガイドレール、2・・・キャ
リア、3,4・・・ウェーッ1カセット保持用ラッチ、
5・・・ウェーハカセット、6・・・ウェーハ、7・・
・自走式のキャリア、8・・・台車部分、9・・・基台
、IO・・・自走式のキャリア、11.12・・・カセ
ツ1[置部、である。 5− 電 1 〒 蜜2図
外観図、第3図、第4図は各々第1図、第2図のウェー
ハカセット搬送機構に本発明を適用した実施例である。 。 なお図において、1・・・ガイドレール、2・・・キャ
リア、3,4・・・ウェーッ1カセット保持用ラッチ、
5・・・ウェーハカセット、6・・・ウェーハ、7・・
・自走式のキャリア、8・・・台車部分、9・・・基台
、IO・・・自走式のキャリア、11.12・・・カセ
ツ1[置部、である。 5− 電 1 〒 蜜2図
Claims (1)
- 半導体ウェーハを収納したウェーハカセットを搬送する
ウェーハカセット搬送機構において、前記半導体ウェー
ハが重力方向に対して5@乃至45゜の傾きを持つよう
に酌記つエーノ為カセットを保持する手段が設けられて
いることを特徴とするウェーハカセット搬送機構。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59100249A JPH0671040B2 (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | ウェーハカセット搬送機構 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP59100249A JPH0671040B2 (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | ウェーハカセット搬送機構 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60245143A true JPS60245143A (ja) | 1985-12-04 |
JPH0671040B2 JPH0671040B2 (ja) | 1994-09-07 |
Family
ID=14268952
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP59100249A Expired - Lifetime JPH0671040B2 (ja) | 1984-05-18 | 1984-05-18 | ウェーハカセット搬送機構 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0671040B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012036206A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | 富士電機株式会社 | ウェハ収納具、及びウェハカセットの収納ケース |
JP2015032763A (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-16 | 株式会社Sumco | ウェーハ運搬台車及びウェーハ運搬方法 |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56120124A (en) * | 1980-02-26 | 1981-09-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Wafer replacement device |
JPS5758764U (ja) * | 1980-09-24 | 1982-04-07 | ||
JPS58120643U (ja) * | 1982-02-09 | 1983-08-17 | 三菱電機株式会社 | ウエハ処理用バスケツト |
JPS5961942A (ja) * | 1982-10-01 | 1984-04-09 | Hitachi Ltd | 薄板キヤリア治具 |
-
1984
- 1984-05-18 JP JP59100249A patent/JPH0671040B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS56120124A (en) * | 1980-02-26 | 1981-09-21 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Wafer replacement device |
JPS5758764U (ja) * | 1980-09-24 | 1982-04-07 | ||
JPS58120643U (ja) * | 1982-02-09 | 1983-08-17 | 三菱電機株式会社 | ウエハ処理用バスケツト |
JPS5961942A (ja) * | 1982-10-01 | 1984-04-09 | Hitachi Ltd | 薄板キヤリア治具 |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2012036206A1 (ja) * | 2010-09-17 | 2012-03-22 | 富士電機株式会社 | ウェハ収納具、及びウェハカセットの収納ケース |
JP2015032763A (ja) * | 2013-08-06 | 2015-02-16 | 株式会社Sumco | ウェーハ運搬台車及びウェーハ運搬方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0671040B2 (ja) | 1994-09-07 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
EXPY | Cancellation because of completion of term |