JPS605521A - 原版の搬送装置 - Google Patents
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- JPS605521A JPS605521A JP58112929A JP11292983A JPS605521A JP S605521 A JPS605521 A JP S605521A JP 58112929 A JP58112929 A JP 58112929A JP 11292983 A JP11292983 A JP 11292983A JP S605521 A JPS605521 A JP S605521A
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- G03B23/02—Devices for changing pictures in viewing apparatus or projectors in which a picture is removed from a stock and returned to the same stock or another one; Magazines therefor
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体焼料装置で用いられるフォトマスク又
はレチクルの如き原版を防塵状態で搬出、搬送する装置
に関する。
はレチクルの如き原版を防塵状態で搬出、搬送する装置
に関する。
ＩＣ、ＬＳＩ 、超ＬＳＩ等の半導体装置の製造時、解
決されねばならない事項の１つに一マスク又はレチクル
への塵埃伺着の問題がある。
決されねばならない事項の１つに一マスク又はレチクル
への塵埃伺着の問題がある。
超微細なこれらの半導体集積回路パターンをウェハーの
上に焼き付ける為、マスク又はレチクル上に塵埃がある
と転写された半導体回路パターンの損傷につながり、製
品化されたＬＳＩ等の半導体の性能を低下させるばかり
ですく、最悪の場合その半導体の機能全体を麻痺させる
。
上に焼き付ける為、マスク又はレチクル上に塵埃がある
と転写された半導体回路パターンの損傷につながり、製
品化されたＬＳＩ等の半導体の性能を低下させるばかり
ですく、最悪の場合その半導体の機能全体を麻痺させる
。
特に近年主流となりつつあるステップ・アンド・リピー
ト方式（繰り返し露光方式）の投影露光装置では、１つ
のマスク又はレチクルを用いてその半導体集積回路パタ
ーンが１つのウェハーに何ノヨットも焼付けられる為、
もし塵埃があると、そのウェハーの全てのチップが不良
になってしまうという問題がある。これらの問題からマ
スク又はレチクルに、発塵原因である人間が可能な限り
接近しない方がよい。
ト方式（繰り返し露光方式）の投影露光装置では、１つ
のマスク又はレチクルを用いてその半導体集積回路パタ
ーンが１つのウェハーに何ノヨットも焼付けられる為、
もし塵埃があると、そのウェハーの全てのチップが不良
になってしまうという問題がある。これらの問題からマ
スク又はレチクルに、発塵原因である人間が可能な限り
接近しない方がよい。
しかし乍ら従来の露光装置ではマスク又はレチクルを露
光位置−＼人手によって装填しなけれはなら７ｒい為人
体からの塵埃がマスク又はレチクルに伺渚する事を防止
するのが困難であった。
光位置−＼人手によって装填しなけれはなら７ｒい為人
体からの塵埃がマスク又はレチクルに伺渚する事を防止
するのが困難であった。
以上述べてきたように、ステップ・アンド・リピート方
式の投影露光装置では人手で扱うという従来方式のマス
ク又はレチクルの扱い方では塵埃の（；Ｊ着防止に対し
て限界がある為、人手を避は自動でマスク又はレチクル
を給送できる装置の開発が急務であった。
式の投影露光装置では人手で扱うという従来方式のマス
ク又はレチクルの扱い方では塵埃の（；Ｊ着防止に対し
て限界がある為、人手を避は自動でマスク又はレチクル
を給送できる装置の開発が急務であった。
本発明は上記の点にＣｕ２、・ろ、上記欠点を解消する
ためになされたもので、投影露光装置に原版を人手を介
さずに移送「可能ｒ（構造をイイし、しかも、保存時、
塵埃のイ・」着防止を可能ならしめた原版の搬送装置を
提供することを目的と一ゴーる。
ためになされたもので、投影露光装置に原版を人手を介
さずに移送「可能ｒ（構造をイイし、しかも、保存時、
塵埃のイ・」着防止を可能ならしめた原版の搬送装置を
提供することを目的と一ゴーる。
なお、原版をカセットに入れることにより、それらを取
扱いじゃずくすると同時に防塵効果を持たせた。又その
カセット形状は自動でマスク又はレチクル等の原版を着
脱できる形状であらねばならないが、本発明はこの自動
化を同時に可能とする様なカセット形状となっている。
扱いじゃずくすると同時に防塵効果を持たせた。又その
カセット形状は自動でマスク又はレチクル等の原版を着
脱できる形状であらねばならないが、本発明はこの自動
化を同時に可能とする様なカセット形状となっている。
このカセットを装置に装填し、そのカセットから自動で
マスク又はレチクルを露光位置に運んで装着する事によ
り、人体からの廃塵がマスク又はレチクルに装着する事
を防いだ。
マスク又はレチクルを露光位置に運んで装着する事によ
り、人体からの廃塵がマスク又はレチクルに装着する事
を防いだ。
以下、本発明の実施例を図面に従って説明する。
第１図乃至第９図はマスク又はレチクルの搬送装置の一
実施例のカセットの部分である。
実施例のカセットの部分である。
第１図は蓋部材の破砕斜視図を、第２図は箱部材の斜視
図を、第３図は第１図のＡ親図の部分図、第４図は第２
図のＢ視図の部分図を、第５図は蓋部イ２と箱部材を組
合せたカセットの斜視図を、第６図は第５図のｃ −ｃ
’線の断面図を、第７図は、爪部材の詳細な説明図を、
第８図は、キャリア内にカセットを収容した斜視図を、
第９図は第８図のＥ親図を夫々示している。
図を、第３図は第１図のＡ親図の部分図、第４図は第２
図のＢ視図の部分図を、第５図は蓋部イ２と箱部材を組
合せたカセットの斜視図を、第６図は第５図のｃ −ｃ
’線の断面図を、第７図は、爪部材の詳細な説明図を、
第８図は、キャリア内にカセットを収容した斜視図を、
第９図は第８図のＥ親図を夫々示している。
図に於て、１は蓋部材、２は蓋部材１を取扱い易くする
為の把手３は相部）ｌ′Ａ４と蓋部材１とを組合わせた
時お互いが容易に分離しないようにする為の爪部）１′
、）Ｊで引掛り部である４ｂと係合する。１ａは蓋部イ
′）Ｊｌの突出した保持部て箱部材４は、それの突出部
４ａが保持部１ａの」二に載る事によって、蓋部材１に
保持される。
為の把手３は相部）ｌ′Ａ４と蓋部材１とを組合わせた
時お互いが容易に分離しないようにする為の爪部）１′
、）Ｊで引掛り部である４ｂと係合する。１ａは蓋部イ
′）Ｊｌの突出した保持部て箱部材４は、それの突出部
４ａが保持部１ａの」二に載る事によって、蓋部材１に
保持される。
１１〕は差部材１の入口端部、４Ｃは蓋部材１と箱Ｆｉ
Ｂ ｔｔ ４とを絹合わせた時ＩＦ部材となるものであ
る。
Ｂ ｔｔ ４とを絹合わせた時ＩＦ部材となるものであ
る。
４ｄはマスク又はレチクルを載せて支持するための支持
部に相当する底面と段差のついた段差面である１、１Ｃ
は蓋部材１の底部で箱部材４とを第５図の如く釦合わぜ
た時ここが最底部になる。５はｅ茅部材１と箱部材４の
結合を手で容易に解く為の相部旧４の止部拐４０のある
側の端部に設けられた把手である。６はレチクルで、箱
部材４の段差面４ｄ上に載置した時の断面図が第６図に
示されているが、これと共に塵埃の装着防止目的のペリ
クル膜７及びその支持枠であるペリクル枠７ａも描いで
ある。４ａ’は蓋部材１の保持部１ａと箱部材４の突出
部４ａとを重ね合せた時の重なっていない部分であり、
後述のフォーク１１の係合部１０がこの端部に接触する
。
部に相当する底面と段差のついた段差面である１、１Ｃ
は蓋部材１の底部で箱部材４とを第５図の如く釦合わぜ
た時ここが最底部になる。５はｅ茅部材１と箱部材４の
結合を手で容易に解く為の相部旧４の止部拐４０のある
側の端部に設けられた把手である。６はレチクルで、箱
部材４の段差面４ｄ上に載置した時の断面図が第６図に
示されているが、これと共に塵埃の装着防止目的のペリ
クル膜７及びその支持枠であるペリクル枠７ａも描いで
ある。４ａ’は蓋部材１の保持部１ａと箱部材４の突出
部４ａとを重ね合せた時の重なっていない部分であり、
後述のフォーク１１の係合部１０がこの端部に接触する
。
第７図は第１図に示した爪部材３と第２図に示した引掛
り部４ｂとの関係を簡略的に示した部分断面図で、１ｄ
は蓋部材１の側壁、３ａは爪部材３の押込み端、３ｂは
爪部材３の他端に設けられた円柱状の係止部、３ｅは爪
部材３の回転軸で、軸の両端は側壁１ｄに回転自在に軸
支されている。また３ｆはトーンョンバネで、一端は爪
部材３に係合し、他端は側壁１ｄに係合するものとし、
その結果、爪部材３に反時計回りの回転力が伺勾される
。本図や第６図に示したように箱部材４が蓋部ｊｌ′Ａ
１に挿入された時は、係止端３ｂが引掛り部４１）に落
込んでこれを係止するが、後述の第８図や第９図のよう
にカセットとして箱部材１が後述のギヤリヤ９に挿着さ
れた時にはキャリヤ９の内壁９ｄが押込み端３ａを箱部
材４側に押込み、係止部３ｂは引掛り部４ｂから引込ん
で引掛り部４ｂは解除される。
り部４ｂとの関係を簡略的に示した部分断面図で、１ｄ
は蓋部材１の側壁、３ａは爪部材３の押込み端、３ｂは
爪部材３の他端に設けられた円柱状の係止部、３ｅは爪
部材３の回転軸で、軸の両端は側壁１ｄに回転自在に軸
支されている。また３ｆはトーンョンバネで、一端は爪
部材３に係合し、他端は側壁１ｄに係合するものとし、
その結果、爪部材３に反時計回りの回転力が伺勾される
。本図や第６図に示したように箱部材４が蓋部ｊｌ′Ａ
１に挿入された時は、係止端３ｂが引掛り部４１）に落
込んでこれを係止するが、後述の第８図や第９図のよう
にカセットとして箱部材１が後述のギヤリヤ９に挿着さ
れた時にはキャリヤ９の内壁９ｄが押込み端３ａを箱部
材４側に押込み、係止部３ｂは引掛り部４ｂから引込ん
で引掛り部４ｂは解除される。
なお、トーンョンバネ３ｆの反時計回り方向のイ」勢に
より爪部材３がキャリヤ９の内壁９ｄを押圧するので蓋
部材１はキャリヤ９に摩擦係止される。
より爪部材３がキャリヤ９の内壁９ｄを押圧するので蓋
部材１はキャリヤ９に摩擦係止される。
９はギヤリアで、第６図のように蓋部材１と相部利４と
を組合せた時のノＪセッ１−を第８図や第９図に示した
ように多数収容するだめのものである。
を組合せた時のノＪセッ１−を第８図や第９図に示した
ように多数収容するだめのものである。
９１〕はギヤリア９の上−「を多数の区域に仕切る仕切
板もしくは底板の片方の両側に夫々設けられた突出状の
キャリヤ９に結合されたスＩ・ツバである。
板もしくは底板の片方の両側に夫々設けられた突出状の
キャリヤ９に結合されたスＩ・ツバである。
第９図には自動でギヤリヤ９からカセットが分１す１１
され箱部材４（勿論、第６図に示したようにレチクル６
を含んでいる。）のみが取り出される時の状態を示して
いる。１１はフォークで、カセッｉ・とキャリヤ９との
隙間穴８に差し込まれる。図では機構は不図示であるが
矢印方向即ちレチクル６の面に平行方向と垂直方向に移
動可能である。
され箱部材４（勿論、第６図に示したようにレチクル６
を含んでいる。）のみが取り出される時の状態を示して
いる。１１はフォークで、カセッｉ・とキャリヤ９との
隙間穴８に差し込まれる。図では機構は不図示であるが
矢印方向即ちレチクル６の面に平行方向と垂直方向に移
動可能である。
７１１ｃおフメーク１１の長手方向と直角方向の幅りは
、突出部４ａの長手方向と直角方向の幅から保持部１ａ
の長手方向と直角方向の幅を差し引いた幅より小さく設
定しである。従って、フォーク１１をカセット内に挿入
した時、フォークの腕（幅Ｌ）は、保持部１ａと突出部
４ａとが重なりあっていない部分４ ａ／の突出部４ａ
を支えることができる。 ９ａは蓋部材１の入口端部１
ｂのストッパてあり、ギヤリヤ９の上下を多数の区域に
仕切る仕切板と底辺のもう片方の両側に夫々設けられた
突出部で、自動でフォーク１１により箱部材４がギヤリ
ヤ９から取り出される時で、相部招４ど蓋部材１どが分
断１される時、蓋部材１をギヤリヤ９内に押し止める役
目を果ず。１０はフォーク１１の係合部で箱部材４の部
分４ａ′の娼にある不図示の凹部に保合する。
、突出部４ａの長手方向と直角方向の幅から保持部１ａ
の長手方向と直角方向の幅を差し引いた幅より小さく設
定しである。従って、フォーク１１をカセット内に挿入
した時、フォークの腕（幅Ｌ）は、保持部１ａと突出部
４ａとが重なりあっていない部分４ ａ／の突出部４ａ
を支えることができる。 ９ａは蓋部材１の入口端部１
ｂのストッパてあり、ギヤリヤ９の上下を多数の区域に
仕切る仕切板と底辺のもう片方の両側に夫々設けられた
突出部で、自動でフォーク１１により箱部材４がギヤリ
ヤ９から取り出される時で、相部招４ど蓋部材１どが分
断１される時、蓋部材１をギヤリヤ９内に押し止める役
目を果ず。１０はフォーク１１の係合部で箱部材４の部
分４ａ′の娼にある不図示の凹部に保合する。
第１０図及び第１１図は、本発明に係るマスク又はレチ
クルの搬送装置の〜実施例の全体を示１−説明図である
。第１０図は箱部材４をフォーク１１の上に載せてキャ
リヤ９より搬出した図で相部利４に収容されたレチクル
は不図示である。１２ａ、１２ｂはフォーク１１のガイ
ド棒、１３はイ、ジてモータ１５によりモータ１５の輔
に設げられたギヤ１４ｂとこれに噛合しているギヤ＋４
ａを介し回転する。このネジ１３は支持部材１７にｉｌ
！Ｉｌ＋受けで支持されており、フメーク１１に設けた
ネジ穴に螺入している。このイ、ジ１３の回転によりフ
ォーク１１は前進したり、後退したりして前述の如く第
９図の隙間穴８を通して、キャリヤ９内に進入又は脱出
する。１６．１７はガイド俸１２ａ、１２ｂを支持する
支持部材、１８は支持部材１６．１７を支持する」４に
よってキャリヤ９内にフォーク１１を進入、脱出する機
構部の基板である。この基板１８と伴にその上に載って
いるもの等全て、即ちフォーク１１、支持部材１６，１
７ 、ガイド棒１２ａ、１２ｂ、イ、ジ１３、モータ１
５、ギヤ１４ａ。
クルの搬送装置の〜実施例の全体を示１−説明図である
。第１０図は箱部材４をフォーク１１の上に載せてキャ
リヤ９より搬出した図で相部利４に収容されたレチクル
は不図示である。１２ａ、１２ｂはフォーク１１のガイ
ド棒、１３はイ、ジてモータ１５によりモータ１５の輔
に設げられたギヤ１４ｂとこれに噛合しているギヤ＋４
ａを介し回転する。このネジ１３は支持部材１７にｉｌ
！Ｉｌ＋受けで支持されており、フメーク１１に設けた
ネジ穴に螺入している。このイ、ジ１３の回転によりフ
ォーク１１は前進したり、後退したりして前述の如く第
９図の隙間穴８を通して、キャリヤ９内に進入又は脱出
する。１６．１７はガイド俸１２ａ、１２ｂを支持する
支持部材、１８は支持部材１６．１７を支持する」４に
よってキャリヤ９内にフォーク１１を進入、脱出する機
構部の基板である。この基板１８と伴にその上に載って
いるもの等全て、即ちフォーク１１、支持部材１６，１
７ 、ガイド棒１２ａ、１２ｂ、イ、ジ１３、モータ１
５、ギヤ１４ａ。
１４１〕が上下する。２３は最下部にある下板、２４は
最上部にある上板、１９ａ 、 １９ｂはこの下板２３
と上板２４を連結し相互に固定する固定棒であり同時に
基板１８をｊｌぬいており基板１８のガイド棒にもなっ
ている。２０はネジで、モータ２２の回転力をモータ２
２の輔に設けられているギヤ２１ｂとこれに噛合１、カ
ー）：４− Ｄ ２０の端部に固定されているギヤ２１
ａを介して受けて回転する。ネジ２０は基板１８に設げ
らＪしたイ・ジ穴に螺入している為イ・ジ２ｏが１回転
するとそのピッチ分だけ基板１８は上下する。なお、こ
のネジ２０は、上板２４に軸受げで軸支されている。第
１１図はレチクル又はマスクを相部利４から取り出す機
構部の説明図である。
最上部にある上板、１９ａ 、 １９ｂはこの下板２３
と上板２４を連結し相互に固定する固定棒であり同時に
基板１８をｊｌぬいており基板１８のガイド棒にもなっ
ている。２０はネジで、モータ２２の回転力をモータ２
２の輔に設けられているギヤ２１ｂとこれに噛合１、カ
ー）：４− Ｄ ２０の端部に固定されているギヤ２１
ａを介して受けて回転する。ネジ２０は基板１８に設げ
らＪしたイ・ジ穴に螺入している為イ・ジ２ｏが１回転
するとそのピッチ分だけ基板１８は上下する。なお、こ
のネジ２０は、上板２４に軸受げで軸支されている。第
１１図はレチクル又はマスクを相部利４から取り出す機
構部の説明図である。
６はレチクル、７はペリクル膜、２６ａ、２６ｂは吸着
盤、２５ａ、２５ｂ、２５ｃは吸着盤２６ａ、２６ｂ等
を支持する吸着盤支持棒で上板２４を貝通し不図示の手
段により支持されている。この吸着盤支持棒２５ａ、２
５ｂ。
盤、２５ａ、２５ｂ、２５ｃは吸着盤２６ａ、２６ｂ等
を支持する吸着盤支持棒で上板２４を貝通し不図示の手
段により支持されている。この吸着盤支持棒２５ａ、２
５ｂ。
２５ｃは機構部が不図示であるが若干上下して位置調整
する事が出来る。なお、第１０図に於て、カセットを収
容したキャリヤ９は収容しているカセットの相部拐４が
フォーク１１側に対向する位置ニ図の如く配置されてい
る。
する事が出来る。なお、第１０図に於て、カセットを収
容したキャリヤ９は収容しているカセットの相部拐４が
フォーク１１側に対向する位置ニ図の如く配置されてい
る。
次に前記構成に於て第１図乃至第１１図を参照してマス
クもしくはレブークルの搬送装置の動作を説明する。
クもしくはレブークルの搬送装置の動作を説明する。
第２図に示した組部材４の段差面４ｄの上にマスク又は
レチクル（本実施例の場合はレチクル６）は人手によっ
て第６図に示した如く置かれ、第１図に示した蓋部材１
の入口端部１ｂの所から保持部１ａの上に突出部４ａが
載る様にして箱部材１（−差し込まれる。蓋部材１の入
口端部１ｂと箱部材４の止部材４ｃとがピッタリ合った
位置で前述したように爪部材３は箱部材４の引掛り部４
ｂに係合し、蓋部材１と箱部材４とが分離しない様に係
止する。
レチクル（本実施例の場合はレチクル６）は人手によっ
て第６図に示した如く置かれ、第１図に示した蓋部材１
の入口端部１ｂの所から保持部１ａの上に突出部４ａが
載る様にして箱部材１（−差し込まれる。蓋部材１の入
口端部１ｂと箱部材４の止部材４ｃとがピッタリ合った
位置で前述したように爪部材３は箱部材４の引掛り部４
ｂに係合し、蓋部材１と箱部材４とが分離しない様に係
止する。
この時の結合した図が第５図及び第７図であり、それを
断面にて示したのが第６図である。第５図に示したカセ
ットの状態でカセットは第８図に示すＤ方向からギヤリ
ヤ９に人手によって挿入される。なお、カセットはスト
ッパ９ｂを乗り越える様にキャリヤ９には空間９ｃが設
けられている。キャリヤ９に挿入されたカセットは反対
側に行きすぎｆ（い様ストッパ９ａによって位置決めさ
れる。
断面にて示したのが第６図である。第５図に示したカセ
ットの状態でカセットは第８図に示すＤ方向からギヤリ
ヤ９に人手によって挿入される。なお、カセットはスト
ッパ９ｂを乗り越える様にキャリヤ９には空間９ｃが設
けられている。キャリヤ９に挿入されたカセットは反対
側に行きすぎｆ（い様ストッパ９ａによって位置決めさ
れる。
次に第１０図に於てキャリヤ９がら箱部材４が自動で搬
出される動作について説明する。モータ２２の回転位置
決めににリギャ２１ｂ、２１ａを介しネジ２０が回転し
、ガイド棒４９ａ、１９ｂに案内されて基板１８及びフ
ォーク１１は所望のカセットの前で移動停止する。この
位置の検出はモータの回転数を検出するエンコーダ等に
よって自在になされ、不図示であるが安全の為の光スィ
ッチも入っている。
出される動作について説明する。モータ２２の回転位置
決めににリギャ２１ｂ、２１ａを介しネジ２０が回転し
、ガイド棒４９ａ、１９ｂに案内されて基板１８及びフ
ォーク１１は所望のカセットの前で移動停止する。この
位置の検出はモータの回転数を検出するエンコーダ等に
よって自在になされ、不図示であるが安全の為の光スィ
ッチも入っている。
故にモータ１５の回転によりギヤ１４ｂ、１４ａを介し
ネジ１３が回転し、第９図に示した状態にあるフォーク
１１が隙間穴８を通してギヤリヤ９内に箱部材４等に接
触しないで進入する。その進入は不図示の９ミツトスイ
ツチ等の作用により所定の位置で終了する。
ネジ１３が回転し、第９図に示した状態にあるフォーク
１１が隙間穴８を通してギヤリヤ９内に箱部材４等に接
触しないで進入する。その進入は不図示の９ミツトスイ
ツチ等の作用により所定の位置で終了する。
フォーク１１のキャリヤ９内への進入が終ると、モータ
２２が若干回転し、ギヤ２１ｂ、２１ａと：４−０２０
を介して基板１８を若干押し上げることによってフォー
ク１１は第２図に示した箱部材４の部分４ａ’に接する
位置迄若干上昇し箱部材４の部分４ａ’にある不図示の
四部に第９図に示したフォーク１１の係合部１０が係合
する。次にモータ１５が回転し、ギヤ＋４ｂ、１４ａと
ネジ１３を介してフォーク１１が壬−タ１５側に戻るフ
ォーク１１がギヤリヤ９外に第１０図に示した如く箱部
材４やレチクル６と−Ｊ（に搬出することができる。こ
の時蓋部材１はギヤリヤ９ノストツハ９ａに引掛ってい
たり、前述のようにキャリヤ９の内壁９ｄに爪部材３が
摩擦係合している為、フォーク１１は箱部材４のみを搬
出する。
２２が若干回転し、ギヤ２１ｂ、２１ａと：４−０２０
を介して基板１８を若干押し上げることによってフォー
ク１１は第２図に示した箱部材４の部分４ａ’に接する
位置迄若干上昇し箱部材４の部分４ａ’にある不図示の
四部に第９図に示したフォーク１１の係合部１０が係合
する。次にモータ１５が回転し、ギヤ＋４ｂ、１４ａと
ネジ１３を介してフォーク１１が壬−タ１５側に戻るフ
ォーク１１がギヤリヤ９外に第１０図に示した如く箱部
材４やレチクル６と−Ｊ（に搬出することができる。こ
の時蓋部材１はギヤリヤ９ノストツハ９ａに引掛ってい
たり、前述のようにキャリヤ９の内壁９ｄに爪部材３が
摩擦係合している為、フォーク１１は箱部材４のみを搬
出する。
箱部材４の搬出は不図示のリミットスイッチ等の作用に
より所定の位置で終了する。今度は上下移動の為のモー
タ２２の回転によって、ギヤ２１ｂ。
より所定の位置で終了する。今度は上下移動の為のモー
タ２２の回転によって、ギヤ２１ｂ。
２１ａとイ、ジ２０を介して、基板１８及びフォーク１
１、相部′）１′；Ａ４が最上部のレチクル又はマスク
取出し位置に搬送され所定位置でｃｌ、まる。
１、相部′）１′；Ａ４が最上部のレチクル又はマスク
取出し位置に搬送され所定位置でｃｌ、まる。
次に第１１図に於てマスク又はレチクルは箱部材４から
その支持部に対して略垂直方向から取出され第２の搬送
手段に受渡される。この部分について説明する。最上部
のマスクはレチクル取出し位置は同時に吸着盤２６ａ、
２６ｂがレチクル６に接触する位置であり、ここでレチ
クル６は吸着盤２６ａ。
その支持部に対して略垂直方向から取出され第２の搬送
手段に受渡される。この部分について説明する。最上部
のマスクはレチクル取出し位置は同時に吸着盤２６ａ、
２６ｂがレチクル６に接触する位置であり、ここでレチ
クル６は吸着盤２６ａ。
２６ｂに吸着される。レチクル６の吸着が終了するとモ
ータ２２の回転によりギヤ２’ｌｂ、２１ａとネジ２０
を介して基板１８、フォーク１１、箱部材４等は下方向
へ大きく移動する。これによって、レチクル６は、箱部
材４から取出されたわけである。
ータ２２の回転によりギヤ２’ｌｂ、２１ａとネジ２０
を介して基板１８、フォーク１１、箱部材４等は下方向
へ大きく移動する。これによって、レチクル６は、箱部
材４から取出されたわけである。
次に不図示であるが第２の搬送手段がレチクル又はマス
クに接触しない位置に矢印Ｆの方向から進入すると吸着
盤支持棒２５ａ 、 ２５ｂ 、 ２５ｃがレチクル６
と共に不図示の手段により駆動されて下降運動を初めこ
の第２の搬送手段の上にレチクル６を受渡す。その位置
で吸着盤２６ａ、２６ｂによる吸着が切れレチクル６は
又フリーの状態になる。なお、吸着は真空吸着のような
ものであってもよい。不図示であるが上板２４の上には
レチクル又はマスクの位置決め機構があって、第２の搬
送手段の所定位置にレチクル又はマスクの位置決めを行
う。
クに接触しない位置に矢印Ｆの方向から進入すると吸着
盤支持棒２５ａ 、 ２５ｂ 、 ２５ｃがレチクル６
と共に不図示の手段により駆動されて下降運動を初めこ
の第２の搬送手段の上にレチクル６を受渡す。その位置
で吸着盤２６ａ、２６ｂによる吸着が切れレチクル６は
又フリーの状態になる。なお、吸着は真空吸着のような
ものであってもよい。不図示であるが上板２４の上には
レチクル又はマスクの位置決め機構があって、第２の搬
送手段の所定位置にレチクル又はマスクの位置決めを行
う。
以上の動作が終了すると第２の搬送手段はレチクル又は
マスクを露光位置に搬送する。露光済のレチクル又はマ
スクは今迄と略逆動作によってキャリヤ９内に収容され
る。
マスクを露光位置に搬送する。露光済のレチクル又はマ
スクは今迄と略逆動作によってキャリヤ９内に収容され
る。
上記実施例ではキャリヤ９内に蓋部材１を残してきたが
、蓋部材１を残さないで、カセット全部を取り出し第２
搬送位置で蓋部材１を取り、マスク若しくはレチクルを
箱部材４から取りＵ」ずことも可能である。
、蓋部材１を残さないで、カセット全部を取り出し第２
搬送位置で蓋部材１を取り、マスク若しくはレチクルを
箱部材４から取りＵ」ずことも可能である。
更に、また、カセットをフォークで引き出し、フォーク
自体は上下動しないで別に上下動する第２の搬送手段を
設け、それにカセットを移し、第２の搬送手段によって
最上部に運びそこでカセットよりレチクル又はマスクを
取出すことも可能である。次に第３の搬送手段にマスク
又はレチクルを受渡し露光位置へ転送する手段も考えら
れる。
自体は上下動しないで別に上下動する第２の搬送手段を
設け、それにカセットを移し、第２の搬送手段によって
最上部に運びそこでカセットよりレチクル又はマスクを
取出すことも可能である。次に第３の搬送手段にマスク
又はレチクルを受渡し露光位置へ転送する手段も考えら
れる。
近年ゴミの結像を避ける目的で、第６図に示す如くマス
ク又はレチクルの有効膜面部をペリクル枠で囲みペリク
ル膜で被覆する方法が提供されている。本発明はこのペ
リクル膜で被覆したマスク又はレチクルについて特に効
果を発揮する。
ク又はレチクルの有効膜面部をペリクル枠で囲みペリク
ル膜で被覆する方法が提供されている。本発明はこのペ
リクル膜で被覆したマスク又はレチクルについて特に効
果を発揮する。
この方法はマスク又はレチクルにペリクル枠、Ｊクル膜
を取付ける際にこの３部材で構成された空間を無塵の完
全な密閉状態にする事によって、゛マスク又はレチクル
膜面への外部からのゴミ４ニＪ着を防止している。
を取付ける際にこの３部材で構成された空間を無塵の完
全な密閉状態にする事によって、゛マスク又はレチクル
膜面への外部からのゴミ４ニＪ着を防止している。
ペリクル膜面に付着したゴミは、ペリクル枠のの厚さ相
当量だけマスク又はレチクル膜面から離れる為にウェハ
ー上で結像しない。このペリクル膜は薄くて、非常に弱
く高価である。
当量だけマスク又はレチクル膜面から離れる為にウェハ
ー上で結像しない。このペリクル膜は薄くて、非常に弱
く高価である。
従って破壊、汚損を考えると、この近くを搬送手段が移
動し４い方が良い。箱部材からのマスク又はレチクル取
出しを、箱部材のマスク又はレチクル支持面に対し平行
方向から取出す構造にすると、ペリクル枠とフォーク、
あるいはペリクル膜とフォークが接触する可能性が生じ
る。接触するとペリクル膜は弱いのでその衝撃でペリク
ル膜が破壊する危険性がある。
動し４い方が良い。箱部材からのマスク又はレチクル取
出しを、箱部材のマスク又はレチクル支持面に対し平行
方向から取出す構造にすると、ペリクル枠とフォーク、
あるいはペリクル膜とフォークが接触する可能性が生じ
る。接触するとペリクル膜は弱いのでその衝撃でペリク
ル膜が破壊する危険性がある。
所が本発明のように箱部材からのマスク又はレチクル取
出しを、箱部材のマスク又はレチクル支持面に対し垂直
方向から取出す構造にするとフォーク等の移動部材で取
出すわけでないので、ペリクル膜の破壊、汚損の危険性
がない。
出しを、箱部材のマスク又はレチクル支持面に対し垂直
方向から取出す構造にするとフォーク等の移動部材で取
出すわけでないので、ペリクル膜の破壊、汚損の危険性
がない。
以上、本発明を詳述したように、マスク若しくはレチク
ルをカセットに収容する事によりマスク若しくはレチク
ルの取扱い、交換が容易になった。
ルをカセットに収容する事によりマスク若しくはレチク
ルの取扱い、交換が容易になった。
また、本発明ではフォトマスク若しくはレチクルをキャ
リヤから第２搬送位置姿パターン膜面を下側にして箱部
材に置く事によってパターン膜面を密閉した。それによ
って空気中の浮遊塵が、パターン膜面に付着するのを防
止する効果がある。
リヤから第２搬送位置姿パターン膜面を下側にして箱部
材に置く事によってパターン膜面を密閉した。それによ
って空気中の浮遊塵が、パターン膜面に付着するのを防
止する効果がある。
第１図は本発明に、係る搬送装置に用いるカセットの蓋
部材の一部破砕斜視図、第２図はカセットの箱部材の斜
視図、第３図は第１図をＡ方向から見た一部省略斜視図
、第４図は第２図をＢ方向から見た一部省略斜視図、第
５図はカセットの斜視図、第６図は第５図のｃ −ｃ’
線のカセットの状態の断面図、第７図は、爪部材の状態
を示す断面部分図、第８図はカセットをキャリヤに挿入
した斜視図、第９図は第８図のキャリヤ等をＥ方向から
見た図でフォークとの関係を示す斜視図、第１０図は、
本発明に係る搬送装置の全体斜視図、第１１図は搬送装
置の吸着機構を示す説明図である。 １ ・・蓋部材 １ａ・・・保持部 １ｂ・・・差入口端部 １ｃ・・・底部２ ・・把手
３・・・爪部材 ４・・・箱部材 ４ａ・・・突出部 ４ｂ・・・引掛り部 ４ｃ・・・止部材４ｄ・・・段差
面 ４ａ’・・・部分 ５・・・把手 ６・・・レチクル ７・・ペリクル枠 ８・・・隙間穴 ９ａ、９ｂ・・・ストッパー ９Ｃ・・・空間１０・・
・係合部 １１・・・フォーク１２ａ、１２ｂ・・・ガ
イ ド棒１３−・・ネノ１４ａ、１４ｂ・・・ギヤ １
５・・モータ１６．１７・・・支持部材 １８・・・基
板１９ａ、１９ｂ・・・固定棒 ２０・・・イ・ジ２１
ａ、２１ｂ・・・ギヤ ２２・・・モータ２３・・・下
板 ２４・・・上板 ２５ａ、２５ｂ、２５ｃ −−−吸着盤支持棒２６ａ、
２６ｂ−−−吸着盤 第１図 ＠５図 第 ２ 図 第４図 ＠６図
部材の一部破砕斜視図、第２図はカセットの箱部材の斜
視図、第３図は第１図をＡ方向から見た一部省略斜視図
、第４図は第２図をＢ方向から見た一部省略斜視図、第
５図はカセットの斜視図、第６図は第５図のｃ −ｃ’
線のカセットの状態の断面図、第７図は、爪部材の状態
を示す断面部分図、第８図はカセットをキャリヤに挿入
した斜視図、第９図は第８図のキャリヤ等をＥ方向から
見た図でフォークとの関係を示す斜視図、第１０図は、
本発明に係る搬送装置の全体斜視図、第１１図は搬送装
置の吸着機構を示す説明図である。 １ ・・蓋部材 １ａ・・・保持部 １ｂ・・・差入口端部 １ｃ・・・底部２ ・・把手
３・・・爪部材 ４・・・箱部材 ４ａ・・・突出部 ４ｂ・・・引掛り部 ４ｃ・・・止部材４ｄ・・・段差
面 ４ａ’・・・部分 ５・・・把手 ６・・・レチクル ７・・ペリクル枠 ８・・・隙間穴 ９ａ、９ｂ・・・ストッパー ９Ｃ・・・空間１０・・
・係合部 １１・・・フォーク１２ａ、１２ｂ・・・ガ
イ ド棒１３−・・ネノ１４ａ、１４ｂ・・・ギヤ １
５・・モータ１６．１７・・・支持部材 １８・・・基
板１９ａ、１９ｂ・・・固定棒 ２０・・・イ・ジ２１
ａ、２１ｂ・・・ギヤ ２２・・・モータ２３・・・下
板 ２４・・・上板 ２５ａ、２５ｂ、２５ｃ −−−吸着盤支持棒２６ａ、
２６ｂ−−−吸着盤 第１図 ＠５図 第 ２ 図 第４図 ＠６図
Claims (3)
- （１）原版を収容するカセットと、該カセットを複数個
積み重ねる如く収容するキャリアと、該キャリアから該
カセットの少なくとも一部を離脱し、該原版を該離脱し
たカセットの少なくとも一部に載せたまま所定の位置迄
搬送する手段とを備えたことを特徴とする原版の搬送装
置。 - （２）該カセットは、原版を直接収容保持する箱部材と
、該箱部材と絹合わせて該箱部材に収容されている該原
版を外部の塵埃から遮断する蓋部祠とから成り、該蓋部
月が該キャリア内に残り、該原版を相部４Ｕに収容保持
した状態で該搬送する手段により該ギヤリアから搬出さ
れることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の原版
の搬送装置。 - （３）外圧より低い圧力で該原版に吸着してこれを取出
す吸着手段により、該箱部材に収容保持されている該原
版を支持している面に対して略垂直方向から該原版を取
出すことを特徴とする特許請求の範囲第２項記載の原版
の搬送装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58112929A JPS605521A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 原版の搬送装置 |
| US06/892,734 US4758127A (en) | 1983-06-24 | 1986-07-28 | Original feeding apparatus and a cassette for containing the original |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58112929A JPS605521A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 原版の搬送装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS605521A true JPS605521A (ja) | 1985-01-12 |
| JPH0444421B2 JPH0444421B2 (ja) | 1992-07-21 |
Family
ID=14599017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58112929A Granted JPS605521A (ja) | 1983-06-24 | 1983-06-24 | 原版の搬送装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS605521A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL8801268A (nl) * | 1987-05-17 | 1988-12-16 | Leitz Ernst Gmbh | Behandelingsautomaat voor plaatvormige voorwerpen. |
| JPH02284441A (ja) * | 1989-04-26 | 1990-11-21 | Hitachi Ltd | カセット移動装置 |
| US5804830A (en) * | 1995-08-30 | 1998-09-08 | Shafir Production System Ltd. | Three-dimensional non-contact scanning apparatus and method using at least one circular, planar array of a plurality of radiant energy sensors, and a rotating energy source |
-
1983
- 1983-06-24 JP JP58112929A patent/JPS605521A/ja active Granted
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| NL8801268A (nl) * | 1987-05-17 | 1988-12-16 | Leitz Ernst Gmbh | Behandelingsautomaat voor plaatvormige voorwerpen. |
| JPH02284441A (ja) * | 1989-04-26 | 1990-11-21 | Hitachi Ltd | カセット移動装置 |
| US5804830A (en) * | 1995-08-30 | 1998-09-08 | Shafir Production System Ltd. | Three-dimensional non-contact scanning apparatus and method using at least one circular, planar array of a plurality of radiant energy sensors, and a rotating energy source |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0444421B2 (ja) | 1992-07-21 |
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