JPH02284441A - カセット移動装置 - Google Patents
カセット移動装置Info
- Publication number
- JPH02284441A JPH02284441A JP1104458A JP10445889A JPH02284441A JP H02284441 A JPH02284441 A JP H02284441A JP 1104458 A JP1104458 A JP 1104458A JP 10445889 A JP10445889 A JP 10445889A JP H02284441 A JPH02284441 A JP H02284441A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cassette
- sensor
- signal
- operator
- fixing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 9
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 abstract description 14
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 8
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 abstract description 7
- 238000005530 etching Methods 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003825 pressing Methods 0.000 description 2
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 2
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 2
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、カセット移動装置に係り、特に半導体製造装
置に好適なカセット移動装置に関するものである。
置に好適なカセット移動装置に関するものである。
半導体製造装置に用いられるカセット移動装置としては
、従来、上下駆動されるカセット台に単にカセットを載
置し、該状態でカセット台を上下駆動することで、カセ
ットの上下移動を行うよう４こしたものが知られている
。
、従来、上下駆動されるカセット台に単にカセットを載
置し、該状態でカセット台を上下駆動することで、カセ
ットの上下移動を行うよう４こしたものが知られている
。
なお、この種の装置として関連するものには、例えば、
実開昭５７−２１１７４６号、実開昭５９−１３２６３
７号等が挙げられる。
実開昭５７−２１１７４６号、実開昭５９−１３２６３
７号等が挙げられる。
従来の半導体製造装置は、ロード又はアンロードカセッ
トを装置にセットする場合、カセット室前面の保護カバ
ーを用いてカセットをセットする操作となっていたため
、処理実行中に、誤まって動作中のカセットを取りはず
す等の誤操作は発生しなかった。ところが、半導体製造
ラインの自動比重こ伴ない、カセットの自動移載に対応
するために、カセット移動装置が半導体製造装置の前面
へと移され、かつ保護カバーは除去されているため、容
易に操作できるようになっている。また、カセット操作
に関しては、作業者とカセット移載ロボットとが混在す
るため、例えば、上位指示ζこよるロボヴト操作Ｉこ対
して、人的誤操作の介入ｌこよる装置エラーの発生、そ
れによる装置停止を引き起こす可能性がでてきた。
トを装置にセットする場合、カセット室前面の保護カバ
ーを用いてカセットをセットする操作となっていたため
、処理実行中に、誤まって動作中のカセットを取りはず
す等の誤操作は発生しなかった。ところが、半導体製造
ラインの自動比重こ伴ない、カセットの自動移載に対応
するために、カセット移動装置が半導体製造装置の前面
へと移され、かつ保護カバーは除去されているため、容
易に操作できるようになっている。また、カセット操作
に関しては、作業者とカセット移載ロボットとが混在す
るため、例えば、上位指示ζこよるロボヴト操作Ｉこ対
して、人的誤操作の介入ｌこよる装置エラーの発生、そ
れによる装置停止を引き起こす可能性がでてきた。
本発明の目的は、カセットのハンドリングに関して作業
者の誤操作による装置停止を防止できるカセット移動装
置を提供することにある。
者の誤操作による装置停止を防止できるカセット移動装
置を提供することにある。
上記目的は、カセット移動装置を、カセット移動時に該
カセットを固定する手段を備えたものとすることにより
、達成される。
カセットを固定する手段を備えたものとすることにより
、達成される。
カセット固定手段により、カセットは、その移動時に固
定される。従って、カセットハンドリングｆこ関して作
業者の誤操作の介入を防止できる。
定される。従って、カセットハンドリングｆこ関して作
業者の誤操作の介入を防止できる。
〔実 施 例〕
以下、本発明の一実施例を第１図、第２図により説明す
る。
る。
第１図で、ウェハ２を収納したカセットｌは、カセット
ベース５上に装着され、カセット上下駆動用モータ８に
より、伝達機構９を経てカセットベース５が上下動作す
る。カセット１０位置は、カセット交換位置検出センサ
３および下限位置検出センサ７により、遮光板６の通過
による位置確認を行う。
ベース５上に装着され、カセット上下駆動用モータ８に
より、伝達機構９を経てカセットベース５が上下動作す
る。カセット１０位置は、カセット交換位置検出センサ
３および下限位置検出センサ７により、遮光板６の通過
による位置確認を行う。
また、カセットベース５には、カセット固定用のクラン
プ機構４を設け、カセット交換位置検出用センサ３から
の出力信号番こより駆動する。
プ機構４を設け、カセット交換位置検出用センサ３から
の出力信号番こより駆動する。
第１図で、カセット１が交換位置番こある場合、カセッ
ト交換位置検出用センサ３の信号がオンしており、この
時は、作業者およびロボット昏こよるカセット交換操作
が行なわれるため、この時、クランプ力は発生しない。
ト交換位置検出用センサ３の信号がオンしており、この
時は、作業者およびロボット昏こよるカセット交換操作
が行なわれるため、この時、クランプ力は発生しない。
−旦、例えば、エツチング・シーケンスが起動すれば、
カセットベース５は下降を開始する。このため、カセッ
ト交換位置検出用センサ３の出力信号はオフとなり、こ
の信号により、カセットｌをクランプ機構４によりクラ
ップする。エツチング・シーケンスが終了し、再度、カ
セットｌが上限位１冒Ｉこきた時、カセット交換位置検
出センサ３の出力信号がオンとなり、クランプが解除さ
れる。
カセットベース５は下降を開始する。このため、カセッ
ト交換位置検出用センサ３の出力信号はオフとなり、こ
の信号により、カセットｌをクランプ機構４によりクラ
ップする。エツチング・シーケンスが終了し、再度、カ
セットｌが上限位１冒Ｉこきた時、カセット交換位置検
出センサ３の出力信号がオンとなり、クランプが解除さ
れる。
以上のように、カセット交換位置検出センサ３からのオ
ン・オフ信号番こより、クランプ機構４を駆動すること
により、カセット１設置に関する作業者の誤操作を機械
的に防止することができる。
ン・オフ信号番こより、クランプ機構４を駆動すること
により、カセット１設置に関する作業者の誤操作を機械
的に防止することができる。
第２図に示すように、ロック機能は動く。第１図のよう
に、センサ信号により、クランプ駆動する方式とせず、
センサ信号を装置制御用コンピュータ番こ入力し、かつ
、コンピュータからの指示により、クランプ駆動する方
式とすれば、より柔軟なシーケンスへの対応が可能とす
ることができる。
に、センサ信号により、クランプ駆動する方式とせず、
センサ信号を装置制御用コンピュータ番こ入力し、かつ
、コンピュータからの指示により、クランプ駆動する方
式とすれば、より柔軟なシーケンスへの対応が可能とす
ることができる。
本実施例によれば、カセット交換時以外の不必要なカセ
ット操作、つまり、作業者による誤操作な防止できるの
で、該誤操作による装置のエラ発生、それによる装置停
止を防止できる。また、このような効果を、セン→ノ゛
信号と駆動機構のみで他の制御系を介さすに簡単な構成
で奏することができる。また、カセットハンドリングに
関しての装置停止の防止により、装Ｕ稼動率、スループ
ブトを向上させることができる。
ット操作、つまり、作業者による誤操作な防止できるの
で、該誤操作による装置のエラ発生、それによる装置停
止を防止できる。また、このような効果を、セン→ノ゛
信号と駆動機構のみで他の制御系を介さすに簡単な構成
で奏することができる。また、カセットハンドリングに
関しての装置停止の防止により、装Ｕ稼動率、スループ
ブトを向上させることができる。
なお、上記実施例において、クランプ機構をカセットの
周囲馨こ複数個配設し、該クランプ機構に、例えば、圧
力センサ、つまり、各クランプ機構によりカセットに負
荷される加圧力（固定力）を検知し圧力信号を出力する
センサを設け、圧力センサでの検知圧力とカセットを適
正位置にセットするだめの圧力で予め設定された圧力と
を比較し圧力センサでの検知圧力が予め設定された圧力
になるようにクランプ機構による加圧力を調節する手段
を設けるようにすれば、クランプ機構で固定されたカセ
ットの位置を適正位置Ｊこ自動補正することができる。
周囲馨こ複数個配設し、該クランプ機構に、例えば、圧
力センサ、つまり、各クランプ機構によりカセットに負
荷される加圧力（固定力）を検知し圧力信号を出力する
センサを設け、圧力センサでの検知圧力とカセットを適
正位置にセットするだめの圧力で予め設定された圧力と
を比較し圧力センサでの検知圧力が予め設定された圧力
になるようにクランプ機構による加圧力を調節する手段
を設けるようにすれば、クランプ機構で固定されたカセ
ットの位置を適正位置Ｊこ自動補正することができる。
これにより、例えば、カセット内と半導体製造装置の処
理室内との間でウェハな搬送する手段との間でのウェハ
の受渡しを良好に行うことができ、装置の自動化により
効果的である。
理室内との間でウェハな搬送する手段との間でのウェハ
の受渡しを良好に行うことができ、装置の自動化により
効果的である。
上記一実施例では、カセットは、上下方向に移動させら
れるが、他の方向、例えば、水平方向に移動させられる
場合においても適用できる。
れるが、他の方向、例えば、水平方向に移動させられる
場合においても適用できる。
本発明によれば、カセットハンドリングに関しての作業
者による誤操作を防止できるので、該誤操作による装置
のエラー発生、それによる装置停止を防止できる効果が
ある。
者による誤操作を防止できるので、該誤操作による装置
のエラー発生、それによる装置停止を防止できる効果が
ある。
第１図は、本發明の一実施例のカセット移動装置の装置
構成図、第２図は、その動作フロー図である。 １・・・・・・カセット、３・・・・・・カセット変換
位置検出センサ、４・・・・・・クランプ機構、５・・
・・・カセットベース、６・・・・・・遮光板、７・・
・・・・カセット変換位置検出センサ、８・・・・・・
カセット−上下駆動用モータ、９・・・・・・伝達機構 代理人 弁理士 小 川 勝 男 ′）図 １−一一一力ｔット ｄ−−−−７ラン７’ ｌ”ｉ’型１ ５−一一カし・７トベ′−又
構成図、第２図は、その動作フロー図である。 １・・・・・・カセット、３・・・・・・カセット変換
位置検出センサ、４・・・・・・クランプ機構、５・・
・・・カセットベース、６・・・・・・遮光板、７・・
・・・・カセット変換位置検出センサ、８・・・・・・
カセット−上下駆動用モータ、９・・・・・・伝達機構 代理人 弁理士 小 川 勝 男 ′）図 １−一一一力ｔット ｄ−−−−７ラン７’ ｌ”ｉ’型１ ５−一一カし・７トベ′−又
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、カセットの移動時に該カセットを固定する手段を備
えたことを特徴とするカセット移動装置。 ２、前記カセット固定手段が、カセット交換位置と他の
位置との間での前記カセットの移動時に該カセットを固
定する手段であり、前記カセット交換位置でのカセット
検出信号により駆動される手段である第１請求項に記載
のカセット移動装置。 ３、カセットの移動時に該カセットを固定する手段と、
該手段で固定された前記カセットの位置を自動補正する
手段とを備えたことを特徴とするカセット移動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1104458A JPH02284441A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | カセット移動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1104458A JPH02284441A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | カセット移動装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02284441A true JPH02284441A (ja) | 1990-11-21 |
Family
ID=14381160
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1104458A Pending JPH02284441A (ja) | 1989-04-26 | 1989-04-26 | カセット移動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02284441A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5713711A (en) * | 1995-01-17 | 1998-02-03 | Bye/Oasis | Multiple interface door for wafer storage and handling container |
Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5947739A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-17 | Hitachi Ltd | ウエハ処理用治具 |
| JPS59121847A (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-14 | Toshiba Corp | 半導体ウエハ移し替え装置 |
| JPS605521A (ja) * | 1983-06-24 | 1985-01-12 | Canon Inc | 原版の搬送装置 |
| JPS614227A (ja) * | 1984-06-18 | 1986-01-10 | Sharp Corp | ウエハ−ボ−ト位置検出方式 |
| JPS63271951A (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-09 | Nippon Signal Co Ltd:The | ウエ−ハ搬送装置 |
| JPS6365236B2 (ja) * | 1983-04-30 | 1988-12-15 |
-
1989
- 1989-04-26 JP JP1104458A patent/JPH02284441A/ja active Pending
Patent Citations (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5947739A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-17 | Hitachi Ltd | ウエハ処理用治具 |
| JPS59121847A (ja) * | 1982-12-27 | 1984-07-14 | Toshiba Corp | 半導体ウエハ移し替え装置 |
| JPS6365236B2 (ja) * | 1983-04-30 | 1988-12-15 | ||
| JPS605521A (ja) * | 1983-06-24 | 1985-01-12 | Canon Inc | 原版の搬送装置 |
| JPS614227A (ja) * | 1984-06-18 | 1986-01-10 | Sharp Corp | ウエハ−ボ−ト位置検出方式 |
| JPS63271951A (ja) * | 1987-04-28 | 1988-11-09 | Nippon Signal Co Ltd:The | ウエ−ハ搬送装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5713711A (en) * | 1995-01-17 | 1998-02-03 | Bye/Oasis | Multiple interface door for wafer storage and handling container |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US7905700B2 (en) | Vertical-type heat processing apparatus and method of controlling transfer mechanism in vertical-type heat processing apparatus | |
| US20070238062A1 (en) | Vertical-type heat processing apparatus and method of controlling transfer mechanism in vertical-type heat processing apparatus | |
| US4555216A (en) | Workpiece holding and positioning mechanism and system | |
| JP2019527853A (ja) | レベリング可能なレチクルライブラリシステム | |
| JP3905659B2 (ja) | 動作検査システム | |
| JPH02284441A (ja) | カセット移動装置 | |
| US5803972A (en) | Semiconductor fabrication apparatus | |
| JP2006186360A (ja) | ディスク状対象物を処理するシステムにおけるリカバリ用の装置、およびその方法 | |
| JPH02170520A (ja) | 塗布現像装置 | |
| JPH06263219A (ja) | 搬送装置 | |
| JPH09260261A (ja) | リソグラフィー装置 | |
| JP2935060B2 (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS60161630A (ja) | 半導体ペレツト位置決め装置 | |
| JP2001015573A (ja) | 基板処理装置 | |
| CN212380391U (zh) | 晶圆加工设备及晶圆加工设备的前盖板 | |
| JPH04215454A (ja) | ウエハ用カセットの姿勢制御機構 | |
| KR950008234Y1 (ko) | 1/2 슬롯을 이용한 웨이퍼 카세트 엘리베이터 장치 | |
| KR0126588B1 (ko) | 클러스터 장비용 웨이퍼 반송 장치의 정렬 방법 및 장치 | |
| JPH04225255A (ja) | Ｃｖｄ装置におけるウェハ−の移載・装填制御方法及びその装置 | |
| KR200157375Y1 (ko) | 반도체 제조 장비에서의 반송 웨이퍼 이탈 보호 장치 | |
| JPH03237739A (ja) | ウェーハ枚数計数装置 | |
| KR20040050532A (ko) | 반도체 설비에 설치된 웨이퍼 캐리어 탑재용 포트 및 그운용방법 | |
| JPH02165650A (ja) | 半導体製造装置 | |
| JPS6226829A (ja) | ダイスボンデイング装置 | |
| KR19990051387A (ko) | 반도체 웨이퍼의 언로더 |